Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

Abbildung 19: Durchstimmbarer Spektrometertyp. ................................................................................ 45
Abbildung 20: Statischer Spektrometertyp. ................................................................................................ 46
Abbildung 21: a) reales Spektrum einer monochromatischen Welle, b) aufgezeichnetes
Spektrum eines realen Spektrometers. ......................................................................................................... 46
Abbildung 22: a) das von der Lichtquelle ausgestrahlte Spektrum, b) die einzelnen
Intensitäten der Resonatoren, welche zusammen das Gesamtspektrum abbilden. ................... 47
Abbildung 23: Mikroskopaufnahme eines 3-D-Nanoimprint-Stempels mit bis zu 64
verschiedenen Höhen [105]. .............................................................................................................................. 54
Abbildung 24: Weißlichtinterferometermessung der Oberflächenstruktur eines 3-D-
Nanoimprint-Stempels. Die Zahlen repräsentieren die designte Höhe und die gemessene (in
Klammern). Die untere Zeichnung zeigt eine Liniendarstellung des Profils [105]. .................... 54
Abbildung 25: WLI-Messung, um die Oberflächenrauigkeit einer Mesavertiefung zu
analysieren [105]. ................................................................................................................................................... 55
Abbildung 26: Stempel (oben) und dazugehörige Prägung (unten). Die Oberflächenrauigkeit
beträgt jeweils weniger als 1 nm. .................................................................................................................... 55
Abbildung 27: Abhängigkeit der Schichtdicke von der Schleuderdrehzahl (nach Backschritt)
bei einer Schleuderdauer von 60 s für mr-UVCur06 (links) und mr-UVCur21 (rechts) laut
Hersteller [119], [120]. ........................................................................................................................................ 58
Abbildung 28: Messaufbau mit a) Spektrometer, b) Lichtquelle, c) Transmissionsmessung
sowie d) Reflexionsmessung. ............................................................................................................................. 63
Abbildung 29: Mikroskopspektrometer Axio Imager D1 der Firma Carl Zeiss. ........................... 64
Abbildung 30: Temporärer Messaufbau der Firma Opsolution. ......................................................... 65
Abbildung 31: Darstellung eines EVG501-Manual-Thermo-Compression-Bonder-Systems.
Dieses System wird für die Heißprägungen an der TU Braunschweig verwendet [159]. ........ 67
Abbildung 32: Schematische Zeichnung der EVG501-Heißprägeanlage beim Bestücken der
Prägekammer. Der Schichtstapel aus (von unten nach oben) elastischer Unterlage zur
Druckverteilung, opakem Stempel und beschichtetem Substrat wird auf dem unteren
Probenhalter justiert. ............................................................................................................................................ 68
Abbildung 33: Schematische Zeichnung der EVG501-Heißprägeanlage während des
Prägeprozesses. Nach dem Evakuieren der Prägekammer wird die Prägung mittels Druck
und Hitze ausgeführt. ............................................................................................................................................ 69
Abbildung 34: Schematische Zeichnung der EVG501-Heißprägeanlage nach dem Abkühlen.
Das geprägte PMMA wird mittels Pressluftkühlung unter seine Glastemperatur abgekühlt,
um es so wieder formstabil zu machen. Der Stapel aus Stempel und Substrat kann nun
manuell herausgenommen und getrennt werden. ................................................................................... 69
Abbildung 35: Am INA hergestellte Stempel nach den Prägeversuchsreihen. Der linke
Stempel ist noch mit dem Substrat verbunden. Eine erfolgreiche Trennung war nicht
möglich. Rechts zu sehen ist ein Teilstück eines bei einem Trennungsversuch zerbrochenen
Stempels. .................................................................................................................................................................... 70
Abbildung 36: Karl-SÜSS-MA4-Mask-Aligner. ............................................................................................ 72
Abbildung 37: Transmission von Borosilicatglas bei einer Dicke von 2 mm [161]. ................... 74
Abbildung 38: Vakuum-Adapter für den MA4 im INA. Material: Quarzglas. In der
Explosionszeichnung (links) sind von unten nach oben zu erkennen: erste Quarzplatte mit
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