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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen

Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen des Raumfahrtprojekts MERTIS Diplomarbeit von Fabian Böck aus Germering zur Erlangung des akademischen Grads Diplom-Ingenieur (FH) an der Hochschule für angewandte Wissenschaften München Fachbereich 06 Feinwerk- und Mikrotechnik / Physikalische Technik Studiengang Feinwerktechnik/Mechatronik Studienrichtung Feingerätetechnik Referent: Prof. Dr. R. Froriep Koreferent: Prof. Dr. N. Stockhausen Betreuer: Dr. Th. Zeh Tag der Einreichung: 20.04.2010 Germering, 20.04.2010

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