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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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6. Verifikation des Regelungssystems<br />

beseitigt werden kann, überwiegt nun der Temperaturgang der Aktorik. Dies zeigt sich wie in<br />

Abbildung 6-56 abgebildet mit einer Umkehr des Gesamttemperaturgangs, wie ebenfalls<br />

durch Messung festgestellt.<br />

Abbildung 6-56: S<strong>im</strong>ulation der Einflüsse der ermittelten Temperaturstörgrößen auf die Robustheit des<br />

Regelkreises mit Temperaturkompensation<br />

Abbildung 6-57: S<strong>im</strong>ulation der Auswirkung einer Änderung der Federkonstante um +-20%<br />

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