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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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11. Anhang

11. Anhang Simulation der magnetischen Flussdichte des Aktormagneten Abbildung 11-9: Flusslinien und magnetischen Flussdichte B des Aktormagneten am Arbeitspunkt Abbildung 11-10: Verlauf des Betrags der magnetischen Flussdichte B in radialer Richtung an den beiden Polen Abbildung 11-11: Verlauf der parallel zur Längsachse gerichtete Komponente der Feldstärke entlang der Längsachse 122

11. Anhang Simulation der Feldstärke und Flussdichte der Maxwellspule Abbildung 11-12: Verlauf der durch die Spule erzeugten Feldlinien und Betrag der Feldstärke H (links) Verlauf der parallel zur Längsachse gerichtet Komponente der Feldstärke entlang der Längsachse (unten rechts), Verlauf der parallel zur Längsachse gerichtete Komponente der Flussdichte entlang der Längsachse (oben rechts) Kennlinie des Sensormagneten Abbildung 11-13: Zur Ermittlung des Arbeitspunkts des Sensormagneten verwendete Entmagnetisierungskurvenschar [25] 123

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