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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

F Literaturverzeichnis

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Danksagung Zum Abschluss der Diplomarbeit möchte ich noch denjenigen danken, die mir mit ihrer Unterstützung bei der Umsetzung geholfen haben. In ganz besonderem Maße danke ich Herrn Prof. Dr.-Ing. Rainer Froriep von der Hochschule München sowie Herrn Dr.-Ing. Thomas Zeh und Herrn Dipl.-Ing Hans-Georg Preißler von der Firma Kayser-Threde GmbH in München. Auch allen hier nicht namentlich aufgeführten, die mir durch Rat und Tat zur Seite standen gebührt mein aufrichtiger Dank.

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