Modulhandbuch - Technische Fakultät - Albert-Ludwigs-Universität ...
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<strong>Modulhandbuch</strong> M.Sc. Mikrosystemtechnik – Inhaltsverzeichnis<br />
Inhaltsverzeichnis<br />
Einleitung ........................................................................................................................... 3<br />
Inhaltsverzeichnis .............................................................................................................. 7<br />
Bereich Fortgeschrittene Mikrosystemtechnik .................................................................... 8<br />
Aufbau- und Verbindungstechnik ....................................................................................... 8<br />
Mikroelektronik ..................................................................................................................10<br />
Mikromechanik ..................................................................................................................12<br />
Mikrooptik .........................................................................................................................14<br />
Sensorik und Aktorik .........................................................................................................16<br />
Mikrofluidik ........................................................................................................................18<br />
MST Design Laboratory I ..................................................................................................20<br />
MST Design Laboratory II .................................................................................................22<br />
Wahlmodule/ Microsystemtechnik Concentrations ............................................................24