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Modulhandbuch - Technische Fakultät - Albert-Ludwigs-Universität ...

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<strong>Modulhandbuch</strong> M.Sc. Mikrosystemtechnik – Inhaltsverzeichnis<br />

Inhaltsverzeichnis<br />

Einleitung ........................................................................................................................... 3<br />

Inhaltsverzeichnis .............................................................................................................. 7<br />

Bereich Fortgeschrittene Mikrosystemtechnik .................................................................... 8<br />

Aufbau- und Verbindungstechnik ....................................................................................... 8<br />

Mikroelektronik ..................................................................................................................10<br />

Mikromechanik ..................................................................................................................12<br />

Mikrooptik .........................................................................................................................14<br />

Sensorik und Aktorik .........................................................................................................16<br />

Mikrofluidik ........................................................................................................................18<br />

MST Design Laboratory I ..................................................................................................20<br />

MST Design Laboratory II .................................................................................................22<br />

Wahlmodule/ Microsystemtechnik Concentrations ............................................................24

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