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Anleitung zum RTM /STM im F-Praktikum - Technische Universität ...

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Versuchsanleitung<br />

Raster-Tunnel-Mikroskop<br />

<strong>im</strong> Fortgeschrittenenpraktikum I<br />

Studiengang Physik<br />

<strong>Technische</strong> <strong>Universität</strong> Chemnitz<br />

Betreuer:<br />

S. Krause<br />

Ort:<br />

Neues Physikgebäude, Labor P006


Inhalt:<br />

1. Einleitung<br />

2. Theorie<br />

3. Exper<strong>im</strong>enteller Aufbau<br />

3.1. Funktionsweise eines <strong>STM</strong><br />

3.2. Tunnelspitzen<br />

3.3. Deutung der Bilder<br />

4. Versuchsablauf<br />

4.1 Allgemeines<br />

4.2 Atomare Auflösung von Graphit<br />

4.3 Untersuchung von Molekülen an der flüssig-fest Grenzfläche<br />

ANHANG<br />

A. Der Regelkreis<br />

B. Spitzenpräparation<br />

C. Literatur


1. Einleitung<br />

Seit seiner Erfindung Anfang der 80er Jahre hat sich die Raster-Tunnel-Mikroskopie<br />

(Scanning Tunneling Microscopy - <strong>STM</strong>) einen festen Platz unter den Verfahren der<br />

Oberflächen Analyse verdient:<br />

• erstmalig wird die direkte Abbildung atomarer Oberflächenstrukturen <strong>im</strong> Ortsraum<br />

möglich. Der erste große Erfolg war die Entschlüsselung der Si(111) 7×7 Rekonstruktion.<br />

• das <strong>STM</strong> ist geeignet für die Spektroskopie besetzter und unbesetzer elektronischer<br />

Zustände mit Ortsauflösungen <strong>im</strong> Sub-Nanometerbereich.<br />

• das <strong>STM</strong> gestattet die Manipulation von Materie auf der atomaren Skala! Moleküle und<br />

Atome können auf einer Oberfläche mit der <strong>STM</strong> Spitze zu komplexeren Gebilden<br />

arrangiert werden. Durch inelastische Tunnelprozeße können selbst Schwingungen<br />

spektroskopiert oder chemische Reaktionen induziert werden.<br />

• Ein <strong>STM</strong> kann aus wenigen Komponenten vergleichsweise einfach selbst aufgebaut<br />

werden. Einfache Geräte sind wesentlich preiswerter als Großgeräte, wie z.B. ein<br />

Transmissions-Elektronenmikroskop.<br />

All diese Aspekte machen die Arbeit am <strong>STM</strong> so faszinierend. Wer sonst kann schon einzelne<br />

Atome sehen, oder gar spektroskopieren und manipulieren?<br />

Ausgehend vom <strong>STM</strong> haben sich darüber hinaus in kürzester Zeit weitere Raster-Sonden-<br />

Methoden etabliert, von denen die Raster-Kraft-Mikroskopie (Atomic Force Microscope –<br />

AFM) wohl die bedeutendste ist. Sie überwindet den entscheidenden Nachteil der Raster-<br />

Tunnel-Mikroskopie, die Forderung nach elektrisch leitfähigen Proben, allerdings um den<br />

Preis verringerter Auflösung und erschwerter Handhabbarkeit. Eine Übersicht über die<br />

Raster-Sonden-Verfahren findet sich z.B. in [1], [2] oder [3].<br />

2. Theorie<br />

Grundlage des <strong>STM</strong>s ist der quantenmechanische Tunneleffekt: für ein quantenmechanisch<br />

beschreibbares Teilchen ergibt die Lösung der Schrödinger Gleichung eine endliche<br />

Aufenhaltswahrscheinlichkeit in klassisch verbotenen Bereichen. Teilchen mit der kinetischen<br />

Energie E können in einem Bereich mit größerem Potential Φ gefunden werden kann,<br />

obwohl dort E < Φ ist. Als Konsequenz dieser Erscheinung existiert für Potentialwälle<br />

endlicher Breite und Höhe eine gewisse Transmissionswahrscheinlichkeit. Im <strong>STM</strong> wird der<br />

Potentialwall von den Austrittsarbeiten der Spitze und der Probe gebildet. Bringt man die<br />

Tunnelspitze in einen Abstand zur Oberfläche von d


I T<br />

sehr stark von der Barrienbreite d abhängig. Näherungsweise genügt für kleine<br />

Spannungen der Tunnelstrom folgender Gleichung:<br />

I<br />

∝ U<br />

⎛<br />

⋅ exp⎜<br />

− 2 ⋅<br />

⎝<br />

2m<br />

<br />

T T<br />

2<br />

⋅ Φ<br />

⎞<br />

⋅ d ⎟<br />

⎠<br />

wobei Φ die mittlere Barrierenhöhe, m die Masse des tunnelnden Teilchens und d die<br />

Barrierenbreite bedeuten. Für realistische Parameter sinkt bzw. steigt der Tunnelstrom für ein<br />

Δd=0.1nm um etwa eine Größenordnung.<br />

Warum ist das Tunneln von z.B. Protonen mit deutlich geringeren Wahrscheinlichkeiten<br />

verbunden? Wieso ist obige Gleichung der physikalische Hintergrund für die extreme<br />

Anfälligkeit von <strong>STM</strong> Messungen gegenüber Schwingungen?<br />

Nebenstehendes Schema soll einige<br />

Sacherverhalte verdeutlichen. Sowohl Spitze<br />

als auch Probe sind durch das einfache<br />

Modell freier Elektroden als Potentialtöpfe,<br />

charakterisiert durch Austrittsarbeit und<br />

Fermi Energie, dargestellt. In der Skizze ist<br />

zwischen Spannung und Probe bereits eine<br />

Spannung angelegt.<br />

Wie ist die Polarität der Spannung? Welche<br />

Elektronen können <strong>zum</strong> Tunnelstrom<br />

beitragen? Welche der tunnelnden Elektronen<br />

haben eine größere Tunnelwahrscheinlichkeit und warum? Was passiert mit der Energie der<br />

Elektronen be<strong>im</strong> Tunneln?<br />

Das Standardmodell für theoretische Betrachtungen des <strong>STM</strong> geht davon aus, daß die lokale<br />

Zustandsdichte (Local Density of States – LDOS) der Probe und Spitze den Tunnelstrom<br />

best<strong>im</strong>men. Die lokale Zustandsdichte hängt vom Ort und der Energie ab und ist durch<br />

folgende Gleichung definiert:<br />

<br />

ρ<br />

2<br />

( r,<br />

E) = ∑ ψ ( r,<br />

E) δ ( E − )<br />

n<br />

<br />

n<br />

E n<br />

Die ψ n sind dabei relevante Wellenfunktionen der Probe, mit endlichen Aufenthaltswahrscheinlichkeit<br />

an der Oberfläche.<br />

Was kann man sich unter lokaler Zustandsdichte vorstellen? Wie könnte man mit dem <strong>STM</strong><br />

entweder besetzte oder unbesetzte Zustände der Probe untersuchen?


3. Exper<strong>im</strong>enteller Aufbau<br />

3.1. Funktionsweise eines <strong>STM</strong><br />

Das Prinzip eines <strong>STM</strong> ist denkbar einfach. Es wird die Oberfläche der elektrisch leitfähigen<br />

Probe mit einer feinen Metallnadel (<strong>im</strong> Idealfall mit nur ein einzelnes Atom an der Spitze)<br />

abgetastet. Die Aktorik erfolgt mit Hilfe piezoelektrischer Elemente und der Abstand<br />

zwischen Probe und Spitze beträgt wenige Ångström. Legt man eine Spannung an und ist die<br />

Spitze ausreichend nahe an der Probe fließt dann ein Tunnelstrom. Dieser wird über<br />

empfindliche elektronische Verstärker in ein handhabbares Signal gewandelt.<br />

In den idealisierten Grenzfällen gibt es zwei Betriebsarten des <strong>STM</strong>:<br />

Constant Current Mode: die starke Abhängigkeit des Tunnelstroms von der Breite des<br />

Tunnelspalts läßt sich als Abstandssonde ausnutzen. Hält man den Strom während des<br />

Rasterns der Probe konstant, bleibt auch der Abstand konstant und es wird die Topographie<br />

der Probe nachgezeichnet. Eine Regelung mißt den aktuellen Tunnelstrom (Ist-Wert),<br />

vergleicht ihn mit einem, vom Benutzer vorgegebenen Soll-Wert und steuert über den Piezo<br />

die z-Position der Spitze. Man erhält als Bild dann die für konstanten Strom erforderliche<br />

Piezo-Spannung als Funktion vom Ort auf der Probe U z (x,y). Da bei den Scanner Piezos der<br />

Zusammenhang zwischen Ausdehnung und elektrischer Spannung näherungsweise linear ist,<br />

kann daraus leicht die Höhenverteilung z(x,y) berechnet werden.<br />

Constant Height Mode: Die Regelung wird so langsam (gemessen an der<br />

Rastergeschwindigkeit) eingestellt, daß nur noch der mittlere Tunnelstrom konstant bleibt.<br />

Für schnelle Veränderungen der Probentopographie ist die Rückkopplung zu träge und es<br />

kommt zur Modulation des Stroms. Die Stromverteilung I(x,y) wird dann als Bild dargestellt.<br />

Was zeichnet einen Piezo Kristall aus? Welcher der beiden Abbildungsmodi erfordert mehr<br />

Zeit <strong>zum</strong> Messen? Welcher der beiden Abbildungsmodi ist für sehr ebene Proben besser<br />

geeignet? Wieso sind beide Abbidlungsmodi idealisierte Grenzfälle?


Scan-Generatoren<br />

x<br />

y<br />

PC<br />

z-Piezo<br />

U<br />

Tunnel<br />

x-Piezo<br />

y-Piezo<br />

I<br />

Tunnel<br />

I<br />

Re fe re nz<br />

Prinzipieller Aufbau eines <strong>STM</strong><br />

Jedes <strong>STM</strong> besteht mindestens aus<br />

• Grobpositionierung von Spitze und Probe (hier: Schrittmotor und Handbetrieb), um die<br />

Spitze nach dem Einbau auf wenige Zehntel Mill<strong>im</strong>eter der Probe anzunähern<br />

• Feinpositionierung und Rasterung <strong>im</strong> nm-Bereich (Piezoscanner)<br />

• Verstärker um den Tunnelstrom zu messen<br />

Außerdem ist für erfolgreiches Abbilden eine hohe Stabilität des Tunnelübergangs sehr<br />

wichtig (Schwingungs- und Driftfreiheit). Dazu haben Rastertunnelmikroskope meist<br />

Kombinationen aus externer und interner Schwingungsdämpfung. Selbstverständlich werden<br />

die Daten von einem Meßrechner erfaßt und dargestellt.<br />

3.2. Tunnelspitzen<br />

Als Spitzen für das <strong>STM</strong> können verschiedene Metalle <strong>zum</strong> Einsatz kommen. Sie werden in<br />

der Regel elektrochemisch geätzt, können aber auch (wie <strong>im</strong> Falle von Platin-Legierungen)<br />

durch Schneiden unter spitzem Winkel erzeugt werden. Ziel ist in jedem Falle eine stabile<br />

Atomkonfiguration am Spitzenapex, die aus möglichst wenigen Atomen gebildet sein soll.<br />

Wegen der extrem starken Abstandsabhängigkeit des Tunnelstroms muß die Nadel nicht<br />

makroskopisch spitz sein, da jeweils nur die vorderste Spitze den Tunnelstrom trägt. Im<br />

<strong>Praktikum</strong> werden Platin-Iridium-Spitzen verwendet, die nach einem in Anhang B<br />

beschriebenen Verfahren hergestellt werden.


3.3. Deutung der Bilder<br />

Allgemeiner Hinweis<br />

An dieser Stelle muß noch einmal betont werden, daß <strong>STM</strong>-Bilder nicht die Oberflächentopographie,<br />

sondern Isoflächen konstanter Tunnelwahrscheinlichkeit darstellen. Somit ergeben<br />

sich nicht nur topographische, sondern auch elektronische Kontraste, die z.B. durch<br />

unterschiedliche Zustandsdichten der chemischen Elemente oder unterschiedliche<br />

Bindungsverhältnisse verursacht werden. <strong>STM</strong>-Bilder sind also stets eine Überlagerung<br />

struktureller und chemischer Bildinformationen.<br />

Spitzeneffekte<br />

Der Tunnelstrom fließt - wie jeder Strom - stets den<br />

Weg des geringsten Widerstands, was <strong>im</strong> constant<br />

current mode <strong>STM</strong> in erster Näherung der Weg des<br />

kleinsten Abstandes ist. Reale Tunnelspitzen sind<br />

jedoch nie wirklich kegelförmig spitz, sondern an<br />

ihrem Ende verrundet, was insbesondere an Kanten<br />

zu Problemen führt, wie nebenstehende Abbildung<br />

verdeutlicht. Eine andere Möglichkeit ist das<br />

Vorhandensein von Doppelspitzen, die zwei<br />

Scan<br />

Probe mit Stufe<br />

Beispiel eines Spitzeneffekts: Die Ebene mit I T<br />

= const. wird an Kanten verrundet, so daß<br />

Abbildungsfehler entstehen können.<br />

Tunnelkontakte erzeugen und zur Überlagerung zweier Bilder führen können.<br />

4. Versuchsablauf<br />

4.1 Allgemeines<br />

Um die Daten nach Hause zu transportieren, bitte USB-Stick mitbringen!<br />

1.) Schalten Sie das <strong>STM</strong> und den PC ein.<br />

2.) Stellen Sie eine PtIr-Spitze gemäß <strong>Anleitung</strong> her. (anschließende Sichtkontrolle der Spitze<br />

<strong>im</strong> Lichtmikroskop)<br />

3.) Bauen Sie eine solche Nadel in den Spitzenhalter ein.<br />

4.) Anschließend Probenpräparation, Einbau und Grobannäherung per Hand bzw. Advance-<br />

Option <strong>im</strong> EasyScan-Menü.<br />

5.) Automatische Feinannäherung<br />

a. SetPoint 1nA<br />

b. TipVoltage 50mV<br />

c. P-Gain 10000<br />

d. I-Gain 1000<br />

4.2 Atomare Auflösung von Graphit


Die Standardoberfläche für atomare Auflösung <strong>im</strong> <strong>STM</strong> ist Graphit. Es hat sich gezeigt, dass<br />

bei Graphit auch ohne eine schützende Vakuumumgebung mit dem <strong>STM</strong> einzelne Atome<br />

aufgelöst werden können. Graphit ist ein Schichtsystem: innerhalb der Schichten ist Graphit<br />

kovalent gebunden, während zwischen den Schichten lediglich van-der-Waals-Bindungen<br />

vorliegen. Infolge der sp 2 -Hybridisierung ist Graphit entlang der Schichtebenen elektrisch<br />

leitfähig.<br />

Für <strong>STM</strong>-Exper<strong>im</strong>ente wird meist hochorientierter pyrolytischer Graphit (HOPG) verwendet,<br />

da dieses polykristalline Material sehr große planparellel liegende liegende Kristalle besitzt.<br />

Frische<br />

Spaltflächen lassen sich durch Abziehen mit Klebeband schnell und einfach präparieren. Die<br />

inerten Oberflächen von HOPG bleiben ausreichend lange frei von Kontaminaten.<br />

Parameter für Die <strong>STM</strong>-Abbildung:<br />

- Senkrechtes Ausrichten der Probe zur Nadelspitze. (Dazu Winkel zwischen<br />

Horizontaler und Probenoberfläche messen und entsprechend X- bzw. Y-Loop<br />

einstellen.)<br />

- constant height mode:<br />

- I-Gain: 4<br />

- P-Gain: 0<br />

- Tip-Current-Mode<br />

- Scanweite 7-2nm<br />

Das Erreichen atomarer Auflösung erfordert oftmals Geduld. Wesentlich ist vor allem ein<br />

stabiler Tunnelkontakt (Oszilloskop beobachten!). Bei instabilem Tunnelkontakt zunächst<br />

verschiedene Probenstellen probieren (wegen eventueller Verunreinigungen etc.), notfalls<br />

muß die Spitze gewechselt werden. Versuchen Sie Graphit auch mit dem constant current<br />

mode abzubilden (entsprechenden Datentyp einstellen). Warum ist das deutlich schwieriger?<br />

Da die meisten <strong>STM</strong>s <strong>im</strong> atomaren Maßstab über das Graphitgitter kalibriert werden, stellt<br />

sich die Frage, ob das <strong>im</strong> <strong>Praktikum</strong> verwendete Gerät richtig kalibriert ist. Messen Sie dafür<br />

die Gitterkonstante, wie sie sich in Ihrem <strong>STM</strong>-Bild darstellt und vergleichen Sie sie mit den<br />

bekannten Werten. Wie groß (in %) ist die Abweichung?


Warum beträgt <strong>im</strong> <strong>STM</strong> Bild der Abstand sichtbarer Atome 2.46Å, obwohl in der Schicht der<br />

Abstand benachbarter Atome 1.42 Å beträgt? Wie läßt sich der atomare Aufbau des Graphit<br />

mit dem <strong>STM</strong> Bild in Einklang bringen? Hinweis: In einer Graphit Lage sind die Atome nur<br />

an den Ecken eines regelmäßigen Hexagons angeordnet, wohingegen <strong>im</strong> <strong>STM</strong> Bild ein<br />

zusätzliches Atom <strong>im</strong> Zentrum beobachtet wird?<br />

links: Modell einer einzelnen Graphit Lage rechts: <strong>STM</strong> Bild von Graphit (2x2nm²)


ANHANG<br />

A. Der Regelkreis:<br />

Gemäß ihrer Definition nach DIN ist die Regelung „ein Vorgang, bei dem eine Größe, die<br />

Regelgröße, fortlaufend erfaßt, mit einer anderen Größe, der Führungsgröße, verglichen und<br />

abhängig vom Ergebnis dieses Vergleichs <strong>im</strong> Sinne der Angleichung an die Führungsgröße<br />

beeinflußt wird.“ Der sich somit ergebende Kreis heißt Regelkreis und wird genau dann<br />

benötigt, wenn nicht vernachlässigbare Störgrößen (die oft nicht genau bekannt sind) auf den<br />

Prozeß einwirken können.<br />

Allgemein verwendet man folgende Vorgehensweise:<br />

1) Messung der Regelgröße y<br />

2) Bildung der Differenz von Sollwert w und Istwert y: e = w - y<br />

3) Verarbeitung dieser Regelabweichung e derart, daß durch Veränderung der Stellgröße u die<br />

Regelabweichung verkleinert bzw. möglichst beseitigt wird.<br />

Ein Regelkreis läßt sich zweckmäßigerweise durch ein Übertragungsglied charakterisieren.<br />

Dieses ist vollständig best<strong>im</strong>mt, wenn man zu jedem Eingangssignal e(t) das zugehörige<br />

Ausgangssignal y(t) kennt: y = φ(e). Dabei ist φ ein Operator, der vom gesamten bisherigen<br />

Verlauf der Eingangsgröße abhängen kann. Dieser Operator ist jedoch i.d.R. nur<br />

unvollkommen best<strong>im</strong>mbar, weswegen man stattdessen die Reaktion des Systems auf<br />

best<strong>im</strong>mte Standard-Eingangssignale untersucht. Ein solches Standard-Eingangssignal ist die<br />

Sprungfunktion e(t) = 0 für t < 0 und e(t) = e 0 für t ≥ 0. Aus dieser Sprungfunktion ergibt sich<br />

die Übergangsfunktion. Im einfachsten Fall verwendet man einen Zweipunktregler, der<br />

lediglich ein/aus regeln kann. Dieser kennt nur das Vorzeichen der Regelabweichung (Istwert<br />

zu groß oder zu klein), nicht aber den absoluten Wert. Dadurch neigt dieser Regler dazu, um<br />

den Sollwert zu schwingen. Abhilfe schafft hier die Einführung einer kontinuierlichen<br />

Stellgröße, die den Betrag der Regelabweichung mit betrachtet. Diese Eigenschaft ist <strong>im</strong><br />

sogenannten PID-Regler berücksichtigt, welcher in allen gängigen <strong>STM</strong>s <strong>zum</strong> Einsatz kommt.<br />

Bei diesem Regler wird die Stellgröße X aus der Regelabweichung e durch eine Summation<br />

über drei Terme erreicht:<br />

t<br />

⎡ 1<br />

X t g K e t e d T de () t ⎤<br />

() = ⎢ p<br />

() + ( ) +<br />

D<br />

⎣ T<br />

∫ τ τ ⎥<br />

I<br />

dt<br />

−∞<br />

⎦ (A.1)<br />

Die drei Summanden repräsentieren dabei den Proportional-, Integral- und Differentialanteil<br />

am Verhalten des PID-Reglers. X(t) hängt also neben der Regelabweichung e noch von drei


Konstanten ab: g (Verstärkungsfaktor), T I (Integralzeit oder Nachstellzeit) und T D<br />

(Differentialzeit oder Vorhaltezeit). Diese drei Werte werden am <strong>STM</strong> vom Benutzer so<br />

eingestellt, daß der Regelkreis schnell genug arbeitet (um Kontakt von Probe und<br />

Tunnelspitze zu vermeiden) und gleichzeitig stabil genug arbeitet (um Schwingungen<br />

auszuschließen). Gleichzeitig ist darauf zu achten, daß der Einfluß des Regelkreises die<br />

Messung nicht <strong>im</strong> Übermaß stören darf.<br />

B. Spitzenpräparation:<br />

Das Herstellen qualitativ hochwertiger Spitzen ist der schwierigste Teil der <strong>STM</strong>-Bedienung.<br />

Für gewöhnlich braucht es etwas Geduld und Übung um Spitzen für atomare Auflösung<br />

herzustellen.<br />

Zuerst müssen die zu verwendenden Werkzeuge (2 Zangen, Pinzette) mit Ethanol gereinigt<br />

werden. Dabei ist es förderlich Laborhandschuhe zu tragen.<br />

Der PtIr-Draht sollte ausschließlich mit diesen gereinigten Werkzeugen berührt werden.<br />

Nachdem man ein Stück des Drahtes mit der Greifzange festhält wird unter spitzem Winkel<br />

der Seitenschneider angesetzt. Der Draht wird nun jedoch nicht durchschnitten, sondern<br />

abgezogen um ein möglichst spitz zulaufendes Ende zu erhalten.


C. Literatur:<br />

Einführendes Werk <strong>zum</strong> Thema <strong>STM</strong> und einzige deutsche Monographie:<br />

[1] C. Hamann, M. Hietschold: Raster-Tunnel-Mikroskopie. Akademie-Verlag,<br />

Berlin, 1991<br />

Weiterführende Darstellungen sind z.B.:<br />

[2] R. Wiesendanger, H.-J. Güntherodt: Scanning Tunneling Microscopy I.<br />

Springer, 1994<br />

[3] R. Wiesendanger: Scanning probe microscopy and spectroscopy: Methods and<br />

applications. Cambridge University Press, 1994<br />

[4] N. J. DiNardo: Nanoscale characterization of surfaces and interfaces.<br />

VCH Weinhe<strong>im</strong>, 1994<br />

Allgemeine Physikbücher mit Abschnitten zur Raster-Tunnel-Mikroskopie sind z.B.:<br />

[5] P. A. Tipler: Physik. Spektrum-Verlag, Heidelberg 1994<br />

[6] L. Bergmann, C. Schäfer: Lehrbuch der Exper<strong>im</strong>entalphysik. de Gruyter, Berlin<br />

Regeln und Steuern:<br />

[7] Hütte. Die Grundlagen der Ingenieurwissenschaften. Springer 1991<br />

Allgemeine Werke zur Festkörperphysik:<br />

[8] Ch. Weißmantel, C. Hamann: Einführing in die Festkörperphysik. Akademie-Verlag<br />

[9] Ch. Kittel: Festkörperphysik. Oldenbourg-Verlag

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