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Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

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[129] L. Nevot und P.

[129] L. Nevot und P. Croce, Characterisation of surfaces by grazing X-Ray reflection, Revue de Physique Appliquee 15(3), 761-779 (1980). [130] M.Meier et al., Electron Device Letters 30(1), 8-10 (2009). [131] D. K. Sarkar et al., Journal of Applied Physics 97, 084302 (2005). [132] M. Meier et al., Proceedings IEEE International Conference on Ultimate Integration on Silicon 2009, 141-146 (2009). [133] Unity Semiconductor Corporation, www.unitysemi.com, US-Patent: USPTO Application #: 20080084727 135

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