Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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4 DIE HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN<br />
20 nm. Die Füllungseffizienz in [%] beschreibt darin das Verhältnis aus dem Volumen,<br />
welches nicht vollständig gefüllt wurde, zu dem Gesamtvolumen der Zuleitungs- und<br />
Kontaktperipherie. Die Volumina wurden durch optische Mikroskopaufnahmen<br />
vermessen.<br />
a) b)<br />
Abbildung 4.17: Unvollständig gefüllte Kontaktflächen a) und Zuleitungen b) der<br />
Elektroden-Strukturen durch eine zu geringe Initial-Lackdicke von ~ 20 nm.<br />
Füllungseffizienz [%]<br />
70<br />
60<br />
50<br />
40<br />
30<br />
20<br />
10<br />
8 bit<br />
16 bit<br />
32 bit<br />
0 0,5 1 1,5<br />
Peripheriefläche [mm 2 ]<br />
Füllungseffizienz [%]<br />
100<br />
70<br />
40<br />
10<br />
32 bit<br />
16 bit<br />
8 bit<br />
0,7 1,85 3<br />
Feststoffgehalt [%]<br />
Abbildung 4.18: Füllungseffizienz des<br />
Imprint-Stempels in Abhängigkeit der zu<br />
füllenden Peripheriefläche (Kontaktfläche<br />
und Zuleitungsfläche) der Elektrodenstrukturen<br />
bei <strong>einer</strong> initialen Lackdicke von<br />
20 nm.<br />
Abbildung 4.19: Füllungseffizienz in<br />
Abhängigkeit des Feststoffgehaltes des UV-<br />
Lacks NX-2010 <strong>für</strong> unterschiedliche<br />
Elektroden-Peripherieflächen der Crossbar-<br />
Array-Strukturen.<br />
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