Verteidigung des Großen Beleges
Verteidigung des Großen Beleges
Verteidigung des Großen Beleges
WENIGER ANZEIGEN
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
2 Verwendete Regelungsverfahren<br />
Allgemeiner Regelkreis<br />
w(t) Führungsgröße (Sollwert)<br />
e(t) Regelabweichung ( = w(t) - x(t))<br />
y(t) Stellgröße (Elektronenstrahlleistung P)<br />
x(t) Regelgröße (Istwert, Schichtdicke in µm)<br />
TU Dresden, 23.10.2008 <strong>Verteidigung</strong> Großer Beleg Folie 8 von 46
Change language