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Eigenschaften - Walter Schottky Institut - Technische Universität ...

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Metallorganische

Metallorganische VerbindungenAusgangsstoffe für Gasphasenepitaxie (MOVPE)Zusammensetzung :Metall + organischer Restz.B.: Tri Methyl Indium = TMIn, In(CH 3 ) 3Vorhandene Verbindungen: TMGa, TEGa, TMIn, TMSb, DMZnEigenschaften:Wirkung:- farblose, ölige Flüssigkeiten (TMIn fest)- Dampfdrücke < 100 mbar- selbstentzündlich an Luftbei Verbrennung Entstehung giftiger Metallstäube lungenschädigendBä Brände löschen mit itSand, Pulver oder CO 2 !(nicht mit Wasser oder Halonen!)Walter Schottky InstitutTechnische Universität München

Gaslager im UntergeschossMediengang (frei halten!)AsH 3 3, PH 3ChlorideSiH 4 , CH 4 , H 2…GaslagerWalter Schottky InstitutTechnische Universität München

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WERKSTOFFE DER ELEKTROTECHNIK - Walter Schottky Institut
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