Modulhandbuch des Fachbereichs Physik Studiengänge
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Studien- und Prüfungsleistungen:<br />
Medienformen:<br />
Versuche zum Thema „Reinraum“ durchgeführt,<br />
da die Studenten im Mikrosystemtechnik-<br />
Praktikum das Arbeiten im Reinraum kennenlernen.<br />
a) Prüfungsleistung: Klausur (90 Minuten)<br />
b) Prüfungsvorleistung: Laborarbeit<br />
Literatur: • M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und<br />
Praxis in der Vakuumtechnik, Verlag Vieweg &<br />
Sohn<br />
• L. Gail, H-P. Hortig: Reinraumtechnik, Springer<br />
Verlag<br />
• Dr. W. Umrath: Grundlagen der Vakuumtechnik,<br />
Leybold<br />
• Eichmeier, Heynisch: Handbuch der Vakuumelektronik,<br />
R. Oldenbourg Verlag<br />
• Zeitschriftenreihe „Vakuum in der Praxis“<br />
• K. Diels, R. Jaeckel: Leybold Vakuum<br />
Taschenbuch, Springer Verlag<br />
Seite 28 von 82
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