8. Analytische Elektronenmikroskopie
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Energiedispersive Röntgenmikroanalyse<br />
❖ Grundlage ist die GeneraFon charakterisFscher Röntgenstrahlung<br />
❖ emiBerte charakterisFsche Röntgenstrahlung spezifisch für das ionisierte<br />
Atom<br />
EDS<br />
Röntgenstrahlen<br />
p-i-n<br />
gekühlter<br />
Detektor<br />
Ladungspuls<br />
Computer<br />
hsl 2009 – Charakterisierung von Nanostrukturen – <strong>Analytische</strong> Elektronemikroskopie<br />
Energie<br />
Pulsprozessor Vielkanalanalysator<br />
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