Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...

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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...

Forschungszentrum Jülich GmbH

Institut für Photovoltaik

Untersuchung des reaktiven

Sputterprozesses zur Herstellung

von aluminiumdotierten Zinkoxid-

Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen

Jürgen Hüpkes

Schriften des Forschungszentrums Jülich

Reihe Energietechnik / Energy Technology Band / Volume 52

ISSN 1433-5522 ISBN 3-89336-435-8

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