Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...

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Druck: Grafische Medien, Forschungszentrum Jülich GmbH

Copyright: Forschungszentrum Jülich 2006

Schriften des Forschungszentrums Jülich

Reihe Energietechnik / Energy Technology Band / Volume 52

D 82 (Diss., RWTH Aachen, 2005)

ISSN 1433-5522

ISBN 3-89336-435-8

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