Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...
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Bibliografische Information Der Deutschen Bibliothek<br />
Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen<br />
Nationalbibliografie; detaillierte Bibliografische Daten sind im Internet<br />
über abrufbar.<br />
Herausgeber: Forschungszentrum Jülich GmbH<br />
Zentralbibliothek<br />
D-52425 Jülich<br />
Telefon (02461) 61-5368 · Telefax (02461) 61-6103<br />
e-mail: zb-publikation@fz-juelich.de<br />
Internet: http://www.fz-juelich.de/zb<br />
Umschlaggestaltung: Grafische Medien, Forschungszentrum Jülich GmbH<br />
Druck: Grafische Medien, Forschungszentrum Jülich GmbH<br />
Copyright: Forschungszentrum Jülich 2006<br />
Schriften <strong>des</strong> Forschungszentrums Jülich<br />
Reihe Energietechnik / Energy Technology Band / Volume 52<br />
D 82 (Diss., RWTH Aachen, 2005)<br />
ISSN 1433-5522<br />
ISBN 3-89336-435-8<br />
Alle Rechte vorbehalten. Kein Teil <strong>des</strong> Werkes darf in irgendeiner Form (Druck, Fotokopie oder<br />
in einem anderen Verfahren) ohne schriftliche Genehmigung <strong>des</strong> Verlages reproduziert oder<br />
unter Verwendung elektronischer Systeme verarbeitet, vervielfältigt oder verbreitet werden.
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