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Ausheiztemperatur von

Ausheiztemperatur von 2500 K dominiert die WC Phase. In den Proben mit hoher Wolframkonzentration bildet sich ausschließlich des WC Phase aus. Die Kristallgröße variiert in den unterschiedlichen Karbidphasen zwischen 2 nm und 1 μm. Mit der Untersuchung speziell gebildeter Multischichten wurde der Zusammenhang zwischen der Kristallgröße und der Wolframkonzentration bestätigt. Mit steigendem Wolframanteil nimmt die durchschnittliche Kristallgröße zu. Die Ergebnisse dieser Studie können für die Erstellung von Proben bzw. Beschichtungen mit definierten Eigenschaften (Karbidphasen, Kristallgröße) genutzt werden. Aussagen über den industriellen Nutzen können jedoch nicht getroffen werden. iv

Content Abstract…………………………………………………………..……….i Zusammenfassung.………………………………..…………..………...ii 1. Introduction…………………………………………………….…….….1 1.1. Nuclear Fusion……………………………………………….……...1 1.2. Plasma Facing Material………………………………………..….… 3 1.3. Aim of work…………………………………………..…..…..….…4 2. Background knowledge……………………………….……..……….….6 2.1. Magnetron Sputter Deposition………………………...…………...6 2.2. Rutherford Back-scattering Spectroscopy (RBS) ………….….…...8 2.3. Scanning Electron Microscope (SEM)…………………..…..…….10 2.3.1. Focused Ion Beam (FIB)………………….……....……11 2.4. X-ray Diffraction (XRD) ………………………..………....…..13 2.4.1. Setup……………………………………………..……..13 2.4.2. Crystal sizes…………………….……………………..15 2.4.3. Texture……………….………………………………..16 2.4.4. ICDD database……………………………….……..16 2.4.5. XRD diffractogram……………………..…..………..17 2.5. W-C phase diagram…………………………………………….…..18 3. Experiment…………………….………………… ……18 3.1. Preparing samples………………….……….…..………18 3.2. Deposition………………………………………. …….21 4. Result……………………………………………… …..24 v

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