paper - UCSD VLSI CAD Laboratory

vlsicad.ucsd.edu

paper - UCSD VLSI CAD Laboratory

ÏÖ ÌÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÔØÐ ÈÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒ ÓÖ

ØØÖ Ç ÅÖÒ Ò ÓÒØÖÓÐ

ÈÙÒØ ÙÔØ Ý¸ ÒÖÛ º ÃÒ ÝÞ߸ ÙйÀÓÒ ÈÖ Þ¸ ÃÑÞ ËÑ Þ Ò Ù Ù ß

Ý ÐÞ Å¸ ÁÒº ËÙÒÒÝÚи ¼

Þ ÔÖØÑÒظ Í˸ Ä ÂÓÐи ¾¼¿

ß Ë ÔÖØÑÒظ Í˸ Ä ÂÓÐи ¾¼¿

ÔÙÒظÐ޹ѺÓѸ ÔÖ¸ÑÞÚÐ׺Ù׺ٸ ÜÙÜÙ׺Ù׺Ù

ËÌÊÌ

ÔØ Ó ÓÙ× × Ø ÑÓÖ ÓÒØÖÙØÓÖ ØÓ ÐØÓÖÔ ÔÖÓ×× ÑÖÒº ÇÒ Ó Ø ÑÓÖ Ù×× Ó ÓÙ× ÚÖØÓÒ

× ÑÔÖØ ÔÐÒÖÞØÓÒ Ó ÖØÓÒ ÐÝÖ׺ ÈÖ×ÒØÐݸ ÇÈ ´ÇÔØÐ ÈÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒµ ÑØÓ× Ö

ÓÐÚÓÙ× ØÓ Ø ÔÖØÐ ÒØÙÖ Ó ÓÙ× ÚÖØÓÒ Ö×Ò ÖÓÑ ÛÖ ØÓÔÓÖÔݺ × Ö×ÙÐظ ×ÒÖ×

×Ù«Ö ÖÓÑ ÑÒÙØÙÖÒ ÝÐ ÐÓ×׸ × ÛÐÐ × ÐÓ×× Ó ×Ò ÕÙÐØÝ ØÖÓÙ ÙÒÒ××ÖÝ ÙÖÒÒº ÁÒ

Ø× ÛÓÖ¸ Û ÔÖÓÔÓ× ÒÓÚÐ ­ÓÛ Ò ÑØÓ ØÓ ÖÚ ÇÈ ÛØ ØÓÔÓÖÔÝ ÑÔ Ó Ø ÐÝÓÙØ ØØ ×

ÒÖØ Ý ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒº Ì ÛÖ ØÓÔÓÖÔÝ ÚÖØÓÒ× Ö×ÙÐØ Ò ÐÓÐ ÓÙ׸ Û Û ÜÔÐØÐÝ

ÑÓÐ Ò ÓÙÖ ÇÈ Ò×ÖØÓÒ Ò ÚÖ¬ØÓÒ ­ÓÛ׺ ÇÙÖ ÜÔÖÑÒØÐ ÚÐØÓÒ Ù×× ¼ÒÑ ÓÙÒÖÝ ÐÖÖ×

Ò ÒÙ×ØÖݹ×ØÖÒØ ÇÈ Ò ×ØØÖÒ Ö ÖÔ׺ Ï ¬Ò ØØ Ø ÔÖÓÔÓ× ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÈ Ò

ÝÐ ÙÔ ØÓ ¼± ÖÙØÓÒ Ò ÔÐÑÒØ ÖÖÓÖ× Ø Ø Ó×Ø Ó ÐØØÐ ÒÖ× Ò Ñ× Ó×غ

½º ÁÆÌÊÇÍÌÁÇÆ

× ÓÔØÐ ÐØÓÖÔÝ ÚÒ× ÒØÓ Ø ¼ÒÑ ØÒÓÐÓÝ ÒÓ Ò ÝÓÒ¸ ÑÒÑÙÑ ØÙÖ ×Þ ÓÙØÔ× Ø

ÒØÖÓÙØÓÒ Ó ÚÒ ÐØÓÖÔÝ ÖÛÖ ×ÓÐÙØÓÒ׺ ÁÒ ÔÖØÙÐÖ¸ Ø ÑÒÑÙÑ ÔØ Ó ÓÙ× ÑÖÒ

ÖÕÙÖ ÓÖ ÑÒÙØÙÖÐØÝ Ó ÑØÐ ÐÝÖ× × ÜØÖÑÐÝ ÆÙÐØ ØÓ Ú Ù ØÓ ÒÓÒÔÐÒÖ ØÓÔÓÖÔݺ

ÖÓÓØ ÔÖÓÐÑ × ØØ ÔÖØÐ Ò ×Ý×ØÑØ ÚÖØÓÒ Ò ÔØ Ó ÓÙ× × ÒÓØ ÑÓÐ ÓÖ ÜÔÐÓØ

ÙÖÒ Ø ÔÔÐØÓÒ Ó ÚÒ ÖØÐ ÒÒÑÒØ ØÒÕÙ× ×Ù × ÓÔØÐ ÔÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒ ´Çȵ

Ò ×ÙÖ×ÓÐÙØÓÒ ×××Ø ØÙÖ ´Ëʵ Ò×ÖØÓÒº ÖÓÑ Ø ×ÒÖ ×ØÒÔÓÒظ Ø× Ö×ÙÐØ× Ò ÙÒÒ××ÖÝ

ÙÖÒÒ¸ ÆÙÐØ ÔÖÓÖÑÒ ÐÓ×ÙÖ¸ Ò Û×Ø ´Ö¸ Ðݸ ÔÓÛÖµ Ô Ö×ÓÙÖ׺ ÌÓ Ø ÜØÒØ

ØØ ÔØ Ó ÓÙ× × ØÖÑÒÒØ Ó ÔÖÓ×× ÛÒÓÛ¸ ×ÚÖÐ ÛÓÖ× Ò Ø ÐØÖØÙÖ ÐÒ ÛØ ÔÖÓ××

ÛÒÓÛ¹ÛÖ ÇÈ Ö ÛÓÖØ ÒÓØÒº ÛÓÖ Ó Ó Ò ÖÒ ½ ÔÖÓÔÓ×× ØÓ ×ÓÐÚ ÓÖ ÇÈ Ø ÒÓÒÞÖÓ

ÓÙ× ÚÐÙ ØÓ ÒÖ× ÔØ Ó ÓÙ× ´Çµ¸ Û × Ø ÑÓÙÒØ ÓÓÙ×ÚÖØÓÒ ØØ Ò ØÓÐÖØ

ÛÐ ÑÒØÒÒ ÔØÐ ÐØÓÖÔ ÕÙÐØݺ Ì ÔÔÖÓ Ó ½ ÑÒÑÞ× Ò ÓØÚ ØØ × ÙÒØÓÒ

Ó ÔÐÑÒØ ÖÖÓÖ ´Èµ Ò Ñ ×ÐÓÔ ÛØ Ö×ÔØ ØÓ Ó× È × Ø ÔÖÑÖÝ ÓØÚ¸ Ò Ñ

×ÐÓÔ × Ø ×ÓÒÖÝ ÓØÚº Ì ÄØÓÖÙ×Ö ÇÈ ×ÓØÛÖ ÖÓÑ ËÅÄ Å×ÌÓÓÐ× Ò ÓÔØÑÞ ÇÈ

×ÓÐÙØÓÒ× ÛØ ÖØÐ ÑÒ×ÓÒ ÙÒÓÖÑØݸ ÑÒ Ò ÝÐ × ÓØÚ׺ Ì ÔÔÖÓ ÒØÐ× ÅÓÒعÖÐÓ

×ÑÙÐØÓÒ Ó ÓÙ× Ò ÜÔÓ×ÙÖ ÛØ Ù××Ò ×ØÖÙØÓÒ׸ Ò ÖÐ Ñ ÑÓÐÒ ØÓ ÔÖØ ÖØÐ

ÑÒ×ÓÒº ÍÒÓÖØÙÒØÐݸ Ø× Ò ÓØÖ ÔÖÚÓÙ× ÑØÓ× Ö ÓÐÚÓÙ× ØÓ ×Ý×ØÑØ Ò ÔÖØÐ ÓÙ×

ÚÖØÓÒ ØØ Ö×× ÖÓÑ ÐÝÓÙعÔÒÒØ ÛÖ ØÓÔÓÖÔÝ ÚÖØÓÒº Ù× ÔÐݹ×ÙÛÚÐÒظ ¹

Æ ´ÒÙÑÖÐ ÔÖØÙÖµ ÐØÓÖÔÝ×ÚÖÝ ×Ò×ØÚ ØÓ ÓÙ׸ ÛÖ ­ØÒ×× × ÓÑ ÖØÐ ÓØÚ ÓÖ

ÖØÓÒ ÔÖÓ××׺ ÑйÑÒÐ ÔÐÒÖÞØÓÒ ´Åȵ × Ò ÒÐÒ ØÒÕÙ ØÓ Ú ØÒ××

ÙÒÓÖÑØÝ Ó ÐØÖ Ò ÓÒÙØÓÖ ÐÝÖ× Ò Ø Ôº ÙÑÑÝ ¬ÐÐ Ò×ÖØÓÒ × ÛÐйÒÓÛÒ ØÒÕÙ ØÓ

ÒÒ Ø ÙÒÓÖÑØÝ ÓÐÝÓÙØ ØÙÖ Ò×Øݸ ×Ó × ØÓ ÑÔÖÓÚ Ø ÔÐÒÖÞØÓÒ Ú Ý ÅȺ £ ÚÒ

ØÖ ÙÑÑÝ ¬ÐÐ Ò×ÖØÓÒ¸ ØÖ × ÖØ Ð Ó ÖÑÒÒ ÔÓ×عÅÈ ØÓÔÓÖÔ ÚÖØÓÒ Û × ÑÒ×Ø

£ÙÑÑÝ ¬ÐÐ Ò×ÖØÓÒ Ò× Ø ÓÙÔÐÒ Ò ØÓØÐ ÔØÒ Ó ÒØÖÓÒÒØ׸¿

Ò ØÙ× Ø×Ð ÒÙ× ×Ò

ÐÓ×ÙÖ ××Ù׺ ÀÓÛÚÖ¸ Ò Ø× ÛÓÖ Û Ó ÒÓØ Ö×× Ø ÕÙ×ØÓÒ Ó ÑÔÖÓÚ ¬ÐÐ ×ÝÒØ×× ØÓ ÖÙ ØÓÔÓÖÔ

ÚÖØÓÒº

844

Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII, edited by Masanori Komuro,

Proceedings of SPIE Vol. 5853 (SPIE, Bellingham, WA, 2005) · 0277-786X/05/$15

doi: 10.1117/12.620379


× ÐØÖ ÖÓ×ÓÒ Ò ÑØÐ ×Òº ÈÓ×عÅÈ ØÒ×× ÚÖØÓÒ× Ö ÒÓÛ ÒØÓÚ ×ÚÖ ÑÔØ ÓÒ

Ø ×ØÐØÝ ÓÓÛÒ×ØÖÑ ÔÖÓ×× ×ØÔ׸ Ò ÙÐØÑØÐÝ ÓÒ Ýк ÓÙ× ÓÖÖ×ÔÓÒÒ ØÓ Ø× ØÒ××

ÚÖØÓÒ ×ÚÖÐÝ «Ø× ÔØØÖÒÒ Ó Ø ×Ù×ÕÙÒØ ÙÔÔÖ ÐÝÖº Ý

ÇÔØÐ ÔÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒ ´Çȵ × ÛÐÝ Ù× Ö×ÓÐÙØÓÒ ÒÒÑÒØ ØÒÕÙ ÓÖ ÓÒØÖÓÐ Ó ÖØÐ

ÑÒ×ÓÒ ´µº ÏØ Çȸ ÔÓØÓÑ× ×Ô× Ö ÐÖØÐÝ ×ØÓÖØ ØÓ ÓÑÔÒ×Ø ÓÖ «ÖÒ ÑÓÙÒØ× Ó

ÔØØÖÒ ÒÓÖÑØÓÒ «ÖØ Ø ÚÖÓÙ× ÔØ׺ ÝÓÒ Ø ½¿¼ÒÑ ÒÓ¸ ×ÙÖ×ÓÐÙØÓÒ ×××Ø ØÙÖ ´Ëʵ

× ÇÈ ÛØ Ó«¹Ü× ÐÐÙÑÒØÓÒ ´ÇÁµ Ú× ÑÔÖÓÚ Ç ÑÖÒº ÀÓÛÚÖ¸ ØØÐÝ ÔÖ×Ö ×Ô¹

Ò ¹ Ò ÔÖØÙÐÖ¸ ×××عØÓ¹ÑÒ ÔØØÖÒ Ò ×××عØÓ¹×××Ø ¹ Ö Ò ØÓ ÔÖÚÒØ ËÊ× ÖÓÑ ÔÖÒØÒº ½¼

ËÙÐÝÓÙØ ×Ò ÓÒ×ØÖÒØ× Ö×ÙÐØ Ò ÓÖÒ ÔØ× ÛØ ×Ò¬ÒØÐÝ ÐÓÛÖ ÔÖÒØÐØÝ Ò ÖØÒ Ç Úй

Ù׺ ÌÙ׸ Ø ÒÙ×ØÖÝ × ÚÖ¹ÔÖ ÒØÖØÓÒ× ØÛÒ ÔÐÒÖÞØÓÒ¸ ÓÙ׸ Ò ÓÖÖØ ÔÐÓÝÑÒØ

Ó ÇȺ ÇÙÖ ÔÖ×ÒØ ÛÓÖ × ÑÓØÚØ Ý Ø Ø ØØ ÙÖÖÒØ ÇÈ ØÒÕÙ× Ó ÒÓØ ÓÒ×Ö ØÓÔÓÖÔݸ

Ò ØØ Ø× ÒÙÖ× ÚÖÝ ÐÖ ÔÖÓ×× ÚÖÐØÝ Ó×غ Ï ×Ö ÒÓÚÐ ÑØÓÓÐÓÝ ÓÖ ØÓÔÓÖÔݹÛÖ

ÇÈ ´ÌÇȵ ØÓ ÖØÐÝ ÓÒØÖÓÐ Ø ÖÖÓÖ ØØ × ÒÙ Ý ÒÓÒÔÐÒÖ ØÓÔÓÖÔݺ «ÖÒØ ÓÙ×

ÚÐÙ× Ò Ô Ö ÔÖØ Ý ØÒ×× ÚÐÙ× Û Ö ÜØÖØ Ý ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒº ÌÒ¸ ÐÐ ÑØÐ

ÐÒ× ÛØ «ÖÒØ ÓÙ× ÚÐÙ× Ö ÓÖÖØ Ý ÇÈ ÛØ «ÖÒØ ÓÔØлÖ××Ø ÑÓÐ׺ × Ö×ÙÐØ Ó Ø

ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓݸ Û Ó×ÖÚ ×Ò¬ÒØ ÖÙØÓÒ Ò ÖÖÓÖ¸ × ÚÐÙØ Ý ÒÙ×ØÖݹ×ØÖÒØ ÇÈ Ò

ÚÖ¬ØÓÒ ­ÓÛ× Ø Ø ¼ÒÑ ÒÓº ÁÒ Ø× ÔÔÖ¸ Û ¬Ö×Ø ÔÖ×ÒØ ÚÖÓÙ× ÒÐÝ×× Ó ÐØÓÖÔ ÔÖÒØÐØÝ

ÓÖ ÒÓÒÔÐÒÖ ØÓÔÓÖÔݺ Ï ØÒ ÔÖÓÔÓ× ÒÖÐ ÑØÓÓÐÓÝ ÓÖ ÌÇȺ ÇÙÖ ÑÒ ÓÒØÖÙØÓÒ× Ö ×

ÓÐÐÓÛ׺

¯ Ï ÒØÖÓÙ ÒÓÚÐ ÇÈ ØÒÕÙ ØØ × ÛÖ Ó ÔÓ×عÅÈ ÛÖ ØÓÔÓÖÔÝ ÚÖØÓÒº Ì× Ø¹

ÒÕÙ Ú× ×Ù×ØÒØÐ ÑÔÖÓÚÑÒØ Ò Ç ÑÖÒ Ò ÓÒØÖÓк

¯ Ì ÌÇÈ ÑØÓ ÑÝ Ð ØÓ ÔÓÓÖ ÓÖÖØÓÒ Ó ÔØØÖÒ× ØØ Ö ÐÓØ ÓÒ Ø ÓÙÒÖÝ Ó «ÖÒØ

Ç ÚÐÙ׸ Ù× ÓÒ ÔØØÖÒ × «Ø Ý Ø ÓØÖ ´Ø Ò ÒÓÖÖØ ××ÙÑ ÓÙ×µ ÙÖÒ Ø

ÇÈ Ò×ÖØÓÒº Ï ××Ò Ç ÚÐÙ× ØÓ ÐÝÓÙØ ØÙÖ× Ù×Ò ÖÙØÓÒ ØÓ ÑÜÑÙѹ­ÓÛ¸ ×Ó × ØÓ

ÔÖÚÒØ ÐÓ×ÐÝ ×Ô ÔØØÖÒ× ÖÓÑ Ò ××Ò «ÖÒØ ÓÙ× ÚÐÙ׸ ÛÐ ÝØ ÑÒØÒÒ ¬ÐØÝ

ØÓ Ø ØÓÔÓÖÔÝ ÑÔº

¾º ÌÁÄ ÅÇÌÁÎÌÁÇÆË ÇÊ ÌÇÈ

Ï ÑÓØÚØ ÓÙÖ ÛÓÖ ÓÒ ÌÇÈ ÛØ ÙÖ ½´µ¸ Û ×ÓÛ× ÓÛ Ò× ÖÓÒ× ´ºº¸ Ò ÓÔÔÖ¹ÓÜ

ÔÓÐ×Òµ ÛÐÐ Ú ÔÖØÐÝ ÐÖÖ ÔÓ×عÅÈ ØÒ×× ÓÑÔÖ ØÓ ×ÔÖ× ÖÓÒ׺ Ì ÔØ¹Ó ÓÙ×

´Çµ ÚÖØÓÒ ÓÖÖ×ÔÓÒÒ ØÓ Ø ØÒ×× ÚÖØÓÒ ×ÚÖÐÝ «Ø× ÑØÐ ÔØØÖÒÒ Ó Ø ×Ù×ÕÙÒØ

ÙÔÔÖ ÐÝÖ¸ × ×ÓÛÒ Ò ÙÖ ½´µ ´Ö×ÙÐØ× ÓØÒ Ù×Ò ËÇÄÁ¹ ÐØÓÖÔÝ ×ÑÙÐØÓÒ ÖÓÑ Ëѹµº

¾º½º ËØÒÖ Ú׺ ÌÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÈ Ò ÇÊ

Ï Ð×Ó ÑÓØÚØ ÛÖ ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÈ Ý ÓÒ×ÖÒ Ø ×ÓÒÒØ ØÛÒ ÓÙ×¹ÛÖÒ×× Ò

ÓÙ×¹ÙÒÛÖÒ×׸ ÒÓØ ÓÒÐÝ Ò Ø ÇÈ Ò×ÖØÓÒ ÙØ Ð×Ó Ò Ø ÓÔØÐ ÖÙÐ× Ò ´Çʵ ×ØÔ ØØ ×

ÔÓ×عÇÈ ÔÖÒØ Ñ× Ò×Ø ÖÛÒ ×Ô׺ Ï ×ØÒÙ× ØÛÓ Ò× Ó ÇÈ ÑØÓÓÐÓݸ ×ØÒÖ Ò

ØÓÔÓÖÔݹÛÖº ÁÒ ×ØÒÖ ÇÈ ´ËÇȵ¸ Ø ××ÙÑÔØÓÒ × ØØ ÒÝ ÔÖØÙÐÖ ÐÝÖ × ­Ø Ò ØÖÓÖ

ÓÙ× ÚÐÙ Ó ÞÖÓ × ÓÒ×Ö ÓÖ ØØ ÐÝÖº Ì× ÒÓÖÖØ ××ÙÑÔØÓÒ ÛÐÐ Ð ØÓ ÚÖØÓÒ Ó

Ø ÑØÐ ØÙÖ ØØ ÛÐÐ ÔÐ ÓÒ ØØ ÐÝÖº ÌÓ ÐÖÐÝ ÐÐÙ×ØÖØ Ø ÚÖØÓÒ Ò ËÇȸ ÙÖ ¾

ÓÑÔÖ× Ø Ö××Ø Ñ Ó ÑØÐ ÐÒ× Ò ¼º¼Ñ Ç ÛØ Ø Ñ Ò ¹¼º¿Ñ Ǻ × Ó ÑØÐ ÐÒ× Ò

¹¼º¿Ñ ØÓÔÓÖÔÝ ÒÒÓØ ÓÖÖØ Ý Ø ËÇÈ ÛØ ÞÖÓ ÓÙ× ÚÒ Ø ÖØÓÒ ØÖ Ø

ÇÈ × ×ÓÑÓÛØØÖ ØÒ ØØ ÓÖ ÇȺ ÇÒ Ø ÓØÖ Ò¸ Ø ØÒ×× ÚÖØÓÒ Ó Ø ÐÝÖ ×

ØÒ ÒØÓ ÓÙÒظ ÇÈ Ò Ù×Ø Ø× ÔÖÓ×× ÓÖÒÐݺ ÓÒ×ÖÒ ÇÈ Ò ÇÊ ØÓØÖ¸ ØÖ Ö ÓÙÖ

ÓÑÒØÓÒ׸ ×ÓÛ ÒÒÌÐ ½º Ï ÜÔÐÓÖ Ø «ØÚÒ×× Ó ÓÑÒØÓÒ ×ÔÖØÐÝ Ò Ø ÓÐÐÓÛÒ

×Ù××ÓÒº

Ý

ÌÖ × ÐØÖ ÔÓ×ØÓÒ Ò Ö××Ø ×ÔÒ¹ÓÒ ØÖ Åȸ Ò Ø ÔÖӬРÓÐÐÓÛÒ Ø× ØÛÓ ×ØÔ× × ÑÓÖ

ÙÖØ ÖÔÖ×ÒØØÓÒ Ó Ø ÛÖ³× ÓÙ× ÑÔº ÁÒ Ø ÔÖ×ÒØ ÛÓÖ¸ Û ××ÙÑ ØØ Ø ÔÓ×ØÓÒ Ò ×ÔÒ¹ÓÒ

ÔÖÓ××× ÓÒÓÖÑ ØÓ Ø ÔÓ×عÅÈÔÖӬи × × ØÝÔÐÐÝ Ø ×º

Proc. of SPIE Vol. 5853 845


t 1

t 2

Post-CMP

(a)

Metal Layer

(b)

ÙÖ ½º ´µ Ë ÚÛ ×ÓÛÒ ØÒ×× ÚÖØÓÒ ÓÚÖ ÖÓÒ× ÛØ Ò× Ò ×ÔÖ× ÐÝÓÙغ ´µ ÌÓÔ ÚÛ ×ÓÛÒ

ÚÖØÓÒ ÛÒ ÐÒ × ÔØØÖÒ ÓÚÖ ÖÓÒ ÛØ ÙÒÚÒ ÛÖ ØÓÔÓÖÔݸ ºº¸ ÙÒÖ ÓÒØÓÒ× Ó ÚÖÝÒ

ÓÙ׺

0.0DOF

-0.3DOF

(a)

OPC layer

Originalmetal

(b)

R esistImage

0.0DOF

-0.3DOF

(c)

(d)

ÙÖ ¾º ËØÒÖ ÇÈ ×ÑÙÐØÓÒ ´µ ÓÖÒÐ ÐÝÓÙØ Ò ×ÑÙÐØÓÒ Ö×ÙÐØ ÛØ ÞÖÓ Ç ÑÓи ´µ ÓÖÒÐ ÐÝÓÙØ

Ò ×ÑÙÐØÓÒ Ö×ÙÐØ ÛØ ¹¼º¿Ñ Ç ÑÓÐ Ò Ø ÒÓÒÔÐÒÖ ØÓÔÓÖÔݸ ´µ ×ØÒÖ ÇÈ ÐÝÓÙØ Ò ×ÑÙÐØÓÒ

Ö×ÙÐØ ÛØ ÞÖÓ ÓÙ× ÑÓи Ò ´µ ×ØÒÖ ÇÈ ÐÝÓÙØ Ò ×ÑÙÐØÓÒ Ö×ÙÐØ ÛØ ¹¼º¿Ñ Ç ÑÓÐ Ò Ø

ÒÓÒÔÐÒÖ ØÓÔÓÖÔݺ

ÇÈ ÑØÓ ÇÊ ÑØÓ ¡ ´ÖÛÒ Ú׺ ÈÖÒص

ËÌ ËÌ ¼

ËÌ Ì¹ ¼

̹ ËÌ ¼

̹ ̹ ¼

ÌÐ ½º ÓÙÖ «ÖÒØ ÓÑÒØÓÒ× Ó ÇÈ Ò ÇÊ ËÌ Ò Ì¹ Ö×ÔØÚÐÝ ÒØ ×ØÒÖ Ò ØÓÔÓÖÔݹ

ÛÖ ÑØÓÓÐÓ׺

ÁÒ ÌÐ ½¸ ËÌ Ò Ì¹ ×ØÒ ÓÖ ×ØÒÖ Ò ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÑØÓÓÐÓ׸ Ö×ÔØÚÐݺ ÌÓ ÜÔÐÒ

Ø× ÓÑÒØÓÒ׸ ××ÙÑ ØØ Ò ¼ÒÑ ØÒÓÐÓݸ Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÚÐÙ × ·»¹¼º¿ÙÑ ´¡µ

846 Proc. of SPIE Vol. 5853


ÓÖ ÑÒÙØÙÖÒº Ï Ð×Ó ÖÖ ØÓ Ø ØÒ×× ÚÖØÓÒ Ó Ø ÐÝÖ × º Ï Û× ØÓ Ñ Ø × ØØ

ÛÒ ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÈ Ò ÇÊ Ö ÑÔÐÓݸ ÚÖØÓÒ ÛÐÐ ÑÒÑÞº

¯ ÙÖ ¿´µ ×ÓÛ× Ø × ÛÒ Ø ÓÑÒØÓÒ Ó ×ØÒÖ ÇÈ Ò ×ØÒÖ ÇÊ × Ù׺ ËØÒÖ

ÇÈ ÒÓÖ× ØÒ×× ÚÖØÓÒ¸ Ò ÓÙ× ÚÐÙ Ó ¼ × ××Ò ØÓ Ø ÐÝÖ Ì ¼º Á ØÖ × ÒÓ

ØÒ×× ÚÖØÓÒ¸ Ø× ÓÑÒØÓÒ Ð× ØÓ ×ÑÐÐ ÚÖØÓÒ Ù× ÇÈ Ò ×ÐÝ ÜÔÐÓØ Ø

ÔØ ÔÒÒÝ Ó º ÀÓÛÚÖ¸ Ø ÔÖÓÐÑ ÛØ Ø× ÑØÓ × ØØ Ø ÔÖÑ× Ó Ò ÚÒ ØÓÔÓÖÔÝ

× ÛÖÓÒº ÁÒ ÓØÖ ÛÓÖ׸ Ù ØÓ ÅÈ ÔÖÓ×× «Ø׸ Ø ÐÝÖ × ÒÓØ ÜØÐÝ ­Øº

¯ ÙÖ ¿´µ ×ÓÛ× Ø × ÛÒ ËÇÈ × Ù× ÛØ ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÊ ´ÌÇʵº ÁÒ Ø× ×¸ ØÖ ×

×ØÐÐ ÒÓ ÓÒ×ÖØÓÒ Ó ØÒ×× ÚÖØÓÒ ÙÖÒ Ø ÇÈ ÔÖÓ×׸ ÙØ ÇÊ ×ÛÖ Ó Ø ØÓÔÓÖÔݸ

Û Ò× Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÚÐÙ ×Ø Ý Çʺ ÁÒ ÒÖи Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ

ÓÙ× ÚÐÙ ×Ø Ý ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÊ × ÖÚ × ´Ì ·»¹ ¡µ ÛÖ Ì × Ø ÓÙ× ÚÐÙ ×Ø

ÓÖ ×Ô¬ ÖÓÒ Ó Ø ÐÝÖ Ò ¡ × Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÚÐÙ ×Ø Ý ×ØÒÖ Çʺ

ËÒ ËÇÈ ××Ò× ÞÖÓ ÓÙ× ØÓ Ø ÐÝÖ¸ Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÖÒ ÓÖ ÇÊ × Ù×Ø ·»¹ ¡º ÇÒ

Ø ÓØÖ Ò¸ ÌÇÊ × Ò Ù×Ø ÓÖÒ ØÓ Ø ØÓÔÓÖÔݺ ÁÒ ÙÖ ¿¸ Û ××ÙÑ ØØ Ì ¼

× ÞÖÓ ÓÙ× Ò Ì ½ × ¹¼º½Ñ ÓÙ׺ Ì× Ò× Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÚÐÙ ×Ø Ý

ÇÊ ÓÖ Ì ¼ ÛÚ ÖÒ Ó ¹¼º¿ ØÓ ¼º¿ Ò ÓÖ Ì ½ Ø ÖÒ × ÖÓÑ ¹¼º ØÓ ¼º¾º ËÒ Ø ÐÐÓÛÐ

ÖÒ ÓÖ ËÇÈ × ÖÓÑ ¹¼º¿ ØÓ ¼º¿¸ Û ÛÐÐÚ ÚÖØÓÒ ÒÖØ Ø Ì ½ Ù ØÓ Ñ×ÑØ ØÛÒ

Ø ÇÈ Ò Çʺ

¯ Ì ØÖ ÓÑÒØÓÒ¸ Û ÑÔÐÓÝ× ÌÇÈ Ò ×ØÒÖ Çʸ × ÒÓØ Ó ÒØÖ×Ø × ÛØ Ø ¬Ö×Ø

ÓÑÒØÓÒ¸ Ø ÒØÖ ÔÖÑ× Ó Ø ÑØÓ × ÙÐØݺ ËÒ ÇÈ × ÛÖ Ó Ø ØÓÔÓÖÔݸ ØÛÐÐ

Ù×Ø ÓÖÒÐݸ ÙØ ×ØÒÖ ÇÊ ÛÐÐ ÒÓØ ÓÒ×Ö Ø Ò׺ ÓÖ ÜÑÔи Ì ½ ØØ × ÓÙ×

ÚÐÙ Ó ¹¼º½ ÛÐÐ Ú ÒÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÖÒ Ó ¹¼º ØÓ ¼º¾¸ ÙØ ×ØÒÖ ÇÊ ×ØÐÐ ÓÒ×Ö× ÖÒ

Ó ¹¼º¿ ØÓ ¼º¿º Ì× ÛÐÐ Ò Ð ØÓ ÚÖØÓÒ Ó Ø ÑØÐ ØÙÖº

¯ Ì ¬ÒÐ ÓÑÒØÓÒ ×ÓÙÐ ÝÐ Ø ×Ø Ö×ÙÐظ Ù× ÓØ Ø ÇÈ Ò ÇÊ Ö ÛÖ Ó Ø

ØÓÔÓÖÔÝ Ò ØÖÓÖ Ò Ù×Ø ÓÖÒÐݺ ÓÖ ÜÑÔи Ì ¼ ÛÐÐ Ú ÒÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÖÒ

Ó ¹¼º¿ ØÓ ¼º¿ ÛÖ× Ì ½ ÛÐÐ Ú ÓÙ× ÖÒ Ó ¹¼º ØÓ ¼º¾º ÌÙ׸ Ø ÔØØÖÒ ÓÒ Ì ½ ÛÐÐ ÑØ

ØÓÐÖÒ ÛØ ¹¼ºÑ Ǻ

T0 + D

T0 + D

X

T1 + D

T0

T0

X (thickness variation)

T1

T0 - D

T0 - D

X

T1 - D

(a)

(b)

¾º¾º Ó×Ø Ò ÉÙÐØÝ Ó ÇÈ

ÙÖ ¿ ÓÑÒØÓÒ× Ó ×ØÒÖ Ò ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ÇÈ Ò Çʺ

ÁÒÖ× ÔÔÐØÓÒ Ó ÇÈ Ñ× Ñ× Ø ÔÖÔÖØÓÒ ´Åȵ ÆÙÐØ ¬ÙÖ ÓÙÒØ× ÜÔÐÓ × ÑÒ×ÓÒ×

×ÖÒ Ò ÊÌ× Ö ÑÓÖ ÚÐÝ Ù׺ ÌÓ ÓÔØÑÞ Ø Ø ÚÓÐÙѸ ÓÒÚÒØÓÒÐ ÇÈ ÖÖÐÐÝ

ÖÓÖÒÞ× Ø ÒÔÙØ ËÁÁ Ø Ý ÖÙÒ Ø ÖÙÒÒØ ÖÔÖ×ÒØØÓÒ Ó ÒØÐ ÐÐ׺ ½½ Ì ×ÔØÐ

ÓÒØÜØ ÓÒ××ØÒ Ó ×Ù ÒØÐ ÐÐ× × ÙÒØ × Ø ÔÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒ ÔÖÓ×× ÚÐÙØ× «Ø× Ù

ØÓ ÒØ ÓÖ ÒÖÝ ØÙÖ× ÛØÒ Ø ÓÔØÐ ÖÙ× Ó Ò­ÙÒº ÌÙ׸ ÒØÐ ÓÒØÜØ× Ö ÓÖÖØ

ÓÒÐÝ ÓÒ¸ Û ÐÔ× ÖÙ ÓÖÖØÓÒ ØÑ Ò Ø ÚÓÐÙѺ ÇÙÖ ÔÖÓÔÓ× ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓÝ «Ø×

Proc. of SPIE Vol. 5853 847


ÖÖÐ ÓÑÔÓ×ØÓÒ Ó Ø ÐÝÓÙØ Ù× ÓÒØÜØ ÑÙ×Ø ÒÓÛ ÛØ Ö×ÔØ ØÓ ÓØ Ø ÔÖÓÜÑØÝ

«ØÓÒÓÖÒ ÔØØÖÒ׸ Ò Ø Ç ÚÐÙ× Ó Ø ØÓÔÓÖÔݺ ÁÒ ÔÖØÙÐÖ¸ ÒØÐ ÔØØÖÒ× ØØ Ö

××Ò ØÓ «ÖÒØ ÇÚÐÙ× ÒÓ ÐÓÒÖ Ü×Ø ÛØÒ Ø ×Ñ ÓÒØÜظ Ò ÐÐ ÓÒØÜØ ÒÓÖÑØÓÒ ×ÓÙÐ

ÒÛÐÝ ÓÒ×ØÖÙØ ÓÖÒ ØÓ ÔØØÖÒ× ØØ Ú Ø ×Ñ Ç ÚÐÙº ÁÒ Ø ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓݸ ÐÐ

¬ÙÖ× Ö ÔÖØØÓÒ ÑÓÒ ÖÐØÚÐÝ ×ÑÐÐ ÒÙÑÖ Ó Ç ÚÐÙ׺ Ì ÒÙÑÖÓÇÚÐÙ× Ù× Ò Ø×

ÔÖØØÓÒÒ ´× Ø ×Ù××ÓÒ Ó ÓÙ× ÑÖÒ ÐÝÖ׸ ÐÓÛ µÑÙ×Ø ÖÙÐÐÝ ÓÒ×Ö¸ × ÒÖ×Ò

Ø× ÒÙÑÖ ÒØÚÐÝ ÑÔØ× Ø ÚÓÐÙÑ Ò ÇÈ ÖÙÒØѸ ÚÒ × ÌÇÈ Ú× ØØÖ ÓÒØÖÓÐ Ò

Ç ÑÖÒº

¿º ÌÇÈ ÅÌÀÇÇÄÇ

ÇÙÖ ÒÛ ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓÝ ÒÓÖÑ× ÇÈ Ò×ÖØÓÒ Ý ×ØÑØ ÓÙ× ÚÐÙ× ÖÚ ÖÓÑ ×ÑÙÐØÓÒ Ó

Ø ÑйÑÒÐ ÔÐÒÖÞØÓÒ ´Åȵ ÔÖÓ×׺ ØÖ ÖØÓÒ Ó ÚÒ Ô ÐÝÖ¸ ÚÖØÓÒ Ò

ØÓÔÓÖÔÝ ÖØ× ÓÙ× ÚÖØÓÒ Ò Ø ÐØÓÖÔÝ Ù× ØÓ ÖØ Ø ÒÜØ ÐÝÖ Ó Ø Ôº Ï Ù× ÅÈ

×ÑÙÐØÓÒ ØÓ ÓÑÔÙØ ØÓÔÓÖÔ ÑÔ ÓÚÖ Ø Ô ÐÝÓÙØ Ø× ÝÐ× ÓÖ ÐÝÓÙØ ØÙÖ Ò ××ÓØ

Ø ´ µº ÓÑÑÖÐ ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒ ×ÓØÛÖ × ÚÐÐ ÖÓÑ ÓÑÔÒ× ×Ù × ÈÖ×Ù׺ ½¿ ÁÒ ÓÙÖ

ÙÖÖÒØ ÑÔÐÑÒØØÓÒ¸ Û Ù× ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒ ÑÓÐ ÖÚ ÖÓÑ Ø Èºº Ø×× Ó ÌÙÛº ½ Ì

ÓÚÖÐÐ ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓݸ × ×ØÒÙ× ÖÓÑ ×ØÒÖ ÇÈ ´ËÇȵ¸ × ×ÙÑÑÖÞ Ò ÙÖ º

Library &

Technology

SOPC

Standard OPC Flow

GDSII

SOPCed GDSII

CMP

Simulation

DOF Model

Database

DOF

Marking Layer

TOPC

Input GDSII

for TOPC

TOPCed GDSII

ÙÖ º Ì ÑÓ¬ ×Ò Ò ÚÐÙØÓÒ ­ÓÛ ÑÔ Ó ØÒ×× ÚÖØÓÒ ÖÓÑ ÅÈ×ÑÙÐØÓÒ × ÓÒÚÖØ ØÓ

ÓÙ× ÑÖÒ ÐÝÖ× Ò ØÒ ÒØÓ ËÁÁ ÓÖ ÌÇȺ

¿º½º ÓÙ× ÅÖÒ ÄÝÖ ´Åĵ ××ÒÑÒØ

ÏÐ Ø ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒ ÝÐ× ÓÒØÒÙÓÙ× ØÓÔÓÖÔ ÑÔ¸ Ø × Ò××ÖÝ ØÓ Ù× ÓÒÐÝ ×ÑÐÐ ÒÙÑÖ

Ó ×ÖØ ÓÙ× ÚÐÙ× ÛÒ ÐÙÐØÒ Ø ÇÈ ×ÓÐÙØÓÒº ÌÙ׸ Ø ÒØÖÐ ÔÖÓÐÑ × ØÓ ××Ò ÓÒ

Ó Ø ÚÐÐ ÓÙ× ÚÐÙ× ØÓ ÐÝÓÙØ ØÙÖ¸ ÛÐ Ö­ØÒ Ø ØÓÔÓÖÔ ÑÔ × ÙÖØÐÝ ×

ÔÓ××к ÁÒ ÓÙÖ ÑØÓÓÐÓݸ ÚÖÝ ÐÝÓÙØ ØÙÖ × ××ÓØ ÛØ ÓÙ× ÑÖÒ ÐÝÖ¸ ÅÄ´ µ¸

Û ÒØ× Ø ÓÙ× ÚÐÙ ´ºº¸ ·¼º½ ѵ Û × ××ÙÑ ÙÖÒ Ø ÐÙÐØÓÒ Ó ÖØÐ ÒÒÑÒØ

´ºº¸ ÓÔØÐ ÔÖÓÜÑØÝ ÓÖÖØÓÒ ÓÖ Ô×¹×ØÖ ×Ô×µ ÓÖ º ÀÓÛÚÖ¸ ÔÔÐÝÒ ØÛÓ «ÖÒØ ÇÈ ÑÓÐ×

ØÓ ØÛÓ ÒØ ÔØØÖÒ× ÓÒ ×ÓÑ ÓÙÒÖÝ ÛÐÐ ÒÖ× ÚÖØÓÒ ÓÑÔÖ ØÓ Ù×Ò Ò ÚÖ Ç

ÑÓк ÓÖ ÜÑÔи ØÓ ÓÖÖØ ÓÒ ÔØØÖÒ ÓÒ Ø ¼º½Ñ ÅÄ ÓÙÒÖݸ Ø ÔØØÖÒ ×ÓÙÐ ÖÖ ØÓ Ø Ñ

Ó ÓØÖ ÔØØÖÒ× ÓÒ Ø ¼º¾Ñ ÅÄ ÓÙÒÖݺ ÀÓÛÚÖ¸ Ø× ÓØÖ ÔØØÖÒ× Ö Ò ×ÑÙÐØ Ý ¼º½Ñ

Ç ÑÓÐ Ò×Ø Ó ¼º¾Ñ Ç ÑÓк ÁÒ Ø× ×¸ × Ó Ø ØÛÓ ÔØØÖÒ× Ò ÑÓÖ ×ØÓÖØ ØÒ

ظ ºº¸ Û ÔÔÐÝ ØÓ ÐÐ ÔØØÖÒ× ¼º½Ñ Ç ÑÓÐ ØØ × Ø ÚÖ Ó Ø ØÛÓ ÑÓÐ׺ ÙÖÝ Ó

ÖØÐ ÒÒÑÒØ ´× ÛÐÐ × ÒÖÒØ ÐÑØØÓÒ× Ó ÇÈ ×ÓØÛÖµ ÖÕÙÖ× ØØ ÅÄ´ µÅÄ´ µ ÓÖ

ÐÐ ØÙÖ× ¸ ÛÓ× ÒØÖ¹ØÙÖ ×ØÒ ´ µ ʸ ÛÖ Ê × Ø ÓÔØÐ ÖÙ× Ó Ø ÐØÓÖÔÝ

848 Proc. of SPIE Vol. 5853


ÁÒÔÙØ ÄÝÓÙØ Ø Ò ËÁÁ ËØÖÑ ÓÖÑظ ÓÔØÐ ÖÙ× Ê¸

ÓÙ× ÑÖÒ ÐÝÖ ØÖ×ÓÐ× Ì ½ Ì ¾ Ì ¾ ¾

ÇÙØÔÙØ ÈÖØØÓÒ Ó ÐÐ ØÙÖ× ÒØÓ ÅÄ×

½º Í× ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒ ØÓ ÓÑÔÙØ Ø ÔÓ×عÅÈ ØÓÔÓÖÔÝ

¾º ÖÓÑ Ø ØÓÔÓÖÔݸ ØÖÑÒ Ø Ø ´ µ ÓÖ ØÙÖ

¿º ÓÒ×ØÖÙØ ­ÓÛÒØÛÓÖ ØÓÔÓÐÓÝ Æ ´Îµ ÛØ ÚÖØÜ Ú ÓÖ ØÙÖ ¸ ×ÙÔÖ¹×ÓÙÖ

Ë Ò ×ÙÔÖ¹×Ò Ì ¸ Ò Ò ØÛÒ ØÛÓ ÚÖØ× Ú Ò Ú ×Ø´ µ Ê

º ÓÖ ´ ½ ··µ

º ÐÙÐØ ÔØ× Ò Ø ­ÓÛÒØÛÓÖ Æ × ÓÐÐÓÛ×

´µ Á ´ µ Ì ¾ ½¸ ØÖ × Ò Ò¬ÒعÔØÝ ÖÓÑË ØÓ Ú º

´µ Á ´ µ Ì ¾ ØÒ ØÖ × Ò Ò¬ÒعÔØÝ ÖÓÑ Ú ØÓ Ì

´µ Á Ì ¾ ½ ´ µ ´Ì ¾ · Ì ¾ ½ µ¾¸ ØÒ ØÖ × Ò ÖÓÑ Ë ØÓ Ú ÛØ ÛØ Û

´µÁ´Ì ¾ · Ì ¾ ½ µ¾ ´ µ Ì ¾¸ ØÒ ØÖ × Ò ÖÓÑ Ú ØÓ Ì ÛØ ÛØ Û

Ê

´µ ÓÖ ÐÐ × ¾ Ƹ ÔØ× Ö ÚÒ Ý Ø ÛØ× Û´ µ

×Ø´ µ

º ÐÙÐØ ÑÜÑÙÑ Ë¹Ì ­ÓÛÒ Ø ¹ÔØØ ­ÓÛÒØÛÓÖ Æº

Ì ÑÜÑÙÑ ­ÓÛ×ØÙÖØ× ÑÒ¹ÛØ ÙØ

º ÐÐ ÚÖØ× ÓÒ Ø Ë × Ó Ø ÙØ Ö ××Ò ØÓ ÅÄ Ò ÐØ ÖÓÑ Æ

º Ì ÖÑÒÒ ÚÖØ× Ö ××Ò ØÓ ÅÄ

ÙÖ ¹ÅÄ ××ÒÑÒØ ÅØÓÓÐÓÝ

ÔÖÓ×׺ Þ Ì ÒØÖ¹ØÙÖ ×ØÒ ÖÕÙÖÑÒØ Ó Ø ÅÄ ××ÒÑÒØ Ò ÔØÙÖ Ù×Ò ÖÔ Ò

Û ØÙÖ × ÖÔÖ×ÒØ Ý ÚÖØܸ Ò ØÖ × Ò ØÛÒ ØÛÓ ÚÖØ× Ø ×ØÒ ØÛÒ

ØÖ ÓÖÖ×ÔÓÒÒ ØÙÖ× × Ð×× ØÒ Êº Ï ÑÝ ÙÖØÖ ××Ò ÛØ× ØÓ × Ò Ø× ÖÔ¸ ÛØ Ö

ÛØ× ÓÖÖ×ÔÓÒÒ ØÓ ÔÖ× Ó ØÙÖ× ØØ Ö ÐÓ×Ö ØÓ ÓØÖº Ì ÓØÖ ÖÕÙÖÑÒØ × ØØ

ÚÖÝ ØÙÖ ×ÓÙÐ ××Ò ØÓ Ø ÅÄ ÔÖØØÓÒ ØÓ Û Ø ÐÓÒ× ÔÓ××к

Ï ÓÖÑÐÞ Ø ÔÖÓÐÑ Ó ××ÒÒ ØÙÖ× ØÓ ÅÄ× × ÓÐÐÓÛ׺ ÚÒ ×Ø Ó ÚÖØ× Î

Ú ½ Ú ¾ Ú Ò ÛØ Ø ÙÒØÓÒ Î ·¸ ×Ø Ó ÛØ × Î ¢ Î ¸ Ò ¾ ¾ ØÖ×¹

ÓÐ ÚÐÙ× Ì ½¸ Ì ¾¸ Ì ¾ ¾ º Ì ÑÒÑÙÑ ÚÐÙ Ó ´Úµ ×Ì ¼ Ò Ø ÑÜÑÙÑ ÚÐÙ Ó ´Úµ ×Ì ¾ ½ º

ÐÐ ØÙÖ ÚÖØ× ÛØ Ì ¾ ¾ ´Úµ Ì ¾ ½ ´ ½µ Ö ××Ò ØÓ ÈÖØØÓÒ ´ÅÄ µº

ÖÑÒÒ ÚÖØÜ ÓÖ Û Ì ¾ ½ ´Úµ Ì ¾ ´ ½ ½µ × ××Ò ØÓ ØÖ ÈÖØØÓÒ ÓÖ ÈÖØØÓÒ

·½¸×Ù ØØ Ø ØÓØÐ ÛØ ÖÓ××Ò Ø ÙØÐÒ × ÑÒÑÞº ÒÐÐݸ Û Ò ØÖÑÒ Ò ÓÔØÑÐ

××ÒÑÒØ Ó ØÙÖ× ØÓ ÅÄ× Ú ½ ÑÒÑÙÑ ÙØ ÐÙÐØÓÒ× Ò ÒØÛÓÖº ÇÙÖ ÑØÓÓÐÓÝ ÓÖ

××ÒÑÒØ Ó ØÙÖ× ØÓ ÅÄ× × ØÐ Ò ÙÖ º

¿º¾º ÌÇÈ ÎÐØÓÒ Ò ÄÑØØÓÒ×

ÌÓ ÓÑÔÐÑÒØ Ø ×Ù××ÓÒ Ó ËØÓÒ ¾º½¸ Û ÒÓÛÔÖ×ÒØ ÓÙÖ ÑØÓÓÐÓÝ ØÓ ÚÐØ Ø ÕÙÐØÝ Ó Ö×ÙÐØ

´ÉÇʵ Ó ÌÇÈ Ù×Ò ÓÑÑÖÐÐÝ ÚÐÐ ÇÊ ×ÓØÛÖº Ï Ð×Ó ×Ù×× ×ÓÑ ÔÖØÐ ÐÑØ× Ó ÌÇÈ

× ÔÐÓÝ Ù×Ò ÙÖÖÒØ ÓÑÑÖÐ ×ÓØÛÖ ØÓÓÐ׺ ËÙÔÔÓ× ÇÈ ÒÐ× ÐÐ ÔØØÖÒ× ØÓ ×Ø×Ý ÚÒ

ØÓÐÖÒ ÓÖ ÑÒÙØÙÖÒ¸ ÒÖÐÐÝ ·»¹ ½¼± Ó ÔØØÖÒ ×Þ¸ Ø ×ÓÑ ÚÒ ÛÓÖ×Ø¹× ÓÙ׺ ÌÒ¸

Ø ÑÜÑÙÑ ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÖÒ¸ ¡¸ Ò Ø ØÖ×ÓÐ Ö ØÖÑÒ ÓÖÒ ØÓ Ø ÖÓÒ ÛÖ

ØÖ Ö ÞÖÓ ÚÓÐØÓÒ× ÛØ Çʺ Ï ÓÑÔÖ ÉÇÊ Ó ÌÇÈ Ò ×ØÒÖ ÇÈ × ÓÐÐÓÛ׺

¯ Ï ÐÙÐØ «ÖÒØ ÛÓÖ×Ø ÓÙ× ÚÐÙ× × ÓÒ Ç ÑÖÒ ÐÝÖ׸ ºº¸ Ø ÚÐÙ × Ø ×ÙÑ Ó Ø

Ç ÚÐÙ Ó Ø ÑÖÒ ÐÝÖ Ò ¡º

¯ Ï ÔÔÐÝ Ø «ÖÒØ ÚÐÙ× ØÓ ÐÐ ÔØØÖÒ× ÓÖÒ ØÓ Ø Ç ÑÖÒ ÐÝÖ ××ÒÑÒغ

Þ

Ì× ÖÕÙÖÑÒØ ÖÓÛ× ×ØÖÓÒÖ × Ø ÒØÖ¹ØÙÖ ×ØÒ ´ µ Ö×׺ ÁÒ ÑÓÖÒ ÐØÓÖÔÝ ÔÖÓ××׸

ØÝÔÐ ÚÐÙ× Ó Ê Ö ÓÒ Ø ÓÖÖ Ó ÓÒ ÑÖÓÒ ÓÖ Ð×׺

Proc. of SPIE Vol. 5853 849


¯ Ï ÓÑÔÖ Ø ÒÙÑÖ Ó ÚÓÐØÓÒ× Ö×Ò ÛØ ×ØÒÖ ÇÈ Ò ÌÇȸ Ö×ÔØÚÐݺ

ÌÓ ÚÐØ Ø ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓÝ Û ÐÓÓ Ø ÓÒÐÝ ØÛÓ ÓÑÒØÓÒ× ´½µ ËÌ ÇÈ » ̹ Çʸ Ò ´¾µ

̹ ÇÈ » ̹ Çʺ Ï Ó ÒÓØ ÓÒ×Ö Ø ÓØÖ ØÛÓ ÓÑÒØÓÒ׸ Ù× ´× ×Ù×× Ò ËØÓÒ ¾º½µ

ØÝ Ö × ÓÒ ÒÓÖÖØ ÔÖÑ×׺ Ü ËÒ ÙÖÖÒØ ÓÑÑÖÐÐÝ ÚÐÐ ÇÈ ×ÓØÛÖ ØÓÓÐ× Ó ÒÓØ ÓÒ×Ö

ØÓÔÓÖÔݸ Û Ö ÒÓØ Ð ØÓ ÔÔÐÝ Ø ÌÇÈ ÑØÓÓÐÓÝ ØÓ ØÙÖ× ØØ Ð ÓÒ Ø ÓÙÒÖÝ ØÛÒ ØÛÓ

«ÖÒØ ÓÙ× ÚÐÙ׺ ÙÖ ×ÓÛ× Ø ÖÓÒ× ØÓ Û ÌÇÈ ÛÐÐ ÔÔи × ÛÐÐ × Ø ÖÓÒ× ØÓ

Û Ø ÒÒÓØ ÔÔÐ Ù ØÓ ÓÑÑÖÐ ÇÈ ØÓÓÐ ÐÑØØÓÒ׺ ÁÒ Ø× ¬ÙÖ¸ Ø Ø Ö× Ö ØÓ×

ØÓ Û ÌÇÈ ÛÐÐ ÔÔÐ Ø× Ö ×ÒØ ÛØ Ò ÓÙ× ÚÐÙ׺ Ì ×ØÒ ØÛÒ

Ó Ø ÖÓÒ× ØÓ Û ÌÇÈ ÛÐÐ ÔÔÐ × ÕÙÐ ØÓ Ø ÓÔØÐ ÑØÖº ×ÔØ Ø× ÓÒ×ØÖÒظ Û ×ÓÛ

Ò Ø ÒÜØ ×ØÓÒ ØØ ÌÇÈ ×Ù×ØÒØÐÐÝ ÖÙ× ÖÖÓÖ Ò ÖÓÒ× ÛÖ Ø Ò ÔÔк ÙÖØÖÑÓÖ¸

ÓÙÖ ÅÄ ××ÒÑÒØ ÐÓÖØÑ «ØÚÐÝ ÐÑØ× Ø ÒÙÑÖ Ó ØÙÖ× ØÓ Û ÌÇÈ ÒÒÓØ ÔÔк

Boundary

AdjacentRegion

A djacentRegion

AdjacentRegion

X

Y

AdjacentRegion

AdjacentRegion

A djacentRegion

ÙÖ ÌÇÈ ÚÐØÓÒ ÖÓÒ׺

º ÈÊÁÅÆÌË Æ ÊËÍÄÌË

Ï Ù× ØÛÓ ÒÑÖ ×Ò× Ò ÓÙÖ ÜÔÖÑÒØ׺ Ì ¬Ö×Ø ÒÑÖ ´ÒÑÖ½µ × Ø ÐÙ½¾ ÓÖ ÛØ

½º½Ã Ò×ØÒ× ÖÓÑ ÇÔÒÓÖ× Ò ÖØ×Ò ÌËÅ ¼º¼Ñ ÐÖÖ× Ù×Ò ËÝÒÓÔ×Ý× ×Ò ÓÑÔÐÖ Ú¾¼¼¿º¼¹

ËȽº Ì ×ÝÒØ×Þ ÒØÐ×Ø× Ö ÔÐ ÛØ ÖÓÛÙØÐÞØÓÒ Ó ¼± Ù×Ò Ò Ö×Ø ÒÓÙÒØÖ Ú¿º¿º Ì

×ÓÒ ÒÑÖ ´ÒÑÖ¾µ ÓÒ××Ø× Ó × Ò × ÓÖ× ÛØ ½Ã Ò×ØÒ× Ò ± ÙØÐÞØÓÒ Ò Ø

ÖØ×Ò ÍÅ ¼º¼Ñ ÐÖÖݺ ÐÐ ×Ò× Ö ØÖÐ ÖÓÙØ ÓÖ ÖÙÒÒÒ ØÑÒ ÒÐÝ×׺ ÇÒ Ø ÐØÓÖÔÝ

׸ Û Ù× Ëѹ ËÇÄÁ¹ ØÓ º ÅÒØÓÖ ÖÔ× ÐÖ × Ù× ÓÖ ÑÓÐ¹× Çȸ ËÊ

ÇÈ Ò ÓÔØÐ ÖÙÐ Ò ´Çʵº ÌÇÈ × ÔÖÓÖÑ × ÓÒ Ø ÅÄ׺ Ö×ظ Û ÔÔÐÝ Ø ÑØÓ

ØÓ ØÝÔÐ ×Ò Ó ÑØÐ ÐÝÖ ØÓ ÚÖÝ ÒÒÑÒØ Ó Ç ÑÖÒ Ò ÓÒØÖÓк ÙÖ ×ÓÛ× Ø

×ÑÙÐØÓÒ Ö×ÙÐØ× Ó ÑØÐ ×Ô ÛØ ¼º½Ñ ÐÒÛØ Ò ¼ºÑ ×Ôº ÌÖ Ö ÓÙÖ «ÖÒØ ÙÖÚ×

ÖÓÑ ¼ ØÓ ¼º Û ÖÔÖ×ÒØ ÇÈ ÔØØÖÒ× ÔÔÐ ØÓ «ÖÒØ Ç ÑÓÐ׺ × Ó ¬Ú «ÖÒØ ÇÈ

ÔØØÖÒ× Ö ÔÐÓØØ ÛØ Ø Ö×ÙÐØ× Ó ÐØÓÖÔÝ×ÑÙÐØÓÒ Ù×Ò ¼º¼Ñ ØÓ ¼ºÑ Ç ÑÓÐ׺ ÁÒ Ø ËÇÈ

ÑØÓ¸ Ø ÔØØÖÒ × ÐÓØ Ø ¼º¿Ñ ØÓÔÓÖÔÝ Ò ÓÖÖØ ÛØ ¼º¼Ñ ÇÈ ÑÓи Ø ÔØØÖÒ ÛÐÐ

ÚÓÐØ ØÓÐÖÒ¸ Û ×ØÝÔÐÐÝ ·»¹½¼± Ó º ÁÒ ÓØÖ ÛÓÖ׸ ÔØØÖÒ × ØÓÔÓÖÔ ÚÖØÓÒ

ÓÙØ× Ó ·»¹ ¼º¿Ñ¸ ÓÖ ØÓØÐ Ç ÖÖÓÖ ´ÒÐÙÒ ÛÖ ×Ø ÖÖÓÖµ Ü× ¼º¿Ñ¸ ØÒ Ø ÔØØÖÒ Ð×

ØÓÐÖÒ ÖØÖ Ò ÛÐÐ ÓÒØÖÙØ ØÓ ÝÐ ÖØÓÒº ÇÒ Ø ÓØÖ Ò¸ Û ÔÔÐÝ ÌÇÈ ÛØ ¼º¿Ñ

Ç ÑÓÐ ØÓ Ø ÔØØÖÒ¸ Ø Ç ÑÖÒ ÛØÒ Ø ØÓÐÖÒ ÓØÒ× Ò ØÓÒÐ ¼º½Ñ Ǻ

Ü

ÏØËÌÇÈ»ËÌÇʸ Ø ××ÙÑÔØÓÒ × ØØ ØÖ × ÒÓ ØÒ×× ÚÖØÓÒ¸ Û ×ÓÚÓÙ×ÐÝ ÙÒÖÐ×غ

ÏØ Ì¹ ÇÈ » ËÌ Çʸ Ø ÇÈ ØÓÓÐ × ÛÖ Ó Ø ØÓÔÓÖÔݸ ÙØ Ø ÇÊ × ×ØÐÐ × ÓÒ Ø ××ÙÑÔØÓÒ

ØØ ÚÖÝ ÔÓÒØ Ó Ø ÐÝÖ × ÞÖÓ ÓÙ× ÚÐÙº Ì× ÛÐÐ Ð ØÓ ÑØ ÛØ Ø ÐÐÓÛÐ ÓÙ× ÖÒ Ù× Ý

̹ ÇȺ

850 Proc. of SPIE Vol. 5853


ÌÐ ¾ ×ÙÑÑÖÞ× Ø ÜÔÖÑÒØÐ Ö×ÙÐØ׺ ÁÒ Ø× Øи Ç ÖÒ × Ø ÑÜÑÙÑ Ç ÖÒ Ó Ø

ÔØØÖÒ Ò ÔÖØÙÐÖ ØÓÔÓÖÔݸ Û Ò Ñ×ÙÖ ÓÖÒ ØÓ · Ò ¹ ÖØÓÒÐ Ç ÚÖØÓÒº

ÓÖ ÜÑÔи ÔØØÖÒ × ÐÓØ Ø ¼º¾Ñ ØÓÔÓÖÔݸ · ÖØÓÒÐ Ç ÖÒ× Ó Ø ÔØØÖÒ Ö ¼º¼Ñ

ÛØ ËÇÈ Ò ¼º½¾Ñ ÛØ ÌÇȺ ÌÙ׸ Ø ÔØØÖÒ ÒÖ×× · Ø ÖØÓÒÐ Ç ÖÒ Ý ¼º¼Ñ ØÖ

ÌÇÈ ÛØ ¼º¾Ñ Ç ÑÓи Ò Ø ØÓØÐ Ç ÖÒ Ó ÌÇÈ ÒÖ×× Ý ¼º½Ñ ÓÑÔÖ ØÓ ØØ Ó

ËÇȺ

CD (nm)

180

170

160

150

140

130

120

110

100

90

80

-0.6 -0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6

DOF (um)

0

0.1

0.2

0.3

0.4

ÙÖ ÓÑÔÖ×ÓÒ Ó Ç Ò È ÑÔÖÓÚÑÒØ× ÛØ ¼º½Ñ ÐÒÛØ Ò ¼ºÑ ×Ôº

ÇÈ ÌÓÔÓÖÔÝ ¹ ÖØÓÒÐ · ÖØÓÒÐ

ÑØÓ ´ØÒ×× Ñµ Ç ÖÒ Ç ÖÒ ÌÓØÐ Ç ÖÒ

ËÇÈ ¼º¼ ¼º¾ ¼º¾ ¼º¼

ËÇÈ ¼º½ ¼º¿ ¼º½ ¼º¼

ËÇÈ ¼º¾ ¼º ¼º¼ ¼º¼

ËÇÈ ¼º¿ ¼º ¼º¼¼ ¼º

ÌÇÈ ¼º¼ ¼º¾ ¼º¾ ¼º¼

ÌÇÈ ¼º½ ¼º¿ ¼º½ ¼º

ÌÇÈ ¼º¾ ¼º¾ ¼º½¾ ¼º

ÌÇÈ ¼º¿ ¼º ¼º¼ ¼º

ÌÐ ¾ ÓÑÔÖ×ÓÒ Ó Ç ÑÖÒ ÛØ ÌÇÈ Ò ËÇȺ

ÓÖ Ø ÒÑÖ½ Ø×Ø× ÛØ ½¾ ØÙÖ׸ Û ÑÔÐÑÒØ Ø ¹ÅÄ ××ÒÑÒØ ÑØÓÓÐÓÝ

´ÙÖ µ ÛØ ¿ Ù×Ò ··º Ì ÓÔØÐ ÖÙ× Ê × ¼ºÑº Ì ØÖ×ÓÐ ÚÐÙ× Ö ¼º¼¸ ¼º½¼¼¾¸

¼º½¸ Ò ¼º¾¼¼¾Ñº ÐÐ Ø×Ø× Ö ÖÙÒ ÓÒ ÝÔÖ¹ØÖ ÁÒØÐ ÓÒ ¾ºÀÞ Èͺ Ì ÐÙÐØ ÑÜÑÙÑ

ØÒ×× ÚÖØÓÒ Ó ÅØÐ ¾ × ¼º¾ Ñ Ò Ø ÖÙÒØÑ × ¼º¿×º × ÓÒ ÑÜÑÙÑ ØÒ×× ÚÖØÓÒ Ó

¼º¾Ñ¸Û Ò ÒÖØ ØÖ «ÖÒØ ÅÄ× ÛØ ¼º½Ñ ×ØÔ ×Þ ÓÖ ÅØÐ ¿º ÅÄ ¼ ÖÔÖ×ÒØ× ÐÐ ÑØÐ ÐÒ×

ÛØ ØÓÔÓÖÔÝ ØÒ×× Ó ¼º¼Ñ ØÓ ¼º½Ñº ÅÄ ½ × ÑØÐ ÐÒ× ÛØ ¼º½Ñ ØÒ×× ÚÖØÓÒ¸

ºº¸ ¼º½Ñ ØÓ ¼º¾Ñº ÅÄ ¾ × ×ÑÐÖÐÝ ××Òº Ï Ð×Ó Ø×Ø ÓÙÖ ÔÖÓÔÓ× ÐÓÖØÑ Ù×Ò Ø ÒÑÖ¾

Ø×Ø× ÛØ ¿¿ ØÙÖ׺ ËÒ Ø ÐÙÐØ ÑÜÑÙÑ ØÒ×× ÚÖØÓÒ Ó ÅØÐ ¾ × ¼º¿Ñ¸ Û

××Ò ÓÙÖ «ÖÒØ ÅÄ× ÛØ ¼º¼Ñ ×ØÔ ×Þ ØÓ ÐÐ Ø ØÙÖ× Ó ÅØÐ ¿º Ì ØÖ×ÓÐ ÚÐÙ× Ö Ó×Ò

× ¼º¼¸ ¼º¼¼¾¸ ¼º½¸ ¼º½¼¾¸ ¼º¾ Ò ¼º¾¼¾ Ѻ Ì ØÓØÐ ÅÄ ××ÒÑÒØ ÖÙÒØÑ × ¿º×º Ï

××ÙÑ ÑÜÑÙÑ Ç ÚÖØÓÒ ØÓ ÓÑÔÓ× Ó ØÓÔÓÖÔÝ ÚÖØÓÒ ´¼± ÓÒØÖÙØÓÒµ Ò ÓØÖ ØÓÖ×

´¼±µº ÁÒ Ø ÒÑÖ½ Ø×Ø׸ ØÓÔÓÖÔÝ ÓÒØÖÙØÓÒ¸ Ð Ó ØÓØÐ ØÒ×× ÚÖØÓÒ¸ × ¼º½¿Ñº Ï

ÓÒ×ØÖÙØ ØÛÓ Ø×Ø×× × ÓÒ Ø ÒÑÖ½ ÐÖÖݸ Û Ö ×ÓÛÒ Ò ÙÖ º

¯ Ë Áº ××ÙÑ Ø ×ØÔÔÖ ÑÒ ÓÙ×× ÓÒ Ø ÚÖ Ó Ø ØÓÔÓÖÔÝ Ì× × ÅĽ Ò ÓÙÖ

׺

¯ Ë ÁÁº ××ÙÑ Ø ×ØÔÔÖ ÑÒ ÓÙ×× ÓÒ Åľº ÌÖÓÖ¸ Åļ ÓÖÖ×ÔÓÒ× ØÓ ¹¼º¾Ñ ÓÙ׺

××ÙÑÒ ØØ Ø Ó××ÙÒ ÔÐÓØ× Ö ×ÝÑÑØÖÐ ÓÙØ ¼Ñ ÓÙ׸ ´ºº¸ ¹¼º½¿Ñ Ò ¼º½¿Ñ Ö ÓÒ¹

×Ö Ø ×Ñ × ×ÓÛÒ Ò ÙÖ µ¸ ÑØÐ ÐÒ× Ú ØÛÓ «ÖÒØ ÇÚÐÙ× Ò Ë Á Ò ØÖ «ÖÒØ

ÚÐÙ× Ò Ë ÁÁº ÙÖÒ ÌÇʸ Ø ÒÓÒ¹ØÓÔÓÖÔÝ ØÓÖ× ´¡µ ÓÙÒØ ÓÖ ¼º½¿ Ñ ÓÙ׺ × Ö×ÙÐظ

Proc. of SPIE Vol. 5853 851


DML

DOF (um)

TOPC (um)

TORC (um)

2

1

0

(a) CASE I

0.13 0.13 0.26

0.0 0.0 0.13

-0.13 -0.13 -0.26

DML

DOF (um)

TOPC (um)

TORC (um)

2

1

0

(b) CASE II

0.0 0.0 0.13

-0.13 -0.13 -0.26

-0.26 -0.26 -0.39

ÙÖ Ì ÒÑÖ½ Ø×Ø×׺

DML

DOF (um) TOPC (um) TORC (um)

3

2

1

0

0.18 0.18 0.36

0.09 0.09 0.27

0.0 0.0 0.18

-0.09 -0.09 -0.27

ÙÖ Ì ÒÑÖ¾ Ø×Ø׺

ØÙÖ ÛØ ¼º½Ñ ØÒ×× ÚÐÙ ´×ØÔÔÖ ÓÙ×Ò ÓÒ ¼Ñµ ÒÌÇÊ ÛÐÐ Ú ÛÓÖ×Ø¹× Ç ÖÒ Ó

¹¼º¾Ñº Çȳ ÑØÐ ÐÒ × ÚÐÙØ Ý ÌÇÊ ÛØ Ç ÑÓÐ׸ ºº¸ ¼º½¿Ñ¸ ¼º¾Ñ¸ Ò ¼º¿Ñº

Ï ÔÔÐÝ Ø ×Ñ ÑØÓÓÐÓÝ ØÓ Ø ÒÑÖ¾ Ø×Ø׺ Ì Ø×Ø× × ØÖ «ÖÒØ Ç ÚÐÙ× ×

×ÓÛÒ Ò ÙÖ º ÌÓÔÓÖÔÝ Ò ÒÓÒ¹ØÓÔÓÖÔÝ ØÓÖ× ´¡µ ÓÒØÖÙØ ØÓ ¼º½ Ñ ÓÙ׺ ÌÖÓÖ¸

Ø ÛÓÖ×Ø × Ç ÖÒ ÛØ Ø ØÓÔÓÖÔÝ ÚÒ ¼Ñ ÓÙ× × ¼º½ Ѹ Ò Ø Çȳ ÑØÐ ÐÒ ×

ÚÐÙØ Ý ÌÇÊ ÛØ Ç ÑÓÐ× ¼º½Ñ¸ ¼º¾Ñ¸ Ò¼º¿Ñº

ÌÐ ¿ ×ÓÛ× Ø Ö×ÙÐØ× Ó ËÇÈ Ò ÌÇÈ ÓÖÒ ØÓ È ÓÙÒظ Û × Ø ÒÙÑÖ Ó

ÖÑÒØ× ÓÒ ÑØÐ ÚÒ ÖØÖ ØÒ ½¼± ÖÖÓÖº ÌÇÈ Ò ÖÙ È ÓÙÒØ ÝØÛÒ ± Ò ¼±

ÚÖ×Ù× Ø ×ØÒÖ ÇÈ ­ÓÛº Ì ÑÔÖÓÚÑÒØ Ò ÔÖÓ×× ÛÒÓÛÒ ÔÓØÒØÐ ÝÐ ÓÑ× Ø Ø Ó×Ø Ó

×ÓÑ ÒÖ× Ò Ø ÚÓÐÙÑ Ò ÇÈ ÖÙÒØѸ Û ××ÓÛÒÒÌÐ º

Ì×Ø× ËÇÈ ÌÇÈ ÁÑÔÖÓÚÑÒØ´±µ

ÒÑÖ½ Ë Á ¾ ½½¼ º

ÒÑÖ½ Ë ÁÁ ½¾ ¿¾ º¿

ÒÑÖ¾ ¾¼¾ ½¼½ ¼º

ÌÐ ¿ ÓÑÔÖ×ÓÒ Ó È ÓÙÒØ× ÛØ ËÇÈ Ò ÌÇÈ

852 Proc. of SPIE Vol. 5853


Ì×Ø× ÇÖÒÐ ËÇÈ ËÇÈ ÌÇÈ ÌÇÈ

ÊÙÒØÑ

ÊÙÒØÑ

Ë ´Åµ Ë ´Åµ ´ÑÒºµ ˴ŵ ´ÑÒºµ

ÒÑÖ½ Ë Á º¼ º¾ ½ º¾ ¾½

ÒÑÖ½ Ë ÁÁ º¼ º¾ ½ º ¾¾

ÒÑÖ¾ º¾ ¾¼º ¿¿½º½ ¿¼¿º ¿º

ÌÐ º ÓÑÔÖ×ÓÒ Ó ÇÈ ÖÙÒØÑ Ò Ø ÚÓÐÙÑ ØÛÒ ËÇÈ Ò ÌÇȺ ÆÓØ ØØ ËÇÈ Ö×ÙÐØ Ó× ÒÓØ

Ò ØÛÒ Ë Á Ò Ë ÁÁº

º ÇÆÄÍËÁÇÆË Æ ÇÆÇÁÆ ÏÇÊÃ

ÁÒ Ø× ÛÓÖ¸ Û Ú ÔÖÓÔÓ× Ø ¬Ö×Ø ÑØÓÓÐÓÝ ÓÖ ÛÖ¹ØÓÔÓÖÔÝ ÛÖ ÇȺ ÏØ Ò ÜÔÖÑÒØÐ

Ø×Ø Ó ¼ÒÑ ÓÙÒÖÝ ÐÖÖ׸ ÒÙ×ØÖÝ ÇÈ ÖÔ׸ Ò ÓÑÑÖÐ ÇÈ Ò ÇÊ ×ÓØÛÖ ØÓÓÐ׸ Û

Ú ÓÒ¬ÖÑ ØØ ÓÙÖ ØÒÕÙ Ú× ÙÔ ØÓ ¼± ÖÙØÓÒ Ò ÔÐÑÒØ ÖÖÓÖ× Ø ÛÓÖ×Ø¹× ÓÙ׺

ÏØ ÑÒ×ÓÒ× ×ÐÒ ×ØÖ ØÒ Ø ÐØÓÖÔ ÔÖÓ×׸ ÔØ Ó ÓÙ× Ò Ò ÛÖÒ×× Ó ØÓÔÓÖÔ

ÚÖØÓÒ Ò ÊÌ ÛÐÐ ÓÑ ÒÖ×ÒÐÝ ÑÔÓÖØÒغ ÌÙ׸ Û ÐÚ ØØ ØÓÔÓÖÔݹÛÖ ØÒÕÙ× ×Ù

× ÓÙÖ× ÛÐÐ ÖØÐ ÓÖ ÖÙÒ ÔÖÑØÖ ÚÖØÓÒ ¹ ÔÖØÙÐÖÐÝ Ó ÒØÖÓÒÒØ ÔÖÓÖÑÒ ¹ Ò ÙØÙÖ

ØÒÓÐÓÝ ÒÓ׺ ÇÙÖ ÓÒÓÒ ÛÓÖ × Ò Ø ÓÐÐÓÛÒ ÖØÓÒ׺

¯ × ÌÇÈ ÛÐÐ ×Ò¬ÒØÐÝ ÖÙ ÙÒÖØÒØݸ ØÖ ÛÐÐ ÓÖÖ×ÔÓÒÒ ÖÙØÓÒ Ò ÙÒÖØÒØÝÓ

Ê ÔÖ×Ø׺ ÇÙÖ ÙÖÖÒØ Ö×Ö ÒÚ×ØØ× Ø ÑÔØ Ó ×Ù ÖÖÓÖ ÖÙØÓÒ ÓÒ Ê ÔÖ×Ø×

Ó Ø ÖÙغ Ï Ö Ð×Ó ÜÔÐÓÖÒ ÒÛ ÒØÖÓÒÒØ ×Ò ÑØÓÓÐÓ× × ÓÒ Ø ÓÒÔØ Ò

Ö×ÙÐØ×ÓÌÇȺ

¯ ÄØÓÖÔ ÔÖÓ×× ÛÒÓÛ× ÓÒ Ó Ø ÑÓ×Ø ÑÔÓÖØÒØ Ö×ÓÒ× ÓÖ ×ØÖÒÒØ ÖÕÙÖÑÒØ× ÓÖ Ø ÅÈ

Ò ÙÑÑÝ ¬ÐÐ ÔÖÓ××׺ ØÓÔÓÖÔÝ ÛÖ ÇÈ ­ÓÛÛÐÐ ÒÐ ÖÙØÓÒ Ò ÐÝÓÙØ Ò×ØÝ ÓÒØÖÓÐ

ÖÕÙÖÑÒØ׸ Ò Ò Ø ×Ò ÑÔØ ´ºº¸ ÔØÚ ÓÙÔÐÒ ÓÚÖµ Ó ÙÑÑÝ ¬ÐÐ׺ Ï Ö

ÒÚ×ØØÒ Ø ÒØÖØÓÒ ØÛÒ ÙÑÑÝ ¬ÐÐ Ò ÇÈ Ò Ø× ÓÒØÜغ

¯ ×××Ø ØÙÖ× Ö Ò×ÖØ Ò Ø ÇÈ ­ÓÛØÓ ÒÖ× ÔØ Ó ÓÙ× Ó ×ÓÐØ ØÙÖ׺ ÌÇÈ Ù××

ÑÓÖ ÙÖØ ÒÓÑÒÐ ÓÙ× ÚÐÙ× ÐÓÐÐݸ Ò Ø× Ò Ð ØÓ ÖÙØÓÒ Ò Ø ÓÑÔÐÜØÝ Ó ×××Ø

ØÙÖ Ò×ÖØÓÒ ­ÓÛ׺ Ï Ö ÙÖÖÒØÐÝ ÒÚ×ØØÒ Ø× ×ÝÒÖݺ

¯ Ï Ö ÙÖÖÒØÐÝ ÒÚ×ØØÒ ÛÝ× Ò Û Ø ÅÄ ÔÖØØÓÒÒ ­ÓÛÒ Ñ ÑÓÖ ×Ò¹ÛÖº

ÓÖ ÜÑÔи ØÖ Ö ×ÚÖÐ ÛÝ× Ò Û ØÑÒ Ò ÔÓÛÖ ÓÒ×ØÖÒØ× Ò ÒÓÖÑ Ø ×ØÔ× Ó ÅÄ

ÓÒ×ØÖÙØÓÒ Ò ØÙÖ ××ÒÑÒØ ØÓÅÄ׺

¯ ÒÐÐݸ Û Ö ÒÚ×ØØÒ ÑÔÖÓÚ ÌÇÈ Ò ÌÇÊ ­ÓÛ× ØÓ ÒÐ ÓÑØÖ× Ø Ø × Ó

ÅÄ ´ÖÐÐ ØØ Û ÙÖÖÒØÐÝ ÒÓÖ ×Ù ÓÑØÖ×µº

º ÃÆÇÏÄÅÆÌË

Ï ØÒ ÈÖÓ××ÓÖ Ä À¸ ÅÖº ÃÒ ÀÓ ÌѸ Ò ÅÖº ÂÒÙÒ ÓÒ Ó Ø ÍÄ ÔÖØÑÒØ ×Ò

ÙØÓÑØÓÒ ÄÓÖØÓÖÝ ÓÖ Ò ÑÔÐÑÒØØÓÒ Ó Ø ÌÙÛ ÅÈ ×ÑÙÐØÓÒ ÑÓк ½ Ï Ð×Ó ØÒ Ó

ÆÖ Ó Ëѹ ÓÖÔÓÖØÓÒ ÓÖ ×× ØÓ Ø ËÇÄÁ¹ ÐÒ×× Ù× Ò Ø× Ö×Öº

Proc. of SPIE Vol. 5853 853


ÊÊÆË

½º Ö ×Û׸ ÅÓÐÒ Ò¹ ÔÖÓ×× ÚÖØÓÒ ÛØ ÙÖÝ ÌÁÅ˸ ÂÒº ¾¼¼º

¾º º Ò¸ Ⱥ ÙÔØ Ò º º ÃÒ¸ ÈÖÓÖÑÒ¹ÁÑÔØ ÄÑØ Ö ÐÐ ËÝÒØ×׸ ÈÖÓº Å»Á ×Ò

ÙØÓÑØÓÒ ÓÒº¸ ÂÙÒ ¾¼¼¿¸ ÔÔº ¾¾¹¾º

¿º ĺ À¸ º º ÃÒ¸ ú Àº ÌÑ Ò Âº ÓÒ¸ ÎÖÐØݹÖÚÒ ÓÒ×ÖØÓÒ× Ò Ø ×Ò Ó ÁÒØÖع

ÖÙØ ÐÓÐ ÁÒØÖÓÒÒØ× ÈÖÓº ¾½Ø ÁÒØк ÎÄËÁ ÅÙÐØÐÚÐ ÁÒØÖÓÒÒØÓÒ ´ÎÅÁµ ÓÒº¸ ËÔØÑÖ ¾¼¼¸ ÔÔº

¾½¹¾¾½º

º º ËÓØØ ÄÛÒ¸ ÁÑÔÖÓÚÒ Ø Ö×ÙÐØ Ó ÔÓ×عÅÈÛÖ¹×Ð ØÒ×× Ñ×ÙÖÑÒغ¸ ÅÖÓÑÞÒºÓѺ

º ÅÒØÓÖ ÖÔ× ÓÖÔº¸ ¼¼ ËÏÓÑÒ Êº¸ ÏÐ×ÓÒÚÐÐÖ¸ ÇÊ ¼¼¸ ÐÖ ÊÌ Í×Ö× ÅÒÙи ÐÖ

×Ò ÊÙÐ Í×Ö× ÅÒÙк

º Ⱥ ÙÔØ Ò º º ÃÒ¸ ÅÒÙØÙÖÒ¹ÛÖ ÈÝ×Ð ×Ò¸ ÈÖÓº Á»Å ÁÒØк ÓÒÖÒ ÓÒ

ÓÑÔÙØÖ¹ ×Ò¸ ÆÓÚÑÖ ¾¼¼¿¸ ÔÔº ½¹º

º Ⱥ ÙÔظ º º ÃÒ¸ Ò º Àº ÈÖ¸ ØÐ ÈÐÑÒØ ÓÖ ÁÑÔÖÓÚ ÔØ Ó ÓÙ× Ò ÓÒØÖÓи ÈÖÓº

× Ò ËÓÙØ È¬ ×Ò ÙØÓÑØÓÒ ÓÒº¸ ÂÒº ¾¼¼¸ ØÓ ÔÔÖº

º Ⱥ ÙÔظ º º ÃÒ¸ º ËÝÐÚ×ØÖ Ò Âº Ò¸ Ó×عÖÚÒ ÄØÓÖÔ ÓÖÖØÓÒ ÅØÓÓÐÓÝ × ÓÒ

Ç«¹Ø¹ËÐ ËÞÒ ÌÓÓÐ׸ ÈÖÓº Å»Á ×Ò ÙØÓÑØÓÒ ÓÒº¸ ÂÙÒ ¾¼¼¿¸ ÔÔº ½¹¾½º

º źĺ ÊÖ¸ ºȺ ÅÝÛ Ò Ëº ÈÒÔ×Ò¸ ÄÝÓÙØ ×Ò ÅØÓÓÐÓ× ÓÖ ËÙ¹ÏÚÐÒØ ÅÒÙØÙÖ¹

Ò¸ ÈÖÓÒ× Ó ×Ò ÙØÓÑØÓÒ ÓÒÖÒ¸ ¾¼¼½¸ ÔÔº ¹¾º

½¼º º ˸ ˺ À×Ù¸ º Ò¸ ź À×Ù¸ ʺ ËÓ¸ Ò Å Ù׸ ÍÒÖ×ØÒÒ Ø ÓÖÒ ÈØ ÈÒÓÑÒÓÒ

Ò ×××Ø ØÙÖ ÈÐÑÒظ ÈÖÓº ËÈÁ¸ ÎÓк ¸ ÔÔº ¹¸ ¾¼¼¾º

½½º ËÝÒÓÔ×Ý× ÓÖÔº¸ ÈÖÓØÙ× Í×Ö× ÅÒÙи ÈÖÓÒ Í×Ö× ÅÒÙк

½¾º º Ò¸ Ⱥ ÙÔظ Ò º º ÃÒ¸ ÈÖÓÖÑÒ¹ÁÑÔØ ÄÑØ ÙÑÑÝ ÐÐ ÁÒ×ÖØÓÒ¸ ÈÖÓº ËÈÁ ÓÒº ÓÒ

×Ò Ò ÈÖÓ×× ÁÒØÖØÓÒ ÓÖ ÅÖÓÐØÖÓÒ ÅÒÙØÙÖÒ¸ º ¾¼¼¿¸ ÔÔº ¹º

½¿º ØØÔ»»ÛÛÛºÔÖ×Ù׺ÓÑ»×Ø»

½º ̺ º ÌÙÛ¸ Ô¹ËÐ ÅÓÐÒ Ó ÈØØÖÒ ÔÒÒ× Ò ÓÔÔÖ ÑÐ ÅÒÐ ÈÓÐ×Ò ÈÖÓ¹

××׸ È Ì×׸ Å××Ù×ØØ× ÁÒ×ØØÙØ Ç ÌÒÓÐÓݸ ¾¼¼¾º

½º ƺº Ó Ò º ÖÒ¸ Í×Ò ÇÈ ØÓ ÓÔØÑÞ ÓÖ Ñ ×ÐÓÔ Ò ÑÔÖÓÚ ÔÖÓ×× ÛÒÓÛ ÈÖÓº ËÈÁ ÁÒغ

ËÓº ÇÔغ Òº ½¿¼¸ ¿ ´¾¼¼¿µ

854 Proc. of SPIE Vol. 5853

More magazines by this user
Similar magazines