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La réponse de l'électrode de trav
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45 Développement de la résine. La
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47 V) Greffage Chimiques L'objectif
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49 l'oxynitrure de silicium. Le sol
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51 PREPARATION DE COUCHES MINCES D'
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concerne la mesure de la densité d
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3000 2500 E 2000 o 1500 '000 500 o
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57 avons divisé par deux les flux
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59 des couches déposées sur subst
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61 Les dilutions avec de lt hélium
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63 son tour en Si-OH et SiNH2 (cf 1
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D'après les valeurs des constantes
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cx = fSS + (faT 67 (111.22) De plus
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69 5 x 1014 cm2 comme pour la silic
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71 V.2.3 Influence du sodium sur le
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73 Un des intérêts des ISFETs est
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75 Par ailleurs Van den Berg a essa
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77 11.2.1.2) Caractérisation du gr
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D'après la formule (111.28, chapit
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Absorbance 1.66- 1.33 1.00. 0.66_.
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83 (phénomène déjà observé sur
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85 ItrJR MISE AU POINT D'UNE METHOD
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87 sensible. Toujours en utilisant
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I, 89 AA_ i couche sensible r,,-A o
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91 IH.1) Mesures d'impédance sur s
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I.(Z) Mahm.ci2 -320 -290 95 I T / /
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des variations du potentiel de gril
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CONCLUSION GENERALE Dans ce travail
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BIBLIOGRAPHIE 101 L. BOUSSE, Thèse
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105 H.H. VAN DEN VLEKKERT, B. KLOEC