LMSSMat Mécanique des Sols, Structures et Matériaux - IM2NP
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Schéma du réacteur CVD <br />
Mécanisme général<br />
Paramètres étudiés<br />
Température<br />
Atmosphère<br />
Fe(C<br />
5<br />
H 5<br />
) 2<br />
Concentration,<br />
Vitesse d’injection<br />
I- Paramètres de CVD<br />
II- Substrat<br />
µAl<br />
2<br />
O 3<br />
Morphologie, taille,<br />
Structure cristallo<br />
-graphique...<br />
CxHy<br />
C 8 H 10 , C 2 H 2<br />
α-Al2O3<br />
III<br />
-Mécanismes<br />
d’organisation