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LMSSMat Mécanique des Sols, Structures et Matériaux - IM2NP

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Schéma du réacteur CVD <br />

Mécanisme général<br />

Paramètres étudiés<br />

Température<br />

Atmosphère<br />

Fe(C<br />

5<br />

H 5<br />

) 2<br />

Concentration,<br />

Vitesse d’injection<br />

I- Paramètres de CVD<br />

II- Substrat<br />

µAl<br />

2<br />

O 3<br />

Morphologie, taille,<br />

Structure cristallo<br />

-graphique...<br />

CxHy<br />

C 8 H 10 , C 2 H 2<br />

α-Al2O3<br />

III<br />

-Mécanismes<br />

d’organisation

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