Effetti fisici ed applicazioni

www1.na.infn.it

Effetti fisici ed applicazioni

B +

Epilayer (Intrisic)

Processo tecnologico DIMES - Delft

Integrated Photonics - G. Breglio L6

As +

n-type

Impiantazione

di As

Crescita dello

strato epitassiale

Definizione della

rib (mask + etch)

Ossidazione

diffusa (40 nm)

Impiantazione di

boro per le tasche

P

As +

+

Ossidazione

diffusa (300nm)

Impiantazione di

As per le zone N

Aperture sulle

tasche P

Aperture sulle

rib

Metallizzazione

23

Similar magazines