高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
高濃度ボロンドープ試料の 角度分解X線光電子分光による 濃度分布解析
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I<br />
⎛ x ⎞<br />
= ∫ ∞ ⎜ − ⎟<br />
0<br />
⎝ λ sinθ<br />
⎠<br />
( z) A c( z + x) σ exp dx<br />
dI<br />
dz<br />
c: σ: <br />
λ: IMFP, A: , θ:<br />
( z) c( z + x)<br />
⎛ x ⎞<br />
= A∫ ∞ σ exp⎜<br />
− ⎟dx<br />
0 dz ⎝ λ sinθ<br />
⎠<br />
z=0<br />
z<br />
(x=0)<br />
<br />
<br />
<br />
x<br />
contribute<br />
for I(z)<br />
c(z)<br />
⎡ = Aσ<br />
⎢ − c ∫ ∞ ⎜ ⎟dx<br />
⎣ λ sinθ<br />
0<br />
⎝ λ sinθ<br />
⎠<br />
A<br />
= −Aσc( z) + I( z)<br />
λ sinθ<br />
<br />
1 dI<br />
( )<br />
( z)<br />
1<br />
1<br />
c z = − + I( z)<br />
c0 Aσ<br />
dz λσ sinθ<br />
=<br />
1<br />
⎛ x ⎞ ⎤<br />
( z) + c( z + x) exp − ⎥ ⎦<br />
I<br />
λσ sinθ<br />
( z)<br />
4
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