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EPP 09.2022

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» TEST & QUALITÄTSSICHERUNG Fehler an Wafern, die bei der Inspektion mit sichtbarem Licht unerkannt bleiben (Bild links und Mitte), lassen sich mit SWIR-Kameras (Bild rechts) deutlich erkennen Bildverarbeitung außerhalb des sichtbaren Spektrums Ein Sensor für geringe Kosten Bild: SVS-Vistek Für viele industrielle Inspektionsaufgaben sind Wellenlängen außerhalb des sichtbaren Lichts aussagekräftiger als das für den Menschen wahrnehmbare Lichtspektrum. SVS-Vistek hat für derartige Anwendungen neue leistungsstarke SWIR- und UV-Industriekameras sowie Polarisationskameras im Programm. KURZ & BÜNDIG Bildverarbeitung außerhalb des sichtbaren Lichtspektrums mit SWIR-, UV- und Polarized-Kameras sowie darauf optimal abgestimmten Beleuchtungs- und Optikkomponenten. Das menschliche Auge kann Licht mit Wellenlängen von etwa 400 nm bis 750 nm erkennen. Industrielle Bildverarbeitungssysteme konzentrierten sich viele Jahre lang fast ausschließlich auf diesen sichtbaren Bereich. Durch die zunehmende Leistungsfähigkeit von Sensoren in den Bereichen Short Wave Infrared (SWIR) und Ultraviolett (UV) ist nun auch der ökonomische Einsatz von Spezialkameras außerhalb des sichtbaren Spektrums in dafür prädestinierten Anwendungen möglich. Die Inspektion mit SWIR-Kameras ist bereits in den unterschiedlichsten Industriebranchen eine bewährte Technologie. Die neuen SWIR-Kameras sind in der Lage, zusätzlich zum SWIR-Bereich mit einem einzigen Sensor auch den für das menschliche Auge sichtbaren Bereich abzudecken. Die kombinierte Nutzung erleichtert es beispielsweise, Silizium in der Solar- und Elektronikindustrie zu inspizieren oder mit anderen Technologien unsichtbare Verunreinigungen, Wasser oder Wasserdampf auszumachen. Für den kompletten Wellenlängenbereich von 400 nm bis 1.700 nm nur einen einzigen Sensor zu benötigen, führt zu deutlich geringeren Kosten und weniger komplexen Inspektionssystemen. Mit den SWIR-Kameras exo990, fxo990 und exo991 sind derzeit drei leistungsstarke Modelle im Programm. Durch ihre Auflösung von 0,3 MP bzw. 1,3 MP, Frameraten von 90 bis 259 Bildern/s, einem sehr kompakten Sensorformat mit einer Diagonalen von nur 8,2 mm bzw. 4,1 mm, einem hervorragenden Temperaturmanagement und modernen Schnittstellen wie GigE Vision und CoaXPress-12 ist eine Vielzahl von Anwendungen realisierbar. Dabei liefert die Kamera eine hervorragende Bildhomogenität über das gesamte Spektrum von 400 nm bis 1.700 nm. Technische Grundlage sind die SenSWIR-Sensoren von Sony, deren wesentliche Verbesserung im so genannten Cu-Cu-Bonding besteht, das kleinere Pixelstrukturen und damit eine verbesserte Auflösung ermöglicht. Modernste InGaAs-Technologie, eine hohe Auflösung und ihre Empfindlichkeit über einen großen Spektralbereich sind damit die Basis für die industriellen SWIR-Kameras des Unternehmens. Neues am kurzen Ende des Spektrums Die Verwendung ultravioletter Wellenlängen, die im Spektrum von ca. 200 bis 400 nm liegen, war in der industriellen Inspektion aufgrund der niedrigen 46 EPP » 09 | 2022

Die SWIR-Kameras exo990, fxo990 und exo991 von SVS-Vistek nutzen sichtbare und SWIR-Wellenlängenbereiche und erlauben dadurch die gleichzeitige Inspektion von Behältermerkmalen und den darin enthaltenen Stoffen Bild: SVS-Vistek Auflösung bislang verfügbarer UV-Kameras weniger beliebt als der Einsatz SWIR-basierter Kameras. Mit den neuen UV-Kameras fxo487MCX und fxo487MXGE verändert das Unternehmen diese Situation grundlegend. Der 8,1-MP-Sensor von Sony, der in diese Kameras integriert ist, erlaubt die Erkennung von unsichtbaren Produktdefekten durch ultrascharfe, hochauflösende UV-Bilder. Wichtigste Einsatzbereiche dieser mit CoaXPress-12– bzw. 10GigE- Interface ausgestatteten Kameras sind komplexe Inspektionsaufgaben, z. B. in der Batterie-, Halbleiter-, Glas-, Recycling-, Edelstein- und Automobilbranche. Kameras, die polarisieren Ein weiteres interessantes Feld für die industrielle Inspektion sind Polarisationskameras. Auch hier stellt eine Sensorentwicklung von Sony die Grundlage dieser Technologie dar. Die Polarized Sensoren IMX264MZR, IMX250MZR und IMX253MZR arbeiten mit einer Matrix von Polfiltern unterschiedlicher Orientierung (0°, 90°, 45° und 135°), die in jedem 2x2 Pixel-Array direkt auf dem Sensor appliziert ist. Dieser Aufbau hat den Vorteil, dass mit einer einzigen Aufnahme – ohne Änderung der Beleuchtung – gleichzeitig der Grad der Polarisation des Lichtes, seine Polarisationsrichtung und die Intensität des polarisierten Lichtes gemessen und ausgewertet werden können. Die gleichzeitige Erfassung verschiedener Polarisationsrichtungen und -Grade ermöglicht eine sichere Bildauswertung auf optischer Basis. Änderungen der mechanischen bzw. optischen Einstellungen am Objektiv oder an der Beleuchtung sind nicht notwendig, was viele Aufgaben in der Bildverarbeitung vereinfacht. Das Unternehmen bietet auf Basis dieser innovativen Sensoren derzeit sechs Polarized-Modelle der EXO-Serie mit 5 oder 12 Megapixel Auflösung und Bildraten von 10 bis 75 Bildern/s. Bei den Schnittstellen haben Anwender die Wahl zwischen Gigabit Ethernet und USB3. Mit diesen Polarized-Kameras erschließt SVS- Vistek im Vergleich zu herkömmlichen Industriekameras interessante neuartige Möglichkeiten. Die Polarisationsmessung erlaubt beispielsweise die Überprüfung nichtmetallischer transparenter oder reflektierender Materialien wie Wasser, Plastik oder Glas sowie die Kontrolle schwieriger Oberflächen oder das Lesen von schwarzer Schrift auf schwarzem Untergrund, was unter anderem in der Reifenproduktion eine bislang kaum lösbare Aufgabe darstellte. In der Pharmaindustrie eignen sich Polarisationskameras besonders für die Blisterkontrolle, um fehlerhafte Tablettenverpackungen oder -bestückungen zuverlässig zu erkennen und auszusortieren. www.svs-vistek.com Die in den SWIR-Kameras von SVS-Vistek eingesetzten SenSWIR-Sensoren von Sony führen mit ihrem Cu-Cu- Bonding zu kleineren Pixelstrukturen und damit zu einer höheren Auflösung Bild: SVS-Vistek SVS-Visteks UV- Spezialkamera ist im Handling genauso einfach wie eine Standard Machine Vision Kamera Bild: SVS-Vistek EPP » 09 | 2022 47

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