NO. 3-2011 - Trelleborg
NO. 3-2011 - Trelleborg
NO. 3-2011 - Trelleborg
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Halvledarnas värld är på<br />
väg åt två håll samtidigt.<br />
Chipsen blir allt kraftfullare<br />
och får allt fler<br />
funktioner, samtidigt<br />
som allt måste få plats på mindre och<br />
mindre utrymme. Denna miniatyrisering<br />
kräver oerhörd precision i tillverkningsprocessen.<br />
Carl Zeiss SMT (Semiconductor<br />
Manufacturing Technology) levererar<br />
optiska system till nederländska<br />
ASML, en världsledande leverantör<br />
av litografimaskiner för tillverkning<br />
av kiselchips. Och relationen mellan<br />
de båda företagen går mycket djupare<br />
än ett vanligt kund-leverantör-förhållande.<br />
Som Chris Groger, inköpschef<br />
vid Carl Zeiss SMT, uttrycker det:<br />
– ASML och Zeiss betraktar sig<br />
som partners.<br />
ASML-maskinerna, kallade ”wafer<br />
steppers” och i vilka Zeiss optik<br />
är en central komponent, överför en<br />
avbildning av chipsets komponentstruktur<br />
till kiselytan med hjälp av<br />
fotolitografi. I processen riktas intensivt<br />
ljus genom ett mönster av<br />
transparenta och opaka ytor på en<br />
mask, genom ett optiskt system och<br />
mot en ytbelagd kiselplatta. Ljuset<br />
tar bort beläggning enligt mönstret<br />
och det kan krävas upp till 40 exponeringar<br />
för att åstadkomma samtliga<br />
skikt av ledarbanor. En exponering<br />
behandlar bara en liten del<br />
av plattan och maskinen flyttar sig<br />
stegvis tills hela plattan har exponerats<br />
– därav namnet ”wafer stepper”.<br />
I sin fabrik i Oberkochen, nära<br />
Stuttgart i Tyskland, tillverkar Zeiss<br />
den optik som koncentrerar och riktar<br />
ljuset och som därigenom krymper<br />
avbildningen från masken till en<br />
liten yta på kiselplattan. Eftersom<br />
detaljeringsgraden kräver en oerhört<br />
hög upplösning måste optik glaset<br />
vara extremt rent eftersom linssystemet<br />
annars skulle riskera att förvränga<br />
bilden. Dessutom måste själva<br />
ljuset vara ett noggrant styrt laserljus.<br />
4 T·TIME 3·<strong>2011</strong><br />
Tekniska framsteg och<br />
hårdare lagkrav ökar<br />
efterfrågan på rena<br />
komponenter. Det<br />
gäller även tätningar,<br />
som dessa O-ringar.
Change language