Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...
Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...
Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...
Transform your PDFs into Flipbooks and boost your revenue!
Leverage SEO-optimized Flipbooks, powerful backlinks, and multimedia content to professionally showcase your products and significantly increase your reach.
konstrukcje technologie zastosowania<br />
MIESIECZNIK NAUKOWO-TECHNICZNY<br />
rok L nr 6/<strong>2009</strong><br />
• MATERIAŁY • KONSTRUKCJE • UKŁADY<br />
• SYSTEMY • MIKROELEKTRONIKA<br />
• OPTOELEKTRONIKA • FOTONIKA<br />
• ELEKTRONIKA MIKROFALOWA<br />
• MECHATRONIKA<br />
• ENERGOELEKTRONIKA • INFORMATYKA<br />
ZESPÓŁ REDAKCYJNY<br />
prof. dr hab. inż. Jerzy Klamka - redaktor naczelny,<br />
Bożena Lachowicz - sekretarz redakcji<br />
Stali współpracownicy: mgr inż. Wiesław Jabłoński,<br />
mgr inż. Krzysztof Kowalski, dr Juliusz Szczęsny<br />
Adres redakcji: ul. Chmielna 6 m.6, 00-020 Warszawa,<br />
tel./fax: (022) 827 38 79; tel.: (022) 826 65 64,<br />
e-mail: elektronika@red.pl.pl, www.elektronika.orf.pl<br />
Zamówienia na reklamę przyjmuje redakcja lub Dział Reklamy<br />
i Marketingu, ul. Mazowiecka 12, 00-950 Warszawa, skr. 1004,<br />
tel./fax (022) 8274366, 8268016, e-mail: reklama@sigma-not.pl<br />
Kolportaż: ul. Ku Wiśle 7, 00-716 Warszawa, tel.: (022) 840 35 89;<br />
tel./fax:: (022) 840 59 49, (022)891 13 74<br />
RADA PROGRAMOWA<br />
prof. dr hab. inż. Władysław Torbicz (PAN) - przewodniczący<br />
prof. dr hab. inż. Leonard Bolc, prof. dr hab. Zdzisław Drozd, prof. dr<br />
hab. inż. Jerzy Fraczek, dr inż. Józef Gromek, mgr inż. Jan Grzybowski,<br />
prof. dr hab. Ryszard Jachowicz, prof. dr hab. Włodzimierz<br />
Janke, prof. dr hab. Andrzej Jakubowski, prof. dr hab. Włodzimierz<br />
Kalifa, inż. Stefan Kamiński, prof. dr hab. inż. Marian P. Kaźmierkowski,<br />
dr inż. Wojciech Kocańda, prof. dr hab. Bogdan Kosmowski, mgr<br />
inż. Zbigniew Lange, prof. dr hab. Benedykt Licznerski, dr inż. Zygmunt<br />
Łuczyński, prof. dr hab. inż. Józef Modelski, prof. dr hab. Tadeusz<br />
Morawski, prof. dr hab. Bohdan Mroziewicz, prof. dr hab. Andrzej<br />
Napieralski, prof. dr hab. Tadeusz Pałko, prof. dr hab. inż. Marian<br />
Pasko, prof. dr hab. Józef Piotrowski, dr hab. inż. Ryszard Romaniuk,<br />
dr hab. inż. Grzegorz Różański, dr hab. inż. Edward Sędek, prof. dr<br />
hab. Ludwik Spiralski, prof. dr hab. inż. Zdzisław Trzaska, mgr inż.<br />
Józef Wiechowski, prof. dr hab. inż. Marian Wnuk, prof. dr hab.<br />
inż. Janusz Zarębski<br />
Czasopismo dotowane przez Ministerstwo Nauki<br />
i Szkolnictwa Wyższego. Za opublikowane w nim artykuły<br />
MNiSzW przyznaje 6 punktów.<br />
“<strong>Elektronika</strong>” jest wydawana<br />
przy współpracy Komitetu Elektroniki<br />
i Telekomunikacji Polskiej Akademii Nauk<br />
IEEE<br />
WYDAWNICTWO<br />
CZASOPISM I KSIĄŻEK<br />
TECHNICZNYCH<br />
SIGMA - NOT<br />
Spółka z o. o.<br />
00-950 Warszawa<br />
skrytka pocztowa 1004<br />
ul. Ratuszowa 11<br />
tel.: (0 22)818 09 18, 818 98 32<br />
fax: (0 22) 619 21 87<br />
Internet<br />
http://www.sigma-not.pl<br />
Prenumerata<br />
e-mail: kolportaz@sigma-not.pl<br />
Informacja<br />
e-mail: informacja@sigma-not.pl<br />
Redakcja współpracuje<br />
z Polską Sekcją IEEE<br />
“<strong>Elektronika</strong>” jest notowana<br />
w międzynarodowej bazie IEE<br />
Inspec<br />
Publikowane artykuły nukowe były<br />
recenzowane przez samodzielnych<br />
pracowników nauki<br />
Redakcja nie ponosi odpowiedzialności<br />
za treść ogłoszeń. Zastrzega<br />
sobie prawo do skracania i adjustacji<br />
nadesłanych materiałów.<br />
Indeks 35722<br />
Nakład do 2000 egz.<br />
Druk: Drukarnia SIGMA-NOT Sp. z o.o.<br />
SPIS TREŚCI • CONTENTS<br />
Przekształtniki energoelektroniczne z elementami z węglika<br />
krzemu (Power electronics converters with silicon carbide devices)<br />
- M. Nowak, J. Rąbkowski, R. Barlik .................................. 7<br />
Ocena parametrów statycznych diod Schottkyego z SiC (Valuation<br />
of the static parameters of SiC Schottky diodes) -<br />
A. Szewczyk, A. Konczakowska, B. Stawarz-Graczyk ................ 13<br />
Wysokonapięciowa dioda z barierą Schottkyego z węglika<br />
krzemu (High-Voltage Schottky Barrier Diode on SiC) - L. Dobrzański,<br />
K. Góra, A. Jagoda, A. Kozłowski, B. Stańczyk ............ 16<br />
Optymalizacja konstrukcji i modelowanie tranzystora RE-<br />
SURF LJFET w 4H-SiC (Electrical simulation of 4H-SiC<br />
RESURF LJFET and design optimalization) - A. Taube,<br />
M. Sochacki, J. Szmidt ............................................................ 20<br />
Właściwości elektryczne i mechaniczne metalizacji kontaktowych<br />
Ni i Ti oraz wytworzonych na nich połączeń drutowych<br />
do n-SiC (Electrical and mechanical properties of Ni and<br />
Ti ohmic contact metallizations and wire bonding connections<br />
onto n-SiC) - R. Kisiel, M. Guziewicz ......................................... 26<br />
Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych metodą implantacji<br />
warstw epitaksialnych 4H-SiC jonami glinu (Characterization<br />
of p-i-n diodes fabricated by aluminium ion implantation<br />
of 4H-SiC epitaxial layers) - N. Kwietniewski, K. Pazio,<br />
M. Sochacki, J. Szmidt, A. Droździel, M. Kulik, S. Prucnal,<br />
K. Pyszniak, M. Rawski, M. Turek, J. Żuk ................................... 32<br />
TECHNIKA SENSOROWA: Polimery elektroprzewodzące<br />
w elektronice i analityce biochemicznej (Electroconducting<br />
polymers in electronics and biochemical analytics) - W. Torbicz,<br />
D. Pijanowska ......................................................................... 36<br />
TECHNIKA INFORMATYCZNA: Rola modułów dialogowych w<br />
tworzeniu profilów osobowych uczestników szkoleń e-learningowychj<br />
(Dialogue modules in creation of e-course student<br />
personal profile) - W. Przyłuski .................................................... 44<br />
TECHNIKA MIKROFALOWA I RADIOLOKACJA: Aktywna antena<br />
radiolokacyjna na pasmo S. Część 3. System nadawczy<br />
(Active S band antenna for radar application. Part. 3. Transmit<br />
system) - A. Czwartacka, J. Cholewa, T. Lorens, R. Sender,<br />
K. Szustak, B. Stachowski .......................................................... 49<br />
Szybki algorytm dyskretnej transformacji Gabora (The Fast Alghoritm<br />
of Discrete Gabor Transform) - Ł. Bonikowski, A. Tariov ... 57<br />
Flexible packet scheduling algorithm utilization for on-chip networks<br />
(Algorytm elastycznego kolejkowania pakietów w sieciach<br />
wewnątrzukładowych) - P. Stolarski, T. Mąka, P. Dziurzański ......... 62<br />
Szkło dla fotoniki. Część 9. Rodzaje szkieł laserowych (Glasses<br />
for photonics. Part 8. Kinds of laser glasses) - R. Romaniuk .......... 69<br />
Badania lokalności aplikacji równoległych bazujących na tworzeniu<br />
niezależnych wątków obliczeń (Experimental studies<br />
on data locality of parallel applications consisting of synchronization-free<br />
threads of computations) - W. Bielecki, K. Kraska ... 74<br />
Wykorzystanie elementu XOR w syntezie logicznej przeznaczonej<br />
dla programowalnych struktur CPLD typu PAL<br />
(Using XOR element for logic synthesis of the PAL-based Complex<br />
Programmable Devices) - W. Grabiec, D. Kania .................. 82<br />
Estymacja parametrów modelu Danga tranzystora MOS (Parameters<br />
estimation of the Dang model of MOS transistor) -<br />
J. Zarębski, D. Bisewski .............................................................. 87<br />
Lead Free Electronic Module Test Research for Motion<br />
Control of Cars Front Windscreen Wipers (Testowanie<br />
bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />
wycieraczki szyby przedniej samochodu) - A. Manukova-<br />
Marinova, V. Dimov, A. Levi, D. Stephanov ................................ 91<br />
Modele i makromodele tranzystorów MOS mocy dla programu<br />
SPICE (Models and macromodels of power MOS transistors<br />
for SPICE) - J. Zarębski, D. Bisewski .............................. 96<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 1
Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />
NOWAK M., RĄBKOWSKI J., BARLIK R.: Przekształtniki energoelektroniczne<br />
z elementami z węglika krzemu<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 7<br />
Dzięki wysokiej dopuszczalnej wartości napięć wstecznych diody<br />
Schottkyego z węglika krzemu mogą znaleźć zastosowanie jako<br />
diody zwrotne w typowych układach energoelektronicznych. W celu<br />
porównania właściwości ultraszybkich standardowych diod krzemowych<br />
PiN i diod Schottkyego z węglika krzemu opracowano model<br />
symulacyjny trójfazowego przekształtnika PWM zawierającego<br />
łączniki złożone z tranzystorów IGBT i diod zwrotnych. Badania symulacyjne<br />
ukierunkowano na wyznaczenie strat mocy wydzielanych<br />
w łącznikach w przypadku, gdy dioda zwrotna jest wykonana<br />
z krzemu lub z węglika krzemu. Wyniki obliczeń wskazują, że całkowita<br />
moc strat we wszystkich łącznikach jest mniejsza w przypadku<br />
zastosowania diod Schottkyego z węglika krzemu. Wykonano model<br />
laboratoryjny trójfazowego przekształtnika PWM o mocy 5 kVA przeznaczony<br />
do badań eksperymentalnych w celu pomiaru i porównania<br />
całkowitej mocy strat w przypadku zastosowania w układzie diod<br />
krzemowych i z węglika krzemu. Zbudowany przekształtnik jest przewidziany<br />
do połączenia z siecią 3 × 400 V/50 Hz i może pełnić funkcją<br />
prostownika, kompensatora a także falownika (przekazywanie<br />
energii do sieci).<br />
NOWAK M., RĄBKOWSKI J., BARLIK R.: Power electronics converters<br />
with silicon carbide devices<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 7<br />
Thanks to high reverse voltage, the silicon carbide Schottky Barrier<br />
Diode can be applied as anti-parallel diode in a two-switch leg being<br />
the most popular PWM converter sub-circuit. In order to compare the<br />
standard ultrafast silicon PiN diode and silicon-carbide Schottky Barrier<br />
Diode, the simulation model of three phase PWM converter consisting<br />
of IGBT and diodes was investigated. Simulations were carried<br />
out to calculate the power losses in two cases: firstly, if the anti-parallel<br />
diode is made with silicon, and secondly, if the diode is made of<br />
silicon carbide. The results obtained by simulations confirm that the<br />
total power losses in all switches are smaller when the silicon-carbide<br />
Schottky Barrier diodes are used. The experimental 5 kVA three<br />
phase PWM converter was built to prove and compare by laboratory<br />
measurement the total power in the cases when the silicon and silicon<br />
carbide diodes are used. The converter is designed for standard<br />
line voltages (3 × 400 V/50 Hz) and is capable to work as rectifier,<br />
compensator or inverter (i.e. drawing energy to the line).<br />
Keywords: three phase PWM power converter, silicon carbide Schottky<br />
diode, switching power losses<br />
Słowa kluczowe: trójfazowy przekształtnik PWM, dioda Schottkyego<br />
z węglika krzemu, łączeniowe straty mocy<br />
SZEWCZYK A., KONCZAKOWSKA A., STAWARZ-GRACZYK B.:<br />
Ocena parametrów statycznych diod Schottkyego z SiC<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 13<br />
Przedstawiono wyniki pomiarów parametrów statycznych 3 prób diod<br />
Schottkyego produkcji CREE i 2 prób diod Schottkyego produkcji IN-<br />
FINEON. Stwierdzono, że charakterystyki przy polaryzacji diod w kierunku<br />
przewodzenia są w zasadzie identyczne, natomiast przy<br />
polaryzacji w kierunku zaporowym wykazują istotne różnice, szczególnie<br />
w zakresie napięć w kierunku zaporowym powyżej 600 V.<br />
Słowa kluczowe: węglik krzemu, diody Schottkyego, parametry statyczne<br />
DOBRZAŃSKI L., GÓRA K., JAGODA A., KOZŁOWSKI A., STAŃ-<br />
CZYK B., PRZYBOROWSKA K.: Wysokonapięciowa dioda z barierą<br />
Schottkyego z węglika krzemu<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 16<br />
W artykule przedstawiamy opracowanie technologii wysokonapięciowej<br />
diody Schottkyego wykonanej z materiału wytworzonego w<br />
całości w ITME. Najpierw omówiono problem zakończenia złącza<br />
Schottkyego i wykonano numeryczne symulacje zjawiska przebicia<br />
diody. Wyniki obliczeń zweryfikowano eksperymentalnie. Następnie<br />
wykonano wiele eksperymentalnych partii technologicznych diod<br />
o różnym polu powierzchni złącza. Na tej podstawie oszacowano aktualny<br />
stan całego cyklu technologicznego wytwarzania wysokonapięciowych<br />
przyrządów mocy w ITME od wzrostu monokryształu,<br />
przez wzrost warstw epitaksjalnych aż do wykonania przyrządu<br />
półprzewodnikowego. Oceniamy, że możemy w chwili obecnej produkować<br />
diody mocy o napięciu przebicia 600 V i prądzie przewodzenia<br />
3 A. W najbliższej przyszłości te wartości zostaną ulepszone<br />
do poziomu prądu 5...10 A przy napięciu przebicia 600 V. Na podstawie<br />
szeroko zakrojonych badań statystycznych oceniamy poziom<br />
uzysku tej działalności na 75%.<br />
SZEWCZYK A., KONCZAKOWSKA A., STAWARZ-GRACZYK B.:<br />
Valuation of the static parameters of SiC Schottky diodes<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 13<br />
The static parameters measurements results of 3 samples of CREE<br />
SiC Schottky diodes and 2 samples of INFINEON SiC Schottky<br />
diodes are presented. Measured forward characteristics for each<br />
sample show excellent reproducibility, whereas the reverse characteristics<br />
significantly differ for devices from each samples, especially<br />
for reverse voltage higher than 600 V.<br />
Keywords: silicon-carbide, Schottky diode, static parameters<br />
DOBRZAŃSKI L., GÓRA K., JAGODA A., KOZŁOWSKI A., STAŃ-<br />
CZYK B., PRZYBOROWSKA K.: High-Voltage Schottky Barrier<br />
Diode on SiC<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 16<br />
We report on development of high-voltage Schottky barrier diode on<br />
single crystal SiC wafers and epi-layers grown at ITME. The problem<br />
of Schottky junction termination extension has been solved using the<br />
numerical simulation. The calculated results have been verified by experiment.<br />
We have carried out many experiments with diodes of diverse<br />
junction areas and have estimated capabilities of our whole<br />
technological cycle starting from crystal growth, epi-layer growth and<br />
finally construction of diode and device processing. We claim that current<br />
status of SiC technology at ITME is the following: we can fabricate<br />
diodes which exhibit 600 V of breakdown voltage and forward<br />
current of 3 A with the yield greater than 75%. We estimate that these<br />
values will change in the near future to be 5...10 A of forward current<br />
and 600 V of breakdown voltage at the same yield level.<br />
Keywords: SiC, Schottky, high-voltage power diode<br />
Słowa kluczowe: SiC, węglik krzemu, wysokonapięciowa dioda mocy<br />
TAUBE A., SOCHACKI M., SZMIDT J.: Optymalizacja konstrukcji<br />
i modelowanie tranzystora RESURF LJFET w 4H-SiC<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 20<br />
W artykule przedstawiono wyniki symulacji tranzystora LJFET wykonanego<br />
na podłożu 4H-SiC. Wbudowane w symulator ATLAS parametry<br />
materiałowe i modele przerwy energii zabronionych, ruchliwości<br />
i jonizacji zderzeniowej rozszerzono i uzupełniono o dane zaczerpnięte<br />
z literatury. Parametry struktury tranzystora LJFET optymalizowano<br />
pod kątem uzyskania maksymalnej wartości napięcia przebicia<br />
(V br ) i minimalnej rezystancji charakterystycznej w stanie włączenia<br />
(R on ). Po zmodyfikowaniu zaproponowanej struktury otrzymano wartość<br />
V br = 1020 V i R on = 15,7 mWcm 2 .<br />
Słowa kluczowe: węglik krzemu, SiC, JFET, LJFET, symulacje numeryczne<br />
TAUBE A., SOCHACKI M., SZMIDT J.: Electrical simulation of 4H-<br />
SiC RESURF LJFET and design optimalization<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 20<br />
4H-SiC lateral junction field-effect transistor structure (LJFET) was<br />
simulated in ATLAS software. Implemented material parameters and<br />
physical models of temperature dependence of energy bandgap, electric<br />
field dependence of carrier mobility and impact ionization were<br />
extended by latest literature data. LJFET breakdown voltage (V br ) and<br />
on-state specific resistance (R on ) were investigated to maximize Figure<br />
of Merit (FOM). Breakdown voltage of 1020 V and on-state specific<br />
resistance of 15.7 mWcm 2 were achieved finally.<br />
Keywords: silicon carbide, SiC, JFET, LJFET, simulations<br />
2 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
KISIEL R., GUZIEWICZ M.: Właściwości elektryczne i mechaniczne<br />
metalizacji kontaktowych Ni i Ti oraz wytworzonych na<br />
nich połączeń drutowych do n-SiC<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 26<br />
Węglik krzemu (SiC) stał się obiektem szczególnego zainteresowania<br />
głównie tam, gdzie wymaganiom wysokotemperaturowym nie może<br />
sprostać krzem [1]. Półprzewodnikowe przyrządy mocy oparte na<br />
węgliku krzemu stają się handlowo dostępne do zastosowań wysokomocowych<br />
i wysokotemperaturowych, ale nie przekraczających<br />
250ºC. Niezawodność przyrządów z SiC jest ograniczona z jednej<br />
strony stabilnością termiczną kontaktów omowych wytworzonych<br />
w SiC [2], z drugiej strony materiałami stosowanymi do połączeń<br />
struktury SiC z podłożem, a także materiałami i technologiami użytymi<br />
do wykonania połączeń elektrycznych obszarów aktywnych struktury<br />
z wyprowadzeniami obudowy i samymi materiałami stosowanymi na<br />
obudowy przyrządów [3-6]. W celu wykorzystania specyficznych zalet<br />
oferowanych przez przyrządy SiC, niezbędnym staje się opanowanie<br />
technologii niezawodnych kontaktów omowych oraz opracowanie wysokotemperaturowych<br />
materiałów do połączenia z podłożem, zastosowanie<br />
odpowiednich technologii montażu oraz technologii<br />
zamykania tych przyrządów w obudowy. W artykule [7] przedstawiono<br />
rozwiązania, jakie można zastosować do wykonania połączeń cieplno-mechaniczno-elektrycznych<br />
miedzy strukturą SiC, a podłożem<br />
z ceramiki alundowej lub z azotku glinu.<br />
KISIEL R., GUZIEWICZ M.: Electrical and mechanical properties<br />
of Ni and Ti ohmic contact metallizations and wire bonding connections<br />
onto n-SiC<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 26<br />
Unique properties of SiC lead this semiconductor for applications in<br />
new electronic devices operating at high temperatures, high power<br />
and high frequencies. There are a few problems related to the production<br />
of high temperature SiC devices. Developing of reliable ohmic<br />
contacts to SiC structure as well as a wire connection between the<br />
SiC ohmic contact and package leads are the serious tasks for today.<br />
The stability of Ni and Ti Au ohmic contacts onto n-SiC as well as the<br />
electrical and mechanical properties of Au and Al wire connection onto<br />
metallic contacts of n-SiC were investigated. The ohmic contact to n-<br />
SiC was formed by rapid thermal annealing of Ti film and Au metallization<br />
has been applied to form electrical connections using Au wire<br />
bonds. Long-term tests of the connections were performed in air at<br />
400 o C. Evaluation of electrical parameters as well as morphology and<br />
structure of the Al metallization onto Ti or Ni based ohmic contacts<br />
and with Al wire bonding electrical connections show good stability<br />
after ageing at 400°C & 300 h. For SiC structures with Au metallization<br />
and Au wire bonding only Ti based ohmic contacts fulfill thermal<br />
stability requirements.<br />
Keywords: silicon carbide, ohmic contacts, Al and Au wire bonding<br />
Słowa kluczowe: węglik krzemu, kontakty omowe, połączenia drutowe<br />
Al oraz Au<br />
KWIETNIEWSKI N., PAZIO K., SOCHACKI M., SZMIDT J., DROŹ-<br />
DZIEL A., KULIK M., PRUCNAL S., PYSZNIAK K., RAWSKI M.,<br />
TUREK M., ŻUK J.: Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych metodą<br />
implantacji warstw epitaksialnych 4H-SiC jonami glinu<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 32<br />
W pracy opisano wytwarzanie i charakteryzację diod p-i-n wytwarzanych<br />
w strukturach epitaksjalnych 4H-SiC. W celu uzyskania warstw<br />
typu p + wykonano 4-krotną implantację jonami Al przy całkowitej<br />
dawce 7,1•10 14 cm -2 dla uzyskania prostokątnego rozkładu głębokościowego.<br />
Implantację prowadzono przy temperaturze tarczy<br />
500 o C z użyciem implanatora jonów UNIMAS wyposażonego w plazmowe<br />
źródło jonów naszej konstrukcji. Zaimplantowany materiał został<br />
następnie wygrzany w argonie przez 20 min. w t = 1600 o C.<br />
Przeprowadzono badania rozkładów głębokościowych SIMS oraz rozpraszania<br />
mikro-ramanowskiego. Z pomiarów metodą c-TLM wyznaczono<br />
wartości rezystancji charakterystycznej kontaktów. Pomiary<br />
Halla wykazały, że koncentracja nośników w warstwie implantowanej<br />
p + o grubości 350 nm zawiera się w przedziale 3...4•10 18 cm -3 . Gęstość<br />
prądu wytworzonych diod osiąga maksymalną wartość 220<br />
A/cm 2 przy polaryzacji w kierunku przewodzenia 10 V, natomiast napięcie<br />
przebicia zawiera się w granicach 550...600 V.<br />
Słowa kluczowe: węglik krzemu, 4H-SiC, implantacja, dioda p-i-n,<br />
źródło jonów, rozpraszanie Ramana<br />
TORBICZ W., PIJANOWSKA D.: Polimery elektroprzewodzące<br />
w elektronice i analityce biochemicznej<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 36<br />
Na podstawie najnowszej literatury, omówiono właściwości elektryczne,<br />
optyczne, magnetyczne, mechaniczne i elektrochemiczne,<br />
metody otrzymywania oraz zastosowania polimerów elektroprzewodzących<br />
do budowy elementów elektronicznych, optoelektronicznych<br />
takich jak miniaturowe rezystory, kondensatory, diody,<br />
tranzystory, fotodiody, fototranzystory, lasery, światłowody oraz<br />
układów elektronicznych, w tym czujników i bioczujników wybranych<br />
wielkości chemicznych i biochemicznych, a także mikrosystemów do<br />
całościowej analizy biochemicznej (µTAS, lab-on-a-chip).<br />
Słowa kluczowe: polimery przewodzące, półprzewodniki organiczne,<br />
metale syntetyczne, elektronika organiczna, optoelektronika organiczna,<br />
czujniki chemiczne, bioczujniki, mikrosystemy biochemiczne,<br />
analityka biochemiczna<br />
PRZYŁUSKI W.: Rola modułów dialogowych w tworzeniu profilów<br />
osobowych uczestników szkoleń e-learningowych<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 44<br />
Artykuł zawiera rozważania dotyczące wykorzystywania mechanizmów<br />
sztucznej inteligencji w kursach e-learningowych tworzonych<br />
w środowisku TeleEdu TM LMS. Pokazuje rolę, jaką w tworzeniu profilów<br />
osób szkolonych może odegrać dialog prowadzony w języku naturalnym.<br />
Słowa kluczowe: e-learning, e-kurs, LMS, sztuczna inteligencja, system<br />
ekspercki, reguły produkcji<br />
KWIETNIEWSKI N., PAZIO K., SOCHACKI M., SZMIDT J.,<br />
DROŹDZIEL A., KULIK M., PRUCNAL S., PYSZNIAK K., RAWSKI<br />
M., TUREK M., ŻUK J.: Characterization of p-i-n diodes fabricated<br />
by aluminium ion implantation of 4H-SiC epitaxial layers<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 32<br />
We report on fabrication and characterization of 4H-SiC p-i-n diodes.<br />
In order to obtain p + -type layer, a four energy Al box-like profile was<br />
implanted with a total fluence of 7.1•10 14 cm -2 at 500 o C, using the<br />
UNIMAS ion implanter equipped with a plasma ion source of our construction.<br />
Implanted material was subsequently annealed for 20 min<br />
at 1600 o C in argon. SIMS depth profiling and micro-Raman scattering<br />
investigations were performed. The values of specific contact resistance<br />
were determined by the c-TLM method. The performed Hall<br />
measurements have shown that 350 nm thick p + layers are characterized<br />
by carrier concentration of 3...4•10 18 cm -3 . The fabricated<br />
diodes have probed forward current density up to 220 A/cm 2 at 10 V<br />
forward drop and 550...600 V breakdown voltages.<br />
Keywords: silicon carbide, 4H-SiC, implantation, p-i-n diode, ion<br />
source, Raman scattering<br />
TORBICZ W., PIJANOWSKA D.: Electroconducting polymers in<br />
electronics and biochemical analytics<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 36<br />
Basing on recent publications, electrical, optical, magnetic, mechanical<br />
and electrochemical properties of conducting polymers, methods<br />
of their polymerization and doping, as well as their applications for<br />
manufacturing of resistors, capacitors, diodes, transistors, lasers, optical<br />
fibers, and sensors and biosensors of selected chemical and biochemical<br />
species, and biochemical micro total analysis systems<br />
(µTAS, lab-on-a-chip) are reviewed in the paper.<br />
Keywords: conducting polymers, organic semiconductors, synthetic<br />
metals, organic electronics, organic optoelectronics, chemical sensors,<br />
biosensors, biochemical microsystems, biochemical analytics<br />
PRZYŁUSKI W.: Dialogue modules in creation of e-course student<br />
personal profile<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 44<br />
The paper includes considerations on AI methods application in e-<br />
courses created in TeleEdu TM LMS environment. The role of dialogue<br />
in natural language in student personal profile creation is discussed.<br />
Keywords: e-learning, e-course, LMS, AI, expert system, production<br />
rules<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 3
Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />
CZWATRACKA A., CHOLEWA J., LORENS T., SENDER R., SZUS-<br />
TAK K., STACHOWSKI B.: Aktywna antena radiolokacyjna na<br />
pasmo S. Część 3. System nadawczy<br />
Elektronikla (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 49<br />
W artykule przedstawiono system nadawczy aktywnej anteny radiolokacyjnej<br />
na pasmo S. W systemie zastosowano elektroniczne kształtowanie<br />
wiązki nadawczej. Do projektu przyjęto kształt wiązki w<br />
płaszczyźnie elewacji typu cosecans kwadrat zapewniający kąt pokrycia<br />
40°. W płaszczyźnie azymutu wiązka nadawcza jest wiązką<br />
szpilkową a pokrycie w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy<br />
anteny. Do ustawienia wymaganego rozkładu fazy w płaszczyźnie<br />
elewacji zastosowano w każdym z wierszy 6-bitowy przesuwnik<br />
fazy pozwalający na realizację rozkładu fazy z dokładnością ±3°.<br />
Wymagany rozkład amplitudy zrealizowano stosując wzmacniacze<br />
mocy klasy C o różnych mocach wyjściowych. Aproksymacja<br />
rozkładu amplitudy i duża dokładność odwzorowania teoretycznego<br />
rozkładu fazy pozwoliła na uzyskanie charakterystyk nadawczych<br />
systemu antenowego bardzo bliskich charakterystykom teoretycznym.<br />
System nadawczy może wypromieniować moc impulsową około<br />
25 kW w impulsie i moc średnią około 2,5 kW.<br />
CZWATRACKA A., CHOLEWA J., LORENS T., SENDER R., SZUS-<br />
TAK K., STACHOWSKI B.: Active S band antenna for radar application.<br />
Part. 3. Transmit system<br />
Elektronikla (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 49<br />
A transmit system for an active S-band radar antenna with sixteen antenna<br />
rows is described, in which the elevation transmit beam is electronically<br />
formed. A cosecant square shape of the elevation beam is<br />
designed for 40° elevation coverage. The transmit beam has pencil<br />
shape in the azimuth and azimuth coverage is provided by mechanical<br />
rotation of the antenna. In each antenna row, a 6- bit phase shifter<br />
is used and to achieve required phase distribution with high accuracy.<br />
The suitable amplitude distribution is realized by application of class<br />
C power amplifiers with different output powers. The high accuracy<br />
achieved in reproducing theoretical distributions of amplitude and<br />
phase enables to obtain the antenna patterns very close to the theoretical<br />
predictions. Microwave power radiated by transmit system is<br />
about 25 kW pulse power and 2,5 kW average power.<br />
Keywords: transmit-receive module, an active radar antenna, transmit<br />
beam former<br />
Słowa kluczowe: moduł nadawczo-odbiorczy, radiolokacyjna antena<br />
aktywna, układ formowania wiązki nadawczej<br />
BONIKOWSKI Ł., TARIOV A.: Szybki algorytm dyskretnej transformacji<br />
Gabora<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 57<br />
W pracy został przedstawiony szybki algorytm dyskretnej transformacji<br />
Gabora. W porównaniu ze znanymi algorytmami realizującymi<br />
tę transformację za pomocą dualnych okien biortogonalnych, proponowany<br />
algorytm wyróżnia się mniejszą liczbą operacji arytmetycznych<br />
niezbędnych do wyznaczania współczynników rozwinięcia<br />
Gabora w sytuacjach doboru stosunkowo dużej liczby przedziałów<br />
w czasie M. Ponieważ dyskretna transformata Gabora pozwala dobierać<br />
dokładność reprezentacji sygnału na podstawie kompromisu<br />
pomiędzy jego rozdzielczością w domenie czasu a częstotliwości, to<br />
i wielkość zysku obliczeniowego (stopy redukcji liczby operacji arytmetycznych)<br />
jest zmienna. Jednak nawet w najgorszym przypadku<br />
najmniejszy zysk jest co najmniej dwukrotny w stosunku do niezoptymalizowanej<br />
wersji transformaty.<br />
Słowa kluczowe: szybkie algorytmy DGT, macierzowa metoda wyznaczania<br />
współczynników rozwinięcia Gabora, redukcja liczby operacji<br />
arytmetycznych algorytmu wyznaczania DGT poprzez<br />
dekompozycję macierzy<br />
STOLARSKI P., MĄKA T., DZIURZAŃSKI P.: Algorytm elastycznego<br />
kolejkowania pakietów w sieciach wewnątrzukładowych<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 62<br />
W pracy zaproponowano nowy algorytm kolejkowania uwzględniający<br />
jakość usług w sieciach wewnątrzukładowych. Umożliwia on dynamiczne<br />
harmonogramowanie pakietów wpływające na kolejność<br />
transmisji pakietów. Dzięki temu istnieje możliwość zmiany uzyskanego<br />
opóźnienia dla różnych klas ruchu. Zaprezentowane wyniki<br />
badań eksperymentalnych potwierdzają zalety proponowanej metody<br />
w porównaniu z innymi technikami realizowanymi na tej samej platformie<br />
w rozważanym zakresie zastosowań.<br />
Słowa kluczowe: sieci wewnątrzukładowe, jakość usług, priorytet dynamiczny<br />
ROMANIUK R.: Szkło dla fotoniki. Częśc 9. Rodzaje szkieł laserowych<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 69<br />
W artykule, który jest dziewiątą częścią cyklu prac o szkłach dla fotoniki,<br />
dokonano przeglądu najczęściej stosowanych rodzajów aktywnych<br />
szkieł laserowych domieszkowanych jonami ziem rzadkich.<br />
Przedstawiono rodzaje jonów domieszki aktywnej wraz z ich charakterystykami<br />
oraz właściwościami szkieł nimi domieszkowanych. Porównano<br />
układy domieszkowanych szkieł laserowych bazujących na<br />
różnych tlenkach, fluorkach oraz siarczkach (i rodziny takich szkieł).<br />
Podkreślono optymalne cechy jakimi powinny charakteryzować się<br />
idealne szkła laserowe dla konkretnych zastosowań.<br />
Słowa kluczowe: szkła optyczne, fotonika, szkła laserowe, aktywne<br />
jony domieszki szkła, fotoabsorpcja w szkle, fotoemisja w szkle,<br />
emisja stymulowana, wzmocnienie optyczne, czas życia fluorescencji,<br />
szkła laserowe tlenkowe, fluorkowe, siarczkowe<br />
BONIKOWSKI Ł., TARIOV A.: The Fast Alghoritm of Discrete<br />
Gabor Transform<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 57<br />
In this work the fast algorithm of discrete Gabor transform (DGT) is<br />
presented. In comparison with well-known DGT algorithms based on<br />
biorthogonal dual windows the offered algorithm requires fower arithmetical<br />
operations in case of a high-resolution in time. It is known that<br />
DGT allows changing accuracy of time-frequency signal representation<br />
with the help of compromise between accuracy of representation<br />
of this signal in time and in frequency. As resolution of signal representation<br />
can be controlled, also the computational cost (number of<br />
arithmetical operations) of proposed algorithm is changed. However,<br />
even in the worst case the computational cost of presented algorithm<br />
is twice smaller than computational cost of nonoptimized version of<br />
this transform.<br />
Keywords: fast Discrete Gabor Transform Alghoritms, computing<br />
DGT coefficients via a matrix method, DGT computational cost reduction<br />
through the matrix decomposition<br />
STOLARSKI P., MĄKA T., DZIURZAŃSKI P.: Flexible packet<br />
scheduling algorithm utilization for on-chip networks<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 62<br />
A new scheduling QoS algorithm dedicated for Network on Chips is<br />
proposed. It offers the possibility of adapting the scheduling packages<br />
dynamically which influences the order of transmission. This possibility<br />
allows us to change the obtained delays of various traffic<br />
classes. The provided experimental results confirm the assets of the<br />
proposed method in comparison with other techniques implemented<br />
in the same platform in the considered range of applications.<br />
Keywords: Networks on Chips, Quality of Service, dynamic priority<br />
ROMANIUK R.: Glasses for photonics. Part 9. Kinds of laser<br />
glasses<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 69<br />
The paper, which is the ninth part of a cycle on glasses for photonics,<br />
is a concise review of the most frequently used kinds of active laser<br />
glasses doped with rare earth ions. There are presented kinds of used<br />
rare earth ions together with their characteristics and properties of<br />
glasses doped with these ions. There are compared glass systems<br />
with rare earths based on oxides, fluorides and sulfides (and related<br />
systems). The emphasis is on optimal features of ideal laser glasses<br />
required for various applications.<br />
Keywords: optical glasses, photonics, laser glasses, optical active<br />
dopant ions in glass, photo absorption in glass, photoemission in<br />
glass, stimulated emission, optical amplification, fluorescence lifetime,<br />
oxide, fluoride and sulfide laser glasses<br />
4 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />
BIELECKI W., KRASKA K.: Badania lokalności aplikacji równoległych<br />
bazujących na tworzeniu niezależnych wątków obliczeń<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 74<br />
Efektywne wykorzystanie hierarchii pamięci wymaga od programów<br />
równolegle przetwarzających wydzielone sekwencje operacji dobrej<br />
lokalności danych. W artykule przedstawiono analizę i badania eksperymentalne<br />
lokalności danych L1D Cache dla trzech wybranych<br />
przypadków programów, w których przy użyciu metody wyznaczania<br />
niezależnych wątków obliczeń [1] zostały wydzielone niezależne wątki<br />
obliczeń, przetwarzane w pętlach programowych. Rozważane przypadki<br />
zostały zaimplementowane w języku C++, przydzielone do równoległych<br />
wątków za pomocą dyrektyw OpenMP i wykonane na<br />
docelowej architekturze Intel SMP. Zaprezentowano zastosowanie<br />
programowego analizatora wydajności Intel® VTune Performance<br />
Analyzer do zgromadzenia metryk i oceny lokalności danych programów<br />
równoległych. Na podstawie uzyskanych wyników wyprowadzono<br />
zalecenia dla programistów, aby tworzone przez nich<br />
oprogramowanie cechowała dobra lokalność danych.<br />
BIELECKI W., KRASKA K.: Experimental studies on data locality<br />
of parallel applications consisting of synchronization-free<br />
threads of computations<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 74<br />
The effective use of hierarchical memory for parallel programs performing<br />
computations in slices requires good data locality. Analysis<br />
and experimental studies on data locality in L1D Cache for three selected<br />
cases of parallel programs representing synchronization-free<br />
threads of computations extracted by means on the method described<br />
in [1], are presented in the paper. The considered cases were implemented<br />
in C++, assigned to parallel threads by means of OpenMP directives<br />
and executed on a target Intel SMP architecture. The usage<br />
of the software analysis tool Intel® VTune Performance Analyzer<br />
to collecting and evaluating data locality metrics is presented. Finally,<br />
recommendations for software developers are concluded to develop<br />
numerical applications with good data locality metrics.<br />
Keywords: data locality, parallel processing, compilers, analysis tools<br />
Słowa kluczowe: lokalność danych, przetwarzanie równoległe, kompilatory,<br />
narzędzia analizy lokalności danych<br />
GRABIEC W., KANIA D.: Wykorzystanie elementu XOR w syntezie<br />
logicznej przeznaczonej dla programowalnych struktur CPLD<br />
typu PAL<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 82<br />
W artykule przedstawiono koncepcję syntezy logicznej dla matrycowych<br />
struktur CPLD. Istotą zaproponowanego rozwiązania opartego<br />
na tzw. dekompozycji kolumnowej, jest wykorzystanie elementu XOR<br />
występującego w blokach logicznych typu PAL większości oferowanych<br />
struktur CPLD. Główną ideą proponowanego modelu dekompozycji<br />
jest zagadnienie poszukiwania dopełnień wzorców kolumn<br />
matrycy podziałów opisującej funkcję logiczną. W procesie poszukiwania<br />
dopełnień wzorców wykorzystano oryginalną metodę kolorowania<br />
wierzchołków grafu niezgodności i dopełnień kolumn matrycy<br />
podziałów.<br />
GRABIEC W., KANIA D.: Using XOR element for logic synthesis<br />
of the PAL-based Complex Programmable Devices<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 82<br />
This paper presents conception of logic synthesis for CPLDs. Proposed<br />
solution bases on column decomposition. The main idea of presented<br />
logic synthesis based on utilization XOR gates in CPLDs. In<br />
proposed conception of logic synthesis we seek of the complement<br />
column patterns in partition matrix. This is main idea for utilization<br />
XOR gates in PAL-based logic blocks.<br />
Keywords: logic synthesis, decomposition, technology mapping<br />
Słowa kluczowe: synteza logiczna, dekompozycja, odwzorowanie<br />
technologiczne<br />
ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Estymacja parametrów modelu<br />
Danga tranzystora MOS<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 87<br />
Praca dotyczy problematyki estymacji parametrów modelu Danga<br />
tranzystora MOS z wykorzystaniem programu MODEL EDITOR, występującego<br />
w pakiecie oprogramowania PSPICE. Na przykładzie arbitralnie<br />
wybranego typu tranzystora MOS zbadano wpływ doboru<br />
liczby oraz rozmieszczenia punktów pomiarowych na charakterystykach<br />
tranzystora, na uzyskane wartości parametrów rozważanego<br />
modelu. Przeprowadzono również estymację parametrów rozważanego<br />
w pracy tranzystora w oparciu o jego dane katalogowe.<br />
Słowa kluczowe: estymacja, MODEL EDITOR, MOS, PSPICE<br />
MANUKOVA-MARINOVA A., DIMOV V., LEVI A., STEPHANOV D.:<br />
Testowanie bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />
wycieraczki szyby przedniej samochodu<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 91<br />
Opisane są metody kontroli i analizy modułu elektronicznego<br />
sterowania silnika uruchomiajacego wycieraczki szyby przedniej<br />
samochodu osobowego. Moduł sterowania jest zaprojektowany do<br />
produkcji technologią bezołowiową. Celem artykułu jest<br />
przedstawienie wyników testów walidacji produktu i zgodność<br />
procesów przed urchomieniem produkcji masowej. Wszystkie testy<br />
i analizy są wykonane zgodnie z wymaganiami normy sterowania<br />
jakości w przemyśle samochodowym - ISO/TS 16949 oraz normy<br />
zgodności wyrobów elektronicznych IPC A610-D.<br />
Słowa kluczowe: elektronika samochodowa, testowanie, analiza,<br />
przekrój szlifowany, profile lutowania, lutowanie na fali, lutowanie<br />
selektywne<br />
ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Parameters estimation of the Dang<br />
model of MOS transistor<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 87<br />
The paper deals with a problem of estimation of the Dang model parameters<br />
of MOSFET, using a specialized program MODEL EDITOR,<br />
included in the PSPICE software package. Influence of the number<br />
and the distribution of the MODEL EDITOR input data of the arbitrarily<br />
chosen MOSFET on the results of estimation, has been examined.<br />
Estimation of the model parameters based on the transistor catalogue<br />
measuring data has been also performed.<br />
Keywords: estimation, MODEL EDITOR, MOS, PSPICE<br />
MANUKOVA-MARINOVA A., DIMOV V., LEVI A., STEPHANOV D.:<br />
Lead Free Electronic Module Test Research for Motion Control of<br />
Cars Front Windscreen Wipers<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 91<br />
Test control methods and electronic system analysis of an electronic<br />
system for operating front windscreen wipers of a car have been<br />
described. The module is designed for production based completely<br />
on lead-free technologies. The aim of this paper is to present product<br />
validation tests and production process adaptability before starting<br />
mass production. All tests and analyses are in compliance with<br />
ISO/TS 16949 quality standards and requirements in the automobile<br />
industry, and IPC A610-D electronic products reliability standards.<br />
Keywords: reflow profile, solder-wave, selective solder, polished<br />
slash, analysis, car electronics<br />
Dalszy ciąg streszczeń artykułów na 68 str.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 5
Przekształtniki energoelektroniczne z elementami<br />
z węglika krzemu<br />
dr inż. MIECZYSŁAW NOWAK, dr inż. JACEK RĄBKOWSKI,<br />
prof. dr hab. inż. ROMAN BARLIK<br />
Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Sterowania i Elektroniki Przemysłowej<br />
Do budowy przekształtników energoelektronicznych stosowano<br />
dotychczas przyrządy półprzewodnikowe mocy, takie<br />
jak diody, tyrystory czy tranzystory, wykonywane bez wyjątku<br />
z wykorzystaniem pastylek krzemowych. Parametry i właściwości<br />
użytkowe tych przyrządów, a w szczególnie klasy napięciowe,<br />
obciążalności prądowe, dopuszczalne temperatury<br />
struktury półprzewodnikowej osiągnęły już wartości ekstremalne,<br />
ograniczone fizycznymi właściwościami samego<br />
krzemu [2,3]. Dalszy postęp w rozwoju zarówno samych przyrządów<br />
półprzewodnikowych, jak i w obszarze ich zastosowań<br />
zależy od osiągnięć w zakresie opanowania technologii<br />
wytwarzania nowych materiałów półprzewodnikowych. Prowadzone<br />
od wielu lat badania w tym zakresie koncentrują się<br />
na takich materiałach jak: arsenek galu (GaAs), azotek galu<br />
(GaN), węglik krzemu (SiC) i diament [2-4].<br />
Za najbardziej zaawansowane należy uznać prace nad<br />
przyrządami z węglika krzemu. W chwili obecnej technologia<br />
wytwarzania i procesów obróbki tego materiału jest na tyle<br />
udoskonalona, że pozwala na seryjną produkcję przyrządów<br />
półprzewodnikowych o powtarzalnych parametrach, których<br />
wartości mogą budzić zainteresowanie także z punktu widzenia<br />
zastosowań energoelektronicznych. Dotyczy to głównie<br />
unipolarnych diod Schottky’ego z węglika krzemu (SiC Schottky<br />
Barrier Diode) [12-14], które są już dostępne na zasadach<br />
komercyjnych. Realne perspektywy komercjalizacji rysują się<br />
także w odniesieniu do tranzystorów JFET [11,13], a także<br />
w nieco mniejszym stopniu do tranzystorów bipolarnych.<br />
W artykule przedstawiono wybrane wyniki prac badawczych<br />
prowadzonych w ramach jednego z zadań wchodzących<br />
w skład ogólnopolskiego Projektu Badawczego<br />
Zamawianego Nowe technologie na bazie węglika krzemu<br />
i ich zastosowania w elektronice wielkich częstotliwości,<br />
dużych mocy i wysokich temperatur, koordynowanego przez<br />
<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong> [6]. Celem<br />
tego zadania jest ocena ewentualnych korzyści, wynikających<br />
z zastosowania przyrządów z węglika krzemu do budowy<br />
układów energoelektronicznych. Po dokonaniu krótkiego<br />
przeglądu oferowanych przyrządów z tego materiału, przedstawiono<br />
wstępne wyniki badań symulacyjnych i eksperymentalnych<br />
dotyczących zastosowania diod Schottky’ego<br />
z węglika krzemu, jako diod zwrotnych w typowym falowniku<br />
napięcia PWM, współpracującym z trójfazową siecią prądu<br />
przemiennego o typowych parametrach (3 × 400 V/50 Hz) [1].<br />
Należy dodać, że prezentowany w niniejszym artykule materiał<br />
jest ściśle związany z wcześniejszymi publikacjami autorów<br />
stanowiąc ich rozwinięcie i kontynuację [5,8,10].<br />
Wybrane przyrządy półprzewodnikowe<br />
z węglika krzemu<br />
Spośród oferowanych komercyjnie przez nieliczne firmy przyrządów<br />
półprzewodnikowych z węglika krzemu za najbardziej<br />
interesujące z punktu widzenia zastosowań do budowy<br />
urządzeń energoelektronicznych są unipolarne diody Schottky’ego.<br />
Zawdzięczają to stosunkowo wysokim dopuszczalnym<br />
napięciom wstecznym (dziesięciokrotnie wyższym w porównaniu<br />
z ich krzemowymi odpowiednikami) i bardzo dobrym<br />
właściwościom dynamicznym, wynikającym głównie z budowy<br />
i zasady działania tego typu diod. Mniej istotne znaczenie<br />
praktyczne mają, przynajmniej na obecnym etapie wprowadzania<br />
węglika krzemu do energoelektroniki, takie właściwości<br />
jak z górą dwukrotnie (w porównaniu z krzemem)<br />
wyższa przewodność cieplna i możliwość pracy samej pastylki<br />
węglikowo- krzemowej w temperaturach rzędu 400ºC. Dostępne<br />
aktualnie diody Schottky’ego z SiC charakteryzują się<br />
napięciami wstecznymi w granicach 1500 V (zwykle w klasach<br />
napięciowych 300, 600 i 1200 V), prądami przewodzenia<br />
ok. 10...50 A, czasami trwania prądu wstecznego rzędu 25 ns<br />
oraz dopuszczalną temperaturą złącza 175ºC, wynikającą<br />
z dopuszczalnej temperatury materiału obudowy (TO 220)<br />
[12-14]. W tabeli 1. zamieszczono najważniejsze parametry<br />
przyrządów z węglika krzemu oferowanych przez producentów<br />
jak i opisywanych w [2,3].<br />
Tab. 1. Podstwowe parametry przyrządów z węglika krzemu<br />
Tabl. 1. The main parameters of the silicon - carbide devices<br />
Rodzaj<br />
przyrządu<br />
Dioda<br />
Schottkyego<br />
(w module<br />
z IGBT)<br />
Napięcie<br />
przebicia<br />
[v]<br />
Prąd przewodzenia<br />
[A]<br />
Typowe<br />
czasy<br />
przełączeń,<br />
częstotliwość<br />
1200 50 (360) ~0 ns<br />
Uwagi<br />
Element produkowany<br />
seryjnie<br />
przez kilka firm -<br />
najbardziej<br />
zaawansowany<br />
przyrząd w aplikacjach<br />
Element<br />
sygnalizowany<br />
Dioda warstwowa<br />
PiN 20 000 20 10 ns w publikacjach<br />
naukowo-technicznych<br />
Tranzystor<br />
bipolarny<br />
Tranzystor<br />
JFET<br />
Tranzystor<br />
MESFET<br />
Power MOS-<br />
FET<br />
1200 20 100 ns<br />
1500 10 100 ns<br />
100 2 1 GHz<br />
1200 10 150 ns<br />
J. w. wzmocnienie<br />
β ≈ 30<br />
Element oferowany<br />
jako próbki<br />
komercyjne;<br />
łącznik normalnie<br />
przewodzący -<br />
stosowany w<br />
układzie kaskody<br />
Element o ograniczonym<br />
zastosowaniu<br />
w<br />
energoelektronice<br />
Doniesienia publikacyjne<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 7
Dla porównania w tab. 2. przedstawiono wybrane parametry<br />
produkowanych seryjnie krzemowych przyrządów<br />
półprzewodnikowych, stosowanych obecnie do budowy<br />
urządzeń energoelektronicznych.<br />
Tab. 2. Podstawowe parametry przyrządów krzemowych<br />
Tabl. 2. The main parameters of the silicon devices<br />
Rodzaj<br />
przyrządu<br />
Napięcie<br />
przewodzenia<br />
Napięcie<br />
przebicia<br />
U R<br />
Napięcie<br />
przebicia<br />
U D<br />
Czas<br />
wyłączania<br />
Prąd<br />
pojedynczej<br />
struktury<br />
Dioda 1...3 V 10 kV 0 V 1...5 µs 5 kA<br />
Tyrystor 2...5 V 10 kV 10 kV 30 µs 5 kA<br />
Tyrystor<br />
wyłączalny<br />
MOSFET<br />
2...5 V<br />
I×0,003 Ω<br />
I×0,4 Ω<br />
0 V<br />
6 kV<br />
0 V<br />
0 V<br />
9 kV<br />
6 kV<br />
100 V<br />
1,2 kV<br />
15 µs<br />
0,2 µs<br />
IGBT 2...5 V 0 V 6 kV 2 µs<br />
1 kA<br />
3 kA<br />
200 A<br />
20 A<br />
50...150<br />
A/strukturę<br />
Warto podkreślić, że diody Schottky’ego, jako przyrządy<br />
unipolarne, wykorzystujące właściwości prostujące złącza<br />
metal - półprzewodnik (przeważnie złoto lub srebro), niezależnie<br />
od zastosowanego materiału półprzewodnikowego,<br />
charakteryzują się nieosiągalnymi w innych rodzajach diod,<br />
bardzo małymi ładunkami przejściowymi (Q rr < 100 nC), wynikającymi<br />
tylko z pojemności złącza, a nie z mechanizmu<br />
magazynowania ładunku mniejszościowego, występującego<br />
w okolicach złącza P-N diody standardowej. Cenną właściwością<br />
diody Schottky’ego z punktu widzenia procesów<br />
przełączania zachodzących w układach energoelektronicznych<br />
jest także i to, że nieznaczny pojemnościowy ładunek<br />
przejściowy Q rr nie zależy od prądu przewodzenia, jego pochodnej<br />
ani też od temperatury struktury półprzewodnikowej,<br />
a jedynie od pochodnej napięcia występującego na diodzie.<br />
Dynamiczne prądy wsteczne tych diod są wielokrotnie mniejsze<br />
w porównaniu z diodami krzemowymi i mają przebieg bardzo<br />
łagodny, bez dużych stromości przy zanikaniu, które<br />
w standardowych diodach są główną przyczyną zarówno<br />
przepięć komutacyjnych, jak i zakłóceń radioelektrycznych.<br />
Oprócz bardzo korzystnych właściwości dynamicznych, diody<br />
Schottky’ego z węglika krzemu, podobnie zresztą jak w przypadku<br />
tego typu diod z krzemu, charakteryzują się nieco<br />
niższymi napięciami progowymi (ok. 0,4...0,7 V). W praktyce<br />
jednak mimo większej niż w przypadku diod krzemowych<br />
przewodności elektrycznej węglika krzemu spadek napięcia<br />
w stanie przewodzenia diody Schottky’ego z SiC jest porównywalny<br />
z dioda krzemową.<br />
Ze względu na szerokie pasmo zabronione węglika krzemu,<br />
spadek napięcia na złączu półprzewodnikowym PN wykonanym<br />
na bazie tego materiału jest stosunkowo duży i wynosi ok.<br />
3...4 V [3]. Stąd też diody z węglika krzemu na obecnym etapie<br />
rozwoju technologii wytwarzania złączy o strukturze PIN (tzn.<br />
o zubożonej warstwie środkowej) mogą konkurować z diodami<br />
krzemowymi jedynie w zakresie napięć wstecznych powyżej<br />
5 kV. Z doniesień literaturowych wynika, że w warunkach laboratoryjnych<br />
dla diod tego typu udaje się osiągnąć wartości napięć<br />
wstecznych dochodzące nawet do 20 kV [2].<br />
Dotychczasowe postępy w zakresie technologii węglikowokrzemowej<br />
diod PIN nie są jednak satysfakcjonujące z punktu<br />
widzenia energoelektroniki. Podobna uwaga dotyczy różnych<br />
odmian polowych i bipolarnych tranzystorów i tyrystorów wykonywanych<br />
na podłożu SiC (SiC-IGBT; SiC-IGCT; SiC-MES-<br />
FET), których stosowanie może być rozważane głównie ze<br />
względu na odporność na wysoką temperaturę i ewentualnie<br />
na wysokie częstotliwości przełączeń (np. MESFET - 120 V;<br />
15 A; 1,5 GHz), co z uwagi na brak innych podzespołów towarzyszących<br />
o wysokiej dopuszczalnej temperaturze pracy, stosowanych<br />
w urządzeniach energoelektronicznych (dławiki,<br />
transformatory, kondensatory, aparatura stycznikowa), nie stanowi<br />
istotniejszych zalet. Bliski komercjalizacji jest tranzystor<br />
SiC-MOSFET o planowanych parametrach 1200 V/10 A. Sygnalizowane<br />
trudności technologiczne dotyczą w tym przypadku<br />
stabilizacji parametrów warstwy tlenkowej.<br />
Uzasadnione oczekiwania można wiązać z dostępnymi<br />
już komercyjnie tranzystorami typu SiC-JFET. Należą one<br />
jednak do przyrządów znajdujących się w stanie przewodzenia<br />
przy braku sygnału sterującego (tzw. elementy normalnie<br />
załączone). Inwersja sterowania zmusza do stosowania<br />
układów kaskodowych (szeregowe połączenie tranzystora<br />
SiC-JFET i tranzystora krzemowego MOSFET) lub nietypowych<br />
rozwiązań układów formujących sygnały bramkowe.<br />
Korzystną cechą tych elementów jest szybki wzrost rezystancji<br />
kanału w przypadku pojawienia się przetężenia, co<br />
może być wykorzystane w realizacji układów zabezpieczeń<br />
przeciwzwarciowych. Zastosowanie tranzystorów SiC-JFET<br />
w energoelektronice wymaga jednak pogłębionych badań<br />
głównie w celu wyłonienia takich topologii, w których tranzystory<br />
okażą się konkurencyjne z technicznego i ekonomicznego<br />
punktu widzenia [12].<br />
Model symulacyjny trójfazowego<br />
przekształtnika z diodami zwrotnymi<br />
z Si i SiC<br />
Diody Schottky’ego z węglika krzemu znalazły już zastosowanie<br />
w produkowanych na szeroką skalę jednofazowych impulsowych<br />
zasilaczach sieciowych o poprawionym<br />
współczynniku mocy (prostowniki PFC - ang. Power Factor<br />
Correction). W układach tych, dioda wchodząca w skład przekształtnika<br />
podwyższającego napięcie, dzięki małemu ładunkowi<br />
wstecznemu, wpływa na podwyższenie sprawności<br />
energetycznej zasilaczy. Z punktu widzenia globalnej ilości<br />
przekształcanej energii elektrycznej najistotniejszą rolę odgrywają<br />
układy energoelektroniczne o topologii mostka trójfazowego,<br />
pełniące funkcję niezależnych falowników napięcia<br />
w napędach prądu przemiennego, trójfazowych impulsowych<br />
prostowników PWM, urządzeń do poprawy jakości energii<br />
elektrycznej (filtry aktywne, kompensatory), a także sprzęgów<br />
sieci elektroenergetycznej z odnawialnymi źródłami (fotoogniwa,<br />
ogniwa paliwowe, elektrownie wiatrowe) lub magazynami<br />
energii elektrycznej (ogniwa elektrochemiczne,<br />
superkondensatory) [1]. W celu dokonania oceny ewentualnych<br />
korzyści wynikających z zastosowania przyrządów<br />
z węglika krzemu w układach energoelektronicznych przeprowadzono<br />
m.in. badania symulacyjne trójfazowego mostka<br />
sterowanego przy użyciu metody modulacji szerokości impulsów<br />
(PWM) w przypadku, gdy współpracuje on z siecią<br />
3×400 V/50 Hz (rys. 1). Przypadek współpracy z siecią pozwala<br />
na jednoznaczne określenie charakterystycznych stanów<br />
pracy przekształtnika, a tym samym sprecyzowanie<br />
ekstremalnych warunków obciążenia łączników półprzewodnikowych,<br />
dla których powinny zostać wyznaczone straty<br />
energii jako wynik badań opracowanego modelu symulacyjnego.<br />
Badaniom poddano dwie wersje układu, koncentrując<br />
8 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
się na wyznaczeniu strat energii w łącznikach półprzewodnikowych,<br />
zrealizowanych z zastosowaniem tranzystorów IGBT<br />
(1200 V/50 A) z diodami zwrotnymi w postaci standardowych<br />
ultraszybkich diod krzemowych PIN (1200 V/16 A), a w drugim<br />
przypadku - w postaci diod Schottky’ego z węglika<br />
krzemu (1200 V/10 A).<br />
Rys. 1. Schemat modelowanego trójfazowego przekształtnika PWM<br />
Fig. 1. Scheme of three - phase PWM converter investigated<br />
a)<br />
b)<br />
Symulacje przeprowadzono dla trzech charakterystycznych<br />
stanów pracy układu, w których występuje: pobór tylko mocy<br />
czynnej (cosφ =1; praca prostownikowa przekształtnika), tylko<br />
mocy biernej (cosφ =0 ind ; praca kompensatorowa) i zwrot<br />
mocy czynnej do sieci (cosφ =-1; praca falownikowa).<br />
Przebiegi wartości chwilowych napięć i prądów od strony<br />
linii prądu przemiennego uzyskane w wyniku symulacji, odpowiadające<br />
podanym warunkom pracy układu, przedstawiono<br />
na rys. 2.<br />
Model przekształtnika został opracowany z wykorzystaniem<br />
dedykowanego symulacji układów energoelektronicznych<br />
pakietu TCAD 7.0. Zastosowano przy tym proste modele<br />
łączników półprzewodnikowych, które w stanie przewodzenia<br />
zostały przedstawione jako szeregowe połączenie źródła<br />
o napięciu progowym U F0 (U T0 ) i rezystancji dynamicznej r F<br />
(r T ), a w stanie blokowania jako nieskończenie duża rezystancja.<br />
Na podstawie charakterystyk prądowo-napięciowych<br />
podanych w katalogach, zweryfikowanych badaniami eksperymentalnymi<br />
[7,9,10], przyjęto następujące parametry poszczególnych<br />
przyrządów półprzewodnikowych:<br />
• dioda krzemowa PIN: U F0 = {1,93 V (25ºC) ; 1,38 V (125ºC) };<br />
r F = {0,18 Ω (25ºC) ; 0,227 Ω (125ºC) ),<br />
• dioda Schottky’ego z węglika krzemu: U F0 = {0,98 V (25ºC) ;<br />
0,825 V (125ºC) }; r F = {0,12 Ω (25ºC) ; 0,253 Ω (125ºC) },<br />
• tranzystor IGBT: U T0 = {1,43 V (25ºC) ; 1,10 V (125ºC) };<br />
r T = {0,0717 Ω (25ºC) ; 0,0863 Ω (125ºC) }.<br />
Ze względu na to, że procesy łączeniowe, związane ze<br />
stratami energii, stanowiącymi znaczący udział w stratach<br />
całkowitych nie mogą być odwzorowane w przebiegach napięć<br />
i prądów modelu zaproponowano metodę uproszczoną,<br />
bazującą na sumowaniu kwantów energii traconej przy każdorazowym<br />
przełączaniu. Na podstawie szczegółowego studium<br />
informacji katalogowych, zweryfikowanych przez autorów badaniami<br />
eksperymentalnymi, których wyniki zamieszczono<br />
m.in. w [9,10], wyznaczono charakterystyki, umożliwiające<br />
wyliczanie wartości parametrów energii traconej przy włączaniu<br />
(E on ) i wyłączaniu (E off ) w funkcji prądu w chwili przełączania.<br />
Wartości chwilowe przebiegów prądów i napięć<br />
elementów wchodzących w skład łączników są w procesie symulacji<br />
wyznaczane przez program TCAD 7.0 (rys. 3).<br />
c)<br />
Rys. 2. Wartości chwilowe napięcia i prądu przemiennego jako<br />
wynik symulacji układu przy częstotliwości przełączeń 10 kHz<br />
i mocy 5 kVA dla: a) cosφ = 1 (prostownik); b) cosφ = 0 ind<br />
(kompensator); c) cosφ = -1 (falownik)<br />
Fig. 2. Voltage and current waveforms as simulation results at<br />
10 kHz switching frequency and 5 kVA output power: a) cosφ =<br />
1 (rectifier); b) cosφ = 0 ind (compensator); c) cosφ = -1 (inverter)<br />
Rys. 3. Przebiegi napięć i prądów ilustrujące pracę łączników w jednej<br />
gałęzi przekształtnika: a) schemat; b) przebiegi w jednym okresie,<br />
c) przebiegi w dwóch cyklach łączeniowych<br />
Fig. 3. Switching conditions in one the converter leg: a) scheme of<br />
the leg; b) voltage and current waveforms during one line period;<br />
c) waveforms in two switching cycles<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 9
Napięcie obwodu prądu stałego w modelowanym układzie<br />
zostało przyjęte na typowym dla przekształtników sieciowych<br />
PWM poziomie równym 700 V. Także wartość stromości prądu<br />
przy włączaniu tranzystora (ustalana w rzeczywistym łączniku<br />
poprzez dobór rezystancji w obwodzie bramkowym tranzystora<br />
IGBT) i jednocześnie wyłączaniu diody zwrotnej przyjęto<br />
jako stałą i równą 300 A/µs. Badania symulacyjne przeprowadzono<br />
dla dwóch skrajnych wartości temperatury struktur przyrządów<br />
półprzewodnikowych, a mianowicie 25 i 125ºC.<br />
Dokładny opis opracowanego modelu wraz z wykorzystanymi<br />
zależnościami analitycznymi, służącymi do obliczeń strat energii<br />
w stanach przewodzenia i w stanach dynamicznych, autorzy<br />
przedstawili w [8]. Wyniki badań dla reprezentatywnych<br />
warunków pracy układu (rys. 2) dla dwóch wersji łączników<br />
złożonych z tranzystora krzemowego IGBT i diody zwrotnej<br />
z krzemu oraz w drugim przypadku z węglika krzemu przedstawiono<br />
w postaci wykresów słupkowych na rys. 4.<br />
Z wykresów tych wynika, że w każdym z analizowanych<br />
przypadków moc strat w łączniku z diodą zwrotną z węglika<br />
krzemu jest zawsze mniejsza niż w przypadku zastosowania<br />
diody krzemowej.<br />
Model symulacyjny wykorzystano także do wyznaczenia<br />
całkowitych strat mocy w kompletnym mostku trójfazowym<br />
w warunkach znamionowej pracy prostownikowej (cosφ =1;<br />
S =5kVA) w funkcji częstotliwości przełączeń PWM (okres T s<br />
na rys. 3). Wyniki tego eksperymentu symulacyjnego, przedstawione<br />
na rys. 6, pozwalają na następujące stwierdzenia:<br />
a) przy częstotliwości przełączeń 20 kHz zastosowanie diod<br />
Schottky’ego z SiC powoduje zmniejszenie strat mocy ze 172<br />
do 139 W, co oznacza, że masa i objętość radiatora mogą być<br />
zredukowane o ok. 19%; b) przy zachowaniu stałego, wybranego<br />
arbitralnie poziomu strat mocy o wartości 150 W, zastosowanie<br />
diod z SiC w miejsce diod z Si pozwoli na zwiększenie<br />
częstotliwości łączeń z 16 do 22,5 kHz.<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 5. Całkowite straty mocy w sześciu łącznikach trójfazowego<br />
przekształtnika mostkowego w zależności od częstotliwości<br />
przełączeń (S = 5 kVA; cosφ = 1). Oznaczenia Si oraz Si + SiC jak<br />
na rys. 4<br />
Fig. 5. Total power losses in six switches of the three phase PWM<br />
converters versus the switching frequency (S = 5 kVA; cosφ = 1).<br />
Symbols like at Fig. 4<br />
Model eksperymentalny przekształtnika<br />
z diodami zwrotnymi z Si i SiC<br />
Rys. 4. Straty mocy w jednym łączniku tranzystorowo-diodowym:<br />
a) przy temperaturze złączy 25ºC; b) przy temperaturze złączy<br />
125ºC; Si - dioda zwrotna z krzemu; Si + SiC - dioda zwrotna z węglika<br />
krzemu<br />
Fig. 4. Calculated transistor and diode losses in one switch of the<br />
5 kVA PWM converter at the junction temperature of 25ºC; (a) and<br />
125ºC; (b) Si - silicon anti - parallel diode; Si + SiC anti-parallel<br />
diode with silicon carbide<br />
Zgodnie z przyjętą topologią reprezentatywnego przekształtnika<br />
trójfazowego PWM, przewidzianego do<br />
współpracy z siecią przy nastawianych wartościach<br />
współczynnika mocy w zakresie zmian kąta mocy φ od 0°<br />
do 180° el. opracowano stanowisko eksperymentalne, przewidziane<br />
do prowadzenie testów porównawczych dla oceny<br />
korzyści, wynikających z zastosowania dostępnych diod<br />
Schottky’ego z węglika krzemu. W projekcie modelu eksperymentalnego<br />
uwzględniono wcześniej podane parametry<br />
(moc pozorna S =5kVA, napięcie przemienne linii<br />
3×400 V, napięcie obwodu napięcia stałego 650 V, wyjściowa<br />
częstotliwość łączeń 10 kHz, tętnienie prądu przemiennego<br />
10% przy danej częstotliwością łączeń). Ogólny,<br />
ideowo- blokowy schemat stanowiska, przedstawiono na<br />
rys. 6. W proponowanej strukturze modelu eksperymentalnego<br />
przewidziano dwa zasadnicze podzespoły:<br />
• panel z układem przekształtnika i obwodami silnoprądowymi<br />
oraz koniecznymi sprzęgami sterująco-pomiarowymi,<br />
10 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Rys. 6. Schemat ideowo-blokowy stanowiska do badań eksperymentalnego trójfazowego przekształtnika PWM zbudowanego z łączników<br />
zawierających diody zwrotne z krzemu i z węglika krzemu<br />
Fig. 6. General scheme of the laboratory setup with the PWM three phase converter built using silicon and silicon carbide anti-parallel diodes<br />
• mikrokontroler dSPACE 1103 we współpracy z środowiskiem<br />
rozwojowym PC (host) z implementowanym programem<br />
sterowania.<br />
Centralnym podzespołem stanowiska z punktu widzenia prowadzonych<br />
eksperymentów jest wyróżniony na rys. 7 przekształtnik<br />
PWM, który zawiera sześć dwukierunkowych<br />
łączników półprzewodnikowych umieszczonych na wspólnym<br />
radiatorze. Każdy z łączników zbudowany jest z tranzystora<br />
i diody zwrotnej. W podstawowym programie badań przewidziano<br />
pomiary strat mocy oraz rozkładu temperatur z możliwością<br />
porównywania wyników dla dwóch wariantów:<br />
pierwszego - tradycyjnego, w którym tranzystory IGBT<br />
współpracują z diodami krzemowymi typu PIN oraz drugiego<br />
w którym zostaną zastosowane diody Schottky’ego z węglika<br />
krzemu. Zgodnie z przyjętą metodyką badań porównawczych<br />
w stanowisku przewidziano możliwość łatwej wymiany diod<br />
z zachowaniem radiatora, a także ewentualną wymianę radiatora<br />
tak, aby dopasować jego wymiary i masę do występujących<br />
strat mocy. Radiator wraz z łącznikami jest tak<br />
usytuowany, by można było dokonywać obserwacji oscyloskopowych<br />
wybranych prądów i napięć, a także obserwacji<br />
i pomiarów rozkładu temperatur poszczególnych elementów<br />
półprzewodnikowych (przy użyciu kamery termowizyjnej). Do<br />
precyzyjnego pomiaru jakości energii oraz sprawności przekształtnika<br />
w obu badanych wersjach przewidziano precyzyjny<br />
analizator mocy typu NORMA. Przekształtnik jest zasilany<br />
dwustronnie w taki sposób, by możliwa była praca z dwukierunkowym<br />
przepływem energii (praca prostownikowa i falownikowa).<br />
Zasilacz w obwodzie napięcia stałego, poza<br />
zapewnieniem odpowiedniej mocy dla obu kierunków<br />
przepływu energii ma zagwarantować stabilizację napięcia<br />
i zapewniać jego nastawianie w zakresie 600...700 V). Dla<br />
bezpieczeństwa w obwodzie napięcia stałego przewidziano<br />
wyłącznik ręczny o zwielokrotnionych stykach oraz kondensator<br />
(C d ) o pojemności 160 µF. Dodatkowo, w celu zmniejszenia<br />
indukcyjności doprowadzeń do łączników i ograniczenia<br />
Tab. 3. Zestawienie elementów części silnoprądowej modelu eksperymentalnego<br />
przekształtnika<br />
Tabl. 3. Main circuit elements of the experimental model<br />
Element/zespół Typ/wykonanie Parametry Uwagi<br />
Tranzystor IGBT<br />
(T1…T6)<br />
Dioda krzemowa<br />
Pin (D1... D6)<br />
Dioda z węglika<br />
krzemu SBD<br />
(D1... D6)<br />
Radiator<br />
przekształtnika<br />
Dławiki<br />
w obwodzie ac<br />
(L1, L2, L3)<br />
Kondensatory dc<br />
Cd - C1, C2, C3<br />
BUP213<br />
( Siemens)<br />
DSEP12-<br />
12A(IYXS)<br />
C2D10120<br />
(Cree)<br />
Radiator<br />
aluminiowy<br />
o wymiarach<br />
190 x 100 x 40<br />
(mm)<br />
Dławiki z rdzeniem<br />
z blach<br />
krzemowych<br />
wykonane wg<br />
projektu własnego<br />
-<br />
U CE = 1200 V;<br />
I C = 32 A;<br />
T jmax = 150°C<br />
U RRM = 1200 V;<br />
I F = 15 A<br />
T rr = 40 ns<br />
U RRM = 1200 V;<br />
I F = 10 A<br />
Odpowiednik<br />
radiatora<br />
PR163/100/Al<br />
(Alutronic)*<br />
Indukcyjność<br />
przy prądzie<br />
10 A - 8 mH<br />
- 160 µF/900 V<br />
- WIMA<br />
1 µF/1000 V<br />
Wymiennie<br />
z diodami SiC<br />
SBD<br />
Wymiennie<br />
z diodami PiN<br />
-<br />
W konstrukcji<br />
przewidziano<br />
możliwość<br />
chłodzenia<br />
wymuszonego<br />
*) Parametry odpowiednika (PR163/100/Al (Alutronic)) zastosowanego<br />
w eksperymencie radiatora.<br />
-<br />
-<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 11
przepięć łączeniowych, bezpośrednio na szynach napięcia<br />
stałego w obrębie konstrukcji przekształtnika przy grupie<br />
łączników tworzących gałęzie fazowe przewidziano po jednym<br />
kondensatorze bezindukcyjnym (C1...C3) o pojemności 1 µF.<br />
Wyjście trójfazowe przekształtnika jest za pośrednictwem<br />
dławików oraz łącznika z zabezpieczeniem zwarciowym, doprowadzane<br />
do sieciowego trójfazowego transformatora separacyjnego<br />
o przekładni napięciowej równej 1. Wartość<br />
indukcyjności L dławików sprzęgających może być nastawiana<br />
w przedziale 5...15 mH poprzez zmianę długości szczeliny<br />
powietrznej w budowanym stanowisku. Zestawienie<br />
użytych do budowy modelu elementów podano w tabeli 3.<br />
Zasadniczy rdzeń układu sterowania zrealizowano wykorzystując<br />
kartę systemu mikroprocesorowego DS1103 firmy<br />
DSPACE, która jest przewidziana do pracy w superszybkich,<br />
o bardzo dużej liczbie zmiennych, cyfrowych systemach sterowania<br />
a także do symulacji w czasie rzeczywistym. Doskonale<br />
nadaje się do realizacji zaawansowanych algorytmów<br />
sterowania przekształtników energoelektronicznych, zapewniając<br />
odpowiednią szybkość przetwarzania sygnałów przy<br />
wykonywaniu operacji wymaganych w przypadku sterowania<br />
wykonanego modelu eksperymentalnego. Zastosowana<br />
wersja karty zawiera m.in. procesor główny Power PC<br />
450 MHz i procesor pomocniczy TMS 320F240.<br />
Zbudowany model eksperymentalny, łącznie z układem<br />
sterowania został uruchomiony i wstępnie przetestowany.<br />
Poprawność jego działania ilustrują oscylogramy przedstawione<br />
na rys. 7.<br />
Rys. 7.Oscylogramy napięcia i prądu wybranej fazy przekształtnika<br />
Fig. 7. Scope records of the ac voltage (upper channel) and current<br />
in one converter phase<br />
Podsumowanie<br />
Najbardziej obiecującym z punktu widzenia zastosowań energoelektronicznych,<br />
dostępnym komercyjnie przyrządem<br />
półprzewodnikowym z SiC, jest dioda Schottky’ego, którą<br />
można wykorzystać w łącznikach hybrydowych, złożonych<br />
z tranzystorów IGBT i diod zwrotnych z SiC. Dzięki pomijalnie<br />
małej wartości prądu wstecznego diod Schottky’ego z<br />
węglika krzemu, których napięcia wsteczne osiągają już wartości<br />
1,5 kV, łączniki energoelektroniczne z tymi elementami<br />
wykazują małe łączeniowe straty energii. Opracowany model<br />
symulacyjny przekształtnika umożliwia wyznaczenie strat<br />
energii w jego elementach półprzewodnikowych w warunkach<br />
formowania napięcia i prądu sinusoidalnego przy współpracy<br />
układu z siecią prądu przemienne o typowych parametrach<br />
(3×400 V/50 Hz). Wyniki obliczeń strat mocy dla dwóch wariantów<br />
(z diodami Si oraz SiC) budowy przekształtnika wskazują,<br />
że należy oczekiwać blisko dwudziestoprocentowej<br />
redukcji tych strat w przypadku zastąpienia diod krzemowych<br />
PIN diodami Schottky’ego z węglika krzemu. Stwarza to<br />
możliwość zwiększenia częstotliwości przełączeń (redukcja<br />
wymiarów elementów biernych przekształtnika), ograniczenia<br />
zaburzeń akustycznych, poprawę jakości przebiegów wartości<br />
chwilowych prądów i napięć a także zmniejszenie gabarytów<br />
całego urządzenia (wzrost wskaźnika mocy właściwej<br />
urządzenia). Na obecnym etapie rozwoju technologii przyrządów<br />
z węglika krzemu (jak i podzespołów towarzyszących)<br />
korzystne właściwości termiczne tego materiału (odporność<br />
na wysokie temperatury, duża przewodność cieplna) nie mają<br />
przynajmniej na razie w odniesieniu do najczęściej spotykanych<br />
urządzeń energoelektronicznych, istotniejszego znaczenia<br />
praktycznego. Opracowany model eksperymentalny<br />
o mocy S =5kVA pozwoli na badania porównawcze, ukierunkowane<br />
na pomiary jakości energii i jej strat, w przypadku<br />
zastosowania łączników półprzewodnikowych złożonych<br />
z tranzystora krzemowego IGBT i standardowej diody zwrotnej<br />
typu PIN oraz diody Schottky’ego z węglika krzemu.<br />
Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />
2007-2010 jako Projekt Badawczy Zamawiany<br />
Literatura<br />
[1] Nowak M., Barlik R.: Poradnik inżyniera energoelektronika. WNT,<br />
Warszawa, 1998.<br />
[2] Kolessar R.: Compact Modeling of Si and SiC Power Diodes.<br />
Doctoral Dissertation. Royal Institute of Technology, Department<br />
of Electrical Engineering Electrical Machines and Power Electronics.<br />
Stockholm, Sweden 2001.<br />
[3] Elasser A., Kheraluwala M. H., Ghezzo M., Steigerwald R. L.,<br />
Evers N. A., Kretchmer J., Chow T. P.: A Comparative Evaluation<br />
of New Silicon Carbide Diodes for Power Electronics Applications.<br />
IEEE Transactions on Industry Applications, vol. 39, no 4,<br />
July/August 2002, pp. 915-921.<br />
[4] Kolar J. W.: Use of SiC Components in Power Electronics System<br />
- Overview. SiC User Forum - Potential of SiC in Power Electronics.<br />
14-15 March 2006, Nuremberg, Germany.<br />
[5] Barlik R., Rąbkowski J., Nowak M.: Przyrządy półprzewodnikowe<br />
z węglika krzemu i ich zastosowania w energoelektronice. Przegląd<br />
Elektrotechniczny, R. 82, nr 11/2006, ss.1-8.<br />
[6] Szmidt J., Konczakowska A., Tłaczała M., Lisik Z., Łuczyński Z.,<br />
Olszyna A.: Nowe technologie na bazie węglika krzemu i ich zastosowania<br />
w elektronice wielkich częstotliwości, dużych mocyi<br />
wysokich temperatur. VI Krajowa Konferencja Elektroniki,<br />
Darłówko Wschodnie, 11-13 czerwca 2007, tom 1/2 , s. 67.<br />
[7] Oleksy M., Janke W.: SiC and Si Schottky Diodes Thermal Characteristics<br />
Comparison. International Conference Microtechnology<br />
and Thermal Problems in Electronics. Microtherm 2007,<br />
June 2007, Łódź, s. 117-122.<br />
[8] Barlik R., Nowak M., Rąbkowski J.: Symulacyjne studium projektowe<br />
trójfazowego przekształtnika PWM z zastosowaniem łączników z<br />
węglika krzemu. VII Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko<br />
Wschodnie, 02-04 czerwca 2008, materiały specjalne, s. 250-263.<br />
[9] Nowak M., Barlik R., Rąbkowski J.: Metodyka badań porównawczych<br />
krzemowych i węglikowo- krzemowych łączników<br />
mocy. <strong>Elektronika</strong>, Nr 7-8, 2008.<br />
[10] Nowak M., Rąbkowski J., Barlik R.: Measurement of Temperature<br />
Sensitive Parameter Characteristics of Semiconductor Silicon<br />
and Silicon - Carbide Power Devices. 13-th International<br />
Power Electronics and Motion Control Conference, 1-3 September<br />
2008, Poznań, IEEE Catalog Number CFP0834A-CDR;<br />
ISBN 978-1-4244-1742-1.<br />
[11] Rąbkowski J.: Silicon carbide JFET - fast, high voltage semiconductor<br />
device for power electronics applications. Przegląd<br />
Elektrotechniczny (artykuł przekazany do druku).<br />
[12] www.infineon.com<br />
[13] www.cree.com<br />
[14] www.rsc.rockwell.com./siliconcarbide/index.html<br />
12 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Ocena parametrów statycznych<br />
diod Schottky’ego z SiC<br />
dr inż. ARKADIUSZ SZEWCZYK, prof. dr hab. inż. ALICJA KONCZAKOWSKA,<br />
mgr inż. BARBARA STAWARZ-GRACZYK<br />
Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki<br />
Prowadzone od wielu lat prace nad technologią wytwarzania<br />
elementów półprzewodnikowych z węglika krzemu (SiC) zakończyły<br />
się sukcesem w zakresie produkcji diod Schottky’ego<br />
z SiC. Dostępne są komercyjne diody Schottky’ego<br />
produkcji, np. firmy CREE i firmy INFINEON. Zgodnie z informacjami<br />
producentów diody te charakteryzują się pomijalnie<br />
małym wstecznym prądem przejściowym przy wyłączaniu<br />
diody, stosunkowo małym spadkiem napięcia w stanie przewodzenia<br />
diody Schottky’ego z SiC w porównaniu z diodą<br />
krzemową PIN. W kartach katalogowych przytaczane są charakterystyki<br />
statyczne przy polaryzacji diod Schottky’ego<br />
w kierunku przewodzenia i zaporowym, które potwierdzają<br />
wyżej przytoczone właściwości [1,2].<br />
Celem pomiarów było sprawdzenie powtarzalności parametrów<br />
statycznych diod Schottky’ego wytworzonych przez<br />
CREE i INFINEON. Do badań wybrano typy diod Schottky’ego,<br />
dla których maksymalne napięcie wsteczne wynosi 600 V,<br />
różniących się średnim prądem przewodzenia. Badania przeprowadzono<br />
dla 3 prób diod Schottky’ego produkcji CREE -<br />
CSD02060A (29), CSD04060A (32), CSD10060A (10) oraz 2.<br />
prób produkcji INFINEON - SDT04S60 (27), SDT12S60 (10).<br />
W nawiasach podano liczby mierzonych elementów. Wstępne<br />
wyniki pomiarów charakterystyk statycznych diod Schottky’ego<br />
były prezentowane w czasie VII Krajowej Konferencji Elektroniki<br />
(2008 r.) na Sesji specjalnej poświęconej PBZ SiC.<br />
Charakterystyki statyczne diod<br />
Schottky’ego mierzone przy polaryzacji<br />
diody w kierunku przewodzenia<br />
Pomiary charakterystyk diod Schottky’ego, mierzonych przy<br />
polaryzacji w kierunku przewodzenie I D = f(U D ), przeprowadzono<br />
w typowym układzie pomiarowym przy pobudzeniu<br />
przebiegiem sinusoidalnym, przy wymuszonym chłodzeniu<br />
elementu w temperaturze pokojowej [3,4]. Pomiary prądu I D<br />
dla każdej diody danego typu wykonano w zakresie napięć<br />
U D od 0...1,6 V. Na rys. 1 przedstawiono wyniki pomiarów<br />
wszystkich typów diod.<br />
Stwierdzono, że dla danego typu diody, charakterystyki nie<br />
wykazują istotnych różnic, dlatego na rys. 1. wykreślono pojedyncze<br />
krzywe I D = f(U D ), średnie z wszystkich pomiarów,<br />
czyli średnie z próby dla danego typu diody. Charakterystyki<br />
te są zgodne z prezentowanymi w kartach katalogowych producentów<br />
[1,2].<br />
Z wyników pomiarów, zgodnie z wytycznymi zawartymi w<br />
normie PN-89/T-01202, oszacowano nachylenia charakterystyk,<br />
które oznaczono r d i wartości napięcia progowego oznaczone<br />
V T . Oszacowane wartości również nie wykazują<br />
istotnych różnic, przykładowo na rys. 2. i rys. 3. pokazano<br />
wartości r d [W] i V T [V] oszacowane z wyników pomiarów charakterystyk<br />
I D = f(U D ) diod Schottky’ego typu CSD04060<br />
(CREE) i SDT04S60 (INFINEON).<br />
W tabeli 1. zestawiono estymatory wartości średniej – r d ,<br />
V – T i odchylenia standardowego σ γd , σ VT oszacowane z wyników<br />
pomiarów badanych prób diod Schottky’ego.<br />
Jak widać z zestawionych danych, oszacowane wartości<br />
V – T są około 0,9 V, co jest zgodne z założeniami teoretycznymi<br />
dotyczącymi diod Schottky’ego z SiC. Odchylenie standardowe<br />
z próby jest bardzo małe - rzędu 10 -3 , co świadczy<br />
o bardzo małych rozrzutach pomierzonych wartości w obrębie<br />
danego typu diody. Natomiast oszacowane wartości – r d są<br />
różne w zależności od typu diody Schottky’ego i wykazują zależność:<br />
mniejszy średni prąd przewodzenia I D , większa wartość<br />
– r d .<br />
Wartości r d i V T diod Schottky’ego nie są podawane w danych<br />
katalogowych, można je określić z charakterystyk danego<br />
typu diody zamieszczanych w danych katalogowych<br />
producenta.<br />
Rys. 1. Charakterystyki prądu przewodzenia I D [A] (średnie z próby)<br />
w zależności od napięcia przewodzenia U D [V] dla 5 prób diod<br />
Schottky’ego<br />
Fig. 1. Forward characteristics (mean values) I D [A] vs U D [V] for 5<br />
samples of Schottky diodes<br />
Rys. 2. Oszacowane z pomiarów wartości r d i V T diod Schottky’ego<br />
typu CSD04060 (CREE)<br />
Fig. 2. Parameters r d and V T estimated from measurement data for<br />
CSD04060 diodes (CREE)<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 13
Rys. 3. Oszacowane z pomiarów wartości r d i V T diod Schottky’ego<br />
typu SDT04S60 (INFINEON)<br />
Fig. 3. Parameters r d and V T estimated from measurement data for<br />
SDT04S60 diodes (INFINEON)<br />
Rys. 4. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD02060A<br />
(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />
Fig. 4. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />
CSD02060 (CREE); bold line shows the mean value.<br />
Tab. 1. Wartości średnie i odchylenie standardowe z próby dla parametrów<br />
r d i V T oszacowanych dla badanych diod Schottky’ego oraz<br />
wartości oszacowane na podstawie danych katalogowych<br />
Tabl. 1. Mean values and standard deviation of the parameters r d<br />
and V T estimated from measurement data for tested Schottky<br />
diodes and values estimated from datasheets<br />
Typ diody<br />
CSD<br />
02060A<br />
CSD<br />
04060A<br />
CSD<br />
10060A<br />
SDT<br />
04S60<br />
SDT<br />
12S60<br />
estymator<br />
r- d [W] 0,224 0,135 0,064 0,158 0,053<br />
σ γd [W] 9,62•10 -3 8,98•10 -3 3,12•10 -3 5,14•10 -3 2,36•10 -3<br />
r d [W] 0,2758 0,135 0,059 0,197 0,049<br />
V- T [V] 0,930 0,906 0,893 0,905 0,882<br />
σ VT [V] 5,11•10 -3 13,36•10 -3 4,57•10 -3 7,91•10 -3 5,89•10 -3<br />
V T [V] 0,95 0,96 0,91 0,94 0,91<br />
Porównując dane oszacowane z wyników pomiarów i danych<br />
katalogowych można stwierdzić, że wartości r d są<br />
zbliżone i wykazują tą samą tendencję, natomiast „deklarowane”<br />
przez producenta wartości V T są zgodne z teoretycznymi<br />
i są większe od wartości średnich oszacowanych<br />
z pomiarów dla każdego typu diody Schottky’ego.<br />
Rys. 5. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD04060A<br />
(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />
Fig. 5. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />
CSD04060 (CREE); bold line shows the mean value<br />
Charakterystyki statyczne diod<br />
Schottky’ego mierzone przy polaryzacji<br />
diody w kierunku zaporowym<br />
Pomiary charakterystyk diod Schottky’ego I R = f(U R ), mierzone<br />
przy polaryzacji w kierunku zaporowym, przeprowadzono<br />
w typowym układzie pomiarowym [3,4]. Pomiary prądu<br />
I R dla każdej diody danego typu wykonano w zakresie napięć<br />
zaporowych U R od 0 do 800 V lub mniejszej wartości U R , tak<br />
aby nie przekroczyć maksymalnej wartości prądu wstecznego<br />
podanego w danych katalogowych dla danego typu diody. Na<br />
rys. 4, 5, 6, 7, 8 przedstawiono wyniki pomiarów wszystkich<br />
typów diod. Charakterystyki w obrębie każdego typu diody<br />
Schottky’ego są różne, w zależności od mierzonego egzemplarza<br />
diody.<br />
Rys. 6. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD10060A<br />
(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />
Fig. 6. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />
CSD10060 (CREE); bold line shows the mean value<br />
14 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
jednak podkreślić, że wszystkie mierzone diody spełniają deklaracje<br />
producenta odnośnie wartości prądu I R , która przy<br />
U R = 600 V musi być mniejsza od wartości typowej (tab. 2).<br />
W celu dokonania oceny porównawczej badanych typów<br />
diod Schottky’ego, na rys. 9. zestawiono oszacowane średnie<br />
charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V].<br />
Z charakterystyk średnich przedstawionych na rys. 9. wynika,<br />
że diody SDT12S60 firmy INFINEON charakteryzują się<br />
najmniejszymi wartościami napięcia przebicia (rzędu 700 V),<br />
a diody CSD02060A firmy CREE największymi wartościami<br />
napięcia przebicia (większymi od 800 V).<br />
Rys. 7. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu SDT04S60 (IN-<br />
FINEON), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />
Fig. 7. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />
SDT04S60 (INFINEON); bold line shows the mean value<br />
Rys. 9. Charakterystyki średniego prądu wstecznego I R [A] w zależności<br />
od napięcia zaporowego U R [V] badanych diod<br />
Fig. 9. Reverse characteristics (mean values) I R [A] vs U R [V] for<br />
tested Schottky diodes<br />
Podsumowanie<br />
Rys. 8. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />
napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu SDT12S60 (IN-<br />
FINEON), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />
Fig. 8. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky<br />
diodes SDT12S60 (INFINEON); bold line shows the mean value<br />
Jak widać z przedstawionych na rys. 4-8charakterystyk<br />
diod I R = f(U R ), przy polaryzacji diody w kierunku zaporowym,<br />
wszystkie charakterystyki różnią się w sposób istotny w obrębie<br />
danego typu diody, dla wartości napięć zaporowych powyżej<br />
600 V. Wyraźnie nie ma powtarzalności charakterystyk w tym<br />
zakresie polaryzacji. Największe rozrzuty charakterystyk występują<br />
dla diod typu CSD02060A i CSD04060A firmy CREE,<br />
najmniejsze do diod CSD10060A również firmy CREE. Należy<br />
Tab. 2. Wartości typowe I Rmax [mA]przy U R = 600 V badanych diod<br />
Schottky’ego deklarowane przez producentów [1,2]<br />
Tabl. 2. Typical values of the reverse current I Rmax [mA] at<br />
U R = 600 V for tested Schotky diodes declared by producers [1,2]<br />
Typ diody<br />
CSD<br />
02060A<br />
CSD<br />
04060A<br />
CSD<br />
10060A<br />
SDT<br />
04S60<br />
SDT<br />
12S60<br />
I Rmax [mA] 50 25 50 15 40<br />
Na podstawie przeprowadzonych pomiarów można stwierdzić,<br />
że badane diody Schottky’ego obu producentów wykazują powtarzalne<br />
parametry przy polaryzacji diod w kierunku przewodzenia.<br />
Wartości V T oszacowane na podstawie zmierzonych<br />
charakterystyk są rzędu 0,9 V, ale są mniejsze niż oszacowane<br />
z charakterystyk zamieszczonych w danych katalogowych<br />
producenta. Wartości r d są zgodne z danymi producenta.<br />
Podsumowując należy uznać, że charakterystyki diod Schottky’ego<br />
zmierzone przy polaryzacji diody w kierunku przewodzenia<br />
są w zasadzie zgodne z danymi producenta,<br />
iwobrębie danego typu diody wartości parametrów nie wykazują<br />
istotnych różnic. Natomiast przy polaryzacji w kierunku<br />
zaporowym charakterystyki badanych diod w obrębie danego<br />
typu diody Schottky’ego wykazują różnice, które stają się istotne<br />
po przekroczeniu napięcia zaporowego U R = 600 V.<br />
Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />
2007-2010 jako Projekt Badawczy Zamawiany.<br />
Literatura<br />
[1] Karty katalogowe elementów; CREE, Inc. www.cree.com/power<br />
[2] Karty katalogowe elementów; Infineon, http://www.infineon.com/<br />
[3] Badźmirowski K. i in.: Miernictwo elementów półprzewodnikowych<br />
i układów scalonych. WKiŁ, Warszawa 1984.<br />
[4] Januszewski S, Świątek H.: Miernictwo przyrządów półprzewodnikowych<br />
mocy. WKiŁ, Warszawa 1996.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 15
Wysokonapięciowa dioda z barierą Schottky’ego<br />
z węglika krzemu<br />
dr hab. inż. LECH DOBRZAŃSKI, mgr inż. KRZYSZTOF GÓRA,<br />
mgr inż. ANDRZEJ JAGODA, mgr ANDRZEJ KOZŁOWSKI, mgr BEATA STAŃCZYK,<br />
mgr KRYSTYNA PRZYBOROWSKA<br />
<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong>, Warszawa<br />
<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong> realizuje zadanie<br />
nr 1 w projekcie PBZ-MEiN-6/2/2006 Nowe technologie<br />
na bazie węglika krzemu i ich zastosowania w elektronice wysokich<br />
częstotliwości, dużych mocy i wysokich temperatur.<br />
Podstawowym zobowiązaniem <strong>Instytut</strong>u jest opracowanie<br />
technologii monokrystalizacji SiC oraz technologii wzrostu<br />
warstw epitaksjalnych dla potrzeb pozostałych uczestników<br />
projektu, a szczególnie dla realizatorów zadania drugiego,<br />
którzy są zobowiązani do wykonywania przyrządów półprzewodnikowych.<br />
Producent podłoży powinien kontrolować najważniejszy<br />
parametr, który ma decydujące znaczenie dla<br />
spełnienia podstawowych oczekiwań konstruktorów przyrządów<br />
wykonywanych z SiC. Wyższość węglika krzemu nad<br />
krzemem wynika z większej wartości elektrycznego pola krytycznego<br />
oraz z większej wartości przewodnictwa cieplnego.<br />
Głównym obszarem zastosowań SiC są wysokonapięciowe<br />
przyrządy mocy.<br />
W związku z tymi okolicznościami w ITME podjęto także<br />
wykonanie opracowania pod tytułem: Weryfikacja jakości wytworzonego<br />
w ITME węglika krzemu poprzez wykonanie i zbadanie<br />
parametrów wysokonapięciowej diody Schottky’ego.<br />
Nie ma metod charakteryzacji fizycznej materiału, których<br />
wyniki mają bezpośrednią interpretację w dziedzinie parametrów<br />
elektrycznych, szczególnie jeżeli chodzi o napięcie<br />
przebicia przyrządu, które jest uzależnione od struktury defektowej<br />
podłoża.<br />
Test funkcjonalny zaproponowany do wykonania w ITME<br />
wiąże się w istocie z opracowaniem technologii wysokonapięciowej<br />
diody i następnie z przeprowadzeniem badań statystycznych,<br />
mających wykazać, czy możliwa jest produkcja<br />
wysokonapięciowych przyrządów z tego materiału, z rozsądnym<br />
uzyskiem.<br />
W opracowaniu technologii przyrządu półprzewodnikowego<br />
jest wiele kroków przygotowawczych, z których najważniejsze<br />
to opracowanie technologii metalizacji kontaktów<br />
omowych, opracowanie metalizacji bariery Schottky’ego<br />
i opracowanie technologii trawień plazmowych (technika ICP<br />
RIE). Bardzo ważna jest także znajomość metod chemicznych<br />
trawienia, aktywacji i pasywacji powierzchni półprzewodnika.<br />
Ponadto potrzebne są techniki nakładania warstw<br />
dielektrycznych oraz opanowanie procesów utleniania termicznego<br />
SiC. Prace te wykonano w ITME w 2006 i 2007 r.<br />
Nie ma potrzeby dyskutowania ich obecnie, ponieważ istotne<br />
jest przede wszystkim, czy prowadzą do celu. W tej publikacji<br />
opisane zostaną jedynie zagadnienia konstrukcji diody, pomiary<br />
diod i będzie podana interpretacja wyników badań.<br />
Konstrukcja diody - problem<br />
zakończenia złącza<br />
Zjawisko przebicia złącza Schottky’ego należy rozpatrywać<br />
co najmniej w dwóch wymiarach przestrzennych. Trzeci wymiar<br />
nie musi być uwzględniony w obliczeniach, o ile dioda<br />
ma kształt koła o promieniu znacznie większym niż grubość<br />
warstw struktury półprzewodnikowej. W przypadku diod<br />
mających zastosowanie w tym projekcie pionowa struktura<br />
diody ma rozmiar maksymalny, który nie przekracza kilkunastu<br />
mikrometrów. Promień złącza Schottky’ego powinien<br />
być rzędu 150...200 µm.<br />
W miejscu, gdzie kończy się metalizacja Schottky’ego występuje<br />
koncentracja pola elektrycznego i tam zazwyczaj zaczyna<br />
się rozwijać zjawisko przebicia elektrycznego.<br />
W stosunku do idealizowanego przypadku, tzw. złącza<br />
płaskiego, które nie ma końca (jest to półpłaszczyzna) przebicie<br />
realnego złącza może wystąpić znacznie wcześniej.<br />
Spełnienie oczekiwania, że test funkcjonalny będzie miarodajną<br />
oceną jakości materiału, a nie będzie dostarczać informacji<br />
o opisanych tu zjawiskach drugorzędnych jest bardzo<br />
istotne. Oznacza to, że jakość konstrukcji i wykonania złącza<br />
musi być na poziomie profesjonalnym i wtedy jedynie można<br />
ocenić, czy materiał nadaje się do zastosowań profesjonalnych.<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 1.: Natężenie pola elektrycznego w rejonie zakończenia<br />
metalizacji Schottky’ego (a); gęstość prądu przebicia złącza Schottky’ego<br />
(b)<br />
Fig. 1.: Electric field distribution at the edge of Schottky metallization<br />
(a); breakdown current density of Schottky junction (b)<br />
16 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
a)<br />
a)<br />
b)<br />
b)<br />
Rys. 2.: Natężenie pola elektrycznego w rejonie zakończenia złącza<br />
Schottky’ego za pomocą płytki polowej (a); gęstość prądu przebicia<br />
złącza Schottky’ego zakończonego płytką polową (b)<br />
Fig. 2.: Electric field distribution in the region of field plate junction<br />
termination (a); breakdown current density at junction termination<br />
(b)<br />
Rysunek 1a. przedstawia symulację numeryczną zjawiska<br />
przebicia złącza Schottky’ego wykonaną za pomocą oprogramowania<br />
MEDICI.<br />
Cienka fioletowa linia wyznacza granicę styku metalizacji<br />
z półprzewodnikiem. Prostokątny obszar u góry z lewj strony obu<br />
rysunków jest to powietrze, którego właściwości elektryczne należy<br />
uwzględnić, aby obliczyć realny przypadek złącza leżącego<br />
na powierzchni półprzewodnika. Dla grubości warstwy półprzewodnika<br />
równej 10 µm, która jest domieszkowana na poziomie<br />
8•10 15 cm -3 obliczono wartość napięcia przebicia równą 320 V.<br />
Na rysunkach 2a i 2b przedstawiono wyniki symulacji zjawiska<br />
przebicia diody zakończonej tzw. płytką polową. Powierzchnię<br />
półprzewodnika pokryto warstwą dielektryka,<br />
w której wytrawiono okna. Metalizacja Schottky’ego styka się<br />
z półprzewodnikiem tylko w rejonie okna. Jej kraniec znajduje<br />
się jednak na powierzchni dielektryka. Polowe oddziaływanie<br />
elektrody odizolowanej od półprzewodnika - stąd pochodzi<br />
nazwa konstrukcji - płytka polwa (ang. field plate), powoduje<br />
korzystną zmianę rozkładu pola elektrycznego. Jak widać na<br />
rys. 2a największe natężenie pola występuje teraz w miejscu,<br />
gdzie kończy się metalizacja, a nie tam gdzie kończy się styk<br />
metalu z półprzewodnikiem. Rozkład gęstości prądu przebicia<br />
zobrazowany na rys. 2b jest teraz inny. Zjawisko przebicia występuje<br />
zarówno w miejscu, gdzie kończy się metalizacja<br />
(przebity jest także dielektryk), jak również w miejscu gdzie<br />
kończy się złącze Schottky’ego.<br />
To, który rejon zostanie przebity wcześniej zależy od kilku<br />
parametrów materiałowych i konstrukcyjnych płytki polowej<br />
(przede wszystkim od jej grubości i od wartości przenikalności<br />
elektrycznej warstwy dielektryka).<br />
Rys. 3.: Charakterystyki I-V przebicia złącza Schottky’ego bez płytki<br />
polowej (a); charakterystyki I-V przebicia złącza Schottky’ego z<br />
płytką polową (b)<br />
Fig. 3.: I-V breakdown characteristics of Schottky junction without<br />
field plate (a); I-V breakdown characteristics of Schottky junction<br />
with field plate (b)<br />
Dla tych samych danych materiałowych jak w przypadku<br />
diody bez płytki polowej, obliczono wartość napięcia przebicia<br />
diody równą 1160 V.<br />
Eksperymentalna weryfikacja obliczeń numerycznych zakończyła<br />
się sukcesem. Na rysunkach 3a oraz 3b przedstawiono<br />
pomiary napięć przebicia diody bez płytki polowej oraz<br />
z płytką polową. Obie diody wykonano na tej samej płytce<br />
półprzewodnika, zatem możliwe jest bezpośrednie porównywanie<br />
dwóch konstrukcji diody.<br />
W roku 2007 nie dysponowano jeszcze aparaturą do pomiaru<br />
napięc przebicia większych niż 1000 V. Na rysunku 3b<br />
przedstawiono dwadzieścia charakterystyk I-V. Jak widać jedynie<br />
trzy diody mają wartość napięcia przebicia mniejszą niż<br />
1000 V. Gwałtowny wzrost prądu w zakresie przebicia jest<br />
skojarzony ze zjawiskami cieplnymi i przepływem prądu<br />
w bardzo ograniczonym obszarze półprzewodnika. Jest to zjawisko<br />
niszczące i nieodwracalne.<br />
Statystyczna ocena jakości materiału<br />
Na rysunkach przedstawiono histogramy napięć przebicia<br />
w dwóch kolejnych partiach technologicznych. Badanie dotyczy<br />
diody o powierzchni złącza odpowiedniej do przewodzenia<br />
prądu 0,2 A. W tym przypadku można pozytywnie<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 17
zweryfikować hipotezę o normalności rozkładu napięć i zastosować<br />
kwantyle rozkładu do przewidywania uzysku. Przy<br />
ustawieniu napięcia testowania diod na wartość 800 V dla<br />
partiii z rys. 4a można przewidzieć uzysk 80%, natomiast dla<br />
partii z rys. 4b uzysk wynosi 70%.<br />
a)<br />
b)<br />
Maksymalne napięcia przebicia zmierzone w tych partiach<br />
znajdowały się w zakresie 1300...1400 V. Są to dobre wyniki,<br />
ale jednak diody testowe o małej powierzchni nie dają oceny<br />
jakości materiału. Diody, które opisywano dotychczas zostały<br />
wykonane na materiale podłożowym (krysztale) pochodzącym<br />
z firmy Cree, natomiast warstwy epitaksjalne wyhodowano<br />
w ITME. Poznanie zależności uzysku od powierzchni diody<br />
umożliwia oszacowanie gęstości defektów w materiale. Wykres<br />
(rys. 5.) przedstawia najprostszy model zależności<br />
uzysku od powierzchni diody. W modelu tym zakłada się, że<br />
przestrzenny rozkład defektów można opisać za pomocą statystyki<br />
Poissona oraz, że każdy defekt w obszarze złącza powoduje<br />
jego odpad.<br />
Zaprojektowano zintegrowny blok diod testowych o różnej<br />
powierzchni złącza i przeprowadzono szeroko zakrojone badania<br />
w celu weryfikacji modelu uzysku. Wyniki opracowano<br />
i przedstawiono na rys. 6.<br />
Na rysunku 6. diodę o powierzchni jednostkowej charakteryzuje<br />
maksymalny prąd przewodzenia 50 mA, natomiast<br />
diodę o powierzchni 36 razy większej dopuszczalny prąd<br />
1,8 A. Każde pudełko reprezentuje próbkę ok. 100 szt. przebitych<br />
diod. Czerwone koła oznaczają mediany rozkładów napięć<br />
przebicia, karby oznaczają zakres obszaru zaufania dla<br />
mediany, brzegi pudełka odpowiednio kwartyl dolny i górny.<br />
Używając testu Fishera zweryfikowano hipotezę o wystąpie-<br />
Rys. 4.: histogram napięć przebicia diod z parti technologicznej<br />
#826 (a); histogram napięć przebicia diod z parti technologicznej<br />
#825 (b)<br />
Fig. 4.: histogram of breakdown voltage in the lot #826 (a); histogram<br />
of breakdown voltage in the lot #825 (b)<br />
Rys. 6. Wykres typu pudełko z wąsami (box-whiskers plot) dla diod<br />
o różnej powierzchni złącza<br />
Fig. 6. Box and whiskers plot for diodes of diverse junction area<br />
Rys. 5 Model zależności uzysku (Y) od powierzchni diody (A). Jedynym<br />
parametrem modelu jest gęstość defektów (D)<br />
Fig. 5. Dependence of yield (Y) on diode area (A). The single yield<br />
model parameter is defect density (D)<br />
Rys. 7. Pomiar napięcia przebicia wysokonapięciowych diod<br />
Schottkyego<br />
Fig. 7. The probe station measurements of high-voltage Schottky<br />
diodes<br />
18 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
niu istotnych statystycznie różnic pomiędzy wynikami dla próbek<br />
o różnych polach powierzchni złącza. Dla dużej liczby pomiarów<br />
(tak jak przedstawiono na rys. 6.) różnice są istotne.<br />
Dolny kwartyl dla diod o największej powierzchni wynosi<br />
700 V. Występuje wyraźny trend spadku wartości kwantyli<br />
rozkładów napięć ze wzrostem powierzchni diody.<br />
Jednakże model uzysku bazujący na założeniach podanych<br />
wcześniej nie jest właściwy. Obecnie weryfikowana jest<br />
oryginalna hipoteza, o zależności uzysku od rozmiaru liniowego<br />
diody, a nie od jej powierzchni.<br />
Rysunek 7. przedstawia płytkę o średnicy 2” na której<br />
znajduje się ok. 200 bloków sruktur przeznaczonych do analizy<br />
modelu uzysku.<br />
W <strong>2009</strong> r. w ITME opanowano sposób obróbki powierzchni<br />
płytek SiC odpowiedni do wykonania wzrostu epitaksjalnego<br />
warstw. Stało się możliwe wykonanie przyrządów<br />
z materiału, który powstał w całości w Instytucie.<br />
Na rysunku 8. przedstawiono syntetycznie badanie jakości<br />
takich diod. Oprócz wykresu typu box and whisker na rys. 8<br />
umieszczono także histogramy napięć przebicia. Rozkład napięć<br />
przebicia diod z prądem maksymalnym 1,8 A jest dwumodalny<br />
(liczność próbek wynosiła ok. 25 szt.). Zwraca<br />
uwagę doskonała wartość dolnego kwartylu (680 V) dla diod<br />
o dużej powierzchni. Ten wynik jest podobny do osiągniętego<br />
w innych partiach technologicznych wykonanych z kryształów<br />
firmy Cree (np. #873 rys. 6).<br />
Obecnie prowadzone są badania statystyczne diod na powierzchniach<br />
płytek o średnicy 2” wykonanych w całości<br />
w ITME. W przypadku analizy dużych próbek spodziewamy<br />
się wystąpienia rozkładów napięć zbliżonych do normalnego.<br />
Wyniki już osiągnięte i przestawione pozwalają wyciągnąć<br />
bardzo optymistyczny wniosek. W ITME osiągnięto profesjonalny<br />
poziom technologii hodowania kryształu SiC, hodowania<br />
warstw epitaksjalnych, a także projektowania i<br />
wykonywania diod Schottky’ego z optymalnym zakończeniem<br />
złącza. Wniosek ten wyciągnięto na podstawie analizy napięć<br />
przebicia ok. 3000 przyrządów.<br />
Dioda wysokonapięciowa o parametrach U BR = 600 V<br />
oraz I F MAX =3A jest przyrządem, który może być już w tej<br />
chwili produkowany w ITME z uzyskiem lepszym niż 75%<br />
i sprzedawany, ponieważ jest potrzebny w wielu zastosowaniach<br />
z zakresu elektroenergetyki. Wymieniono wartość prądu<br />
3 A, ponieważ jedna z dwóch (jedynie dwóch) firm sprzedających<br />
diody wysokonapięciowe na rynku światowym stosuje<br />
w swoich wyrobach montaż dwóch struktur diodowych<br />
w jednej obudowie. Strategia ta, jak wynika z przedstawionych<br />
tu rozważań, jest stosowana w celu podwyższenia uzysku<br />
diod, który jest ograniczony ze względu na zależność wartości<br />
napięcia przebicia od rozmiaru diody.<br />
Perspektywy dalszych prac<br />
Na podstawie dotychczasowych doświadczeń przewidujemy<br />
dalsze udoskonalenie technologii i konstrukcji płytki polowej<br />
i osiągnięcie uzysku ok. 75% dla diod z barierą Schottky’ego<br />
o prądzie maksymalnym 5 A, a następnie 10 A.<br />
Planujemy wykonanie tranzystora typu CHEMFET z węglika<br />
krzemu do zastosowania w biochemii i medycynie. Prawdopodobieństwo<br />
sukcesu w tym zakresie jest duże, ponieważ<br />
w 2008 r. wykonaliśmy opracowanie pierwszego w kraju tranzystora<br />
MESFET z węglika krzemu, którego przykładowe charakterystyki<br />
przedstawiono na rys. 9a i 9b.<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 8. Wykres typu pudełko z wąsami (box-whiskers plot) dla diod<br />
wykonanych z materiału wytworzonego w ITME<br />
Fig. 8. Box and whiskers plot of diodes made out of SiC fabricated<br />
at ITME<br />
Wnioski<br />
Rys. 9.: wyjściowe charakterystyki tranzystora MESFET z SiC, L G =<br />
2 µm, W G = 150 µm (a); wyjściowe charakterystyki tranzystora<br />
MESFET z SiC, L G = 4 µm, W G = 150 µm, skok napięcia bramki<br />
-5 V, max. wartość pola elektrycznego pomiędzy elektrodą bramki<br />
i drenu E ~5•10 7 V/m (b)<br />
Fig. 9.: output I-V characteristics of MESFET made of SiC. L G =<br />
2 µm, W G = 150 µm (a); output I-V characteristics of MESFET made<br />
of SiC. L G = 4 µm, W G = 150 µm. Gate bias step -5 V. Maximum<br />
electric field between the gate and drain metal is E ~5•10 7 V/m (b)<br />
Jeszcze w <strong>2009</strong> r. planujemy wykonanie modelu diody<br />
p-i-n z węglika krzemu o napięciu blokowania ok. 5 kV<br />
i prądzie maksymalnym 5 A.<br />
Wykonanie wszystkich wymienionych zamierzeń nie jest<br />
zobowiązaniem ITME związanym z realizacją PBZ-MEiN-<br />
6/2/2006. Działania te podejmujemy w związku z dużym prawdopodobieństwem<br />
osiągnięcia opisanych celów.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 19
Optymalizacja konstrukcji i modelowanie<br />
tranzystora RESURF LJFET w 4H-SiC<br />
ANDRZEJ TAUBE 1,2 , dr inż. MARIUSZ SOCHACKI 1 , prof. dr hab. inż. JAN SZMIDT 1<br />
1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />
2 <strong>Instytut</strong> Technologii Elektronowej, Warszawa<br />
Zaprezentowane w 2001 roku komercyjnie dostępne diody<br />
Schottky’ego wykonane w technologii węglika krzemu (SiC),<br />
w szybkim tempie wyparły krzemowe diody p-i-n w nowoczesnych<br />
przekształtnikach energoelektronicznych pracujących<br />
przy napięciu do 1200 V [1,2]. Diody te znalazły<br />
zastosowanie przede wszystkim w układach do korekcji<br />
współczynnika mocy (PFC) zasilaczy impulsowych [3], w falownikach<br />
pracujących w systemach fotowoltaicznych [4] oraz<br />
w układach sterowania silnikami elektrycznymi [5], gdzie<br />
współpracują typowo jako diody zwrotne z tranzystorami typu<br />
MOSFET lub IGBT.<br />
Główną zaletą diod Schottky’ego SiC w porównaniu<br />
z krzemowymi diodami p-i-n okazała się mniejsza pojemność<br />
złącza i w efekcie małe straty mocy przy przełączaniu [6].<br />
Krzemowe diody Schottky’ego na ten zakres napięcia nie są<br />
produkowane z uwagi na duże statyczne straty mocy przy polaryzacji<br />
w kierunku przewodzenia. W efekcie diody Schottky’ego<br />
SiC zostały zaakceptowane przez producentów<br />
nowoczesnych urządzeń energoelektronicznych pomimo, że<br />
są to ciągle elementy zdecydowanie droższe od diod wykonywanych<br />
w technologii krzemowej. Produkowane obecnie<br />
diody SiC są co najmniej 10-krotnie szybsze od przyrządów<br />
krzemowych. Umożliwia to redukcję wymiarów i kosztów<br />
współpracujących elementów biernych. Małe dynamiczne<br />
straty mocy wpływają na ograniczenie lub wyeliminowanie<br />
chłodzenia wymuszonego, co zmniejsza masę i wymiary gotowego<br />
urządzenia oraz koszty energii niezbędnej do chłodzenia.<br />
Wymienione zalety często kompensują w dużym<br />
stopniu nakłady związane z zastosowaniem droższych diod.<br />
Kolejnym krokiem umożliwiającym poprawę sprawności<br />
i zmniejszenie rozmiarów urządzeń jest wprowadzenie na<br />
rynek tranzystorów w technologii SiC. Okres ostatnich ośmiu<br />
lat od momentu wprowadzenia na rynek diod Schottky’ego nie<br />
przyniósł w tym obszarze przełomowych zmian. Kłopoty<br />
z wdrożeniem do produkcji tranzystorów MOSFET SiC wynikają<br />
z niezawodności i powtarzalności procesów wytwarzania<br />
dielektryka bramkowego [7]. Duża wartość ładunku efektywnego,<br />
spowodowana niedoskonałością interfejsu dielektryk/półprzewodnik<br />
powoduje degradację ruchliwości<br />
nośników w obszarze kanału i ogranicza prąd wyjściowy tranzystora<br />
[8]. Pomimo wielu zabiegów technologicznych nie<br />
opracowano technologii wytwarzania warstw SiO 2 , której<br />
efekty dałoby się wdrożyć do seryjnej produkcji. Równolegle<br />
prowadzi się badania związane z wytwarzaniem i charakteryzacją<br />
alternatywnych materiałów dielektrycznych, które również<br />
nie przyniosły całkowicie satysfakcjonujących rezultatów<br />
[9]. Publikowane wyniki przekonują, że głównym czynnikiem<br />
ograniczającym rozwój technologii jest niezadowalająca jakość<br />
podłoża półprzewodnikowego. Prezentacja możliwości<br />
wytwarzania podłoży 4-calowych pozbawionych podstawowego<br />
defektu krytycznego, jakim przez wiele lat były mikrorurki<br />
(micropipes) w monokryształach SiC nie rozwiązała<br />
problemu niezawodności przyrządów. Ograniczenie liczby<br />
dyslokacji, w tym przede wszystkim dyslokacji w tak zwanej<br />
płaszczyźnie bazowej (basal-plane dislocations), jest konieczne<br />
w celu uzyskania wyraźnej poprawy jakości interfejsu<br />
dielektryk/półprzewodnik [10].<br />
Problemy związane z uzyskiem w produkcji tranzystorów<br />
MOSFET spowodowały wzrost zainteresowania tranzystorami<br />
polowymi złączowymi (JFET), które nie wymagają stosowania<br />
tej warstwy w obszarze bramki. Dzięki wyeliminowaniu<br />
warstwy dielektrycznej uzyskuje się lepszą stabilność długoterminową<br />
parametrów szczególnie przy pracy w podwyższonej<br />
temperaturze (nawet do 500°C), na co wpływa<br />
także odsunięcie obszaru kanału tranzystora od powierzchni<br />
półprzewodnika [11]. Możliwe jest zwiększenie wydajności<br />
prądowej tranzystora, ponieważ stan powierzchni półprzewodnika<br />
nie wpływa na ruchliwość nośników w obszarze kanału.<br />
Wyeliminowanie warstwy dielektrycznej ogranicza<br />
jednocześnie pojemności pasożytnicze tranzystora [12].<br />
Podstawowa konstrukcja tranzystora JFET ma jednak<br />
swoje wady. Tranzystor JFET w klasycznej topologii należy<br />
do grupy przyrządów normalnie włączonych i przewodzi prąd<br />
przy braku polaryzacji bramki. Odcięcie kanału wymaga<br />
przyłożenia na bramkę napięcia zapewniającego wzrost szerokości<br />
warstwy zaporowej i uzyskania obszaru zubożonego.<br />
Zastosowanie tego typu elementu w układzie przekształtnikowym<br />
wymaga ze względów bezpieczeństwa użycia niskonapięciowego<br />
tranzystora łączonego kaskadowo z tranzystorem<br />
mocy JFET w celu uzyskania przyrządu normalnie<br />
wyłączonego [13,14]. Dodatkowo, koszt wytwarzania tranzystora<br />
JFET jest większy w porównaniu z kosztem wytwarzania<br />
tranzystorów MOSFET, ponieważ przyrząd wymaga<br />
bardziej skomplikowanej struktury epitaksjalnej. Kłopoty technologiczne<br />
przy wytwarzaniu tranzystorów MOSFET spowodowały,<br />
że konstrukcjom tranzystora JFET poświęcono wiele<br />
prac badawczych.<br />
Szczególnie interesującym rozwiązaniem są lateralne<br />
tranzystory JFET, które łączą w sobie możliwości wykonania<br />
przyrządu wysokonapięciowego i dalszej integracji z bardziej<br />
złożonymi układami. Wysokie koszty materiału podłożowego<br />
i skomplikowana sekwencja procesów technologicznych powodują,<br />
że użycie dokładnych metod modelowania tranzystora<br />
JFET jest niezbędne do ograniczenia kosztów<br />
wytwarzania i optymalizacji parametrów. Modele materiałowe<br />
SiC dostarczane standardowo z oprogramowaniem do projektowania<br />
mogą być użyte jedynie do bardzo zgrubnych symulacji<br />
najprostszych przyrządów. Otrzymywanie wyników<br />
symulacji o dużym poziomie ufności w przypadku modelowania<br />
struktury lateralnego tranzystora RESURF JFET z implantowanym<br />
obszarem bramki wymaga wprowadzenia<br />
dodatkowych modeli oraz modyfikacji parametrów modeli istniejących<br />
głównie bazując na danych literaturowych i dopasowanie<br />
uzyskiwanych rezultatów symulacji do wyników<br />
charakteryzacji przyrządów.<br />
Odpowiednie podejście do projektowania tranzystorów<br />
RESURF JFET jest wymagane przede wszystkim ze względu<br />
na liczbę możliwych punktów swobody (poziom domieszko-<br />
20 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
wania i grubość co najmniej 4 warstw epitaksjalnych i podłoża,<br />
profil domieszki w obszarach implantowanych). Artykuł stanowi<br />
rozwinięcie i porównanie wyników symulacji tranzystora<br />
RESURF JFET uzyskanych po dopasowaniu podstawowych<br />
i krytycznych parametrów materiałowych [15] z wynikami analizy<br />
modeli prezentowanych w literaturze, weryfikacji ich konstrukcji<br />
zgodnie z wynikami eksperymentalnymi i kolejnej<br />
implementacji modeli i parametrów w środowisku projektowym<br />
ATLAS.<br />
Modele fizyczne<br />
Modele parametrów zostały zaczerpnięte ze źródeł literaturowych.<br />
Do najważniejszych zaliczyć należy modele przerwy<br />
energii zabronionych, ruchliwości nośników i jonizacji zderzeniowej.<br />
Przerwa energii zabronionych<br />
W symulacjach przyjęto następującą zależność szerokości<br />
przerwy energii zabronionych E g od temperatury [16]:<br />
gdzie T jest temperaturą bezwzględną sieci krystalicznej. Szerokość<br />
przerwy w temperaturze 300K dla politypu 4H-SiC wynosi<br />
3,23 eV.<br />
Ruchliwość nośników<br />
W modelu przyjęto zależność ruchliwości od temperatury T<br />
i poziomu domieszkowania N. W obecności małych pól elektrycznych<br />
ruchliwość elektronów µ e i ruchliwość dziur µ h są<br />
modelowane za pomocą modelu Caughey’a-Thomasa [16],<br />
w którym:<br />
(1)<br />
Jonizacja zderzeniowa<br />
Wydajność procesu generacji par elektron-dziura w skutek jonizacji<br />
zderzeniowej określona jest następującym równaniem:<br />
gdzie: n i p są wartościami koncentracji nośników, natomiast<br />
v n , v p są prędkością unoszenia odpowiednio elektronów<br />
i dziur. Współczynniki jonizacji zderzeniowej α n i α p opisane<br />
są modelem Chynowetha [18], otrzymanym przez dopasowanie<br />
wyników eksperymentów przeprowadzonych przez<br />
Konstantinova [19]:<br />
gdzie E jest natężeniem pola elektrycznego w V/cm.<br />
Pozostałe parametry<br />
Pozostałe parametry uwzględnione w symulacjach zostały<br />
przedstawione w tab. 1 [19,20].<br />
Tab. 1. Parametry elektrofizyczne politypu 4H-SiC uwzględnione w symulacjach<br />
Tabl. 1. 4H-SiC parameters taken into account in numerical simulations<br />
Parametr<br />
Wartość<br />
Stała dielektryczna ε s 9,77<br />
Przerwa energetyczna E g (300K)<br />
3,23 eV<br />
(6)<br />
(7)<br />
(8)<br />
(2)<br />
Prędkość nasycenia v sat<br />
Czas życia elektronów τ emax<br />
Czas życia dziur τ hmax<br />
Powinowactwo elektronowe c<br />
2,1•10 7 cm/s<br />
2,5•10 -6 s<br />
0,5•10 -6 s<br />
3,3 eV<br />
(3)<br />
Struktura tranzystora<br />
Dla potrzeb symulacji założono także zależność ruchliwości<br />
elektronów od silnego pola elektrycznego [17]. Zależność ta<br />
opisywana jest następującą formułą:<br />
Jako symulowaną strukturę przyjęto topografię tranzystora zaproponowaną<br />
przez grupę Fujikawy [21]. Przekrój przez strukturę<br />
przedstawiono na rys. 1, a wyjściowe grubości<br />
poszczególnych warstw i ich domieszkowanie zestawiono<br />
w tab. 2. Początkowa głębokość implantacji obszaru bramki<br />
(p+) wynosiła 0,35 µm.<br />
(4)<br />
gdzie: µ 0 jest ruchliwością dla niskich pól elektrycznych, v sat<br />
- prędkością nasycenia nośników, parametr β jest funkcją temperatury<br />
i został opisany następującą zależnością:<br />
(5)<br />
Rys. 1 Struktura lateralnego tranzystora JFET<br />
Fig. 1. Cross-section of LJFET transistor<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 21
Tab. 2 Wyjściowe grubości i domieszkowanie warstw epitaksjalnych<br />
i podłoża<br />
Tabl. 2. Thickness and doping of epitaxial layers and substrate - primary<br />
assumption<br />
Wyniki<br />
Warstwa Domieszkowanie Grubość<br />
Epitaksjalna typu p - RESURF (4) 2•10 17 1/cm 3 0,2 µm<br />
Epitaksjalna typu n (3) 2•10 17 1/cm 3 0,4 µm<br />
Epitaksjalna typu p (2) 1•10 16 1/cm 3 10 µm<br />
Epitaksjalna typu p (1) 5•10 16 1/cm 3 1 µm<br />
Podłożowa typu n+ 5•10 18 1/cm 3 -<br />
Głównymi parametrami konstrukcyjnymi wymagającymi optymalizacji<br />
są grubości i domieszkowanie poszczególnych<br />
warstw, głębokość implantacji bramki oraz odległości pomiędzy<br />
drenem a bramką oraz bramką a źródłem. Optymalizacja<br />
polegała na osiągnięciu jak największego napięcia przebicia<br />
przy jak najmniejszej wartości rezystancji charakterystycznej<br />
w stanie włączenia. Parametrem określającym jakość konstrukcji<br />
tranzystora jest w tym przypadku wartość współczynnika<br />
FOM, który jest definiowany jako [19]:<br />
gdzie: V br [V] jest napięciem przebicia zaś R on [Ωcm 2 ] jest rezystancją<br />
charakterystyczną w stanie włączenia obliczaną<br />
przy napięciach V ds = 0,2 V i V gs =2V. Jeżeli nie zaznaczono<br />
inaczej wszystkie symulacje przeprowadzono dla temperatury<br />
T = 773K (500°C).<br />
Optymalizacja wymiarów tranzystora<br />
Przyjmując domieszkowanie i grubości poszczególnych<br />
warstw jak w tab. 2 zbadano wpływ długości bramki i odległości<br />
drenu od bramki i źródła na parametry wyjściowe tranzystora.<br />
Długość bramki wynosiła 4, 7, 10 µm, zaś odległości<br />
drenu i źródła od bramki kolejno 3, 5, 10 µm. Wyniki przedstawiono<br />
na rys. 2.<br />
(9)<br />
Największe napięcia przebicia uzyskano dla struktur o największej<br />
odległości źródło-dren. Najlepszy wynik V br = 856 V<br />
osiągnięto dla odległości dren-bramka 10 µm przy długości<br />
bramki 5 i 10 µm. Długi kanał zapewnia lepsze zrównoważenie<br />
struktury typu RESURF. Rezystancja charakterystyczna<br />
w stanie włączenia (R on ) liniowo zależy od długości<br />
kanału. Największą wartość współczynnika FOM równą<br />
14,39 MW/cm 2 uzyskano dla odległości dren (źródło) -<br />
bramka 4 µm oraz długości bramki 3 µm, przy których napięcie<br />
V br wynosi 690 V i rezystancja R on przyjmuje wartość<br />
33 mWcm 2 . Wymiary te zostały uznane jako najlepsze do dalszych<br />
symulacji.<br />
Domieszkowanie warstw typu p (1,2)<br />
Parametry warstw typu p nr 1 i 2 decydują głównie o napięciu<br />
przebicia tranzystora i mają niewielki wpływ na wartość R on .<br />
Okazało się, że zmniejszając domieszkowanie tych warstw do<br />
p(1) = 1•10 16 cm -3 oraz p(2) = 5•10 15 cm -3 otrzymano lepsze<br />
zrównoważenie struktury typu RESURF. Obniżenie koncentracji<br />
spowodowało wyraźny wzrost napięcia przebicia do<br />
780 V, dzięki czemu otrzymano wartość współczynnika<br />
FOM = 22,16 MV/cm 2 . Poziom domieszkowania warstw p<br />
(1,2) nie może być jednakże zbyt mały, ponieważ przy<br />
założonej głębokości implantacji bramki pełne odcięcie kanału<br />
pojawia się przy nieakceptowalnie wysokich napięciach V gs .<br />
Implantacja bramki<br />
Jednym z kluczowych parametrów technologicznych wytwarzanych<br />
tranzystorów JFET jest głębokość implantacji obszaru<br />
bramki. W symulacji przyjęto gaussowski rozkład implantowanej<br />
domieszki o maksymalnej koncentracji 1•10 18 cm -3 na<br />
głębokości kolejno 0,15; 0,2; 0,25; 0,3 i 0,35 µm. Głębokość<br />
implantacji decyduje przede wszystkim o wartości rezystancji<br />
R on i wpływa w ten sposób na wydajność prądową tranzystora<br />
(rys. 3). Głębokość implantacji wpływa jednocześnie na<br />
napięcie przebicia i prąd upływu bramki. Największe napięcie<br />
przebicia i najmniejszy prąd upływu bramki uzyskano dla<br />
głębokości implantacji równej 0,35 µm (rys. 4).<br />
Głębokość implantacji wpływa na skuteczność sterowania<br />
prądem wyjściowym tranzystora napięciem V gs . Przy głębszej<br />
implantacji istnieje możliwość sterowania małym napięciem<br />
V gs dla uzyskania całkowitego zubożenia złącza p-n i odcięcia<br />
kanału. Na rys. 5. zaprezentowano wyznaczone na pod-<br />
Rys. 2. Współczynnik FOM dla różnych wymiarów tranzystora<br />
Fig. 2. Figure of Merit (FOM) vs. channel length and RESURF area<br />
length<br />
Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe I d = f(V ds ) tranzystora dla<br />
różnych głębokości implantacji (V gs = 2 V)<br />
Fig. 3. LJFET output current vs. implantation depth (V gs = 2 V)<br />
22 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
stawie ekstrapolacji charakterystyki I d 1/2 = f(V gs ) napięcie progowe<br />
tranzystora (V th ) w funkcji głębokości implantacji. Charakterystyki<br />
przejściowe wyznaczono dla stałej wartości<br />
napięcia V ds =6V. Przyłożenie na bramkę napięcia V gs przekraczającego<br />
napięcie włączenia złącza p-n (V gmax ) powoduje<br />
gwałtowny wzrost prądu płynącego przez bramkę i utratę<br />
sterowania prądem wyjściowym tranzystora. Tranzystor JFET<br />
zaczyna przy takiej polaryzacji bramki pracować jak typowy<br />
tranzystor bipolarny. Napięcie włączenia zależy w pewnym zakresie<br />
od rozkładu domieszki w wytworzonym metodą implantacji<br />
złączu p-n i zmienia się od 2,7 V dla głębokości<br />
implantacji 0,35 µm do 3,6 V dla głębokości implantacji<br />
0,15 µm (rys. 6).<br />
Optymalizacja struktury typu double RESURF<br />
Rys. 4. Charakterystyki wsteczne I d = f(V ds ) tranzystora dla różnych<br />
głębokości implantacji (V gs = -3 V).<br />
Fig. 4. LJFET reverse characteristics vs. implantation depth<br />
(V gs = -3 V)<br />
Rys. 5. Zależność napięcia progowego (V th ) tranzystora JFET od<br />
głębokości implantacji bramki<br />
Fig. 5. LJFET threshold voltage (V th ) vs. implantation depth<br />
Projektowane półprzewodnikowe przyrządy mocy powinny<br />
charakteryzować się wysokim współczynnikiem FOM. Warunkiem<br />
poprawnego działania struktury typu RESURF jest<br />
odpowiedni dobór domieszkowania i grubości warstw epitaksjalnych<br />
zapewniający osiągnięcie całkowitego zubożenia obszaru<br />
RESURF zanim wartość pola elektrycznego w obszarze<br />
pomiędzy bramką a drenem osiągnie wartość krytyczną [22].<br />
Na rys. 7. przedstawiony jest rozkład natężenia pola elektrycznego<br />
w momencie przebicia dla tranzystora bez i ze<br />
strukturą typu RESURF.<br />
Dla struktury tranzystora bez obszaru RESURF przedwczesne<br />
przebicie następuje w wyniku osiągnięcia krytycznego<br />
pola elektrycznego w kierunku lateralnym bramka-dren.<br />
Dla struktury z obszarem RESURF pole elektryczne jest<br />
rozłożone równomiernie pomiędzy bramką a dren i jednocześnie<br />
wnika znacznie głębiej w kierunku wertykalnym<br />
w warstwę typu p (nr 2), co wpływa na zwiększenie napięcia<br />
przebicia i zmniejszenie rezystancji R on .<br />
W celu osiągnięcia jak najlepszych parametrów niezbędne<br />
jest dobre zrównoważenie domieszkowania całej struktury dla<br />
ustalonych grubości warstw. Dla ustalonych wartości koncentracji<br />
domieszki warstwy aktywnej typu n od 1,8•10 17 cm -3 do<br />
2,2•10 17 cm -3 dobierano domieszkowanie górnej warstwy typu<br />
RESURF tak, aby uzyskać największą wartość współczynnika<br />
FOM. Największą wartość współczynnika FOM =<br />
22,16 MV/cm 2 uzyskano dla domieszkowania n = 2•10 17 cm -3<br />
i p = 2•10 17 cm -3 przy napięciu przebicia 780 V i rezystancji<br />
charakterystycznej w stanie włączenia 27,5 mΩcm 2 .<br />
Rys. 6. Zależność napięcia włączenia złącza p-n (V gmax ) od głębokości<br />
implantacji obszaru bramki<br />
Fig. 6. p-n junction on-state voltage (V gmax ) vs. implantation depth<br />
Rys. 7. Natężenie pola elektrycznego w momencie przebicia dla<br />
struktury tranzystora JFET z obszarem typu RESURF (po lewej)<br />
i dla tranzystora bez obszaru typu RESURF<br />
Fig. 7. Electrical field simulation for RESURF structure (left) and no-<br />
RESURF structure (right)<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 23
Uwzględnienie rzeczywistego rozkładu domieszki<br />
w obszarze bramki<br />
W celu uzyskania wyników symulacji uwzględniających rzeczywisty<br />
rozkład implantowanej domieszki w obszarze<br />
bramki do dalszych rozważań użyto profili rozkładu otrzymanych<br />
metodą spektrometrii masowej jonów wtórnych<br />
(SIMS). Profil domieszkowania jonami glinu po wygrzewaniu<br />
poimplantacyjnym, otrzymany w wyniku wielokrotnej implantacji<br />
wykonanej dla temperatury podłoża 500°C przy<br />
całkowitej dawce 7,1•10 14 cm -2 pokazany został na rys. 8.<br />
Implantację wykonano przy użyciu czterech różnych energii<br />
i czterech różnych doz dla otrzymania rozkładu zbliżonego<br />
do równomiernego (250 keV - 6,6•10 13 cm -2 , 160 keV -<br />
1,0•10 14 cm -2 , 100 keV - 1,7•10 14 cm -2 , 55 keV - 3,7•10 14 cm -2 ).<br />
Próbki poddano wygrzewaniu poimplantacyjnemu w atmosferze<br />
argonu w temperaturze 1600°C i w czasie 20 minut<br />
w celu rekrystalizacji zdefektowanego materiału i termicznej<br />
aktywacji wprowadzonej domieszki.<br />
Rys. 9. Przekrój przez obszar bramki i drenu wraz ze strukturą terminacji<br />
kontaktu<br />
Fig. 9. Cross-section of gate-drain region with drain edge termination<br />
Zastosowanie tej techniki spowodowało wzrost napięcia<br />
przebicia do 820 V przy zachowaniu wartości rezystancji R on<br />
na praktycznie niezmienionym poziomie. Dla odległości drenbramka<br />
równej 7 i 10 µm uzyskano napięcia przebicia równe<br />
kolejno 960 oraz 1020 V przy rezystancji R on równej 36,8 oraz<br />
48,1 mΩcm 2 . W tab. 3 porównane zostały wyniki dla struktur<br />
o różnej odległości dren-bramka.<br />
Rys. 8. Rzeczywisty rozkład domieszki określony metodą SIMS. Na<br />
wykres naniesiono grubości poszczególnych warstw i ich poziomy<br />
domieszkowania<br />
Fig. 8. Implantation SIMS doping profile with specific thickness and<br />
doping of epitaxial layers<br />
Po wykonaniu wstępnych symulacji konieczne okazało się<br />
przeprojektowanie konstrukcji, ponieważ rzeczywisty rozkład<br />
domieszki w bramce różnił się w sposób znaczący od<br />
zakładanego uprzednio idealnego rozkładu gaussowskiego.<br />
W celu uzyskania odpowiednio niskiej wartości rezystancji R on<br />
należało zwiększyć grubość warstwy typu n (nr 3) do 0,5 µm.<br />
Należało także ponownie zoptymalizować strukturę typu RE-<br />
SURF. Najlepsze parametry uzyskano dla domieszkowania<br />
warstw kolejno p(2) = 1,2•10 17 i 1•10 17 oraz n(3) = 2•10 17 .<br />
Uzyskano napięcie przebicia V br = 750 V, rezystancję R on =<br />
26,9 mΩcm 2 oraz współczynnik FOM = 20,92 MV/cm 2 .<br />
Wpływ terminacji kontaktu drenu na parametry<br />
tranzystora<br />
Kolejnym sposobem na uzyskanie większej wartości<br />
współczynnika FOM na drodze zwiększenia napięcia przebicia<br />
jest terminacja krawędzi kontaktu drenu. Zastosowano<br />
w tym celu topografię zbliżoną do struktury super RESURF<br />
[22]. Sposobem na ograniczenie pola elektrycznego na krawędzi<br />
kontaktu jest wytrawienie obszaru w bezpośrednim<br />
sąsiedztwie drenu i pasywacja materiałem dielektrycznym<br />
(SiO 2 ). Głębokość wytrawienia wynosiła 0,15 µm zaś długość<br />
2 µm. Strukturę przedstawiono na rys. 9.<br />
Tab. 3. Porównanie parametrów tranzystora dla różnych odległości<br />
dren-bramka<br />
Tabl. 3. LJFET parameters vs. drain - gate distance<br />
Odl. drenbramka<br />
(µm)<br />
Vbr(V)<br />
R on (773K)<br />
[mΩcm 2 ]<br />
R on (295K)<br />
[mΩcm 2 ]<br />
Wpływ grubości warstwy p(2) na parametry<br />
tranzystora<br />
FOM<br />
[MW/cm 2 ]<br />
4 820 26,7 9,1 25,16<br />
7 960 36,8 12,2 25,04<br />
10 1020 48,1 15,7 21,64<br />
Grubość warstwy typu p(2) nie ma praktycznie wpływu na rezystancje<br />
R on tranzystora. Sprawdzono w jakim stopniu można<br />
zmniejszyć grubość tej warstwy, aby wpływ grubości na napięcie<br />
przebicia tranzystora można było jeszcze uznać za pomijalny.<br />
Poza przyjętą wyjściową grubością warstwy (10 µm)<br />
badano kolejno konstrukcje z warstwami o grubościach: 8; 6,4<br />
i 5,3 µm. Dla warstwy o grubości ok. 8 µm napięcie przebicia<br />
nie zmienia się i wynosi 820 V. Dla cieńszych warstw napięcie<br />
przebicia drastycznie maleje i wynosi kolejno 735 V przy grubości<br />
6,4 µm i tylko 440 V przy grubości 5,3 µm.<br />
24 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Podsumowanie<br />
Przy użyciu oprogramowania Atlas wchodzącego w skład pakietu<br />
Silvaco TCAD [23] przeprowadzono procedurę optymalizacji<br />
konstrukcji tranzystora RESURF LJFET w węgliku<br />
krzemu 4H-SiC. Wykazano, że wybrane środowisko może<br />
z powodzeniem zostać wykorzystane do symulacji przyrządów<br />
półprzewodnikowych wykonanych w węgliku krzemu.<br />
Dzięki zastosowaniu odpowiednich metod konstrukcyjnych<br />
z bardzo dobrymi rezultatami zoptymalizowano konstrukcję<br />
tranzystora. Osiągnięto wysokie napięcia przebicia oraz niskie<br />
wartości rezystancji charakterystycznej w stanie włączenia,<br />
dające wysoką wartość współczynnika FOM, dużo<br />
większe niż wyjściowa konstrukcja [21].<br />
Rys. 10. Uzyskane w wyniku symulacji wartości R on i V br (WUT) dla<br />
lateralnego tranzystora JFET w porównaniu z opublikowanymi danymi<br />
eksperymentalnymi<br />
Fig. 10. R on resistance and breakdown voltage simulated in his<br />
work (WUT) compared to published experimental results<br />
Osiągane wartości rezystancji R on w prezentowanych tranzystorach<br />
lateralnych JFET wykonanych w technologii SiC są<br />
wyraźnie poniżej limitu dla przyrządów wykonanych w krzemie.<br />
W porównaniu z innymi przyrządami JFET z wertykalnym<br />
kanałem (VC-JFET) [24], charakteryzującymi się zbliżonymi<br />
parametrami, zaproponowana konstrukcja wyróżnia się dużo<br />
prostszym procesem technologicznym dającym w rezultacie<br />
większy uzysk i niższy koszt wykonania przyrządu.<br />
Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />
2007-2010 jako projekt badawczy zamawiany<br />
Literatura<br />
[1] Crees first SiC Schottky diodes. Compound Semiconductor, September<br />
2001.<br />
[2] Infineon Technologies Produces Worlds first Power Semiconductors<br />
in Silicon Carbide, Compound Semiconductor, February<br />
2001.<br />
[3] Spiazzi G., Buso S., Citron M., Corradin M., Pierobon R.: Performance<br />
Evaluation of a Schottky SiC Power Diode in a Boost<br />
PFC Application. IEEE Trans. on Power Electronics, vol. 18, no<br />
6, 2003, pp. 1249-1253.<br />
[4] Frank W.: Power electronics for solar power inverter systems.<br />
Hearst Electronic Products, March 2008.<br />
[5] Harada S., Hayashi Y., Takao K., Kinoshita A., Kato M., Okamoto<br />
M., Kato T., Nishizawa S., Yatsuo T., Fukusa K., Ohashi H., Arai<br />
K.: Demonstration of motor drive with SiC normally-off IEMOS-<br />
FET/SBD power converter. 19th International Symposium on<br />
Power Semiconductor Devices & ICs, 27-30 May 2007, Jeju,<br />
Korea, 289-292.<br />
[6] Johnson C. M., Rahimo M., Wright N. G., Hinchley D. A., Horsfall<br />
A. B., Morrison D. J., Knights A.: Characterisation of 4H-<br />
SiC Schottky diodes for IGBT applications. Industry<br />
Applications Conference, 8-12 października 2000, Rzym,<br />
Włochy, 2941-2947.<br />
[7] Suzuki T., Senzaki J., Hatakeyama T., Fukuda K., Shinohe T.,<br />
Arai K.: Reliability of 4H-SiC (000-1) MOS gate oxide using<br />
N2O nitridation. Materials Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>,<br />
557-560.<br />
[8] Watanabe H., Watanabe Y., Harada M., Kagei Y., Kirino T., Hosoi<br />
T., Shimura T., Mitani S., Nakano Y., Nakamura T.: Impact of<br />
a treatment combination nitrogen plasma exposure and forming<br />
gas annealing on defects passivation of SiO2/SiC interface. Materials<br />
Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 525-528.<br />
[9] Hosoi T., Harada M., Kagei Y., Watanabe Y., Shimura T., Mitani<br />
S., Nakano Y., Nakamura T., Watanabe H.: AlON/SiO2 stacked<br />
gate dielectrics for 4H-SiC MIS devices. Materiale Science<br />
Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 541-544.<br />
[10] VanMil B. L., Stahlbush R. E., Myers-Ward R. L., Picard Y. N.,<br />
Kitt S. A., McCrate J. M., Katz S. L., Gaskill D. K., Eddy C. R. Jr.:<br />
Basal plane dislocation mitigation in 8° off-cut 4H-SiC through in<br />
situ growth interrupts during chemical vapor deposition. Materials<br />
Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 61-66.<br />
[11] Spry D. J., Neudeck P. G., Chen L-Y., Beheim G. M., Okojie R.<br />
S., Chang C. W., Meredith R. D., Ferrier T. L., Evans L. J.: Fabrication<br />
and Testing of 6H-SiC JFETs for prolonged 500°C operation<br />
in air ambient. Materials Science Forum, vol. 600-603,<br />
<strong>2009</strong>, 1079-1082.<br />
[12] Treu M., Rupp R., Blaschitz P., Ruschenschmidt K., Sekinger T.,<br />
Friedrichs P,, Elpelt R., Peters D.: Strategic considerations for<br />
unipolar SiC switch options: JFET vs. MOSFET. 42 th Industry<br />
Applications Conference, 23-27 września 2007, New Orleans,<br />
Stany Zjednoczone, 324-330.<br />
[13] Sheng K., Zhang Y., Su M., Zhao J. H., Li X., Alexandrov P., Fursin<br />
L.: Demonstration of the first SiC power integrated circuit.<br />
Solid-State Electronics, vol. 52, 2008, 1636-1646.<br />
[14] Biela J., Aggeler D., Bortis D., Kolar J. W.: 5 kV/200 ns pulsed<br />
power switch based on a SiC-JFET Super Cascode. 28th<br />
IEEE International Power Modulator Symposium and 2008<br />
High Voltage Workshop, 27-31 maja 2008, Las Vegas, Stany<br />
Zjednoczone.<br />
[15] Bieniek T., Stęszewski J., Sochacki M., Szmidt J.: Symulacje<br />
elektryczne diod Schottky’ego oraz tranzystorów RESURF JFET<br />
i RESURF MOSFET na podłożach z węglika krzemu (SiC). <strong>Elektronika</strong><br />
7-8/2008, ss. 11-14.<br />
[16] Bakowski M, Gustafsson U, Lindefelt U.: Simulation of SiC high<br />
power devices. Phys Stat Sol (a), 1997;162:421-40.<br />
[17] Roschke M., Schwierz F.: Electron mobility models for 4H, 6H<br />
and 3C SiC. IEEE Trans Electron Dev 2001;48(7):1442-7.<br />
[18] Chynoweth AG. Ionization rates for electrons and holes in Silicon.<br />
Phys Rev 1958;109(5):1537-40.<br />
[19] Konstantinov A. O., Wahab Q., Nordell N., Lindefelt U.: Ionization<br />
rates and critical fields in 4H silicon carbide. Appl. Phys. Lett. 71<br />
(1), 7 July 1997.<br />
[20] Baliga J.: Silicon Carbide Power Devices. World Scientific 2005.<br />
[21] Fujikawa K., Shibata K., Masuda T., Shikata S., Hayashi H.: 800<br />
V 4H-SiC RESURF-type lateral JFETs. IEEE Electron Device<br />
Lett., vol. 25, no 12, pp. 790-791, Dec. 2004.<br />
[22] Sheng K., Hu S.: Design criteria of high-voltage lateral RESURF<br />
JFETs on 4H-SiC. IEEE Trans. Electron Devices, vol. 52, no 10,<br />
pp. 2300-2308, Oct. 2005.<br />
[23] User’s Manual. Atlas, Silvaco, 2002.<br />
[24] Zhang Y., Sheng K., Su M., Zhao J. H., Alexandrov P., Fursin L.:<br />
1000-V 9.1 mΩ cm2 normally off 4H-SiC lateral RESURF JFET<br />
for power integrated circuit applications, IEEE Electron Device<br />
Lett., vol. 28, no 5, pp. 404-407, May 2007.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 25
Właściwości elektryczne i mechaniczne metalizacji<br />
kontaktowych Ni i Ti oraz wytworzonych na nich<br />
połączeń drutowych do n-SiC<br />
dr inż. RYSZARD KISIEL 1 , dr inż. MAREK GUZIEWICZ 2<br />
1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />
2 <strong>Instytut</strong> Technologii Elektronowej, Warszawa<br />
W niniejszym artykule przedstawiono postęp prac w technologii<br />
wytwarzania metalizacji kontaktów omowych do n-SiC<br />
dla wyprowadzeń drutowych Au i Al oraz połączeń między metalizacją<br />
kontaktu, a polami kontaktowymi na podłożach ceramicznych.<br />
Jako niskorezystywne metalizacje kontaktu<br />
stosowano Ni oraz Ti, zaś wyprowadzenia drutowe realizowano<br />
techniką ultrakompresji lub termoultrakompersji. Wykazano,<br />
że połączenia wykonywane drutami Au do złotej<br />
metalizacji na SiC z kontaktem omowym Ti są stabilne po wygrzewaniu<br />
w powietrzu w 400 o C. Natomiast połączenia wykonywane<br />
drutami Au do złotej metalizacji na SiC z Ni<br />
kontaktem omowym nie są stabilne po wygrzewaniu wysokotemperaturowym<br />
w powietrzu. Ponadto wyniki doświadczalne<br />
pokazują, że połączenia wykonywane drutem Al do glinowej<br />
metalizacji kontaktu omowego Ti lub Ni na SiC są stabilne niezależnie<br />
od typu metalizacji kontaktu omowego.<br />
W celu przeprowadzenia badań właściwości warstw kontaktowych<br />
do n-SiC oraz połączeń drutowych do tych warstw wykonano<br />
odpowiednie struktury testowe SiC. Materiałem<br />
wyjściowym do badań były płytki monokryształu 4H SiC<br />
o średnicy ok. 50 mm z naniesioną w ITME warstwą epitaksjalną<br />
n-typu o poziomie domieszkowania n > 10 19 /cm 2 . W celach<br />
badań strukturalnych metalizacji metodą XRD i składu<br />
atomowego kontaktów metodą RBS nakładano metalizacje<br />
na całych powierzchniach próbki SiC, zaś dla badań elektrycznych<br />
formowano w metalizacji wzory za pomocą techniki<br />
lift off oraz wytworzono wielowarstwę izolacyjną miedzy polami<br />
kontaktowymi. Metalizację kontaktową Ni lub Ti nanoszono<br />
przez magnetronowe rozpylanie katodowe<br />
w stanowisku Z400 Leybold z targetów czystych metali (Ni,<br />
Ti) o klasie czystości 4N. W następnej operacji formowano<br />
kontakt omowy przez wygrzewania RTA (Rapid Thermal Annealing)<br />
w urządzeniu Mattson w przepływie argonu. W przypadku<br />
kontaktu omowego z Ti stosowano wygrzewanie<br />
w temperaturze 1100 o C przez 3 min., natomiast w przypadku<br />
kontaktu omowego z Ni stosowano wygrzewanie w 1000 o C<br />
przez 3 min. Po uformowaniu kontaktu omowego wykonywano<br />
wielowarstwę SiO 2 /Si 3 N 4 /SiO 2 celem izolacji obszarów<br />
powierzchni miedzy kontaktami. Warstwy dielektryczne osadzano<br />
technika zmiennoprądowego rozpylania katodowego<br />
w stanowisku Z400 Leybold z targetów SiO 2 i Si 3 N 4 w atmosferze<br />
Ar. Po uformowaniu kontaktu omowego nanoszono<br />
na obszar kontaktu najpierw warstwę adhezyjną (Cr lub Ti)<br />
o grubości 10...20 nm. Następnie na taką warstwę nakładana<br />
była warstwa złota o grubości 1 µm lub aluminium o grubości<br />
2 µm pod połączenia odpowiednio drutami Au lub Al. Struktury<br />
testowe pogrubione warstwą Au wykorzystywano do wykonywania<br />
ultratermokompresyjnego połączeń drutem Au<br />
o średnicy 50 µm bądź do połączenia termokompresyjnego<br />
drutem o średnicy 100 µm. Natomiast struktury testowe pogrubiane<br />
warstwą Al wykorzystywano do wykonywania<br />
połączeń drutem Al o średnicy 100 µm (połączenia ultrakompresyjne).<br />
Układ warstw w strukturach do badań pokazano na<br />
rys. 1. Płytki z tak uformowanymi kontaktami wykorzystywano<br />
do pomiarów parametrów kontaktów omowych bądź stabilności<br />
parametrów elektrycznych połączeń wykonywanych<br />
drutami Al bądź Au.<br />
Wykonywanie struktur testowych<br />
Rys. 1. Układ warstw kontaktowych i montażowych stosowany<br />
w strukturach testowych<br />
Fig. 1. Scheme of SiC test structure<br />
Realizacja połączeń między struktura SiC,<br />
a podłożem<br />
Stosowane w badaniach własnych techniki wykonywania<br />
połączeń pomiędzy strukturą SiC, a podłożem opisano<br />
dokładniej w artykule [7]. Do połączenia struktur testowych do<br />
podłoża ceramicznego zastosowano kompozycję nieorganiczną<br />
utworzoną ze szkliwa oraz wypełniacza srebrowego.<br />
Kompozycje te charakteryzują się bardzo dobrą przewodnością<br />
cieplną (70...80 W/mK), dobrą adhezją oraz dużą odpornością<br />
termiczną, nawet w temperaturach powyżej 300ºC.<br />
W badaniach zastosowano kompozycję szkliwa i proszku<br />
srebrowego wytworzoną w Instytucie Technologii Materiałów<br />
<strong>Elektronicznych</strong>. Rezystywność stosowanej kompozycji FO-<br />
13 jest rzędu 7•10 -6 Ωcm. Kompozycję nakładano na pola<br />
kontaktowe podłoża za pomocą szablonu. Uzyskano zadowalającą<br />
adhezję struktur SiC do podłoża, przekraczającą<br />
300 N/cm 2 po wygrzewaniu 400°C & 200 h [7,8].<br />
Charakteryzacja elektryczna struktur<br />
metalicznych kontaktów omowych<br />
Do pomiaru oporności właściwej metalizacji Ti po osadzeniu<br />
wykorzystano struktury typu meander. Warstwa Ti o grubości<br />
100 nm bezpośrednio po osadzeniu wykazuje opór 8,8 Ω/ ,<br />
co odpowiada rezystywności 88 µΩcm, która jest bliska wartości<br />
litego metalu Ti (63 µΩcm). Po wygrzaniu RTA<br />
(T = 1100 o C) kontaktu Ti opór struktury spada do poziomu<br />
2•10 -3 Ω/ , co wskazuje na uformowanie kontaktu omowego<br />
do SiC. Dokładną wartość rezystancji kontaktu wyznaczono<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 26
metodą linii transmisyjnych w układzie kołowym c-TLM. Struktura<br />
c-TLM - tutaj o odległości między polami kontaktowymi<br />
10, 20, 30, 40, 50 i 60 µm umożliwia wyznaczenie oporności<br />
właściwej kontaktów omowych po formowaniu, a następnie<br />
po pogubieniu metalizacji. Oporność właściwa kontaktów n-<br />
SiC/Ti po wygrzewaniu RTA wynosiła 3...5•10 -5 Ωcm 2 , a po<br />
pogrubieniu Au (900 nm) zmniejszyła się do 1,5•10 -5 Ωcm 2 .<br />
Odnośnie kontaktów omowych opartych na Ni uzyskano rezystancję<br />
właściwą na poziomie 6•10 -5 Ωcm 2 . Przykładowa<br />
zależność zmierzonej rezystancji całkowitej od odległości między<br />
polami kontaktowymi pokazana jest na rys. 2. Pomiary<br />
z wykorzystaniem struktury c-TLM pozwalają także na określenie<br />
rezystywności warstwy podłożowej n-SiC. W badanym<br />
przypadku rezystywność SiC wyniosła 0,018 Ωcm.<br />
Rys. 2. Zależność zmierzonej rezystancji całkowitej kontaktu<br />
n-SiC/Ti/Au od odległości między polami kontaktowymi w strukturze<br />
c-TLM<br />
Fig. 2. Contact resistance of n-SiC/Ti/Au versus distance between<br />
contacts for c-TLM test structure<br />
Umieszczone na warstwie izolacyjnej struktury o metalicznej<br />
powierzchni 150x150 µm 2 pozwoliły na wyznaczenie<br />
napięcia przebicia warstwy dielektryka. W przypadku zastosowanej<br />
kombinacji SiO 2 /SiN x /SiO 2 o grubości całkowitej<br />
300 nm napięcie przebicia wynosi 0,2 MV/cm, świadcząc<br />
o poprawnej izolacji elektrycznej warstw dielektryka.<br />
Struktura warstw kontaktowych<br />
Warstwy kontaktowe do SiC wytwarzane z metalicznych<br />
warstw - czystych metali lub ich związków jak krzemki, azotki<br />
i węgliki oznaczają się z przeważnie strukturą polikrystaliczną,<br />
co wynika ze sposobu ich wytwarzania. W przypadku formowania<br />
kontaktu omowego przez reakcje metalizacji z SiC<br />
mamy do czynienia z tworzeniem różnych możliwych faz<br />
związków podwójnych metal-Si, metal-C oraz związków potrójnych<br />
metal-Si-C dla przypadku metali przejściowych. Wyjaśnienie,<br />
które z nich są stabilne w kontakcie z SiC daje<br />
szanse na dobór takich związków metali, które będą zapewniały<br />
długą i stabilną pracę kontaktu w przyrządzie poddanym<br />
maksymalnym obciążeniom.<br />
Z innej strony zwiększone wymagania na jakość montażu<br />
narzucają konieczność stosowania układu wielowarstwowego<br />
w strukturze kontaktowej, w którym jedna warstwa pełni rolę<br />
bezpośredniego kontaktu z SiC (kontakt omowy lub prostujący),<br />
a zewnętrza warstwa służy połączeniu z wyprowadzeniem.<br />
Powstaje więc kontakt materiałów o różnym<br />
powinowactwie względem siebie. Nawet jeśli materiały zastosowane<br />
w kontaktach są chemicznie stabilne z sąsiednimi,<br />
to może zachodzić interdyfuzja materiałów, a ta silnie zależy<br />
od ich mikrostruktury. Zasadnym jest więc dokładne zbadanie<br />
struktury krystalicznej materiałów wchodzących w skład metalizacji<br />
i zachodzących w nich procesów.<br />
Badania struktur warstw kontaktowych wykonano dla metalizacji<br />
Ni oraz Ti, gdyż z jednej strony zapewniają niskie rezystywności<br />
kontaktu, zaś drugiej są stosunkowo łatwe przy<br />
fotolitograficznym kształtowaniu wzorów.<br />
Kontakty na bazie Ni<br />
Znane z literatury badania nad kontaktami Ni wskazują [10-15],<br />
że metalizacja Ni stosowana w kontaktach do n-SiC umożliwia<br />
utworzenie złącza Schottky’ego jak i kontaktu omowego. Obserwowano,<br />
że już w 500 o C występuje tworzenie fazy Ni 31 Si 12<br />
na miedzypowierzchni, a w 700 o C formuje się faza Ni 2 Si, przy<br />
czym wzrasta grubość metalizacji i uwalniany jest węgiel z materiału<br />
podłoża. W wyższej temperaturze proces tworzenia<br />
krzemku przebiega szybciej aż do wyczerpania wolnego Ni<br />
w odpowiednio długim czasie. Własne prace potwierdzają dane<br />
literaturowe, że dla uformowania kontaktu omowego potrzebna<br />
jest temperatura powyżej 900 o C. Towarzyszy temu pogorszenie<br />
morfologii kontaktu, tworzenie wytrąceń węglowych oraz<br />
formowania mikroporów. Nie jest jednoznaczna sprawa głębokościowego<br />
profilu zawartości węgla i jednorodności rozkładu<br />
na powierzchni [14-16]. Ma to znaczenie dla procesów montażu,<br />
gdzie obecność wytrąceń węglowych pogarsza warunki<br />
dla dobrej adhezji zewnętrznej metalizacji.<br />
Na rysunku 3. przedstawiono widma XRD niskorezystywnego<br />
kontaktu omowego w strukturach n-SiC/Ni przed i po formowaniu<br />
kontaktu omowego przez wysokotemperaturowe<br />
wygrzewanie RTP 1050ºC & 3 min. Przedstawione widma<br />
XRD wykazują, że w tych warunkach wygrzewania metalizacji<br />
Ni (100 nm) występuje jedna tylko faza tj. d-Ni 2 Si przy<br />
braku obecności wolnego Ni, co sugeruje przereagowanie<br />
całej warstwy Ni. W efekcie wygrzania grubość warstwy<br />
zwiększa się ponad dwukrotnie, a jej powierzchnia jest silnie<br />
rozwinięta o chropowatości bliskiej 50 nm.<br />
Biorąc pod uwagę, że w krzemowych układach mocy stosuje<br />
się technologię połączeń Au, uznawaną jako najlepszą,<br />
także tutaj do układów z SiC mogłaby ona znaleźć zastosowanie.<br />
Praca Kuchuka [17] nad stabilnością układu cienkowarstwowego<br />
SiC/Ni 2 Si/Au wykazała, że morfologia<br />
metalizacji pogarsza się z czasem wygrzewania w powietrzu<br />
w 400 o C - powstają początkowo wytracenia, później także<br />
i dziury w metalizacji, co pokazuje fotografia na rys. 4. Ponadto<br />
rezystancja kontaktu wzrasta, a zmiany po 150 h wygrzewaniu<br />
Rys. 3. Widmo XRD kontaktu n-SiC/Ni przed i po formowaniu k.o.<br />
@1050 o C, 3’<br />
Fig. 3. The XRD spectra of n-SiC/Ni before and after ohmic contact<br />
formation at 1050 o C, 3’<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 27
Metalizacja Ti stosowana w kontaktach do SiC umożliwia wytworzenie<br />
kontaktu omowego do n- i p-typu SiC przez wysokotemperaturowe<br />
wygrzanie. W wyniku reakcji Ti z SiC<br />
w temp. 900...1000 o C powstają związki Ti 5 Si 3 i TiC znane z literatury,<br />
zaś przy wyższej temperaturze ok. 1000 o C może powstawać<br />
faza potrójnego związku Ti 3 SiC 2 , która współistnieje<br />
z poprzednio wymienionymi w tej temperaturze [18-22].<br />
Własne eksperymenty prowadzone w pierwszym etapie<br />
badań nad kontaktami wykazały, że kontakt omowy o niskiej<br />
rezystywności z metalizacji Ti na n-SiC (@n = 10 18 cm -3 ) formuje<br />
się przez proces RTP@1100ºC&3 min. Badania RBS<br />
metalizacji SiC/Ti (100 nm) poddanej wygrzewaniu w temp.<br />
950, 1000 i 1100ºC wskazują na pewne różnice w składzie<br />
metalizacji (rys. 5). W niższej temperaturze wygrzewania występuje<br />
większa zawartość węgla w obszarze przy międzypowierzchni<br />
niż przy powierzchni zewnętrznej, natomiast<br />
w próbce wygrzanej w 1100ºC więcej węgla jest w przy górnej<br />
powierzchni. Badania XRD tego kontaktu wykazały, że utworzoną<br />
warstwę kontaktową Ti-Si-C stanowi mieszanina faz<br />
Ti 8 C 5 oraz Ti 5 Si 3 .<br />
Warto nadmienić, że powierzchnia metalizacji Ti po wygrzewaniu<br />
dobrze zachowuje cechy gładkości bez widocznych<br />
wytrąceń. Grubość metalizacji nieznacznie zwiększa się<br />
dla próbki wygrzewanej w wyższej temperaturze.<br />
Badania właściwości mechanicznych oraz<br />
elektrycznych połączeń drutowych Al<br />
Rys. 4. Obraz mikroskopowy morfologii kontaktu n-SiC/Ni 2 Si/Au po<br />
wygrzewaniu w powietrzu 400 o C przez 150 h [17].<br />
Fig. 4. The n-SiC/Ni 2 Si/Au contact morphology after ageing in air<br />
400 o C & 150 h<br />
prowadzą do utraty liniowego charakteru I-V kontaktu. Badania<br />
XRD po 150 h wygrzewaniu próbki wykazały, że warstwa<br />
Au uległa znacznej degradacji i powstała faza potrójnego<br />
związku Au(Ni-Si). Zaobserwowano ponadto, że wygrzewanie<br />
kontaktu n-SiC/Ni 2 Si/Au w środowisku obojętnym nie czyni tak<br />
dramatycznych zmian. Tak więc przyczyną silnej degradacji<br />
kontaktu w powietrzu przy 400 o C jest prawdopodobnie środowisko<br />
utleniające, które dozwala na migracje tlenu przez<br />
cienką polikrystaliczną warstwę Au i częściowo dekomponuje<br />
krzemek niklu, przy czym powstaje jego związek z Au. Wydaje<br />
się, że zastosowanie grubej warstwy Au znacznie ograniczy<br />
degradację tego kontaktu w podwyższonej temperaturze.<br />
Kontakty na bazie Ti<br />
Połączenia elektryczne mogą być wykonywane drutami aluminiowymi,<br />
złotymi, rzadziej platynowymi, przy wykorzystaniu<br />
różnych technologii łączenia. Jednak narzucone wymagania<br />
dużej stabilności termicznej połączeń i konieczność wyeliminowania<br />
zmian strukturalnych złączy w czasie ich przebywania<br />
w wysokiej temperaturze, zawężają pole wyboru<br />
technologii dołączania. Połączenia grubym drutem aluminiowym,<br />
stosowane najczęściej w układach mocy, wykonywane<br />
są przy zastosowaniu technologii zgrzewania ultrakompresyjnego<br />
[22]. Technologia ta polega na dostarczeniu do obszaru<br />
połączenia energii ultradźwiękowej o częstotliwości ~60 kHz,<br />
przy jednocześnie wywartym nacisku. W trakcie łączenia zachodzi<br />
tarcie między powierzchniami łączonymi, dostarczona<br />
energia powoduje rekrystalizację obszaru odkształconego<br />
i powstanie złącza o charakterze wiązania metalicznego. Zaletą<br />
tego procesu jest jego realizacja w temperaturze pokojowej.<br />
Przy ultrakompresyjnym dołączaniu drutu Al o średnicy<br />
100 µm i większej stosuje się czyste aluminium, gdyż urywanie<br />
drutu za drugim połączeniem wykonywane jest za pomocą<br />
noża, zamocowanego w pobliżu stopki sonotrody. Dlatego<br />
drut nie wymaga dodatków krzemu czy magnezu dla zmniejszenia<br />
jego wydłużalności.<br />
W tab. 1 zebrano wyniki badań wytrzymałości pętli z drutu<br />
Al na metalizacji Al położonej na kontaktach omowych SiC<br />
z Ni oraz Ti. Połączenia zachowują właściwości mechaniczne<br />
po wygrzewaniu w 400°C przez 96 h, niezależnie od tego, jaki<br />
typ kontaktu omowego jest stosowany.<br />
Tab. 1. Wyniki badań wytrzymałości pętli z drutu Al na metalizacji Al<br />
na SiC (Ni oraz Ti k.o.)<br />
Tabl. 1. Wire pull test results for Al wire bonding onto Al contacts of<br />
n-SiC (Ni and Ti ohmic contacts)<br />
Połączenia<br />
monometaliczne<br />
Średnica<br />
drutu [µm]<br />
Siła zrywająca pętle z drutu na SiC<br />
Po montażu<br />
Po starzeniu<br />
400° & h<br />
Al-Al<br />
(Ni - Al + Al wire)<br />
100 525 mN 432 mN & 96h<br />
Al-Al<br />
(Ti -Al + Al wire)<br />
100 488 mN 427 mN & 96 h<br />
Rys. 5. Widma RBS kontaktu n-SiC/Ti przed i po wygrzewaniu<br />
w temp. 950...1100 o C w Ar<br />
Fig. 5. The 2 MeV He+ backscatering of n-SiC/Ti contact before and<br />
after annealing in Ar at temperature of 950...1100 o C<br />
W celu zbadania właściwości elektrycznych połączeń wykonywanych<br />
drutem Al na kontaktach bondabilnych Al na SiC,<br />
wykonano próbki testowe o konfiguracji jak na rys. 6.<br />
Dla tak wykonanych połączeń zbadano stabilność rezystancji<br />
w obszarach oznaczonych strzałkami (rys. 6) w trakcie<br />
narażeń cieplnych. W skład rezystancji obszaru oznaczonego<br />
strzałkami wchodziły następujące rezystancja połączenia drut<br />
Al- metalizacja Al na powierzchni SiC, rezystancja kontaktu<br />
28 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
omowego, rezystaja domieszkowanej warstwy SiC o długości<br />
ok. 1 mm, rezystancja kontaktu omowego oraz rezystancja<br />
metalizacja Al na SiC - drut Al. Wyniki tych badań zebrano na<br />
rys. 7 (Ni kontakt omowy) oraz rys. 8 (Ti kontakt omowy). Wyniki<br />
badań wskazują, że narażenie połączeń drutowych Al na<br />
kontaktach omowych z Ni oraz Ti na SiC w temperaturach do<br />
400°C nie powoduje degradacji połączeń elektrycznych.<br />
Rys. 6. Pętle z drutu Al 100 µm wykonane na Al polach kontaktowych<br />
na SiC/Ti (kontakt omowy)<br />
Fig. 6. Al 100 µm wire loops bonded onto Al contacts of n-SiC/Ti (o.c.)<br />
Badanie właściwości mechanicznych oraz<br />
elektrycznych połączeń drutowych Au<br />
Połączenia drutem złotym realizowane są przy zastosowaniu<br />
zgrzewania ultratermokompresyjnego bądź termokompresyjnego.<br />
Bardziej nowoczesną technologią jest zgrzewanie ultratermokopresyjne,<br />
bowiem wymagana temperatura łączenia nie<br />
przekracza 220ºC. Istnieje jednak ograniczenie dotyczące<br />
średnicy stosowanych drutów złotych, która dla tego typu<br />
połączeń nie może przekraczać 50 µm. Uzyskanie większych<br />
gęstości prądowych, w przypadku stosowania drutu złotego,<br />
można zrealizować przez wykonanie paru połączeń drutem<br />
50 µm, oczywiście, jeśli jest wystarczająco duża powierzchnia<br />
pola kontaktu. Natomiast zgrzewanie termokomresyjne można<br />
stosować do nieco grubszych drutów Au (100...200 µm).<br />
Połączenie powstaje przez doprowadzenie do obszaru<br />
połączenia energii cieplnej oraz wywarcie odkształcenia. Wymagana<br />
temperatura w tym procesie wynosi 340ºC i podgrzewane<br />
jest zarówno podłoże jak i narzędzie łączące.<br />
W tabeli 2. zebrano wyniki badań właściwości mechanicznych<br />
połączeń ultratermokompresyjnych w formie pętli z drutu<br />
Au (o średnicach z zakresu 50...100 µm) na powierzchni SiC<br />
z Ni kontaktami omowymi, na które naniesiona była warstwa<br />
metalizacji Au o grubości ok. 1 µm. Przeprowadzone badania<br />
właściwości mechanicznych połączeń wykonywanych drutem<br />
Au na złotej metalizacji kontaktu omowego z Ni po wygrzewaniu<br />
400°C & 120 h wykazują nieznaczne pogorszenie właściwości<br />
mechanicznych połączeń wykonanych drutami Au.<br />
Tab. 2. Siły zrywające pętle z drutu Au połączonego do metalizacji<br />
Au na n-SiC/Ni (kontakt omowy)<br />
Tabl. 2. Wire pull test results for Au wire bonding onto Au contacts<br />
of n-SiC/Ni (ohmic contact)<br />
Połączenia<br />
monometaliczne<br />
Au-Au<br />
Średnica<br />
drutu Au<br />
[µm]<br />
Siła zrywająca pętle z drutu na SiC<br />
Po wykonaniu<br />
Po wygrzaniu<br />
400° & h<br />
Rys. 7. Względne zmiany ∆R połączeń drutem Al w obszarach<br />
oznaczonych strzałkami w funkcji czasu wygrzewania w 300°C oraz<br />
400°C (kontakt Ni)<br />
Fig. 7. Relative resistance ∆R changes of Al wire bonds as a function<br />
of ageing time at 300°C and 400°C (Ni ohmic contact)<br />
Au-Au<br />
(Ni - Au + Au wire)<br />
Au-Au<br />
(Ni - Au + Au wire)<br />
50 340 mN 270 mN & 120h<br />
100 564 mN 490 mN & 120 h<br />
Rys. 8. Względna zmiana rezystancji połączeń Al-Al z obszarów<br />
oznaczonych strzałkami na kontaktach n-SiC/Ti (k.o.)/Al poddanych<br />
wygrzewaniu w 400°C<br />
Fig. 8. Relative changes of Al wire-Al metallization resistance onto<br />
n-SiC/Ti (o.c.) during ageing at 400°C (see arrows in Fig. 6)<br />
Rys. 9. Podwójna pętla do pomiarów właściwości elektrycznych<br />
połączeń między SiC, a kontaktami na ceramice alundowej<br />
Fig. 9. A double wire loop for electric test of joints between pads<br />
onto SiC and alumina<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 29
Niezależnie od badań właściwości mechanicznych<br />
połączeń wykonano pomiary rezystancji podwójnych pętli<br />
z drutu Au 50 µm między metalizacją Au na strukturze SiC,<br />
a kontaktami grubowarstwowymi na podłożu alundowym.<br />
Strukturę SiC montowano do podłoża szkliwem FO-13.<br />
Badano wpływ długoterminowego wygrzewania w temperaturze<br />
400°C na stabilność rezystancji połączeń o konfiguracji<br />
jak na rys. 9. Badania przeprowadzono dla dwóch<br />
rodzajów kontaktów omowych Ni oraz Ti. W obu przypadkach<br />
stosowano pokrycie Au o grubości ok. 1 µm jako warstwę<br />
bondabilną. Wyniki badań elektrycznych zaprezentowano na<br />
rys. 10 i 11.<br />
Badania wysokotemperaturowe właściwości elektrycznych<br />
podwójnych pętli z drutu Au na SiC, z różnymi typami metalizacji<br />
kontaktu omowego (Ni oraz Ti) wyraźnie wskazują na<br />
brak stabilności rezystancji połączeń wykonanych drutem Au<br />
na kontakcie Ni, względne zmiany ∆R na kontakcie Ni przekraczają<br />
160% po wygrzewaniu w temp 400°C przez 160 h,<br />
podczas gdy względne zmiany ∆R połączeń wykonanych tym<br />
samym drutem Au na kontakcie Ti nie przekraczają 5% po<br />
500 h wygrzewania.<br />
Testom stalilności poddano również połączenia wykonane<br />
ultratermokompresyjnie drutem Au 50 µm oraz termokompresyjnie<br />
drutem Au 100 µm do metalizacji Ti/Au z kontaktami<br />
omowymi na powierzchni epitaksjalnej n-SiC.<br />
Konfiguracje połączeń pokazano na rys. 12. Na mierzoną rezystancję<br />
R w obszarze oznaczonym strzałkami składały się:<br />
cztery rezystancje kontaktów omowych, cztery rezystancje<br />
metalizacja Au - połączenie drutowe Au, dwie rezystancje domieszkowanych<br />
obszarów SiC oraz rezystancję trzech odcinków<br />
drutu Au.<br />
Na rysunku 13. pokazano względne zmiany tej rezystancji.<br />
Połączenie ultratermokompresyjne wykonywane jest przy<br />
dużym odkształceniu plastycznym drutu, podgrzanym drucie<br />
oraz podłożu, a także przy dostarczanej energii ultradźwięko-<br />
Rys. 10. Procentowe zmiany ∆R podwójnej pętli z drutu Au 50 µm<br />
na Ni-kontakcie omowym z warstwą metalizacji Au<br />
Fig. 10. Relative changes ∆R of the double 50 µm Au wire loop resistance<br />
with Ni ohmic contacts<br />
Rys. 13. Względna zmiana rezystancji szeregowej ∆R w trakcie sukcesywnego<br />
wygrzewania w 400ºC, ultratermokompresyjne połączenia<br />
do SiC/Ti(k.o.)/Au wykonano drutem Au 50 µm<br />
Fig. 13. Relative resistance „∆R” changes during ageing in air at<br />
400ºC. The 50 µm Au ultrathermocompresssion bonding onto n-<br />
SiC/Ti/Au<br />
Rys. 11. Zmiany rezystancji ∆R podwójnej pętli z drutu Au 50 µm na<br />
Ti kontakcie omowym z warstwą metalizacja Au<br />
Fig. 11. Relative changes of the double 50 µm Au wire loop resistance<br />
on Ti ohmic contacts with Au film<br />
R<br />
Rys. 12. Konfiguracja połączeń termokompresyjnych wykonanych<br />
drutem Au 100 µm do pomiaru rezystancji R<br />
Fig. 12. Scheme of test sample for resistance measurement R of Au<br />
wire loops<br />
Rys. 14. Względne zmiany rezystancji ∆R przedstawionego układu<br />
połączeń termokompresyjnych drutem Au 100 µm do metalizacji<br />
kontaktowej n-SiC/Ti (k.o.)/Au po wygrzewaniu w 400°C w powietrzu<br />
Fig. 14. Relative resistance changes ∆R during ageing time in air at<br />
400ºC. The 100 µm Au thermocompresssion bonding onto<br />
n-SiC/Ti/Au<br />
30 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
wej w trakcie formowania. Ze wzrostem czasu wygrzewania<br />
następuje stopniowy wzrost rezystancji związany porządkowaniem<br />
struktury obszaru połączenia, a także zjawiskami na<br />
styku drutu Au z metalizacją Au, ale zachodzące zmiany nie<br />
degradują połączenia.<br />
Niezależnie od badań właściwości elektrycznych połączeń<br />
ultatermokompresyjnych wykonanych w konfiguracji „A”, drutem<br />
Au 50 µm, wykonano badania połączeń o tej samej konfiguracji,<br />
ale wykonanych metodą termokompresji drutem Au<br />
100 µm, przy czym struktura SiC była mocowana do ceramiki<br />
AlN kompozycją FO-13. Na rys. 14. pokazano względne<br />
zmiany ∆R przedstawionego układu połączeń z drutu Au<br />
100 µm. Jak wynika z badań rezystancji R, następują największe<br />
zmiany w ciągu 24 h wstępnego wygrzewania<br />
w 400°C, powodowane prawdopodobnie porządkowaniem<br />
struktury w obszarze połączeń. Połączenie termokompresyjne<br />
wykonywane jest przy dużym odkształceniu plastycznym podgrzanego<br />
drutu Au i obszaru połączenia. Dalsze przyrosty rezystancji<br />
w trakcie wygrzewanie są niewielkie, a połączenie<br />
zachowuje swoje parametry użytkowe.<br />
Badania właściwości mechanicznych i elektrycznych<br />
połączeń wykonywanych metodą ultratermokompresji (druty<br />
50 µm) oraz metodą termokompresji drutem Au 100 µm uwidoczniają,<br />
że najlepsze parametry użytkowe zachowują<br />
połączenia na SiC z Ti-kontaktem omowym. Połączenia zachowują<br />
swoje parametry po wygrzewaniu 400°C & 300 h.<br />
Wnioski<br />
W niniejszym artykule przedstawiono wyniki badań dotyczące<br />
formowania kontaktów omowych do n-SiC z Ni i Ti oraz wyniki<br />
badań stabilności metalizacji kontaktowych pogrubionych warstwa<br />
Al lub Au przy narażeniach wysokotemperaturowych,<br />
w tym właściwości elektrycznych i mechanicznych połączeń<br />
drutowych Au i Al na kontaktach do n-SiC, gdzie wyprowadzenia<br />
drutowe realizowano techniką ultrakompresji lub termoultrakompersji.<br />
Pomiary struktur testowych wykazały, że najniższą rezystancję<br />
właściwą kontaktu omowego o wartości 1,5•10 -5<br />
Ωcm 2 uzyskano dla n-SiC/Ti (RTA@1100 o C, 3’)/Au. Odnośnie<br />
kontaktów omowych opartych na Ni uzyskano rezystancje<br />
właściwą na poziomie 6•10 -5 Ωcm 2 . Badania strukturalne metalizacji<br />
wielowarstwowych oraz badania połączeń drutowych<br />
do tych metalizacji na SiC wykazały, że połączenia wykonywane<br />
drutami Au do złotej metalizacji na n-SiC z Ti kontaktem<br />
omowym są stabilne po wygrzewaniu w powietrzu w 400 o C.<br />
Natomiast połączenia wykonywane drutami Au do złotej metalizacji<br />
na n-SiC z Ni kontaktem omowym nie są stabilne po<br />
wygrzewaniu wysokotemperaturowym w powietrzu.<br />
Badania połączeń wykonywanych drutem Al do metalizacji<br />
kontaktu omowego n-SiC/Ti lub Ni pogrubionej warstwą<br />
glinu 2 µm wykazały, że są one stabilne w powietrzu w temperaturze<br />
300...400 o C niezależnie od typu metalizacji kontaktu<br />
omowego.<br />
Praca wykonana w ramach PBZ-MEiN-6/2/2006<br />
Literatura<br />
[1] Tsuyoshi Funaki et all.: Power Conversion with SiC Devices at<br />
Extremely High Ambient Temperature. IEEE Transaction on<br />
Power Electronics. vol. 22, no 4, July 2007<br />
[2] Gottfried K., Fritsche H. et all.: A High Temperature Stable Metallization<br />
Scheme for SiC Technology Operating at 400º C. MA-<br />
TERIALS Science Forum. vol. 264-268, 1998, pp. 795-798.<br />
[3] Cappola L., Huff D. et all.: Survey on High Temperature Packaging<br />
Materials for SiC Based Power Electronics Modules. IEEE.<br />
2007, pp. 2234-22-39.<br />
[4] Johnson R., Palmer M., Vang C., Liu.: Packaging Materials and<br />
Approaches for High Temperatures SiC Power Devices. Advances<br />
Microelectronics, vol. 31. no 1. Jan. 2004, pp. 8-11.<br />
[5] Mustain H.A., Lostetter A.B.,Brown W.D.: Evaluation of Gold and<br />
Aluminium Wire Bond Performance for High Temperature Silicon<br />
Carbide Power Modules. Electronic Components and Technology,<br />
ECTC, May 2005, pp.1623-1628.<br />
[6] Kiran Vanan, Fred Barlow : High Temperature SiC Packaging for<br />
Power Electronics Applications. Proc. of XXXI Conf. IMAPS-Poland.<br />
Krasiczyn. Sept. 2007, pp. 111-117.<br />
[7] Z. Szczepański, R.Kisiel :”Problemy montażu struktur SiC stosowanych<br />
w elektronice wysokich temperatur i dużych mocy”<br />
<strong>Elektronika</strong>, vol. XLIX nr 7-8/2008, ss. 19-24.<br />
[8] Szczepański, Z. Kisiel R.: SiC Die Connections for High Temperature<br />
Applications. 32nd International IMAPS -IEEE CPMT Poland<br />
Conference, Warszawa-Pułtusk, 21-24 September 2008,<br />
full paper CD version, ISBN 978-83-917701-6-0, 6 stron.<br />
[9] Szmidt J., Kisiel R., Szczepański Z.: Ohmic Contacts and Interconnections<br />
for High Temperatures SiC Devices. Proceed. of<br />
XXX Intern. Confer. IMAPS-Poland. Kraków 2006, pp. 111-117.<br />
[10] Crofton J., McMullin P. G., Williams J. R., Bozak M. J.: High temperature<br />
ohmic contact to n-type 6H-SiC using nickel J. Appl.<br />
Phys. 77 (3) (1995) 1317-1319.<br />
[11] Marinova Ts., Kakanakova-Georgieva A., Krastev V., Kakanakov<br />
R., Neshev M., Kassamakova L., Noblanc O., Arnodo C.,<br />
Cassette S., Brylinski C., Pecz B., Radnoczi G., Vincze Gy.: Nickel<br />
based ohmic contacts on SiC. Mater. Sci. Eng. B46 (1997)<br />
176-179.<br />
[12] Gasser S., Ba¨chli A., Garland C., Kolawa E., Nicolet M.-A.:<br />
Reaction of thin films with (001) 3C-SiC at 700oC. Microelectron.<br />
Eng. 37:38 (1997) 529-534.<br />
[13] Rastegaeva M.G., Andreev A.N., Zelenin V.V., Babanin A.I., Nikitina<br />
I.P., Chelnokov V.E., Rastegaev V.P.: Nickel-based metallization<br />
in processes of the 6H-SiC device fabrication: Ohmic<br />
contacts, masking and packaging. Inst. Phys. Conf. Ser. no 142,<br />
IOP Publishing, Bristol, 1996, pp. 581-584.<br />
[14] Hallin C., Yakimova R., Krastev V., Marinova Ts., Janzen E.: Interface<br />
chemistry and electrical properties of annealed Ni and<br />
Ni:Al-6H SiC structures, Inst. Phys. Conf. Ser. no. 142, IOP Publishing,<br />
Bristol, 1996, pp. 601-604.<br />
[15] Goesmann F., Schmid-Fetzer R.: Metals on 6H-SiC: Contact formation<br />
from the materials science point of view. Mater. Sci. Eng.<br />
B46 (1997) 357-362.<br />
[16] Roccaforte F., La Via F., Raineri V.: Int. J. of High Speed Electronics<br />
and Systems 15 (4) (2005) 781-820.<br />
[17] Kuchuka A. V., Guziewicz M., Ratajczak R., Wzorek M., Kladko<br />
V.P., Piotrowska A.: Long-term stability of Ni-silicide ohmic contact<br />
to n-type 4H-SiC. Microelectronic Engineering 85, (2008)<br />
2142-2145.<br />
[18] Makharti A., La Via F., Raineri V., Calcagno L., Frisina F.: Structural<br />
characterization of Ti - SiC reaction. Microelectr. Eng. 55<br />
(2001) 375-381.<br />
[19] Wakelkamp W. J. J., Van Loo F. J. J., Metselaar R.: Phase relations<br />
in the Ti-Si-C system. J. Eur. Ceram. Soc. 8 (1991) 135-139.<br />
[20] Goesmann F., Schmid-Fetzer R.: Temperature-dependent interface<br />
reactions and electrical contact properties of titanium on 6H-<br />
SiC. Semicond. Sci. Technol. 10 (1995) 1652-1658.<br />
[21] Kisiel R., Guziewicz M.: High Temperature Applications of Al Wire<br />
Connection to SiC Structures. Proceedings of ISSE 2008, 7-11<br />
May, Budapeszt, Hungary, ISBN 978-963-06-4915-5, pp. 266-<br />
270.<br />
[22] Guziewicz M., Kisiel R., Piotrowska A., Kamińska E., Kuchuk A.,<br />
Ratajczak R., Stonert A., Paszkowicz W.: Characterization of Tibased<br />
Ohmic Contacts compatible with Al wire Bonding for High<br />
Power SiC Devices. 9th International Workshop on Expert Evaluation<br />
& Control of Compound Semiconductor Materials & Technologies,<br />
1-4 th June 2008, EXMATEC 2008, Łódź, Poland,<br />
ISBN 978-83-915220-1-1, pp. 59-60.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 31
Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych<br />
metodą implantacji warstw epitaksialnych 4H-SiC<br />
jonami glinu<br />
mgr inż. NORBERT KWIETNIEWSKI 1 , KAMIL PAZIO, dr inż. MARIUSZ SOCHACKI 1 ,<br />
prof. dr hab. inż. JAN SZMIDT 1 , mgr ANDRZEJ DROŹDZIEL 2 , dr MIROSŁAW KULIK 2 ,<br />
dr SŁAWOMIR PRUCNAL 2 , mgr KRZYSZTOF PYSZNIAK 2 , mgr MICHAŁ RAWSKI 2 ,<br />
dr MARCIN TUREK 2 , dr hab. JERZY ŻUK 2 prof. UMCS<br />
1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />
2 Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, <strong>Instytut</strong> Fizyki, Lublin<br />
Węglik krzemu jest szerokoprzerwowym półprzewodnikiem<br />
o właściwościach materiałowych korzystnych przy konstrukcji<br />
elementów elektronicznych wysokich mocy i częstotliwości,<br />
mogących pracować w wysokiej temperaturze i w środowisku<br />
agresywnym chemicznie. Jest to także materiał atrakcyjny ze<br />
względu na zastosowania w technice jądrowej i kosmicznej.<br />
W ostatnich kilku latach nastąpił znaczny postęp w otrzymywaniu<br />
wysokiej jakości monokryształów oraz warstw epitaksjalnych<br />
SiC. W szczególności polityp 4H-SiC o dużej wartości<br />
przerwy energetycznej równej 3,2 eV i ze względu na wyższe<br />
wartości ruchliwości nośników niż 6H-SiC ma obecnie największe<br />
znaczenie technologiczne. Implantacja jonami glinu<br />
jest najbardziej odpowiednią metodą powtarzalnego i selektywnego<br />
otrzymywania warstw typu p w SiC. Wynika to ze<br />
względnie niskiej energii jonizacji tego akceptora w porównaniu<br />
do boru i galu oraz zbliżonego do atomu Si rozmiaru<br />
i masy atomu glinu, co ułatwia podstawienie Al w sieci<br />
w miejsce krzemu w procesie implantacji jonowej.<br />
W pracy omówiono oryginalną konstrukcję źródła jonów<br />
zbudowanego w Instytucie Fizyki UMCS dla celów implantacji<br />
glinem oraz przedstawiono wyniki badań metodą SIMS<br />
oraz spektrometrii mikroramanowskiej zaimplantowanych<br />
warstw epitaksjalnych 4H-SiC. Następnie dokładnie opisano<br />
proces wytwarzania diody p-i-n na bazie tego materiału, podano<br />
wyniki pomiarów rezystancji charakterystycznej kontaktów<br />
omowych, koncentracji nośników oraz przedstawiono<br />
charakterystyki prądowo-napięciowe.<br />
Źródło jonów implantatora UNIMAS<br />
Pomyślne przeprowadzenie procesu implantacji wiąże się<br />
z koniecznością zastosowania źródła wytwarzającego wiązkę<br />
jonów Al + o odpowiednio wysokim i stabilnym w czasie natężeniu<br />
prądu. Poglądowy schemat komory wyładowań W<br />
plazmowego źródła jonów implantatora UNIMAS przedstawiono<br />
na rys. 1. Wewnątrz komory o średnicy 11 mm<br />
i długości 20 mm znajduje się żarzona prądem stałym katoda<br />
K, która emituje elektrony podtrzymujące wyładowanie. Katoda<br />
wykonana jest z drutu wolframowego o średnicy<br />
0,75 mm i ma kształt spirali o sześciu zwojach, długość jej wynosi<br />
20 mm, a średnica zewnętrzna 6 mm. Natężenie prądu<br />
żarzenia katody zawarte jest w przedziale 31...33 A, żywotność<br />
katody wynosi wtedy średnio 70 godzin. Anoda A<br />
w kształcie cylindra wykonana jest z trudnotopliwego materiału<br />
- molibdenu. Z tego materiału wykonane są również elementy<br />
mocujące katodę i stanowiące jednocześnie<br />
doprowadzenia elektryczne. Anoda jest izolowana od detali<br />
mocujących katodę dwoma izolatorami wykonanymi z azotku<br />
boru. Parownik P w kształcie cienkiego walca (o długości<br />
17 mm, średnicy zewnętrznej 3,4 mm i wewnętrznej 2 mm)<br />
wykonany jest również z molibdenu ze względu na wysoką<br />
temperaturę pracy (ok. 2000°C). Parownik z umieszczonym<br />
w nim sproszkowanym, metalicznym glinem (jednorazowo<br />
około 50 mg) wsunięty jest osiowo do wnętrza spiralnie nawiniętej<br />
katody. Elementem ustalającym osiowe położenie parownika<br />
jest izolator z azotku boru. Konstrukcja parownika<br />
umożliwia ograniczenie wypływu par jonizowanej substancji<br />
przez zastosowanie specjalnej zatyczki. Osiąga on temperaturę<br />
pracy w wyniku nagrzewania promieniowaniem termicznym<br />
katody, jak i plazmy wyładowania łukowego. Temperatura<br />
parownika zależy również od głębokości na jaką jest on wsunięty<br />
w obszar katody. W przypadku implantacji jonami glinu<br />
(temperatura topnienia glinu - 660°C) głębokość ta równa się<br />
około dwie trzecie długości katody. Takie rozwiązanie konstrukcyjne<br />
źródła umożliwia wprowadzenie odparowanych<br />
atomów jonizowanej substancji bezpośrednio w obszar<br />
plazmy. Aby ułatwić zapłon wyładowania łukowego do wnętrza<br />
komory może być dozowany gaz np. argon. Ponadto moc<br />
prądu elektrycznego pobierana przez źródło jest stosunkowo<br />
niewielka i zawiera się w przedziale 350...500 W.<br />
Źródło jonów umieszczone jest w zewnętrznym polu magnetycznym<br />
B wytwarzanym przez specjalny elektromagnes.<br />
Linie sił pola magnetycznego są równoległe do osi źródła. Stosowanie<br />
dodatkowego pola magnetycznego ma na celu<br />
wydłużenie drogi, jaką pokonują w źródle elektrony, co zwiększa<br />
wydajność jonizacji. Wytworzone w plazmie jony są wyciągane<br />
ze źródła przez otwór ekstrakcyjny o średnicy 1 mm,<br />
dzięki działaniu pola elektrycznego pochodzącego od elektrody<br />
ekstrakcyjnej. Zazwyczaj stosowano napięcie ekstrakcyjne<br />
o wartości 25 kV. Przy otrzymywaniu jonów glinu<br />
natężenie całkowitego prądu jonowego uzyskiwanego z tego<br />
źródła mierzone na kolektorze implantatora jonów UNIMAS<br />
jest na poziomie 70...80 µA. Pozwala to na uzyskanie na tarczy<br />
o średnicy 5 cm, przy zastosowaniu przemiatania wiązki,<br />
gęstości natężenia prądu jonowego rzędu 3 µA/cm 2 .<br />
Rys. 1. Komora wyładowań plazmowego źródła jonów: K - katoda,<br />
A - anoda, P - parownik, I - izolatory, O - otwór ekstrakcyjny<br />
Fig. 1. Discharge chamber of plasma ion source: K - cathode,<br />
A - anode, P - evaporator, I - insulators, O - extraction opening<br />
32 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Eksperyment<br />
Struktura epitaksjalna wykorzystana do wytworzenia diod<br />
p-i-n została wykonana na 2-calowym podłożu 4H-SiC firmy<br />
SiCrystal AG o standardowym domieszkowaniu typu n na poziomie<br />
5•10 18 cm -3 . Bezpośrednio przed osadzaniem warstwy<br />
wysokorezystywnej powierzchnię podłoża poddano wysokotemperaturowemu<br />
trawieniu w atmosferze H 2 w reaktorze do<br />
osadzania warstw epitaksjalnych SiC w celu zmniejszenia<br />
gęstości i defektów na polerowanej powierzchni o polarności<br />
Si (0001). Na przygotowanej w ten sposób powierzchni osadzono<br />
warstwę epitaksjalną o grubości 10 µm domieszkowaną<br />
azotem (typ n) na poziomie 5•10 15 cm -3 . Strukturę<br />
epitaksjalną pocięto po procesie epitaksji na próbki o wymiarach<br />
5x5 mm. Następnie wykonano procesy wielokrotnej implantacji<br />
jonów glinu do warstwy epitaksjalnej. Podczas<br />
wszystkich procesów implantacji podłoże utrzymywano w<br />
temperaturze 500°C w celu ograniczenia efektów związanych<br />
z przypowierzchniową amorfizacją materiału przy interakcji z<br />
wiązką jonową. Dla osiągnięcia równomiernego rozkładu koncentracji<br />
domieszki na zakładanym poziomie 2•10 19 cm -3 do<br />
głębokości około 0,5 µm wykonano 4 kolejne procesy implantacji<br />
jonowej stosując następujące energie i dawki: 250<br />
keV - 3,7•10 14 cm -2 ; 160 keV - 1,7•10 14 cm -2 ; 100 keV -<br />
1,0•10 14 cm -2 ; 55 keV - 6,5•10 13 cm -2 .<br />
Przygotowane w ten sposób struktury poddano procesom<br />
wygrzewania wysokotemperaturowego mającego na celu rekrystalizację<br />
materiału i aktywację domieszki. Procesy wygrzewania<br />
prowadzono w reaktorze do epitaksji SiC w dobrze<br />
kontrolowanych warunkach przy przepływie argonu przy ciśnieniu<br />
100 hPa, temperaturze 1600°C i w czasie 20 minut.<br />
Profil domieszki otrzymany w wyniku implantacji i po wygrzewaniu<br />
wysokotemperaturowym zmierzono przy użyciu spektrometru<br />
mas jonów wtórnych (SIMS) IMS 6f firmy Cameca.<br />
Zbadano także widma światła rozproszonego ramanowsko<br />
stosując spektrometr Renishaw inVia. Zastosowany w pracy<br />
wysokorozdzielczy konfokalny spektrometr mikro-ramanowski<br />
Renishaw inVia umożliwia zogniskowanie wiązki lasera<br />
(l = 532 nm) na powierzchni rzędu kilku µm 2 .<br />
Na próbkach bez spodniego kontaktu omowego wykonano<br />
po stronie warstwy epitaksjalnej kontakty omowe do pomiaru<br />
koncentracji nośników metodą Halla. Trójkątne kontakty<br />
omowe o powierzchni 5•10 -3 cm 2 na narożach próbki wytworzono<br />
w wyniku osadzania wielowarstwowej metalizacji Ti/Al/Ti<br />
(10 nm/60 nm/30 nm) metodą rozpylania magnetronowego.<br />
Przed wykonaniem pomiarów kontakty wygrzano w czasie<br />
3 minut w temperaturze 1050°C w atmosferze argonu. Wartość<br />
rezystancji uzyskanych kontaktów omowych do obszaru<br />
typu p + zmierzono również przy wykorzystaniu metody c-TLM.<br />
Serię próbek poddano procesowi reaktywnego trawienia<br />
jonowego (RIE) o następujących parametrach: przepływ SF 6<br />
15 ml/min, przepływ O 2 30 ml/min przy ciśnieniu 4 Pa i mocy<br />
95 W w czasie 60 s. Proces trawienia fizykochemicznego zakończono<br />
krótkim (20 s) procesem rozpylania w argonie przy<br />
przepływie 45 ml/min. Pozostałe parametry procesu trawienia<br />
w Ar były analogiczne jak dla trawienia w mieszaninie SF 6 /O 2 .<br />
W wyniku trawienia usunięto 85 nm materiału.<br />
Trawienie jonowe wykorzystano także do zdefiniowania izolującego<br />
obszaru MESA w zaimplantowanej warstwie powierzchniowej<br />
SiC. Przed wytrawieniem obszaru MESA<br />
wykonano maski SiO 2 /Cr o grubości 200 nm/200 nm i przekroju<br />
kołowym. W trakcie trawienia jonowego w czasie 450 s usunięto<br />
materiał o grubości 520 nm przy opisanych parametrach trawienia<br />
RIE w mieszaninie SF 6 /O 2 . Po usunięciu maski SiO 2 /Cr wytworzono<br />
kontakty omowe do obszarów p + o średnicy 150 µm<br />
opisaną wcześniej metodą. Kontakty omowe do podłoża zostały<br />
wykonane w wyniku osadzania warstwy Ni o grubości 200 nm<br />
metodą rozpylania magnetronowego. Warstwy metalizacji zostały<br />
wygrzane w temperaturze 1050°C w czasie 3 minut w reaktorze<br />
RTP w atmosferze argonu w celu przebudowy obszaru<br />
przejściowego metal/półprzewodnik i uzyskania kontaktów o liniowej<br />
charakterystyce prądowo-napięciowej. Na wybranych<br />
próbkach wytworzono struktury testowe do pomiarów rezystancji<br />
kontaktów omowych metodą c-TLM. Wymagane wzory uzyskano<br />
przy użyciu fotolitografii lift-off.<br />
Charakterystyki prądowo-napięciowe (I-V) uzyskanych<br />
diod p-i-n zmierzono w temperaturze pokojowej przy użyciu<br />
stanowiska do pomiarów ostrzowych wyposażonego w zestaw<br />
mierników Keithley 236/237/238.<br />
Wyniki badań i dyskusja<br />
Teoretyczny profil domieszkowania otrzymany w wyniku symulacji<br />
za pomocą programu SRIM oraz rzeczywiste profile<br />
zmierzone metodą SIMS po wykonaniu opisanej w wcześniej<br />
4-krotnej implantacji warstwy 4H-SiC jonami Al + w temperaturze<br />
500°C (całkowita dawka D = 7,1•10 14 cm -2 ) i po wygrzewaniu<br />
w temperaturze 1600°C przedstawiono na rys. 2.<br />
Podgrzewanie podłoża w trakcie procesu implantacji oraz zjawisko<br />
kanałowania jonów powoduje, że domieszka lokuje się<br />
o około 150 nm głębiej niż w symulowanym profilu. Podczas<br />
wygrzewania poimplantacyjnego domieszka dyfunduje w kierunku<br />
powierzchni, dzięki czemu uzyskuje się wynikowy profil<br />
podobny do założonego w trakcie symulacji procesu. Wielokrotna<br />
implantacja zapewnia rozkład zbliżony do równomiernego,<br />
a uzyskany poziom domieszkowania jest zgodny<br />
z zakładaną wartością uzyskaną w wyniku symulacji. Trawienie<br />
RIE do głębokości około 80...90 nm zapewnia uzyskanie<br />
wysokiej koncentracji atomów glinu na powierzchni podłoża.<br />
Rysunek 3. przedstawia fragmenty widm ramanowskich dla<br />
nieimplantowanej (a), implantowanej Al + (b) oraz implantowanej<br />
i wygrzanej (c) warstwy 4H-SiC. Uwidocznione na rys. 3a<br />
w postaci silnych i wąskich linii aktywne ramanowsko mody<br />
w4H -SiC mają symetrię typu A 1 , E 1 i E 2 [1,2]. Charakteryzują<br />
one doskonały monokryształ i odpowiadają akustycznym<br />
i optycznym fononom poprzecznym (TA, TO) oraz optycznym<br />
fononom podłużnym (LO) o wyznaczonych wartościach liczb<br />
falowych podanych na rys. 3. Na uwagę zasługuje obecność<br />
szerokiego asymetrycznego pasma przy 978 cm -1 związanego<br />
z modem LOPC (Longitudinal Optic-Plasmon Coupled) pojawiającego<br />
się w wyniku sprzężenia fononu LO z kolektywnymi<br />
wzbudzeniami (plazmonami) plazmy ładunków w półprzewodniku.<br />
Wskutek implantacji pasmo to praktycznie zanika<br />
(rys. 3b), co świadczy o powstawaniu sporej liczby defektów<br />
radiacyjnych pułapkujących ładunki. Także obecność szerokich<br />
pasm charakterystycznych dla modów wibracyjnych [3]: Si-Si<br />
(przy ok. 500 cm -1 ), C-C (ok. 1400 cm -1 ) oraz dla amorficznych<br />
stopów SiC x (przy ok. 800...900 cm -1 ) na rys. 3b potwierdza istnienie<br />
przypowierzchniowej warstwy 4H-SiC bardzo silnie<br />
uszkodzonej wskutek implantacji. Obserwujemy także<br />
znaczące osłabienie pod wpływem uszkodzeń radiacyjnych,<br />
natężenia wąskich linii fononowych. Tak więc pomimo przeprowadzenia<br />
implantacji w temperaturze 500°C stwierdzić musimy<br />
obecność dużego nieporządku sieciowego w badanej<br />
warstwie 4H-SiC. Zastosowanie wygrzewania poimplantacyjnego<br />
w temperaturze 1600 o C zmienia radykalnie sytuację<br />
(rys. 3c) - zmniejszają się bądź zanikają pasma Si-Si, C-C oraz<br />
SiC x oraz pojawia się pasmo LOPC przy 978 cm -1 , co świadczy<br />
o odbudowie porządku krystalicznego. Generalnie jednak to<br />
widmo Ramana, chociaż charakterystyczne dla monokryształu<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 33
a)<br />
a)<br />
b)<br />
b)<br />
c)<br />
c)<br />
Rys. 2. Symulowany profil glinu w 4H-SiC po implantacji jonowej<br />
(a), profil Al uzyskany metodą SIMS dla tarczy 4H-SiC zaimplantowanej<br />
w t = 500°C (b), profil Al po implantacji i wygrzaniu<br />
w t = 1600°C (c)<br />
Fig. 2. Simulated Al ion implanted profile in 4H-SiC (a), SIMS Al<br />
depth profile in 4H-SiC after 500°C implantation (b), SIMS Al profile<br />
after 500°C implantation and 1600°C annealing (c)<br />
Rys. 3. Widma Ramana dla: nieimplantowanej warstwy epitaksjalnej<br />
4H-SiC (a), zaimplantowanej glinem (b), zaimplantowanej Al<br />
i wygrzanej w t = 1600°C (c) warstwy 4H-SiC<br />
Fig. 3. Raman spectra corresponding to: unimplanted epitaxial<br />
4H-SiC layer (a), Al-implanted (b), Al-implanted and annealed at<br />
1600°C (c) 4H-SiC layer<br />
jest gorszej jakości niż przedstawione na rys. 3a. Prawdopodobną<br />
przyczyną tego stanu rzeczy jest pogorszenie stanu powierzchni<br />
wskutek wygrzewania.<br />
Planowane są dalsze szczegółowe badania widm ramanowskich<br />
dla próbek o odbudowanym w wyniku wygrzewania<br />
poimplantacyjnego porządku sieciowym, w tym modu LOPC,<br />
którego analiza dostarczyć może wielu istotnych informacji,<br />
także ilościowych, między innymi o koncentracji nośników<br />
w warstwie zmodyfikowanej implantacją jonową.<br />
Rezystancja charakterystyczna kontaktów omowych została<br />
obliczona na podstawie pomiarów elektrycznych wykonanych<br />
metodą c-TLM. Metoda c-TLM (ang. circular pattern -<br />
Transmission Line Model) wykorzystuje maskę składającą się<br />
z kilku okrągłych pól stanowiących pole kontaktowe o jednakowym<br />
promieniu r 0 oraz pozostałej części metalizacji, od której<br />
pola kontaktowe są oddzielone przerwą d o różnej szerokości<br />
[4]. Topografię kontaktów metalicznych i rzeczywiste odwzorowanie<br />
w warstwie metalizacji przedstawia rys. 4.<br />
Rezystancja charakterystyczna kontaktu omowego w metodzie<br />
c-TLM określona jest wzorem:<br />
gdzie: U, I - zmierzone napięcie i prąd, L T - parametr metody<br />
c-TLM (transfer length), r 1 , d - parametry geometryczne metalizacji<br />
(promień zewnętrzny, szerokość przerwy w metalizacji).<br />
34 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
a)<br />
b)<br />
Parametr L T wyznaczany jest na podstawie aproksymacji<br />
wykresu R = f(d) otrzymywanego w wyniku pomiaru kolejnych<br />
charakterystyk I-V kontaktów omowych o różnej szerokości<br />
przerwy w metalizacji (d). Po podstawieniu do wzoru<br />
wyznaczonego parametru L T otrzymuje się wartość rezystancji<br />
charakterystycznej kontaktu omowego. W przypadku<br />
mierzonych kontaktów do podłoża n + i obszarów implantowanych<br />
p + uzyskano liniowy kształt charakterystyk I-V. Obliczona<br />
rezystancja charakterystyczna kontaktów do podłoża<br />
wynosiła typowo 8•10 -5 Ωcm 2 , a kontaktów do obszarów implantowanych<br />
1•10 -4 Ωcm 2 .<br />
Wyniki wykonanych pomiarów metodą Halla na dwóch<br />
stanowiskach potwierdzają dobrą powtarzalność pomiaru<br />
koncentracji nośników i ruchliwości przy zastosowaniu zaproponowanej<br />
struktury testowej. Uzyskane wartości koncentracji<br />
nośników w warstwie implantowanej zawierały się<br />
w przedziale 3…4•10 18 cm -3 przy założeniu, że domieszka<br />
jest rozłożona równomiernie do głębokości 350 nm. Kilkakrotnie<br />
niższa koncentracja nośników w porównaniu z pomiarami<br />
wykonanymi metodą SIMS może świadczyć<br />
o niekompletnej aktywacji domieszki w procesie wygrzewania<br />
wysokotemperaturowego.<br />
Wytworzone diody p-i-n charakteryzowały się napięciem<br />
przebicia 550...600 V przy dobrym uzysku na poziomie 85%.<br />
Niepożądanym zjawiskiem jest stosunkowo duży prąd upływu<br />
utrzymujący się na stałym poziomie 10 µA w szerokim zakresie<br />
napięcia polaryzacji zaporowej (50...400 V) - rys. 5. Największe<br />
rozrzuty parametrów zaobserwowano w przypadku<br />
prądu przewodzenia. Gęstość prądu diody przy polaryzacji<br />
napięciem 10 V zmienia się w zakresie 20...220 A/cm 2 .<br />
Podsumowanie<br />
Rys. 4. Topografia wzoru wykonywanego w metalizacji metodą fotolitografii<br />
(a), rzeczywista struktura wytworzonych kontaktów na<br />
SiC do pomiaru metodą c-TLM (b)<br />
Fig. 4. C-TLM pattern (a), real structure of ohmic contacts on silicon<br />
carbide surface (b)<br />
Rys. 5. Charakterystyka J-V złącza p-i-n spolaryzowanego w kierunku<br />
zaporowym<br />
Fig. 5. Reverse J-V characterstic of p-i-n junction<br />
Prowadzone badania miały przede wszystkim na celu charakteryzację<br />
implantowanych glinem warstw epitaksjalnych<br />
4H-SiC. Wykonane prace technologiczne wykazały możliwość<br />
wytworzenia diody p-i-n o napięciu zaporowym do<br />
600 V bez stosowania terminacji krawędziowej kontaktu z zadowalającym<br />
uzyskiem na poziomie 85%. Ograniczenie<br />
prądu zaporowego diody i zwiększenie napięcia przebicia wymaga<br />
dalszej optymalizacji struktury diody p-i-n i stosowania<br />
terminacji krawędziowej. Duży rozrzut prądu przewodzenia<br />
jest prawdopodobnie związany z procesami trawienia RIE<br />
mającego na celu usunięcie przypowierzchniowej warstwy<br />
materiału o niższej koncentracji glinu. Stabilizacja prądu przewodzenia<br />
diody p-i-n wymagałaby w takiej sytuacji użycia<br />
procesów utleniania termicznego węglika krzemu w celu usunięcia<br />
warstwy uszkodzonej po trawieniu RIE, co znacznie<br />
komplikuje procesy technologiczne. Materiał nie może być<br />
usunięty przy zastosowaniu jedynie utleniania termicznego<br />
i trawienia warstwy SiO 2 , ponieważ uzyskane profile domieszkowania<br />
charakteryzują się równomiernym rozkładem<br />
domieszki dopiero od głębokości 80...100 nm pod powierzchnią.<br />
Utlenianie węglika krzemu do takiej głębokości<br />
jest procesem długotrwałym i nieefektywnym z punktu widzenia<br />
ekonomicznego i seryjnej produkcji. Procesem znacznie<br />
usprawniającym wytwarzanie tego typu struktur<br />
przyrządowych byłoby opracowanie metody domieszkowania<br />
SiC w procesie implantacji glinu dużą dawką i przy jak<br />
najniższej energii jonów. W obecnie stosowanym implantatorze<br />
pojawia się problem stabilności wiązki jonowej przy najniższych<br />
energiach implantacji, co wymusza konieczność<br />
stosowania pewnych zabiegów technologicznych w celu usunięcia<br />
około 100 nm węglika krzemu.<br />
Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />
2007-2010 jako projekt badawczy zamawiany nr PBZ-MEiN-<br />
6/2/2006<br />
Literatura<br />
[1] Hayes W., Loudon R.: Scattering of Light by Crystals. Wiley, New<br />
York, 1978.<br />
[2] Martin E., Chafai M., Anton R., Torres A., Jimenez J.: Mat. Sci.<br />
Eng. B 80 (2001) pp. 366-369.<br />
[3] Perez-Rodriguez A., Pacaud Y., Calvo-Barrio L., Serre C., Skorupa<br />
W., Morante J. R.: J. Electron. Mater. 25 (1996) pp.541-547.<br />
[4] Marlow G. S., Das M. B.: The effects of contact size and nonzero<br />
metal resistance on the determination of specific contact resistance.<br />
Solid State Device Laboratory and Materials Research<br />
Laboratory, Pennsylvania, 1981.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 35
Polimery elektroprzewodzące w elektronice<br />
i analityce biochemicznej<br />
prof. dr hab. inż. WŁADYSŁAW TORBICZ, doc. dr hab. inż. DOROTA PIJANOWSKA<br />
<strong>Instytut</strong> Biocybernetyki i Inżynierii Biomedycznej PAN<br />
Szybki rozwój elektroniki i inżynierii materiałowej, a szczególnie<br />
dotyczący technologii półprzewodnikowych i chemii<br />
polimerów, doprowadził do opracowania wielu nowych materiałów<br />
o bardzo interesujących właściwościach. Jednym z<br />
ważnych odkryć w tym zakresie, dokonanym w latach 70.<br />
ubiegłego wieku było wynalezienie, a następnie rozwój technologii<br />
polimerów elektroprzewodzących (przewodzących).<br />
Właściwości elektryczne optyczne, chemiczne, elektrochemiczne,<br />
mechaniczne i wiele innych tych materiałów, zależą<br />
od działania na nie różnych czynników fizycznych, np. pola<br />
elektrycznego, światła, naprężenia (wykorzystanie w czujnikach<br />
wielkości fizycznych), a także chemicznych w postaci<br />
gazów oraz zjonizowanych i niezjonizowanych składników<br />
cieczy (wykorzystanie w czujnikach wielkości chemicznych).<br />
Szczególnie interesującą cechą polimerów elektroprzewodzących<br />
jest możliwość uzyskania pod wpływem odpowiedniego<br />
domieszkowania i czynników zewnętrznych zmian<br />
ich przewodności elektrycznej w bardzo szerokich granicach.<br />
W zależności od rodzaju polimeru można uzyskać zmianę o 10<br />
do 18 rzędów wielkości. Mogą więc one mieć właściwości<br />
przewodników metalicznych, półprzewodników (półprzewodniki<br />
organiczne) i izolatorów. Ponieważ metale są z zasady<br />
przewodnikami, więc polimery przewodzące o dużych przewodnościach<br />
są często nazywane metalami syntetycznymi.<br />
Duża różnorodność właściwości polimerów przewodzących<br />
spowodowała, że wykorzystuje się je do wykonania wielu miniaturowych<br />
elementów układów elektronicznych (rezystory,<br />
przewodniki, warstwy dielektryczne, diody, tranzystory, miniaturowych<br />
źródeł energii), optoelektronicznych (światłowody, fotodiody,<br />
fototranzystory, lasery, monitory i detektory optyczne),<br />
mechatronicznych (mikrozawory, mikropompy, mikroaktuatory,<br />
mikrodżwignie, rezonatory), elektrochemicznych (mikroczujniki<br />
chemiczne i biochemiczne, układy separujące składniki mieszanin<br />
cieczy i gazów), czy powłok ekranujących urządzenia<br />
elektroniczne od promieniowania elektromagnetycznego.<br />
W przeglądowym artykule omówiono podstawowe właściwości<br />
polimerów elektroprzewodzących i ich zastosowania<br />
w wybranych obszarach elektroniki i diagnostyki analitycznej.<br />
Wprowadzenie<br />
Polimery przewodzące, podobnie jak ogromna grupa polimerów<br />
naturalnych i syntetycznych składają się z wielokrotnie<br />
powtarzających się jednostek zwanych merami, ułożonych<br />
w łańcuchy [1,2]. Uzyskuje się je przez polimeryzację monomerów,<br />
najczęściej węglowych. Można tu wyróżnić homopolimery<br />
- polimery powstałe z jednakowych monomerów -<br />
i kopolimery - gdy do polimeryzacji użyto dwóch lub więcej rodzajów<br />
monomerów.<br />
W łańcuchu głównym polimerów przewodzących występują<br />
sprzężone wiązania podwójne [2,3]. Łańcuchy te mogą<br />
mieć ułożenie nieuporządkowane (niezorientowane polimery<br />
amorficzne), częściowo uporządkowane (zorientowane polimery<br />
amorficzne), albo mogą zawierać obszary całkowicie<br />
uporządkowane (krystality) o przypadkowej lub jednakowej<br />
orientacji. Zwartość budowy polimerów o nieuporządkowanym<br />
ułożeniu łańcuchów można uzyskać za pomocą czynnika sieciującego<br />
(sieciowanie).<br />
Polimery elektroprzewodzące można syntezować metodą:<br />
(1) rodnikową - centrami aktywnymi są rodniki, (2) jonową -<br />
centra aktywne to jony, (3) koordynacyjną - prowadzoną<br />
w obecności katalizatorów, (4) poprzez polikondensację i poliaddycję<br />
- każdy akt tworzenia łańcucha polimeru jest wynikiem<br />
kondensacji grup funkcyjnych. Ponadto, bardzo często<br />
stosuje się elektropolimeryzację. W tym przypadku monomery<br />
rozpuszczone w odpowiednim roztworze są utleniane pod<br />
wpływem napięcia podawanego na elektrody. Wytworzone kationorodniki<br />
są dołączane kolejno do łańcuchów polimeru osadzanych<br />
na anodzie.<br />
Praktycznie wszystkie tradycyjne polimery węglowe są<br />
izolatorami elektrycznymi, chociaż istniały nieliczne doniesienia<br />
z końca lat 50. ubiegłego wieku o polimerach wykazujących<br />
przewodnictwo elektryczne. Badania nad polimerami<br />
elektroprzewodzącymi zostały zintensyfikowane, gdy Alan<br />
J. Heeger, Alan G. MacDiarmid i Hideki Shirakawa wykazali,<br />
że modyfikacja trans-poliacetylenu przez oddziaływanie par<br />
jodu i bromu powoduje zwiększenie jego przewodności o 7<br />
rzędów wielkości, a także wpływa na jego właściwości<br />
optyczne [4,5]. „Za odkrycie i rozwój polimerów przewodzących”,<br />
otrzymali oni w 2000 r. Nagrodę Nobla w dziedzinie<br />
chemii.<br />
Właściwości polimerów przewodzących<br />
Na właściwości elektryczne, optyczne, magnetyczne, mechaniczne,<br />
chemiczne, termiczne i inne polimerów przewodzących<br />
ma wpływ budowa łańcucha głównego<br />
i przestrzenne ułożenie ich łańcuchów przez to upakowanie<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 36
tych łańcuchów, a także domieszki wprowadzane do polimeru.<br />
Właściwości te można wyjaśnić na podstawie analizy poziomów<br />
energetycznych orbitali na których znajdują się elektrony<br />
walencyjne węgla. Umożliwia to teoria orbitali molekularnych,<br />
które tworzą się przy powstawaniu związków zawierających<br />
wiele atomów węgla, dzięki hybrydyzacji (uwspólnianiu) ich<br />
orbitali atomowych [1]. Hybrydyzacja ta prowadzi do powstawania<br />
silnych pojedynczych wiązań chemicznych (orbitali) σ<br />
i słabych podwójnych π. Decyduje to o anizotropowych właściwościach<br />
elektrycznych tych polimerów .<br />
Właściwości elektryczne polimerów<br />
przewodzących<br />
Do opisu zjawisk związanych z przewodzeniem ładunków<br />
elektrycznych w polimerach przewodzących, podobnie jak w<br />
półprzewodnikach nieorganicznych (np. w krzemie), wykorzystuje<br />
się model pasmowy przewodnictwa [6]. Szerokość<br />
przerwy energetycznej, a więc i przewodność polimerów przewodzących<br />
jest zależna od rodzaju polimeru przewodzącego<br />
i od zastosowanych domieszek [2,3,7-9]. Na rysunku przedstawiono<br />
najczęściej stosowane polimery przewodzące<br />
(rys. b) i zakresy ich przewodności (rys. a), które, jak wspomniano<br />
wcześniej, można zmieniać pod wpływem różnych<br />
czynników, głównie domieszkowania, w bardzo szerokich granicach,<br />
od wartości odpowiadających izolatorom do wartości<br />
charakteryzujących metale.<br />
Domieszkowanie polimerów podstawowych uzyskuje się<br />
poprzez utlenianie, redukcję lub podstawienia. Do polimerów<br />
można wprowadzać różne domieszki typu p lub n. Domieszkami<br />
utleniającymi typu p są: jod (I 2 ), AsF 5 , BF 3 , FeCl 3 , SnCl 4 ,<br />
NOPF 6 , natomiast reduktorami typu n są: metale alkaliczne<br />
i ich związki. Z innych domieszek można wymienić: amalgamat<br />
sodu, naftalin sodu, NO 2 , SO 3 H, FeCl 4 - , Br 2 , sulfoniany<br />
(np. dodecylobenzenowy, boru), LiClO 4 , czy odpowiednio<br />
dobrane kwasy, np. kwas sulfonowo kamforowy, HX, gdzie<br />
X=F, Cl, Br, I (proponowanie) i zasady (deprotonowanie).<br />
Zmianę przewodności polimerów przewodzących można<br />
uzyskać również bez chemicznego domieszkowania, stosując<br />
napromieniowanie (domieszkowanie fotonowe - photo-doping)<br />
[2,3,7-9]. Inną, często stosowaną metodą jest wprowadzanie<br />
do polimeru ładunków elektrycznych za pomocą<br />
układu metal/izolator/półprzewodnik (MIS) [3,7]. W układzie<br />
tym metalowa elektroda jest oddzielona od polimeru (półprzewodnika)<br />
cienką warstwą dielektryka.<br />
Istnieje kilka mechanizmów przesuwania ładunków [10-12].<br />
W jednym z nich transport (przepływ) cząstek przenoszących<br />
ładunek można rozpatrywać jako szereg następujących po<br />
sobie reakcji utleniania-redukcji sąsiednich fragmentów łańcucha<br />
polimeru lub fragmentów sąsiednich łańcuchów, któremu<br />
towarzyszy przesuwanie elektronów lub/i dziur. Ważnymi parametrami<br />
określającym jakość polimeru jako półprzewodnika,<br />
podobnie jak w półprzewodnikach klasycznych są: koncentracja<br />
(liczba) nośników ładunków elektrycznych i ich ruchliwość.<br />
Podobnie jak szerokość przerwy energetycznej, koncentracja<br />
i ruchliwość nośników ładunków elektrycznych zależą od rodzaju<br />
i koncentracji domieszek, a ponadto, od struktury<br />
polimeru (bezpostaciowość, występowanie struktur krystalicznych).<br />
Jakościowym wyjaśnieniem tej zależności jest mechanizm<br />
przesyłania ładunku elektrycznego w polimerze, któremu<br />
często towarzyszy lokalna zmiana struktury chemicznej<br />
cząstek przekazujących ładunek, co nie jest procesem natychmiastowym,<br />
lecz wymagającym pewnego czasu.<br />
Jest ciekawe, że polimery elektroprzewodzące mogą być<br />
nadprzewodnikami. Potwierdza to przypuszczenia, że w<br />
żywych organizmach może występować zjawisko nadprzewodnictwa<br />
wysoko temperaturowego. Białka są przecież polimerami<br />
organicznymi.<br />
Właściwości optyczne polimerów przewodzących<br />
Niektóre z opisanych poprzednio niedomieszkowanych lub<br />
słabo domieszkowanych polimerów elektroprzewodzących<br />
(dielektryków i półprzewodników) mają właściwości optyczne,<br />
przydatne do konstrukcji czujników optycznych i systemów<br />
wykorzystujących takie czujniki. Można tu przykładowo wymienić:<br />
polianilinę, poliacetylen, polifluoreny, domieszkowane<br />
polistyreny czy kopolimer parafenylu i winylu [13-16].<br />
Opis zjawisk optycznych w ciałach stałych, a szczególnie w<br />
polimerach przewodzących, obejmuje zarówno generację par<br />
nośników ładunku elektrycznego pod wpływem energii świetlnej<br />
(fotonów), ich rekombinację (emisja fotonów lub przekazywanie<br />
energii drganiom sieci), jak i emisję światła spowodowaną zmianami<br />
poziomów kwantowych elektronów [13-16]. Prawdopodobieństwo<br />
zaistnienia wymienionych aktów, a więc i czasy ich<br />
zachodzenia zależą od struktury energetycznej polimeru.<br />
Jak wspomniano poprzednio, przy konstrukcji optycznych<br />
mikrosystemów pomiarowych są również wykorzystywane<br />
w celach pomocniczych (jako korpusy urządzeń przepływowych,<br />
światłowody), przezroczyste polimery nasycone, które<br />
są elektrycznie nieaktywne. O ich przydatności decyduje przezroczystość,<br />
odporność na działanie czynników chemicznych<br />
i temperatury oraz wytrzymałość mechaniczna i łatwość obróbki,<br />
np. plastycznej - w celu uzyskania odpowiednich struktur<br />
przestrzennych (kanały przepływowe, celki pomiarowe,<br />
światłowody). Najczęściej stosowanym do tych celów materiałem<br />
jest polidimetylosiloksan (PDMS). Duże nadzieje są<br />
wiązane z wykorzystaniem poliimidu, polimetakrylanu propylu<br />
(PPMA - Poly(Propyl Methacrylate)), polimetakrylanu metylu<br />
(PMMA - Poly(Methyl Methacrylate)), polistyrenu i nanokompozytu<br />
polistyrenu [17,18].<br />
Właściwości magnetyczne polimerów<br />
przewodzących<br />
Dostępne w literaturze informacje poświęcone polimerom<br />
przewodzącym o właściwościach magnetycznych nie są tak<br />
liczne jak omówionym poprzednio polimerom, w których wykorzystuje<br />
się ich właściwości elektryczne i optyczne. Zaobserwowano<br />
w tych polimerach zjawisko magnetorezystancji<br />
[19] i dużych wartości przenikalności i pozostałości magnetycznej<br />
(ferromagnetyzm) [20,21]. Zmiany rezystancji pod<br />
wpływem pola magnetycznego uzyskano w polifluorenach,<br />
polimerach zawierających grupę trój-(8-hydroksychinolinian)<br />
glinu [22], w polianilinie domieszkowanej utlenionym kwasem<br />
ferrocensulfonowym, w kopolimerze aniliny i kwasu 5-amino-<br />
2-naftalenosulfonowego [23,24] oraz w układzie koronowym<br />
z łańcuchem heksapirolu [25].<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 37
Najczęściej spotykane postacie podstawowe polimerów elektroprzewodzących: a) zakresy przewodności, b) struktury chemiczne<br />
Most common basic forms of electroconducting polymers: a) conductivity ranges, b) chemical structures<br />
Właściwości mechaniczne polimerów<br />
przewodzących<br />
Polimery przewodzące charakteryzują się dużym wachlarzem<br />
właściwości mechanicznych [3,26]. Można je wytwarzać<br />
w postaci: cieczy, żelu, ciekłych kryształów; plastycznych, elastycznych,<br />
sprężystych czy twardych bloków, płytek, foli, prętów,<br />
rurek, grubych i cienkich warstw oraz w postaci<br />
najróżnorodniejszych kształtek. Warstwy i folie z polimerów<br />
mogą mieć różną porowatość. Wiele z tych materiałów to piezoelektryki.<br />
Przykładowo, materiałami piezoelektrycznymi są<br />
różne domieszkowane polipirole i polianiliny, czy 3,4-etylenodioksytiofen.<br />
Różnorodność form polimerów przewodzących<br />
pozwala na wykonanie z tych materiałów rozbudowanych<br />
elektronicznych systemów wieloczujnikowych, np. w postaci<br />
tekstyliów [27]. Plastyczność polimerów przed ich końcowym<br />
utwardzeniem umożliwia wykonanie w nich wgłębień za pomocą<br />
negatywowej pieczątki [28], natomiast ciekła forma niektórych<br />
polimerów lub prepolimerów (monomery, oligomery -<br />
z których po polimeryzacji otrzymuje się polimery) pozwala na<br />
wykorzystanie drukarek strumieniowych do wytwarzania<br />
struktur warstwowych z tych materiałów [29].<br />
Właściwości sprężyste i piezoelektryczne polimerów przewodzących<br />
można wykorzystać w czujnikach do bezpośredniego<br />
pomiaru wielkości fizycznych (masa, siła, przyśpieszenie,<br />
ciśnienie, ugięcie), jak i do pośredniego pomiaru wielkości chemicznych,<br />
np. poprzez pomiar masy adsorbowanej na powierzchni<br />
materiału (mikrowaga), która jest zależna od stężenia<br />
oznaczanego składnika.<br />
Właściwości chemiczne i elektrochemiczne<br />
polimerów przewodzących<br />
Omówione wcześniej właściwości polimerów przewodzących<br />
można kształtować przez odpowiednie oddziaływanie czynnikami<br />
chemicznymi, co można wykorzystać do budowy czujników<br />
chemicznych i biochemicznych, w których wykorzystuje<br />
się zjawiska: (1) elektromechaniczne; (2) termiczne; (3) elek-<br />
38 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
trochemiczne (amperometria, potencjometria, pomiary impedancyjne);<br />
(4) magnetyczne; (5) optyczne (spektrofotometria,<br />
spektroskopia fluorescencyjna i absorpcyjna, polarymetria);<br />
(6) radiacyjne; (7) biologiczne (enzymy, przeciwciała, komórki,<br />
części tkanek, DNA, kwasy nukleinowe). W przypadku czujników<br />
elektrochemicznych do pomiaru składników cieczy, sygnał<br />
analityczny powstaje w wyniku reakcji elektrodowych<br />
zachodzących na granicy ciała stałego (elektrody) i analizowanej<br />
cieczy. Czujniki chemiczne z biologicznym członem detekcyjnym<br />
są powszechnie nazywane bioczujnikami.<br />
Najczęściej wykorzystywanymi enzymami w bioczujnikach<br />
amperometrycznych są enzymy, które wymagają obecności<br />
akceptorów elektronów do regeneracji enzymu<br />
(przenoszenia elektronów) po reakcji enzymatycznej. Do tego<br />
celu stosuje się najczęściej mediatory. Mediator, to<br />
małocząsteczkowa para redoks, która najpierw reaguje ze<br />
zredukowanym koenzymem, a następnie dyfunduje do elektrody,<br />
przenosząc ładunki elektryczne przy odpowiednio<br />
niższym potencjale. Mediatory mogą być akceptorami elektronów<br />
i protonów [2,30-33]. Możliwość przekazywania elektronów<br />
mediatorom lub innym substancjom przez polimery<br />
przewodzące umożliwia ich wykorzystanie w bioczujnikach<br />
amperometrycznych i w pomiarach woltametrycznych. Takimi<br />
polimerami są np. polipirole, polianilina czysta i domieszkowana<br />
oraz ich kompozyty [34,35].<br />
W niektórych polimerach przewodzących może zaistnieć<br />
wymiana jonowa na granicy polimeru i elektrolitu [36], co pozwala<br />
wykonywać czujniki potencjometryczne składników<br />
cieczy [2,37,38]. Do tych celów wykorzystywano domieszkowane<br />
polimery przewodzące, m.in. jonoforami. Można tu<br />
przykładowo wymienić polipirol, polianilinę i jej kompozyty<br />
oraz poli(3-octylotiofen).<br />
Zależność rezystancji polimerów przewodzących od<br />
różnych domieszek, którymi mogą być gazy (np. O 2 , NH 3 ,<br />
NO 2 , NO, H 2 S, CO, CO 2 , CH 4 ,) i pary różnych substancji organicznych,<br />
pozwala na wykorzystanie tych polimerów jako<br />
detektorów rezystancyjnych tych gazów i różnego rodzaju par.<br />
Można tu przykładowo wymienić odpowiednio domieszkowane<br />
następujące polimery: polipirol (PPy), PPy-SnO 2 , PPy-<br />
ZnO, polianilina (PANi), PANi-SnO 2 , poliheksylotiofen (PHTh),<br />
poli(etylenodioksytiofen) (PEDT), kopolimery PHTh-PEDT,<br />
(PHTh-EDT)-SnO 2 [3,39-41].<br />
Łatwość unieruchamiania w polimerach elektroprzewodzących<br />
różnych substancji biologicznych, np. enzymów,<br />
przeciwciał, fragmentów DNA i innych receptorów biologicznych<br />
jest przesłanką do ich stosowania w potencjometrycznych,<br />
amperometrycznych i rezystancyjnych bioczujnikach<br />
wielu składników płynów ustrojowych [42,43]. Do wykonania<br />
bioczujników wykorzystuje się różne polimery i kopolimery<br />
przewodzące (są to np. polipirol, polianilina, polipirol-polivinyl<br />
- bez domieszek i z domieszkami) oraz ich kompozyty<br />
[44,45].<br />
Właściwość selektywnego przepuszczania cząsteczek<br />
o różnych masach cząsteczkowych jest wykorzystywana do<br />
przesiewania (separowania, selekcji) tych cząsteczek, w tym<br />
jonów [46], co daje możliwość poprawienia selektywności<br />
czujników chemicznych, czy też opłaszczania materiału biologicznego,<br />
np. komórek czy mikroorganizmów wykorzystywanych<br />
do celów analitycznych.<br />
Wykorzystanie polimerów przewodzących<br />
do budowy elementów elektronicznych<br />
i optoelektronicznych<br />
Praktycznie we wszystkich współczesnych urządzeniach pomiarowych<br />
i do przetwarzania informacji, w tym w medycynie,<br />
stosuje się półprzewodnikowe układy elektroniczne. Wynika<br />
to z dążenia do miniaturyzacji i obniżenia ceny urządzeń pomiarowych<br />
oraz zwiększenia liczby mierzonych wielkości i automatyzacji<br />
pomiarów. Ponieważ przewodność polimerów<br />
elektroprzewodzących można zmieniać w szerokich granicach<br />
przez ich domieszkowanie, więc materiały te można również<br />
wykorzystać do budowy układów elektronicznych<br />
(elektronika organiczna), zawierających elementy bierne: rezystory<br />
[2,47] i kondensatory [48] oraz czynne: diody [49] i<br />
tranzystory polowe [50,51]. Ze względu na interesujące właściwości<br />
optyczne polimerów przewodzących, znalazły one zastosowanie<br />
w układach optoelektronicznych do wykonania<br />
źródeł i detektorów światła - fotodiod [52] i laserów [53] - oraz<br />
światłowodów [54]. Zintegrowanie wymienionych układów<br />
oraz czujników wielkości fizycznych i (bio)chemicznych, które<br />
można umieszczać na cienkich elastycznych foliach,<br />
mających postać tkaniny [55,56].<br />
Użycie polimerów przewodzących do wykonania elementów<br />
biernych - rezystorów, kondensatorów i światłowodów -<br />
jest zadaniem prostszym do wykonania niż elementów czynnych,<br />
jakimi są diody, tranzystory, fotodiody czy lasery, gdyż<br />
każdemu elementowi biernemu, uformowanemu w procesie<br />
fotolitografii warstwy polimeru, odpowiada obszar o jednakowych<br />
właściwościach - rezystancji, w odniesieniu do rezystorów<br />
i pojemności (a więc grubości dielektryka) w odniesieniu<br />
do kondensatorów. W przypadku tranzystorów, diod i elementów<br />
optycznych (fotodiod i laserów) obszary te zawierają<br />
połączone ze sobą podobszary (np. dren, źródło, kanał,<br />
złącza p-n), które spełniają różne funkcje. Podobszary te mają<br />
różne przewodnictwo, np. typu p i n, różne szerokości pasma<br />
zabronionego i przewodności. Uzyskuje się to przez lokalne<br />
domieszkowanie określonych obszarów polimeru [10,57-60].<br />
Urządzenia optoelektroniczne - ich podstawy, technologia,<br />
charakteryzacja i zastosowanie - wykorzystujące polimery<br />
elektroprzewodzące są omówione w licznych publikacjach,<br />
np. [14-16, 52-54, 61,62].<br />
Czujniki i mikrosystemy na potrzeby<br />
analityki wykorzystujące polimery<br />
przewodzące<br />
Człon pomiarowy czujników chemicznych, przetwarzający<br />
wielkość chemiczną na sygnał analityczny, można wykonać<br />
w różny sposób, uczulając odpowiednio obszar czujnika<br />
będący w kontakcie z oznaczanym medium.<br />
Czujniki i bioczujniki amperometryczne<br />
Sygnałem wyjściowym w czujnikach amperometrycznych jest<br />
natężenie prądu, mierzone przy odpowiednio dobranej wartości<br />
napięcia podanego pomiędzy katodę (elektroda pracująca)<br />
wykonaną z metalu szlachetnego (platyna lub węgiel)<br />
i anodę Ag/AgCl (elektroda odniesienia) [63]. Najbardziej zna-<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 39
nym czujnikiem amperometrycznym jest tlenowa elektroda<br />
Clarka. W wyniku reakcji elektrodowej na katodzie z udziałem<br />
tlenu, elektrony są przekazywane do elektrolitu. Natężenie<br />
prądu zależy od liczby przekazywanych elektronów, a więc<br />
jest zależne linowo od stężenia tlenu. Elektroda Clarka jest<br />
wykorzystywana jako czujnik podstawowy wielu bioczujników<br />
enzymatycznych (np. glukozy), w których tlen, obok oznaczanej<br />
substancji jest substratem (np. z udziałem oksydazy<br />
glukozowej unieruchomionej na elektrodzie pracującej). Wartość<br />
napięcia charakterystycznego dla danej substancji, przy<br />
którym zachodzi reakcja enzymatyczna może być zmieniona<br />
przez odpowiedni dobór mediatora [29-35].<br />
Znacznie większe możliwości, niż amperometria stałonapięciowa<br />
daje woltametria cykliczna (CV - Cyclic Voltametry).<br />
Jest to jedna z podstawowych metod stosowanych w elektrochemii,<br />
polegająca na podawaniu, pomiędzy elektrodę pracującą<br />
i referencyjną, cyklicznie zmieniającego się liniowo<br />
napięcia. Na podstawie uzyskanego woltamogramu, tj. zależności<br />
prądu od potencjału polaryzacji elektrody roboczej<br />
można określić potencjał utleniania (anodowy) i amplitudę<br />
piku prądu utleniania oraz potencjał redukcji (katodowy) i prąd<br />
piku, których wartości wynikają z reakcji elektrodowych zachodzących<br />
na elektrodzie pracującej. Materiał tej elektrody<br />
jest tak dobrany, aby zapewnić detekcję określonej substancji.<br />
Wartości wymienionych potencjałów pozwalają określić rodzaj<br />
substancji, a amplituda piku prądu utleniania lub redukcji<br />
- jej stężenie [64].<br />
Cykliczne powtarzanie zmieniającego się napięcia, również<br />
najczęściej liniowo, może być wykorzystane do polimeryzacji<br />
i osadzania materiałów elektroaktywnych na<br />
powierzchni elektrody roboczej (elektropolimeryzacja CV).<br />
W tabeli 1. przedstawiono przykłady wybranych czujników<br />
amperometrycznych składników cieczy, w których na elektrodzie<br />
pracującej zastosowano polimery przewodzące.<br />
Przykłady bioczujników amperometrycznych składników<br />
cieczy z polimerami przewodzącymi i receptorami biologicznymi<br />
naniesionymi na elektrodę pracującą, wybrane z dużej<br />
Tab. 1. Czujniki amperometryczne składników cieczy z polimerami przewodzącymi<br />
Tabl. 1. Conducting polymer amperometric sensors of liquid components<br />
NH 4<br />
+<br />
H 2 O 2<br />
Analit Polimer, (receptor), wykonanie Publ.<br />
Katecholaminy<br />
Pestycydy<br />
3 rodzaje<br />
NADH<br />
Lipaza<br />
Białka, Lizozym<br />
PANi domieszkowany kopolimerem polisulfanionu<br />
styrenu i kwasu elaninowego<br />
(PSSMA); elektropolimeryzacja CV<br />
polianilina domieszkowana elektrochemicznie<br />
kwasem ferrocenosulfonowym<br />
poli(3-metylotiofen), elektropolimeryzacja<br />
CV i stałonapięciowa<br />
PANi, PPy nanoszone na nanorurki techniką<br />
elektropolimeryzacji<br />
Elektroda węglowa; PANi domieszkowany<br />
polietylenodioksytiofenem; elektropolimeryzacja<br />
CV<br />
PANi, elektropolimeryzacja CV, elektroda<br />
węglowa<br />
elektroda platynowa; PPy domieszkowany<br />
polikwasem aminofenyloborowym, elektropolimeryzacja<br />
CV<br />
35<br />
65<br />
66<br />
67<br />
68<br />
69<br />
70<br />
Tab. 2. Bioczujniki amperometryczne składników cieczy z polimerami przewodzącymi<br />
Tabl. 2. Conducting polymer amperometric sensors of liquid components<br />
Analit Polimer, wykonanie Receptor biologiczny, wykonanie Publ.<br />
Glukoza<br />
Elektroda Ag; Kopolimer 3-metylotiofen/tiofen-<br />
3 octowy; elektropolimeryzacja<br />
GOD unieruchamiana elektrochemicznie na kopolimerze;<br />
mediator: p-benzochinon<br />
71<br />
Glukoza<br />
Elektroda Pt; PPy, domieszkowanie: polianion/poli(glikol<br />
etylenowy) (PEG); elektropolimeryzacja stałonapięciowa<br />
GOD unieruchamiana chemicznie na strukturze PEG<br />
/polyanion/kwas poliakryloamidometylopropano sulfonowy<br />
(AMPS)<br />
72<br />
Glukoza<br />
Elektroda węglowa; kompozyt: nanodrucików PPy<br />
elektropolimeryzacja stałonapięciowa i nanocząstek<br />
Pt - CV<br />
GOD unieruchamiany elektrochemicznie (CV); zastosowany<br />
nieprzewodzący poli(ortoaminofenol)<br />
73<br />
Glukoza Laktoza<br />
Galaktoza<br />
Elektroda Pt, PPy domieszkowany polyanion/PEG;<br />
elektropolimeryzacja stałonapięciowa<br />
Oksydazy: glukozowa, laktozowa, galaktozowa unieruchamiane<br />
chemicznie poprzez PEG na AMPS<br />
74<br />
Cholesterol<br />
Elektroda Pt, stałonapięciowa elektropolimeryzacja<br />
PPy,<br />
Esteraza i oksydaza cholesterolowa elektrochemicznie<br />
unieruchamiane na PPy<br />
75<br />
Cholina<br />
Elektroda węglowa; poli(kwas 3-karboksytertiofenowy);<br />
elektropolimeryzacja CV;<br />
Dwa rozwiązania: (1) oksyd. cholinowa, (2) oksyd.<br />
cholinowa/peroksydaza chrzanowa<br />
76<br />
Mocznik<br />
Elektroda szklana pokryta tlenkiem indu i cyny; porowaty<br />
kopolimer poli(N-3-aminopropylopyrol-pyrol)<br />
Ureaza unieruchomiona chemicznie 77<br />
40 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
liczby rozwiązań omówionych w literaturze, przedstawiono<br />
w tab. 2.Przegląd bioczujników amperometrycznych, wykorzystujących<br />
polimery przewodzące przedstawiono w [78].<br />
Czujniki i bioczujniki potencjometryczne<br />
W czujnikach (elektrodach) potencjometrycznych sygnałem wyjściowym<br />
jest różnica potencjałów między analizowaną cieczą<br />
(elektrolitem), a membraną czułą chemicznie tego czujnika. Nowoczesnymi<br />
rozwiązaniami tych czujników, umożliwiającymi ich<br />
znaczną miniaturyzację są tranzystory polowe czułe na jony<br />
(ISFET-y). Wykonanie membrany czułej chemicznie z polimeru<br />
przewodzącego wykazującego właściwości jonowymienne lub<br />
umożliwiającego unieruchamianie jonoforów prowadzi do rozszerzenia<br />
możliwości konstrukcyjnych czujników potencjometrycznych.<br />
Przykładowe rozwiązania tego rodzaju czujników<br />
omówiono w podanych publikacjach, stosując schemat: numer<br />
publikacji, analit, zastosowany polimer i jonofor (o ile występuje):<br />
[79], Ca 2+ , polianilina (PANi) domieszkowana fosforanem<br />
bis[4-(1,1,3,3-tetrametylobutyl)fenylu]; [80], pH, PVC-PPy; [81],<br />
pH, kompozyt szkło/PPy-Nafion; [82], pH, PPy; [83], K + , Na + ,<br />
PPy-PCV, walinomycyna, jonofor sodu - ETH 227; [84] K + ,<br />
Ca 2+ , poli(3,4-etylenodioksytiofen) (PEDOT) domieszkowany<br />
jonami poli(4-styrenosulfonianu); [85], Cl -1 , (PEDOT) domieszkowany<br />
HCl; [86], Ag + , poli(3-oktylotiofen), jonofor<br />
srebra - cyklofan.<br />
Tranzystorom czułym na jony, w których zastosowano polimery<br />
przewodzące, poświęcono m.in. prace: [87] - pomiar<br />
pH, gdzie zastosowano kopolimer poli (para-fenule-winylen);<br />
[88] - pomiar NH 3 (gaz), z użyciem PANi domieszkowanego<br />
kwasem kamforowosulfonowym.<br />
Bioczujniki potencjometryczne, podobnie jak bioczujniki<br />
amperometryczne, uzyskuje się przez naniesienie receptora<br />
biologicznego na obszar czuły chemiczne. Dużą grupę stanowią<br />
tu bioczujniki enzymatyczne. Przedstawiono je w podobny<br />
sposób jak poprzednio (analit, materiał elektrody, enzym): [89],<br />
mocznik, kopolimer poli(N-3-aminopropylo pirolowy), ureaza;<br />
[90] mocznik, BSA/PPy, ureaza [91], kreatynina, PANi, kreatyninaza<br />
i kreatynaza; [92], kwas askorbinowy, PPy, oksydaza<br />
askorbinowa; [93], pestycydy, PANi, cholinoesteraza. Tranzystorowy<br />
bioczujnik glukozy, omówiony w [94], wykonano<br />
jako układ całkowicie polimerowy, w którym użyto polimeru<br />
poli(3,4-etylenodioksythiofen) domieszkowanego poli(sulfonianem<br />
styrenu) (PEDOT:PSS). Przegląd rozwiązań i zastosowań<br />
w analityce tranzystorowych bioczujników<br />
polimerowych (typu EnFET) jest przedstawiony w [95].<br />
Czujniki chemiczne i bioczujniki rezystancyjne<br />
W czujnikach rezystancyjnych zawierających polimery przewodzące<br />
wykorzystuje się omówioną wcześniej zależność ich<br />
rezystancji od oddziaływania analitów w postaci gazów, par i<br />
składników cieczy. Mogą to być układy stałoprądowe i zmiennoprądowe.<br />
W drugim przypadku, wielkością mierzoną może<br />
byc impedancja lub jej składowe wyznaczane dla różnych<br />
częstotliwości (spektroskopia impedancyjna).<br />
Przykłady rezystancyjnych czujników gazów i par wykorzystujących<br />
polimery przewodzące przedstawiono stosując<br />
wcześniej podaną zasadę (nr publikacji, analit, polimer): [96],<br />
pary etanolu, PPy; [97], pary acetonu, domieszkowany PPy<br />
(badanie 7 rodzajów domieszek anionowych); [40], selektywność<br />
pomiaru NO x , PPy (1-10%)/ZnO; [98], para wodna,<br />
poli(fenylenowinylen) domieszkowany LiClO 4 i LiCl.<br />
Literatura odnosząca się do enzymatycznych bioczujników<br />
składników cieczy jest mniej liczna. Można tu<br />
przykładowo wymienić publikację [99].<br />
Czujniki i bioczujniki optoelektroniczne<br />
Polimery przewodzące znajdują coraz szersze zastosowanie<br />
do budowy optycznych czujników chemicznych i bioczujników<br />
enzymatycznych [100]. Jest to bardzo rozległa dziedzina, wymagająca<br />
specjalistycznej wiedzy. Czujniki te nie będą omawiane<br />
w niniejszym opracowaniu.<br />
Bioczujniki immunologiczne i DNA<br />
Choroby o podłożu odpornościowym są powszechne, co<br />
zwiększa zapotrzebowanie na tego rodzaju bioczujniki. Otrzymuje<br />
się je przez unieruchomienie przeciwciał lub antygenów<br />
w obszarze czułym chemicznie wybranego przetwornika analitycznego.<br />
Przykładowo można tu wymienić immunologiczne<br />
czujniki amperomertryczne [101], rezystancyjne (impedancyjne)<br />
[102] i optyczne [103,104].<br />
Znaczna liczba chorób ma podłoże genetyczne. Stąd istnieje<br />
potrzeba analiz DNA. Istnieje wiele metod przeprowadzania<br />
takich analiz, w których wykorzystuje się różnego<br />
rodzaju urządzenia, zawierające bioczujniki, np. (1) optyczne<br />
(światłowody, mikromacierze DNA, złote jako nośniki fragmentów<br />
DNA, kropki kwantowe); (2) piezoelektryczne (czujniki<br />
masowe); (3) elektrochemiczne (ze znacznikami<br />
enzymatycznymi i immunologicznymi i bez znaczników); (4)<br />
rezystancyjne oraz (5) z nanokulkami magnetycznymi z unieruchamianymi<br />
na nich fragmentami DNA [44,105].<br />
Mikrosystemy w diagnostyce analitycznej<br />
W celu zapewnienia możliwości tanich i szybkich pomiarów<br />
małych próbek analitycznych (miniaturyzacja), możliwie<br />
w sposób ciągły i zautomatyzowany, np. w warunkach terenowych,<br />
a w odniesieniu do diagnostyki medycznej, gdy są<br />
konieczne pomiary w warunkach in vivo, albo przy łóżku pacjenta<br />
są opracowywane mikrosystemy do całościowej analizy<br />
chemicznej (µTAS - Micro Total Analysis System), dla których<br />
przyjęto również nazwę lab-on-a-chip. Najczęściej są to<br />
układy przepływowe, w których zintegrowano najważniejsze<br />
bloki funkcyjne takie jak: (1) blok pobierania, transportu próbki:<br />
mikropompy, mikrozawory, człon zawierający kanały mikroprzepływowe,<br />
(2) blok wstępnego przygotowania próbki:<br />
mieszalnik, reaktor, człon do rozcieńczania próbki, (3) blok detekcji<br />
w postaci czujników chemicznych i biochemicznych oraz<br />
(4) blok przetwarzania sygnałów pomiarowych.<br />
Tradycyjnymi materiałami konstrukcyjnymi, najczęściej<br />
wykorzystywanymi do budowy tych urządzeń, są krzem i polimery<br />
nasycone. Szczególnie ważną rolę w układach typu<br />
µTAS spełnia blok detekcji, w którym można stosować omówione<br />
wcześniej czujniki i bioczujniki chemiczne wykorzystujące<br />
polimery przewodzące. Zaawansowane prace<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 41
konstrukcyjne i technologiczne, odnoszące się do tych polimerów,<br />
mają na celu wykonanie miniaturowych mechanicznych<br />
elementów wykonawczych (aktuatorów) [106,107];<br />
wytwarzanie, z użyciem fotolitografii, miniaturowych struktur<br />
(warstwy funkcyjne, kontakty elektryczne, mikrokanały) [108-<br />
110], czy też integracja różnych podukładów funkcyjnych<br />
[111,112], dają duże perspektywy szerszego wykorzystania<br />
polimerów przewodzących w układach lab-on-a-chip.<br />
Polimery przewodzące można wykorzystywać jako biomateriały<br />
zapewniające biokompatybilność urządzeń wszczepianych<br />
do organizmu lub będące z nim w bezpośrednim<br />
kontakcie [45,113-116]. Są to m.in. następujące zastosowania:<br />
(1) bioczujniki wszczepialne do organizmu, (2) inżynieria<br />
tkankowa - materiały na sztuczne mięśnie, biodegradowalne,<br />
mające właściwości stymulujące regenerację tkanek, (3) elektrody<br />
do stymulacji neuronów, wszczepialnych do mózgu, (4)<br />
wszczepialne mikrodozowniki leków z kontrolowanym uwalnianiem<br />
ich do organizmu.<br />
Podsumowanie<br />
Podsumowując można stwierdzić, że obserwowany w ostatnim<br />
okresie rozwój technologii polimerów przewodzących i<br />
technologii elektronicznych sprawił, iż polimery te są już stosowane<br />
w wielu dziedzinach techniki, a w technice sensorowej<br />
dla potrzeb diagnostyki analitycznej będą jeszcze przez<br />
wiele lat materiałami umożliwiającymi poprawę parametrów<br />
czujników, bioczujników i innych urządzeń, w tym miniaturyzację<br />
zautomatyzowanych systemów pomiarowych wielu wielkości<br />
biochemicznych i biofizycznych.<br />
Literatura<br />
[1] J. McMurry, Chemia organiczna, Tomy 1-5, PWN, 2007.<br />
[2] Z. Floriańczyk, S. Pęczek (red.), Chemia Polimerów, Tomy 1-3,<br />
Oficyna Wydawnicza Pol. Warszawskiej, 2002.<br />
[3] A. G. MacDiarmid, Synthetic metals: a novel role for organic<br />
polymers, Synthetic Metals, 125, 2002, 11-22.<br />
[4] H. Shirakawa, E. J. Louis, A. G. MacDiarmid, C. K. Chiang,<br />
A. J. Heeger, J. Chem. Soc. Chem. Comm., 1977, 579.<br />
[5] C. K. Chiang, C. R. Fischer, Y. W. Park, A. J. Heeger, H. Shirakawa,<br />
E. J. Louis, S. C. Gau and A. G. MacDiarmid , Phys.<br />
Rev. Letters, 39, 1977, 1098.<br />
[6] J. Hennel, Podstawy elektroniki półprzewodnikowej, WNT, Warszawa,<br />
2003.<br />
[7] S. Yang, P. Olishevski, M. Kertesz, , Synthetic Metals, 141,<br />
2004, 171-177.<br />
[8] P.K. Kahol J. C. Ho, Y. Y. Chen, C. R. Wang, S. Neeleshwar,<br />
C.B. Tsai, B. Wessling, , Synthetic Metals, 151, 2005, 65-72.<br />
[9] C. H. Ho, Ch. D. Liu, Ch. H. Hsieh, K. H. Hsieh, S. N. Lee, Synthetic<br />
Metals, 158, 2008, 630-637.<br />
[10] N. Karl, Synthetic Metals, 133-134, 2003, 649-657.<br />
[11] L. Li, G. Meller, H. Kosina, Synthetic Metals, 157, 2007, 243-<br />
246.<br />
[12] X. Liu, K.Gao, Y. Li, J. Fu, J. Wei, Sh. Xie, Synthetic Metals,<br />
157, 2007, 380-385.<br />
[13] S. Brazovski, N. Kirova, Synthetic Metals, 125, 2002, 129-138.<br />
[14] D. Moses, J. Wang, A. J. Heeger, N. Kirova, S. Brazovski, Synthetic<br />
Metals, v. 125, 2002, 93-98.<br />
[15] N. Kirova, Synthetic Metals, 152, 2005, 313-316.<br />
[16] J. Liu, Y. Zhang, Sh. Suna, J. Tang, Synthetic Metals, 157,<br />
2007, 134-137.<br />
[17] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />
Metals, 156, 2006, 1203-1207.<br />
[18] H. Wu, T. W. Odom, D. T. Chiu, G. M. Whitesides, J. Am. Chem.<br />
Soc., 125, No. 2, 2003, 554-559.<br />
[19] V. N. Prigodin, J. D. Bergeson, D. M. Lincoln, A. J. Epstein,<br />
Synthetic Metals, 156, 2006, 757-761.<br />
[20] X. Wu, X. Wang, J. Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />
176-181.<br />
[21] M. Jouini, M. Lazerges, S. Chelly, M. Billon, C. Lombard,<br />
B. Pepin-Donat, C. Pernelle, Synthetic Metals, 158, 2008,<br />
681-683.<br />
[22] V. N. Prigodin, J. D. Bergeson, D. M. Lincoln, A. J. Epstein,<br />
Synthetic Metals, 156, 2006, 757-761.<br />
[23] X. Wu, X. Wang, Ji Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />
176-181.<br />
[24] X. Wu, X. Wang, J. Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />
182-185.<br />
[25] M. Jouini, M. Lazerges, S. Chelly, M. Billon, C. Lombard,<br />
B. Pepin-Donat, C. Pernelle, Synthetic Metals, 158, 2008, 681-<br />
683.<br />
[26] F. Vidal, C. Plesse, G. Palaprat, A. Kheddar, J. Citerin, D. Teyssié,<br />
C. Chevrot, Synthetic Metals, 156, 2006, 1299-1304.<br />
[27] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />
Metals, v. 156, 2006, 1203-1207.<br />
[28] M. Rhee, M. A. Burns, Lab on a Chip, 8, 2008, 1365-1373.<br />
[29] Y. Yoshioka, G. E. Jabbour, 156, 2006, 779-783.<br />
[30] S. Zhang, G. Wright, Y. Yang, Biosensors and Bioelectronics,<br />
15, 2000, 273-282.<br />
[31] A. Kossakowska, D. G. Pijanowska, W. Torbicz, <strong>Elektronika</strong>, nr<br />
5, 2008, 113-118.<br />
[32] A. Kossakowska, D.G. Pijanowska, J. Kruk, W. Torbicz, Polish<br />
Journal of Chemistry, 82, nr 6, 2008, 1273-1281.<br />
[33] A. Chaubey, B. D. Malhotra, Biosensors and Bioelectronics, 17,<br />
2002, 441-456.<br />
[34] S. S. Razola, B. L. Ruiz, N. M. Diezc, H. B. Mark, Jr, J. M. Kauffmann,<br />
Biosensors and Bioelectronics, 17, 2002, 921-928.<br />
[35] Y. Ch. Luo, J. Sh Do, Sensors and Actuators B, 115, 2006,<br />
102-108<br />
[36] C. Jérôme, L. Martinot, R. Jérôme, Synthetic Metals, 105,<br />
1999, 65-71.<br />
[37] S. Carquigny, O. Segut, B. Lakard, F. Lallemand, P. Fievet,<br />
Synthetic Metals, 158, 2008, 453-461.<br />
[38] T. Lindfors, A. Ivaska, Anal. Chim. Acta, 437, 2001, 171-182.<br />
[39] L. Ruangchuay, A. Sirivat, J. Schwank, Synthetic Metals, 140,<br />
2004, 15-21.<br />
[40] L. Geng, Y. Zhao, X. Huang, Sh. Wang, Sh. Zhang, W. Huang,<br />
Sh. Wu, Synthetic Metals, 156, 2006, 1078-1082.<br />
[41] A. Wu, E.C. Venancio, A.G. MacDiarmid, Synthetic Metals, 157,<br />
2007, 303-310.<br />
[42] T. Ahuja, I.A. Mir, D. Kumar, Rajesh, Biomaterials, 28, 2007,<br />
791-805.<br />
[43] F.R.R. Teles, L.P. Fonseca, Materials Science and Engineering<br />
C, 28, 2008, 1530-1543<br />
[44] M. Gerard, A. Chaubey, B. D. Malhotra, Biosensors and Bioelectronics,<br />
17, 2002, 345-359.<br />
[45] N. K. Guimard, N. Gomez, Ch. E. Schmidt, Prog. Polym. Sci.,<br />
32, 2007, 876-921.<br />
[46] R. B. Kaner, Synthetic Metals, 125, 2002, 65-71.<br />
[47] G. Min, Synthetic Metals, 153, 2005, 49-52.<br />
[48] P. Sivaraman, S. K. Rath, V. R. Hande, A. P. Thakur, M. Patri,<br />
A. B. Samui, Synthetic Metals, 156, 2006, 1057-1064.<br />
[49] Z. Liu, W. Guo, D. Fu, W. Chen, Synthetic Metals, 156, 2006,<br />
414-416.<br />
[50] T. G. Bäcklund, H. G. O. Sandberg, R. Österbacka, H. Stubb,<br />
T. Mäkelä, S. Jussila, Synthetic Metals, 148, 2005, 87-91.<br />
[51] M. S. Lee, H. S. Kang, H. S. Kang, J. Joo, A. J. Epstein,<br />
J. Y. Lee, Thin Solid Films, 477, 2005, 169- 173.<br />
[52] J. H. Lee, D. H. Hwang, Polymer light-emitting diode using<br />
a new trialkoxyalkyl substituted PPV derivative, Synthetic Metals,<br />
158, 2008, 273-277.<br />
[53] E. Itoh, I. Torres, C. Hayden, D.M. Taylor, Synthetic Metals,<br />
156, 2006, 129-134.<br />
[54] H. D. Bauer, W. Ehrfeld, M. Harder, T. Paatzsch, M. Popp,<br />
I. Smaglinski, Synthetic Metals, 115, 2000, 13-20.<br />
42 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
[55] P. Ch. Wang, A. G. MacDiarmid, Displays, 28, 2007, 101-104.<br />
[56] R. Mannerbro, M. Ranlöf, N. Robinson, R. Forchheimer, Synthetic<br />
Metals, 158, 2008, 556-560.<br />
[57] T. G. Bäcklund, H. G. O. Sandberg, R. Österbacka, H. Stubb,<br />
T.Mäkelä, S. Jussila, Synthetic Metals, 148, 2005, 87-91.<br />
[58] S. Ch Lim, S. H. Kim, J. H. Lee, M. K. Kim, D. J. Kim, T. Zdung,<br />
Synthetic Metals, 148, 2005, 75-79.<br />
[59] L. A. Majewski, M. Grell, Synthetic Metals, 151, 2005, 175-179.<br />
[60] R. Şahingöz, H. Kanbur, M. Voigt, C. Soykan, Synthetic Metals,<br />
v. 158, 2008, 727-731.<br />
[61] F. Yakuphanoglu, Synthetic Metals, 157, 2007, 859-862.<br />
[62] K. Ch. Tang, Sh. R. Tseng, W.Sh. Li, H. F. Meng, Sh. F. Horng,<br />
Ch. Sh. Hsu, Synthetic Metals, 158, 2008, 287-291.<br />
[63] B. R. Eggins, Chemical Sensors and Biosensors, Analytical<br />
Techniques in the Sciences, Viley-VCH, 2002.<br />
[64] J. Wang, Analytical Electrochemistry, Wiley-VCH, 2006.<br />
[65] Y. Yang, Sh. Mu, Biosensors and Bioelectronics, 21, 2005,<br />
74-78.<br />
[66] A. Kelley, B. Angolia, I. Marawi, J. Solid State Electrochem.,<br />
10, 2006, 397-404.<br />
[67] P. Manisankar, P. L. A. Sundari, R. Sasikumar, S. P. Palaniappan,<br />
Talanta, 76, 2008, 1022-1028.<br />
[68] A. Balamurugan, Shen-Ming Chen, Sensors and Actuators B,<br />
129, 2008, 850-858.<br />
[69] A. Kumar, G. Whitaker, A. Kumar, Biosensors and Bioelectronics,<br />
21, 2005, 513-517.<br />
[70] J. Rick, T. Ch. Chou, Biosensors and Bioelectronics, 22, 2006,<br />
329-335.<br />
[71] T. Kuwahara, K. Oshima, M. Shimomura, S. Miyamuchi, Synthetic<br />
Metals, 152, 2005, 29-32.<br />
[72] W. J. Sung, Y. H. Bae, Biosensors and Bioelectronics, 18, 2003,<br />
1231-1239.<br />
[73] J. Li, X. Lin, Biosensors and Bioelectronics, 22, 2007, 2898-<br />
2905.<br />
[74] W. J. Sung, Y. H. Bae, Sensors and Actuators B, 114, 2006,<br />
164-169.<br />
[75] S. Singh, A. Chaubey, B. D. Malhotra, Analytica Chimica Acta,<br />
502, 2004, 229-234.<br />
[76] Md. A. Rahman, D. S. Park, Y. B. Shim, Biosensors and Bioelectronics,<br />
19, 2004, 1565-1571.<br />
[77] Rajesh, V. Bisht, W. Takashima, K. Kaneto, Biomaterials, 26,<br />
2005, 3683-3690.<br />
[78] J. C. Vidal, E. Garcia-Ruiz, J. R. Castillo, Microchim. Acta, 143,<br />
2003, 93-111.<br />
[79] F. Hide, B. J. Schwartz, M. A. Diaz-Garcia, A. J. Heeger, Synthetic<br />
Metals, 91, 1997, 35-40.<br />
[80] C. Masalles, S. Borrós, C. Viñas, F. Teixidor, Anal Bioanal<br />
Chem., 372, 2002, 513-518.<br />
[81] H. Jahn, H. Kaden, Microchim. Acta, 146, 2004,173-180.<br />
[82] B. Lakard, O. Segut, S. Lakard, G. Herlem, T. Gharbi, Sensors<br />
and Actuators B, 122, 2007, 101-108.<br />
[83] A. Michalska, A. Hulanicki, A. Lewenstam, Microchemical Journal,<br />
57, 1997, 59-64.<br />
[84] A. Michalska, K. Maksymiuk, Analytica Chimica Acta, 523,<br />
2004, 97-105.<br />
[85] P. Sjöberg-Eerola, J. Bobacka, A. Lewenstam, A. Ivaska, Sensors<br />
and Actuators B, 127, 2007, 545-553.<br />
[86] M. Vázquez, J. Bobacka, A. Ivaska, J. Solid State Electrochem.,<br />
9, 2005, 865-873.<br />
[87] P. Pistor, V. Chu, D. M. F. Prazeres, J. P. Conde, Sensors and<br />
Actuators B, 123, 2007, 153-157.<br />
[88] A. Saheb, M. Josowicz, J. Janata, Anal. Chemistry, 80 2008,<br />
4214-4219.<br />
[89] R. V. Bisht, W. Takashima, K. Kaneto, 62, 2005, 51-59.<br />
[90] T. Ahuja, I. A. Mir, D. Kumar, Rajesh, Sensors and Actuators B,<br />
134, 2008, 140-145.<br />
[91] P. C. Pandey, A. P. Mishra, Sensors and Actuators B, 99, 2004,<br />
230-235.<br />
[92] J. Ch. Chou, , Y. H. Tsai, Ch. Ch. Chen, IEEE Sensors J. 8, no<br />
9, 2008, 171-1577.<br />
[93] A. N. Ivanov, G. A. Evtugyn, Lilia V. Lukachova, Elena E. Karyakina,<br />
H. C. Budnikov, S. G. Kiseleva, A. V. Orlov, G. P. Karpacheva,<br />
and Arkady A. Karyakin, IEEE Sensors J. 3, no 3,<br />
2003, 333-340.<br />
[94] J. Liu, M. Agarwal, K. Varahramyan, Sensors and Actuators B,<br />
135, 2008, 195-199.<br />
[95] C. Bartic, G. Borghs, Anal. Bioanal. Chem. 384, 2006, 354-365.<br />
[96] G. Jin, J. Norrish, Ch. Too, G. Wallace, Current Applied Physics,<br />
4, 2004, 366-369.<br />
[97] L. Ruangchuay, A. Sirivat, J. Schwank, Synthetic Metals, 140,<br />
2004, 15-21.<br />
[98] K. Liu, Y. Li, L. Hong, M. Yang, Sensors and Actuators B, 129,<br />
2008, 24-29.<br />
[99] Ch. Esseghaier, S. Helali, H. Ben Fredj, A. Tlili, A. Abdelghani,<br />
Sensors and Actuators B, 131, 2008, 584-589.<br />
[100] M. J. O’Connell, C. K. Ch., W. Li, R. K. Hicks, S. K. Doorn,<br />
H. L. Wang, Polymer, 48, 2007, 7582-7589.<br />
[101] K. Singh, Md. A. Rahmanb, J.I. Son, K. Ch. Kim, Y. B. Shim,<br />
Biosens. and Bioelectronics, 23, 2008, 1595-1601.<br />
[102] Ch. Esseghaier, S. Helali, H. B. Fredj, A. Tlili, A. Abdelghani,<br />
Sensors and Actuators B, 131, 2008, 584-589.<br />
[103] Ch. R. Taitt, G. P. Anderson, F. S. Ligler, Biosens. and Bioelectronics,<br />
20, 2005, 2470-2487<br />
[104] W. Hu, Ch. M. Li, Hua Dong, Analytica Chimica Acta, 630,<br />
2008, 67-74.<br />
[105] F. R. R. Teles, L. P. Fonseca, Talanta, 77, 2008, 606-623.<br />
[106] E. Smela, W. Lu, B. R. Mattes, Synthetic Metals, 151, 2005,<br />
25-42.<br />
[107] E. Smela, B. R. Mattes, Synthetic Metals, 151, 2005, 43-48.<br />
[108] W. Prissanaroon, N. Brack, P. J. Pigram, P. Hale, P. Kappen,<br />
J. Liesegang, Thin Solid Films, 477, 2005, 131- 139.<br />
[109] E. Itoh, I. Torres, C. Hayden, D. M. Taylor, Synthetic Metals,<br />
156, 2006, 129-134.<br />
[110] S. B. Prakash, M. Urdaneta, M. Christophersen, E. Smela,<br />
P. Abshire, Sensors and Actuators B, 129, 2008, 699-704.<br />
[111] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />
Metals, 156, 2006, 1203-1207.<br />
[112] A. Chakraborty, X. Liu, G. Parthasarathi, Ch. Luo, Microsyst.<br />
Technol., 13, 2007, 1175-1184.<br />
[113] H. I. Kim, S. J. Park, S. I. Kim, N. G. Kim, S. J. Kim, Synthetic<br />
Metals, 155, 2005, 674-676.<br />
[114] R. A. Green, N. H. Lovell, G. G. Wallace, L. A. Poole-Warren,<br />
Biomaterials, 29, 2008, 3393-3399.<br />
[115] J. F. Wang, X. Y. Liu, B. Luan, J. of Materials Processing Technology,<br />
197, 2008, 428-433.<br />
[116] S. Geetha, Chepuri R. K. Rao, M. Vijayan, D. C. Trivedi, Analytica<br />
Chimica Acta, 568, 2006, 119-125.<br />
Przypominamy o prenumeracie miesięcznika <strong>Elektronika</strong> na <strong>2009</strong> r.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 43
Rola modułów dialogowych w tworzeniu profilów<br />
osobowych uczestników szkoleń e-learningowych<br />
mgr WOJCIECH PRZYŁUSKI<br />
<strong>Instytut</strong> Maszyn Matematycznych<br />
Moduły dialogowe<br />
Modułem dialogowym jest nazywany taki fragment kursu<br />
e-learningowego, w którym następuje wymiana informacji<br />
(na ogół w języku naturalnym) pomiędzy kursantem, a systemem<br />
sterującym. Ta wymiana może dotyczyć dwóch typów<br />
zagadnień. Z jednej strony to m.in.: preferencje edukacyjne<br />
osoby szkolonej, jej stan wiedzy i postęp w szkoleniu oraz<br />
różnorakie możliwości i potrzeby, czyli to wszystko, co<br />
łącznie określić można jako profil kursanta. Z drugiej strony<br />
to m.in.: planowany przebieg e-kursu, sposób i poziom zaliczenia<br />
jego fragmentów oraz całego szkolenia, zasoby edukacyjne<br />
kursu wraz z zasadami ich wykorzystywania, czyli<br />
informacje które interesują osobę szkoloną bowiem składają<br />
się na szeroko rozumianą charakterystykę e-kursu. Dalsza<br />
część artykułu jest poświęcona zagadnieniom związanym<br />
z tworzeniem profilu kursanta.<br />
Tendencje rozwoju e-learningu wskazują, że w e-kursach<br />
moduły dialogowe mogą odegrać ważną rolę. W pracy [1]<br />
o problemach i kierunkach zdalnego nauczania można przeczytać<br />
diagnozę (fragment): Personalizacja procesu<br />
kształcenia, czy to przez adaptacyjny przebieg e-kursu, czy<br />
też przez możliwość budowania z dostępnego kontentu<br />
własnego programu szkolenia „self paced”, musi obejmować<br />
monitorowanie i ocenę poziomu nabywanej lub nabytej wiedzy.<br />
Wraz z oceną skutków szkolenia, ocenie (ewaluacji)<br />
musi podlegać kontent oraz organizacja procesu zdalnego<br />
kształcenia. Wydaje się, że dominującym nurtem we<br />
współczesnym e-learningu jest troska o jakość i skuteczność<br />
zdalnego kształcenia oraz o wiarygodność oceniania,<br />
zwłaszcza w tych instytucjach i organizacjach, które wydają<br />
certyfikaty i dyplomy.<br />
W tym kontekście wydaje się, że rola personalizacji nauczania<br />
(a zatem i modułów dialogowych) w e-kursach może<br />
być dwojaka: emocjonalna (psychologiczna) i merytoryczna.<br />
Emocjonalna oznacza, że właściwie przygotowane moduły<br />
dialogowe umieszczone w odpowiednich miejscach w e-kursie<br />
i uruchomione w stosownym czasie mogą sprawić, że<br />
kursant poczuje się dowartościowany faktem traktowania go<br />
w sposób indywidualny. Będzie miał świadomość, że<br />
„ścieżka”, którą podąża w e-kursie jest unikalna i specjalnie<br />
dla niego dobrana. Rola merytoryczna oznacza, że celem<br />
działania modułów dialogowych jest określenie profilów osobowości<br />
i stanu wiedzy kursantów oraz przechowanie tych<br />
informacji w systemie tak, aby mogły być wykorzystane do<br />
doboru najlepszej metody szkolenia i oceny kursanta czyli<br />
do inteligentnego nauczania. Ta baza wiedzy dotycząca profilu<br />
użytkownika może też być wykorzystana do konstruowania<br />
kolejnych modułów dialogowych danego e-kursu.<br />
Kurs e-learningowy jest prawie zawsze przeznaczony dla<br />
większej liczby odbiorców. Musi więc być uniwersalny i jeśli<br />
ma dobrze wypełnić swoje zadania edukacyjne, powinien<br />
uwzględniać różnice intelektualne i rozmaite predyspozycje<br />
poszczególnych kursantów. Te różnice pomiędzy kursantami<br />
nie powinny utrudnić, ale wręcz przeciwnie ułatwić proces<br />
kształcenia. Warto tu może przytoczyć słowa Stevena Levy,<br />
wielokrotnego zdobywcy tytułu „nauczyciel roku” w USA: słowo<br />
„edukacja” wywodzi się od „educere”, co znaczy „wyciągnąć,<br />
wydobywać”. Uczeń nie jest zatem pustym naczyniem, COŚ<br />
już w nim jest i czeka na odkrycie. Tak więc głównym rezultatem<br />
użycia modułów dialogowych jest określenie profilu kursanta<br />
w tym ocena skutków szkolenia (cząstkowa i końcowa),<br />
a rezultatem ubocznym - choć mającym istotne znaczenie -<br />
jest utwierdzenie w świadomości kursanta faktu, że jest unikalnym<br />
podmiotem procesu kształcenia.<br />
Warto podkreślić, że nie należy w żadnym wypadku lekceważyć<br />
emocjonalnej roli modułów dialogowych. Jest rzeczą<br />
znaną, że uczeń potraktowany indywidualnie często osiąga<br />
bardzo dobre wyniki w nauce, mimo iż przedtem anonimowo<br />
w grupie uczył się miernie. Z drugiej strony, w e-learningu nie<br />
zależy specjalnie na tym, aby dialog systemu sterowania<br />
z kursantem symulował w sposób możliwie doskonały dialog<br />
z żywym człowiekiem. Kursant wie, że rozmawia z programem<br />
sterującym i ważne jest jedynie, aby ten dialog podtrzymał<br />
jego zainteresowanie e-kursem, a jednocześnie pomógł<br />
osiągnąć twórcom kursu zamierzone cele. A jeśli tak, to dialog<br />
z kursantem nie musi się odbywać wyłącznie w języku naturalnym<br />
i można go swobodnie przeplatać różnorodnymi<br />
typami pytań (ich charakter będzie dalej wyjaśniony). W takim<br />
omówimy moduły dialogowe.<br />
Opracowanie modułów dialogowych oraz odpowiednie ich<br />
wkomponowanie do e-kursu, a potem wykorzystanie, nie jest<br />
rzeczą łatwą. Przede wszystkim, twórca szkolenia musi dysponować<br />
odpowiednim środowiskiem e-learningowym, które<br />
umożliwia tworzenie i wykonywanie takich konstrukcji edukacyjnych.<br />
Jako jedno z nielicznych środowisko TeleEdu TM e-Learning<br />
Suite (w skrócie TeleEdu TM ) daje spore możliwości w tym<br />
zakresie. Więcej informacji na ten temat, a tym również porównanie<br />
możliwości tworzenia inteligentnych e-kursów w środowiskach<br />
Moodle i TeleEdu TM , znajdzie czytelnik w pracy [2].<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 44
Systemy uczące<br />
W pracy [3] poruszono wiele ciekawych aspektów dotyczących<br />
indywidualizacji procesu nauczania. Autorzy proponują<br />
wizję pewnej struktury (modelu) systemu, która<br />
umożliwia zgromadzenie informacji, dotyczących predyspozycji<br />
psychologicznych kursanta, daje możliwość ich analizy<br />
(w konsekwencji możliwość wyboru), a wreszcie realizacji najefektywniejszej<br />
w jego przypadku metody nauczania. Schemat<br />
tej struktury pokazano na rys. 1.<br />
Rys. 1. Schemat struktury systemu uczącego<br />
Fig. 1. Structure of learning system<br />
Jak piszą autorzy, jest to system z jednokierunkowym<br />
przepływem sygnałów, ale dla badań i eksperymentów warto<br />
dopuścić także możliwość sprzężeń zwrotnych.<br />
Moduł gromadzenia wiedzy o uczniu - zawiera zestaw<br />
pytań i testów, których zadaniem jest zebranie informacji o osobie<br />
uczącej się, w kontekście jej indywidualnych preferencji,<br />
upodobań i przyzwyczajeń związanych z procesem uczenia.<br />
Moduł rozpoznawania i kwalifikacji - dokonuje analizy danych<br />
zebranych w części pierwszej i podejmuje decyzję o tym,<br />
jaka metoda nauczania będzie najbardziej odpowiednia dla<br />
danego ucznia.<br />
Moduł nauczający - zawiera bogatą bazę wiedzy z danej<br />
dziedziny oraz zaprogramowane różne algorytmy przekazu<br />
tej wiedzy. W zależności od wprowadzonej bazy wiedzy<br />
możliwe jest nauczanie różnych przedmiotów, bądź różnych<br />
treści w obrębie tego samego przedmiotu.<br />
Przedstawiony model można łatwo zrealizować w środowisku<br />
TeleEdu TM , ale można również wyobrazić sobie realizację<br />
w tym środowisku innego modelu. W drzewiastej<br />
strukturze e-kursu usytuowanych jest wiele modułów dialogowych<br />
i dydaktycznych, a pomiędzy wszystkimi tymi modułami<br />
dwukierunkowy przepływ informacji. Definicje tych<br />
nowych modułów są następujące:<br />
Moduły dialogowe (moduły gromadzenia wiedzy o uczniu)<br />
- zawierają zestawy pytań i testów, których zadaniem jest zebranie<br />
informacji o osobie uczącej się, w kontekście jej indywidualnych<br />
preferencji, upodobań i przyzwyczajeń, związanych<br />
z aktualnym stanem procesu uczenia. Ponadto moduły służą<br />
do zebrania informacji o aktualnym stanie wiedzy ucznia oraz<br />
o wszelkich trudnościach związanych z procesem nauczania.<br />
Informacje te tworzą aktualny (dynamicznie zmieniający się)<br />
profil kursanta.<br />
Moduły dydaktyczne (moduły rozpoznawania i kwalifikacji<br />
oraz nauczające) - analizują i modyfikują aktualny profil kursanta<br />
oraz wykorzystują go do wyboru i realizacji najlepszej w danym<br />
momencie ścieżki edukacyjnej (m.in. najlepszej metody nauczania<br />
oraz najodpowiedniejszych treści szkoleniowych).<br />
Warto zwrócić uwagę na istotne różnice pomiędzy przedstawionymi<br />
modelami struktur systemów uczących. W modelu<br />
przedstawionym w [3] sugerowana jest pewna sekwencyjność<br />
działań: najpierw gromadzi się wiedzę o uczniu tworząc jego<br />
profil, a później na podstawie tego profilu dobiera się metodę<br />
nauczania, aby według niej przekazywać odpowiednie treści<br />
szkoleniowe.<br />
Istotą modelu drugiego jest zmultiplikowanie i rozproszenie<br />
w szkoleniu rozważanych modułów. Profil kursanta<br />
ma z założenia dynamiczny charakter. Tworzenie profilu<br />
i fragmenty nauczania przeplatają się ze sobą i mogą<br />
wpływać nawzajem na siebie. Elementem porządkującym<br />
ten układ jest jedynie drzewiasta struktura projektu całego<br />
szkolenia, w której moduły dialogowe umieszcza się w newralgicznych<br />
z dydaktycznego punktu widzenia punktach,<br />
a moduły dydaktyczne reprezentują te fragmenty szkolenia,<br />
które są realizowane w różny, spersonalizowany sposób.<br />
Warto zwrócić uwagę, że profil można też uzyskać proponując<br />
kursantowi wypełnienie na początku kursu specjalnej<br />
ankiety. Jednak byłby to profil statyczny (niezmienny). Moduły<br />
dialogowe i profil kursanta mają charakter dynamiczny.<br />
W wyniku dialogu, który może się przewijać przez cały okres<br />
trwania szkolenia, profil kursanta może być stale aktualizowany<br />
(w tym mogą być weryfikowane niektóre ze złożonych<br />
przez kursanta deklaracji). Zupełnie inną kwestią jest jak<br />
często i w jakich miejscach szkolenia profil ten jest wykorzystywany.<br />
Ponieważ TeleEdu TM umożliwia realizację zarówno pierwszego,<br />
jak i drugiego modelu, dlatego można podjąć interesujące<br />
prace (postulowane zresztą we wspomnianym już<br />
artykule [3]), zmierzające do porównania wyników nauczania<br />
w zależności od stopnia rozbudowania i sposobu wykorzystywania<br />
w procesie szkoleniowym profilu ucznia.<br />
Moduły dialogowe w TeleEduTM<br />
Więcej informacji na temat tworzenia w TeleEdu TM inteligentnych<br />
systemów uczących znajdzie czytelnik w artykułach<br />
[4,5], teraz skupimy się głównie na modułach dialogowych.<br />
Aby w TeleEdu TM tworzyć takie moduły, należy przede wszystkim<br />
posłużyć się testami.<br />
Prowadzenie dialogu w języku naturalnym umożliwiają<br />
w testach dwa mechanizmy:<br />
• pytania typu fill in blank wraz z odpowiednim systemem<br />
słów kluczowych, oraz<br />
• specjalna strategia zadawania pytań - tzw. pytania powiązane<br />
logicznie.<br />
Po wybranych fragmentach dialogu realizowanych przez<br />
test można tworzyć w TeleEdu TM (wirtualnie bądź realnie)<br />
bazę faktów, w której gromadzone są informacje istotne dla<br />
profilu kursanta, przydatne w danym e-kursie. Zestaw atrybutów<br />
tego profilu, to podstawowy wyznacznik działania modułów<br />
dialogowych danego kursu.<br />
Atrybuty można w zasadzie podzielić na trzy kategorie.<br />
Pierwsza to predyspozycje psychologiczne. Druga to aktualny<br />
stan wiedzy z zakresu dziedziny szkolenia oraz wiedzy ogólnej.<br />
Trzecia kategoria to preferencje, świadome wybory, postulaty,<br />
dane osobowe i organizacyjne.<br />
Jeśli na przykład e-kurs jest przeznaczony dla studentów<br />
historii i dotyczy historii Europy, to fragment zestawu atrybutów<br />
tworzonego profilu i ich przykładowych wartości przedstawiono<br />
w tabeli.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 45
Fragment profilu kursanta. Odcieniami szarości zaznaczono różne<br />
kategorie atrybutów<br />
Fragment of student’s profile. Different types of attributes are<br />
marked with suitable tints of grey<br />
Atrybuty profilu<br />
Preferowany styl uczenia się<br />
Styl myślenia<br />
Samodzielność<br />
Ocena stanu wiedzy z zakresu historii<br />
powszechnej<br />
Ocena stanu wiedzy z zakresu historii<br />
Europy<br />
Kategoria najczęstszych błędów<br />
Poznane osobiście kraje europejskie<br />
Znajomość języków obcych (bierna)<br />
Dodatkowe kierunki studiów<br />
Ulubiony temat historyczny<br />
Wady wzroku<br />
Hobby<br />
Wartości atrybutów<br />
wzrokowy<br />
analityczny<br />
duża<br />
Taka tabela profilu kursanta może ułatwić dobranie odpowiedniej<br />
ścieżki edukacyjnej. Ponieważ kursant nie zna języka<br />
niemieckiego przy prezentowaniu treści materiałów dotyczących<br />
II Wojny Światowej należy zadbać o tłumaczenie ważnych tekstów<br />
podawanych w języku niemieckim. Z drugiej strony tabela ta<br />
stanowi dobry punkt wyjścia do zadawania kursantowi dalszych<br />
precyzujących jego profil pytań. Przygotowując szkolenie, jego<br />
twórcy projektują wirtualną (wejściową, nadmiarową) strukturę<br />
profilu kursanta. Zawiera ona wszystkie możliwe atrybuty, które<br />
mogą ich zainteresować, w myśl zasady, że warto uzyskać tylko<br />
takie informacje o kursancie, które można wykorzystać przy dobieraniu<br />
dla niego najlepszej ścieżki edukacyjnej.<br />
W trakcie szkolenia w ramach modułów dialogowych<br />
struktura profilu kursanta jest stopniowo zapełniana treścią<br />
(wartościami atrybutów). W zależności od przebiegu tego dialogu<br />
może się jednak okazać, że pewne jej fragmenty przestają<br />
twórców szkolenia interesować. Na przykład, jeśli atrybut<br />
uzyska wartość , wtedy doprecyzowanie rodzajów<br />
hobby nie ma już sensu i ten przygotowany fragment<br />
profilu (jeśli był zaprojektowany) pozostanie niewykorzystany.<br />
W ten sposób wypełniony istotną treścią będzie na ogół jedynie<br />
pewien podzbiór struktury wejściowej profilu kursanta.<br />
To zapełnianie treścią struktury profilu kursanta może się<br />
odbywać także w inny sposób. W modułach dydaktycznych<br />
systemu uczącego mogą zostać umieszczone lokalne systemy<br />
eksperckie (rozumiane tu jako specyficzne sydtemy<br />
wspomagania podejmowania decyzji), których głównym<br />
celem jest dobór najlepszej ścieżki szkoleniowej. Dobór<br />
ścieżek poprzedza analiza aktualnego profilu kursanta i modyfikacja<br />
tego profilu w myśl reguł wnioskowania (reguł produkcji)<br />
danego systemu eksperckiego. Działanie takich reguł<br />
będzie przedstawione poniżej przy omawianiu przykładu dotyczącego<br />
tworzenia profilu kursanta. Modyfikacja profilu obejmować<br />
może zarówno zmianę wartości pewnych atrybutów,<br />
jak i nadanie wartości dotychczas niewykorzystywanym atrybutom.<br />
Możliwość wbudowywania w e-kursy systemów eksperckich<br />
czyni z TeleEdu TM wyjątkowo wyrafinowane<br />
5<br />
3<br />
datowanie wydarzeń<br />
Włochy, Francja<br />
francuski, angielski<br />
architektura<br />
historia Francji<br />
słabowidzenie<br />
brak<br />
narzędzie do tworzenia inteligentnych szkoleń. Więcej informacji<br />
na ten temat wraz z opisem przykładowego systemu<br />
eksperckiego „Czworokąty” znajdzie czytelnik w artykule [5].<br />
Idea dialogu w języku naturalnym polega na tworzeniu<br />
pytania umożliwiającego swobodną odpowiedź kursantowi.<br />
Z pytaniem wiąże się układ (listę zestawów) słów kluczowych,<br />
który służy do analizy wypowiedzi kursanta. W wyniku<br />
tej analizy próbę identyfikacji sensu odpowiedzi kursanta<br />
uznaje się:<br />
• za pomyślną i zgodnie z tym sensem dobierane jest kolejne<br />
pytanie odpowiednio powiązane logicznie i pogłębiające<br />
wątek dialogu, albo<br />
• za niepomyślną i wtedy zwraca się do kursanta z prośbą<br />
o zmianę formy swojej wypowiedzi.<br />
Metoda słów kluczowych wydaje się wystarczająca,<br />
choćby z tego względu, że w konkretnym e-kursie zakres prowadzenia<br />
dialogu jest ograniczony, np. przez tematykę kursu.<br />
Ponadto inicjatywa w prowadzeniu dialogu jest po stronie programu<br />
sterującego. Tak więc wszelkie dygresje kursanta<br />
można po prostu zignorować.<br />
Przykład tworzenia profilu<br />
Przedstawiamy rozważania dotyczące tworzenia w TeleEdu TM<br />
pewnego fragmentu profilu kursanta. Do minimum ograniczono<br />
szczegóły techniczne i tam, gdzie to możliwe wprowadzić<br />
tylko poglądowe opisy.<br />
Załóżmy, że chcemy na potrzeby budowanego profilu kursanta<br />
uzyskać informację o jego biernej znajomości języków<br />
obcych. Interesuje nas przy tym jedynie określona pula tych<br />
języków, bowiem tylko w zakresie tej puli mamy przygotowane<br />
wielojęzyczne materiały szkoleniowe. Niech ta pula<br />
obejmuje trzy języki: angielski, francuski i niemiecki. Omówimy<br />
dwa rozwiązania.<br />
Pierwsze rozwiązanie<br />
Oczywiście najprostszym rozwiązaniem byłoby zadanie kursantowi<br />
pytania wielokrotnego wyboru, np. takiego:<br />
Pytanie:<br />
Zaznacz te języki, w których swobodnie czytasz oraz rozumiesz<br />
czytany tekst<br />
1. Angielski<br />
2. Francuski<br />
3. Niemiecki<br />
Rys. 2. Pytanie wielokrotnego wyboru dotyczące znajomości<br />
języków<br />
Fig. 2. Multiple choice question concerning knowledge of languages<br />
Punktacja:<br />
• za zaznaczenie wszystkich opcji - 7 punktów,<br />
• za zaznaczenie opcji 1 i 2 - 6 punktów,<br />
• za zaznaczenie opcji 2 i 3 - 5 punktów,<br />
• za zaznaczenie opcji 1 i 3 - 4 punkty,<br />
• za zaznaczenie opcji 3 - 3 punkty,<br />
46 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
• za zaznaczenie opcji 2 - 2 punkty,<br />
• za zaznaczenie opcji 1 - 1 punkty,<br />
• za niezaznaczenie żadnej opcji - 0 punktów.<br />
Punkty zdobyte przez kursanta za ten jednopytaniowy test<br />
jednoznacznie określają interesujące nas dane językowe. Na<br />
przykład, 6 punktów oznacza wartość atrybutu językowego<br />
identyczną z podaną wcześniej w tabeli. W tym wypadku<br />
liczby przyznanych punktów za poszczególne odpowiedzi kursanta<br />
nie mają znaczenia, bowiem służą one jedynie do rozróżnienia<br />
między sobą odpowiedzi.<br />
Drugie rozwiązanie<br />
Jeśli chcemy uzyskać informację językową jako efekt dialogu<br />
prowadzonego w języku naturalnym, możemy zadać kursantowi<br />
pytanie typu fill in blank (umożliwiające swobodną wypowiedź<br />
pisemną kursanta):<br />
Pytanie:<br />
Napisz, w których językach (angielski, francuski, niemiecki)<br />
swobodnie czytasz oraz rozumiesz czytany tekst.<br />
Rys. 3. Pytanie otwarte dotyczące znajomości języków<br />
Fig. 3. Open question concerning knowledge of languages<br />
W TeleEdu TM oceniając to pytanie mamy możliwość przyporządkowania<br />
mu całej listy możliwych (potencjalnych) odpowiedzi.<br />
Każda z odpowiedzi z tej listy zawiera pewien układ<br />
możliwych słów kluczowych oraz wskaźnik liczbowy mówiący<br />
ile słów z układu musi w danej odpowiedzi wystąpić.<br />
Przykładowo, lista taka może być w postaci:<br />
%angielsk%francusk%niemieck%%3%<br />
%angielsk%francusk%%2%<br />
%angielsk%niemieck%%2%<br />
%francusk%niemieck%%2%<br />
%angielsk%<br />
%francusk%<br />
%niemieck%<br />
Pozostałe przypadki<br />
Znaki % oddzielają słowa kluczowe oraz parametry liczbowe.<br />
Używamy przy tym jako słów kluczowych tematów wyrazów np.<br />
„francusk”, ponieważ spodziewać się możemy odpowiedzi typu:<br />
Dobrze czytam po francusku, albo Znam biernie język francuski.<br />
Po udzieleniu odpowiedzi przez kursanta system sterujący<br />
próbuje dopasować do niej kolejno odpowiedzi z przedstawionej<br />
listy. Niedopasowanie kolejnych siedmiu pozycji oznacza,<br />
że dopasowana jest ósma opcja „Pozostałe przypadki”, czyli<br />
uznajemy, że kursant nie zna biernie żadnego z wymienionych<br />
języków. Natomiast dopasowanie odpowiedzi sugeruje poprawne<br />
zinterpretowanie odpowiedzi kursanta, ale tylko z pewnym<br />
prawdopodobieństwem. W przypadku ogólnym, to czy<br />
prawdopodobieństwo prawidłowej interpretacji wypowiedzi<br />
kursanta jest większe lub mniejsze zależy oczywiście od stopnia<br />
komplikacji stosowanych układów słów kluczowych.<br />
W przedstawionym bardzo prostym przykładzie prawdopodobieństwo<br />
to nie jest zbyt duże. Przecież bardzo możliwa<br />
jest odpowiedź kursanta typu:<br />
Nie znam języka francuskiego ani angielskiego, natomiast<br />
trzeci z wymienionych znam znakomicie.<br />
Taka odpowiedź kursanta kompletnie wprowadzi w błąd<br />
system sterujący. Aby mieć całkowitą pewność odnośnie przyjętej<br />
interpretacji odpowiedzi, wiążemy z pytaniem układ kolejnych<br />
pytań w ten sposób, że każdej z potencjalnych<br />
odpowiedzi podporządkowane jest odpowiadające jej kolejne<br />
pytanie dialogu. Na przykład z odpowiedzią:<br />
%angielsk%francusk%%2%<br />
możemy związać pytanie jednokrotnego wyboru:<br />
Pytanie:<br />
Przyjmuję zatem, że znasz biernie język angielski i francuski?<br />
Czy to potwierdzasz?<br />
Tak<br />
Jeśli kursant wybierze pierwszą opcję, można uznać fragment<br />
dialogu dotyczący informacji językowej za zakończony.<br />
Natomiast wybór opcji drugiej, albo nie wybranie żadnej z nich<br />
interpretujemy jako brak zgody kursanta na przedstawioną interpretację<br />
jego stanowiska. Prezentujemy kursantowi komentarz,<br />
np. w postaci:<br />
Widocznie źle Cię zrozumiałem. Bardzo proszę odpowiedz<br />
ponownie na pytanie dotyczące języków, ale spróbuj inaczej<br />
sformułować swoją wypowiedź.<br />
Uruchamiamy mechanizm pętli, czyli powracamy ponownie do<br />
pierwszego głównego pytania tego fragmentu dialogowego.<br />
Dalsze rozbudowywanie profilu<br />
Zarysowany wcześniej układ pytań może odgrywać rolę<br />
małego modułu dialogowego, ale z łatwością można wyobrazić<br />
sobie dalszą jego rozbudowę. Wystarczy na przykład, że<br />
wejściowa struktura profilu kursanta przewiduje potrzebę<br />
oceny znajomości poszczególnych języków obcych. Przy<br />
czym nie chodzi tu o samoocenę kursanta, ale o w miarę<br />
obiektywny osąd. W tej sytuacji nasuwa się od razu pomysł<br />
na rozbudowę omawianego modułu.<br />
Do każdego wątku dialogu, który kończy się deklaracją<br />
biernej znajomości jednego, dwu albo trzech języków, dodaje<br />
się odpowiedni zestaw testów językowych. W ten sposób<br />
w części językowej profilu kursanta pojawią się dodatkowo liczbowe<br />
oceny obiektywnie opisujące stopień opanowania przez<br />
kursanta deklarowanych przez niego języków. Przy okazji również<br />
uzyskuje się dodatkową informację o jakości procesu samooceny<br />
kursanta w zakresie jego zdolności językowych.<br />
O tej ewentualnej rozbieżności pomiędzy samooceną,<br />
a oceną systemu można rozmawiać z kursantem i dociekać<br />
przyczyn tej rozbieżności. Projektując szkolenie e-learningowe<br />
twórcy muszą zakładać pewien cel swoich działań (dydaktyczny,<br />
ekonomiczny, marketingowy itp.). Nie jest raczej<br />
celem szkolenia samym w sobie prowadzenie wielowątkowych<br />
dialogów z kursantem. Prowadzony dialog jest w ogra-<br />
Nie<br />
Rys. 4. Pytanie jednokrotnego wyboru dotyczące potwierdzenia<br />
znajomości języków<br />
Fig. 4. Single choice question confirming language knowledge<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 47
niczonym zakresie (wejściowy profil kursanta), aby uzyskać<br />
tylko te informacje, które można wykorzystać dla zwiększenia<br />
efektywności procesu nauczania.<br />
Do rozbudowy profilu mogą przyczynić się reguły wnioskowania<br />
systemów eksperckich z modułów dydaktycznych.<br />
Jeśli wśród materiałów szkoleniowych mamy szczegółowe<br />
opracowania dotyczące genezy, historii i analizy tekstu hymnu<br />
francuskiego (Marsylianki), wtedy w określonych warunkach<br />
można wybranym (odpowiednio przygotowanym) kursantom<br />
ten materiał zaprezentować. W odpowiednim module dydaktycznym<br />
może zostać umieszczony niewielki system ekspercki,<br />
a wśród reguł wnioskowania umieszczona reguła, której<br />
schemat działania byłby następujący:<br />
Jeśli<br />
= i<br />
=<br />
i<br />
>= 4<br />
to<br />
= <br />
W efekcie działania tej reguły może się zdarzyć, że w profilu<br />
kursanta nieokreślony dotychczas atrybut uzyska wartość . Wtedy w odpowiednim<br />
module dydaktycznym analiza aktualnego profilu kursanta<br />
spowoduje dobranie ścieżki szkoleniowej zawierającej szczegółowy<br />
wykład dotyczący hymnu francuskiego.<br />
Podsumowanie<br />
Biorąc pod uwagę proces tworzenia e-kursu w środowisku TeleEdu<br />
TM twórcy e-kursu przygotowując materiały szkoleniowe<br />
opracowują ich różne wersje mając na uwadze różne metody<br />
dydaktyczne oraz wejściową (nadmiarową) strukturę profilu<br />
kursanta. W newralgicznych miejscach e-kursu umieszczają<br />
moduły dialogowe, które wpływają na zmianę (zapełnianie)<br />
tego profilu, a w konsekwencji na tok nauczania. Moduły dialogowe<br />
są więc rodzajem czujników, które kontrolują „stan pacjenta”,<br />
którym w tym przypadku jest kursant.<br />
W miarę postępu procesu nauczania w danym e-kursie,<br />
system sterujący „mądrzeje” modyfikując i zapełniając profil<br />
kursanta. Mają więc szansę zadziałać pewne reguły, których<br />
przesłanki wcześniej nie były spełnione. Tak więc, im bardziej<br />
proces szkolenia zbliża się do końca, tym bardziej rosną<br />
możliwości jego innej lepszej realizacji.<br />
W wielu rozwiązaniach e-learningowych pod koniec e-kursów<br />
ich twórcy umieszczają ankiety, które służą do zebrania<br />
opinii kursanta np. na temat jakości szkolenia, czy stopnia<br />
spełnienia oczekiwań z nim związanych. Twórcy szkoleń analizują<br />
później te informacje i mogą na ich podstawie zmodyfikować<br />
szkolenia, tworząc ich kolejne wersje. Z punktu<br />
widzenia kursanta, który ukończył już dany e-kurs jest to<br />
działanie mocno spóźnione. W TeleEdu TM można stosować<br />
inne rozwiązania. Po wejściu szkolenia w fazę końcową celowe<br />
jest uruchomienie specjalnego modułu dialogowego i dydaktycznego,<br />
w których dokona się m.in.:<br />
• oceny stanu wiedzy kursanta,<br />
• oceny stopnia satysfakcji kursanta z dotychczasowego<br />
przebiegu szkolenia,<br />
• oceny zakresu możliwych modyfikacji procesu nauczania,<br />
• rozpoznania preferencji kusanta w zakresie kontynuowania<br />
danego szkolenia.<br />
W efekcie możliwa jest faza kontynuacji szkolenia poprzez<br />
prezentację odpowiednich materiałów uzupełniających albo<br />
wręcz poprzez powtórzenie całego szkolenia. Ta ewentualna<br />
powtórka odbywałaby się już w innej sytuacji niż poprzednio,<br />
ponieważ inny jest aktualny profil kursanta.<br />
Ktoś mógłby zauważyć, że taki kurs mógłby nigdy się nie<br />
skończyć, ale tak nie jest, ponieważ barierę stanowi skończona<br />
i niezmienna wejściowa struktura profilu kursanta.<br />
Na zakończenie przedstawionego zarysu realizowanego<br />
w TeleEdu TM procesu nauczania, warto sformułować dwa postulaty.<br />
Pierwszy z nich wiąże się z faktem, że profil jest strukturą,<br />
którą można wykorzystać tylko w ramach pojedynczej<br />
sesji szkoleniowej danego kursanta. Sesja szkoleniowa<br />
związana jest z udostępnieniem danemu kursantowi konkretnego<br />
szkolenia na platformie. Każde nowe otwarcie tego<br />
szkolenia, nawet po dłuższej przerwie, to ta sama sesja szkoleniowa.<br />
Jeśli jednak ten sam kursant otworzy na platformie<br />
inne szkolenie, to jego profil jest dla systemu sterującego zupełnie<br />
nieznany. Wszystkie bowiem informacje z dawnego<br />
profilu kursanta, które być może byłyby ważne również dla<br />
tego nowego szkolenia, są niedostępne. Jednym z kierunków<br />
rozwoju TeleEdu TM jest stworzenie powiązań profilu kursanta<br />
z platformą, aby w ten sposób uniezależnić w jakimś stopniu<br />
profil od pojedynczej sesji szkoleniowej.<br />
Drugi postulat dotyczy autokorekty szkoleń czyli wbudowanego<br />
w szkolenie mechanizmu, który automatycznie je<br />
modyfikuje wykorzystując doświadczenia zebrane podczas<br />
sesji szkoleniowych. W tej chwili wszelkie autokorekty<br />
działania systemu sterującego związane z procesem nauczania<br />
dotyczą jednej konkretnej sesji szkoleniowej. Są<br />
więc one oczywiście tymczasowe. Planowana jest ich trwała<br />
modyfikacja, która następowałaby w wyniku analizy wielu<br />
sesji szkoleniowych przeprowadzonych dla większej grupy<br />
użytkowników.<br />
Literatura<br />
[1] Brzostek-Pawłowska J.: E-learning 2008: Problemy i trendy w<br />
zdalnym nauczaniu, technologiach i standardach. Prace Naukowo-Badawcze<br />
<strong>Instytut</strong>u Maszyn Matematycznych z serii<br />
ABC.IT zeszytów e-learningowych, Zeszyt nr 2/2008 (10).<br />
[2] Abramowicz A.: Porównanie platform utworzonych na bazie modeli<br />
SCORM i IMS QTI w aspekcie realizacji adaptowalnych e-<br />
kursów: Moodle CMS vs. TeleEduTM LMS. <strong>Elektronika</strong> nr<br />
12/2008, ss. 154-158.<br />
[3] Zając M., Wójcik K.: Wykorzystanie technik sztucznej inteligencji<br />
do indywidualizacji procesu nauczania. Informatyka Teoretyczna<br />
i Stosowana nr 4, 2003.<br />
[4] Przyłuski W.: Wirtualny nauczyciel poszukiwany, czyli dlaczego<br />
warto korzystać z TeleEduTM. Prace Naukowo-Badawcze <strong>Instytut</strong>u<br />
Maszyn Matematycznych z serii ABC.IT zeszytów e-learningowych,<br />
Zeszyt nr 2/2007(8).<br />
[5] Przyłuski W.: TeleEduTM - krok w kierunku sztucznej inteligencji<br />
(kapsuła edukacyjna: repozytorium i e-kurs ekspertowy).<br />
Prace Naukowo-Badawcze <strong>Instytut</strong>u Maszyn<br />
Matematycznych z serii ABC.IT zeszytów e-learningowych,<br />
Zeszyt nr 2/2006(6).<br />
48 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Aktywna antena radiolokacyjna na pasmo S.<br />
Część 3. System nadawczy<br />
mgr inż. ANNA CZWARTACKA, mgr inż. JACEK CHOLEWA,<br />
mgr inż. TOMASZ LORENS, mgr inż. ROBERT SENDER,<br />
mgr inż. KONRAD SZUSTAK, mgr inż. BOGDAN STACHOWSKI<br />
Przemysłowy <strong>Instytut</strong> Telekomunikacji S.A., Warszawa<br />
System antenowy aktywnej anteny radiolokacyjnej według<br />
koncepcji opisanej w części 1 artykułu [1] wykorzystuje do nadawania<br />
radiolokacyjnych sygnałów sondujących szesnastowierszową<br />
strukturę promieniującą. Do każdego z wierszy<br />
struktury promieniującej nadawczego systemu antenowego<br />
są doprowadzane sygnały impulsowe o określonej amplitudzie<br />
i fazie, wytwarzane w blokach formowania wiązki nadawczej.<br />
W systemie zastosowano układ symetrycznego<br />
pobudzania struktury promieniującej przez sygnały wytwarzane<br />
w dwóch niezależnych blokach formowania wiązki nadawczej.<br />
Takie rozwiązanie pozwoliło na zwiększenie mocy<br />
wypromieniowywanej w przestrzeń, dzięki zmniejszeniu strat<br />
w liniach doprowadzających moc do struktury promieniującej<br />
i zmniejszeniu strat w układach składania mocy w modułach.<br />
Przy znacznych gabarytach systemu antenowego pracującego<br />
w paśmie S, zwiększenie mocy nadawanej sięga<br />
nawet kilka procent.<br />
System nadawczy wytwarza moc impulsową około 25 kW<br />
w impulsie i moc średnią około 2,5 kW oraz kształtuje wiązkę<br />
nadawczą w płaszczyznach azymutu i elewacji. Do projektu<br />
przyjęto kształt wiązki w płaszczyźnie elewacji typu cosecans<br />
kwadrat zapewniającej kąt pokrycia 40°. W płaszczyźnie azymutu<br />
wiązka nadawcza jest wiązką szpilkową, a pokrycie<br />
w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy anteny.<br />
Struktura systemu nadawczego<br />
Rys. 1. Struktura systemu nadawczego<br />
Fig. 1. Electrical structure of transmit part of the S band active antenna<br />
System nadawczy aktywnej anteny składa się z: szesnastowierszowej<br />
struktury promieniującej opisanej w Części 2. artykułu,<br />
dwóch bloków formowania wiązki nadawczej<br />
i wejściowego dzielnika mocy sygnału wzbudzania. Bloki formowania<br />
wiązki nadawczej są umieszczone w deszczoszczelnej,<br />
ekranowanej elektromagnetycznie kabinie antenowej.<br />
Strukturę systemu nadawczego przedstawiono na rys. 1.<br />
Impulsowy sygnał wzbudzenia doprowadzany do wejścia<br />
kabiny jest dzielony na cztery części w układzie podziału<br />
mocy i doprowadzany do wejść układów wzmacniania i podziału<br />
mocy w blokach formowania wiązki nadawczej usytuowanych<br />
symetrycznie względem osi kabiny. Każdy z bloków<br />
formowania wiązki nadawczej jest złożony z dwóch układów<br />
wzmacniania i podziału mocy sygnałów wzbudzania<br />
dzielących sygnał wzbudzania na osiem części oraz z szesnastu<br />
modułów nadawczo-odbiorczych o różnych poziomach<br />
mocy wyjściowej.<br />
Uzyskanie założonej charakterystyki promieniowania wymaga<br />
zapewnienia określonych rozkładów amplitudy i fazy<br />
sygnałów zasilających wiersze anteny. Do ustawienia wymaganego<br />
przesunięcia fazy wykorzystano cyfrowe przesuwniki<br />
fazy zastosowane w każdym z torów wzbudzania układów pobudzania<br />
modułów. Zastosowano 6-bitowe przesuwniki fazy<br />
ze skokową zmianą fazy 5,625°, co zapewniło wystarczającą<br />
dokładność realizowanego rozkładu fazy.<br />
Znacznie trudniejszym problemem jest realizacja wymaganego<br />
rozkładu amplitudy. W przypadku charakterystyki typu<br />
cosecans kwadrat należy zapewnić rozkład amplitudy dla<br />
różnych wierszy, w którym amplituda sygnałów zmienia się<br />
w przedziale prawie 20 dB (p. rys. 2).<br />
Moduły nadawczo-odbiorcze użyte w systemie antenowym<br />
są budowane na bazie wzmacniaczy tranzystorowych<br />
z tranzystorami pracującymi w klasie C. Tranzystory we<br />
wzmacniaczach klasy C pracują w nasyceniu, a ich moc wyjściowa<br />
jest zbliżona do nominalnej mocy wyjściowej tranzystora.<br />
Dostępne na rynku światowym tranzystory przeznaczone<br />
do pracy w zakresie częstotliwości pasma S pozwalają na budowę<br />
wzmacniaczy o mocach wyjściowych rzędu 100 W<br />
w impulsie. W opisywanej antenie aktywnej sygnały pobudzania<br />
wierszy antenowych w środkowych wierszach mają<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 49
Rys. 2. Rozkład amplitudy dla charakterystyki cosecans kwadrat<br />
(krzywa czerwona) oraz rozkład amplitudy przy zasilaniu wierszy<br />
wg rozkładu schodkowego jak w tabeli 1 (krzywa niebieska)<br />
Fig. 2. Amplitude distribution for cosecant square characteristic<br />
(red color) and step amplitude rows exciting according distribution<br />
given in the table 1 (blue color)<br />
Tab. 1. Zestawienie typów modułów i wielkość mocy zasilającej<br />
wiersze 16-wierszowej anteny<br />
Tabl. 1. Comparison of different modules and powers supplying particular<br />
rows of a 16-row antenna.<br />
moc wyjściową około 1,5 kW w impulsie. Tak dużą moc uzyskano<br />
przez sumowanie w końcowym stopniu nadawczego<br />
wzmacniacza, mocy z szesnastu wzmacniaczy z pojedynczymi<br />
tranzystorami w każdym stopniu, o mocy wyjściowej pojedynczego<br />
wzmacniacza ponad 100 W.<br />
W pozostałych wierszach anteny zastosowano moduły,<br />
w których moc wyjściowa jest uzyskiwana poprzez wykorzystanie<br />
różnych konfiguracji układów sumowania lub podziału<br />
mocy ze wzmacniaczy 100 W, uzyskując w efekcie dynamikę<br />
zmiany amplitudy około 18 dB. Do aproksymacji rozkładu amplitud<br />
charakterystyki cosecans kwadrat zastosowano pięć<br />
typów modułów nadawczo-odbiorczych o mocach wyjściowych<br />
25...1500 W.<br />
Zestawienie typów modułów w szesnastowierszowej antenie<br />
i wielkość ich mocy wyjściowych podano w tab. 1.<br />
Na rysunku 2. przedstawiono rozkład amplitudy dla charakterystyki<br />
cosecans kwadrat (krzywa czerwona) oraz<br />
rozkład amplitudy przy zasilaniu wierszy wg rozkładu schodkowego<br />
zgodnie z tab. 1. (krzywa niebieska).<br />
Dla obydwu rozkładów przeprowadzono symulację charakterystyki<br />
promieniowania w płaszczyźnie elewacji, wyniki<br />
symulacji przedstawia rys. 3.<br />
Krzywa czerwona na rys. 3 przedstawia charakterystykę<br />
dla rozkładu cosecans kwadrat, a krzywa niebieska odpowiada<br />
charakterystyce zadanej przez zestaw modułów o mocach<br />
jak w tab. 1. Aproksymacja „schodkowa” rozkładu<br />
amplitud (tab. 1.) pozwoliła na uzyskanie charakterystyki nadawczej<br />
bardzo bliskiej charakterystyce cosecans kwadrat.<br />
Nr wiersza<br />
Typ modułu nadawczo-odbiorczego<br />
Moc wyjściowa<br />
[W]<br />
1 1/16 HPA 25<br />
2 1/16 HPA 25<br />
3 1/8 HPA 50<br />
4 1/2 HPA 50<br />
5 2 HPA 770<br />
6 2 HPA 770<br />
7 4 HPA 1500<br />
8 4 HPA 1500<br />
9 4 HPA 1500<br />
10 4 HPA 1500<br />
11 2 HPA 770<br />
12 2 HPA 770<br />
13 1/2 HPA 200<br />
14 1/8 HPA 50<br />
15 1/16 HPA 25<br />
16 1/16 HPA 25<br />
Rys. 3. Symulowana charakterystyka nadawcza: krzywa niebieska<br />
dla pobudzeń wg rozkładu w tabeli 1, krzywa czerwona dla<br />
rozkładu cosecans kwadrat<br />
Fig. 3. Calculated transmit pattern: discrete (step) amplitude distribution<br />
(red color) and cosecans square distribution (blue color)<br />
Blok formowania wiązki nadawczej<br />
Blok formowania wiązki nadawczej tworzy szesnaście modułów<br />
nadawczo-odbiorczych i dwa układy pobudzania modułów<br />
(ZTM). Widok bloku formowania wiązki nadawczej w kabinie<br />
antenowej po otwarciu drzwi przedstawiono na rys. 4.<br />
50 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
MODUŁY NO<br />
ZPM<br />
Rys. 5. Schemat blokowy modułu nadawczo-odbiorczego 4 HPA<br />
Fig. 5. Block diagram of a 4HPA transmit-receive module<br />
Rys. 4. Widok bloku formowania wiązki nadawczej<br />
Fig. 4. General view of transmit beam former<br />
Bloki formownia wiązek są usytuowane symetrycznie po<br />
lewej i prawej stronie kabiny antenowej. Na rys. 4 zaznaczono<br />
blok montowany w lewej części kabiny. W środkowej części<br />
kabiny jest montowany synfazowy układ podziału mocy sygnału<br />
wzbudzającego na cztery części, z którego zasilane są<br />
układy ZTM.<br />
Moduły nadawczo-odbiorcze<br />
Moduły nadawczo-odbiorcze zawierają tor nadawczy realizowany<br />
jako wielostopniowy wzmacniacz dużej mocy i tor odbiorczy,<br />
w którym jest włączony małoszumny wzmacniacz<br />
z ogranicznikiem mocy na wejściu. Tory nadawczy i odbiorczy<br />
są połączone z wierszami antenowymi przez cyrkulator<br />
trójramienny spełniający rolę układu nadawanie-odbiór.<br />
Wzmacniacz toru nadawczego jest wzmacniaczem dużej<br />
mocy impulsowej o dużej sprawności na tranzystorach bipolarnych<br />
pracujących w klasie C. Dla uzyskania „ schodkowego”<br />
rozkładu amplitudy na wyjściu układu formowania<br />
wiązki nadawczej są stosowane wzmacniacze o mocach wyjściowych:<br />
4 HPA, 2 HPA, ½ HPA, 1/8 HPA i 1/16 HPA. Ze<br />
względu na wymaganie zachowania relacji amplitudowych<br />
i fazowych w poszczególnych wierszach zarówno w funkcji<br />
częstotliwości jak i w zakresie zmian temperatury otoczenia.<br />
Przyjęto jednakową strukturę toru nadawczego modułu od<br />
wejścia do wyjścia, uzyskując zmianę mocy wyjściowej jedynie<br />
poprzez zmianę liczby wzmacniaczy w końcowym stopniu<br />
wzmacniacza (zmieniana liczba wzmacniaczy w końcowym<br />
układzie sumowania mocy).<br />
Moduł nadawczo-odbiorczy 4 HPA<br />
Schemat modułu nadawczego 4 HPA przedstawiono na<br />
rys. 5. W torze nadawczym modułu zastosowano trzystopniowy<br />
wzmacniacz wstępny wzmacniający wejściowy sygnał<br />
wzbudzania do poziomu 100 W. W drugim i trzecim stopniu<br />
wzmacniacza wstępnego pracują tranzystory klasy C<br />
IBM3135MH20 i IBM3135MH100 odpowiednio o mocach 20<br />
i 100 W. Sygnał o mocy wyjściowej 100 W jest dzielony w synfazowym<br />
dzielniku mocy 1 : 4 na cztery części, których każda<br />
po ponownym wzmocnieniu do poziomu 100 W jest wykorzystywana<br />
do sterowania 400 W wzmacniacza mocy.<br />
Wzmacniacz mocy 400 W zrealizowano poprzez sumowanie<br />
mocy z czterech wzmacniaczy 100 W. Moc z czterech<br />
wzmacniaczy 400 W jest sumowana w sumatorze wyjściowym<br />
4 :1i poprzez cyrkulator NO jest kierowana do segmentu<br />
antenowego. Wszystkie wzmacniacze 100 W mają<br />
identyczną konstrukcję i pracują na tranzystorach<br />
IBM3135MH100. Ważnymi podzespołami toru nadawczego<br />
poza wzmacniaczem 100 W są dzielniki mocy, sumatory<br />
mocy i układy wyrównywania amplitudy w paśmie pracy.<br />
W układzie zastosowano dzielniki i sumatory mocy o oryginalnej<br />
strzeżonej patentem konstrukcji, o bardzo małych stratach,<br />
której wewnętrzna struktura jest odizolowana od<br />
zewnętrznego rozproszonego w obudowie modułu pola elektromagnetycznego.<br />
Wyjściowy sumator dużej mocy jest sumatorem<br />
typu Gysela wykonanym w technice niesymetrycznych<br />
linii paskowych. Kluczowymi podzespołami toru<br />
nadawczego są układy wyrównywania amplitudy zapewniające<br />
utrzymanie poziomu sygnału sterującego wzmacniaczy<br />
pracujących w klasie C w wymaganych tolerancjach.<br />
Cechą charakterystyczną wzmacniaczy klasy C jest wymaganie<br />
sterowania mocą wejściową w przedziale mocy<br />
ściśle określonym dla danego typu tranzystora, np. dla tranzystorów<br />
produkowanych przez firmę INTEGRA moce sterujące<br />
powinny zawierać się w przedziale 1 dB, przy czym<br />
warunek musi być spełniony w zakresie wymaganych zmian<br />
temperatury otoczenia i częstotliwości pracy. Konstrukcja<br />
tłumika jest rozwiązaniem oryginalnym i zgłoszonym do<br />
ochrony patentowej RP, umożliwia uzyskanie bezodbiciowej<br />
charakterystyki tłumienia o wymaganym przebiegu tłumienia<br />
w funkcji częstotliwości.<br />
Na wyjściu każdego modułu od strony wiersza antenowego<br />
jest włączony sprzęgacz, przez który jest pobierany sygnał<br />
do systemu diagnostyki.<br />
Podzespoły modułu są zamknięte w szczelnej,<br />
spełniającej wymagania EMI obudowie. Podzespoły są montowane<br />
na dwóch poziomach w odseparowanych celach. Na<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 51
dolnym poziomie są montowane: zespoły trzystopniowego<br />
wzmacniacza sterującego, układy podziału i wzmacniania<br />
sygnału do sterowania końcowego stopnia wzmacniającego,<br />
a także płytka zasilania i diagnostyki oraz zestawy kondensatorów<br />
elektrolitycznych. Na rys. 6 pokazano widok wzmacniacza<br />
impulsowego po zdjęciu pokrywy dolnej, a na rys. 7<br />
widok wzmacniacza od strony pokrywy górnej.<br />
Na górnym poziomie modułu jest montowanych 16<br />
wzmacniaczy 100 W oraz układy podziału i sumowania mocy.<br />
Połączenia układów mikrofalowych z dolnego i górnego poziomu<br />
są wykonane liniami współosiowymi. W ramie modułu<br />
pomiędzy dolnym i górnym poziomem jest poprowadzony<br />
kanał chłodzenia cieczowego, przy czym wszystkie wzmacniacze<br />
100 W na obydwu poziomach są tak zamontowane, że<br />
tranzystory mocy są usytuowane obustronnie wzdłuż kanałów<br />
chłodzenia, dzięki temu chłodzenie tranzystorów jest bardzo<br />
skuteczne. Wejścia i wyjścia kanałów chłodzenia są zaopatrzone<br />
w szybkozłączne szczelne złącza.<br />
Rys. 8. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 4 HPA<br />
Fig. 8. Output power of 4 HPA modules<br />
Tab. 2. Podstawowe parametry modułu 4 HPA<br />
Tabl. 2. Basic parameters of the 4 HPA modules<br />
Impulsowa moc wyjściowa<br />
Impulsowa moc wejściowa<br />
min. 1300 W<br />
+23 dBm ±1 dB<br />
Współczynnik wypełnienia max. 10%<br />
Szerokość impulsu<br />
Wzmocnienie mocy<br />
max. 100 µsec<br />
typ. 37 dB<br />
Wejściowy i wyjściowy WFS ≤ 1,5<br />
Równomierność mocy wyjściowej w pasmie<br />
≤ 2 dB<br />
Rys. 6. Widok modułu 4 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />
Fig. 6. General view of a 4 HPA module without bottom cover<br />
Cyrkulator NO i sprzęgacz diagnostyczny są zmontowane<br />
w części wzmacniacza wspólnej dla obydwu poziomów. Charakterystyki<br />
mocy wyjściowej modułu nadawczo-odbiorczego<br />
4 HPA przedstawiono na rys. 8.<br />
Podstawowe parametry modułu nadawczo-odbiorczego 4<br />
HPA zestawiono w tabeli 2.<br />
Moduł nadawczo-odbiorczy 2 HPA<br />
Schemat blokowy toru nadawczego modułu nadawczo-odbiorczego<br />
2 HPA przedstawiono na rys. 9. Struktura modułu<br />
jest taka sama jak modułu 4 HPA jedynie w końcowym stop-<br />
Rys. 7. Widok modułu 4 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />
Fig. 7. General view of a 4 HPA module without upper cover<br />
Rys. 9. Schemat blokowy modułu 2 HPA<br />
Fig. 9. Block diagram of a 2 HPA transmit-receive module<br />
52 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
niu wzmacniacza moc wyjściowa jest sumowana tylko<br />
z dwóch wzmacniaczy 400 W. Moc impulsowa na wyjściu modułu<br />
nadawczo-odbiorczego 2 HPA jest około 770 W.<br />
Widok modułu po zdjęciu pokrywy górnej przedstawiono na<br />
rys. 10, a na rys. 11 widok modułu po zdjęciu pokrywy dolnej.<br />
Na rysunku 12. przedstawiono przebieg charakterystyk<br />
mocy wyjściowej w funkcji częstotliwości ośmiu modułów nadawczo-odbiorczych<br />
2 HPA.<br />
Moduł nadawczo-odbiorczy 1/2 HPA<br />
Rys. 10. Widok modułu 2 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />
Fig. 10. General view of a 2 HPA module without upper cover<br />
Schemat blokowy toru nadawczego modułu nadawczo-odbiorczego<br />
1/2 HPA przedstawiono na rys. 13. Struktura modułu jest<br />
taka sama jak modułów 2 HPA i 4 HPA, końcowy stopień<br />
wzmacniacza jest pojedynczym wzmacniaczem 400 W zmodyfikowanym<br />
tak, że jego moc wyjściowa jest zredukowana<br />
o połowę. We wzmacniaczu moc wyjściowa jest sumowana<br />
tylko z dwóch wzmacniaczy 100 W. Moc impulsowa na wyjściu<br />
modułu nadawczo-odbiorczego 1/2 HPA jest rzędu 200 W.<br />
Widok modułu po zdjęciu pokrywy górnej przedstawiono<br />
na rys. 14, a na rys. 15 widok modułu po zdjęciu pokrywy dolnej.<br />
Na rys. 16. przedstawiono przebieg charakterystyk mocy<br />
wyjściowej w funkcji częstotliwości modułów nadawczoodbiorczych<br />
1/2 HPA.<br />
Rys. 11. Widok modułu 2 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />
Fig. 11. General view of a 2 HPA module without bottom cover<br />
Rys. 13. Schemat blokowy modułu nadawczo-odbiorczego 1/2 HPA<br />
Fig. 13. Block diagram of a 1/2 HPA transmit-receive module<br />
Rys. 12. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów nadawczo-odbiorczych<br />
2 HPA<br />
Fig. 12. Output power of 2 HPA transmit-receive modules<br />
Rys. 14. Widok modułu 1/2 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />
Fig. 14. General view of a 1/2 HPA module without upper cover<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 53
Moduły o mniejszej mocy 1/8 HPA i 1/16 HPA mają konstrukcję<br />
jednopoziomową bardzo podobną do siebie. Widok<br />
modułu 1/8 HPA o mocy wyjściowej 55 W przedstawia rys. 18.<br />
Charakterystyki mocy wyjściowej czterech modułów 1/8 HPA<br />
przedstawia rys. 19. Charakterystyki mocy wyjściowych ośmiu<br />
modułów 1/16 HPA przedstawiono na rys. 20.<br />
Rys. 15. Widok modułu 1/2 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />
Fig. 15. General view of a 1/2 HPA module without bottom cover<br />
Rys. 18. Widok modułu 1/8 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />
Fig. 18. General view of a 1/8 HPA module without bottom cover<br />
Rys. 16. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów nadawczo-odbiorczych<br />
1/2 HPA.<br />
Fig. 16. Output power of a 1/2 HPA transmit-receive module.<br />
Moduły nadawczo-odbiorcze 1/8 HPA<br />
i 1/16 HPA<br />
Schemat blokowy modułów nadawczo-odbiorczych 1/8 HPA<br />
i 1/16 HPA przedstawiono na rys. 17. Moduły nadawczo-odbiorcze<br />
małej mocy mają strukturę wzmacniacza sterującego,<br />
stosowanego we wszystkich typach modułów HPA. Moc modułów<br />
małej mocy jest mniejsza od mocy wyjściowej wzmacniacza<br />
sterującego bliskiej 100 W. Wymagany poziom mocy<br />
wyjściowej jest ustalany przez odpowiedni dobór tłumika<br />
wyjściowego T.<br />
Rys. 19. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 1/8 HPA<br />
Fig. 19. Output power of a 1/8 HPA modules<br />
Rys. 17. Schemat blokowy toru nadawczego modułów 1/8 HPA<br />
i 1/16 HPA<br />
Fig. 17. Block diagrams of 1/8 HPA and 1/16 HPA transmit-receive<br />
modules<br />
Rys. 20. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 1/16 HPA<br />
Fig. 20. Output power of 1/16 HPA modules<br />
54 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Układy pobudzania modułów<br />
Układy pobudzania modułów ZPM dostarczają sygnały<br />
o określonej amplitudzie i fazie niezbędne do wysterowania<br />
wzmacniaczy w modułach nadawczo-odbiorczych. W antenie<br />
są stosowane cztery układy ZPM. W układach pobudzania modułów,<br />
wejściowy sygnał wzbudzania jest dzielony w synfazowym<br />
dzielniku mocy na równe części. W każdym z ośmiu torów<br />
układu wzbudzania jest włączony 6-bitowy przesuwnik fazy<br />
i wzmacniacz średniej mocy. W układzie zastosowano przesuwnikI<br />
typu PH 332 PT2 umożliwiające zmianę fazy ze skokiem<br />
5,625°. Parametry przesuwnika fazy podano w tabeli 3.<br />
Moc na wyjściu układu pobudzania modułów jest utrzymywana<br />
na poziomie 200 mW z tolerancją ±1 dB i spełnia wymagania<br />
na poziom mocy sterującej moduły nadawczoodbiorcze.<br />
Dla utrzymania stałego poziomu mocy wyjściowej zastosowano<br />
wyjściowy wzmacniacz średniej mocy pracujący<br />
w stanie nasycenia, dzięki temu moc wyjściowa wzmacniacza<br />
nie jest wrażliwa na zmiany sygnału wejściowego, Nominalny<br />
poziom mocy wyjściowej jest ustalany poprzez dobór tłumików<br />
trymujących dołączanych do wyjścia wzmacniacza. Na<br />
rys. 21. przedstawiono widok układu pobudzania od strony<br />
układów mikrofalowych.<br />
Tab. 3. Parametry przesuwnika fazy PH 332P2<br />
Tabl. 3. Parameters of the phase shifter PH 332P2<br />
Na rysunku 22. przedstawiono charakterystyki mocy wyjściowej<br />
układu pobudzania modułów w funkcji częstotliwości.<br />
Typowy przebieg charakterystyk fazowych w funkcji częstotliwości<br />
dla pojedynczego toru wzbudzania dla stanów przesuwnika<br />
odpowiadającym bitom 0...16 pokazano na rys. 23.<br />
Rys. 22. Charakterystyki mocy wyjściowej układu pobudzania modułów<br />
w funkcji częstotliwości<br />
Fig. 22. Output power versus frequency of transmit-receive modules<br />
exciter<br />
Pasmo pracy<br />
Straty<br />
Przesunięcie fazy<br />
3,1...3,5 GHz<br />
< 7,5 dB<br />
0...360° (64 bity)<br />
Błąd fazy RMS 3°<br />
Wejściowy punkt kompresji 1 dB<br />
25 dBm<br />
WFS we i wy < 1,9<br />
Rys. 23. Przebieg charakterystyk fazowych w funkcji częstotliwości<br />
dla pojedynczego toru wzbudzania dla stanów przesuwnika odpowiadającym<br />
bitom 0...16<br />
Fig. 23. Phase characteristics versus frequency for a single exciting<br />
channel for different phase shifter states responding to 16 bits<br />
(from 0 to 16)<br />
Charakterystyki toru nadawczego anteny<br />
aktywnej<br />
Rys. 21. Widok ogólny układu pobudzania modułów<br />
Fig. 21. General view of a transmit-receive modules exciter without<br />
upper cover<br />
Charakterystyki toru nadawczego (bez segmentów antenowych)<br />
są wyznaczane na podstawie wyników pomiarów<br />
rozkładów amplitudy i fazy w wierszach toru. Pomiary amplitudy<br />
i fazy systemu nadawczego aktywnej anteny są bardzo<br />
trudne, gdyż ze względu na wzmacniacze klasy C użyte w<br />
modułach nadawczo-odbiorczych pomiary te muszą być wykonywane<br />
przy pełnej mocy nadawanej. Do pomiaru rozkładu<br />
amplitudy i fazy wykorzystano elementy systemu diagnostyki<br />
systemu nadawczego. Zasadniczym elementem systemu<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 55
diagnostyki jest detektor amplitudy i fazy pozwalający na<br />
określenie amplitudy i fazy mierzonego sygnału z dużą<br />
dokładnością. System diagnostyki toru nadawczego będzie<br />
szczegółowo opisany w Części 5. artykułu.<br />
Charakterystyki toru nadawczego bez segmentów antenowych<br />
są charakterystykami bloku formowania wiązki nadawczej.<br />
W przypadku opisywanej aktywnej anteny są to dwie<br />
charakterystyki nadawcze dla dwóch bloków formowania<br />
wiązek. Wyniki symulacji charakterystyki antenowej przedstawiono<br />
na rys. 24.<br />
Rys. 24. Elewacyjne charakterystyki nadawcze bloków nadawczych:<br />
charakterystyka teoretyczna (krzywa niebieska), charakterystyka<br />
bloku „lewego”- krzywa zielona, charakterystyka bloku<br />
„prawego”- krzywa czerwona<br />
Fig. 24. Elevation transmit pattern for transmit beam formers; blue<br />
color - theoretical pattern, green color - “left” beam former pattern,<br />
red color - “right” beam former pattern<br />
Podobnie jak w torze odbiorczym aktywnej anteny, zastosowanie<br />
w torze nadawczym 6-bitowego przesuwnika fazy<br />
pozwoliło na ustawienie rozkładu fazy z dużą dokładnością,<br />
pozwalającą na uzyskanie rzeczywistych charakterystyk bardzo<br />
bliskich charakterystykom teoretycznym.<br />
Podsumowanie<br />
W artykule przedstawiono system nadawczy aktywnej anteny<br />
radiolokacyjnej na pasmo S. W systemie zastosowano elektroniczne<br />
kształtowanie wiązki nadawczej. Do projektu przyjęto<br />
kształt wiązki w płaszczyźnie elewacji typu cosecans<br />
kwadrat zapewniający kąt pokrycia 40°. W płaszczyźnie azymutu<br />
wiązka nadawcza jest wiązką szpilkową, a pokrycie<br />
w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy anteny.<br />
Do ustawienia wymaganego rozkładu fazy w płaszczyźnie<br />
elewacji zastosowano w każdym z wierszy 6-bitowy przesuwnik<br />
fazy pozwalający na realizację rozkładu fazy z dokładnością<br />
±3°.<br />
Wymagany rozkład amplitudy zrealizowano stosując<br />
wzmacniacze mocy klasy C o różnych mocach wyjściowych.<br />
Aproksymacja rozkładu amplitudy i duża dokładność odwzorowania<br />
teoretycznego rozkładu fazy pozwoliła na uzyskanie<br />
charakterystyk nadawczych systemu antenowego bardzo bliskich<br />
charakterystykom teoretycznym. System nadawczy<br />
może wypromieniować moc impulsową około 25 kW w impulsie<br />
i moc średnią około 2,5 kW.<br />
Literatura<br />
Czwartacka A.: Aktywna antena radiolokacyjna na pasmo S. Część 1.<br />
System antenowy - koncepcja. <strong>Elektronika</strong> nr 4/<strong>2009</strong>, ss. 135-139.<br />
Jerzy Siuzdak: Systemy i sieci fotoniczne. WKiŁ, Warszawa <strong>2009</strong><br />
Książka jest poświęcona zagadnieniom<br />
wykorzystania transmisji optycznej we<br />
współczesnych systemach i sieciach telekomunikacyjnych.<br />
Oprócz opisu podstaw<br />
techniki światłowodowej zawarto w niej<br />
omówienie fotonicznych systemów i sieci:<br />
transportowych, dostępowych i lokalnych,<br />
a także systemów analogowych.<br />
W pierwszych rozdziałach książki<br />
omówiono teorię zjawisk zachodzących<br />
podczas transmisji światła w światłowodzie,<br />
stosowane współcześnie w przemyśle<br />
typy światłowodów, zdefiniowano ich<br />
podstawowe parametry techniczne (m.in.<br />
tłumienie, dyspersja chromatyczna, współczynniki odbicia, załamania).<br />
Scharakteryzowano elementy toru światłowodowego, szczególnie<br />
rodzaje stosowanych źródeł światła, układy elektroniczne<br />
współpracujące ze źródłami światła, fotodetektory, odbiorniki<br />
optyczne, sprzęgacze, wzmacniacze optyczne SOA i Ramana oraz<br />
domieszkowane pierwiastkami ziem rzadkich, modulatory zewnętrzne<br />
i sprzęgacze i in.<br />
W kolejnych rozdziałach przedstawiono budowę i właściwości<br />
optycznych sieci transportowych PDH, SDH i (D)WDM. Omówiono<br />
parametry każdego toru i ich wpływ na jakość transmisji a także zarządzanie<br />
siecią i utrzymanie zgodnie z najnowszymi modelami<br />
N(E)MS/OSS (Network (Element) Management System/Operation<br />
Support System) i metody protekcji w sieciach optycznych.<br />
Następnie scharakteryzowano systemy analogowe, w tym szkieletowe<br />
sieci CATV do transmisji sygnałów telewizyjnych i Internetu,<br />
systemy RoF wykorzystujące światłowody do transmisji sygnałów<br />
radiowych pomiędzy stacją centralną (czołową) a odległymi stacjami<br />
antenowymi. Zostały krótko opisane komputerowe sieci lokalne<br />
LAN, wykorzystujące światłowody do budowy sieci o przepływnościach<br />
10 Gbit/s i większych. Omówiono optyczne sieci dostępowe<br />
FITL oraz HFC, FTTH, PON, ADSL i VDSL oraz HFC. Zwrócono<br />
uwagę na niekompatybilność rozwiązań poszczególnych producentów<br />
sieci dostępowych.<br />
Nakreślono również kierunki rozwoju technik fotonicznych w telekomunikacji.<br />
Przedstawiono zagadnienia transmisji koherentnej<br />
i solitonowej oraz systemy OTDM i OCDMA.<br />
Na końcu każdego rozdziału zamieszczono zestawy pytań kontrolnych<br />
i zadania pozwalające sprawdzić i ugruntować zdobytą<br />
wiedzę. Podręcznik ten to kompendium wiedzy na temat współczesnej<br />
techniki światłowodowej. Jest przeznaczony dla studentów kierunków<br />
telekomunikacjI i elektronikI, a także dla inżynierów<br />
zajmujących się zagadnieniami związanymi z transmisją optyczną.<br />
56 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Szybki algorytm dyskretnej transformacji Gabora<br />
mgr inż. ŁUKASZ BONIKOWSKI, dr hab. inż. ALEXANDR TARIOV prof. ZUT<br />
Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki, Szczecin<br />
W pracy został przedstawiony szybki algorytm dyskretnej<br />
transformacji Gabora. W porównaniu ze znanymi algorytmami<br />
realizującymi tę transformację za pomocą dualnych okien biortogonalnych,<br />
proponowany algorytm wyróżnia się mniejszą<br />
liczbą operacji arytmetycznych niezbędnych do wyznaczania<br />
współczynników rozwinięcia Gabora w sytuacjach doboru stosunkowo<br />
dużej liczby przedziałów w czasie M. Ponieważ dyskretna<br />
transformata Gabora pozwala dobierać dokładność<br />
reprezentacji sygnału na podstawie kompromisu pomiędzy<br />
jego rozdzielczością w domenie czasu a częstotliwości, to<br />
i wielkość zysku obliczeniowego (stopy redukcji liczby operacji<br />
arytmetycznych) jest zmienna. Jednak nawet w najgorszym<br />
przypadku najmniejszy zysk jest co najmniej dwukrotny w stosunku<br />
do niezoptymalizowanej wersji transformaty.<br />
Transformata Gabora jest jedną spośród metod dekompozycji<br />
sygnału do dziedziny czasowo-częstotliwościowej i jego<br />
rekonstrukcji do dziedziny czasu. W przypadku wykorzystania<br />
okna gaussowskiego, uzyskiwana jest bardzo dobra lokalizacja<br />
otrzymanej reprezentacji w dziedzinie czasu i częstotliwości<br />
[1], ograniczona zasadą nieoznaczoności Heisenberga.<br />
Transformata Gabora cechuje się zatem niską redundancją<br />
zawartej w niej informacji czasowo-częstotliwościowej [2],<br />
wprzeciwieństwie do krótkookresowej transformaty Fouriera<br />
(dla której redundancja informacji jest duża [3]). Porównanie<br />
właściwości transformaty Gabora z transformatą krótkookresową<br />
można odnaleźć w [4].<br />
Dzięki nadpróbkowaniu (ang. oversampling) a więc takiemu<br />
doborowi liczby przedziałów w czasie (M) i częstotliwości<br />
(N) dla którego spełniony jest warunek MN ≥ L (gdzie za<br />
L oznaczono długość sygnału), istnieje możliwość uzyskania<br />
wysokiej rozdzielczości czasowo-częstotliwościowej.<br />
Transformata Gabora jest dobrym narzędziem do reprezentacji<br />
obrazów. Entropia obrazu reprezentowanego za pomocą<br />
DGT jest znacznie mniejsza od entropii bitmapy, co<br />
szczególnie dla silnych stopni kompresji daje możliwość uzyskania<br />
lepszych wyników kompresji obrazów od osiąganych za<br />
pomocą DCT [5]. Szerokie zastosowania dla DGT znaleźć<br />
można również w systemach przetwarzania sygnałów dźwiękowych.<br />
Zastąpienie STFT transformatą Gabora w systemach<br />
rozpoznawania tekstu pracujących z nagraniami zaszumionymi<br />
postulowane zostało w pracy [6]. Transformata ta wykorzystywana<br />
jest również w systemach rozpoznawania<br />
obiektów, analizy sygnałów (np. ech sejsmicznych) i innych.<br />
Duży „koszt” wyznaczenia transformaty Gabora (również<br />
w sytuacji próbkowania krytycznego w której MN = L) zrodził<br />
potrzebę stworzenia szybkich algorytmów DGT. Precyzyjnego<br />
porównania metod o złożoności z zakresu od O(L 2 ) do<br />
O(Llog 2 L) dostarcza artykuł Orra [7], omawiający metody biortogonalne<br />
(multiply and add, algorytm Balarta [8], Expurgated<br />
FFT-based [7]), metody wyznaczania DGT wykorzystujące dekonwolucję<br />
oraz metodę opartą na transformacie Zaka [7,11].<br />
Szybszy od wymienionych algorytm dekompozycji pozwalający<br />
na dokonanie analizy i syntezy ze złożonością rzędu<br />
O(Llog 2 L) można odnaleźć w [9]. Przegląd metod wyznaczenia<br />
transformaty Gabora w 2D (poprzez inwersję macierzy,<br />
transformatę Zaka i metodę relaxation network) pod kątem<br />
prędkości, dokładności i stabilności można odnaleźć w [5].<br />
Najszybszy znany autorom algorytm DGT, wykorzystujący filtry<br />
rekurencyjne cechuje się zadeklarowaną złożonością obliczeniową<br />
sięgającą O(L) [10].<br />
Niestety część spośród szybkich algorytmów dostarcza<br />
w pewnych sytuacjach nieprawidłowych współczynników analizy.<br />
Przykładem może być algorytm wykorzystujący transformatę<br />
Zaka, który dla pewnych danych może dawać błędne<br />
rezultaty [8]. Niekiedy dopuszczanie do pojawienia się niewielkich<br />
przekłamań jest celową strategią, pozwalającą na<br />
zredukowanie złożoności obliczeniowej (czego przykładem<br />
może być m.in. metoda przedstawiona w [11]).<br />
Założeniem przyjętym podczas projektowania przedstawionego<br />
w artykule algorytmu, było dostarczenie metody<br />
pozwalającej na uzyskanie współczynników analizy nieróżniących<br />
się od wyznaczanych za pomocą algorytmu macierzowego<br />
(przedstawionego w kolejnym punkcie artykułu).<br />
Określenie DGT w ujęciu macierzowym<br />
Dyskretne rozwinięcie Gabora sygnału x(k) (wyznaczane gdy<br />
MN ≥ L [12]), może zostać wyrażone jako [11]:<br />
gdzie: h(k) oznacza okno syntezy, którym zazwyczaj jest okno<br />
gaussowskie ze względu na jego dobrą lokalizację w dziedzinie<br />
czasu i częstotliwości. Niestety przesunięte w czasie, zmodulowane<br />
funkcje elementarne nie tworzą bazy ortogonalnej.<br />
Transformata Gabora jest zatem transformatą nieortogonalną<br />
[13], co rodzi problem jednoznacznego określenia współczynników<br />
rozwinięcia Gabora. Jednym z możliwych rozwiązań<br />
jest użycie zaproponowanej przez Bastiaansa [14] metody polegającej<br />
na odnalezieniu okna dualnego γ(k) (w stosunku do<br />
okna syntezy h(k)). Wyznaczenie okna γ(k) pozwala na uzyskanie<br />
współczynników analizy y m,n według zależności [11]:<br />
Okno dualne powinno zostać dobrane w taki sposób, aby<br />
spełniony został warunek biortogonalności pomiędzy h(k) i γ(k):<br />
(gdzie δ oznacza deltę Kroneckera [15]), którego dowód dla<br />
sygnałów dyskretnych można odnaleźć w [16]. Ponieważ<br />
przebieg okna syntezy zależy od długości sygnału, a także od<br />
ustalonej liczby przedziałów w dziedzinie czasu i częstotliwości,<br />
zatem również kształt okna analizy zależny jest od<br />
wspomnianych czynników (rys. 1).<br />
Uzyskanie wartości okna dualnego może zostać dokonane<br />
przez wyznaczenie macierzy odwrotnej w stosunku do H MN :<br />
(1)<br />
(2)<br />
(3)<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 57
(4)<br />
W celu uzyskania macierzy pozwalającej na dokonanie<br />
obecnej we wzorze (1) modulacji okna gaussowskiego<br />
(a także okna dualnego γ(k) z równania 2) sinusoidami o poszczególnych<br />
częstotliwościach, budowana jest blokowo-diagonalna<br />
macierz [17]:<br />
której elementami są macierze diagonalne :<br />
(7)<br />
zawierające N spośród L elementów okna syntezy h(k).<br />
Rozpiętość okna wykorzystywanego do uzyskania DGT<br />
jest niezależna od ustalonej liczby przedziałów analizy sygnału<br />
w czasie. Z tego powodu konieczne jest wykorzystanie<br />
okna o odpowiednio dobranej wariancji i przesuniętego cyklicznie<br />
o odpowiednią liczbę próbek (w taki sposób, by<br />
w każdym kroku maksimum okna znajdowało się w centrum<br />
analizowanego zakresu sygnału):<br />
(5)<br />
(6)<br />
gdzie za pomocą operatora „* ” oznaczono sprzężenie hermitowskie.<br />
Macierz złożona jest z M macierzy E* N :<br />
a więc macierzy dyskretnej transformaty Fouriera dostarczającej<br />
informacji o częstotliwościach zawartych w sygnale.<br />
Uzyskanie zbioru współczynników analizy Y MNx1 wymaga<br />
wyznaczenia iloczynu macierzy E^MN z macierzą Γ MN oraz<br />
wektorem danych wejściowych:<br />
(8)<br />
(9)<br />
Sposób selekcjonowania L elementów macierzy H -1 MN =<br />
Γ MN opisujących przebieg okna γ(k), przedstawiony został za<br />
pomocą algorytmu (1). Ujęcie transformaty Gabora w notacji<br />
macierzowej eliminuje jednak potrzebę tego typu działania.<br />
gdzie:<br />
(10)<br />
Synteza procedury szybkiego<br />
wyznaczania DGT<br />
Rys. 1. Przebieg okien syntezy (a) i analizy (b) dla sygnału<br />
o długości L = 64 w przypadku, gdy M = 4 i N = 16 (linia czarna) oraz<br />
gdy M = N = 8 (linia czerwona)<br />
Fig. 1. Schedule representations of synthesis window (a) and<br />
analysis window (b) for signal of length L = 64 for M = 4, N = 16<br />
(dark curve) and for M = N = 8 (red curve)<br />
Struktura macierzy H MN budowana jest bowiem w taki<br />
sposób, aby jej iloczyn z wektorem zawierającym sygnał wejściowy<br />
odpowiadał iloczynowi odpowiednich elementów sygnału<br />
i okna opisanych równaniem (2).<br />
Złożoność obliczeniowa realizacji transformacji Gabora według<br />
procedury (9) jest relatywnie duża ze względu na konieczność<br />
wykonania operacji odwrócenia macierzy oraz dwóch operacji<br />
mnożenia wektora przez macierz. Dlatego intencją projektantów<br />
było poszukiwanie sposobów minimalizacji liczby operacji<br />
arytmetycznych niezbędnych do realizacji omawianej procedury.<br />
Stąd, na przykład, w pracach [11,18] zostało zaproponowane<br />
przyspieszenie obliczeń dokonywane za pomocą<br />
„szybkich” algorytmów odwrócenia macierzy H NM . Należy jednak<br />
zauważyć, że ponieważ elementami tej macierzy są<br />
„z góry” znane liczby stałe, to tak naprawdę, odwrócenia macierzy<br />
można by było dokonać zawczasu i przechowywać wyniki<br />
odwrócenia w pamięci urządzenia przetwarzającego<br />
w przeciągu realizacji procesu obliczeniowego, pobierając je<br />
w miarę potrzeby. Natomiast znacznie ciekawszym by było<br />
skupienie się na przyspieszeniu operacji (a raczej „makrooperacji”)<br />
wyznaczania iloczynu wektora danych przez macierz<br />
Γ NM . Niezależnie od tego, czy elementy macierzy Γ NM wy-<br />
58 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
znaczane są „z góry” i przechowywane w pamięci, czy zostały<br />
wyliczone za pomocą jednego z „szybkich” algorytmów odwrócenia<br />
macierzy, żadnych innych udoskonaleń procesu obliczeniowego<br />
opisywanego za pomocą procedury (9) jak dotąd<br />
nie zaproponowano. Okazuje się, że możliwość dalszej racjonalizacji<br />
liczenia transformaty Gabora jednak istnieje i polega<br />
ona właśnie na dokonaniu faktoryzacji macierzy Γ NM . Rozpatrzmy<br />
tę kwestię bardziej szczegółowo.<br />
Na rysunku 2. zilustrowana została struktura macierzy Γ 16<br />
dla przypadku M =8przedziałów w czasie i N =2w częstotliwości.<br />
Macierze Γ MN wypełniane są elementami wybieranymi<br />
ze zbioru L wartości opisujących kształt okna dualnego. Jak<br />
łatwo zauważyć wszystkie wartości opisujące przebieg okna<br />
występują w każdej spośród M grup złożonych z N wierszy.<br />
Każda z M grup przesunięta jest cyklicznie o N elementów<br />
względem poprzedniej, co pozwala na wyselekcjonowanie za<br />
pomocą opisywanej macierzy odpowiednich fragmentów sygnału.<br />
Specyficzna blokowo-diagonalna struktura macierzy<br />
Γ MN daje również możliwość wielokrotnego zastosowania procedur<br />
dekompozycji zaproponowanych w [19].<br />
Wymiarowość macierzy oraz może zostać<br />
określona jako:<br />
Przez H 2 oznaczono macierz Hadamarda 2 rzędu:<br />
(13)<br />
(14)<br />
(15)<br />
Ponieważ H 2 = E 2 , dlatego macierze H 2 można zastąpić macierzami<br />
E 2 (co uczyniono podczas konstruowania modelu<br />
grafostrukturalnego przedstawionego na rysunku (3)). Jako<br />
T 3x2 i T 2x3 oznaczono macierze:<br />
(16)<br />
Symbolami „⊗” oraz „⊕” oznaczono odpowiednio operację iloczynu<br />
tensorowego oraz sumy prostej dwóch macierzy [19].<br />
Elementy macierzy D P mogą zostać uzyskane w wyniku<br />
rekurencyjnej procedury (wymagającej przeprowadzenia<br />
log 2 M iteracji), przedstawionej za pomocą algorytmu (2). Wykorzystanie<br />
algorytmu wymaga znajomości wartości elementów<br />
okna dualnego. Do ich wyselekcjonowania z macierzy Γ MN<br />
można posłużyć się metodą przedstawioną w algorytmie (1).<br />
Wymiarowość uzyskanej macierzy D P może zostać określona<br />
za pomocą zależności:<br />
(17)<br />
Rys. 2. Struktura macierzy Γ 16 dla M = 8, N = 2<br />
Fig. 2. Structure of matrix Γ 16 for M = 8, N = 2<br />
W wyniku przeprowadzenia log 2 M iteracji dekompozycji<br />
macierzy Γ MN , uzyskana może zostać procedura szybkiego<br />
algorytmu wyznaczania transformaty Gabora, opisana zależnością:<br />
Ponieważ D P jest macierzą diagonalną, zatem liczba mnożeń<br />
wykonywanych w celu uzyskania transformaty Gabora (w sytuacji<br />
próbkowania krytycznego) będzie dla przedstawionej<br />
procedury równa P.<br />
Liczba operacji dodawania konieczna do przeprowadzenia<br />
prezentowanej procedury dana jest natomiast zależnością:<br />
(11)<br />
(18)<br />
gdzie:<br />
(12)<br />
W przypadku przetwarzania wielu sygnałów, koszt wyznaczania<br />
macierzy D P a także elementów macierzy Γ MN poniesiony<br />
zostanie w sytuacji dostarczania sygnałów o różnej<br />
długości. Ten koszt będzie poniesiony również, jeżeli ulegnie<br />
zmianie liczba przedziałów analizy sygnału w czasie (M) lub<br />
częstotliwości (N).<br />
Nakład ten można w pewnym stopniu zredukować wykorzystując<br />
fakt dostarczania niezależnych względem siebie<br />
współczynników rozwinięcia Gabora w sytuacji próbkowania<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 59
krytycznego. Daje to możliwość K-krotnego wyznaczania<br />
transformaty Gabora obliczonej w M/K przedziałach w czasie<br />
i N przedziałach w częstotliwości.<br />
Rozpatrzmy przykład proponowanego algorytmu w przypadku,<br />
gdy L = 16, M = 8 i N =2. Wówczas procedura (11)<br />
przybiera postać:<br />
s 8 = 0,25(a + i - e - m) (34)<br />
s 9 = 0,25(b + j - f - n) (35)<br />
s 10 = 0,5(k - c - o + g - m + e + a - i) (36)<br />
poszczególne zaś macierze są postaci:<br />
(19)<br />
(20)<br />
(21)<br />
(22)<br />
(23)<br />
s 11 = 0,5(l - d - p + h - n + f + b - j) (37)<br />
s 12 = 0,5(o - g - c + k - m + e + a - i) (38)<br />
s 13 = 0,5(p - h - d + l - n + f + b - j) (39)<br />
s 14 = 0,5(m - e - a + i) (40)<br />
s 15 = 0,5(n - f - b + j) (41)<br />
s 16 = 0,5(c - k - o + g - e + m + a - i) (42)<br />
gdzie:<br />
(24)<br />
(25)<br />
s 17 = 0,5(d - l - p + h - f + n + b - j) (43)<br />
s 18 = 0,5(g - o - c + k - e + m + a - i) (44)<br />
s 19 = 0,5(h - p - d + l - f + n + b - j) (45)<br />
s 0 = 0,125(a + i + e + m + c + k + g + o) (26)<br />
s 1 = 0,125(b + j + f + n + d + l + h + p) (27)<br />
s 2 = 0,125(a + i + e + m - c - k - g - o) (28)<br />
s 3 = 0,125(b + j + f + n - d - l - h - p) (29)<br />
s 4 = 0,25(g + o - c - k - a - i - e - m) (30)<br />
s 5 = 0,25(h + p - d - l - b - j + f + n) (31)<br />
s 6 = 0,25(c + k - g - o - a - i + e + m) (32)<br />
s 7 = 0,25(d + l - h - p - b - j + f + n) (33)<br />
s 20 = 0,5(e - m - a + i) (46)<br />
s 21 = 0,5(f - n - b + j) (47)<br />
s 22 = 0,5(o - g - a + i) (48)<br />
s 23 = 0,5(p - h - b + j) (49)<br />
s 24 = 0,5(c - k - a + i) (50)<br />
s 25 = 0,5(d - l - b + j) (51)<br />
s 26 = 0,5(a - i) (52)<br />
s 27 = 0,5(b - j) (53)<br />
60 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Rys. 3. Grafo-strukturalny model organizacji procesu obliczeniowego wyznaczania DGT zgodnie z proponowanym algorytmem, dla L = 16,<br />
M = 8, N = 2<br />
Fig. 3. The graph-structural model of DGT computing process organization according to proposed algorithm for L = 16, M = 8, N = 2<br />
Na rysunku 3. pokazano model grafostrukturalny ilustrujący<br />
organizacje procesu obliczeniowego wyznaczania<br />
współczynników dyskretnej transformaty Gabora zgodnie<br />
z opracowaną procedurą (dla L = 16, M = 8 i N =2). Liniami<br />
prostymi oznaczone są operacje transferu danych. W przypadku<br />
tego modelu skupienie linii prostych w odpowiednich<br />
punktach oznacza operacje dodawania, natomiast linie rozchodzące<br />
sie (rozgałęzienia) - zwykłe operacje dublowania<br />
danych. Kółkami na tym modelu są przedstawione operacje<br />
mnożenia przez stałe w nie wpisane, prostokątami zaś oznaczone<br />
zostały bloki mnożenia wpisanych w nie macierzy przez<br />
odpowiednie podwektory danych.<br />
Uzyskane rezultaty<br />
Na rysunku 4. porównano nakład obliczeniowy ponoszony<br />
w sytuacji użycia zaproponowanej metody szybkiego wyznaczania<br />
DGT a także w sytuacji wykorzystania procedury (9)<br />
do analizy sygnału o długości L = 4096.<br />
Nakład dla metody macierzowej oszacowano przy<br />
założeniu wykonywania jedynie niezbędnych mnożeń (a więc<br />
założeniu odpowiedniego selekcjonowania elementów macierzy<br />
Γ MN oraz X MNx1 ). Można zauważyć, iż stopień redukcji<br />
złożoności obliczeniowej staje się coraz mniejszy (w odniesieniu<br />
do metody macierzowej) wraz ze wzrostem M. Zapro-<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 61
Rys. 4. Porównanie złożoności obliczeniowej metody macierzowej<br />
[11] i proponowanego algorytmu wyznaczania DGT, dla sygnału<br />
o długości L = 4096<br />
Fig. 4. Comparison of computing complexity of method [11] and<br />
proposed algorithm for signal of length L = 4096<br />
ponowana procedura wyznaczania DGT cechuje się jednak<br />
mniejszym kosztem obliczeniowym od pozostałych metod wykorzystujących<br />
okna dualne (takich jak algorytm Balarta [8]<br />
czy metoda Expurgated FFT-based [7]) w sytuacji doboru stosunkowo<br />
dużej liczby przedziałów analizy w czasie (M).<br />
Literatura<br />
[1] Lienhart R., Boogaart C.: Fast Gabor Transformation For Processing<br />
High Quality Audio. In IEEE International Conference on<br />
Acoustics. Speech and Signal Processing - ICASSP 2006, vol. 3,<br />
2006, pp. 161-164.<br />
[2] Chen D., Qian S.: Joint Time-Frequency Analysis - Methods and<br />
Applications. Prentice Hall, 1996.<br />
[3] Zielinski T.: Cyfrowe przetwarzanie sygnałów. WKŁ, Warszawa,<br />
2007.<br />
[4] Auslander L., Buffalano C., Orr R., Tolimieri T.: Comparison of<br />
the Gabor and short-time Fourier transforms for signal detection<br />
and feature extraction in noisy environments. Proc. SPIE Int.<br />
Soc. Opt. Eng., 1348, 1990, pp. 230-247.<br />
[5] Reed T., Chien T.: A Performance Analysis of Fast Gabor Transform<br />
Methods. Graphical Models and Image Processing, 59(3),<br />
1997, pp. 117-127.<br />
[6] Madan V.: Analysis of Spoken Words Employing Gabor Transform.<br />
In Workshop on Spoken Language Processing, Mumbai,<br />
India, 2003.<br />
[7] Orr R.: The Order of Computation for Finite Discrete Gabor<br />
Transforms. IEEE Transactions on Signal Processing, 41(1),<br />
1993, pp. 122-130.<br />
[8] Balart R.: Matrix reformulation of the Gabor transform. Optical<br />
Engineering, 1992, pp. 1235-1242.<br />
[9] Qiu S., Zheng F., Crandall P.: Discrete Gabor transforms with<br />
complexity. Signal Processing, 77, 1999, pp. 159-170.<br />
[10] Young I., Vliet L., Ginkel M.: Recursive Gabor filtering. IEEE<br />
Transactions on Signal Processing, 50, 2002, pp. 2798-2805.<br />
[11] Ahalt S., Stewart D., Potter L.: Computationally attractive real<br />
Gabor transforms. IEEE Transactions on Signal Processing,<br />
43(1), 1995, pp. 77-83.<br />
[12] Chen D., Qian S.: Discrete Gabor Transform. IEEE Transactions<br />
on Signal Processing, 41(7), 1993, pp. 2429-2438.<br />
[13] Strohmer T.: A unified approach to numerical algorithms for discrete<br />
Gabor expansions. In Proc. SampTA - Sampling Theory<br />
and Applications, Aveiro/Portugal, 1997, pp. 297-302.<br />
[14] Bastiaans M.: Gabor expansion of a signal into Gaussian elementary<br />
signals. Proc. IEEE, 68, 1980, pp. 594-598.<br />
[15] Janssen A.: Signal analytic proof of two basic results on lattice<br />
expansions. Appl. Comp. Harm. Anal., 1(4), 1994, pp. 350-354.<br />
[16] Wexler J., Raz S.: Discrete Gabor expansions. Signal Processing,<br />
21(3), 1990, pp. 207-221.<br />
[17] Yao J.: Complete Gabor Transformation for Signal Representation.<br />
IEEE Transactions on Image Processing, 2(2), 1993, pp.<br />
152-159.<br />
[18] Kracher G., Hampejs M.: The inversion of Gabor-type matrices.<br />
Signal Processing, (87), 2007, pp. 1670-1676.<br />
[19] Ţariov A.: Strategie racjonalizacji obliczen przy wyznaczaniu iloczynów<br />
macierzowo-wektorowych. Metody Informatyki Stosowanej,<br />
2008, pp. 147-158.<br />
Flexible packet scheduling algorithm utilization<br />
for on-chip networks<br />
(Algorytm elastycznego kolejkowania pakietów w sieciach<br />
wewnątrzukładowych)<br />
mgr inż. PAWEŁ STOLARSKI, dr inż. TOMASZ MĄKA, dr inż. PIOTR DZIURZAŃSKI<br />
Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki, Szczecin<br />
Using contemporary technology, it is possible to implement a<br />
large number of computational units inside a single chip. Such<br />
kind of chip is usually referred to as System on Chip - SoC.<br />
A typical system of this type is usually composed of computational<br />
elements, I/O interfaces, memory, and communication<br />
infrastructure. Due to the continuously increasing complexity of<br />
these systems and low scalability of inner connections, system<br />
cores are connected with Network on Chip (NoC) [1].<br />
These networks are an alternative to the state-of-the-art point<br />
to point or bus-based connections and, similarly to buses, they<br />
offer an universal interface for connecting SoC elements. However,<br />
NoCs guarantee better electrical parameters of transmitted<br />
signals, higher bandwidth and are capobility of transferring<br />
a few portions of information simultaneously [4].<br />
Owing to the specificity of the NoCs and the complexity of<br />
the cores, it is necessary to develop an appropriate communication<br />
architecture to get a requested efficiency of the algorithm<br />
implementation. Moreover, depending on the user<br />
requirements and the constraints of the realized algorithms,<br />
NoCs should support mechanisms guaranteeing an appropriate<br />
level of service [6]. Quality of Service, QoS, determines<br />
the capabilities of a network to guarantee the required transmission<br />
parameters for a selected traffic or link. Typically, the<br />
guaranteed parameters are delay and throughput [6].<br />
62 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
To guarantee QoS, it is necessary to realize the three following<br />
tasks. The first is to identify traffics in a network element.<br />
The incoming data is to be assigned into appropriate<br />
traffic classes and serviced according to the rules defined for<br />
these traffics. The identification is performed based on the<br />
data placed in the package header or the signals received<br />
from other interfaces. The second aspect is implementation<br />
of QoS mechanism inside a network element. Routing and<br />
buffering algorithms, together with scheduling packages to<br />
links have to incorporate the rules, which makes it possible to<br />
follow the QoS constraints for all packages transmitted by<br />
a network element. The last problem is to control the traffics<br />
and fulfilling the requirements for all links in the whole network.<br />
In NoCs, this aspect is usually considered only at the<br />
system design stage [10]. The QoS mechanisms can be divided<br />
into two groups: based on bandwidth allocation and<br />
buffer allocation. The first group includes Time Division Multiplexing<br />
(TDM) scheme, which introduces dividing system<br />
working time into time slots. In every slot, there is a certain<br />
transmission type defined. The slots are to be organized in<br />
the form that guarantees conflict-free transmission with certain<br />
parameters. The arbitration mechanism determines the order<br />
of data transmission on router output based on the traffic class<br />
priorities. The buffer allocation mechanisms, on the other<br />
hand, is based on virtual channels utilization, i.e., the connection<br />
mechanisms whose buffers assigned to a transmission<br />
are allocated for the transmission exclusively [5].<br />
There exist various approaches for guaranteeing quality<br />
of service. One of the most widely used solution is based on<br />
the constant priorities assigned to the identified traffic classes.<br />
This scheme is used, for example, in [3]. Another technique is<br />
to apply cyclic algorithms, which have been implemented in<br />
network [7]. The virtual channels are primary mechanism used<br />
in NoCs in order to improve the link throughput [2]. In this<br />
scheme, a virtual route is established between a sender and<br />
a receiver, and then the data stream is transferred between<br />
these cores. This route is set for the time of the whole package<br />
transmission and then the route is released. The technique<br />
proposed in the sequel of this paper utilizes a QoS<br />
scheme exploiting this mechanism.<br />
However, if the proposed algorithm with dynamic priorities (Algorithm<br />
1) is used, the class priority is modified after each flit<br />
transmission. After a few cycles, the priority of the class initially<br />
lower than A becomes higher and, consequently, this<br />
package will be then transmitted (Fig. 3).<br />
Assuming the tolerable delays of the higher traffic classes,<br />
it is possible to steer the priorities so that the packages of the<br />
lower classes can be transmitted in the cycles initially dedicated<br />
for other, higher classes. Although this operation increases<br />
the delay of the higher class packages, by decreasing<br />
the delay of the lower classes it may result in better network<br />
resources utilization. Moreover, it can cause all the traffic<br />
classes to be transferred with the assumed QoS parameters.<br />
Fig. 1. Contention of two traffics<br />
Rys. 1. Konflikt między dwoma transmitowanymi strumieniami<br />
danych<br />
Dynamic priority QoS mechanism<br />
The primary algorithm for arbitrage used for guaranteeing the<br />
assumed quality of service is an algorithm assigning constant<br />
priorities to the traffic classes. In this case, the problem with<br />
starvation of the lower class packages may appear under large<br />
load of the network. An example distribution of transmission<br />
that may lead to the starvation of lower class packages is presented<br />
in Fig. 1. In the nodes where the routes for both transmission<br />
A and B are the same, it is required to execute the<br />
algorithm for selecting the transmission precedence. If the priority<br />
algorithm is used, the class of higher priority can block<br />
the transmission of the lower priority package entirely. When<br />
both transmissions via routes A and B have the same priority,<br />
the packages of the transmission received earlier would be<br />
transferred. Four classes of traffic have been defined: very high<br />
(VH), high (H), low (L), and very low (VL). These classes are<br />
assigned with numeric priorities, denoted as P VH , P H , P L , and<br />
P VL , respectively. The traffic with higher priority numeric value<br />
is handled before the traffics with the lower ones.<br />
In the priority algorithm, packages of the A class (the highest)<br />
are transmitted in subsequent cycles, even though there<br />
exist other class packages waiting for transmission. This situation<br />
lasts until all A-class packages have been sent (Fig. 2).<br />
Fig. 2. Successive steps of the priority algorithm<br />
Rys. 2. Kolejne kroki algorytmu priorytetowego<br />
Fig. 3. Successive steps of the algorithm with dynamic priority<br />
Rys. 3. Kolejne kroki algorytmu z dynamicznym priorytetem<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 63
a)<br />
b)<br />
Tabl. 1. Scheduling algorithm with the dynamic priority<br />
Tab. 1. Algorytm kolejkowania z dynamicznym priorytetem<br />
1:<br />
2:<br />
3:<br />
4:<br />
5:<br />
6:<br />
7:<br />
8:<br />
9:<br />
10:<br />
11:<br />
12:<br />
13:<br />
14:<br />
15:<br />
16:<br />
17:<br />
18:<br />
19:<br />
PSL: priority of class SL<br />
PTmpSL: temporary priority of class SL<br />
∆SL: change of priority of class SL<br />
BSL: number of the flits stored in a buffer for class SL<br />
for utilized traffic classes SL do<br />
PTmpSL ← PSL<br />
end for<br />
while true do<br />
SLTmp ← choose the class of the highest PTmp, for which<br />
BSLTmp > 0<br />
transfer a flit of class SLTmp<br />
for used traffic classes SL do<br />
if SL ! = SLTmp and BSL > 0 then<br />
PTmpSL = PTmpSL + ∆SLTmp<br />
end if<br />
if SL == SLTmp then<br />
if BSL > 0 then<br />
PTmpSL = PTmpSL − ∆SLTmp<br />
else if BSL == 0 or the last flit of the package then<br />
PTmpSL = PSL<br />
end if<br />
end if<br />
end for<br />
end while<br />
c)<br />
d)<br />
The ∆SL parameter, linked with traffic class SL, is introduced<br />
in the algorithm based on a constant priority. This parameter,<br />
referred to as priority aging factor, determines the<br />
value modifying the class priority after transmitting a package<br />
of the SL class. The transmission causes decreasing the priority<br />
of the class associated with the traffic and increasing the<br />
remaining traffic priorities. Packages waiting for the transmission<br />
obtain then higher and higher priority up to the time of<br />
their transmission.<br />
When a number of packages with different classes are to<br />
be transmitted by a single link, their priorities would equalize<br />
after a certain number of cycles, depending on the ∆ parameter<br />
and the initial class priorities. Then, they are transmitted<br />
similarly to the cyclic mode. The alteration of the class priority<br />
results in faster priorities equalize and faster transmission<br />
alterations. As a result, the packages with the lower priority<br />
gain the access to the link faster than in the case when the priorities<br />
of the untransferred packages were increased.<br />
It is necessary to restore the previous class priority after<br />
the package is entirely transmitted. Having omitted this operation,<br />
after a number of cycles, the priorities of all classes<br />
would equate. The goal of the implemented mechanism is to<br />
solve long-lasting conflicts among a few traffic classes. The<br />
values of the initial priority and ∆ parameters should be adjusted<br />
to the problem and the traffic generated by the network.<br />
Setting of varied ∆ parameters for each traffic class allows<br />
us to define their values of changes individually. The example<br />
results are provided in Fig. 4.<br />
NoC architecture<br />
Fig. 4. Results for constant priority (a); cyclic (b); dynamic priority<br />
(P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with ∆ = 0.2 (c) and dynamic<br />
priority (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with ∆ = 0.5 (d) arbitrage<br />
Rys. 4. Wyniki uzyskane przy stałym priorytecie (a); cyklicznym (b);<br />
dynamicznym priorytecie (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) z ∆ = 0,2<br />
(c) i dynamicznym priorytecie (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with<br />
∆ = 0,5 (d)<br />
The QoS mechanisms, presented in the previous section,<br />
have been implemented in an MPSoC with the network topology<br />
depicted in Fig. 5. The network has been built according<br />
to the mesh architecture with four virtual channels. In the figure,<br />
IP Block (Intellectual Property Block) denotes any element<br />
inside SoC which uses a NoC for communication with<br />
the remaining elements of the system. Routers are devices<br />
which route packages inside networks utilizing the popular XY<br />
64 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
algorithm where flits are first routed horizontally and then vertically.<br />
Based on the implemented algorithms, the routers<br />
move packages from their input towards output ports allowing<br />
mutual communication of the elements [1]. The wormhole<br />
scheme has been used as a switching mechanism. In this<br />
scheme, packages are split into smaller portion of data - flits<br />
(flow control units). The flits are sent to the next hop node<br />
even if there is no room for storing the whole package. All flits<br />
are of equal length and usually their size is equal to the number<br />
of wires in the data bus. Only the first flit of a package includes<br />
the address of the target element, the remaining flits<br />
follows it using the same route. Typically, the link between two<br />
routers is blocked by a package as long as all its flits are transferred<br />
to the next hop node [9,1,11].<br />
The fields of the flit for the proposed architecture and the<br />
structure of the designed router are provided in Fig. 6 and 7<br />
respectively. The input port contains 4 buffers and a write controller.<br />
The number of utilized buffers is equal to the number<br />
of the defined traffic classes. Packages of different classes<br />
are then buffered independently. The controller is connected<br />
to the neighboring router by the mean of input ports. Its function<br />
is to manage the writing of the received data to the appropriate<br />
buffer, and to transmit information about their state.<br />
After receiving a portion of data by an input port, in the same<br />
cycle its traffic class is identified and its transmission to the<br />
appropriate port using one of four possible outputs, one for<br />
each buffer is procceded. Between the controller and the<br />
buffer, there exits 1-bit bus that allows the controller to receive<br />
the information about free space in that buffer. The controller<br />
owns 4 connections of this kind - one for each buffer. The<br />
process of traffic class identification is carried out according to<br />
the marker distinguished in the flit structure (Fig. 6).<br />
a)<br />
c)<br />
b)<br />
Fig. 7. Router architecture: internal structure (a), switch (b), input<br />
port (c)<br />
Rys. 7. Architektura rutera: struktura wewnętrzna (a), przełącznik<br />
(b), port wejściowy (c)<br />
Experimental results<br />
Fig. 5. Top level of the chosen NoC architecture<br />
Rys. 5. Najwyższy poziom hierarchii wybranej architektury wewnątrzukładowej<br />
Class<br />
type<br />
data<br />
7<br />
5<br />
3<br />
0<br />
Using the model described earlier in the paper, we carried out<br />
some experiments with the proposed arbitrage algorithms. We<br />
defined three routes in the network (Fig. 8) for measuring the<br />
flit transmission time. These routes run by the network parts<br />
characterized with different loads. Three cores are selected<br />
to generate packages to one of the three selected destination<br />
cores, as shown in Tabl. 2, where the s and r subscripts denote<br />
the sender and receiver nodes, respectively. The remaining<br />
cores generate flits to random target elements. The<br />
random selection of the target element is performed according<br />
to the uniform distribution. The frequency of the package<br />
generation depends on the chosen value of the appropriate<br />
parameter. The network load is proportional to the package<br />
Code<br />
Type<br />
11<br />
header<br />
01<br />
data<br />
00<br />
end of package<br />
Fig. 6. Flit structure<br />
Code<br />
Class<br />
11<br />
VH (the highest priority)<br />
10<br />
H<br />
01<br />
L<br />
00<br />
VL (the lowest priority)<br />
Rys. 6. Struktura flitu<br />
Tabl. 2. Routes used for the analysis of the network efficiency<br />
Tab. 2. Ścieżki wykorzystane do analizy efektywności sieci<br />
Route Source address (X,Y) Destination address (X,Y)<br />
A (1.0) (3.1)<br />
B (0.1) (2.3)<br />
C (0.3) (1.1)<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 65
Fig. 8. Routes used for the analysis of the network efficiency<br />
Rys. 8. Ścieżki wykorzystane do analizy efektywności sieci<br />
generation probability and influences the package delay. The<br />
cores generating packages randomly must not generate packages<br />
to the cores selected as the target elements of the analyzed<br />
routes. This constraint is required for fair comparison of<br />
the times of package generation and receiving.<br />
We implemented the proposed architecture in SystemC<br />
hardware description language using Synopsys CoCentric<br />
SystemStudio (The Software described in this document is<br />
furnished under a license from Synopsys (Northen Europe)<br />
Limited), a system-level design creation, simulation and analysis<br />
tool. The simulations have been performed for three various<br />
probabilities of the random packages generation - three<br />
different network load scenarios. In Tabl. 4, the number of<br />
packages generated in every scenario is provided. The generated<br />
packages are comprised of 8 flits. The simulation was<br />
carried out during 2000 clock cycles. The comparison of the<br />
proposed technique with the methods utilizing constant priorities<br />
and cyclic algorithms are presented in Tabl. 1. In all<br />
cases, the average delay for all classes is almost the same.<br />
However, using the constant priorities, one gets the transfers<br />
with relatively high standard deviation. It means that the packages<br />
of low priority are prone to starvation. On the other hand,<br />
using the cyclic priorities, the importance of various traffic<br />
classes is ignored - they are treated similarly by the arbitrage<br />
algorithm. The proposed approach is the most flexible; by selecting<br />
an appropriate priorities and aging factor, it is possible<br />
to steer the standard deviation to the level required by the particular<br />
system.<br />
The results obtained with the priority algorithm are shown<br />
in Tabl. 3. With the increase of the network load, the delay of<br />
the class with the highest priority and its standard deviation<br />
remains at a constant level. The lower is the class parameter,<br />
the faster its parameters deteriorate. In particular, the delay<br />
of the lowest priority traffic class delay is about 17 times higher<br />
in comparison with the delay of the packages with the highest<br />
class priority under the highest load.<br />
Tabl. 3. Comparison of minimum (min), maximum (max), average (t) delays and their standard deviation (σ t ) of the priority algorithm<br />
Tab. 3. Porównanie minimalnego (min), maksymalnego (max) i średniego (t) opóźnienia oraz odchylenia standardowego (σ t ) algorytmu priorytetowego<br />
Route A<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 47 67 57.4 5.1 48 121 75.2 23.7 43 97 65.5 13.9<br />
H 46 84 70.7 8.6 46 261 159.7 69.8 76 407 216.9 120.8<br />
L 62 369 179.7 77.2 62 854 626.4 276.1 301 1269 1026.9 301.9<br />
VL 78 1102 737.8 221.2 78 1373 1262.2 215.2 1554 1631 1592.8 31.4<br />
Route B<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 57 78 68.7 5.2 57 77 68.1 5.1 59 98 72.6 10.3<br />
H 56 94 81.9 8.9 56 163 91.3 27.7 56 370 188.5 103.5<br />
L 72 381 191 77.9 72 652 333.5 220.3 72 603 343.8 200.8<br />
VL 88 1114 749.6 221.4 88 1595 1307.6 499.5 859 1282 1068.8 141.9<br />
Route C<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 46 67 57.7 5.2 47 105 63.9 16.5 45 94 60.5 12.8<br />
H 45 83 70.9 8.9 45 189 81.9 23.7 45 453 208.9 150.7<br />
L 61 370 180.1 77.9 61 549 360.4 142.5 61 850 521.9 290.7<br />
VL 77 1103 738.6 221.4 695 1202 1010.6 125.4 77 1579 1288.4 474.4<br />
66 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Tabl. 4. Number of flits generated in the network by the priority<br />
algorithm<br />
Tab. 4. Liczba flitów wygenerowanych w sieci przez algorytm<br />
priorytetowy<br />
Scenario Probability Number flits<br />
Average<br />
number of<br />
flits per core<br />
According<br />
to max. flit<br />
number<br />
P 0 0.000 642 40.1 20%<br />
P 1 0.009 2148 134.3 67%<br />
P 2 1.000 3192 199.5 100%<br />
The results of the algorithm test with the traffic generated<br />
randomly are provided in Tabl. 5. The outcome is different<br />
from the one obtained with the priority algorithms. The delays<br />
of all the classes increase, whereas in the previous experiment<br />
the highest class delay was at a constant level. In contrast<br />
to the previous test, there is no such large difference<br />
between class delays. The analysis of the results in the three<br />
testing points leads to the conclusion that the delay of the lowest<br />
priority traffic class decreases in every scenario in each<br />
route, whereas the delay of the L priority (the second lowest)<br />
decreases only in route A. This route runs through the boundary<br />
elements of the network, where the link utilization is lower<br />
in comparison with the central elements due to the selected<br />
routing algorithm. The delays of the remaining traffic classes<br />
have increased.<br />
The parameter which deteriorated in the majority of cases<br />
after applying the algorithm with dynamic priority is the standard<br />
deviation of the transmission delay. The improvement of<br />
the standard deviation has been observed in only few cases<br />
for the two lowest traffic classes (V and VL).<br />
The transmission of traffic class packages L and VL is performed<br />
with lower delay in comparison with the constant priority<br />
approach - the packages leave the buffers in shorter<br />
time. The ∆ parameter influences the transmission delay in<br />
the following way. An increase of this parameter value is proportional<br />
to the delay of L and VL and inversely proportional to<br />
the delays in the VH and H traffic classes. The higher difference<br />
between initial classes priority results in the effect similar<br />
to the increase of the ∆ parameter.<br />
When the difference between the results obtained with the<br />
proposed technique and the priority scheduling increases, the<br />
transmission parameters resemble their counterparts in the<br />
cyclic transmission, in which delays of all traffic classes are<br />
the same. The delay increases rapidly when the link utilization<br />
is higher than 20 per cent. This value is similar to the one<br />
when the cyclic algorithm from QNoC network violates QoS<br />
constraints [8].<br />
Tabl. 5. Comparison of minimum (min), maximum (max), average (t) delays and their standard deviation (σ t ) of the dynamic algorithm<br />
Tab. 5. Porównanie minimalnego (min), maksymalnego (max) i średniego (t) opóźnienia oraz odchylenia standardowego (σ t ) algorytmu dynamicznego<br />
Route A<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 46 152 84.1 29.7 52 182 98.4 38.1 47 266 135.1 82.5<br />
H 46 328 163.7 82.1 46 377 219.3 102.5 248 630 380.8 142.2<br />
L 62 539 335.4 157.9 62 919 601.7 366.7 96 750 338.4 150.1<br />
VL 78 757 528.2 196.7 356 882 691.5 172.5 526 1101 905.8 238.1<br />
Route B<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 58 164 94.9 30.2 62 460 216.9 125.9 66 247 147.4 70.1<br />
H 56 340 174.6 82.8 56 577 330.7 187.1 56 546 247.1 166.1<br />
L 72 551 346.5 158.7 72 657 434 185.2 116 794 579 207.7<br />
VL 88 769 539.6 197.5 88 1149 824.9 280.8 346 1112 772.1 225.9<br />
Route C<br />
P 0 P 1 P 2<br />
min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />
VH 46 152 83.6 30.1 48 212 106.1 42.5 54 264 155.3 69.6<br />
H 45 328 163.4 82.5 45 532 253.9 168.1 45 778 457.4 291.4<br />
L 61 539 335.1 158.1 61 747 385.1 219.9 100 763 535.1 268.9<br />
VL 77 757 528.1 197.1 200 1109 677.6 346.8 220 1203 880.5 352.3<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 67
Conclusion<br />
In the paper, a new arbiter algorithm dedicated for Network<br />
on Chips has been presented. The proposed algorithm offers<br />
the possibility of adapting the scheduling influencing the order<br />
of package transmission. Due to this alteration, it is possible<br />
to change the obtained delays of various traffic classes, to<br />
some extent. Thanks to the utilization of the intervals previously<br />
assigned to the higher priority- class traffic by other<br />
classes, the transfer delays of them decrease and live-locks<br />
are avoided in the result. Under the proper selection of the ∆<br />
parameter, the change of the delays allows us to satisfy transmission<br />
constraints of all traffic classes. Thus applying of this<br />
algorithm results in better utilization of the available network<br />
resources, according to the transfers parameters. The delays<br />
in the flow of the packages influence the transfer obtained for<br />
the given transmission. It depends on these delays, a cycle<br />
of the used system clock, and the width of the data bus. Applying<br />
the algorithm with dynamic priority allows us to adjust<br />
the available bandwidth for the transfers belonging to various<br />
traffic classes.<br />
One of the drawbacks of the algorithm is the necessity to<br />
choose the proper ∆ value for the given problem. It is rather<br />
difficult to establish this value statistically, as it would not be<br />
well scalable. It is recommended to equip the algorithm with<br />
the mechanism that could perform automatic adaptation of this<br />
parameter. Some additional wires can be used here for transmitting<br />
the information about the need of increasing or decreasing<br />
the bandwidth allocated for the particular traffic class<br />
using some rules. A similar mechanism could be also implemented<br />
locally, what would result in lower resource utilization.<br />
The research work presented in this paper was sponsored<br />
by Polish Ministry of Science an Higher Education (years<br />
2007-2010).<br />
Bibliography<br />
[1] Bjerregaard T., Mahadevan S.: A Survey of Research and Practices<br />
of Network-on-Chip. ACM Computing Surveys (CSUR), vol.<br />
38, Article 1, 2006.<br />
[2] Bjerregaard T., Sparso J.: Virtual channel designs for guaranteeing<br />
bandwidth in asynchronous network-on-chip. Proceedings<br />
of Norchip Conference, 2004, pp. 269-272.<br />
[3] Bolotin E., Cidon I., Ginosar R., Kolodny A.: QNoC: QoS architecture<br />
and design process for network on chip. Journal of Systems<br />
Architecture, vol. 50, issue 2-3, 2004, pp. 105-128.<br />
[4] Dally W. J., Towles B.: Route Packets, Not Wires: On-Chip Interconnection<br />
Networks. Design Automation Conference proceedings.,<br />
2001, pp. 684-689.<br />
[5] Felicijan T., Furber S.B.: Quality of Service (QoS) for Asynchronous<br />
On-Chip Networks. Formal Methods for Globally<br />
Asynchronous Locally Synchronous Architecture (FMGALS<br />
2003), 2003.<br />
[6] Goossens K., Dielissen J., Meerbergen J. van, Poplavko P., Radulescu<br />
A., Rijpkema E., Waterlander E., Wielage P.: Guaranteeing<br />
The Quality Of Services In Networks On Chip. Networks<br />
on chip, pp. 66-82, Kluwer Academic Publishers, 2003.<br />
[7] Goossens K., Dielissen J., Radulescu A.: AEthereal Network on<br />
Chip:Concepts, Architectures, and Implementations. IEEE Design<br />
& Test of Computers, vol. 22, no. 5, 2005, pp. 414-421.<br />
[8] Guz Z., Walter I., Bolotin E., Cidon I., Ginosar R., Kolodny A.: Efficient<br />
Link Capacity and QoS Design forWormhole Network-on-<br />
Chip. The Design, Automation, and Test in Europe (DATE’06),<br />
2006, pp. 9-14.<br />
[9] Moraes F., Calazans N., Mello A., Moller L., Ost L.: HERMES:<br />
an infrastructure for low area overhead packet-switching networks<br />
on chip. Integration, the VLSI Journal, vol. 38, no 1, 2004,<br />
pp. 69-93.<br />
[10] Murali S., Benini L., Micheli G. de: Mapping and physical planning<br />
of networks-on-chip architectures with quality-of-service<br />
guarantees. Proceedings of the 2005 conference on Asia South<br />
Pacific design automation, 2005, pp. 27-32.<br />
[11] Rijpkema E., Goossens K., Radulescu A., Dielissen J., Meerbergen<br />
J. van, Wielage P., Waterlander E.: Trade Offs in the Design<br />
of a Router with Both Guaranteed and Best-Effort Services<br />
for Networks on Chip. DATE ’03: Proceedings of the conference<br />
on Design, Automation and Test in Europe, 2003, pp. 294-302.<br />
Dalszy ciąg streszczeń artykułów z 5 str.<br />
ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Modele i makromodele tranzystorów<br />
MOS mocy dla programu SPICE<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 96<br />
Praca dotyczy problematyki modelowania tranzystorów MOS mocy.<br />
Przedstawiono i omówiono wybrane modele i makromodele rozważanego<br />
elementu, sformułowane dla programu SPICE. Na<br />
przykładzie arbitralnie wybranego tranzystora MOS mocy dokonano<br />
oceny dokładności rozważanych w pracy modeli i makromodeli.<br />
Słowa kluczowe: modelowanie, tranzystory MOS, SPICE<br />
ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Models and macromodels of power<br />
MOS transistors for SPICE<br />
<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 96<br />
The paper deals with a problem of modelling of power MOS transistors.<br />
Construction of models and macromodels of considered transistors<br />
formulated for SPICE have been presented and discussed.<br />
Estimation of accuracy of the models and macromodels of arbitrarily<br />
chosen power MOS transistors has been performed.<br />
Keywords: modelling, MOS transistors, SPICE<br />
68 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Szkło dla fotoniki. Część 9.<br />
Rodzaje szkieł laserowych<br />
dr hab. inż. RYSZARD ROMANIUK prof. PW<br />
Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Systemów <strong>Elektronicznych</strong><br />
Szkła laserowe pozwalają na konstrukcję laserów promieniujących<br />
w zakresie ok. 0,5...2,8 µm. Są to lasery wykonywane<br />
ze szkła objętościowego i coraz częściej lasery<br />
światłowodowe - włóknowe i planarne. Krótkofalowy zakres<br />
promieniowania obejmujący także obszar widzialny jest interesujący<br />
do budowy systemów zapisu informacji i masowych<br />
pamięci optycznych o zwiększonej gęstości wobec zapisu promieniowaniem<br />
czerwonym. Długofalowy zakres promieniowania<br />
jest interesujący w aplikacjach do wzmacnianej<br />
optycznie, światłowodowej transmisji informacji na znaczne<br />
odległości oraz w układach zintegrowanej optyki planarnej.<br />
W wielu z tych aplikacji czołową rolę odgrywa laser szkło-Nd,<br />
także ze względu na to, że może promieniować dość wydajnie<br />
w paśmie 1,3 µm, oprócz podstawowego 1,06 µm. Drugim<br />
pod względem szerokości aplikacji jest laser szkło-Er, ze<br />
względu na wydajne promieniowanie w pasmach 1,54 µm<br />
(zastosowania telekomunikacyjne) oraz 2,75 µm (zastosowania<br />
biomedyczne).<br />
Jony domieszki aktywującej i uczulającej<br />
w szkłach laserowych<br />
Jony aktywatora są równomiernie rozłożone w szkle laserowym<br />
w laserach szklanych objętościowych. Szkło stanowi<br />
przezroczystą osnowę, w której jony aktywatora (trójwartościowe<br />
lantanowce) mogą być pompowane optycznie długością<br />
fali efektywnie absorbowaną przez domieszkę. Absorpcja<br />
energii pompy prowadzi do inwersji obsadzeń w jonie aktywatora<br />
zawieszonym w osnowie szklanej. Transformacja energii<br />
pompy w energię promieniowania (emisja fotonu) i energię niepromienistą<br />
(rozpraszanie wielofononowe) odbywa się poprzez<br />
międzypasmowe elektronowe przejścia energetyczne<br />
nazywane relaksacją. W proces transformacji energii włączone<br />
muszą być co najmniej dwa poziomy energetyczne atomu domieszki,<br />
a znacznie częściej uczestniczą w tym trzy lub cztery<br />
poziomy, co zwiększa efektywność procesu. Rekombinacja<br />
promienista z poziomu wyższego na niższy może być spontaniczna<br />
lub stymulowana. W czasie rekombinacji stymulowanej<br />
fazy fali stymulującej i generowanej są jednakowe.<br />
Szkło z rozproszonymi jonami aktywatora działa jako<br />
wzmacniacz optyczny dla fali stymulującej (w odróżnieniu od<br />
fali pompującej). Szerokość pasma fali promieniowanej jest<br />
skończona o rozkładzie Gaussa. Wynika to z braku<br />
uporządkowania struktury szkła w wyniku czego charakter<br />
rozszerzenia jest niejednorodny (w odróżnieniu od jonów aktywatora<br />
rozproszonych w krysztale). Zmienna jest lokalna<br />
gęstość szkła, koncentracja domieszki, rozszczepienie poziomów<br />
energetycznych domieszki, itp. Niejednorodne rozszerzenie<br />
poziomów energetycznych domieszki aktywnej<br />
w szkle jest podobnego rzędu, co rozszerzenie jednorodne<br />
(wynikłe z oddziaływania uśrednionego) poziomów Starka<br />
i wynosi ok. 100 cm -1 .<br />
W trzypoziomowym systemie pompowania i rekombinacji<br />
(relaksacji), akcja laserowa zachodzi pomiędzy poziomem pośrednim,<br />
niższym od (pompowanego) poziomu inwersji,<br />
a podstawowym. Czas życia poziomu pośredniego musi być<br />
znaczny w porównaniu z czasem relaksacji pomiędzy poziomami<br />
pompowanym i pośrednim. Bardziej korzystnym sposobem<br />
prowadzenia akcji laserowej jest wykorzystanie<br />
czterech poziomów, gdzie przejście promieniste zachodzi<br />
między dwoma poziomami pośrednimi, wyższym powolnym<br />
do którego nośniki szybko relaksują z poziomu pompowanego<br />
i niższym - nieobsadzonym z którego nośniki relaksują szybko<br />
do poziomu podstawowego. Lasery czteropoziomowe mają<br />
niższy próg generacji niż trzypoziomowe.<br />
Wzmocnienie lasera wyraża się zależnością:<br />
G = R 1 R 2 exp[2(g - α)L], gdzie: R 1 i R 2 są współczynnikami<br />
odbicia obu zwierciadeł rezonatora, L - długość szkła aktywnego<br />
we wnęce rezonansowej, α [dB/cm] - współczynnik absorpcji<br />
szkła laserowego, g [dB/cm] - współczynnik<br />
wzmocnienia szkła laserowego. Dla G = 1 występuje ciągła<br />
akcja laserowa. Charakterystyka przejściowa mocy lasera wyraża<br />
się zależnością: P wy = ∆(P we - P p ), gdzie: P wy - optyczna<br />
moc wyjściowa lasera , P we - moc pompy, P p - moc progowa<br />
akcji laserowej, równoważąca straty, ∆ - nachylenie charakterystyki<br />
mocy lasera P wy = f(P we ).<br />
Do zapisu stanu energetycznego elektronu używa się kilku<br />
symbolik np. notacji Russela-Soundersa o postaci: 2s+1 S l+s ,<br />
gdzie: l - azymutalna liczba kwantowa, m - magnetyczna<br />
liczba kwantowa, s - spinowa liczba kwantowa. Równie często<br />
używana jest jednopostaciowa symboliczna notacja klasyczna<br />
zapisu poziomu energetycznego w atomie o postaci: n k l j ,<br />
gdzie n - główna liczba kwantowa n = 1,2,3..., k - krotność poziomu<br />
energetycznego, l -orbitalna (azymutalna) liczba kwantowa<br />
l = 0,1,2,..., j - wewnętrzna liczba kwantowa j=l± s, s -<br />
spinowa liczba kwantowa. W jonie aktywnym zawieszonym<br />
w szkle przejście optyczne zachodzi pomiędzy stanami w wewnętrznych<br />
niezapełnionych powłokach elektronowych.<br />
W trójwartościowych jonach lantanowców występuje wiele poziomów<br />
fluorescencyjnych na poziomie 4f. Jony ziem rzadkich<br />
mają wypełnioną wewnętrzną powłokę podobnie do<br />
palladu o konfiguracji 4f n 5s 2 p 6 . Powłoki 5s i 5p ekranują<br />
powłokę głębszą 4f i przez to zmniejszają jej wrażliwość na<br />
wpływ otaczających innych jonów. W jonie wieloelektronowym<br />
złożony układ poziomów energetycznych jest superpozycją<br />
oddziaływań kulombowskich i spinowo-orbitalnych między<br />
elektronami. Znaczna liczba istniejących stanów wzbudzonych<br />
w jonie faworyzuje znalezienie odpowiedniej kombinacji<br />
poziomów o znacznej wydajności kwantowej (duże wartości<br />
czasu życia fluorescencji oraz przekroju poprzecznego na<br />
emisję stymulowaną) do wykorzystania w akcji laserowej.<br />
W tabeli 1. zebrano najczęściej stosowane jony domieszki<br />
aktywacyjnej w szkłach laserowych, łącznie z długościami<br />
promieniowanej fali. Jony pochodzą z grupy lantanowców<br />
obejmującej: lantan, cer, prazeodym, neodym, promet, samar,<br />
europ, gadolin, terb, dysproz, holm, erb, tul, iterb, lutet, hafn,<br />
tantal, lub z grupy metali przejściowych (o niewypełnionej podpowłoce<br />
d: np. cer, ren, osm, chrom, skand, mangan, itp. Czasami<br />
łącznie z jonem aktywatorem stosuje się jon<br />
pośredniczący w procesie pompowania optycznego, nazy-<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 69
wany jonem uczulającym. Jon uczulający w szkle bierze<br />
udział w absorpcji mocy optycznej z pompy i dodatkowo przekazuje<br />
akumulowaną energię jonowi laserującemu, zwiększając<br />
całkowitą sprawność procesu pompowania.<br />
Tab. 1. Jony aktywatory i jony uczulające w szkłach laserowych<br />
Tabl. 1. Activating and sensitizing ions in laser glasses<br />
Jon aktywator<br />
Przybliżona długość promieniowanej<br />
fali λ[µm]<br />
Jon uczulający<br />
Neodym: Nd 3+ 0,88; 1,06; 1,35; 1,80 Cr 3+ , Mn 2+ , Ce 3+<br />
Erb: Er 3+ 1,30; 1,54; 1,72; 2,75 Cr 3+ , Yb 3+<br />
Iterb: Yb 3+ 1,03 Nd 3+<br />
Samar: Sm 3+ 0,65<br />
Holm: Ho 3+ 0,55; 1,38; 2,05<br />
Tul: Tm 3+ 0,80; 1,47; 1,95; 2,25 Er 3+ , Yb 3+<br />
Terb: Tb 3+ 0,54<br />
Prazeodym: Pr 3+ 0,89; 1,04; 1,34<br />
Promet: Pm 3+ 0,93; 1,1<br />
Dysproz: Dy 3+ 1,3; 1,7<br />
Szkło laserowe może występować w postaci objętościowej,<br />
np. prętów oraz w postaci światłowodów. Pręty laserowe szkło:<br />
Nd dużej mocy mają nawet 20 cm średnicy i 3 m długości.<br />
Światłowody aktywne laserujące i wzmacniające posiadają<br />
standardowe wymiary włókien optycznych telekomunikacyjnych.<br />
Szkło laserowe objętościowe produkuje się poprzez dodanie<br />
np. odpowiedniego tlenku aktywatora do składu szkła.<br />
Światłowody aktywne ze szkieł tlenkowych produkuje się, np.<br />
metodą MCVD poprzez zastosowanie w formie gazowej jonu<br />
aktywatora w trakcie nakładania rdzeniowych warstw szkła<br />
światłowodowego. Światłowody aktywne ze szkieł nietlenkowych<br />
produkuje się metodą tyglową lub pręt-rura.<br />
Szkło osnowy ma pewien wpływ na stan poziomów energetycznych<br />
jonów aktywatorów. Rezultatem są takie zmienne<br />
parametry jak długość emitowanej fali, czas życia fluorescencji,<br />
przekrój poprzeczny emisji stymulowanej, sprawność<br />
kwantowa procesu laserowania. Zmiany tych parametrów są<br />
na ogół niewielkie jednak pokazują wyraźny wpływ osnowy<br />
na rozszczepienie i przesunięcie poziomów energetycznych<br />
jonów aktywatorów.<br />
Do zastosowań w telekomunikacji światłowodowej wykorzystywane<br />
są cztery jony aktywatorów: erb (pasmo 1,55 µm)<br />
oraz neodym, prazeodym i dysproz (pasmo 1,3 µm). W jonach<br />
tych głównymi mechanizmami nieradiacyjnego rozpraszania<br />
energii są: bezpośrednie przejścia na sąsiedni poziom niższy<br />
o pochodzeniu wielofononowym, absorpcja stanu wzbudzonego<br />
ESA (Excited State Absorption) oraz wzmocniona emisja<br />
spontaniczna ASE (Amplified Spontaneous Emission).<br />
Szkło laserowe domieszkowane Nd 3+<br />
Jon neodymu Nd 3+ ma bardzo korzystny rozkład poziomów<br />
energetycznych z punktu widzenia laserowania, dlatego jest<br />
pierwszą i najczęstszą domieszką szkła laserowego. W jonie<br />
neodymu do pompowania za pomocą źródła generującego<br />
w paśmie 800 nm wykorzystywane są poziomy energetyczne<br />
2 H 9/2 lub 4 F 5/2 . Górny poziom laserowy jest 4 F 3/2 o czasie<br />
życia 300...600 µm. Poziomem dolnym podstawowym jest<br />
4 I 9/2 . Relaksacja laserowa zachodzi z górnego poziomu laserowego<br />
na cztery dolne o następujących symbolach i długościach<br />
fali: 4 I 15/2 λ=1,80 µm, 4 I 13/2 λ=1,35 µm, 4 I 11/2<br />
λ=1,06 µm, 4 I 9/2 λ=0,88 µm. Laserowanie (wolna relaksacja<br />
Tab. 2. Szkła laserowe domieszkowane Nd 3+<br />
Tabl. 2. Laser glasses doped with Nd 3+ ions<br />
Rodzaj szkła<br />
Długość fali fluorescencji<br />
λ[µm]<br />
Czas życia fluorescencji<br />
τ [µs]<br />
Przekrój poprzeczny na<br />
emisję stymulowaną<br />
σ[10 -20 cm 2 ]<br />
Nieliniowy współczynnik<br />
załamania szkła<br />
n 2 [10 -13 esu]<br />
Maksymalna energia<br />
fali fononowej<br />
ħω [cm -1 ]<br />
BeF 2 1,048 450 - 900 1,5 - 4,0 0,3 400<br />
ZrF 4 1,049 450 3,0 1,2 500<br />
ZBLAN 1,049 400 - 450 2,5 - 3,5 1,2 - 1,5 500<br />
AlF 3 1,050 400 - 600 2,0 - 3,0 0,5 400<br />
PF 5 1,052 350 - 500 1,5 - 4,0 0,5 - 0,7 400<br />
PCl 5 1,055 300 5,0 - 5,5 1,5 300<br />
B 2 O 3 1,055 50 - 400 1,0 - 2,0 0,9 1400<br />
B 2 O 3 +SiO 2 1,058 200 - 800 0,8 - 3,0 1,2 1200<br />
SiO 2 1,060 300 - 1000 1,0 - 3,5 1,4 - 1,6 1100<br />
P 2 O 5 1,060 100 - 500 1,8 - 4,8 0,9 - 1,2 1200<br />
Fluoro-borokrzemionka<br />
1,060 300 1,0 - 1,7 0,8 - 1,1 1000<br />
Tellurkowe 1,060 150 - 250 3,0 - 5,5 10 - 30 700<br />
Chlorkowe 1,063 180 - 250 6,0 - 7,0 7 - 20 300<br />
Siarczkowe 1,076 50 - 120 7,0 - 8,5 7 - 20 350<br />
Al 2 O 3 1,078 50 - 300 1,0 - 2,0 1,0 1400<br />
70 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
promienista) zachodzi z różnymi efektywnościami kwantowymi,<br />
a następnie układ relaksuje szybko i bezpromieniście<br />
do poziomu dolnego. Przejścia są czteropoziomowe<br />
z wyjątkiem najkrótszej fali 0,88 µm, gdzie przejście jest trzypoziomowe<br />
z górnego poziomu laserowego bezpośrednio na<br />
poziom dolny. Najbardziej wydajne jest przejście czteropoziomowe<br />
λ=1,06 µm, gdzie podział pomiędzy procesy promieniste<br />
i konkurencyjne niepromieniste jest około 0,45...0,48.<br />
Bardzo interesujące jest z punktu widzenia zastosowań w<br />
telekomunikacji światłowodowej przejście promieniste w jonie<br />
Nd dla długości fali 1,3 µm. Przekrój poprzeczny na emisję<br />
stymulowaną dla 1,3 µm jest ok. czterokrotnie mniejszy w Nd<br />
niż dla fali 1,06 µm. Zjawisko ASE (emisji spontanicznej) dla<br />
fali 1,06 µm staje się konkurencyjne dla procesów 1,3 µm<br />
i powoduje szybkie nasycenie wzmocnienia dla tej długości<br />
fali. Rozwiązaniem jest filtracja promieniowania ASE w okolicach<br />
długości fali 1,06 µm.<br />
Jonem Nd 3+ domieszkuje się praktycznie wszystkie rodzaje<br />
szkieł optycznych nadających się na szkła laserowe.<br />
W tab. 2. zebrano parametry takich szkieł. Jonem Nd 3+ domieszkuje<br />
się także kryształy laserowe jak np. Nd:YAG.<br />
W tab. 3. zebrano porównanie zakresów parametrów uzyskiwanych<br />
w obu grupach materiałów. Kryształy mają duże wartości<br />
przekrojów poprzecznych, oraz bardzo dobre<br />
właściwości mechaniczne i termiczne. Wadą kryształów jest<br />
ograniczenie ich wymiarów i kształtów oraz znaczna cena.<br />
Tych ostatnich wad kryształów pozbawione są szkła laserowe.<br />
Tab. 3. Porównanie szkieł laserowych domieszkowanych Nd<br />
z kryształami laserowymi domieszkowanymi Nd<br />
Tabl. 3. Comparison of Nd doped oxide laser glasses and Nd doped<br />
laser crystals<br />
Parametr Szkło:Nd Kryształ:Nd<br />
Przekrój poprzeczny na emisję<br />
stymulowaną [10 -20 cm 2 ]<br />
Koncentracja neodymu<br />
[%wag.Nd 2 0 3 ] / [10 20 jonów/cm 3 ]<br />
1 - 5 30 - 80<br />
0,5 - 10/2,5 - 8 0,7-1/1,4-2<br />
Czas życia fluorescencji [µs] 200 - 500 200 - 550<br />
Szerokość charakterystyki fluorescencji,<br />
fwhm [nm]<br />
Długość fali maksymalnej fluorescencji<br />
[nm]<br />
Nieliniowy współczynnik załamania<br />
n 2 [10 -13 esu]<br />
20 - 55 0,2<br />
1050 - 1070 1053 - 1064<br />
0,5 - 1,6 1 - 5<br />
Liczba Abbego 55 - 90 -<br />
Termiczna dyspersja refrakcji<br />
[10 -6 /°C]<br />
Dyspersja termiczna drogi<br />
optycznej [10 -6 K -1 ]<br />
0,5 - 7,0 -<br />
-1 - 0 - +10 10 - 20<br />
Przewodność termiczna [W/m·K] 0,6 - 1,5 5 - 15<br />
Współczynnik rozszerzalności<br />
liniowej [10 -7 /°C]<br />
70 - 150 -<br />
Odporność na złamanie<br />
[MN/m 3/2 ]<br />
0,5 - 1,0 -<br />
Odporność na szok termiczny<br />
[kJ/hm 1/2 ]<br />
2,0 - 4,0 -<br />
Kryształy: Nd - YAG, YLF, YAO, YAP, GSAO, GSGG;<br />
Szkło: Nd - tlenkowe komercyjne<br />
Szkła neodymowe są wykorzystywane do budowy laserów<br />
o największej energii i wielkiej mocy. Są stosowane<br />
w wielolaserowych systemach inercyjnej fuzji laserowej, jako<br />
pompy energii dla źródeł promieniowania X do mikrolitografii.<br />
Są jednymi z najczęściej stosowanych laserów w technice.<br />
Szkło laserowe domieszkowane Er 3+<br />
W odróżnieniu od jonu Nd 3+ , jon Er 3+ pracuje w układzie trzypoziomowym<br />
(dla pompowania krótszymi falami) i w układzie<br />
dwupoziomowym przy pompowaniu najdłuższą falą. Jon<br />
można pompować bezpośrednio do metastabilnego górnego<br />
poziomu laserowego 4 I 13/2 λ=1,48...1,49 µm z poziomu dolnego<br />
4 I 15/2 (przejście dwupoziomowe o przerwie energetycznej<br />
ok. 6500 cm -1 ). Ta przerwa energetyczna jest relatywnie<br />
duża wobec energii fononu w borokrzemionce 1400 cm -1<br />
i krzemionce 1100 cm -1 . Przy przejściu między poziomami<br />
4 I 13/2 - 4 I 15/2 laser Er:szkło promieniuje falę o długości ok.<br />
1,55 µm. Różnica pomiędzy długościami fali absorpcji (pompowanie)<br />
i emisji (przesunięcie emisji w kierunku większych<br />
długości fali) wynika z niejednorodnego obsadzenia poziomów<br />
Starka. Możliwe jest pompowanie do wyższych poziomów<br />
następującymi długościami fali: 4 I 11/2 λ=970...980 nm;<br />
4 I 9/2 λ=807 nm; 4 F 9/2 λ=660 nm; 2 H 11/2 λ=514,5 nm,<br />
(wszystkie przejścia trzypoziomowe). Dla pasma absorpcyjnego<br />
980 nm o znacznym przekroju poprzecznym nie występuje<br />
zjawisko absorpcji stanu wzbudzonego (ESA). Długość<br />
fali 980 nm (tanie lasery półprzewodnikowe dużej mocy) jest<br />
optymalną długością fali pompy optycznej dla szkła domieszkowanego<br />
erbem. Z poziomów pompowania układ relaksuje<br />
zawsze do górnego metastabilnego poziomu laserowania<br />
4 I 9/2 . Laserowanie zachodzi pomiędzy 4 I 13/2 (górny poziom laserowy)<br />
oraz 4 I 15/2 (dolny poziom laserowy, będący jednocześnie<br />
poziomem dolnym podstawowym). Laserowanie<br />
może także zachodzić do poziomu bliskiego energetycznie<br />
poziomowi 4 I 15/2 . W jonie Er 3+ zawsze zachodzi absorpcja<br />
bezpośrednia wprost ze stanu podstawowego do górnego<br />
stanu laserowego co stanowi konkurencję dla procesu emisji<br />
pomiędzy dokładnie tymi samymi stanami. Z tego powodu lasery<br />
Er 3+ :szkło mają wyższe moce progowe (większe straty)<br />
niż lasery Nd 3+ :szkło.<br />
Szkło domieszkowane Er 3+ jest często ko-domieszkowane<br />
jonami Yb, tworząc układ Er 3+ :Yb 3+ szkło. Jony iterbu<br />
spełniają w tym układzie rolę uczulacza w stosunku do laserujących<br />
jonów erbu. Do szkła krzemionkowego domieszkowanego<br />
Er 3+ dodaje się Al 2 O 3 który zapobiega zjawisku<br />
klastrowania jonów Er. Czyste szkło SiO 2 ma bardzo<br />
sztywną quasi-sieć amorficzną i akceptuje jedynie niewielką<br />
domieszkę jonów ziem rzadkich. W szkle jest brak odpowiedniej<br />
ilości atomów tlenu nie wypełniających klasycznych<br />
funkcji mostka tlenowego w celu skoordynowania izolowanych<br />
atomów domieszki. W tej sytuacji atomy domieszki ulegają<br />
grupowaniu dzieląc się niemostkowym atomem tlenu.<br />
Tlenek aluminium tworzy w krzemionce rodzaj rozpuszczalnika<br />
zgrupowanego wokół atomu domieszki Er 3+ . Z udziałem<br />
Al 2 O 3 domieszka Er 3+ w szkle krzemionkowym może<br />
osiągnąć poziom 1 [10 20 cm 3 ].<br />
Lasery Er 3+ :szkło są stosowane w tzw. systemach bezpiecznych<br />
dla oka (np. dalmierzach) pracujących w paśmie<br />
1,54 µm. Lasery Er 3+ :szkło dużej mocy promieniujące falę<br />
o długości 2,75 µm są stosowane w skalpelach biomedycznych<br />
ze względu na silne pasmo absorpcji wody w tkankach<br />
biologicznych. Wzmacniacze światłowodowe EDFA (Erbium<br />
Doped Fiber Amplifier) są stosowane w telekomunikacji. Najkorzystniejsze<br />
warunki pracy wzmacniacza EDFA (ze względu<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 71
na trójpoziomowy układ pracy) to mała moc pompy optycznej,<br />
mała średnica rdzenia światłowodu, niski poziom domieszkowania,<br />
długa droga oddziaływania w światłowodzie.<br />
Szkło laserowe domieszkowane Pr 3+<br />
Jony Pr stosuje się ze względu na liczne pasma rekombinacji<br />
promienistej rozciągające się w zakresie 0,9...1,3 µm. W jonie<br />
prazeodymu Pr 3+ do generacji fali 1,3 µm wykorzystuje się<br />
przejście energetyczne 1 G 4 - 3 H 5 w układzie czteropoziomowym.<br />
Współczynnik podziału dla tego przejścia ma wysoką<br />
wartość 0,56. Inwersja populacji poziomu 1 G 4 otrzymywana<br />
jest przez bezpośrednie pompowanie z poziomu 3 H 4 pasma<br />
absorpcyjnego dla długości fali 1010 nm. Z poziomu 1 G 4 występuje<br />
absorpcja stanu wzbudzonego (ESA) do poziomu 1 D 2<br />
obniżająca wzmocnienie. Maksimum wzmocnienia występuje<br />
dla 1,3 µm. Najpoważniejszym problemem wzmacniaczy<br />
PDFA (Praseodymium Doped Fiber Amplifiers) jest nieradiacyjna<br />
relaksacja z poziomu laserowego 1 G 4 na bezpośredni<br />
poziom niższy 3 F 4 , przy różnicy energii pomiędzy tymi poziomami<br />
ok. 3000 cm -1 . Stąd wniosek że dla domieszki prazeodymowej<br />
najbardziej korzystne jest szkło o niskiej energii fali<br />
fononowej np. ZBLAN (500 cm -1 ). W szkle krzemionkowym<br />
(1100 cm -1 ) tylko trzy fonony wystarczą do pokonania przerwy<br />
energetycznej relaksacji niepromienistej. Stąd w szkle<br />
krzemionkowym, wskutek fononowego gaszenia fluorescencji,<br />
emisja z poziomu 1 G 4 nie jest obserwowana.<br />
Innym nieradiacyjnym procesem relaksacyjnym obniżającym<br />
fluorescencję z poziomu 1 G 4 jest gaszenie spowodowane<br />
koncentracją jonów Pr (wzajemny wpływ jonów<br />
sąsiednich na siebie) poprzez zjawiska kross-relaksacji pomiędzy<br />
poziomami ( 1 G 4 - 3 H 5 )-( 3 H 4 - 3 F 4 ) oraz ( 1 G 4 - 3 H 6 )-<br />
( 3 H 4 - 3 F 2 ). We fluorkowych włóknach światłowodowych<br />
koncentracja prazeodymu nie przekracza wartości 1000 ppm<br />
i wówczas zjawisko kross-relaksacji jest pomijalne. Parametry<br />
komercyjnego wzmacniacza PDFA na jednomodowym<br />
włóknie fluorkowym są: średnica rdzenia ok. 3,5 µm, wzmocnienie<br />
30 dB/20 m, długość fali promieniowanej 1,31 µm,<br />
długość fali pompy optycznej ok. 1,11 µm.<br />
Szkło domieszkowane Pr jest często ko-domieszkowane<br />
jonami Yb tworząc układ Pr 3+ :Yb 3+ :szkło. Zadaniem jonów<br />
Yb jest poprawa absorpcji dla poziomu 1 G 4 jonu Pr. Osnowa<br />
fluorocyrkonowa redukuje relaksację nieradiacyjną Pr z poziomu<br />
1 G 4 , jednak czas życia fluorescencji jest niewielki,<br />
nieco większy niż 100 µs. Efektywność kwantowa fluorescencji<br />
wynosi ok. 3%. Dla podwyższenia sprawności układu<br />
konieczne jest zastosowanie osnowy o jeszcze mniejszej<br />
energii fali akustycznej niż w szkłach bazujących na ZrF 4 .<br />
Takimi szkłami są InF 3 , PbF 2 i AlF 3 . Czas życia fluorescencji<br />
w tych szkłach jest bliski 200 µs, a jednoprzejściowy<br />
współczynnik wzmocnienia jest w zakresie 0,3...0,7 dB/mW.<br />
Dalsze obniżanie energii fali fononowej wymaga zastosowania<br />
mieszanych szkieł halogenkowo-chalkogenkowych,<br />
gdzie czas życia fluorescencji wynosi do ok. 400 µs. Sprawność<br />
kwantowa wzrasta w tych warunkach do 60%,<br />
a współczynnik wzmocnienia do ok. 1 dB/mW. Maksimum<br />
emisji dla jonu Pr w szkłach chalkogenkowych (np.<br />
Pr:Ga 2 S 3 -Na 2 S) jest przesunięte w kierunku dłuższych fal<br />
1,31...1,34 µm.<br />
Szkło laserowe domieszkowane Dy 3+<br />
W jonie dysprozu Dy 3+ do generacji fali 1,3 µm wykorzystuje<br />
się przejście energetyczne z dubletu poziomów na poziom<br />
podstawowy 6 F 11/2 ( 6 H 9/2 ) - 6 H 15/2 . Pasma absorpcyjne dla<br />
poziomów 6 H 9/2 , 6 H 5/2 , 6 F 5/2 istnieją dla długości fal: 1,25,<br />
0,90, 0,80 µm wszystkie o znacznych przekrojach poprzecznych,<br />
tzn. o dużej sprawności pompowania poziomu laserowego.<br />
Przerwa energetyczna pomiędzy dubletem górnych<br />
poziomów laserujących oraz najbliższym poziomem niższym<br />
jest niewielka i wynosi ok. 1800...2000 cm -1 , czyli rzędu dwóch<br />
fononów w szkle krzemionkowym. Dlatego w szkle krzemionkowym<br />
emisja w tych poziomów nie zachodzi, natomiast jest<br />
dość efektywna w szkłach chalkogenkowych. Efektywny<br />
współczynnik podziału dla jonu Dy w szkle chalkogenkowych<br />
wynosi ok. 0,98 w porównaniu z 0,60 dla jonu Pr. Długość fali<br />
emisji jonu Dy 3+ w szkle chalkogenkowym (np. Ge-Ga-S) wynosi<br />
1,32 µm w porównaniu z 1,33...1,34 µm dla jonu Pr.<br />
Optymalną długością fali dla okna telekomunikacyjnego minimalnej<br />
naturalnej dyspersji falowodowej jest 1,31 µm.<br />
Szkło laserowe domieszkowane Yb 3+<br />
Jony iterbu, jednego z najbardziej wydajnych domieszek aktywnych<br />
w matrycach krzemionkowych, charakteryzuje prostota<br />
jego struktury poziomów energetycznych, w której<br />
widoczne są dwa poziomy: podstawowy 2 F 7/2 i metastabilny<br />
2 F 5/2 w odległości odpowiadającej λ=1,0 µm. Wszystkie inne<br />
poziomy leżą w zakresie promieniowania ultrafioletowego,<br />
zatem brak wyższych poziomów energetycznych wyraźnie<br />
zmniejsza prawdopodobieństwo relaksacji wielofononowej.<br />
Brak wyższych poziomów energetycznych pozwala na stosowanie<br />
wysokiej koncentracji jonów aktywatora do kilku tysięcy<br />
ppm. Widmowy zakres generacji jest szeroki ~970...1200 nm,<br />
podobnie jak szerokie jest pasmo absorpcji odpowiadające<br />
przejściu 2 F 7/2 → 2 F 5/2 , co odpowiada zakresowi ok.<br />
850...1070 nm. Czas życia na poziomie metastabilnym wynosi<br />
700...1400 µs.<br />
Włóknowy laser na iterbie pompowany do wyższych podpoziomów<br />
poziomu 2 F 5/2 zachowuje się jak typowy układ trójpoziomowy<br />
przy generacji promieniowania o długości fali<br />
< 990 nm i quasi-czteropoziomowy dla zakresu 1000 -<br />
1200 nm. W szkłach krzemionkowych iterb jest uznawany za<br />
jeden z najbardziej wydajnych aktywatorów.<br />
W przypadku jednoczesnego domieszkowania jonami<br />
neodymu i iterbu w wyniku sprzężenia następuje przekazanie<br />
energii wzbudzenia z jonu neodymu do iterbu, co jest wykorzystywane<br />
do zintensyfikowania pobudzania lasera<br />
włóknowego.<br />
W porównaniu z kryształami szkła dotowane Yb 3+ wykazują<br />
relatywnie długi czas fluorescencji oraz szerokie pasmo<br />
emisji i absorpcji, co czyni je atrakcyjnymi dla generacji<br />
i wzmocnień impulsów ultrakrótkich.<br />
Szkła laserowe domieszkowane<br />
Sm 3+ i Ho 3+<br />
Jony Sm i Ho stosuje się do wytwarzania laserów na szkle<br />
promieniujących w zakresie widzialnym 0,55...0,65 µm.<br />
Emisja laserowa występuje dla jonu Ho w obszarze bliskiej<br />
podczerwieni dla długości fali ok. 2 µm, co odpowiada przejściu<br />
5 I 7 → 5 I 8 . Jony holmu charakteryzuje bogactwo widma<br />
w aspekcie pobudzania, absorpcja jest możliwa dla 450,<br />
540 i 650 nm. Czas życia w stanie wzbudzonym na poziomie<br />
metastabilnym 5 I 7 wynosi 600 µs. Stosowany jako domieszka<br />
dla uzyskiwania emisji w podczerwieni dla 2, 3,<br />
3,2 µm, ale także w obszarze widzialnym przy zachodzącej<br />
konwersji wzbudzenia. Szkłami, które dają dobre wyniki<br />
w holmowych laserach światłowodowych, są fluorkowe<br />
i fluorocyrkonowe ZBLAN.<br />
72 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Szkło laserowe domieszkowane Tm 3+<br />
Jony Tm stosuje się ze względu na liczne pasma rekombinacji<br />
promienistej rozciągające się w pasmach 0,8...2,25 µm.<br />
Jon tulu należy do aktywatorów o quasi-czteropoziomowym<br />
układzie poziomów energetycznych. Jego pasma absorpcji<br />
i fluorescencji są szerokie w wyniku rozszczepienia stanów<br />
biorących udział w generacji, co jest skutkiem działania matrycy<br />
szklanej. Absorpcja ma miejsce dla długości fali 785 nm.<br />
Stosunkowo duża koncentracja domieszek (> 1%) pozwala<br />
na uzyskiwanie dużej sprawności kwantowej i w efekcie dużej<br />
mocy laserów włóknowych (kilkadziesiąt watów). Tul znalazł<br />
zastosowanie jako sensybilizator w układach z holmem.<br />
Rodzaje aktywnych szkieł laserowych<br />
Pierwszy laser na szkle skonstruowano w 1961 r. używając<br />
kron barowy domieszkowany Nd. Od tego czasu prowadzone<br />
są badania nad wieloma optymalnymi dla różnych zastosowań<br />
składami szkieł tlenkowych, nietlenkowych i mieszanych.<br />
Oprócz szkieł tlenkowych stosowane są szkła halogenkowe<br />
(fluorkowe, chlorkowe, bromkowe, jodkowe) i szkła tlenowcowe<br />
(siarczkowe, selenkowe, tellurkowe). W porównaniu ze<br />
szkłami tlenkowymi szkła nietlenkowe mają na ogół znaczną<br />
przezroczystość w zakresie IR oraz mniejszą energię fali fononowej.<br />
Także są mniej stabilne chemicznie i słabsze pod<br />
względem mechanicznym.<br />
Tlenkowe szkła laserowe<br />
Typowe tlenkowe szkła laserowe bazują na osnowie szkieł<br />
optycznych wysokiej jakości zawierających takie tlenki silnie<br />
szkłotwórcze jak: SiO 2 , B 2 O 3 , GeO 2 , P 2 O 5 , TeO 2 . Takie materiały<br />
nazywane są szkłami krzemionkowymi wieloskładnikowymi.<br />
Szkła krzemionkowe charakteryzują się najdłuższymi<br />
czasami fluorescencji do 1 ms. Jednak szkła o największych<br />
wartościach czasu fluorescencji mają na ogół małe wartości<br />
przekroju poprzecznego na emisję stymulowaną w okolicach<br />
1 [10 -20 cm 2 ]. Największe wartości przekroju poprzecznego<br />
wśród szkieł tlenkowych mają szkła fosforowe oraz tellurowe,<br />
rzędu 5 [10 -20 cm 2 ]. Szkła te mają mniejsze wartości<br />
czasu fluorescencji.<br />
Halogenkowe szkła laserowe<br />
Najsilniejsze właściwości szkłotwórcze mają następujące<br />
halogenki: BeF 2 , CdF 2 , AlF 3 , ZrF 4 , HfF 4 , BiCl 3 , ThCl 4 oraz<br />
BiBr 3 . Szkła fluoroberylowe mają najniższą wartość nieliniowego<br />
współczynnika załamania n 2 = 0,3<br />
[10 -13 esu]. Najszerzej używana na szkła laserowe dla zakresu<br />
IR jest rodzina fluorocyrkonianów ZBLAN domieszkowanych<br />
Er 3+ . Lasery takie emitują falę o długości<br />
1,54 µm. Szkła ZBLAN domieszkuje się także tulem Tm 3+ ,<br />
promieniowanie na długości fali 1,85 µm; holmem Ho 3+ , promieniowanie<br />
na długości fali 1,95 µm; prazeodymem i neodymem<br />
Pr 3+ i Nd 3+ , promieniowanie na długości fali<br />
w okolicy 1,30 µm. Szkła fluoroaluminiowe mają również<br />
małą wartość nieliniowego współczynnika załamania<br />
n 2 = 0,5 [10 -13 esu]. Przekrój poprzeczny tych szkieł wynosi<br />
ok. 3 [10 -20 cm 2 ]. Typowy skład szkieł fluoroaluminiowych<br />
jest: AlF 3 - CaF 3 - BaF 2 - NdF 3 . Domieszka neodymu<br />
w szkle jest w postaci NdF 3 i na ogół wynosi ok. 1%. Halogenkowe<br />
szkła chlorkowe mają największe wartości przekroju<br />
poprzecznego ok. 6,5 [10 -20 cm 2 ]. Jednocześnie szkła<br />
te mają dużą wartość nieliniowego współczynnika załamania<br />
rzędu 10 [10 -13 esu] i większy oraz słabe właściwości<br />
mechaniczne, chemiczne i termiczne. Relatywnie łatwo podlegają<br />
rekrystalizacji.<br />
Oxyhalogenkowe szkła laserowe<br />
Grupa szkieł o mieszanych anionach obejmuje szkła fluorofosforanowe<br />
i chlorofosforanowe. Szkło fluorofosforanowe<br />
jest wykorzystywane do budowy laserów komercyjnych. Mają<br />
przekrój poprzeczny rzędu 2,5 [10 -20 cm 2 ], bardzo małą wartość<br />
rozszerzalności termicznej i długi czas fluorescencji ok.<br />
0,5 µs, a także mała wartość nieliniowego współczynnika<br />
załamania światła n 2 = 0,5 [10 -13 esu]. Szkła chlorofosforanowe<br />
o składzie NaPO 3 -ZnCl mają znaczne wartości przekroju<br />
poprzecznego rzędu 5,5 [10 -20 cm 2 ]. Podstawowym<br />
problemem technologicznym podczas wytwarzania tych<br />
szkieł jest ich zanieczyszczenie jonami platyny oraz jonami<br />
hydroniowymi OH - . Jony te, wbudowywane w szkło podczas<br />
procesu technologicznego, nawet na poziomie ppb, tworzą<br />
silne pasma absorpcyjne i obniżają próg odporności szkła na<br />
zniszczenie optyczne. Ponadto jony OH - mają wysokoenergetyczne<br />
stany wibracyjne, nie tylko w szkle fosforowym, ale<br />
i w szkłach tlenkowych o energii rzędu 3600 cm -1 , a więc<br />
znacznie większej od energii fononów nawet w borokrzemionce,<br />
która wynosi 1400 cm -1 . Oznacza to silne uczestnictwo<br />
jonów OH - w procesach relaksacji nieradiacyjnej<br />
w szkłach.<br />
Chalkogenkowe szkła laserowe<br />
Najsilniejsze właściwości szkłotwórcze spośród związków tlenowców<br />
posiadają As 2 S 3 , As 2 Se 3 , La 2 S 3 . Szkła siarczkowe<br />
posiadają znaczne wartości przekroju poprzecznego rzędu<br />
8,5 [10 -20 cm 2 ]. Czasy życia fluorescencji nie przekraczają<br />
100 µs. Szkła są badane w kierunku wykorzystania do budowy<br />
laserów i wzmacniaczy optycznych w zakresie bliskiej<br />
podczerwieni dla telekomunikacji optycznej.<br />
Dewitryfikaty (szkło-ceramiki) laserowe<br />
Niektóre rodzaje szkło-ceramiki o bardzo drobnych krystalitach<br />
(o wymiarach poniżej 20 nm) są badane w kierunku budowy<br />
laserów. Najlepsze rezultaty uzyskano dla<br />
alumino-szkło-ceramiki mieszanej tlenkowo-fluorkowej<br />
o składzie: SiO 2 - LiAlO 2 - (Mg,Zn)Al 2 O 4 - AlPO 4 - La 2 O 3 -<br />
CdF 2 - PbF 2 - YF 3 - Nd 2 O 3 . Małe wymiary nanokrystalitów<br />
zapobiegają nadmiernemu rozproszeniu światła. Materiały te<br />
mają bliską zeru rozszerzalność termiczną. Przekrój poprzeczny<br />
wynosi ok. 2,5 [10 -20 cm 2 ] a czas życia fluorescencji ok.<br />
200 µs. Domieszkowanie neodymem jest na poziomie pojedynczych<br />
procent wagowych Nd 2 O 3 . Oprócz neodymu szkłoceramiki<br />
domieszkowane są Er 3+ , Eu 3+ , Yb 3+ , Tm 3+ .<br />
Sprawność kwantowa szkło-ceramik jest wysoka z powodu<br />
wbudowywania się niektórych jonów domieszki aktywnej (np.<br />
Pr) w nanokrystality fluorkowe o wymiarach poniżej 15 nm.<br />
Nanokrystality fluorkowe są wbudowane w osnowę tlenkową.<br />
Osnowa tlenkowa zapewnia odpowiednie właściwości takiego<br />
materiału kompozytowego, a zawieszenie jonów domieszki<br />
w subosnowie fluorkowej odpowiednią sprawność kwantową<br />
emisji laserowej.<br />
Podsumowanie<br />
• Lasery i wzmacniacze na szkle budowane są w formie<br />
urządzeń objętościowych, włóknowych i planarnych.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 73
• Szkło osnowy modyfikuje w pewnym stopniu właściwości<br />
jonu aktywatora poprzez subtelne rozszczepienie<br />
i przesunięcie poziomów energetycznych oraz<br />
wpływ na sprawność kwantową procesów relaksacji<br />
promienistej.<br />
• Istotnym parametrem szkła osnowy jest energia fali fononowej<br />
związana z siłą wiązań kowalencyjnych lub jonowych<br />
w quas-matrycy amorficznej. Duża energia fali<br />
fononowej (wiązania kowalencyjne) powoduje gaszenie<br />
niektórych poziomów laserujących jonów aktywatorów.<br />
Mała energia fali fononowej (wiązania jonowe) powoduje<br />
możliwość emisji z poziomów niepromienistych w innych<br />
rodzajach szkieł.<br />
• Najczęściej stosowanymi aktywnymi jonami modyfikatorami<br />
są ziemie rzadkie jak: Nd, Pr, Er, Dy, Yb, Ho, Tm.<br />
• Na szkła laserowe stosowane są najczęściej szkła<br />
osnowy - tlenkowe, fluorkowe, chlorkowe, siarczkowe<br />
oraz mieszane.<br />
• Najszybszemu rozwojowi podlegają obecnie lasery<br />
i wzmacniacze światłowodowe o nowych konstrukcjach<br />
z wykorzystaniem szkieł fotonicznych i metaszkieł.<br />
Literatura<br />
[1] Yamane M., Asahara Y.: Glasses for photonics. Cambridge University<br />
Press, 2000.<br />
[2] Agraval G.P.: Nonlinear fiber optics. Academic Press, Boston<br />
1989.<br />
[3] Fournier J., Snitzer E.: The nonlinear refractive index of glasses.<br />
IEEE J. on Quantum Electronics, May 1974, vol. 10, issue 5,<br />
pp.473-475.<br />
[4] Weber M.J.: Handbook of optical materials. CRC Press, New<br />
York, 2003.<br />
[5] Musikant S., Thompson B.J.: Optical materials. A series of advances,<br />
vol. 1, Marcel Dekker, New York, 1999.<br />
[6] Szwedowski A.: Materiałoznawstwo optyczne i optoelektroniczne.<br />
WNT, Warszawa, 1996.<br />
[7] Bach H., Neuroth N.: The properties of optical glass. Springer,<br />
2000.<br />
Badania lokalności aplikacji równoległych<br />
bazujących na tworzeniu niezależnych<br />
wątków obliczeń<br />
prof. dr hab. inż. WŁODZIMIERZ BIELECKI, dr inż. KRZYSZTOF KRASKA<br />
Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki<br />
Współczesne problemy naukowo-inżynierskie wymagają zastosowania<br />
złożonych obliczeniowo aplikacji, skutkując zwiększeniem<br />
czasu wykonania kodu programu. Naturalnym<br />
sposobem uzyskania przyśpieszenia - zwłaszcza dziś, gdy<br />
wieloprocesorowe architektury SMP (ang. Symmetric Multiprocessing)<br />
z pamięcią dzieloną są powszechne - jest zrównoleglenie<br />
programów sekwencyjnych i wykonanie w środowisku<br />
wieloprocesorowym. Skalowalność architektur SMP jest jednak<br />
ograniczona wydajnością magistrali/przełącznicy. Poprawę<br />
skalowalności uzyskuje się poprzez zastosowanie<br />
wielopoziomowej hierarchii pamięci, w której poziomy pamięci<br />
kolejno oddalone od procesora są tańsze, większe pod względem<br />
rozmiaru lecz cechują się dłuższym czasem dostępu.<br />
Aktualnie rynek oferuje wiele układów wieloprocesorowych<br />
z pamięcią wspólną, m.in. IBM Power4/Power5/Power6,<br />
Sun UltraSPARC T1/T2, ARM11 MPCore, ARM Cortex-A9<br />
MPCore, XMOS XS1-G4, Texas Instruments TMS320C80<br />
MVP, Broadcom SiByte SB1250/SB1255/SB1455, Intel Core<br />
2 i wiele innych. Zastosowanie takich układów stwarza potrzebę<br />
dostarczania oprogramowania dostosowanego do<br />
możliwości docelowej architektury, które zostanie wykonane<br />
równolegle.<br />
W [1] przedstawiono nową metodę ekstrakcji niezależnych<br />
sekwencji operacji dla pętli programowych (ang. Synchronization-Free<br />
Slices) umożliwiającą osiągnięcie przyśpieszenia<br />
poprzez wykonanie obliczeń w równoległych wątkach. Jednak<br />
efektywne wykorzystanie hierarchii pamięci wymaga od<br />
programów równoległych dodatkowo dobrej lokalności przetwarzanych<br />
danych (ang. data locality). Aktualne badania<br />
wskazują, że mała lokalność danych jest powszechną cechą<br />
wielu istniejących aplikacji, które w pętlach programowych intensywnie<br />
wykonują afiniczne referencje do wielkich zbiorów<br />
danych, przekraczających swym rozmiarem szybką, lecz małą<br />
pamięć podręczną procesora [3]. Nieoptymalny kod najczęściej<br />
można poddać transformacji do wydajniejszej postaci.<br />
Analiza lokalności danej postaci kodu może zostać wykonana<br />
na podstawie metryk uzyskanych z dostępnych na rynku narzędzi<br />
analizy wydajności oprogramowania, takich jak Intel<br />
VTune Performance Analyzer.<br />
Celem artykułu jest przedstawienie wyników badań nad<br />
lokalnością danych aplikacji równoległych wytwarzających<br />
niezależne wątki obliczeń i wyprowadzenie na ich podstawie<br />
zaleceń dla programistów, aby tworzone przez nich oprogramowanie<br />
cechowała dobra lokalność danych oraz przedstawienie<br />
możliwości zastosowania nowego narzędzia Intel<br />
VTune Performance Analyzer do analizy lokalności danych<br />
aplikacji równoległych.<br />
Pojęcia i akronimy<br />
W artykule rozważana jest lokalność danych aplikacji równoległych.<br />
Dwa pojęcia określają lokalność danych: czasowa lokalność<br />
(ang. temporal locality) oraz przestrzenna lokalność<br />
(ang. spatial locality). Czasowa lokalność ma miejsce wówczas,<br />
gdy te same dane wykorzystywane są wielokrotnie<br />
w krótkim odstępie czasu. Przestrzenna lokalność występuje<br />
wówczas, gdy w krótkim odstępie czasu wykorzystywane są<br />
inne dane, aczkolwiek rozmieszczone obok siebie; takie dane<br />
z wysokim prawdopodobieństwem wciąż znajdują się w wierszach<br />
szybkiej pamięci podręcznej procesora obok danych<br />
uprzednio użytych. Lokalność danych wiąże się z ich ponownym<br />
użyciem (ang. reuse). Odległość ponownego użycia<br />
74 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
(ang. reuse distance) jest liczbą unikalnych miejsc pamięci,<br />
dla których nastąpiły odwołania pomiędzy dwoma referencjami<br />
do tych samych danych [11].<br />
Współczesne architektury stosują hierarchię pamięci<br />
w celu redukcji czasu dostępu do danych. Kolejne poziomy<br />
pamięci oddalone od procesora (Level1 Cache, Level2<br />
Cache, pamięć główna) są tańsze, większe pod względem<br />
rozmiaru, lecz cechują się dłuższym czasem dostępu. Słowo<br />
cache jest wprowadzonym w latach 60. i przyjętym powszechnie<br />
w literaturze określeniem buforów szybkiej pamięci.<br />
W procesorach stosuje się trzy niezależne typy cache:<br />
instrukcji, danych oraz translacji adresów. L1D Cache (ang.<br />
Level1 Data Cache) jest obszarem pamięci cache danych<br />
pierwszego poziomu hierarchii pamięci.<br />
Jeżeli procesor odwołuje się do danych w pierwszej kolejności<br />
sprawdzana jest dostępność danych w L1D Cache. Gdy<br />
dane zostaną odnalezione wówczas zachodzi trafienie w pamięci<br />
cache (ang. cache hit); w przeciwnej sytuacji następuje<br />
chybienie (ang. cache miss) powodujące konieczność załadowania<br />
danych z pamięci niższego poziomu. Chybienia pojemnościowe<br />
(ang. capacity misses) są konsekwencją<br />
ograniczonej pojemności pamięci cache danego poziomu.<br />
Chybienia konfliktowe (ang. conflict misses) wynikają z ograniczonej<br />
asocjacyjności pamięci cache.<br />
Cache Replacement Algorithm jest algorytmem zarządzania<br />
danymi zawartymi w pamięci cache - w sytuacji, gdy pamięć<br />
cache jest pełna algorytm musi podjąć decyzję, które<br />
wiersze należy usunąć w celu zapewnienia wolnej przestrzeni<br />
dla nowych danych.<br />
Write-back jest metodą odzwierciedlania w pamięci<br />
głównej zmodyfikowanych wartości danych zawartych<br />
w cache. W przypadku metody write-back zmiany nie są odzwierciedlane<br />
natychmiastowo, lecz dopiero w momencie<br />
usuwania danych z wiersza pamięci cache.<br />
Wątek (ang. thread) jest rodzajem procesu wykonywanego<br />
współbieżnie/równolegle w obrębie jednego programu.<br />
Różnica między zwykłym procesem, a wątkiem polega na<br />
współdzieleniu przez wszystkie wątki uruchomione w jednym<br />
programie przestrzeni adresowej oraz wszystkich struktur systemowych<br />
[9].<br />
Technika Hyper-Threading opracowana przez firmę Intel<br />
polega na tym, że dwa niezależne wątki mogą korzystać z<br />
tych samych jednostek wykonawczych procesora, gdy jeden<br />
z nich oczekuje na zasoby (np.: w konsekwencji błędnej predykcji<br />
rozgałęzienia w przetwarzaniu potokowym) sprawiając<br />
wrażenie wykonania równoległego [10].<br />
Niezależne sekwencje operacji dla pętli programowych (ang.<br />
Synchronization-Free Slices) są podejściem umożliwiającym<br />
wydzielenie równoległości nie wymagającej synchronizacji<br />
w pętlach programowych [1]. Wydzielone niezależne sekwencje<br />
operacji mogą następnie zostać wykonane równolegle w architekturze<br />
SMP przez przydzielenie do wątków.<br />
W trakcie badań przyjęto następujące założenia:<br />
• dla uproszczenia zobrazowania postaci danych w L1D<br />
Cache przyjęto, że dane zostały rozmieszczone przez<br />
kompilator na 16-bajtowych granicach; dzięki temu<br />
założeniu linie L1D Cache są wypełniane przetwarzanymi<br />
danymi od swojego początku,<br />
• wymiary tablicy R[][] zostały dobrane w taki sposób, aby<br />
w każdym z przypadków liczba elementów przetwarzanych<br />
przez każdą sekwencję operacji była jednakowa.<br />
Uzasadnieniem wyboru przypadków jest zbadanie lokalności<br />
danych w sytuacjach, gdy referencje do danych w iteracjach<br />
pętli programowych wykonywane są zarówno wzdłuż<br />
ciągłego jak i nieciągłego obszaru pamięci, a także w sytuacji<br />
łączącej oba przypadki. Taki dobór przypadków reprezentuje<br />
dość ogólny przekrój referencji w aplikacjach równoległych.<br />
Przypadek 1<br />
W przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje operacji,<br />
wewnątrz których iterowane są kolejne elementy wymiaru<br />
stride-1 tablicy R[][]. Algorytm badanego przypadku<br />
i zobrazowanie zależności operacji w wyodrębnionych sekwencjach<br />
przedstawiają odpowiednio rys. 1 i 2. Rys. 3 obrazuje<br />
rozmieszczenie danych w pamięci L1D Cache.<br />
Dla rozważanego przypadku wiersze tablicy R[][] przetwarzane<br />
są przez niezależnie sekwencje operacji. Wewnątrz<br />
pojedynczej sekwencji zależność danych pomiędzy kolejnymi<br />
iteracjami przebiega wzdłuż wymiaru stride-1 tablicy R[][].<br />
Referencja do pierwszego elementu powoduje załadowanie<br />
z pamięci zewnętrznej do wiersza L1D Cache oprócz pierwszego<br />
elementu kolejnych 15-elementów typu int wymiaru<br />
stride-1 danego wiersza tablicy R[][]. Przejście do kolejnej<br />
Λ1: (par) for( int t1 = 1; t1 < S ; t1++ )<br />
{<br />
Λ2: for( int i = t1, j = 1 ; j < N ; j++ )<br />
{<br />
O1: R[i][j] = φ ( R[i][j-1] );<br />
}<br />
}<br />
Rys. 1. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />
Fig. 1. A loop of independent threads of operations<br />
Analiza lokalności danych wybranych<br />
przypadków<br />
Poniżej poddano analizie lokalności danych dla pamięci L1D<br />
Cache trzy przypadki programów, dla których przy użyciu metody<br />
[1] wydzielono niezależne sekwencje operacji wykonywane<br />
w pętlach programowych. W kolejnych sekcjach<br />
analizowane przypadki zostały zaimplementowane w kodzie<br />
języka C++ z użyciem dyrektyw OpenMP i wykonane na docelowej<br />
architekturze SMP, gdzie zostały zebrane przy użyciu<br />
programowego analizatora wydajności, rzeczywiste metryki<br />
lokalności danych.<br />
Rys. 2. Model zależności iteracji<br />
Fig. 2. Iteration dependence model<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 75
Rys. 3. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 1<br />
Fig. 3. Data layout in Case 1<br />
iteracji wewnątrz sekwencji powoduje uzyskanie referencji do<br />
kolejnego elementu w wymiarze stride-1, który jest już załadowany<br />
do L1D Cache w następstwie poprzedniej referencji.<br />
W konsekwencji nie zachodzi potrzeba ponownego ładowania<br />
danych z pamięci zewnętrznej, co prowadzi do powstania<br />
lokalności przestrzennej. Ponieważ w iteracji korzysta się<br />
z obliczonego w poprzedniej sekwencji elementu poprzedzającego<br />
element aktualny w wierszu L1D Cache, zachodzi<br />
lokalność czasowa.<br />
Po wyczerpaniu referencji do wszystkich 16. elementów<br />
znajdujących się w wierszu pamięci cache i wykonaniu referencji<br />
do 17. elementu wymiaru stride-1 zachodzi potrzeba<br />
załadowania z pamięci zewnętrznej kolejnych 16. elementów<br />
tablicy do nowego wiersza pamięci L1D Cache. W tej sytuacji<br />
nie występuje lokalność przestrzenna. Jednak odwołanie<br />
w tej iteracji do elementu poprzedniego wymiaru stride-1 powoduje<br />
odwołanie do poprzedniego wiersza L1D Cache,<br />
gdzie z dużym prawdopodobieństwem element wciąż jest dostępny,<br />
prowadząc do powstania lokalności czasowej. Kolejne<br />
iteracje powtarzają powyżej opisany cykl na granicach N•16<br />
elementów wiersza R[][] przetwarzanego w ramach danej<br />
sekwencji.<br />
Po wykonaniu referencji do poprzedniego wiersza pamięci<br />
L1D Cache kolejne iteracje danej sekwencji operacji oraz iteracje<br />
dowolnej następnej sekwencji wykonywanej na tym procesorze<br />
nie korzystają z danych w nim zawartych.<br />
W konsekwencji wiersz może zostać wykorzystany do przechowywania<br />
kolejnego obszaru pamięci; w tej sytuacji Cache<br />
Replacement Algorithm przenosi zawartość danych z zastępowanego<br />
wiersza L1D Cache do właściwego miejsca w pamięci<br />
zewnętrznej (write-back).<br />
Jednocześnie, ponieważ każdy z procesorów przetwarza<br />
w wątku wszystkie elementy danego wiersza tablicy, gdzie<br />
wiersze są niezależne od siebie, nie zachodzi potrzeba synchronizacji<br />
wierszy cache pomiędzy procesorami.<br />
Przypadek 2<br />
W poniższym przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje<br />
operacji, wewnątrz których iterowane są kolejne elementy<br />
wymiaru tablicy R[][] nie będącego stride-1. Algorytm<br />
badanego przypadku i zobrazowanie zależności operacji w<br />
wyodrębnionych sekwencjach przestawiają odpowiednio<br />
rys. 4 i rys. 5. Rys. 6 obrazuje rozmieszczenie danych w pamięci<br />
L1D Cache.<br />
Dla rozważanego przypadku kolumny tablicy R[][]<br />
przetwarzane są przez niezależne sekwencje operacji. Wewnątrz<br />
pojedynczej sekwencji zależność danych pomiędzy<br />
kolejnymi iteracjami nie dotyczy wymiaru stride-1 tablicy<br />
R[][]. Referencja do pierwszego elementu powoduje<br />
załadowanie z pamięci zewnętrznej do wiersza L1D Cache<br />
oprócz pierwszego elementu kolejnych 15. elementów typu<br />
int wymiaru stride-1 danego wiersza tablicy R[][]. Przejście<br />
do kolejnej iteracji wewnątrz danej sekwencji powoduje<br />
uzyskanie referencji do kolejnego wiersza tablicy R[][],<br />
który w tym przypadku nie jest wymiarem stride-1. To z kolei<br />
powoduje konieczność załadowania z pamięci zewnętrznej<br />
do następnego wiersza L1D Cache 16. elementów typu int<br />
wymiaru stride-1 następnego wiersza tablicy R[][], stąd nie<br />
zachodzi lokalność przestrzenna. Równocześnie, ponieważ<br />
iteracja korzysta z obliczonego w poprzedniej iteracji elementu<br />
poprzedniego wiersza tablicy R[][], znajdującego<br />
się w poprzednim wierszu L1D Cache, gdzie z dużym prawdopodobieństwem<br />
element wciąż jest dostępny, stąd<br />
z dużym prawdopodobieństwem zachodzi lokalność czasowa.<br />
Kolejne iteracje powtarzają powyżej opisany cykl<br />
równy liczbie wierszy tablicy R[][] przetwarzanych w ramach<br />
danej sekwencji.<br />
Λ1: ((par) for( int j = 1 ; j < S ; j++ )<br />
{<br />
Λ2: for ( int i = 1 ; i < N ; i++ )<br />
{<br />
O1: R[i][j] = φ ( R[i-1][j] );<br />
}<br />
}<br />
Rys. 4. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />
Fig. 4. A loop of independent threads of operations<br />
Rys. 5. Model zależności iteracji<br />
Fig. 5. Iteration dependence model<br />
Po wykonaniu referencji do poprzedniego wiersza pamięci<br />
L1D Cache kolejne iteracje danej sekwencji nie korzystają<br />
z danych w nim zawartych. W konsekwencji wiersz może zostać<br />
wykorzystany do przechowywania kolejnego obszaru pamięci,<br />
w tej sytuacji Cache Replacement Algorithm przenosi<br />
zawartość danych z zastępowanego wiersza L1D Cache do<br />
właściwego miejsca w pamięci zewnętrznej (write-back).<br />
Kolejna sekwencja operacji przydzielona do danego procesora<br />
przetwarza niezależnie kolejną kolumnę tablicy R[][],<br />
rozpoczynając od elementu przetwarzanej kolumny w pierwszym<br />
wierszu tablicy. Jeżeli wiersz L1D Cache załadowany w<br />
wyniku wykonywania poprzedniej sekwencji nie został jeszcze<br />
usunięty przez Cache Replacement Algorithm, wówczas wy-<br />
76 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Rys. 6. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 2<br />
Fig. 6. Data layout in Case 2<br />
stąpi lokalność przestrzenna. Zastępowanie wierszy przez<br />
Cache Replacement Algorithm zależy od rozmiaru przetwarzanych<br />
danych i wielkości L1D Cache oraz ograniczeń asocjacyjności<br />
L1D Cache (powodując odpowiednio chybienia<br />
pojemnościowe i konfliktowe). Im większy rozmiar danych tym<br />
większe prawdopodobieństwo chybienia i mniejsza lokalność<br />
danych. Niedeterministycznym czynnikiem dla rozważanego<br />
przykładu jest dynamiczna alokacja pamięci dla dwuwymiarowej<br />
tablicy R[][] wpływająca na chybienia konfliktowe.<br />
Ponieważ każdy z procesorów przetwarza w wątku dla<br />
danej kolumny wszystkie wiersze tablicy R[][], stąd może<br />
zachodzić potrzeba synchronizacji wierszy cache pomiędzy<br />
procesorami. Czynnikiem wpływającym na potrzebę synchronizacji<br />
jest sposób planowania przydziału sekwencji operacji<br />
do wątków i dalej wątków do procesora. Synchronizację wierszy<br />
cache pomiędzy procesorami można ograniczyć zapewniając,<br />
aby kolejne sekwencje przydzielane do tego samego<br />
procesora przetwarzały sąsiednie kolumny w granicach pojemności<br />
wiersza L1D Cache. Przywołując przyjęte na wstępie<br />
założenie, iż dane w L1D Cache zostały rozmieszczone<br />
przez kompilator na 16-bajtowych granicach ograniczenie potrzeby<br />
synchronizacji wierszy cache pomiędzy procesorami<br />
może nastąpić poprzez przydzielanie procesorom zbiorów 16.<br />
kolejnych sekwencji operacji.<br />
Przypadek 3<br />
W poniższym przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje<br />
operacji, wewnątrz których iterowane są jednocześnie<br />
kolejne elementy obu wymiarów tablicy R[][], tj.:<br />
wymiaru stride-1 oraz wymiaru nie będącego stride-1. W tym<br />
przypadku należy zwrócić uwagę na to, że w celu zachowania<br />
we wszystkich badanych przypadkach jednakowej liczby<br />
elementów przetwarzanych przez każdy wątek, wymiar i tablicy<br />
R[][] musiał zostać powiększony dwukrotnie w stosunku<br />
do pozostałych przypadków. Algorytm badanego przypadku i<br />
zobrazowanie zależności operacji w wyodrębnionych sekwencjach<br />
przestawia odpowiednio rys. 7 i rys. 8. Rys. 9 obrazuje<br />
rozmieszczenie danych w pamięci L1D Cache.<br />
Λ1: ((par) for( int t1 = 1; t1 < S ; t1++ )<br />
{<br />
Λ2: for( int i = t1, j = 1 ; i < N ; i++,<br />
j++ )<br />
{<br />
O1: R[i][j] = φ ( R [i - 1][j - 1]<br />
);<br />
}<br />
}<br />
Rys. 7. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />
Fig. 7. A loop of independent threads of operations<br />
Rys. 8. Model zależności iteracji<br />
Fig. 8. Iteration dependence model<br />
Rys. 9. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 3<br />
Fig. 9. Data layout in Case 3<br />
Rozważany przypadek jest w zasadzie szczególną realizacją<br />
Przypadku 2. Elementem odmiennym od przypadku 2<br />
jest większe prawdopodobieństwo odwoływania do wierszy<br />
L1D Cache znajdujących się w sąsiednim procesorze, co jest<br />
konsekwencją ukośnego schematu dostępu do elementów<br />
linii cache przedstawionego na rys. 9.<br />
Środowisko wykorzystane do badań<br />
eksperymentalnych<br />
Badania eksperymentalne zostały wykonane w następującym<br />
środowisku:<br />
• procesor Intel(R) Core(TM) 2 Duo CPU T7200 @ 2.00 GHz<br />
o następujących parametrach [5-8]:<br />
Parametr<br />
Wartość<br />
Number of Physical Cores 2<br />
Core 1 Speed<br />
2.0 GHz<br />
Core 1 System Bus<br />
667 MHz<br />
Core 1 L1D Cache<br />
32KB write-back<br />
Core 1 L1D Cache Line Size<br />
64-byte<br />
Core 1 L1 Instruction Cache<br />
32 KB<br />
Core 2 Speed<br />
2.0 GHz<br />
Core 2 System Bus<br />
667 MHz<br />
Core 2 L1D Cache<br />
32KB write-back<br />
Core 2 L1D Cache Line Size<br />
64-byte<br />
Core 2 L1 Instruction Cache<br />
32 KB<br />
L1 Cache Associativity<br />
8-way set<br />
L2 Cache Memory<br />
4 MB (shared)<br />
L2 Cache Line Size<br />
64-byte<br />
L2 Cache Associativity<br />
16-way set<br />
Intel Hyper-Threading Technology<br />
No<br />
Intel 64 Architecture<br />
Yes<br />
Intel Virtualization Technology<br />
Yes<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 77
• system operacyjny Microsoft Windows XP SP3 32-bit,<br />
• kompilator Microsoft (R) 32-bit C/C++ Optimizing Compiler<br />
Version 15.00.21022.08 for 80x86.<br />
Zastosowane podczas kompilacji opcje:<br />
- ’/Od’ - wyłączenie wbudowanych optymalizacji,<br />
- ‘/openmp’ - włączenie rozszerzeń języka OpenMP 2.0.<br />
Wartości przyjęte domyślnie przez kompilator w trakcie<br />
kompilacji kodu programu:<br />
- omp_get_num_procs( ): 2<br />
- omp_get_max_threads( ): 2<br />
- OMP_SCHEDULE = static,0<br />
• analizator wydajności oprogramowania Intel VTune Performance<br />
Analyzer v9.0 [4].<br />
Aplikacje równoległe analizowanych<br />
przypadków<br />
W badanych źródłach wspólnie wykorzystano implementację<br />
dynamicznego tworzenia i usuwania dwuwymiarowych tablic<br />
elementów typu int przedstawioną poniżej:<br />
class Array2D {<br />
public:<br />
static int** createInt( const int rows, const int<br />
columns, const int range = 65536 )<br />
{<br />
int** a2d = new int*[ rows ];<br />
srand( (unsigned)time( NULL ) );<br />
for( int i = 0; i < rows; i++ ) {<br />
a2d[ i ] = new int[ columns ];<br />
for( int j = 0; j < columns; j++ ) a2d[ i ][ j<br />
] = rand( ) % range ;<br />
}<br />
return a2d;<br />
}<br />
static void freeInt( int** a2d, int rows )<br />
{<br />
for( int i = 0 ; i < rows ; i++ ) delete( a2d[<br />
i ] );<br />
delete( a2d );<br />
}<br />
};<br />
Rozważane przypadki zostały zaimplementowane w standardzie<br />
OpenMP/C++ w następujący sposób:<br />
#define COLUMNS 16 * krotność<br />
#define ROWS COLUMNS<br />
#define SLICES ROWS<br />
int main( int argc, char* argv[ ] )<br />
{<br />
int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />
int i, j, t1;<br />
#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />
shared( R )<br />
for( t1 = 1; t1 < SLICES ; t1++ )<br />
for( i = t1, j = 1 ; j < COLUMNS ; j++ )<br />
R[ i ][ j ] = ( R[ i ][ j - 1 ] >> 2 ) / ( 1 + R[ i ][<br />
j ] );<br />
Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />
return 0;<br />
}<br />
Aplikacja dla przypadku 1<br />
define COLUMNS<br />
#define ROWS<br />
#define SLICES<br />
16 * krotność<br />
COLUMNS<br />
COLUMNS<br />
int main( int argc, char* argv[ ] )<br />
{<br />
int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />
int i, j, t1;<br />
#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />
shared( R )<br />
for( t1 = 1 ; t1 < SLICES ; t1++ )<br />
for( j = t1, i = 1 ; i < ROWS ; i++ )<br />
R[ i ][ j ] = ( R[ i - 1 ][ j ] >> 2 ) / ( 1 + R[ i ][<br />
j ] );<br />
}<br />
Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />
return 0;<br />
Aplikacja dla przypadku 2<br />
#define COLUMNS 16 * krotność<br />
#define ROWS 2 * COLUMNS<br />
#define SLICES COLUMNS<br />
int main( int argc, char* argv[ ] )<br />
{<br />
int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />
int i, j, t1;<br />
#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />
shared( R )<br />
for( t1 = 1; t1 < SLICES ; t1++ )<br />
for( i = t1, j = 1 ; ( i < ROWS ) && ( j <<br />
COLUMNS ) ; i++, j++ )<br />
R[ i ][ j ] = ( R[ i - 1 ][ j - 1 ] >> 2 ) / ( 1 + R[<br />
i ][ j ] );<br />
}<br />
Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />
return 0;<br />
Aplikacja dla przypadku 3<br />
Makrodefinicje ROWS i COLUMNS umożliwiły modyfikację rozmiaru<br />
tablicy przetwarzanej przez równoległe wątki wykonujące<br />
zadania wewnątrz niezależnych sekwencji. Dla<br />
uproszczenia badań założono, że rozmiary ROWS i COLUMNS<br />
są krotnością 16. elementów typu int, tj. ile elementów mieści<br />
jeden wiersz L1D Cache bądź L2 Cache. Wyniki badań<br />
pozostają tożsame przy braku tego założenia. Zestawiono<br />
wolumen danych R[][] przetwarzanych w ramach badanego<br />
przypadku w zależności od wartości makrodefinicji<br />
ROWS i COLUMNS:<br />
78 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Krotność<br />
Liczba<br />
elementów<br />
typu int<br />
Przypadek 1 i przypadek 2<br />
Rozmiar<br />
danych<br />
[ kB ]<br />
Krotność<br />
Liczba<br />
elementów<br />
typu int<br />
Rozmiar<br />
danych<br />
[ kB ]<br />
1 256 1 30 230 400 900<br />
2 1 024 4 40 409 600 1 600<br />
Wyniki badań eksperymentalnych<br />
Użyte w badaniach oprogramowanie Intel VTune Performance<br />
Analyzer w wersji 9.0 odczytuje w kolejnych próbkach<br />
dane o zdarzeniach gromadzone przez PMU (ang. Performance<br />
Management Unit) procesora Intel Core2 Duo. Do<br />
określenia lokalności danych w badanych przypadkach zostały<br />
wyselekcjonowane odpowiednie metryki zdarzeń.<br />
Poniżej przedstawiono w postaci graficznej zestawienie<br />
wyników badań dla wszystkich przypadków względem każdej<br />
z badanych metryk.<br />
3 2 304 9 50 640 000 2 500<br />
4 4 096 16 60 921 600 3 600<br />
5 6 400 25 62 984 064 3 844<br />
6 9 216 36 64 1 048 576 4 096<br />
7 12 544 49 66 1 115 136 4 356<br />
8 16 384 64 68 1 183 744 4 624<br />
(a) L1D_ALL_REF<br />
9 20 736 81 70 1 254 400 4 900<br />
10 25 600 100 80 1 638 400 6 400<br />
20 102 400 400<br />
Przypadek 3<br />
Krotność<br />
Liczba<br />
elementów<br />
typu int<br />
Rozmiar<br />
danych<br />
[ kB ]<br />
Krotność<br />
Liczba<br />
elementów<br />
typu int<br />
Rozmiar<br />
danych<br />
[ kB ]<br />
(b) L1D_ALL_CACHE_REF<br />
1 512 2 30 460 800 1 800<br />
2 2 048 8 40 819 200 3 200<br />
3 4 608 18 50 1 280 000 5 000<br />
4 8 192 32 60 1 843 200 7 200<br />
5 12 800 50 62 1 968 128 7 688<br />
6 18 432 72 64 2 097 152 8 192<br />
(c) L1D_CACHE_LD.MESI<br />
7 25 088 98 66 2 230 272 8 712<br />
8 32 768 128 68 2 367 488 9 248<br />
9 41 472 162 70 2 508 800 9 800<br />
10 51 200 200 80 3 276 800 12 800<br />
20 204 800 800<br />
(d) L1D_CACHE_ST.MESI<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 79
(e) L1D_PEND_MISS<br />
(f) L1D_REPL<br />
(g) Metryka L1D_M_EVICT<br />
Znaczenie poszczególnych metryk jest następujące [12]:<br />
a) L1D_ALL_REF - odwzorowuje liczbę zdarzeń wszelkich referencji<br />
do L1D Cache, włączając ładowanie i zapis do dowolnego<br />
typu pamięci niższego poziomu.<br />
b) L1D_ALL_CACHE_REF - odwzorowuje liczbę zdarzeń odczytu<br />
bądź zapisu danych do pamięci L1D Cache.<br />
c) L1D_CACHE_LD.MESI - odwzorowuje liczbę zdarzeń odczytu<br />
danych z pamięci L1D Cache, tj. ile razy uzyskiwano dostęp<br />
do linii L1D Cache w dowolnym jej stanie (Modified, Exclusive,<br />
Shared, Invalidate).<br />
d) L1D_CACHE_ST.MESI - odwzorowuje liczbę zdarzeń zapisu<br />
danych do pamięci L1D Cache, tj. ile razy uzyskiwano dostęp<br />
do linii L1D Cache w dowolnym jej stanie (Modified, Exclusive,<br />
Shared, Invalidate).<br />
e) L1D_PEND_MISS - odwzorowuje liczbę zaległych chybień dla<br />
L1D Cache w dowolnym cyklu. Chybienie jest zaległe od<br />
cyklu, w którym wystąpiło do cyklu, w którym pierwsza część<br />
danych jest już dostępna.<br />
f) L1D_REPL - odwzorowuje liczbę linii dostarczonych do L1D<br />
Cache.<br />
g) L1D_M_EVICT - odwzorowuje liczbę zmodyfikowanych linii<br />
usuniętych z L1D Cache w konsekwencji zastąpienia bądź interwencji<br />
snoop HITM (modyfikacji przez drugi procesor tych<br />
samych danych w swoim L1D Cache i konieczności zachowania<br />
koherencji).<br />
h) MEM_LOAD_RETIRED.L1D_LINE_MISS - odwzorowuje liczbę<br />
linii operacji ładowania danych, które zakończyły się chybieniem<br />
w L1D Cache i spowodowały wysłanie do L2 Cache<br />
żądania dostarczenia brakującej linii cache.<br />
i) CMP_SNOOP.BOTH_CORES.ANY - odwzorowuje liczbę zdarzeń<br />
podglądania (ang. snoop) L1D Cache w celu zlokalizowania<br />
linii cache, która jest potrzebna przez inny procesor.<br />
Należy mieć na uwadze, że większa wartość każdej z metryk<br />
oznacza większą liczbę zdarzeń (większą aktywność),<br />
w konsekwencji prowadząc do mniejszej wydajności oraz<br />
większej konsumpcji energii.<br />
Wnioski<br />
(h) MEM_LOAD_RETIRED.L1D_LINE_MISS<br />
Na podstawie uzyskanych wyników można wyprowadzić następujące<br />
zalecenia dla programistów, aby tworzone przez<br />
nich oprogramowanie cechowała dobra lokalność danych:<br />
a) Rozmiar przetwarzanych danych wpływa na efektywność<br />
wykorzystania dostępnej pamięci cache. Dla przeprowadzonych<br />
badań próg efektywności wykorzystania dostępnej<br />
pamięci cache określała następująca zależność:<br />
rozmiar_L1D_Cache x poziom_asocjacyjności_cache x<br />
liczba_procesorów<br />
(i) CMP_SNOOP.BOTH_CORES.ANY<br />
W przypadku, gdy całkowity rozmiar przetwarzanych<br />
w programie danych nie przekraczał wymienionego progu,<br />
efektywność wykorzystania cache jest największa. Jeżeli<br />
całkowity rozmiar przetwarzanych danych przekracza ten<br />
rozmiar, to należy zastosować techniki partycjonowania danych<br />
na mniejsze zbiory (np.: tiling) [3].<br />
Zalecenia dostarczane przez producenta procesora wskazują<br />
na ogólną zasadę, iż rozmiar bloku przetwarzanych<br />
danych powinien w przybliżeniu znajdować się w prze-<br />
80 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
dziale od ½ do ¾ fizycznego rozmiaru cache dla procesora<br />
bez technologii Hyper-Threading oraz od ¼ do ½ fizycznego<br />
rozmiaru cache dla procesora wykorzystującego tę<br />
technologię [2]. Wyniki uzyskane w przeprowadzonych badaniach<br />
dla procesora Intel Core2 Duo (bez technologii<br />
Hyper-Threading) potwierdzają zalecenia producenta. Wykonane<br />
badania dla rozważanych przypadków pozwalają<br />
na intuicyjne postawienie hipotezy, że górna granica rozmiaru<br />
bloku przetwarzanych danych zapewniająca efektywność<br />
wykorzystania cache zależy od schematu dostępu<br />
do danych w programie, co z kolei pozwala na potwierdzenie<br />
zaleceń producenta.<br />
b) Najbardziej korzystny sposób iteracji kolejnych elementów<br />
tablicy w ramach wątku polega na sekwencyjnym uzyskiwaniu<br />
dostępu do elementów wzdłuż wymiaru stride-1.<br />
W badaniach uzyskane wartości wszystkich metryk były<br />
najkorzystniejsze dla Przypadku 1. Potwierdza to tezę prezentowaną<br />
w literaturze [3]. Najmniej korzystny okazał się<br />
natomiast Przypadek 3, którego schemat iteracji kolejnych<br />
elementów tablicy wprowadzał konieczność koherencji pamięci<br />
cache sąsiadujących procesorów.<br />
Zmiana rozmieszczenia struktur danych może okazać się<br />
sposobem dla programistów na poprawę lokalności danych.<br />
Dla przykładu, jeżeli w kodzie programu iteracja elementów<br />
tablicy R[][] nie następuje wzdłuż wymiar<br />
stride-1, wówczas zamiana wierszy z kolumnami spowoduje<br />
poprawę lokalności danych. Zastosowanie tej techniki<br />
zwiększenia lokalności danych ma jednak swoje ograniczenia,<br />
ponieważ ta sama tablica może być wykorzystana<br />
w innych miejscach programu i w innych operacjach, gdzie<br />
zmienione rozmieszczenie danych może powodować deprecjację<br />
lokalności danych.<br />
c) Zmniejszenie odległości ponownego użycia (ang. reuse<br />
distance) prowadzi do większego prawdopodobieństwa<br />
wystąpienia lokalności czasowej. Odległość ponownego<br />
użycia określa liczbę dostępów do innych danych pomiędzy<br />
kolejnymi dostępami do tej samej danej; im krótszy<br />
wektor ponownego użycia, tym szybciej dane stają się<br />
zbędne, a komórka pamięci cache może zostać wykorzystana<br />
do przechowywania nowych danych. Ze względu na<br />
wierszowy charakter cache dla zwiększenia lokalności<br />
przestrzennej danych należy w dalszej kolejności skupić<br />
operacje przetwarzające dane sąsiadujące w wierszu<br />
cache wokół danej, dla której wystąpił efekt lokalności czasowej.<br />
O ile w pierwszym przypadku ponowne użycie ma<br />
charakter zależności danych to w drugim przypadku może<br />
być konsekwencją np.: aglomeracji.<br />
Podsumowanie<br />
W artykule przedstawiono wyniki badań nad lokalnością danych<br />
aplikacji równoległych z wytworzaniem niezależnych<br />
wątków obliczeń. W badaniach zastosowano taki dobór przypadków,<br />
który pozwolił odwzorować dość ogólny przekrój<br />
możliwych referencji do danych w aplikacjach równoległych.<br />
Jednocześnie na przykładzie badanych aplikacji przedstawiono<br />
zastosowanie narzędzia Intel VTune Performance Analyzer<br />
do analizy lokalności danych. Ostatecznie na podstawie<br />
uzyskanych wyników wyprowadzono zalecenia dla programistów,<br />
aby tworzone przez nich oprogramowanie cechowała<br />
dobra lokalność danych.<br />
Celem najbliższych prac autorów będzie poszerzenie wyników<br />
badań nad lokalnością danych aplikacji równoległych<br />
o pętle programowe tworzące zbór NAS Parallel Benchmarks<br />
(http://www.nas.nasa.gov/), w których wydzielono niezależne<br />
sekwencje operacji zgodnie z metodą przedstawioną w [1].<br />
Uzyskane w tych pracach wyniki wykorzystują ogólnie przyjęte<br />
aplikacje stanowiące kryteria oceny wydajności superkomputerów<br />
równoległych, powinny przyczynić się do<br />
lepszego zrozumienia uwarunkowań dobrej lokalności danych<br />
w programach równoległych z wytworzeniem niezależnych<br />
wątków obliczeń.<br />
Literatura<br />
[1] Bielecki W., Siedlecki K.: Extracting synchronization-free slices in<br />
perfectly nested loops. Electonic Modeling, vol.29, no 6, Kijów<br />
2007, pp. 61-76.<br />
[2] Threading Methodology: Principles and Practices. Version 2.0,<br />
Intel Corporation, 2004.<br />
[3] Aho A. V., Lam M. S., Sethi R., Ullman J. D.: Compilers: Principles,<br />
Techniques and Tools, 2nd Edition. Addison-Wesley, 2006.<br />
[4] http://www.intel.com/support/performancetools/vtune/<br />
[5] Intel® 64 and IA-32 Architectures Software Developer’s Manual,<br />
Intel Corporation, 2008.<br />
[6] Intel® Core2 Duo Processor E8000 and E7000 Series, Intel<br />
Corporation, 2008.<br />
[7] Intel Procesor Identyfication Utility, Version 4.00.20081113, Intel<br />
Corporation, 2008.<br />
[8] CPU-Z, Version 1.48, CPUID Software Development Kit, 2008.<br />
[9] Wilson G.V.: Practical Parallel Programming. The MIT Press,<br />
1995.<br />
[10] http://en.wikipedia.org/<br />
[11] Beyls K.: Software Methods to Improve Data Locality and Cache<br />
Behavior, PhD dissertation, Universiteit Gent, 2004.<br />
[12] Intel® VTune Performance Analyzer. VTune Performance<br />
Environment Help, Intel Corporation, 2008.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 81
Wykorzystanie elementu XOR w syntezie logicznej<br />
przeznaczonej dla programowalnych struktur<br />
CPLD typu PAL<br />
mgr inż. WALDEMAR GRABIEC 1 , dr hab. inż. DARIUSZ KANIA prof. PŚ 2<br />
1 Wojskowa Akademia Techniczna, Wydział Elektroniki, <strong>Instytut</strong> Telekomunikacji<br />
2 Politechnika Śląska, Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki<br />
Układy matrycowe CPLD (ang. Complex Programmable Logic<br />
Devices) stanowią jedną z głównych grup oferowanych na<br />
rynku programowalnych struktur logicznych. Większość z nich<br />
wykorzystuje architekturę typu PAL (ang. Programmable Array<br />
Logic), której cechą charakterystyczną jest programowalna<br />
matryca iloczynów i nieprogramowalna (stałe połączenia) matryca<br />
sum. Rdzeniem matrycowych struktur programowalnych<br />
CPLD jest blok logiczny typu PAL zawierający pewną liczbę<br />
iloczynów k (najczęściej k = 3,5,8) dołączonych na stałe do<br />
wejść bramki sumy logicznej (rys. 1). Jednym z głównych problemów<br />
w syntezie logicznej dedykowanej tym strukturom jest<br />
efektywne wykorzystanie dostępnej liczby iloczynów zawartych<br />
w blokach typu PAL.<br />
Klasyczna metoda realizacji funkcji<br />
w strukturach typu PAL<br />
Klasyczna metoda realizacji funkcji f: B n → B m w strukturach<br />
CPLD typu PAL związana jest z realizacją zminimalizowanych<br />
funkcji f i : B n → B (i = 1,2,….,m) w postaci sieci składających<br />
się z k-iloczynowych bloków typu PAL [1].<br />
Przykład 1<br />
Rozważmy realizację pojedynczej funkcji logicznej f: B 5 → B<br />
opisanej siatką Karnaugha (rys. 2a) wykorzystując bloki logiczne<br />
typu PAL zawierające 3 iloczyny. W wyniku dwupoziomowej<br />
minimalizacji przeprowadzonej za pomocą programu<br />
ESPRESSO uzyskujemy postać zawierającą 10 implikantów<br />
(rys. 2b).<br />
Rys. 1. Struktura bloku logicznego typu PAL zawierającego k iloczynów<br />
Fig. 1. Strukture of PAL - based logic block consisting of k terms<br />
Bloki logiczne układów CPLD oprócz iloczynów zawierają<br />
również pewne dodatkowe elementy, takie jak: konfigurowalne<br />
przerzutniki, wyjściowe bufory trójstanowe, bramki<br />
XOR itp. Elementy te mają różnorodne przeznaczenie. Okazuje<br />
się jednak, że ich istnienie z powodzeniem można<br />
uwzględnić w procesie syntezy logicznej, podnosząc tym<br />
samym jej efektywność. W syntezie logicznej przeznaczonej<br />
dla matrycowych struktur CPLD można wykorzystać elementy<br />
dekompozycji, odgrywające dotychczas kluczową rolę<br />
w syntezie układów cyfrowych realizowanych w tablicowych<br />
strukturach FPGA (ang. Field Programmable Gate Array).<br />
W przypadku struktur matrycowych CPLD istota dekompozycji<br />
polega na „dopasowaniu” projektu do wewnętrznej<br />
struktury układu programowalnego [1].<br />
Celem artykułu jest przedstawienie koncepcji nowatorskiego<br />
modelu dekompozycji, umożliwiającego wykorzystanie<br />
elementu XOR powszechnie występującego w blokach<br />
logicznych większości struktur CPLD. Opracowany model dekompozycji<br />
jest rozszerzeniem tzw. dekompozycji kolumnowej,<br />
bazujacej na klasycznym modelu dekompozycji Curtisa<br />
[1-3]. Bazując na przykładzie prostej funkcji logicznej, dokonano<br />
porównania zaproponowanej koncepcji z klasyczną metodą<br />
syntezy oraz metodą wykorzystującą dekompozycję<br />
Curtisa ukierunkowaną na efektywne wykorzystywanie bloków<br />
logicznych typu PAL [1].<br />
W celu uproszczenia prezentowanych zagadnień,<br />
przykłady omawiane w dalszej części artykułu będą rozpatrywane<br />
dla bloków logicznych zawierających 3 iloczyny (k =3).<br />
Rys. 2. Metoda klasyczna realizacji funkcji f: B 5 → B: siatka Karnaugha<br />
(a) i wynik minimalizacji w postaci pliku y.pla zapisanego<br />
w formacie ESPRESSO (b)<br />
Fig. 2. The Karnaugh map of function (a) and result of minimization<br />
y.pla (b)<br />
Niech ∆ fi oznacza liczbę implikantów, dla których funkcja<br />
f i : B n → B przyjmuje wartość 1, natomiast δ fi niech będzie<br />
liczbą bloków logicznych typu PAL potrzebnych do realizacji<br />
funkcji f i . Liczba iloczynów zawarta w bloku logicznym jest<br />
równa k. W sytuacji, gdy ∆ fi > k liczba niezbędnych do realizacji<br />
funkcji bloków k-iloczynowych wynosi<br />
δ fi = + 1 (1)<br />
W rozważanym przypadku powstaje struktura składająca się<br />
z ξ fi warstw bloków logicznych typu PAL, przy czym parametr<br />
ten określony jest następującą zależnością:<br />
ξ fi = (2)<br />
82 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Zapis ⎡x⎤ oznacza najmniejszą liczbę naturalną nie mniejszą<br />
od x. Dla rozpatrywanej w przykładzie funkcji określone wyżej<br />
parametry wynoszą odpowiednio:<br />
oraz<br />
k = 3, ∆ fi = 10, δ fi = + 1 = + 1 = 5 (3)<br />
ξ fi = = = 3 (4)<br />
Realizację przedstawionej powyżej funkcji f: B 5 → B metodą<br />
klasyczną przedstawiono na rys. 3. Linią przerywaną oznaczono<br />
niewykorzystany iloczyn w bloku logicznym.<br />
klasycznego modelu dekompozycji Ashenhursta-Curtisa<br />
(określanej w literaturze mianem dekompozycji rozłącznej<br />
Curtisa) stanowi twierdzenie, w sposób graficzny przedstawione<br />
na rys. 4.<br />
Twierdzenie o dekompozycji rozłącznej Curtisa<br />
Funkcja:<br />
podlega dekompozycji tzn.:<br />
y = f(i n ,....,i 2 ,i 1 ) = f(X 2 ,X 1 ) (5)<br />
f(X 2 ,X 1 ) = F[g 1 (X 1 ),g 2 (X 1 ),...,g p (X 1 ),X 2 ] (6)<br />
wtedy i tylko wtedy, gdy złożoność kolumnowa opisującej ją<br />
matrycy podziałów (siatki Karnaugha) wynosi:<br />
ν(X 2 ⏐ X 1 ) ≤ 2 p [2,3] (7)<br />
Zbiory X 1 i X 2 nazywane są odpowiednio zbiorem związanym<br />
(ang. bound set) i zbiorem wolnym (ang. free set), przy czym<br />
zachodzą między nimi relacje:<br />
X 1 ∪X 2 = {i n ,...,i 2 ,i 1 } oraz X 1 ∩X 2 = φ (8)<br />
Rys. 3. Klasyczna realizacja funkcji f: B 5 → B wykorzystująca bloki<br />
logiczne typu PAL<br />
Fig. 3. Classical implementation of the function f: B 5 → B based on<br />
PAL-logic block<br />
Metoda realizacji funkcji wykorzystująca<br />
dekompozycję kolumnową<br />
Metody dekompozycji funkcji znalazły bardzo szerokie zastosowanie<br />
w wielu dziedzinach informatyki, do których można<br />
m.in. zaliczyć sztuczną inteligencję, analizę obrazów czy też<br />
syntezę logiczną. W ostatniej z wymienionych dziedzin metody<br />
dekompozycji pozwalają projektować w sposób efektywny<br />
układy cyfrowe bazujące na strukturze programowalnej<br />
CPLD/FPGA [4]. Intensywne prace nad wykorzystaniem dekompozycji<br />
funkcji w syntezie logicznej układów cyfrowych<br />
realizowanych w strukturach FPGA prowadzone są od blisko<br />
30 lat. Teoretyczną podstawę klasycznej teorii dekompozycji<br />
stanowią prace Ashenhursta opublikowane w drugiej połowie<br />
lat 50. [2], rozwinięte kilka lat później przez Curtisa [3]. Istotę<br />
Rys. 4. Idea rozłącznej dekompozycji Curtisa<br />
Fig. 4. Disjoint Curtis decomposition<br />
Pod pojęciem złożoności kolumnowej matrycy podziałów<br />
(nazywanej również w literaturze jako krotność kolumnowa)<br />
rozumiemy liczbę wszystkich różniących się miedzy sobą<br />
(w sensie kombinacji zerojedynkowej) wzorców kolumn występujących<br />
w siatce Karnaugha opisującej daną funkcję<br />
logiczną:<br />
Istota dekompozycji funkcji sprowadza się zwykle do odpowiedniego<br />
podziału projektowanego układu cyfrowego na<br />
podukłady o zadanej liczbie wejść i wyjść. Takie podejście ma<br />
miejsce podczas realizacji układu cyfrowego w strukturach<br />
FPGA typu tablicowego, gdzie następuje dopasowanie poszczególnych<br />
podukładów do bloków logicznych CLB (ang.<br />
Configurable Logic Block) struktury FPGA . Okazuje się jednak,<br />
że dekompozycja może być również wykorzystywana do<br />
podziału projektu na części realizowane w poszczególnych<br />
blokach logicznych typu PAL, których głównym „mankamentem”<br />
jest ograniczona liczba wielowejściowych iloczynów (termów)<br />
[1]. W świetle tego faktu istota dekompozycji<br />
przeznaczonej dla struktur typu PAL sprowadza się do minimalizacji<br />
liczby wykorzystywanych iloczynów, pośrednio prowadząc<br />
do minimalizacji liczby użytych bloków logicznych<br />
typu PAL lub dopasowania projektowanego układu do struktury<br />
bloków logicznych typu PAL.<br />
Analizując podział układu będący konsekwencją dekompozycji<br />
Ashenhursta-Curtisa (rys. 4) należy zauważyć, iż towarzyszy<br />
mu ekspansja całkowitej liczby wyjść. W przypadku<br />
układów CPLD prowadzi to do wykorzystania dodatkowo co<br />
najmniej p - bloków logicznych typu PAL niezbędnych do realizacji<br />
bloku związanego. Wynika z tego wniosek, że zastosowanie<br />
dekompozycji może być opłacalne tylko wtedy, gdy<br />
(9)<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 83
w klasycznym podejściu wykorzystanie sprzężeń zwrotnych<br />
prowadzi do użycia większej liczby bloków logicznych typu<br />
PAL. Zagadnienie wykorzystania dekompozycji w syntezie<br />
CPLD przedstawia poniższy przykład.<br />
Przykład 2<br />
Rozpatrzmy realizację funkcji logicznej f: B 5 → B z przykładu<br />
1. Można zauważyć, że kolumny siatki Karnaugha<br />
(rys. 5a) tworzą trzy wzorce (tzn. występują trzy różne kolumny)<br />
oznaczone literami A, B, C. Złożoność kolumnowa wynosi<br />
ν(X 2 │X 1 )=3. Z twierdzenia Curtisa wynika, iż do<br />
rozróżnienia wzorców kolumn musimy użyć dwóch bitów<br />
(p = 2): g 1 (X 1<br />
) i g 2 (X 1<br />
). Siatki Karnaugha opisujące podukłady<br />
powstające po dekompozycji czyli blok związany i wolny wraz<br />
ze strukturą ostatecznej realizacji układu przedstawiono na<br />
rys. 5. Z rysunku 5b. przedstawiającego realizację praktyczną<br />
rozpatrywanej funkcji logicznej widać, że omawiana metoda<br />
syntezy jest „oszczędniejsza” pod względem liczby wykorzystanych<br />
bloków logicznych PAL w porównaniu z metodą klasyczną.<br />
Na rysunku tym linią przerywaną oznaczono<br />
niewykorzystane iloczyny bloku logicznego.<br />
Metoda dekompozycji ukierunkowana na<br />
wykorzystanie elementu XOR<br />
Jednym z elementów składowych bloków logicznych programowalnych<br />
struktur CPLD jest element (bramka) XOR<br />
(rys. 6). Element ten wykorzystywany jest zwykle do wyboru<br />
aktywności poziomu wyjściowego, wyboru sposobu realizacji<br />
funkcji z warunków działania lub niedziałania, modyfikacji typu<br />
przerzutnika itp. Okazuje się, iż możliwe jest ukierunkowanie<br />
procesu syntezy układów cyfrowych realizowanych w strukturach<br />
CPLD na wykorzystanie elementu XOR. Prowadzi to<br />
w wielu sytuacjach do efektywniejszych rozwiązań (oszczędniejsze<br />
wykorzystanie zasobów struktury programowalnej)<br />
w stosunku do rozwiązań uzyskiwanych metodą klasyczną,<br />
jak również w porównaniu do metod zaimplementowanych<br />
w narzędziach komercyjnych.<br />
Rys. 6. Struktura bloku logicznego typu PAL z uwzględnieniem elementu<br />
XOR<br />
Fig. 6. Structure of PAL-based logic block consisting of XOR element<br />
Przykład 3<br />
Rozpatrzmy realizację funkcji logicznej f: B 5 → B przedstawioną<br />
we wcześniejszych przykładach, uwzględniając element<br />
XOR występujący w bloku logicznym. Analizując siatkę<br />
Karnaugha rozpatrywanej funkcji przedstawioną na rys. 7<br />
Rys. 5. Realizacja funkcji f: B 5 → B bazująca na dekompozycji<br />
Curtisa<br />
Fig. 5. Implementation of the function based on Curtis decomposition<br />
Rys. 7. Siatka Karnaugha funkcji logicznej (a) oraz odpowiadający<br />
jej graf niezgodności i dopełnień kolumn (b)<br />
Fig. 7. The Karnaugh map (a) and the Column Incompatibility and<br />
Complement Graph (b)<br />
84 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
można zauważyć, że wzorzec B stanowi dopełnienie wzorca<br />
A (tzn. B = A’). Mówimy, że wzorzec jednej kolumny jest dopełnieniem<br />
wzorca drugiego wtedy i tylko wtedy, gdy w zbiorze<br />
par komórek należących do dwóch różnych kolumn nie<br />
występują pary (1,1) i (0,0). W omawianej metodzie syntezy<br />
wykorzystano zagadnienie kolorowania wierzchołków grafu.<br />
Polega ono na takim etykietowaniu wierzchołków grafu (nadawaniu<br />
im kolorów), że każde dwa wierzchołki do siebie<br />
przyległe (tzn. połączone wspólną krawędzią) mają różne kolory.<br />
Z zagadnieniem kolorowania wierzchołków grafu<br />
związane jest pojęcie liczby chromatycznej, określającej najmniejszą<br />
liczbę kolorów niezbędnych do pokolorowania grafu.<br />
Analizę wzorców kolumn siatki Karnaugha z uwzględnieniem<br />
relacji dopełnienia kolumn można wykonywać kolorując wierzchołki<br />
grafu niezgodności i dopełnień kolumn. Wyczerpujący opis<br />
tworzenia i kolorowania wierzchołków grafu niezgodności i dopełnień<br />
można znaleźć w pracy [1]. W niniejszym artykule ograniczono<br />
się do skrótowego zaprezentowania istoty zastosowania<br />
grafu niezgodności i dopełnień kolumn w procesie wyszukiwania<br />
wyrażeń realizowanych za pomocą elementów XOR.<br />
Wierzchołki grafu niezgodności i dopełnień kolumn skojarzone<br />
są z kolumnami siatki Karnaugha (zmienne: c, d, e) opisującej<br />
rozpatrywaną funkcję logiczną. Krawędzie grafu<br />
opisują dwa rodzaje relacji występujące pomiędzy jego wierzchołkami.<br />
Relacja niezgodności wzorców kolumn oznaczona<br />
jest na grafie krawędziami niebieskimi. Za pomocą krawędzi<br />
oznaczonych kolorem czerwonym reprezentowane są relacje<br />
dopełnienia wzorców kolumn. Do oznaczenia kolorów wierzchołków<br />
grafu posłużono się wytłuszczoną czcionką typu Arial.<br />
Istota algorytmu kolorowania wierzchołków grafu niezgodności<br />
i dopełnień kolumn polega na sekwencyjnym wyborze<br />
wierzchołków, którym przypisywany jest kolor<br />
dozwolony (oznaczany dużą literą np. A) lub kolor dopełnienia<br />
(np. A’) w miarę możliwości taki, który jest już przypisany innemu<br />
wierzchołkowi. Po przypisaniu w i-tym kroku wybranemu<br />
wierzchołkowi koloru dozwolonego lub koloru<br />
dopełnienia, przypisywane są kolory zabronione (oznaczane<br />
małą literą np. a) wszystkim wierzchołkom, połączonym krawędziami<br />
niebieskimi z wybranym wierzchołkiem i kolory dopełnienia<br />
wszystkim wierzchołkom, połączonym krawędziami<br />
czerwonymi z wybranym wierzchołkiem.<br />
Wybór i-tego wierzchołka realizowany jest zgodnie z poniższymi<br />
zasadami:<br />
• wybierany jest wierzchołek z maksymalną liczbą kolorów<br />
zabronionych; przyporządkowywany jest mu kolor dozwolony<br />
(jeżeli jest to możliwe - ze zbioru kolorów wcześniej<br />
użytych),<br />
• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych<br />
wybierany jest tzw. wierzchołek najwyższego<br />
stopnia czyli ten, do którego jest incydentna maksymalna<br />
liczba krawędzi (tzn. do którego dochodzi maksymalna<br />
liczba krawędzi),<br />
• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych<br />
i maksymalną liczbą krawędzi incydentnych wybierany<br />
jest ten, który ma dodatkowo maksymalną liczbę<br />
kolorów dopełnień (jeżeli jest to możliwe, przyporządkowywany<br />
jest mu kolor dopełnienia),<br />
• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych,<br />
kolorów dopełnień i incydentnych krawędzi wybierany<br />
jest ten, do którego dochodzi maksymalna liczba<br />
krawędzi oznaczonych kolorem niebieskim (relacja niezgodności<br />
wzorców).<br />
Po wybraniu danego wierzchołka i przypisaniu pozostałym<br />
wierzchołkom grafu kolorów dozwolonych, kolorów dopełnień<br />
i kolorów zabronionych wykonywana jest redukcja<br />
grafu. Polega ona na eliminacji krawędzi łączących wybrany<br />
wierzchołek z innymi wierzchołkami grafu, po czym wybierany<br />
jest kolejny (i + 1) wierzchołek, tym razem po analizie<br />
grafu zredukowanego. W ostatnim kroku wierzchołkom, które<br />
mają kolory zabronione i kolory dopełnień, przypisywane są<br />
wszystkie możliwe, występujące na grafie kolory dozwolone<br />
i kolory dopełnień.<br />
Poszczególne etapy kolorowania wierzchołków grafu niezgodności<br />
i dopełnień kolumn przedstawiono w [1,5]. W niniejszym<br />
artykule ograniczono się do przedstawienia<br />
końcowego efektu procesu kolorowania grafu niezgodności<br />
i dopełnień kolumn rozpatrywanej funkcji (rys. 8).<br />
Analizując pokolorowany graf (rys. 8b) można zauważyć,<br />
że wzorce kolumn z dozwolonym kolorem A pokryte są jednym<br />
implikantem (0-1), natomiast do pokrycia wzorca dopełnienia<br />
(kolor A’) konieczne jest użycie 2 implikantów (000, 11-). Korzystając<br />
z faktu, że relacja dopełnień kolumn jest relacją symetryczną,<br />
możliwa jest zamiana koloru dopełnienia A’<br />
z kolorem dozwolonym A. Operację tę przedstawiono na rys. 9.<br />
Siatki Karnaugha obrazujące poszczególne etapy syntezy<br />
uwzględniającej istnienie elementu XOR przedstawiono na<br />
rys. 10., przedstawiono również pierwotną siatkę Karnaugha<br />
już po zamianie wzorców kolumn, gdzie kolumny dopełnienia<br />
oznaczono kolorem zielonym.<br />
Po zamianie kolorów wzorzec dopełnienia (kolumna A’)<br />
występuje dla dwóch kolumn skojarzonych z wyrażeniem c’e.<br />
W tej sytuacji możemy rozpatrywać matrycę podziałów tak<br />
jakby zawierała ona dwa rodzaje kolumn: A i B. Skutkuje to<br />
mniejszą (w myśl twierdzenia Curtisa) liczbą bloków logicznych<br />
niezbędnych do realizacji bloku związanego. Wzorzec<br />
dopełnienia (kolumna A’) można natomiast uzyskać poprzez<br />
zanegowanie uzyskanego wyrażenia, wykorzystując do tego<br />
celu bramkę XOR występującą w bloku logicznym.<br />
Rys. 8. Graf niezgodności i dopełnień kolumn (a) i końcowy efekt<br />
kolorowania (b)<br />
Fig. 8. The Column Incompatibility and Complement Graph and result<br />
of the colouring process<br />
Rys. 9. Grafy niezgodności i dopełnień kolumn (a) i siatki Karnaugha<br />
(b) przed i po zamianie kolorów A↔A’<br />
Fig. 9. The Column Incompatibility and Complement Graphs (a) and<br />
Karnaugh maps (b) before and after exchange of the coulors<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 85
wykorzystanych bloków logicznych) w porównaniu z metodą<br />
klasyczną. Również w sensie szybkości (liczba warstw logicznych)<br />
prezentowana metoda syntezy jest bardziej efektywna.<br />
Wyniki końcowe<br />
Final results<br />
Metoda<br />
Liczba bloków PAL<br />
(bloki 3- iloczyn.)<br />
Liczba warstw<br />
logicznych<br />
Klasyczna 5 3<br />
Bazująca na dekompozycji<br />
kolumnowej<br />
Dekompozycja z wykorzystaniem<br />
bramki XOR<br />
4 3<br />
2 2<br />
Podsumowanie<br />
Rys. 10. Synteza funkcji logicznej f: B 5 → B ukierunkowana na wykorzystanie<br />
elementu XOR występującego w bloku logicznym<br />
Fig. 10. Implementation of the function f: B 5 → B based on using<br />
XOR gate method<br />
W artykule przedstawiono koncepcję syntezy logicznej dedykowanej<br />
strukturom CPLD bazującą na wykorzystaniu elementów<br />
XOR powszechnie występujących w blokach<br />
logicznych tych struktur. Zaproponowana metoda dekompozycji<br />
stanowi rozszerzenie tzw. dekompozycji kolumnowej. Jej<br />
istota polega na wyszukiwaniu dopełnień wzorców kolumn<br />
matrycy podziałów. W procesie poszukiwania wzorców kolumn<br />
można wykorzystać algorytm kolorowania wierzchołków<br />
grafu niezgodności i dopełnień kolumn [1].<br />
Oczywiście trudno na podstawie jednego prostego<br />
przykładu wyciągać daleko idące wnioski. Można jednak<br />
z proponowaną metodą wiązać duże nadzieje, ponieważ wyniki<br />
bardzo licznych eksperymentów zamieszczonych w [1],<br />
przeprowadzonych dla popularnych układów testowych<br />
(benchmark) pokazały, że metody bazujące na dekompozycji<br />
opracowane dla struktur CPLD dają znacznie lepsze rezultaty<br />
w porównaniu z metodą klasyczną. Zaproponowana<br />
metoda stanowi uzupełnienie dekompozycji kolumnowej<br />
i prowadzi do wyników niejednokrotnie lepszych, a przynajmniej<br />
nie gorszych, niż strategie syntezy bazujące wyłącznie<br />
na tej dekompozycji.<br />
Literatura<br />
Rys. 11. Realizacja funkcji uwzględniająca element XOR<br />
Fig. 11. Implementation of the function with XOR gate<br />
Realizację funkcji uzyskaną po dekompozycji uwzględniającej<br />
w syntezie istnienie bramki XOR przedstawiono<br />
na rys. 11.<br />
Zbiorcze zestawienie wyników dla analizowanego<br />
przykładu zamieszczono w tabeli. Jak widać, wynik syntezy<br />
opartej na proponowanej metodzie wykorzystującej element<br />
XOR jest znacznie lepszy pod względem powierzchni (liczby<br />
[1] Kania D.: Synteza logiczna przeznaczona dla matrycowych<br />
struktur logicznych typu PAL. Zeszyty Naukowe Politechniki<br />
Śląskiej, Gliwice 2004.<br />
[2] Ashenhurst R. L.: The decomposition of switching functions, Proceedings<br />
of an International Symposium on the Theory of Switching,<br />
April 1957.<br />
[3] Curtis H. A.: The Design of switching Circuits, D.van Nostrand<br />
Company Inc., Princeton, New Jersey, Toronto, New York 1962.<br />
[4] Łuba T., Selvaraj H.: A General Approach to Boolean Function<br />
Decomposition and its Applications in FPGA-based Synthesis.<br />
VLSI Design. Special Issue on Decompositions in VLSI Design,<br />
vol.3, no 3-4, 289-300, 1995.<br />
[5] Kania D., Grabiec W.: Synteza logiczna dla struktur CPLD typu<br />
PAL wykorzystująca elementy XOR. Biuletyn WAT, vol. LVI 3<br />
(647). Warszawa 2007, ss. 229-241.<br />
86 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Estymacja parametrów modelu Danga tranzystora MOS<br />
prof. dr hab. inż. JANUSZ ZARĘBSKI, mgr inż. DAMIAN BISEWSKI<br />
Akademia Morska w Gdyni, Katedra Elektroniki Morskiej<br />
Tranzystory MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) zajmują<br />
ważną pozycję we współczesnej elektronice i są głównie stosowane<br />
w elektronicznych układach wzmacniaczy, kluczy<br />
oraz przetwornic napięcia. Projektowanie oraz analiza<br />
układów z tymi tranzystorami wymaga użycia odpowiednich<br />
programów komputerowych.<br />
Popularnym i chętnie stosowanym przez inżynierów oraz<br />
konstruktorów wyżej wymienionych układów programem komputerowym<br />
jest PSPICE [1-7], zawierający wbudowane fizyczne<br />
modele elementów biernych oraz modele<br />
podstawowych elementów półprzewodnikowych, w tym rozważanego<br />
tranzystora MOS. W programie PSPICE (wersja<br />
10.0) dostępne są następujące modele tranzystora MOS:<br />
model Shichmana-Hodgesa, model Meyera, model Danga,<br />
model BSIM, model EKV, model BSIM3 [1].<br />
Na szczególną uwagę zasługuje model Danga, wykorzystywany<br />
często, np. przez producentów tranzystorów MOS<br />
przy formułowaniu firmowych makromodeli tych elementów<br />
[8-11]. Postać analitycznych zależności opisujących model<br />
Danga tranzystora MOS, jak również definicje poszczególnych<br />
parametrów występujących w tych zależnościach są prezentowane<br />
w literaturze [1-7].<br />
Wartości parametrów modelu Danga dla wybranych typów<br />
tranzystorów MOS są udostępniane na stronach WWW [8-11]<br />
przez producentów tych tranzystorów, jak również są umieszczone<br />
w bibliotece PWRMOS.LIB programu PSPICE [12].<br />
Jednakże dla licznej grupy tranzystorów MOS wartości parametrów<br />
rozważanego modelu nie są udostępnione przez<br />
producentów tych tranzystorów, jak również nie są one dostępne<br />
w wyżej wymienionej bibliotece.<br />
W pakiecie PSPICE’a (od wersji 9.0) umieszczono specjalistyczny<br />
program MODEL EDITOR, służący do estymacji<br />
parametrów modeli wielu elementów półprzewodnikowych:<br />
diody p-n, tranzystora bipolarnego, tranzystora JFET, w tym<br />
również modelu Danga tranzystora MOS. We wcześniejszych<br />
wersjach pakietu PSPICE program MODEL EDITOR występował<br />
pod nazwą PARTS. W literaturze można odnaleźć informacje<br />
na temat oceny przydatności wymienionego<br />
programu do estymacji parametrów wybranych modeli elementów<br />
półprzewodnikowych [13-17].<br />
W pracy omówiono proces estymacji parametrów modelu<br />
Danga z wykorzystaniem programu MODEL EDITOR. Zbadano<br />
wpływ doboru liczby oraz rozmieszczenia punktów pomiarowych<br />
na charakterystykach tranzystora, na uzyskane<br />
wartości wybranych parametrów wymienionego modelu. Dla<br />
arbitralnie wybranego typu tranzystora MOS, porównano wartości<br />
parametrów modelu Danga, uzyskane z programu<br />
MODEL EDITOR z wartościami parametrów modelu tego tranzystora<br />
podanymi w bibliotece PWRMOS.LIB [12]. Ponadto,<br />
przeprowadzono estymację parametrów rozważanego w pracy<br />
typu tranzystora MOS w oparciu o jego dane katalogowe.<br />
Program MODEL EDITOR<br />
Przeprowadzenie estymacji parametrów modelu Danga<br />
w programie MODEL EDITOR wymaga wykonania pomiarów<br />
odpowiednich charakterystyk rozważanego elementu, a następnie<br />
wprowadzenia jako danych wejściowych do MODEL<br />
EDITORa współrzędnych punktów pomiarowych leżących na<br />
tych charakterystykach. Po obliczeniach wykonanych przez<br />
program MODEL EDITOR uzyskuje się wymagany zbiór wartości<br />
parametrów. Alternatywą jest wprowadzenie do programu<br />
MODEL EDITOR odpowiednich współrzędnych<br />
punktów na podstawie danych katalogowych elementu, o ile<br />
takie informacje są dostępne. Dane wejściowe muszą dotyczyć<br />
temperatury otoczenia równej 300K.<br />
Program MODEL EDITOR wykorzystuje współrzędne<br />
punktów leżących na ośmiu charakterystykach stanowiących<br />
wykresy następujących zależności:<br />
a) transkonduktancji od prądu drenu g m<br />
= f(i D<br />
). Z zależności<br />
tej wyznaczana jest wartość współczynnika transkonduktancji<br />
KP oraz szerokości kanału W,<br />
b) prądu drenu od napięcia bramka-źródło i D<br />
= f(u GS<br />
). Wymieniona<br />
zależność jest niezbędna do estymacji napięcia<br />
progowego VTO,<br />
c) rezystancji włączenia od prądu drenu R ON<br />
= f(i DS<br />
). Zależność<br />
ta służy do obliczenia rezystancji szeregowej<br />
drenu R D<br />
,<br />
d) prądu drenu od napięcia dren-źródło i D<br />
= f(u DS ) przy<br />
U GS<br />
=0V. Z zależności tej wyznaczana jest wartość rezystancji<br />
R DS<br />
włączonej między drenem i źródłem tranzystora,<br />
e) prądu drenu od napięcia źródło-dren i D<br />
= f(u SD<br />
). Wymieniona<br />
zależność jest niezbędna do estymacji wartości<br />
prądu nasycenia IS złącza izolującego obszar drenu od<br />
podłoża, współczynnika emisji N tego złącza oraz rezystancji<br />
szeregowej podłoża R B<br />
,<br />
f) pojemności C OSS<br />
od napięcia dren-źródło C OSS<br />
= f(u DS<br />
) przy<br />
U GS<br />
=0V. Zależność ta służy do obliczenia wartości pojemności<br />
C BD<br />
diody podłożowej przy zerowej polaryzacji, potencjału<br />
wbudowanego diody podłożowej PB, współczynnika<br />
MJ opisującego profil domieszkowania płaskiej części złącza<br />
w diodzie podłożowej oraz współczynnika FC określającego<br />
granicę linearyzacji pojemności tego złącza,<br />
g) napięcia bramka-źródło od ładunku bramki (charakterystyka<br />
ładowania bramki u GS<br />
= f(Q G<br />
)). Z zależności tej wyznaczane<br />
są wartości parametrów C GSO<br />
, C GDO<br />
,<br />
związanych z opisem pojemności bramkowych,<br />
h) czasu opadania od prądu drenu t f = f(i D<br />
). Zależność ta jest<br />
niezbędna do estymacji wartości rezystancji szeregowej<br />
bramki R G<br />
.<br />
Jak wynika z instrukcji użytkowania programu MODEL<br />
EDITOR [1], podstawową wadą tego programu jest to, że nie<br />
wszystkie wartości parametrów modelu Danga są wyznaczane<br />
przez program. Ponadto, w przypadku charakterystyk wymienionych<br />
w punktach a, b, c, e oraz f nie jest określona wymagana<br />
liczba, a w przypadku wszystkich charakterystyk również<br />
rozmieszczenie punktów pomiarowych na charakterystykach<br />
tranzystora, stanowiących dane wejściowe do programu.<br />
Ocena przydatności programu<br />
MODEL EDITOR<br />
W celu oceny przydatności programu MODEL EDITOR przy<br />
estymacji parametrów modelu Danga tranzystora MOS przeprowadzono<br />
eksperyment numeryczny polegający na porównaniu<br />
obliczonych przez ten program wartości parametrów<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 87
ozważanego modelu z umieszczonymi w bibliotece programu<br />
PSPICE [1] wartościami parametrów tranzystora MOS o symbolu<br />
IRF143 [11]. Dane wejściowe do programu MODEL EDI-<br />
TOR stanowiły współrzędne punktów na charakterystykach<br />
wymienionych w poprzednim punkcie, wygenerowane w programie<br />
PSPICE dla bibliotecznych wartości badanego tranzystora<br />
(tabela 1).<br />
Tab. 1. Biblioteczne wartości parametrów modelu Danga dla tranzystora<br />
IRF143 [11]<br />
Tabl. 1. The library values of the Dang model parameters of the<br />
transistor IRF143 [11]<br />
Parametr Wartość Parametr Wartość<br />
C BD 2,398 nF PHI 0,6 V<br />
C GSO 955 pF R D 42,19 mΩ<br />
C GDO 550,4 pF R DS 355,6 kΩ<br />
DELTA 0 R G 3,926 Ω<br />
ETA 0 R S 21,94 mΩ<br />
FC 0,5 THETA 0<br />
GAMMA 0 TOX 10 -7 m<br />
IS 2,823 pA TT 142 ns<br />
KAPPA 0,2 U0 600 V<br />
KP 20,61 µA/V 2 VMAX 0 V<br />
L 2 µm VTO 3,189 V<br />
MJ 0,5 W 0,97 m<br />
N 1 XJ 0<br />
PB 0,8 V - -<br />
Na rysunku 1. pokazano charakterystyki tranzystora<br />
IRF143: zależność transkonduktancji w funkcji prądu drenu<br />
(a), zależność prądu drenu w funkcji napięcia bramka-źródło<br />
(b), zależność rezystancji włączenia w funkcji prądu drenu (c),<br />
zależność prądu drenu w funkcji napięcia dren-źródło (d), zależność<br />
prądu drenu w funkcji napięcia źródło-dren (e), zależność<br />
pojemności C OSS<br />
w funkcji napięcia dren-źródło (f),<br />
charakterystykę ładowania bramki (g) oraz zależność czasu<br />
opadania w funkcji prądu drenu t f = f(i D<br />
) (h), obliczone w programie<br />
PSPICE dla wartości parametrów z tabeli 1.<br />
Charakterystyki z rys. 1 obliczono w układach, których reprezentacje<br />
obwodowe są dostępne zarówno w literaturze [18],<br />
jak i w karcie katalogowej badanego elementu półprzewodnikowego<br />
[11]. Na rys. 1a - 1f oraz 1h zaznaczono punkty, których<br />
współrzędne stanowią dane wejściowe dla programu MODEL<br />
EDITOR. W przypadku charakterystyk z rys. 1g dane wejściowe<br />
stanowią wartości ładunków Q GS<br />
i Q GD<br />
odczytane z tych charakterystyk<br />
przy określonych wartościach prądu drenu i D<br />
oraz<br />
napięcia dren-źródło u DS<br />
. Z kolei danymi wejściowymi z rys. 1h<br />
jest czas opadania t f , prąd i D<br />
oraz napięcie u DS<br />
, odczytane<br />
z tego rysunku. Sposób wyznaczenia wartości ładunków Q GS<br />
i Q GD<br />
szczegółowo opisano w pracy [18]. W tabeli 2, zebrano<br />
odczytane z rys. 1g wartości parametrów Q GS<br />
, Q GD<br />
w wybranych<br />
punktach pracy tranzystora o współrzędnych (I D<br />
,U DS<br />
).<br />
Przeprowadzono estymację wartości wymienionych w poprzednim<br />
rozdziale parametrów modelu Danga tranzystora<br />
IRF143 wykorzystując współrzędne punktów podane na rys. 1<br />
oraz w tabeli 2. Na rys. 2 przedstawiono wyrażone w procentach<br />
wartości błędu względnego poszczególnych parametrów modelu,<br />
zdefiniowanego jako stosunek różnicy wartości obliczonej<br />
i nominalnej (tabela 1) do wartości nominalnej określonego parametru,<br />
w zależności od sposobu doboru danych wejściowych.<br />
Tab. 2. Wartości parametrów Q GS , Q GD odczytane z rys. 1g<br />
Tabl. 2. The values of the parameters Q GS , Q GD from Fig. 1g<br />
Nr odczytu U DS [V] I D [A] Q GS [nC] Q GD [nC]<br />
1 30 10 9,8 15,2<br />
2 50 10 9,8 25,8<br />
3 80 10 9,8 41,8<br />
4 30 20 11,6 14<br />
5 50 20 11,6 24,8<br />
6 80 20 11,6 41<br />
7 30 30 12,8 13,8<br />
8 50 30 12,8 24,6<br />
9 80 30 12,8 40,2<br />
Jak widać z rys. 2, duże znaczenie ma dobór liczby oraz rozmieszczenia<br />
punktów na charakterystykach z rys. 1, stanowiących<br />
dane wejściowe do programu MODEL EDITOR.<br />
Najmniejszy błąd wyznaczania wartości parametrów KP oraz<br />
W uzyskano wybierając punkty z rys. 2a dla niewielkich wartości<br />
prądu drenu tranzystora (punkt A1 lub punkty A1 i A2). Jak widać<br />
z rys. 2b, bardzo dobre rezultaty estymacji parametru VTO uzyskuje<br />
się dobierając punkty pomiarowe z charakterystyki w zakresie<br />
nasycenia dla najwyższej wartości napięcia dren-źródło<br />
(punkty B4...B6 oraz B5). W przypadku estymacji parametru R D<br />
niewielki błąd obliczeń popełniono we wszystkich przypadkach,<br />
w których wybrano punkt z charakterystyki R ON<br />
= f(i D<br />
) (rys. 1c)<br />
w zakresie liniowym. Z rys. 2d widać, że wybór punktu pomiarowego<br />
na charakterystyce i D<br />
= f(u DS<br />
) nie ma istotnego wpływu<br />
na obliczone wartości parametru R DS<br />
- we wszystkich rozważanych<br />
przypadkach błąd obliczeń ≤ 0,01%. Z kolei przy<br />
estymacji wartości parametrów I S<br />
, N oraz R B<br />
stosunkowo niewielki<br />
błąd popełnia się wybierając punkty z charakterystyki<br />
z rys. 1e w zakresie blokowania (część charakterystyki obejmująca<br />
punkty E1...E6). Najmniejszy błąd wyznaczania wartości<br />
parametrów C BD<br />
, PB oraz MJ uzyskano wybierając punkty w początkowym<br />
zakresie charakterystyki z rys. 1f (punkty F1...F4).<br />
Jak wynika z rys. 2g oraz danych zebranych w tabeli 2, najmniejsze<br />
błędy estymacji wartości parametrów C GSO<br />
oraz C GDO<br />
uzyskano korzystając z charakterystyk ładowania bramki zmierzonych<br />
dla najniższej wartości prądu drenu. Z kolei jak widać na<br />
rys. 2h, dobre rezultaty estymacji parametru R G<br />
uzyskano dla<br />
punktów na charakterystyce t f = f(i D<br />
) przy stosunkowo niewielkich<br />
wartości napięcia dren-źródło (U DS<br />
≤ 20 V).<br />
Estymacja parametrów modelu Danga<br />
tranzystora MOS wykorzystując dane<br />
katalogowe<br />
Przeprowadzono estymację wartości parametrów modelu<br />
Danga tranzystora IRF143 programem MODEL EDITOR, wykorzystując<br />
charakterystyki katalogowe tego elementu [11].<br />
Współrzędne punktów na poszczególnych charakterystykach,<br />
stanowiące dane wejściowe do programu MODEL EDITOR<br />
dobrano w taki sposób, aby uzyskać minimalne wartości<br />
błędów estymacji poszczególnych parametrów, analogicznie<br />
jak pokazano to na rys. 1 i 2.<br />
Uzyskane w programie MODEL EDITOR wartości parametrów<br />
modelu Danga badanego tranzystora zebrano w tabeli 3.<br />
88 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
a) b) c)<br />
d) e) f)<br />
g) h)<br />
Rys. 1. Charakterystyki tranzystora IRF143: g m = f(i D ) (a), i D = f(u GS ) (b), R ON = f(i DS ) (c), i D = f(u DS ) (d), i D = f(u SD ) (e), C OSS = f(u DS ) (f),<br />
u GS = f(Q G ) (g) oraz t f = f(i D ) (h)<br />
Fig. 1. g m = f(i D ) (a), i D = f(u GS ) (b), R ON = f(i DS ) (c), i D = f(u DS ) (d), i D = f(u SD ) (e), C OSS = f(u DS ) (f), u GS = f(Q G ) (g) oraz t f = f(i D ) (h) characteristics<br />
of the transistor IRF143<br />
a) b) c)<br />
d) e) f)<br />
g) h)<br />
Rys. 2. Wartości błędu względnego estymacji wyznaczonych w programie MODEL EDITOR wartości wybranych parametrów modelu<br />
Danga w zależności od sposobu doboru punktów pomiarowych na charakterystykach z rys. 1 oraz danych z tabeli 2<br />
Fig. 2. The influence of the number and the distribution of the measuring input data (Fig. 1 and Tabl. 2) of the MOS transistor IRF143 on the<br />
values of the error of some Dang model parameters<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 89
Tab. 3. Obliczone w programie MODEL EDITOR wartości parametrów<br />
modelu Danga dla tranzystora IRF143 [11]<br />
Tabl. 3. The values of the Dang model parameters obtained from<br />
the MODEL EDITOR of the transistor IRF143 [11]<br />
Parametr Wartość Parametr Wartość<br />
C BD 3,28 nF PB 2,86 V<br />
C GSO 605 pF R D 21,89 mΩ<br />
C GDO 824 pF R DS 240 kΩ<br />
FC 0,5 R G 5,8659 Ω<br />
IS 0,1 A R B 0,0134 Ω<br />
KP 20,6 µA/V 2 VTO 3,632 V<br />
MJ 1,233 W 0,78 m<br />
N 5 - -<br />
Jak widać z tabeli 3, tylko wartość parametru KP, wyznaczona<br />
na podstawie charakterystyk katalogowych jest praktycznie<br />
równa wartości bibliotecznej z tabeli 1, a pozostałe różnią się.<br />
Wykonano obliczenia modelem Danga statycznych i dynamicznych<br />
charakterystyk rozważanego typu tranzystora<br />
MOS wykorzystując zarówno wartości parametrów modelu<br />
uzyskane w programie MODEL EDITOR (tabela 3), jak i wartości<br />
parametrów tego tranzystora podane w bibliotece<br />
PWRMOS.LIB (tabela 1).<br />
Przykładowo, na rysunku 3 porównano obliczone oraz katalogowe<br />
charakterystyki wyjściowe (a) i charakterystyki ładowania<br />
bramki (b) tranzystora IRF143 w temperaturze<br />
pokojowej. Punkty połączone linią przerywaną reprezentują<br />
charakterystyki katalogowe [11], natomiast kolorem niebieskim<br />
i czerwonym (linia ciągła) oznaczono wyniki obliczeń modelem<br />
Danga z wykorzystaniem odpowiednio bibliotecznych<br />
(tabela 1) oraz uzyskanych w programie MODEL EDITOR<br />
(tabela 4) wartości parametrów tego modelu.<br />
Na rysunku 3, różnice pomiędzy wynikami symulacji i katalogowymi<br />
wynikami pomiarów są większe dla bibliotecznych<br />
wartości parametrów modelu, niż w przypadku wartości obliczonych<br />
w programie MODEL EDITOR. Na charakterystykach<br />
z rys. 3a w zakresie nasycenia przy napięciach U GS<br />
= 6 i 7 V<br />
różnice między charakterystykami katalogowymi i obliczonymi<br />
dla bibliotecznych wartości parametrów modelu dochodzą do<br />
40%, natomiast w przypadku wyników obliczeń dla wartości<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe (a) oraz ładowania bramki (b)<br />
tranzystora IRF143<br />
Fig. 3. The output (a) and the gate charge (b) characteristics of the<br />
transistor IRF143<br />
uzyskanych z programu MODEL EDITOR różnice są praktycznie<br />
niezauważalne. Z kolei, przy napięciu U GS<br />
=9V dobrą<br />
zgodność wyników symulacji, z wykorzystaniem wartości parametrów<br />
uzyskanych w programie MODEL EDITOR oraz<br />
charakterystyk katalogowych uzyskano wyłącznie w zakresie<br />
triodowym dla napięcia U DS<br />
Lead free electronic module test research for<br />
motion control of cars front windscreen wipers<br />
(Testowanie bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />
wycieraczki szyby przedniej samochodu)<br />
PhD Assistant Professor ANELIYA MANUKOVA-MARINOVA 1 ,<br />
PhD Associate Professor VALENTIN DIMOV 1 , PhD Associate Professor AVRAM LEVI 1 ,<br />
MsC DOJCHIN STEPHANOV 2<br />
1 University of Rousse, Rousse, Bulgaria<br />
2 ELI-EKC SMD, Town of Layskovetz, rejoin of Veliko Tarnovo, Bulgaria<br />
There is an increased demand for complying with the<br />
environmental protection requirements not only in the modern<br />
electronic production process, but also in their out exploitation<br />
phase [1,6]. The electronic automobile industry observes the<br />
conditions set by the European Union on ecologically clean<br />
products and introduces its lead free technology production<br />
everythere, where people safety regulations permit [4].<br />
Ecologically clean (Green)-electronic items and wares<br />
become more and more popular, but common standards<br />
objectively defining them as such have not been existing yet,<br />
so each producer creates their own criteria for this. For<br />
product validation and production process feasibility series of<br />
tests and control operations have to be performed [2]. The<br />
tests are of a general character and climatic tests.<br />
A block scheme and action of an<br />
electronic system for operating front<br />
windscreen wipers of a car<br />
The entity is an electronic system for operating front<br />
windscreen wipers of a car with a central microcontroller. On<br />
Fig. 1 the block scheme is shown; while on Fig. 2 a printed<br />
circuit boardand the materials, used in the production process<br />
are described. The complexity of the functions specifies the<br />
elected standard microcontroller ST 72 F361. Its frequency is<br />
16 MHz and is provided by an exterior quartz soundboard.<br />
• Saturation of surface assembly parts: solder paste Indium<br />
241 LF.<br />
• Wave soldering: flux Alpha EF 6000, solder<br />
Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />
• Multi-wave solder: flux - alpha EF 6000, solder<br />
Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />
• Selective polish: HumiSeal 1R32A-2, Thinner 503.<br />
Fig. 2. A printed circuit board of an electronic system for operating<br />
front windscreen wipers of a car<br />
Rys. 2. Płytka drukowana modułu elektronicznego sterującego silnikiem<br />
mechanizmu wycieraczek szyby przedniej samochodu<br />
• Selective solder: flux Kester 959T, solder<br />
Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />
The sensor part is operated by Hall sensors. Two of the<br />
sensors are used for defining the engine position, and the<br />
other two describe its speed.<br />
LIN (local information network) communication guarantees<br />
a reliable connection with the central car computer. It is<br />
necessary that some of the main parameters to be exposed<br />
on the dashboard.<br />
In the scheme a DC engine is chosen with a statorpersistent<br />
magnet. The change of the direction of the turn of<br />
the engine anchor with the help of a persistent magnet is<br />
achieved by changing the polarity of the supplying voltage.<br />
The engine operating block is run as a bipolar switch on the<br />
base of MOSFET transistors. One of the terminal of the<br />
operating integral block scheme is used for a direct contact<br />
with the engine of the other windscreen wipers.<br />
Results of the used part reflow profile<br />
testing<br />
Fig. 1. A block scheme of an electronic system for operating front<br />
windscreen wipers of a car<br />
Rys. 1. Schemat blokowy modułu elektronicznego sterującego silnikiem<br />
mechanizmu wycieraczek szyby przedniej samochodu<br />
The solder-wave and the selective solder are the cardinal<br />
processes in the production of the electronic system. Their<br />
parameters are essential to the reliability and the working<br />
capacity of the product [3,5].<br />
Reflow profile design is indispensable not only for lead but<br />
also for lead free products [2,6]. The form of the temperature<br />
profile indicates if all requirements for optimal solder quality<br />
have been observed.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 91
The testing of the reflow profile of the used parts of the<br />
product is done according to 100 selected for conducting the<br />
study modules of printed circuit boards. From it modules A and<br />
B have been chosen to demonstrate the achieved results.<br />
Solder wave parameter test control in soldering<br />
surface assembled parts<br />
Part of the electronic product elements are soldered with the<br />
widespread method of Wave Soldering. In this method a<br />
temperature of about 15...35°C higher than the one used tin<br />
and lead alloys this applied. This needs a more complex<br />
technological equipment and can damage either some of the<br />
parts or the relations between them. That necessitates careful<br />
product quality control. Using special fluxes is essential to the<br />
production process in order to protect the steel parts of the<br />
equipment.<br />
Experimental board of the chosen modules has been tested.<br />
The results are processed in a graphic way by a specialized<br />
program called ERSA Shuttle and are presented on Fig. 3.<br />
The time for dipping is from 3 to 5 s at a maximum<br />
temperature of 373,8°C of the bathtub. The used flux is 0,03 g<br />
for a module.<br />
The resulting parameters match the requirements for<br />
working with lead free solders. The temperature of the printed<br />
circuit board on which the elements are soldered, changes in<br />
a particular manner, which is known as reflow profile and goes<br />
through four compulsory stages. At the preheating stage, the<br />
printed circuit board together with the elements and the<br />
applied on the selected for soldering spots solder paste are<br />
heated to the minimum soak temperature of 50°C. The<br />
increasing temperature speed rate is by 1°C/s, which is<br />
optimal for preventing element damage.<br />
The thermal soak stage shown on graph 3 lasts for 2.2<br />
minutes and ends at a temperature of 91°C. The increasing<br />
temperature speed rate is by 0.5 and 1°C/s. At a higher speed<br />
the solder paste might oxidize and form small balls which will<br />
result in poor soldering.<br />
At the next soldering stage the temperature rise is more<br />
considerable than at the previous two stages. First the<br />
liquidous temperature of 210°C is reached at which the solder<br />
is melted and spilled, the heating continues until it reaches<br />
the peak temperature of 223.3°C. This value is defined by the<br />
soldering ally, the type of the polish of the soldering surfaces<br />
and the type of the soldering elements. The maximum dwell<br />
time is 10 s to assure the cleaning effect on the flux and<br />
a good spilling of the soldering ally. A metallurgical connection<br />
is achieved which is essential for the firmness of the soldering.<br />
The last stage is the cool down stage. It starts with the<br />
termination of the heating. The cooling of the printed circuit<br />
boards to room temperature is reached for 1.5 minutes, and<br />
the speed of the temperature fall again determines the<br />
firmness of the soldering and is 3°C/s.<br />
Test control of thermopeofile parameters in<br />
the process of soldering surface assembled parts<br />
The conducting of the test is associated with the reflow profile<br />
values in the different parts of the printed circuit board and is<br />
indicative of the similarity of the undergoing thermal<br />
Fig. 3. Reflow profile of the solder-wave Rys. 3. Profil temperaturowy lutowania na fali<br />
92 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
processes in it. The measurement is done on a test board<br />
from the chosen modules and four thermocouples, situated in<br />
different zones on it. The results are processed in a graphic<br />
type and shown on Fig. 4.<br />
The received parameters comply with the requirements for<br />
working with lead-free solders. Taking into consideration the<br />
graphic and tabular results from Fig. 4 we can assess an<br />
average temperature difference less than 10°C at a maximum<br />
heating temperature of 238.3°C. Following the standard<br />
norms and regulations for this article production these<br />
temperatures are within the norm requirements and thus<br />
process verification has been successfully completed.<br />
Test control of selective solder parameters in<br />
the process of soldering surface assembled parts<br />
The measurement is done on a test board from the chosen<br />
modules. The results are processed in a graphic type by<br />
a specialized program named ERSA Shuttle and shown on<br />
Fig. 5. All parameters conform to the conditions of work with<br />
lead free solders.<br />
Results of the analysis of the spolders<br />
control according to IPC A610 D<br />
Fig. 4. Reflow profile of simultaneously tested zones of the electronic<br />
module<br />
Rys. 4. Profil temperaturowy równoległych testowanych obszarów<br />
modułu elektronicznego<br />
The study and the estimate on the process of component<br />
saturation are done according to classes 3 from IPC A 610<br />
D „Suitability of electronic products”. Class 3 is the highest<br />
Fig. 5. A reflow profile of a selective solder Rys. 5. Profil temperaturowy lutowania selektywnego<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 93
one by this standard. The products that fulfil its<br />
requirements have the highest operating capability and<br />
reliability in this class. Life supporting systems, all control<br />
systems, security car systems and many other depend on<br />
their proper running.<br />
Visual control is performed for the chosen A and B<br />
modules of all the selected for that study modules and the<br />
main controlled faults and deviations have been traced. The<br />
results are presented in Table.<br />
The defects in saturation can be produced as a result of<br />
human’s fault in the process of programming and machine<br />
loading or of detail variations and the saturation machine<br />
management. What is needed in both cases is a correction of<br />
the product matrix.<br />
Controlling at the starting stage is crucial. When it is not<br />
high enough cold solders with dull color and granulative<br />
structure are produced as a result. On the other hand too high<br />
temperature can damage either elements or the printed circuit.<br />
Solder analysis of an electronic system for operating front windscreen wipers according to IPC A610 D electronic products reliability standards<br />
Analiza spoin modułu elektronicznego sterującego wycieraczki samochodowe na szybach przednich zgodnie z IPC A610 D<br />
Small balls and tin dusting<br />
The small balls are captured (capsulated) and<br />
do not interrupt the process of the flow of electricity<br />
module А<br />
module B<br />
Balloons in the lacquered surface<br />
The binding of the adjacent parts and landings<br />
does not happen with a conducting material and are<br />
not a result of a poor adhesion<br />
module А<br />
module B<br />
A crack in the solder<br />
The experiment is performed under ultraviolet light.<br />
The zones coincide with the ones specified in<br />
the technical documentation<br />
Side-components<br />
Side-components<br />
A zone without a lacquered coating<br />
The leak base is visible. The leak does not reach<br />
the surface at the terminal<br />
module А<br />
module B<br />
94 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Fig. 6. Cuts to C31 - module A Rys. 6. Przekrój modułu A<br />
In order not to get intermetal compounds that can serve as a<br />
prerequisite for decreasing solder strength the necessary time<br />
under the maximum temperature should not be exceeded.<br />
The right reflow profile selection and its strict observance<br />
play an essential role for the product reliability. For example,<br />
it is more important that the product soldering ends will to get<br />
oxidized, a condition which is not so crucial when tin-lead<br />
alloys are used and this fact leads to a more careful choice of<br />
flux. The oxidizing can happen in the first three stages if the<br />
temperature speed increase is less than necessary, while at<br />
a faster temperature speed increase some damages to the<br />
printed circuit boards or elements a are possible.<br />
While studying solder cracks a cross-sectional slash is<br />
made. The study results prove to be fully compliable with the<br />
standard requirements. For the chosen modules polished<br />
cross-sectional slashes on the C31 condenser are made. The<br />
results are shown on Fig. 6 and Fig. 7.<br />
The Analysis results of the cuts from Figures 6. and 7.<br />
show that the solders are homogeneous and are with good<br />
shape, filling as well as adhesiveness to the contact surface.<br />
No micro cracks and air bubbles critical for the fixture of the<br />
solders has been observed.<br />
Results<br />
All experiments do not demonstrate unacceptable deviations.<br />
In all cases of incompatibility with the standard quality<br />
requirements a plan for immediate corrective actions and their<br />
execution in the product production process is applied.<br />
Fig. 7. Cuts to C31 - module B Rys. 7. Przekrój modułu B<br />
In reply to the incompatible with the standard quality<br />
requirements results an additional approval of the component<br />
producers is needed.<br />
Reference<br />
[1] Directive 2002/95/EC of the European Parliament and of the<br />
Council of 27 January 2003 on the restriction of the use of<br />
certain hazardous substances in electrical and electronic<br />
equipment. Official Journal of the European Union,<br />
13.02.2004, pp. 19-23.<br />
[2] Drozd Z.: Reliability of Lead-free Soldered Joints in Electronic<br />
Products. Prace Przemysłowego <strong>Instytut</strong>u Elektroniki, Warszawa,<br />
Rok XLVII (153), ss. 95-103.<br />
[3] Friedel K.: Technologia lutowania spoiwami bezołowiowymi. III<br />
Krajowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Ekologia w elektronice”,<br />
Warszawa, 5-6 grudnia 2004 r., Materiały konferencyjne,<br />
Przemysłowy <strong>Instytut</strong> Elektroniki, ss. 49-57.<br />
[4] Manukova A., D. Trifonova, V. Dimov, A. Levi: Quality of leadfree<br />
solder joints applied on frequency synthesizer for automotive<br />
electronics. Monigrafies of Tele & Radio Research Institute, vol.<br />
1. Progress in Eco-Electronics, Warsaw, 2008, ss. 101-107.<br />
[5] Sitek J., Kozioł G.: Projekt GreenRoSE - doświadczenia w<br />
bezołowiowym lutowaniu rozpływowym i na fali. Prace Przemysłowego<br />
<strong>Instytut</strong>u Elektroniki, Warszawa, Rok XLVII (153),<br />
ss. 74-83.<br />
[6] Куцаров С.: RoHS технологии в електрониката, сп.<br />
ИНЖЕНЕРИНГ РЕВЮ, бр.5, 2006 cc. 52-64.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 95
Modele i makromodele tranzystorów MOS mocy<br />
dla programu SPICE<br />
prof. dr hab. inż. JANUSZ ZARĘBSKI, mgr inż. DAMIAN BISEWSKI<br />
Akademia Morska w Gdyni, Katedra Elektroniki Morskiej<br />
Modelowanie tranzystorów MOS mocy jest ważnym zagadnieniem,<br />
istotnym z punktu widzenia projektowania i analizy<br />
układów elektronicznych i energoelektronicznych, w których<br />
występują te elementy. Współczesny inżynier - konstruktor takich<br />
układów, musi dysponować wiarygodnymi modelami tranzystora<br />
MOS mocy oraz programami komputerowymi<br />
akceptującymi te modele. Takim programem jest na przykład<br />
program SPICE, dostępny obecnie w wielu odmianach, np.<br />
PSPICE, ISSPICE, LTSPICE, z których każda stanowi swoiste<br />
rozwinięcie wersji podstawowej.<br />
W programie SPICE są dostępne, zróżnicowane pod<br />
względem złożoności i dokładności, wbudowane modele tranzystora<br />
MOS, które jak wynika z literatury [1-6] można z powodzeniem<br />
stosować do modelowania rozważanych<br />
elementów mocy. W literaturze krajowej oraz zagranicznej odnaleźć<br />
można wiele publikacji szczegółowo opisujących<br />
postać tych modeli, na przykład [7-12].<br />
Podstawową cechą poprawnego modelowania jest zachowanie<br />
racjonalnego kompromisu pomiędzy złożonością<br />
i dokładnością modelu. Z reguły dokładniejszy model zawiera<br />
większą liczbę parametrów, uwzględnia więcej zjawisk fizycznych,<br />
posiada bardziej złożony opis, co w konsekwencji<br />
prowadzi do bardziej czasochłonnych analiz.<br />
Program SPICE umożliwia formułowanie, tzw. makromodeli<br />
[13] elementów w postaci podukładów. Makromodele<br />
takie tworzy się wykorzystując wbudowane w programie<br />
SPICE modele elementów półprzewodnikowych i elementów<br />
biernych oraz prądowe i napięciowe źródła sterowane, dostępne<br />
w tym programie.<br />
Głównym celem tworzenia makromodeli elementów<br />
półprzewodnikowych, w tym makromodeli tranzystorów MOS<br />
mocy, jest poprawa dokładności opisu elementu poprzez<br />
uwzględnienie zjawisk fizycznych, nieuwzględnionych na<br />
przykład w modelach wbudowanych w programie SPICE, a istotnych<br />
z punktu widzenia działania tego elementu. Makromodele<br />
stanowią również użyteczne narzędzie do analizy<br />
właściwości nowych konstrukcji elementów półprzewodnikowych<br />
wykonanych w nowoczesnych technologiach, na<br />
przykład wykorzystujących materiały o dużej szerokości przerwy<br />
energetycznej, opisanych odmiennymi zależnościami<br />
analitycznymi w stosunku do zależności występujących we<br />
wbudowanych modelach programu SPICE.<br />
Z uwagi na sposób formułowania można wyróżnić dwa rodzaje<br />
makromodeli [1]:<br />
• makromodele hybrydowe, stanowiące połączenie wbudowanych<br />
w programie SPICE modeli tranzystora MOS,<br />
diody p-n, źródeł sterowanych oraz elementów biernych,<br />
• makromodele w pełni implementowane, w których nie występują<br />
odwołania do wbudowanych modeli tranzystora<br />
MOS, natomiast ich rolę przejmują źródła sterowane o wydajnościach<br />
opisanych dowolną zależnością analityczną,<br />
w której wybrany parametr może być traktowany jako<br />
zmienna niezależna.<br />
W pracy omówiono problematykę modelowania tranzystorów<br />
MOS mocy, rozważając kolejno modele wbudowane<br />
oraz makromodele tego elementu. Rozważania teoretyczne<br />
zilustrowano wynikami symulacji i pomiarów wybranego wysokonapięciowego<br />
tranzystora MOS mocy. Przeprowadzono<br />
ocenę dokładności rozważanych modeli i makromodeli.<br />
Modele wbudowane<br />
Wbudowane w programach klasy SPICE (like-SPICE tools)<br />
modele tranzystora MOS cechują się różną dokładnością<br />
i złożonością, a zatem również liczbą parametrów. W tabeli<br />
zamieszczono syntetyczne informacje o najpopularniejszych<br />
zdaniem autorów, modelach tranzystora MOS: modelu Shichmanna-Hodgesa<br />
[7-12], modelu Danga [14], modelu Sakurai-<br />
Newtona [15], modelu EKV (Enz-Krummenacher-Vittoz) [16]<br />
oraz modelach BSIM [17].<br />
Jak widać, rozważane modele opracowane w latach 1968-<br />
2001 przeznaczone są do projektowania i analizy układów<br />
z tranzystorami o bardzo zróżnicowanej długości kanału - od<br />
0,1 µm do kilku µm i liczbie parametrów od kilku (S-H) do ponad<br />
stu (BSIM3v3), a użytkownik programu SPICE musi znać wartość<br />
parametru Level, aby móc wybrać interesujący go model.<br />
Modele tranzystora MOS w wybranych programach komputerowych<br />
Models of the MOS transistor built-in in chosen computer programs<br />
Nazwa modelu lub<br />
nazwisko autora<br />
(rok opracowania)<br />
Poziom modelowania<br />
w danym programie<br />
(Level)<br />
PSPICE<br />
Na szczególną uwagę zasługują dwa pierwsze wymienione<br />
w tab. modele: model Shichmana-Hodgesa i model<br />
Danga, gdyż są one bardzo często wykorzystywane przez<br />
producentów tranzystorów MOS mocy do konstrukcji makromodeli<br />
firmowych [2,3,18-20].<br />
Ponadto wartości parametrów modelu Danga dla konkretnych<br />
typów tranzystorów MOS mocy są udostępniane na<br />
stronach WWW [21-24] przez producentów tych tranzystorów,<br />
jak również są dostępne w bibliotece PWRMOS.LIB programu<br />
SPICE [25].<br />
LTSPICE<br />
ISSPICE<br />
Liczba parametrów<br />
Minimalna długość<br />
kanału [µm]<br />
Shichman-Hodges (1968) 1 1 1 14 4<br />
Dang (1980) 3 3 3 19 2<br />
Sakurai-Newton (1990) - 6 6 20 0,25<br />
EKV v 2.6 (1997) 5 12 - 25 0,25<br />
BSIM (1985) 4 4 4 23 1<br />
BSIM3 v 2.0 (1994) 6 - 7 42 0,2<br />
BSIM4 v 2. 1 (2001) - 14 - 97 0,1<br />
BSIM3 v 3. 2 (2002) 7 8 - 131 0,18<br />
96 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Model Shichmana-Hodgesa oraz model Danga mają<br />
identyczną reprezentację obwodową (rys. 1). W obydwu modelach<br />
diody podłożowe D1 i D2 opisane są charakterystykami<br />
prądowo-napięciowymi, w których nie uwzględniono:<br />
prądów generacyjno-rekombinacyjnych, zjawiska przebicia<br />
i efektów wysokoprądowych, a nieliniowe pojemności Cbd,<br />
Cbs stanowią równoległe połączenie pojemności złączowej<br />
i dyfuzyjnej danej diody.<br />
Rezystory Rd, Rs modelują rezystancje szeregowe obszarów<br />
odpowiednio drenu i źródła, natomiast rezystor Rds<br />
zapewnia dodatnie nachylenie charakterystyk wyjściowych<br />
w zakresie nasycenia, co jest istotne w przypadku pominięcia<br />
w modelu zjawiska modulacji długości kanału tranzystora.<br />
Z kolei różnice między rozważanymi modelami dotyczą opisu<br />
źródła Id, a także pojemności Cgd, Cgs i Cgb związanych z tlenkiem<br />
bramki (pojemności bramkowe). Zależności analityczne<br />
w modelu Shichmana-Hodgesa opisujące wydajność źródła Id<br />
wynikają bezpośrednio z fizyki działania elementu i opisują trzy<br />
zakresy pracy tranzystora: zakres nasycenia, nienasycenia i odcięcia,<br />
natomiast pół-empiryczne zależności modelu Danga opisują<br />
pracę tranzystora również w zakresie podprogowym.<br />
Pojemności bramkowe w modelu Shichmana-Hodgesa<br />
mają wartość stałą, natomiast w modelu Danga są opisane<br />
nieliniowymi funkcjami napięcia u DS oraz u GS .<br />
Należy zaznaczyć, że nie zawsze postać zależności analitycznych<br />
wbudowanych w programie SPICE odpowiada<br />
postaci tych zależności zamieszczonych w instrukcji programu<br />
[26]. Przykładowo w programie PSPICE w modelu Shichmana-<br />
Hodgesa ze wzoru opisującego temperaturową zależność napięcia<br />
progowego wynika, że przy zwarciu podłoża ze źródłem<br />
(zaciski B oraz S na rys. 1) napięcie progowe nie zależy od<br />
temperatury, co pozostaje w sprzeczności z eksperymentem<br />
numerycznym, z którego wynika, że zależność temperaturowa<br />
rozważanego parametru jest zgodna ze wzorem podanym dla<br />
modelu Danga [4]. Ponadto, niezgodność pomiędzy opisem<br />
analitycznym podanym w [26], a wynikami obliczeń dotyczą<br />
też modelowania pojemności bramkowych. Jak się okazuje [4],<br />
w modelu Shichmana-Hodgesa można wykorzystać nieliniowe<br />
zależności występujące w modelu Danga, podając niezerową<br />
wartość parametru TOX. Z kolei eksperyment numeryczny wykazał,<br />
iż pojemność Cgb w modelu Danga ma wartość stałą,<br />
co jest niezgodne z opisem uzależniającym wartości tej pojemności<br />
od napięć u DS oraz u GS .<br />
również opisane we wcześniejszych pracach autorów<br />
[1,28,29]. W charakterze przykładu przedstawiono hybrydowy<br />
makromodel takiego tranzystora, udostępniony na stronie<br />
WWW [27] i opisany m.in. w pracach [28,29] oraz opracowany<br />
przez autorów makromodel w pełni implementowany opisany<br />
m. in. w [1,4-6]. Obwodową postać tych makromodeli przedstawiono<br />
na rys. 2.<br />
Występujący w strukturze makromodelu z rys. 2a. tranzystor<br />
M1 został opisany za pomocą wbudowanego modelu<br />
Shichmana-Hodgesa tranzystora MOS. Dioda DB modeluje<br />
złącze dren-podłoże i odpowiada za przebieg charakterystyki<br />
tranzystora w zakresie polaryzacji inwersyjnej. Rezystancje<br />
szeregowe obszarów drenu, bramki i źródła są reprezentowane<br />
przez rezystory liniowe R D , R S oraz R G . Rezystor R DS<br />
reprezentuje rezystancję upływu kanału. Sterowane źródła<br />
prądowe FI1, FI2 wraz z układem pomocniczym, złożonym<br />
z diod D2, D3, D4, rezystorów R L i R CAP , pojemności C AP ,<br />
źródła sterowanego EVI6 oraz źródeł napięciowych o zerowej<br />
wydajności VFI1, VFI2, modelują prąd płynący przez nieliniową<br />
pojemność C GD rozważanego tranzystora. Wydajność<br />
źródła EVI6 zależy od napięcia bramka-dren u GD , natomiast<br />
prądowe źródła FI1, FI2 są sterowane prądem płynącym przez<br />
niezależne źródła napięciowe VI1, VI2 o zerowej wydajności.<br />
Z kolei w makromodelu z rys. 2b źródło I DC reprezentuje<br />
składową stałą prądu drenu wynikającą z modelu Shichmana-<br />
Hodgesa, wydajność źródeł I G , I BR , I RD oraz I RS modelują odpowiednio:<br />
prąd generacyjny diody podłożowej, prąd<br />
tranzystora w zakresie przebicia oraz prądy płynące przez rezystancje<br />
szeregowe obszarów drenu i źródła, natomiast<br />
źródła I CGS , I CGD , I CDS - pojemności odpowiednio: bramkaźródło,<br />
bramka-dren i dren-źródło. Zależności analityczne opisujące<br />
omawiany makromodel w pełni implementowany<br />
zamieszczono w pracach [1,4-6].<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 1. Reprezentacja obwodowa modelu Shichmana-Hodgesa<br />
oraz Danga tranzystora MOS<br />
Fig. 1. Network representation of the Shichman-Hodges model of<br />
the MOS transistor<br />
Makromodele<br />
W literaturze oraz Internecie można znaleźć wiele propozycji<br />
makromodeli tranzystorów MOS mocy, np. [2,3,18-20,27].<br />
Wybrane makromodele spośród wyżej wymienionych zostały<br />
Rys. 2. Postać obwodowa makromodelu hybrydowego (a) oraz<br />
w pełni implementowanego (b) tranzystora MOS mocy<br />
Fig. 2. Network representation of the hybrid (a) and the fully implemented<br />
macromodel of the power MOS transistor<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 97
Wyniki badań<br />
Aby ocenić dokładność rozważanych w pracy modeli oraz makromodeli<br />
tranzystora MOS porównano wyniki symulacji i pomiarów<br />
wybranych charakterystyk wysokonapięciowego<br />
tranzystora mocy IRF840 (600 V) [21]. Wartości parametrów<br />
modelu Shichmana-Hodgesa oraz makromodelu z rys. 2b<br />
otrzymano za pomocą opracowanej przez autorów procedury<br />
estymacyjnej wykorzystującej algorytm genetyczny [30], wartości<br />
parametrów modelu Danga zostały zaczerpnięte z biblioteki<br />
PWRMOS.LIB [25], natomiast wartości elementów oraz<br />
parametrów makromodelu z rys. 3a dla rozważanego tranzystora<br />
zostały podane w [27].<br />
Na rysunkach 3-6 przedstawiono wybrane statyczne<br />
oraz dynamiczne charakterystyki badanego tranzystora. Na<br />
rysunkach tych punkty połączone linią przerywaną reprezentują<br />
wyniki pomiarów (lub katalog), natomiast linie ciągłe oznaczają<br />
wyniki obliczeń, przy czym kolory: czarny, zielony,<br />
niebieski i czerwony reprezentują wyniki symulacji odpowiednio:<br />
modelem Shichmana-Hodgesa (S-H), modelem Danga<br />
(D-G), firmowym makromodelem hybrydowym (FMH) oraz<br />
makromodelem w pełni implementowanym (MWPI).<br />
a)<br />
b)<br />
Na rysunku 3. przedstawiono charakterystyki wyjściowe<br />
rozważanego tranzystora odpowiadające temperaturze otoczenia<br />
równej odpowiednio 298K (rys. 3a) i 423K (rys. 3b).<br />
Jak widać na rys. 3a, uzyskano zadowalającą zgodność<br />
wyników pomiarów i obliczeń modelem D-G oraz makromodelem<br />
MWPI charakterystyk wyjściowych w temperaturze pokojowej,<br />
natomiast w przypadku modelu S-H oraz<br />
makromodelu FMH rozbieżności dochodzące do 20% występują<br />
na charakterystykach wyjściowych przy napięciu<br />
U GS = 5,5 V. Z kolei, w podwyższonej temperaturze otoczenia<br />
(rys. 3b) dobrą zgodność wyników pomiarów i symulacji<br />
uzyskano wyłącznie w przypadku makromodelu MWPI. Na rysunku<br />
4. przedstawiono charakterystyki wyjściowe tranzystora<br />
IRF840 w zakresie odcięcia i przebicia odpowiadające<br />
różnym wartościom temperatury otoczenia.<br />
Obliczone z wykorzystaniem modeli S-H i D-G oraz makromodelu<br />
FMH wartości prądu drenu (rys. 4) w zakresie odcięcia<br />
(U DS < 600 V) znacznie się różnią (nawet o kilka<br />
rzędów wielkości) od wartości zmierzonych, co wynika z nieuwzględnienia<br />
w tych modelach i makromodelu prądu generacyjnego<br />
diody podłożowej oraz z nieprawidłowo przyjętych<br />
wartości parametrów opisujących prąd nasycenia tej diody.<br />
Natomiast charakterystyki obliczone z użyciem makromodelu<br />
MWPI dobrze odwzorowują wyniki pomiarów.<br />
W rozważanym tranzystorze zakres przebicia lawinowego<br />
występuje dla napięcia U DS > 600 V, co ilustrują wyniki pomiarów<br />
pokazane na rys. 4. Tylko makromodel MWPI prawidłowo<br />
modeluje ten zakres pracy tranzystora w szerokim zakresie<br />
zmian temperatury otoczenia. Co prawda, w makromodelu<br />
FMH producent uwzględnił zakres przebicia tranzystora dla<br />
niższej wartości napięcia przebicia U BR ≈ 450 V, jednak nie<br />
uzależniono tego parametru od temperatury otoczenia.<br />
Zależność rezystancji włączenia R ON rozważanego tranzystora<br />
od temperatury pokazano na rys. 5. Jak widać, tylko<br />
makromodel MWPI uwzględnia wpływ temperatury na wartość<br />
rezystancji włączenia R ON tranzystora, natomiast obli-<br />
Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe tranzystora IRF840<br />
Fig. 3. The output characteristics of the transistor IRF840<br />
Rys. 5. Charakterystyki R ONnorm (T) tranzystora IRF840<br />
Fig. 5. The characteristics R ONnorm = f(T) of the transistor IRF840<br />
Rys. 4. Charakterystyki wyjściowe w zakresie odcięcia i przebicia<br />
tranzystora IRF840<br />
Fig. 4. The output characteristics of the transistor IRF840 in the cutoff<br />
and breakdown range<br />
Rys. 6. Charakterystyki ładowania bramki tranzystora IRF840<br />
Fig. 6. The gate charge characteristics of the transistor IRF840<br />
98 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
czone przy wykorzystaniu pozostałych modeli i makromodelu<br />
FMH wartości tego parametru są praktycznie stałe w funkcji<br />
temperatury, ponieważ nie uwzględniono w tych modelach<br />
i makromodelu temperaturowych zależności zmian rezystancji<br />
szeregowych drenu oraz źródła. Z drugiej strony, wbudowane<br />
rezystory RD i RS w makromodelu FMH mają opcję<br />
modelowania wpływu temperatury, poprzez podanie wartości<br />
temperaturowych współczynników zmian tych rezystancji, jednak<br />
jak widać z rys. 5, w rozważanym makromodelu nie wykorzystano<br />
tej możliwości.<br />
Na rysunku 6. pokazano charakterystyki ładowania bramki<br />
rozważanego tranzystora, natomiast na rys. 7 - zależność pojemności<br />
wyjściowej C OSS tego tranzystora od napięcia u DS<br />
(rys. 7a) oraz pojemności wejściowej C ISS od napięcia u GS<br />
(rys. 7b). Definicje rozważanych pojemności są zamieszczone<br />
w karcie katalogowej tranzystora IRF840 [21].<br />
Dobrą zgodność wyników pomiarów i symulacji charakterystyk<br />
ładowania bramki z rys. 6 uzyskano tylko w przypadku<br />
makromodeli FMH oraz MWPI, co wynika z uwzględnienia<br />
w tych makromodelach wpływu napięć polaryzujących na wartości<br />
pojemności włączonych między bramką i drenem tranzystora<br />
(rys. 2). Jak widać z rys. 6, w przypadku modeli<br />
wbudowanych S-H i D-G uzyskano ilościowe, a w modelu S-<br />
H również jakościowe różnice między wynikami symulacji i pomiarów,<br />
wynikające m.in. z pominięcia w tych modelach<br />
wpływu napięcia dren źródło na pojemność C ISS .<br />
W przypadku zależności pojemności z rys. 7a, tylko w zakresie<br />
niewielkich napięć dren źródło uzyskano zadowalającą<br />
zgodność wyników pomiarów i symulacji modelami S-H i D-G<br />
oraz makromodelem FHM, natomiast obliczone z wykorzystaniem<br />
makromodelu MWPI i zmierzone wartości pojemności<br />
C OSS praktycznie nie różnią się w całym rozważanym zakresie<br />
napięć dren-źródło badanego tranzystora.<br />
Z kolei jak wynika z rys. 7b zmierzone oraz obliczone<br />
wartości pojemności wejściowej C ISS są bardzo zbliżone<br />
w przypadku modelu S-H, modelu D-G w zakresie napięć<br />
u GS -11...-2 V oraz 1...11 V, a także w przypadku makromodelu<br />
MWPI w całym rozważanym zakresie napięć polaryzujących<br />
tranzystor.<br />
a)<br />
b)<br />
Rys. 7. Zależności pojemności C OSS = f(u DS ) (a) oraz C ISS = f(u GS )<br />
(b) tranzystora IRF840<br />
Fig. 7. The characteristics C OSS = f(u DS ) (a) and C ISS = f(u GS ) (b) of<br />
the transistor IRF840<br />
Uwagi końcowe<br />
Przedstawione w pracy wyniki badań pokazują, że ważne zjawiska<br />
fizyczne takie, jak m.in.: przebicie lawinowe, prąd generacyjny<br />
diody podłożowej, wpływ temperatury na wartości<br />
rezystancji szeregowych, mające istotny wpływ na kształt charakterystyk<br />
tranzystora MOS mocy, nie zostały uwzględnione<br />
w podstawowych modelach i firmowym makromodelu hybrydowym<br />
tego tranzystora, dedykowanych dla programu SPICE.<br />
Uzależnienie pojemności włączonej między bramką i drenem<br />
tranzystora w makromodelu firmowym, jak również obu<br />
pojemności bramkowych (bramka-dren, bramka-źródło) w<br />
modelu w pełni implementowanym od napięć polaryzujących<br />
tranzystor wpływa w znacznym stopniu na zwiększenie<br />
dokładności tych makromodeli, w przypadku wybranych charakterystyk<br />
dynamicznych.<br />
W zaprezentowanym w pracy makromodelu w pełni implementowanym<br />
zastosowano stosunkowo proste zależności<br />
analityczne opisujące ważne, zdaniem autorów, zjawiska występujące<br />
w tranzystorze MOS. Wymieniony makromodel<br />
charakteryzuje się największą dokładnością spośród omawianych<br />
w pracy modeli, przy zachowaniu racjonalnej<br />
złożoności tego makromodelu.<br />
Praca finansowana ze środków na naukę w latach 2007-<strong>2009</strong> jako<br />
projekt badawczy Nr N N510 3425 33.<br />
Literatura<br />
[1] Zarębski J., Tranzystory MOS mocy. Fundacja Rozwoju Akademii<br />
Morskiej w Gdyni, Gdynia, 2007.<br />
[2] http://www.fairchildsemi.com/an/AN/AN-7532.pdf<br />
[3] http://www.fairchildsemi.com/ds/FD/FDP038AN06A0.pdf<br />
[4] Bisewski D., Modelowanie tranzystora MOS mocy. Praca dyplomowa,<br />
Wydział Elektryczny, Akademia Morska w Gdyni, Gdynia,<br />
2004.<br />
[5] Zarębski J., Bisewski D., Właściwości modelu Shichmana-Hodgesa<br />
tranzystora MOS w programie SPICE. Raport Katedry Radioelektroniki<br />
Morskiej Nr NB.12/2003.<br />
[6] Wasilewski P., Modelowanie pojemności tranzystora VDMOS<br />
w programie SPICE. Praca dyplomowa, Wydział Elektryczny,<br />
Akademia Morska w Gdyni, Gdynia, 2006.<br />
[7] Antognetti P., Massobrio G.: Semiconductor Device Modeling<br />
with SPICE. McGraw-Hill, New York, 1993.<br />
[8] Izydorczyk J., Komputerowa symulacja układów elektronicznych.<br />
Helion, Gliwice, 1993.<br />
[9] Porębski J., Korohoda P.: SPICE program analizy nieliniowej<br />
układów elektronicznych. Wydawnictwo Naukowo-Techniczne,<br />
Warszawa, 1996.<br />
[10] Vladimirescu A.: The Spice Book. John Wiley and Sons, New<br />
York, 1994.<br />
[11] Wilamowski M. B., Jaeger R. C.: Computerized Circuit Analysis<br />
Using SPICE Programs. McGraw-Hill, New York, 1997.<br />
[12] Zimny P., Karwowski K.: SPICE klucz do elektroniki. Wydawnictwo<br />
Politechniki Gdańskiej, Gdańsk, 1998.<br />
[13] Stanclik J., Modyfikacja makromodeli wzmacniaczy operacyjnych.<br />
Kwartalnik Elektroniki i Telekomunikacji, vol. 44, z. 1, 1998,<br />
ss. 19-34.<br />
[14] Dang L. M., A Simple Current Model for Short Channel IGFET<br />
and Its Application to Circuit Simulation. IEEE J. Solid-State Circuits,<br />
vol. 14, 1979.<br />
[15] Sakurai T., Newton A. R., A Simple MOSFET Model for Circuit<br />
Analysis, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 38, no 4,<br />
1991, pp. 887-888.<br />
[16] Enz C. C., Krummenacher F., Vittoz E. A., An Analytical MOS<br />
Transistor Model Valid in All Regions of Operation and Dedicated<br />
to Low-Voltage and Low-Current Applications. Journal on<br />
Analog Integrated Circuits and Signal Processing Low-Voltage<br />
and Low-Power Design, vol. 8, 1995, pp. 83-114.<br />
[17] Gowda S. M., Sheu B. J., BSIM plus: an advanced SPICE model<br />
for submicron MOS VLSI circuits. IEEE Transactions on Computer-Aided<br />
Design of Integrated Circuits and Systems, vol. 13,<br />
no 9, 1994, pp. 1166-1170.<br />
ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 99
[18] http://www.catena.uk.com/site/support/modelinfo/onsemi_models.htm<br />
[19] http://www.datasheetarchive.com/search.php?q=SPP11N60C2<br />
[20] http://www.infineon.com, PSPICE Libraries for CoolMOS Power<br />
Transistors<br />
[21] http://www.irf.com<br />
[22] http://onsemi.com<br />
[23] http://www.vishay.com<br />
[24] http://www.fairchildsemi.com<br />
[25] Biblioteka PWRMOS.LIB, PSPICE 10.0, MicroSim Corporation,<br />
2003.<br />
[26] PSPICE A/D Reference Guide Version 10.0, MicroSim Corporation,<br />
June 2003.<br />
[27] http://www.irf.com/product-info/models/spice/spice.zip<br />
[28] Zarębski J., Jasicki P., Vinh T. C.: Modelowanie wpływu temperatury<br />
na charakterystyki statyczne tranzystora MOSFET w programie<br />
SPICE. Zeszyty Naukowe Wyższej Szkoły Morskiej<br />
w Gdyni Nr 34, Gdynia, 1998, s. 63.<br />
[29] Zarębski J., Górecki K.: Modelling Trench MOSFETs in SPICE.<br />
15th IEEE International Conference on electronics, Circuits and<br />
Systems ICECS, Malta, 2008, pp. 73-76.<br />
[30] Bisewski D.: Estymacja parametrów wybranych elementów<br />
półprzewodnikowych z wykorzystaniem algorytmu genetycznego.<br />
Raport badawczy, Seminaria Katedry Elektroniki Morskiej,<br />
Akademia Morska, Gdynia, <strong>2009</strong>.<br />
100 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>
Światowy Dzień Telekomunikacji i Społeczeństwa Informacyjnego<br />
Warszawa, 13-15 maja <strong>2009</strong> r.<br />
Bezpieczeństwo dzieci w cyberprzestrzeni<br />
Bardzo udane były tegoroczne obchody Światowego Dnia<br />
Telekomunikacji i Społeczeństwa Informacyjnego (ŚDTiSI),<br />
zorganizowane przez Stowarzyszenie Elektryków Polskich<br />
(SEP), obchodzone pod hasłem Bezpieczeństwo dzieci w cyberprzestrzeni.<br />
Rozpoczęło się 13 maja w Technikum Łączności im.<br />
prof. Janusza Groszkowskiego przy Zespole Szkół nr 37 im.<br />
Agnieszki Osieckiej w Warszawie, III Ogólnopolskim Spotkaniem<br />
Uczniów i Nauczycieli Szkół Łączności. Nauczycieli<br />
i uczniów z całej Polski przywitał dyrektor technikum dr Eugeniusz<br />
Śniegowski, a werdykt o przyznanym przez SEP stypendium<br />
wyróżniającemu się uczniowi Warszawskiego<br />
Technikum im. Groszkowskiego Mariuszowi Wojewódzkiemu,<br />
ogłosiła sekretarz generalna SEP Jolanta Arendarska.<br />
Prof. Andrzej Jakubiak z Politechniki Warszawskiej<br />
wygłosił referat Czy świat jest cyfrowy?. Uczniowie z Zespołu<br />
Szkół Łączności w Szczecinie, Patryk Chojnacki i Daniel<br />
Mikołajczyk, przedstawili multimedialną prezentację Bezpieczeństwo<br />
dzieci w cyberprzestrzeni.<br />
14 maja br. w Wojskowej Akademii Technicznej w Warszawie<br />
odbyła się II Międzyuczelniana Konferencja Naukowa Studentów<br />
Bezpieczeństwo jednostki w cyberprzestrzeni, pod<br />
patronatem honorowym Minister Nauki i Szkolnictwa Wyższego<br />
Barbary Kudryckiej i Rektora Wojskowej Akademii Technicznej<br />
gen. Zygmunta Mierczyka.Konferencję otworzył prezes Stowarzyszenia<br />
Elektryków Polskich prof. Jerzy Barglik. Referaty<br />
wygłosili oraz sesję panelową przygotowali: studenci we<br />
współpracy z pracownikami naukowymi z Wojskowej Akademii<br />
Technicznej, Politechniki Warszawskiej, Uniwersytetu Warszawskiego,<br />
Zachodniopomorskiego Uniwersytetu Technologicznego<br />
w Szczecinie, ze studenckich kół naukowych<br />
Wirtualna Organizacja Działań (WOD) na: Politechnice Poznańskiej,<br />
Wyższej Szkole Informatyki w Łodzi, Dolnośląskiej<br />
Wyższej Szkole Przedsiębiorczości i Techniki w Polkowicach,<br />
z Sieci Laboratoriów WOD: Łódź - Olsztyn - Polkowice.<br />
Sesja obejmowała trzy bloki tematyczne:<br />
1) interaktywną komunikację medialną,<br />
2) nowe technologie na rzecz rozwoju społeczeństwa informacyjnego,<br />
3) bezpieczeństwo użytkownika prywatnego.<br />
Wśród ciekawych referatów znalazły się m.in.: Ochrona sfery<br />
prywatności użytkownika sieci teleinformatycznej, Polityka bezpieczeństwa<br />
teleinformatycznego systemu federacyjnego, Bezpieczeństwo<br />
komunikacji i aplikacji na urządzeniach mobilnych.<br />
Dyrektor Departamentu Telekomunikacji Ministerstwa Infrastruktury<br />
Pani Agnieszka Zaborowska zaprezentowała<br />
działania Ministerstwa związane z zapewnieniem bezpieczeństwa<br />
dzieci w cyberprzestrzeni. Konferencji towarzyszyła sesja<br />
posterowa oraz wystawa studenckich kół naukowych.<br />
Podsumowaniem ŚDTiSI była jubileuszowa X Konferencja<br />
Okrągłego Stołu (KOS) pt. Polska w drodze do społeczeństwa<br />
informacyjnego - bezpieczeństwo w warunkach powstającego<br />
społeczeństwa informacyjnego, pod honorowym patronatem<br />
marszałka Sejmu Bronisława Komorowskiego, która tradycyjnie<br />
odbyła się w Sali Kolumnowej Sejmu.<br />
Część oficjalną KOS otworzył prezes SEP prof. Jerzy Barglik.<br />
List od marszałka Sejmu Bronisława Komorowskiego odczytała<br />
sekretarz generalna SEP Jolanta Arendarska. Głos<br />
zabierali m.in.: podsekretarz stanu w Ministerstwie Infrastruktury<br />
Magdalena Gaj, generalny inspektor Ochrony Danych<br />
Osobowych Michał Serżycki. Prezes SEP prof. Jerzy Barglik<br />
mówiąc o przyszłości, nawiązał do tradycji obchodzonej w tym<br />
roku 90. rocznicy Stowarzyszenia Elektryków Polskich. Prezes<br />
zaprosił na organizowany przez SEP 2-4 września br.<br />
Kongres Elektryki Polskiej.<br />
O budowie społeczeństwa informacyjnego oraz cyfryzacji<br />
naszego kraju mówił poseł Janusz Piechociński, wiceprzewodniczący<br />
sejmowej Komisji Infrastruktury.<br />
Część oficjalną zakończyło wręczenie przez podsekretarz<br />
stanu w Ministerstwie Infrastruktury Magdalenę Gaj i prezesa<br />
SEP prof. Jerzego Barglika statuetek ministra infrastruktury, nadanych<br />
z okazji Światowego Dnia Telekomunikacji i Społeczeństwa<br />
Informacyjnego oraz dyplomów uznania od SEP.<br />
Statuetki zostały przyznane: Wojskowej Akademii Technicznej<br />
im. Jarosława Dąbrowskiego w Warszawie, w uznaniu<br />
nieocenionych osiągnięć w dziedzinie elektroniki,<br />
telekomunikacji oraz informatyki (nagrodę odebrał Rektor<br />
WAT gen. Zygmunt Mierczyk); czasopismu naukowo-technicznemu<br />
„<strong>Elektronika</strong> - konstrukcje, technologie, zastosowania”,<br />
wydawanemu przez SEP - w uznaniu zasług (odebrał<br />
redaktor naczelny prof. Jerzy Klamka); prof. Zbigniewowi<br />
Kierzkowskiemu, za inicjatywę i nieoceniony wkład merytoryczny<br />
w organizację ŚDTiSI; inż. Krzysztofowi Mangelowi,<br />
w uznaniu aktywnej działalności w obszarze radioelektroniki<br />
i telekomunikacji.<br />
Dyplomy wręczono firmom: IFS Polska - na ręce dyrektor<br />
Ewy Mieczkowskiej, PTC ERA - otrzymał dyrektor Janusz Morawski<br />
oraz Przemysłowemu <strong>Instytut</strong>owi Telekomunikacji SA -<br />
przyjął Prezes PIT dr inż. Andrzej Wilk.<br />
Do Konferencji Okrągłego Stołu wprowadził jej pomysłodawca<br />
i twórca dr Andrzej Wilk. Przez ponad godzinę<br />
trwała dyskusja nt. procesu cyfryzacji oraz budowy<br />
społeczeństwa informacyjnego w Polsce, o konsekwencjach<br />
nowych technologii dla demokracji również w sensie globalnym,<br />
o możliwościach, jakie niosą te technologie, o zagrożeniach,<br />
jak pogodzić powszechny dostęp do informacji<br />
z ochroną prywatności itp. Dyskutowano także o obronności<br />
kraju, poruszając takie zagadnienia, jak: „Czy współczesna<br />
wojna zacznie się od ataku hakerów?”, „Komputer w obronie<br />
narodowej”, „Techniki mikrofalowe na polu walki”.<br />
Obchody ŚDTSI <strong>2009</strong> odbyły się pod honorowym patronatem<br />
Ministra Infrastruktury Pana Cezarego Grabarczyka<br />
i są poświęcone tematyce telekomunikacji oraz jej wpływowi<br />
na codzienne życie społeczeństw na całym świecie.<br />
Zgodnie z decyzją przywódców państw z listopada 2005 r.,<br />
podjętą w Tunisie podczas Światowego Szczytu Społeczeństwa<br />
Informacyjnego i postanowieniem Konferencji Pełnomocników<br />
Międzynarodowego Związku Telekomunikacyjnego<br />
(ITU) w Turcji w 2006 r. przyjęto, aby 17 maja na całym świecie<br />
obchodzono Światowy Dzień Telekomunikacji i Społeczeństwa<br />
Informacyjnego. Data ta upamiętnia utworzenie w 1865 r.<br />
Międzynarodowego Związku Telekomunikacyjnego (ITU).<br />
8 lipca br., w Ministerstwie Infrastruktury zbierze się po raz<br />
pierwszy Komitet Honorowy Światowego Dnia Telekomunikacji<br />
i Społeczeństwa Informacyjnego 2010 r.<br />
Stanisław J. Szałapak<br />
redaktor-koordynator
Nowe telefony Nokia E75 i E52<br />
Firma Nokia wprowadziła na polski rynek najnowszy telefon biznesowy Nokia E75.<br />
Nokia E75 to pierwsze urządzenie firmy wyposażone w wysuwaną z boku klawiaturę<br />
QWERTY. Dzięki Nokia Messaging telefon oferuje użytkownikom dostęp<br />
do poczty prywatnej i biznesowej poprzez większość istniejących kont e-mail,<br />
m.in. Yahoo! Mail®, Gmail, Windows Live Hotmail, Interia, Onet, Wirtualna Polska,<br />
a wiadomości na telefon dostarczane są automatycznie i na bieżąco. Pocztę w telefonie<br />
można skonfigurować w kilka sekund za pomocą trzech prostych kroków.<br />
Nokia E75 to pierwszy telefon z licencją na usługę Nokia Messaging, która dostępna<br />
jest w nim bezpłatnie na całe życie produktu.<br />
Poręczna Nokia E75 udostępnia nowy,<br />
rozbudowany i bardzo wygodny interfejs<br />
poczty email. Telefon wyposażony jest<br />
w bogaty pakiet narzędzi, który zapewnia<br />
pełną obsługę folderów i wiadomości w formacie<br />
HTML, załączników, rozwijane<br />
widoki, a także możliwość sortowania wiadomości<br />
według dat, nadawców i rozmiarów.<br />
Oprócz udoskonalonych funkcji<br />
przesyłania poczty, urządzenie to daje dostęp<br />
w czasie rzeczywistym do kalendarza,<br />
kontaktów i zadań.<br />
Nokia E75 jest ściśle zintegrowana<br />
z usługami Ovi. Telefon posiada wbudowany<br />
moduł A-GPS, aplikację Nokia Maps<br />
z 3-miesięczną pełną licencją na nawigację<br />
samochodową, a także dostęp do doskonałych<br />
gier N-Gage. Co więcej,<br />
ważnymi plikami przechowywanymi na<br />
komputerze stacjonarnym można zdalnie<br />
zarządzać i udostępniać je za pomocą<br />
usługi Ovi Files, dostępnej także w telefonie<br />
Nokia E75.<br />
Elegancka i stylowa Nokia E75 ze<br />
stałym dostępem do poczty email dostępna<br />
jest w kolorze srebrno-granatowym i srebrno-czerwonym.<br />
Najnowszą propozycją z linii biznesowej Eseries jest model Nokia<br />
E52. Nowy telefon, wraz z zaprezentowanymi na początku tego roku Nokia E75<br />
i Nokia E55, stanowi kontynuację linii smartfonów zaprojektowanych z myślą o ułatwianiu<br />
pracy mobilnej.<br />
Nokia E52 stanowi kontynuację cieszącego się dużym powodzeniem telefonu<br />
Nokia E51. Nowy model wyróżnia się wyjątkowo długim czasem rozmów dzięki<br />
wytrzymałej baterii (blisko miesiąc w trybie czuwania), a także wysoką jakością dźwięku<br />
dzięki systemowi redukującemu szumy. Ponadto urządzenie udostępnia szereg<br />
funkcjonalnych rozwiązań, takich jak szybka transmisja danych HSPA,<br />
umożliwiająca pobieranie oraz wysyłanie materiałów z i do internetu, A-GPS<br />
z Nokia Maps do nawigacji czy aparat fotograficzny o rozdzielczości 3,2 Mpix.<br />
Nowe urządzenie można z łatwością zintegrować z firmowymi systemami telefonicznymi,<br />
co może stanowić skuteczne dopełnienie, a nawet zamiennik telefonu<br />
stacjonarnego. Rozwiązania typu Call Connect - łączące urządzenia mobilne Nokia<br />
z systemami PBX liderów branżowych, takich jak Cisco i Alcatel-Lucent - sprawiają,<br />
że dany pracownik może być osiągalny pod jednym numerem telefonu. Dzięki temu<br />
firmy mogą zmniejszyć liczbę urządzeń oraz kontrolować i ograniczać koszty.<br />
Poza zaawansowanymi funkcjami głosowymi Nokia E52 wyróżnia się rozbudowaną<br />
aplikacją poczty email z nowym interfejsem, który doskonale sprawdza<br />
się podczas korzystania z usługi Nokia Messaging oraz korporacyjnych rozwiązań<br />
pocztowych tj: Mail for Exchange i IBM Lotus Notes Traveler. Dzięki Nokia Messaging<br />
telefon oferuje użytkownikom dostęp do poczty prywatnej i biznesowej poprzez<br />
większość istniejących kont e-mail, m. in. Yahoo! Mail®, Gmail, Windows<br />
Live Hotmail, Interia, Onet, Wirtualna Polska czy O2, a wiadomości na telefon dostarczane<br />
są automatycznie i na bieżąco.<br />
Z kolei bezpośredni dostęp do serwerów pocztowych Microsoft Exchange lub<br />
IBM Lotus Notes pozwala firmom na zmniejszenie kosztów operacyjnych związanych<br />
z umobilnieniem poczty, kalendarza, firmowej książki kontaktowej, m.in. ze<br />
względu na fakt, że w rozwiązaniu Nokia nie jest wymagane oprogramowanie<br />
warstwy pośredniej ani dodatkowe serwery.<br />
Więcej informacji: www.nokia.pl<br />
Informacja prasowa firmy NOKIA