04.11.2014 Views

Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...

Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...

Elektronika 2009-06.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...

SHOW MORE
SHOW LESS

Transform your PDFs into Flipbooks and boost your revenue!

Leverage SEO-optimized Flipbooks, powerful backlinks, and multimedia content to professionally showcase your products and significantly increase your reach.

konstrukcje technologie zastosowania<br />

MIESIECZNIK NAUKOWO-TECHNICZNY<br />

rok L nr 6/<strong>2009</strong><br />

• MATERIAŁY • KONSTRUKCJE • UKŁADY<br />

• SYSTEMY • MIKROELEKTRONIKA<br />

• OPTOELEKTRONIKA • FOTONIKA<br />

• ELEKTRONIKA MIKROFALOWA<br />

• MECHATRONIKA<br />

• ENERGOELEKTRONIKA • INFORMATYKA<br />

ZESPÓŁ REDAKCYJNY<br />

prof. dr hab. inż. Jerzy Klamka - redaktor naczelny,<br />

Bożena Lachowicz - sekretarz redakcji<br />

Stali współpracownicy: mgr inż. Wiesław Jabłoński,<br />

mgr inż. Krzysztof Kowalski, dr Juliusz Szczęsny<br />

Adres redakcji: ul. Chmielna 6 m.6, 00-020 Warszawa,<br />

tel./fax: (022) 827 38 79; tel.: (022) 826 65 64,<br />

e-mail: elektronika@red.pl.pl, www.elektronika.orf.pl<br />

Zamówienia na reklamę przyjmuje redakcja lub Dział Reklamy<br />

i Marketingu, ul. Mazowiecka 12, 00-950 Warszawa, skr. 1004,<br />

tel./fax (022) 8274366, 8268016, e-mail: reklama@sigma-not.pl<br />

Kolportaż: ul. Ku Wiśle 7, 00-716 Warszawa, tel.: (022) 840 35 89;<br />

tel./fax:: (022) 840 59 49, (022)891 13 74<br />

RADA PROGRAMOWA<br />

prof. dr hab. inż. Władysław Torbicz (PAN) - przewodniczący<br />

prof. dr hab. inż. Leonard Bolc, prof. dr hab. Zdzisław Drozd, prof. dr<br />

hab. inż. Jerzy Fraczek, dr inż. Józef Gromek, mgr inż. Jan Grzybowski,<br />

prof. dr hab. Ryszard Jachowicz, prof. dr hab. Włodzimierz<br />

Janke, prof. dr hab. Andrzej Jakubowski, prof. dr hab. Włodzimierz<br />

Kalifa, inż. Stefan Kamiński, prof. dr hab. inż. Marian P. Kaźmierkowski,<br />

dr inż. Wojciech Kocańda, prof. dr hab. Bogdan Kosmowski, mgr<br />

inż. Zbigniew Lange, prof. dr hab. Benedykt Licznerski, dr inż. Zygmunt<br />

Łuczyński, prof. dr hab. inż. Józef Modelski, prof. dr hab. Tadeusz<br />

Morawski, prof. dr hab. Bohdan Mroziewicz, prof. dr hab. Andrzej<br />

Napieralski, prof. dr hab. Tadeusz Pałko, prof. dr hab. inż. Marian<br />

Pasko, prof. dr hab. Józef Piotrowski, dr hab. inż. Ryszard Romaniuk,<br />

dr hab. inż. Grzegorz Różański, dr hab. inż. Edward Sędek, prof. dr<br />

hab. Ludwik Spiralski, prof. dr hab. inż. Zdzisław Trzaska, mgr inż.<br />

Józef Wiechowski, prof. dr hab. inż. Marian Wnuk, prof. dr hab.<br />

inż. Janusz Zarębski<br />

Czasopismo dotowane przez Ministerstwo Nauki<br />

i Szkolnictwa Wyższego. Za opublikowane w nim artykuły<br />

MNiSzW przyznaje 6 punktów.<br />

“<strong>Elektronika</strong>” jest wydawana<br />

przy współpracy Komitetu Elektroniki<br />

i Telekomunikacji Polskiej Akademii Nauk<br />

IEEE<br />

WYDAWNICTWO<br />

CZASOPISM I KSIĄŻEK<br />

TECHNICZNYCH<br />

SIGMA - NOT<br />

Spółka z o. o.<br />

00-950 Warszawa<br />

skrytka pocztowa 1004<br />

ul. Ratuszowa 11<br />

tel.: (0 22)818 09 18, 818 98 32<br />

fax: (0 22) 619 21 87<br />

Internet<br />

http://www.sigma-not.pl<br />

Prenumerata<br />

e-mail: kolportaz@sigma-not.pl<br />

Informacja<br />

e-mail: informacja@sigma-not.pl<br />

Redakcja współpracuje<br />

z Polską Sekcją IEEE<br />

“<strong>Elektronika</strong>” jest notowana<br />

w międzynarodowej bazie IEE<br />

Inspec<br />

Publikowane artykuły nukowe były<br />

recenzowane przez samodzielnych<br />

pracowników nauki<br />

Redakcja nie ponosi odpowiedzialności<br />

za treść ogłoszeń. Zastrzega<br />

sobie prawo do skracania i adjustacji<br />

nadesłanych materiałów.<br />

Indeks 35722<br />

Nakład do 2000 egz.<br />

Druk: Drukarnia SIGMA-NOT Sp. z o.o.<br />

SPIS TREŚCI • CONTENTS<br />

Przekształtniki energoelektroniczne z elementami z węglika<br />

krzemu (Power electronics converters with silicon carbide devices)<br />

- M. Nowak, J. Rąbkowski, R. Barlik .................................. 7<br />

Ocena parametrów statycznych diod Schottkyego z SiC (Valuation<br />

of the static parameters of SiC Schottky diodes) -<br />

A. Szewczyk, A. Konczakowska, B. Stawarz-Graczyk ................ 13<br />

Wysokonapięciowa dioda z barierą Schottkyego z węglika<br />

krzemu (High-Voltage Schottky Barrier Diode on SiC) - L. Dobrzański,<br />

K. Góra, A. Jagoda, A. Kozłowski, B. Stańczyk ............ 16<br />

Optymalizacja konstrukcji i modelowanie tranzystora RE-<br />

SURF LJFET w 4H-SiC (Electrical simulation of 4H-SiC<br />

RESURF LJFET and design optimalization) - A. Taube,<br />

M. Sochacki, J. Szmidt ............................................................ 20<br />

Właściwości elektryczne i mechaniczne metalizacji kontaktowych<br />

Ni i Ti oraz wytworzonych na nich połączeń drutowych<br />

do n-SiC (Electrical and mechanical properties of Ni and<br />

Ti ohmic contact metallizations and wire bonding connections<br />

onto n-SiC) - R. Kisiel, M. Guziewicz ......................................... 26<br />

Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych metodą implantacji<br />

warstw epitaksialnych 4H-SiC jonami glinu (Characterization<br />

of p-i-n diodes fabricated by aluminium ion implantation<br />

of 4H-SiC epitaxial layers) - N. Kwietniewski, K. Pazio,<br />

M. Sochacki, J. Szmidt, A. Droździel, M. Kulik, S. Prucnal,<br />

K. Pyszniak, M. Rawski, M. Turek, J. Żuk ................................... 32<br />

TECHNIKA SENSOROWA: Polimery elektroprzewodzące<br />

w elektronice i analityce biochemicznej (Electroconducting<br />

polymers in electronics and biochemical analytics) - W. Torbicz,<br />

D. Pijanowska ......................................................................... 36<br />

TECHNIKA INFORMATYCZNA: Rola modułów dialogowych w<br />

tworzeniu profilów osobowych uczestników szkoleń e-learningowychj<br />

(Dialogue modules in creation of e-course student<br />

personal profile) - W. Przyłuski .................................................... 44<br />

TECHNIKA MIKROFALOWA I RADIOLOKACJA: Aktywna antena<br />

radiolokacyjna na pasmo S. Część 3. System nadawczy<br />

(Active S band antenna for radar application. Part. 3. Transmit<br />

system) - A. Czwartacka, J. Cholewa, T. Lorens, R. Sender,<br />

K. Szustak, B. Stachowski .......................................................... 49<br />

Szybki algorytm dyskretnej transformacji Gabora (The Fast Alghoritm<br />

of Discrete Gabor Transform) - Ł. Bonikowski, A. Tariov ... 57<br />

Flexible packet scheduling algorithm utilization for on-chip networks<br />

(Algorytm elastycznego kolejkowania pakietów w sieciach<br />

wewnątrzukładowych) - P. Stolarski, T. Mąka, P. Dziurzański ......... 62<br />

Szkło dla fotoniki. Część 9. Rodzaje szkieł laserowych (Glasses<br />

for photonics. Part 8. Kinds of laser glasses) - R. Romaniuk .......... 69<br />

Badania lokalności aplikacji równoległych bazujących na tworzeniu<br />

niezależnych wątków obliczeń (Experimental studies<br />

on data locality of parallel applications consisting of synchronization-free<br />

threads of computations) - W. Bielecki, K. Kraska ... 74<br />

Wykorzystanie elementu XOR w syntezie logicznej przeznaczonej<br />

dla programowalnych struktur CPLD typu PAL<br />

(Using XOR element for logic synthesis of the PAL-based Complex<br />

Programmable Devices) - W. Grabiec, D. Kania .................. 82<br />

Estymacja parametrów modelu Danga tranzystora MOS (Parameters<br />

estimation of the Dang model of MOS transistor) -<br />

J. Zarębski, D. Bisewski .............................................................. 87<br />

Lead Free Electronic Module Test Research for Motion<br />

Control of Cars Front Windscreen Wipers (Testowanie<br />

bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />

wycieraczki szyby przedniej samochodu) - A. Manukova-<br />

Marinova, V. Dimov, A. Levi, D. Stephanov ................................ 91<br />

Modele i makromodele tranzystorów MOS mocy dla programu<br />

SPICE (Models and macromodels of power MOS transistors<br />

for SPICE) - J. Zarębski, D. Bisewski .............................. 96<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 1


Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />

NOWAK M., RĄBKOWSKI J., BARLIK R.: Przekształtniki energoelektroniczne<br />

z elementami z węglika krzemu<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 7<br />

Dzięki wysokiej dopuszczalnej wartości napięć wstecznych diody<br />

Schottkyego z węglika krzemu mogą znaleźć zastosowanie jako<br />

diody zwrotne w typowych układach energoelektronicznych. W celu<br />

porównania właściwości ultraszybkich standardowych diod krzemowych<br />

PiN i diod Schottkyego z węglika krzemu opracowano model<br />

symulacyjny trójfazowego przekształtnika PWM zawierającego<br />

łączniki złożone z tranzystorów IGBT i diod zwrotnych. Badania symulacyjne<br />

ukierunkowano na wyznaczenie strat mocy wydzielanych<br />

w łącznikach w przypadku, gdy dioda zwrotna jest wykonana<br />

z krzemu lub z węglika krzemu. Wyniki obliczeń wskazują, że całkowita<br />

moc strat we wszystkich łącznikach jest mniejsza w przypadku<br />

zastosowania diod Schottkyego z węglika krzemu. Wykonano model<br />

laboratoryjny trójfazowego przekształtnika PWM o mocy 5 kVA przeznaczony<br />

do badań eksperymentalnych w celu pomiaru i porównania<br />

całkowitej mocy strat w przypadku zastosowania w układzie diod<br />

krzemowych i z węglika krzemu. Zbudowany przekształtnik jest przewidziany<br />

do połączenia z siecią 3 × 400 V/50 Hz i może pełnić funkcją<br />

prostownika, kompensatora a także falownika (przekazywanie<br />

energii do sieci).<br />

NOWAK M., RĄBKOWSKI J., BARLIK R.: Power electronics converters<br />

with silicon carbide devices<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 7<br />

Thanks to high reverse voltage, the silicon carbide Schottky Barrier<br />

Diode can be applied as anti-parallel diode in a two-switch leg being<br />

the most popular PWM converter sub-circuit. In order to compare the<br />

standard ultrafast silicon PiN diode and silicon-carbide Schottky Barrier<br />

Diode, the simulation model of three phase PWM converter consisting<br />

of IGBT and diodes was investigated. Simulations were carried<br />

out to calculate the power losses in two cases: firstly, if the anti-parallel<br />

diode is made with silicon, and secondly, if the diode is made of<br />

silicon carbide. The results obtained by simulations confirm that the<br />

total power losses in all switches are smaller when the silicon-carbide<br />

Schottky Barrier diodes are used. The experimental 5 kVA three<br />

phase PWM converter was built to prove and compare by laboratory<br />

measurement the total power in the cases when the silicon and silicon<br />

carbide diodes are used. The converter is designed for standard<br />

line voltages (3 × 400 V/50 Hz) and is capable to work as rectifier,<br />

compensator or inverter (i.e. drawing energy to the line).<br />

Keywords: three phase PWM power converter, silicon carbide Schottky<br />

diode, switching power losses<br />

Słowa kluczowe: trójfazowy przekształtnik PWM, dioda Schottkyego<br />

z węglika krzemu, łączeniowe straty mocy<br />

SZEWCZYK A., KONCZAKOWSKA A., STAWARZ-GRACZYK B.:<br />

Ocena parametrów statycznych diod Schottkyego z SiC<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 13<br />

Przedstawiono wyniki pomiarów parametrów statycznych 3 prób diod<br />

Schottkyego produkcji CREE i 2 prób diod Schottkyego produkcji IN-<br />

FINEON. Stwierdzono, że charakterystyki przy polaryzacji diod w kierunku<br />

przewodzenia są w zasadzie identyczne, natomiast przy<br />

polaryzacji w kierunku zaporowym wykazują istotne różnice, szczególnie<br />

w zakresie napięć w kierunku zaporowym powyżej 600 V.<br />

Słowa kluczowe: węglik krzemu, diody Schottkyego, parametry statyczne<br />

DOBRZAŃSKI L., GÓRA K., JAGODA A., KOZŁOWSKI A., STAŃ-<br />

CZYK B., PRZYBOROWSKA K.: Wysokonapięciowa dioda z barierą<br />

Schottkyego z węglika krzemu<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 16<br />

W artykule przedstawiamy opracowanie technologii wysokonapięciowej<br />

diody Schottkyego wykonanej z materiału wytworzonego w<br />

całości w ITME. Najpierw omówiono problem zakończenia złącza<br />

Schottkyego i wykonano numeryczne symulacje zjawiska przebicia<br />

diody. Wyniki obliczeń zweryfikowano eksperymentalnie. Następnie<br />

wykonano wiele eksperymentalnych partii technologicznych diod<br />

o różnym polu powierzchni złącza. Na tej podstawie oszacowano aktualny<br />

stan całego cyklu technologicznego wytwarzania wysokonapięciowych<br />

przyrządów mocy w ITME od wzrostu monokryształu,<br />

przez wzrost warstw epitaksjalnych aż do wykonania przyrządu<br />

półprzewodnikowego. Oceniamy, że możemy w chwili obecnej produkować<br />

diody mocy o napięciu przebicia 600 V i prądzie przewodzenia<br />

3 A. W najbliższej przyszłości te wartości zostaną ulepszone<br />

do poziomu prądu 5...10 A przy napięciu przebicia 600 V. Na podstawie<br />

szeroko zakrojonych badań statystycznych oceniamy poziom<br />

uzysku tej działalności na 75%.<br />

SZEWCZYK A., KONCZAKOWSKA A., STAWARZ-GRACZYK B.:<br />

Valuation of the static parameters of SiC Schottky diodes<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 13<br />

The static parameters measurements results of 3 samples of CREE<br />

SiC Schottky diodes and 2 samples of INFINEON SiC Schottky<br />

diodes are presented. Measured forward characteristics for each<br />

sample show excellent reproducibility, whereas the reverse characteristics<br />

significantly differ for devices from each samples, especially<br />

for reverse voltage higher than 600 V.<br />

Keywords: silicon-carbide, Schottky diode, static parameters<br />

DOBRZAŃSKI L., GÓRA K., JAGODA A., KOZŁOWSKI A., STAŃ-<br />

CZYK B., PRZYBOROWSKA K.: High-Voltage Schottky Barrier<br />

Diode on SiC<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 16<br />

We report on development of high-voltage Schottky barrier diode on<br />

single crystal SiC wafers and epi-layers grown at ITME. The problem<br />

of Schottky junction termination extension has been solved using the<br />

numerical simulation. The calculated results have been verified by experiment.<br />

We have carried out many experiments with diodes of diverse<br />

junction areas and have estimated capabilities of our whole<br />

technological cycle starting from crystal growth, epi-layer growth and<br />

finally construction of diode and device processing. We claim that current<br />

status of SiC technology at ITME is the following: we can fabricate<br />

diodes which exhibit 600 V of breakdown voltage and forward<br />

current of 3 A with the yield greater than 75%. We estimate that these<br />

values will change in the near future to be 5...10 A of forward current<br />

and 600 V of breakdown voltage at the same yield level.<br />

Keywords: SiC, Schottky, high-voltage power diode<br />

Słowa kluczowe: SiC, węglik krzemu, wysokonapięciowa dioda mocy<br />

TAUBE A., SOCHACKI M., SZMIDT J.: Optymalizacja konstrukcji<br />

i modelowanie tranzystora RESURF LJFET w 4H-SiC<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 20<br />

W artykule przedstawiono wyniki symulacji tranzystora LJFET wykonanego<br />

na podłożu 4H-SiC. Wbudowane w symulator ATLAS parametry<br />

materiałowe i modele przerwy energii zabronionych, ruchliwości<br />

i jonizacji zderzeniowej rozszerzono i uzupełniono o dane zaczerpnięte<br />

z literatury. Parametry struktury tranzystora LJFET optymalizowano<br />

pod kątem uzyskania maksymalnej wartości napięcia przebicia<br />

(V br ) i minimalnej rezystancji charakterystycznej w stanie włączenia<br />

(R on ). Po zmodyfikowaniu zaproponowanej struktury otrzymano wartość<br />

V br = 1020 V i R on = 15,7 mWcm 2 .<br />

Słowa kluczowe: węglik krzemu, SiC, JFET, LJFET, symulacje numeryczne<br />

TAUBE A., SOCHACKI M., SZMIDT J.: Electrical simulation of 4H-<br />

SiC RESURF LJFET and design optimalization<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 20<br />

4H-SiC lateral junction field-effect transistor structure (LJFET) was<br />

simulated in ATLAS software. Implemented material parameters and<br />

physical models of temperature dependence of energy bandgap, electric<br />

field dependence of carrier mobility and impact ionization were<br />

extended by latest literature data. LJFET breakdown voltage (V br ) and<br />

on-state specific resistance (R on ) were investigated to maximize Figure<br />

of Merit (FOM). Breakdown voltage of 1020 V and on-state specific<br />

resistance of 15.7 mWcm 2 were achieved finally.<br />

Keywords: silicon carbide, SiC, JFET, LJFET, simulations<br />

2 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


KISIEL R., GUZIEWICZ M.: Właściwości elektryczne i mechaniczne<br />

metalizacji kontaktowych Ni i Ti oraz wytworzonych na<br />

nich połączeń drutowych do n-SiC<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 26<br />

Węglik krzemu (SiC) stał się obiektem szczególnego zainteresowania<br />

głównie tam, gdzie wymaganiom wysokotemperaturowym nie może<br />

sprostać krzem [1]. Półprzewodnikowe przyrządy mocy oparte na<br />

węgliku krzemu stają się handlowo dostępne do zastosowań wysokomocowych<br />

i wysokotemperaturowych, ale nie przekraczających<br />

250ºC. Niezawodność przyrządów z SiC jest ograniczona z jednej<br />

strony stabilnością termiczną kontaktów omowych wytworzonych<br />

w SiC [2], z drugiej strony materiałami stosowanymi do połączeń<br />

struktury SiC z podłożem, a także materiałami i technologiami użytymi<br />

do wykonania połączeń elektrycznych obszarów aktywnych struktury<br />

z wyprowadzeniami obudowy i samymi materiałami stosowanymi na<br />

obudowy przyrządów [3-6]. W celu wykorzystania specyficznych zalet<br />

oferowanych przez przyrządy SiC, niezbędnym staje się opanowanie<br />

technologii niezawodnych kontaktów omowych oraz opracowanie wysokotemperaturowych<br />

materiałów do połączenia z podłożem, zastosowanie<br />

odpowiednich technologii montażu oraz technologii<br />

zamykania tych przyrządów w obudowy. W artykule [7] przedstawiono<br />

rozwiązania, jakie można zastosować do wykonania połączeń cieplno-mechaniczno-elektrycznych<br />

miedzy strukturą SiC, a podłożem<br />

z ceramiki alundowej lub z azotku glinu.<br />

KISIEL R., GUZIEWICZ M.: Electrical and mechanical properties<br />

of Ni and Ti ohmic contact metallizations and wire bonding connections<br />

onto n-SiC<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 26<br />

Unique properties of SiC lead this semiconductor for applications in<br />

new electronic devices operating at high temperatures, high power<br />

and high frequencies. There are a few problems related to the production<br />

of high temperature SiC devices. Developing of reliable ohmic<br />

contacts to SiC structure as well as a wire connection between the<br />

SiC ohmic contact and package leads are the serious tasks for today.<br />

The stability of Ni and Ti Au ohmic contacts onto n-SiC as well as the<br />

electrical and mechanical properties of Au and Al wire connection onto<br />

metallic contacts of n-SiC were investigated. The ohmic contact to n-<br />

SiC was formed by rapid thermal annealing of Ti film and Au metallization<br />

has been applied to form electrical connections using Au wire<br />

bonds. Long-term tests of the connections were performed in air at<br />

400 o C. Evaluation of electrical parameters as well as morphology and<br />

structure of the Al metallization onto Ti or Ni based ohmic contacts<br />

and with Al wire bonding electrical connections show good stability<br />

after ageing at 400°C & 300 h. For SiC structures with Au metallization<br />

and Au wire bonding only Ti based ohmic contacts fulfill thermal<br />

stability requirements.<br />

Keywords: silicon carbide, ohmic contacts, Al and Au wire bonding<br />

Słowa kluczowe: węglik krzemu, kontakty omowe, połączenia drutowe<br />

Al oraz Au<br />

KWIETNIEWSKI N., PAZIO K., SOCHACKI M., SZMIDT J., DROŹ-<br />

DZIEL A., KULIK M., PRUCNAL S., PYSZNIAK K., RAWSKI M.,<br />

TUREK M., ŻUK J.: Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych metodą<br />

implantacji warstw epitaksialnych 4H-SiC jonami glinu<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 32<br />

W pracy opisano wytwarzanie i charakteryzację diod p-i-n wytwarzanych<br />

w strukturach epitaksjalnych 4H-SiC. W celu uzyskania warstw<br />

typu p + wykonano 4-krotną implantację jonami Al przy całkowitej<br />

dawce 7,1•10 14 cm -2 dla uzyskania prostokątnego rozkładu głębokościowego.<br />

Implantację prowadzono przy temperaturze tarczy<br />

500 o C z użyciem implanatora jonów UNIMAS wyposażonego w plazmowe<br />

źródło jonów naszej konstrukcji. Zaimplantowany materiał został<br />

następnie wygrzany w argonie przez 20 min. w t = 1600 o C.<br />

Przeprowadzono badania rozkładów głębokościowych SIMS oraz rozpraszania<br />

mikro-ramanowskiego. Z pomiarów metodą c-TLM wyznaczono<br />

wartości rezystancji charakterystycznej kontaktów. Pomiary<br />

Halla wykazały, że koncentracja nośników w warstwie implantowanej<br />

p + o grubości 350 nm zawiera się w przedziale 3...4•10 18 cm -3 . Gęstość<br />

prądu wytworzonych diod osiąga maksymalną wartość 220<br />

A/cm 2 przy polaryzacji w kierunku przewodzenia 10 V, natomiast napięcie<br />

przebicia zawiera się w granicach 550...600 V.<br />

Słowa kluczowe: węglik krzemu, 4H-SiC, implantacja, dioda p-i-n,<br />

źródło jonów, rozpraszanie Ramana<br />

TORBICZ W., PIJANOWSKA D.: Polimery elektroprzewodzące<br />

w elektronice i analityce biochemicznej<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 36<br />

Na podstawie najnowszej literatury, omówiono właściwości elektryczne,<br />

optyczne, magnetyczne, mechaniczne i elektrochemiczne,<br />

metody otrzymywania oraz zastosowania polimerów elektroprzewodzących<br />

do budowy elementów elektronicznych, optoelektronicznych<br />

takich jak miniaturowe rezystory, kondensatory, diody,<br />

tranzystory, fotodiody, fototranzystory, lasery, światłowody oraz<br />

układów elektronicznych, w tym czujników i bioczujników wybranych<br />

wielkości chemicznych i biochemicznych, a także mikrosystemów do<br />

całościowej analizy biochemicznej (µTAS, lab-on-a-chip).<br />

Słowa kluczowe: polimery przewodzące, półprzewodniki organiczne,<br />

metale syntetyczne, elektronika organiczna, optoelektronika organiczna,<br />

czujniki chemiczne, bioczujniki, mikrosystemy biochemiczne,<br />

analityka biochemiczna<br />

PRZYŁUSKI W.: Rola modułów dialogowych w tworzeniu profilów<br />

osobowych uczestników szkoleń e-learningowych<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 44<br />

Artykuł zawiera rozważania dotyczące wykorzystywania mechanizmów<br />

sztucznej inteligencji w kursach e-learningowych tworzonych<br />

w środowisku TeleEdu TM LMS. Pokazuje rolę, jaką w tworzeniu profilów<br />

osób szkolonych może odegrać dialog prowadzony w języku naturalnym.<br />

Słowa kluczowe: e-learning, e-kurs, LMS, sztuczna inteligencja, system<br />

ekspercki, reguły produkcji<br />

KWIETNIEWSKI N., PAZIO K., SOCHACKI M., SZMIDT J.,<br />

DROŹDZIEL A., KULIK M., PRUCNAL S., PYSZNIAK K., RAWSKI<br />

M., TUREK M., ŻUK J.: Characterization of p-i-n diodes fabricated<br />

by aluminium ion implantation of 4H-SiC epitaxial layers<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 32<br />

We report on fabrication and characterization of 4H-SiC p-i-n diodes.<br />

In order to obtain p + -type layer, a four energy Al box-like profile was<br />

implanted with a total fluence of 7.1•10 14 cm -2 at 500 o C, using the<br />

UNIMAS ion implanter equipped with a plasma ion source of our construction.<br />

Implanted material was subsequently annealed for 20 min<br />

at 1600 o C in argon. SIMS depth profiling and micro-Raman scattering<br />

investigations were performed. The values of specific contact resistance<br />

were determined by the c-TLM method. The performed Hall<br />

measurements have shown that 350 nm thick p + layers are characterized<br />

by carrier concentration of 3...4•10 18 cm -3 . The fabricated<br />

diodes have probed forward current density up to 220 A/cm 2 at 10 V<br />

forward drop and 550...600 V breakdown voltages.<br />

Keywords: silicon carbide, 4H-SiC, implantation, p-i-n diode, ion<br />

source, Raman scattering<br />

TORBICZ W., PIJANOWSKA D.: Electroconducting polymers in<br />

electronics and biochemical analytics<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 36<br />

Basing on recent publications, electrical, optical, magnetic, mechanical<br />

and electrochemical properties of conducting polymers, methods<br />

of their polymerization and doping, as well as their applications for<br />

manufacturing of resistors, capacitors, diodes, transistors, lasers, optical<br />

fibers, and sensors and biosensors of selected chemical and biochemical<br />

species, and biochemical micro total analysis systems<br />

(µTAS, lab-on-a-chip) are reviewed in the paper.<br />

Keywords: conducting polymers, organic semiconductors, synthetic<br />

metals, organic electronics, organic optoelectronics, chemical sensors,<br />

biosensors, biochemical microsystems, biochemical analytics<br />

PRZYŁUSKI W.: Dialogue modules in creation of e-course student<br />

personal profile<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 44<br />

The paper includes considerations on AI methods application in e-<br />

courses created in TeleEdu TM LMS environment. The role of dialogue<br />

in natural language in student personal profile creation is discussed.<br />

Keywords: e-learning, e-course, LMS, AI, expert system, production<br />

rules<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 3


Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />

CZWATRACKA A., CHOLEWA J., LORENS T., SENDER R., SZUS-<br />

TAK K., STACHOWSKI B.: Aktywna antena radiolokacyjna na<br />

pasmo S. Część 3. System nadawczy<br />

Elektronikla (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 49<br />

W artykule przedstawiono system nadawczy aktywnej anteny radiolokacyjnej<br />

na pasmo S. W systemie zastosowano elektroniczne kształtowanie<br />

wiązki nadawczej. Do projektu przyjęto kształt wiązki w<br />

płaszczyźnie elewacji typu cosecans kwadrat zapewniający kąt pokrycia<br />

40°. W płaszczyźnie azymutu wiązka nadawcza jest wiązką<br />

szpilkową a pokrycie w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy<br />

anteny. Do ustawienia wymaganego rozkładu fazy w płaszczyźnie<br />

elewacji zastosowano w każdym z wierszy 6-bitowy przesuwnik<br />

fazy pozwalający na realizację rozkładu fazy z dokładnością ±3°.<br />

Wymagany rozkład amplitudy zrealizowano stosując wzmacniacze<br />

mocy klasy C o różnych mocach wyjściowych. Aproksymacja<br />

rozkładu amplitudy i duża dokładność odwzorowania teoretycznego<br />

rozkładu fazy pozwoliła na uzyskanie charakterystyk nadawczych<br />

systemu antenowego bardzo bliskich charakterystykom teoretycznym.<br />

System nadawczy może wypromieniować moc impulsową około<br />

25 kW w impulsie i moc średnią około 2,5 kW.<br />

CZWATRACKA A., CHOLEWA J., LORENS T., SENDER R., SZUS-<br />

TAK K., STACHOWSKI B.: Active S band antenna for radar application.<br />

Part. 3. Transmit system<br />

Elektronikla (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 49<br />

A transmit system for an active S-band radar antenna with sixteen antenna<br />

rows is described, in which the elevation transmit beam is electronically<br />

formed. A cosecant square shape of the elevation beam is<br />

designed for 40° elevation coverage. The transmit beam has pencil<br />

shape in the azimuth and azimuth coverage is provided by mechanical<br />

rotation of the antenna. In each antenna row, a 6- bit phase shifter<br />

is used and to achieve required phase distribution with high accuracy.<br />

The suitable amplitude distribution is realized by application of class<br />

C power amplifiers with different output powers. The high accuracy<br />

achieved in reproducing theoretical distributions of amplitude and<br />

phase enables to obtain the antenna patterns very close to the theoretical<br />

predictions. Microwave power radiated by transmit system is<br />

about 25 kW pulse power and 2,5 kW average power.<br />

Keywords: transmit-receive module, an active radar antenna, transmit<br />

beam former<br />

Słowa kluczowe: moduł nadawczo-odbiorczy, radiolokacyjna antena<br />

aktywna, układ formowania wiązki nadawczej<br />

BONIKOWSKI Ł., TARIOV A.: Szybki algorytm dyskretnej transformacji<br />

Gabora<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 57<br />

W pracy został przedstawiony szybki algorytm dyskretnej transformacji<br />

Gabora. W porównaniu ze znanymi algorytmami realizującymi<br />

tę transformację za pomocą dualnych okien biortogonalnych, proponowany<br />

algorytm wyróżnia się mniejszą liczbą operacji arytmetycznych<br />

niezbędnych do wyznaczania współczynników rozwinięcia<br />

Gabora w sytuacjach doboru stosunkowo dużej liczby przedziałów<br />

w czasie M. Ponieważ dyskretna transformata Gabora pozwala dobierać<br />

dokładność reprezentacji sygnału na podstawie kompromisu<br />

pomiędzy jego rozdzielczością w domenie czasu a częstotliwości, to<br />

i wielkość zysku obliczeniowego (stopy redukcji liczby operacji arytmetycznych)<br />

jest zmienna. Jednak nawet w najgorszym przypadku<br />

najmniejszy zysk jest co najmniej dwukrotny w stosunku do niezoptymalizowanej<br />

wersji transformaty.<br />

Słowa kluczowe: szybkie algorytmy DGT, macierzowa metoda wyznaczania<br />

współczynników rozwinięcia Gabora, redukcja liczby operacji<br />

arytmetycznych algorytmu wyznaczania DGT poprzez<br />

dekompozycję macierzy<br />

STOLARSKI P., MĄKA T., DZIURZAŃSKI P.: Algorytm elastycznego<br />

kolejkowania pakietów w sieciach wewnątrzukładowych<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 62<br />

W pracy zaproponowano nowy algorytm kolejkowania uwzględniający<br />

jakość usług w sieciach wewnątrzukładowych. Umożliwia on dynamiczne<br />

harmonogramowanie pakietów wpływające na kolejność<br />

transmisji pakietów. Dzięki temu istnieje możliwość zmiany uzyskanego<br />

opóźnienia dla różnych klas ruchu. Zaprezentowane wyniki<br />

badań eksperymentalnych potwierdzają zalety proponowanej metody<br />

w porównaniu z innymi technikami realizowanymi na tej samej platformie<br />

w rozważanym zakresie zastosowań.<br />

Słowa kluczowe: sieci wewnątrzukładowe, jakość usług, priorytet dynamiczny<br />

ROMANIUK R.: Szkło dla fotoniki. Częśc 9. Rodzaje szkieł laserowych<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 69<br />

W artykule, który jest dziewiątą częścią cyklu prac o szkłach dla fotoniki,<br />

dokonano przeglądu najczęściej stosowanych rodzajów aktywnych<br />

szkieł laserowych domieszkowanych jonami ziem rzadkich.<br />

Przedstawiono rodzaje jonów domieszki aktywnej wraz z ich charakterystykami<br />

oraz właściwościami szkieł nimi domieszkowanych. Porównano<br />

układy domieszkowanych szkieł laserowych bazujących na<br />

różnych tlenkach, fluorkach oraz siarczkach (i rodziny takich szkieł).<br />

Podkreślono optymalne cechy jakimi powinny charakteryzować się<br />

idealne szkła laserowe dla konkretnych zastosowań.<br />

Słowa kluczowe: szkła optyczne, fotonika, szkła laserowe, aktywne<br />

jony domieszki szkła, fotoabsorpcja w szkle, fotoemisja w szkle,<br />

emisja stymulowana, wzmocnienie optyczne, czas życia fluorescencji,<br />

szkła laserowe tlenkowe, fluorkowe, siarczkowe<br />

BONIKOWSKI Ł., TARIOV A.: The Fast Alghoritm of Discrete<br />

Gabor Transform<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 57<br />

In this work the fast algorithm of discrete Gabor transform (DGT) is<br />

presented. In comparison with well-known DGT algorithms based on<br />

biorthogonal dual windows the offered algorithm requires fower arithmetical<br />

operations in case of a high-resolution in time. It is known that<br />

DGT allows changing accuracy of time-frequency signal representation<br />

with the help of compromise between accuracy of representation<br />

of this signal in time and in frequency. As resolution of signal representation<br />

can be controlled, also the computational cost (number of<br />

arithmetical operations) of proposed algorithm is changed. However,<br />

even in the worst case the computational cost of presented algorithm<br />

is twice smaller than computational cost of nonoptimized version of<br />

this transform.<br />

Keywords: fast Discrete Gabor Transform Alghoritms, computing<br />

DGT coefficients via a matrix method, DGT computational cost reduction<br />

through the matrix decomposition<br />

STOLARSKI P., MĄKA T., DZIURZAŃSKI P.: Flexible packet<br />

scheduling algorithm utilization for on-chip networks<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 62<br />

A new scheduling QoS algorithm dedicated for Network on Chips is<br />

proposed. It offers the possibility of adapting the scheduling packages<br />

dynamically which influences the order of transmission. This possibility<br />

allows us to change the obtained delays of various traffic<br />

classes. The provided experimental results confirm the assets of the<br />

proposed method in comparison with other techniques implemented<br />

in the same platform in the considered range of applications.<br />

Keywords: Networks on Chips, Quality of Service, dynamic priority<br />

ROMANIUK R.: Glasses for photonics. Part 9. Kinds of laser<br />

glasses<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 69<br />

The paper, which is the ninth part of a cycle on glasses for photonics,<br />

is a concise review of the most frequently used kinds of active laser<br />

glasses doped with rare earth ions. There are presented kinds of used<br />

rare earth ions together with their characteristics and properties of<br />

glasses doped with these ions. There are compared glass systems<br />

with rare earths based on oxides, fluorides and sulfides (and related<br />

systems). The emphasis is on optimal features of ideal laser glasses<br />

required for various applications.<br />

Keywords: optical glasses, photonics, laser glasses, optical active<br />

dopant ions in glass, photo absorption in glass, photoemission in<br />

glass, stimulated emission, optical amplification, fluorescence lifetime,<br />

oxide, fluoride and sulfide laser glasses<br />

4 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Streszczenia artykułów • Summaries of the articles<br />

BIELECKI W., KRASKA K.: Badania lokalności aplikacji równoległych<br />

bazujących na tworzeniu niezależnych wątków obliczeń<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 74<br />

Efektywne wykorzystanie hierarchii pamięci wymaga od programów<br />

równolegle przetwarzających wydzielone sekwencje operacji dobrej<br />

lokalności danych. W artykule przedstawiono analizę i badania eksperymentalne<br />

lokalności danych L1D Cache dla trzech wybranych<br />

przypadków programów, w których przy użyciu metody wyznaczania<br />

niezależnych wątków obliczeń [1] zostały wydzielone niezależne wątki<br />

obliczeń, przetwarzane w pętlach programowych. Rozważane przypadki<br />

zostały zaimplementowane w języku C++, przydzielone do równoległych<br />

wątków za pomocą dyrektyw OpenMP i wykonane na<br />

docelowej architekturze Intel SMP. Zaprezentowano zastosowanie<br />

programowego analizatora wydajności Intel® VTune Performance<br />

Analyzer do zgromadzenia metryk i oceny lokalności danych programów<br />

równoległych. Na podstawie uzyskanych wyników wyprowadzono<br />

zalecenia dla programistów, aby tworzone przez nich<br />

oprogramowanie cechowała dobra lokalność danych.<br />

BIELECKI W., KRASKA K.: Experimental studies on data locality<br />

of parallel applications consisting of synchronization-free<br />

threads of computations<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 74<br />

The effective use of hierarchical memory for parallel programs performing<br />

computations in slices requires good data locality. Analysis<br />

and experimental studies on data locality in L1D Cache for three selected<br />

cases of parallel programs representing synchronization-free<br />

threads of computations extracted by means on the method described<br />

in [1], are presented in the paper. The considered cases were implemented<br />

in C++, assigned to parallel threads by means of OpenMP directives<br />

and executed on a target Intel SMP architecture. The usage<br />

of the software analysis tool Intel® VTune Performance Analyzer<br />

to collecting and evaluating data locality metrics is presented. Finally,<br />

recommendations for software developers are concluded to develop<br />

numerical applications with good data locality metrics.<br />

Keywords: data locality, parallel processing, compilers, analysis tools<br />

Słowa kluczowe: lokalność danych, przetwarzanie równoległe, kompilatory,<br />

narzędzia analizy lokalności danych<br />

GRABIEC W., KANIA D.: Wykorzystanie elementu XOR w syntezie<br />

logicznej przeznaczonej dla programowalnych struktur CPLD<br />

typu PAL<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 82<br />

W artykule przedstawiono koncepcję syntezy logicznej dla matrycowych<br />

struktur CPLD. Istotą zaproponowanego rozwiązania opartego<br />

na tzw. dekompozycji kolumnowej, jest wykorzystanie elementu XOR<br />

występującego w blokach logicznych typu PAL większości oferowanych<br />

struktur CPLD. Główną ideą proponowanego modelu dekompozycji<br />

jest zagadnienie poszukiwania dopełnień wzorców kolumn<br />

matrycy podziałów opisującej funkcję logiczną. W procesie poszukiwania<br />

dopełnień wzorców wykorzystano oryginalną metodę kolorowania<br />

wierzchołków grafu niezgodności i dopełnień kolumn matrycy<br />

podziałów.<br />

GRABIEC W., KANIA D.: Using XOR element for logic synthesis<br />

of the PAL-based Complex Programmable Devices<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 82<br />

This paper presents conception of logic synthesis for CPLDs. Proposed<br />

solution bases on column decomposition. The main idea of presented<br />

logic synthesis based on utilization XOR gates in CPLDs. In<br />

proposed conception of logic synthesis we seek of the complement<br />

column patterns in partition matrix. This is main idea for utilization<br />

XOR gates in PAL-based logic blocks.<br />

Keywords: logic synthesis, decomposition, technology mapping<br />

Słowa kluczowe: synteza logiczna, dekompozycja, odwzorowanie<br />

technologiczne<br />

ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Estymacja parametrów modelu<br />

Danga tranzystora MOS<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 87<br />

Praca dotyczy problematyki estymacji parametrów modelu Danga<br />

tranzystora MOS z wykorzystaniem programu MODEL EDITOR, występującego<br />

w pakiecie oprogramowania PSPICE. Na przykładzie arbitralnie<br />

wybranego typu tranzystora MOS zbadano wpływ doboru<br />

liczby oraz rozmieszczenia punktów pomiarowych na charakterystykach<br />

tranzystora, na uzyskane wartości parametrów rozważanego<br />

modelu. Przeprowadzono również estymację parametrów rozważanego<br />

w pracy tranzystora w oparciu o jego dane katalogowe.<br />

Słowa kluczowe: estymacja, MODEL EDITOR, MOS, PSPICE<br />

MANUKOVA-MARINOVA A., DIMOV V., LEVI A., STEPHANOV D.:<br />

Testowanie bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />

wycieraczki szyby przedniej samochodu<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 91<br />

Opisane są metody kontroli i analizy modułu elektronicznego<br />

sterowania silnika uruchomiajacego wycieraczki szyby przedniej<br />

samochodu osobowego. Moduł sterowania jest zaprojektowany do<br />

produkcji technologią bezołowiową. Celem artykułu jest<br />

przedstawienie wyników testów walidacji produktu i zgodność<br />

procesów przed urchomieniem produkcji masowej. Wszystkie testy<br />

i analizy są wykonane zgodnie z wymaganiami normy sterowania<br />

jakości w przemyśle samochodowym - ISO/TS 16949 oraz normy<br />

zgodności wyrobów elektronicznych IPC A610-D.<br />

Słowa kluczowe: elektronika samochodowa, testowanie, analiza,<br />

przekrój szlifowany, profile lutowania, lutowanie na fali, lutowanie<br />

selektywne<br />

ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Parameters estimation of the Dang<br />

model of MOS transistor<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 87<br />

The paper deals with a problem of estimation of the Dang model parameters<br />

of MOSFET, using a specialized program MODEL EDITOR,<br />

included in the PSPICE software package. Influence of the number<br />

and the distribution of the MODEL EDITOR input data of the arbitrarily<br />

chosen MOSFET on the results of estimation, has been examined.<br />

Estimation of the model parameters based on the transistor catalogue<br />

measuring data has been also performed.<br />

Keywords: estimation, MODEL EDITOR, MOS, PSPICE<br />

MANUKOVA-MARINOVA A., DIMOV V., LEVI A., STEPHANOV D.:<br />

Lead Free Electronic Module Test Research for Motion Control of<br />

Cars Front Windscreen Wipers<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 91<br />

Test control methods and electronic system analysis of an electronic<br />

system for operating front windscreen wipers of a car have been<br />

described. The module is designed for production based completely<br />

on lead-free technologies. The aim of this paper is to present product<br />

validation tests and production process adaptability before starting<br />

mass production. All tests and analyses are in compliance with<br />

ISO/TS 16949 quality standards and requirements in the automobile<br />

industry, and IPC A610-D electronic products reliability standards.<br />

Keywords: reflow profile, solder-wave, selective solder, polished<br />

slash, analysis, car electronics<br />

Dalszy ciąg streszczeń artykułów na 68 str.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 5


Przekształtniki energoelektroniczne z elementami<br />

z węglika krzemu<br />

dr inż. MIECZYSŁAW NOWAK, dr inż. JACEK RĄBKOWSKI,<br />

prof. dr hab. inż. ROMAN BARLIK<br />

Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Sterowania i Elektroniki Przemysłowej<br />

Do budowy przekształtników energoelektronicznych stosowano<br />

dotychczas przyrządy półprzewodnikowe mocy, takie<br />

jak diody, tyrystory czy tranzystory, wykonywane bez wyjątku<br />

z wykorzystaniem pastylek krzemowych. Parametry i właściwości<br />

użytkowe tych przyrządów, a w szczególnie klasy napięciowe,<br />

obciążalności prądowe, dopuszczalne temperatury<br />

struktury półprzewodnikowej osiągnęły już wartości ekstremalne,<br />

ograniczone fizycznymi właściwościami samego<br />

krzemu [2,3]. Dalszy postęp w rozwoju zarówno samych przyrządów<br />

półprzewodnikowych, jak i w obszarze ich zastosowań<br />

zależy od osiągnięć w zakresie opanowania technologii<br />

wytwarzania nowych materiałów półprzewodnikowych. Prowadzone<br />

od wielu lat badania w tym zakresie koncentrują się<br />

na takich materiałach jak: arsenek galu (GaAs), azotek galu<br />

(GaN), węglik krzemu (SiC) i diament [2-4].<br />

Za najbardziej zaawansowane należy uznać prace nad<br />

przyrządami z węglika krzemu. W chwili obecnej technologia<br />

wytwarzania i procesów obróbki tego materiału jest na tyle<br />

udoskonalona, że pozwala na seryjną produkcję przyrządów<br />

półprzewodnikowych o powtarzalnych parametrach, których<br />

wartości mogą budzić zainteresowanie także z punktu widzenia<br />

zastosowań energoelektronicznych. Dotyczy to głównie<br />

unipolarnych diod Schottky’ego z węglika krzemu (SiC Schottky<br />

Barrier Diode) [12-14], które są już dostępne na zasadach<br />

komercyjnych. Realne perspektywy komercjalizacji rysują się<br />

także w odniesieniu do tranzystorów JFET [11,13], a także<br />

w nieco mniejszym stopniu do tranzystorów bipolarnych.<br />

W artykule przedstawiono wybrane wyniki prac badawczych<br />

prowadzonych w ramach jednego z zadań wchodzących<br />

w skład ogólnopolskiego Projektu Badawczego<br />

Zamawianego Nowe technologie na bazie węglika krzemu<br />

i ich zastosowania w elektronice wielkich częstotliwości,<br />

dużych mocy i wysokich temperatur, koordynowanego przez<br />

<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong> [6]. Celem<br />

tego zadania jest ocena ewentualnych korzyści, wynikających<br />

z zastosowania przyrządów z węglika krzemu do budowy<br />

układów energoelektronicznych. Po dokonaniu krótkiego<br />

przeglądu oferowanych przyrządów z tego materiału, przedstawiono<br />

wstępne wyniki badań symulacyjnych i eksperymentalnych<br />

dotyczących zastosowania diod Schottky’ego<br />

z węglika krzemu, jako diod zwrotnych w typowym falowniku<br />

napięcia PWM, współpracującym z trójfazową siecią prądu<br />

przemiennego o typowych parametrach (3 × 400 V/50 Hz) [1].<br />

Należy dodać, że prezentowany w niniejszym artykule materiał<br />

jest ściśle związany z wcześniejszymi publikacjami autorów<br />

stanowiąc ich rozwinięcie i kontynuację [5,8,10].<br />

Wybrane przyrządy półprzewodnikowe<br />

z węglika krzemu<br />

Spośród oferowanych komercyjnie przez nieliczne firmy przyrządów<br />

półprzewodnikowych z węglika krzemu za najbardziej<br />

interesujące z punktu widzenia zastosowań do budowy<br />

urządzeń energoelektronicznych są unipolarne diody Schottky’ego.<br />

Zawdzięczają to stosunkowo wysokim dopuszczalnym<br />

napięciom wstecznym (dziesięciokrotnie wyższym w porównaniu<br />

z ich krzemowymi odpowiednikami) i bardzo dobrym<br />

właściwościom dynamicznym, wynikającym głównie z budowy<br />

i zasady działania tego typu diod. Mniej istotne znaczenie<br />

praktyczne mają, przynajmniej na obecnym etapie wprowadzania<br />

węglika krzemu do energoelektroniki, takie właściwości<br />

jak z górą dwukrotnie (w porównaniu z krzemem)<br />

wyższa przewodność cieplna i możliwość pracy samej pastylki<br />

węglikowo- krzemowej w temperaturach rzędu 400ºC. Dostępne<br />

aktualnie diody Schottky’ego z SiC charakteryzują się<br />

napięciami wstecznymi w granicach 1500 V (zwykle w klasach<br />

napięciowych 300, 600 i 1200 V), prądami przewodzenia<br />

ok. 10...50 A, czasami trwania prądu wstecznego rzędu 25 ns<br />

oraz dopuszczalną temperaturą złącza 175ºC, wynikającą<br />

z dopuszczalnej temperatury materiału obudowy (TO 220)<br />

[12-14]. W tabeli 1. zamieszczono najważniejsze parametry<br />

przyrządów z węglika krzemu oferowanych przez producentów<br />

jak i opisywanych w [2,3].<br />

Tab. 1. Podstwowe parametry przyrządów z węglika krzemu<br />

Tabl. 1. The main parameters of the silicon - carbide devices<br />

Rodzaj<br />

przyrządu<br />

Dioda<br />

Schottkyego<br />

(w module<br />

z IGBT)<br />

Napięcie<br />

przebicia<br />

[v]<br />

Prąd przewodzenia<br />

[A]<br />

Typowe<br />

czasy<br />

przełączeń,<br />

częstotliwość<br />

1200 50 (360) ~0 ns<br />

Uwagi<br />

Element produkowany<br />

seryjnie<br />

przez kilka firm -<br />

najbardziej<br />

zaawansowany<br />

przyrząd w aplikacjach<br />

Element<br />

sygnalizowany<br />

Dioda warstwowa<br />

PiN 20 000 20 10 ns w publikacjach<br />

naukowo-technicznych<br />

Tranzystor<br />

bipolarny<br />

Tranzystor<br />

JFET<br />

Tranzystor<br />

MESFET<br />

Power MOS-<br />

FET<br />

1200 20 100 ns<br />

1500 10 100 ns<br />

100 2 1 GHz<br />

1200 10 150 ns<br />

J. w. wzmocnienie<br />

β ≈ 30<br />

Element oferowany<br />

jako próbki<br />

komercyjne;<br />

łącznik normalnie<br />

przewodzący -<br />

stosowany w<br />

układzie kaskody<br />

Element o ograniczonym<br />

zastosowaniu<br />

w<br />

energoelektronice<br />

Doniesienia publikacyjne<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 7


Dla porównania w tab. 2. przedstawiono wybrane parametry<br />

produkowanych seryjnie krzemowych przyrządów<br />

półprzewodnikowych, stosowanych obecnie do budowy<br />

urządzeń energoelektronicznych.<br />

Tab. 2. Podstawowe parametry przyrządów krzemowych<br />

Tabl. 2. The main parameters of the silicon devices<br />

Rodzaj<br />

przyrządu<br />

Napięcie<br />

przewodzenia<br />

Napięcie<br />

przebicia<br />

U R<br />

Napięcie<br />

przebicia<br />

U D<br />

Czas<br />

wyłączania<br />

Prąd<br />

pojedynczej<br />

struktury<br />

Dioda 1...3 V 10 kV 0 V 1...5 µs 5 kA<br />

Tyrystor 2...5 V 10 kV 10 kV 30 µs 5 kA<br />

Tyrystor<br />

wyłączalny<br />

MOSFET<br />

2...5 V<br />

I×0,003 Ω<br />

I×0,4 Ω<br />

0 V<br />

6 kV<br />

0 V<br />

0 V<br />

9 kV<br />

6 kV<br />

100 V<br />

1,2 kV<br />

15 µs<br />

0,2 µs<br />

IGBT 2...5 V 0 V 6 kV 2 µs<br />

1 kA<br />

3 kA<br />

200 A<br />

20 A<br />

50...150<br />

A/strukturę<br />

Warto podkreślić, że diody Schottky’ego, jako przyrządy<br />

unipolarne, wykorzystujące właściwości prostujące złącza<br />

metal - półprzewodnik (przeważnie złoto lub srebro), niezależnie<br />

od zastosowanego materiału półprzewodnikowego,<br />

charakteryzują się nieosiągalnymi w innych rodzajach diod,<br />

bardzo małymi ładunkami przejściowymi (Q rr < 100 nC), wynikającymi<br />

tylko z pojemności złącza, a nie z mechanizmu<br />

magazynowania ładunku mniejszościowego, występującego<br />

w okolicach złącza P-N diody standardowej. Cenną właściwością<br />

diody Schottky’ego z punktu widzenia procesów<br />

przełączania zachodzących w układach energoelektronicznych<br />

jest także i to, że nieznaczny pojemnościowy ładunek<br />

przejściowy Q rr nie zależy od prądu przewodzenia, jego pochodnej<br />

ani też od temperatury struktury półprzewodnikowej,<br />

a jedynie od pochodnej napięcia występującego na diodzie.<br />

Dynamiczne prądy wsteczne tych diod są wielokrotnie mniejsze<br />

w porównaniu z diodami krzemowymi i mają przebieg bardzo<br />

łagodny, bez dużych stromości przy zanikaniu, które<br />

w standardowych diodach są główną przyczyną zarówno<br />

przepięć komutacyjnych, jak i zakłóceń radioelektrycznych.<br />

Oprócz bardzo korzystnych właściwości dynamicznych, diody<br />

Schottky’ego z węglika krzemu, podobnie zresztą jak w przypadku<br />

tego typu diod z krzemu, charakteryzują się nieco<br />

niższymi napięciami progowymi (ok. 0,4...0,7 V). W praktyce<br />

jednak mimo większej niż w przypadku diod krzemowych<br />

przewodności elektrycznej węglika krzemu spadek napięcia<br />

w stanie przewodzenia diody Schottky’ego z SiC jest porównywalny<br />

z dioda krzemową.<br />

Ze względu na szerokie pasmo zabronione węglika krzemu,<br />

spadek napięcia na złączu półprzewodnikowym PN wykonanym<br />

na bazie tego materiału jest stosunkowo duży i wynosi ok.<br />

3...4 V [3]. Stąd też diody z węglika krzemu na obecnym etapie<br />

rozwoju technologii wytwarzania złączy o strukturze PIN (tzn.<br />

o zubożonej warstwie środkowej) mogą konkurować z diodami<br />

krzemowymi jedynie w zakresie napięć wstecznych powyżej<br />

5 kV. Z doniesień literaturowych wynika, że w warunkach laboratoryjnych<br />

dla diod tego typu udaje się osiągnąć wartości napięć<br />

wstecznych dochodzące nawet do 20 kV [2].<br />

Dotychczasowe postępy w zakresie technologii węglikowokrzemowej<br />

diod PIN nie są jednak satysfakcjonujące z punktu<br />

widzenia energoelektroniki. Podobna uwaga dotyczy różnych<br />

odmian polowych i bipolarnych tranzystorów i tyrystorów wykonywanych<br />

na podłożu SiC (SiC-IGBT; SiC-IGCT; SiC-MES-<br />

FET), których stosowanie może być rozważane głównie ze<br />

względu na odporność na wysoką temperaturę i ewentualnie<br />

na wysokie częstotliwości przełączeń (np. MESFET - 120 V;<br />

15 A; 1,5 GHz), co z uwagi na brak innych podzespołów towarzyszących<br />

o wysokiej dopuszczalnej temperaturze pracy, stosowanych<br />

w urządzeniach energoelektronicznych (dławiki,<br />

transformatory, kondensatory, aparatura stycznikowa), nie stanowi<br />

istotniejszych zalet. Bliski komercjalizacji jest tranzystor<br />

SiC-MOSFET o planowanych parametrach 1200 V/10 A. Sygnalizowane<br />

trudności technologiczne dotyczą w tym przypadku<br />

stabilizacji parametrów warstwy tlenkowej.<br />

Uzasadnione oczekiwania można wiązać z dostępnymi<br />

już komercyjnie tranzystorami typu SiC-JFET. Należą one<br />

jednak do przyrządów znajdujących się w stanie przewodzenia<br />

przy braku sygnału sterującego (tzw. elementy normalnie<br />

załączone). Inwersja sterowania zmusza do stosowania<br />

układów kaskodowych (szeregowe połączenie tranzystora<br />

SiC-JFET i tranzystora krzemowego MOSFET) lub nietypowych<br />

rozwiązań układów formujących sygnały bramkowe.<br />

Korzystną cechą tych elementów jest szybki wzrost rezystancji<br />

kanału w przypadku pojawienia się przetężenia, co<br />

może być wykorzystane w realizacji układów zabezpieczeń<br />

przeciwzwarciowych. Zastosowanie tranzystorów SiC-JFET<br />

w energoelektronice wymaga jednak pogłębionych badań<br />

głównie w celu wyłonienia takich topologii, w których tranzystory<br />

okażą się konkurencyjne z technicznego i ekonomicznego<br />

punktu widzenia [12].<br />

Model symulacyjny trójfazowego<br />

przekształtnika z diodami zwrotnymi<br />

z Si i SiC<br />

Diody Schottky’ego z węglika krzemu znalazły już zastosowanie<br />

w produkowanych na szeroką skalę jednofazowych impulsowych<br />

zasilaczach sieciowych o poprawionym<br />

współczynniku mocy (prostowniki PFC - ang. Power Factor<br />

Correction). W układach tych, dioda wchodząca w skład przekształtnika<br />

podwyższającego napięcie, dzięki małemu ładunkowi<br />

wstecznemu, wpływa na podwyższenie sprawności<br />

energetycznej zasilaczy. Z punktu widzenia globalnej ilości<br />

przekształcanej energii elektrycznej najistotniejszą rolę odgrywają<br />

układy energoelektroniczne o topologii mostka trójfazowego,<br />

pełniące funkcję niezależnych falowników napięcia<br />

w napędach prądu przemiennego, trójfazowych impulsowych<br />

prostowników PWM, urządzeń do poprawy jakości energii<br />

elektrycznej (filtry aktywne, kompensatory), a także sprzęgów<br />

sieci elektroenergetycznej z odnawialnymi źródłami (fotoogniwa,<br />

ogniwa paliwowe, elektrownie wiatrowe) lub magazynami<br />

energii elektrycznej (ogniwa elektrochemiczne,<br />

superkondensatory) [1]. W celu dokonania oceny ewentualnych<br />

korzyści wynikających z zastosowania przyrządów<br />

z węglika krzemu w układach energoelektronicznych przeprowadzono<br />

m.in. badania symulacyjne trójfazowego mostka<br />

sterowanego przy użyciu metody modulacji szerokości impulsów<br />

(PWM) w przypadku, gdy współpracuje on z siecią<br />

3×400 V/50 Hz (rys. 1). Przypadek współpracy z siecią pozwala<br />

na jednoznaczne określenie charakterystycznych stanów<br />

pracy przekształtnika, a tym samym sprecyzowanie<br />

ekstremalnych warunków obciążenia łączników półprzewodnikowych,<br />

dla których powinny zostać wyznaczone straty<br />

energii jako wynik badań opracowanego modelu symulacyjnego.<br />

Badaniom poddano dwie wersje układu, koncentrując<br />

8 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


się na wyznaczeniu strat energii w łącznikach półprzewodnikowych,<br />

zrealizowanych z zastosowaniem tranzystorów IGBT<br />

(1200 V/50 A) z diodami zwrotnymi w postaci standardowych<br />

ultraszybkich diod krzemowych PIN (1200 V/16 A), a w drugim<br />

przypadku - w postaci diod Schottky’ego z węglika<br />

krzemu (1200 V/10 A).<br />

Rys. 1. Schemat modelowanego trójfazowego przekształtnika PWM<br />

Fig. 1. Scheme of three - phase PWM converter investigated<br />

a)<br />

b)<br />

Symulacje przeprowadzono dla trzech charakterystycznych<br />

stanów pracy układu, w których występuje: pobór tylko mocy<br />

czynnej (cosφ =1; praca prostownikowa przekształtnika), tylko<br />

mocy biernej (cosφ =0 ind ; praca kompensatorowa) i zwrot<br />

mocy czynnej do sieci (cosφ =-1; praca falownikowa).<br />

Przebiegi wartości chwilowych napięć i prądów od strony<br />

linii prądu przemiennego uzyskane w wyniku symulacji, odpowiadające<br />

podanym warunkom pracy układu, przedstawiono<br />

na rys. 2.<br />

Model przekształtnika został opracowany z wykorzystaniem<br />

dedykowanego symulacji układów energoelektronicznych<br />

pakietu TCAD 7.0. Zastosowano przy tym proste modele<br />

łączników półprzewodnikowych, które w stanie przewodzenia<br />

zostały przedstawione jako szeregowe połączenie źródła<br />

o napięciu progowym U F0 (U T0 ) i rezystancji dynamicznej r F<br />

(r T ), a w stanie blokowania jako nieskończenie duża rezystancja.<br />

Na podstawie charakterystyk prądowo-napięciowych<br />

podanych w katalogach, zweryfikowanych badaniami eksperymentalnymi<br />

[7,9,10], przyjęto następujące parametry poszczególnych<br />

przyrządów półprzewodnikowych:<br />

• dioda krzemowa PIN: U F0 = {1,93 V (25ºC) ; 1,38 V (125ºC) };<br />

r F = {0,18 Ω (25ºC) ; 0,227 Ω (125ºC) ),<br />

• dioda Schottky’ego z węglika krzemu: U F0 = {0,98 V (25ºC) ;<br />

0,825 V (125ºC) }; r F = {0,12 Ω (25ºC) ; 0,253 Ω (125ºC) },<br />

• tranzystor IGBT: U T0 = {1,43 V (25ºC) ; 1,10 V (125ºC) };<br />

r T = {0,0717 Ω (25ºC) ; 0,0863 Ω (125ºC) }.<br />

Ze względu na to, że procesy łączeniowe, związane ze<br />

stratami energii, stanowiącymi znaczący udział w stratach<br />

całkowitych nie mogą być odwzorowane w przebiegach napięć<br />

i prądów modelu zaproponowano metodę uproszczoną,<br />

bazującą na sumowaniu kwantów energii traconej przy każdorazowym<br />

przełączaniu. Na podstawie szczegółowego studium<br />

informacji katalogowych, zweryfikowanych przez autorów badaniami<br />

eksperymentalnymi, których wyniki zamieszczono<br />

m.in. w [9,10], wyznaczono charakterystyki, umożliwiające<br />

wyliczanie wartości parametrów energii traconej przy włączaniu<br />

(E on ) i wyłączaniu (E off ) w funkcji prądu w chwili przełączania.<br />

Wartości chwilowe przebiegów prądów i napięć<br />

elementów wchodzących w skład łączników są w procesie symulacji<br />

wyznaczane przez program TCAD 7.0 (rys. 3).<br />

c)<br />

Rys. 2. Wartości chwilowe napięcia i prądu przemiennego jako<br />

wynik symulacji układu przy częstotliwości przełączeń 10 kHz<br />

i mocy 5 kVA dla: a) cosφ = 1 (prostownik); b) cosφ = 0 ind<br />

(kompensator); c) cosφ = -1 (falownik)<br />

Fig. 2. Voltage and current waveforms as simulation results at<br />

10 kHz switching frequency and 5 kVA output power: a) cosφ =<br />

1 (rectifier); b) cosφ = 0 ind (compensator); c) cosφ = -1 (inverter)<br />

Rys. 3. Przebiegi napięć i prądów ilustrujące pracę łączników w jednej<br />

gałęzi przekształtnika: a) schemat; b) przebiegi w jednym okresie,<br />

c) przebiegi w dwóch cyklach łączeniowych<br />

Fig. 3. Switching conditions in one the converter leg: a) scheme of<br />

the leg; b) voltage and current waveforms during one line period;<br />

c) waveforms in two switching cycles<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 9


Napięcie obwodu prądu stałego w modelowanym układzie<br />

zostało przyjęte na typowym dla przekształtników sieciowych<br />

PWM poziomie równym 700 V. Także wartość stromości prądu<br />

przy włączaniu tranzystora (ustalana w rzeczywistym łączniku<br />

poprzez dobór rezystancji w obwodzie bramkowym tranzystora<br />

IGBT) i jednocześnie wyłączaniu diody zwrotnej przyjęto<br />

jako stałą i równą 300 A/µs. Badania symulacyjne przeprowadzono<br />

dla dwóch skrajnych wartości temperatury struktur przyrządów<br />

półprzewodnikowych, a mianowicie 25 i 125ºC.<br />

Dokładny opis opracowanego modelu wraz z wykorzystanymi<br />

zależnościami analitycznymi, służącymi do obliczeń strat energii<br />

w stanach przewodzenia i w stanach dynamicznych, autorzy<br />

przedstawili w [8]. Wyniki badań dla reprezentatywnych<br />

warunków pracy układu (rys. 2) dla dwóch wersji łączników<br />

złożonych z tranzystora krzemowego IGBT i diody zwrotnej<br />

z krzemu oraz w drugim przypadku z węglika krzemu przedstawiono<br />

w postaci wykresów słupkowych na rys. 4.<br />

Z wykresów tych wynika, że w każdym z analizowanych<br />

przypadków moc strat w łączniku z diodą zwrotną z węglika<br />

krzemu jest zawsze mniejsza niż w przypadku zastosowania<br />

diody krzemowej.<br />

Model symulacyjny wykorzystano także do wyznaczenia<br />

całkowitych strat mocy w kompletnym mostku trójfazowym<br />

w warunkach znamionowej pracy prostownikowej (cosφ =1;<br />

S =5kVA) w funkcji częstotliwości przełączeń PWM (okres T s<br />

na rys. 3). Wyniki tego eksperymentu symulacyjnego, przedstawione<br />

na rys. 6, pozwalają na następujące stwierdzenia:<br />

a) przy częstotliwości przełączeń 20 kHz zastosowanie diod<br />

Schottky’ego z SiC powoduje zmniejszenie strat mocy ze 172<br />

do 139 W, co oznacza, że masa i objętość radiatora mogą być<br />

zredukowane o ok. 19%; b) przy zachowaniu stałego, wybranego<br />

arbitralnie poziomu strat mocy o wartości 150 W, zastosowanie<br />

diod z SiC w miejsce diod z Si pozwoli na zwiększenie<br />

częstotliwości łączeń z 16 do 22,5 kHz.<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 5. Całkowite straty mocy w sześciu łącznikach trójfazowego<br />

przekształtnika mostkowego w zależności od częstotliwości<br />

przełączeń (S = 5 kVA; cosφ = 1). Oznaczenia Si oraz Si + SiC jak<br />

na rys. 4<br />

Fig. 5. Total power losses in six switches of the three phase PWM<br />

converters versus the switching frequency (S = 5 kVA; cosφ = 1).<br />

Symbols like at Fig. 4<br />

Model eksperymentalny przekształtnika<br />

z diodami zwrotnymi z Si i SiC<br />

Rys. 4. Straty mocy w jednym łączniku tranzystorowo-diodowym:<br />

a) przy temperaturze złączy 25ºC; b) przy temperaturze złączy<br />

125ºC; Si - dioda zwrotna z krzemu; Si + SiC - dioda zwrotna z węglika<br />

krzemu<br />

Fig. 4. Calculated transistor and diode losses in one switch of the<br />

5 kVA PWM converter at the junction temperature of 25ºC; (a) and<br />

125ºC; (b) Si - silicon anti - parallel diode; Si + SiC anti-parallel<br />

diode with silicon carbide<br />

Zgodnie z przyjętą topologią reprezentatywnego przekształtnika<br />

trójfazowego PWM, przewidzianego do<br />

współpracy z siecią przy nastawianych wartościach<br />

współczynnika mocy w zakresie zmian kąta mocy φ od 0°<br />

do 180° el. opracowano stanowisko eksperymentalne, przewidziane<br />

do prowadzenie testów porównawczych dla oceny<br />

korzyści, wynikających z zastosowania dostępnych diod<br />

Schottky’ego z węglika krzemu. W projekcie modelu eksperymentalnego<br />

uwzględniono wcześniej podane parametry<br />

(moc pozorna S =5kVA, napięcie przemienne linii<br />

3×400 V, napięcie obwodu napięcia stałego 650 V, wyjściowa<br />

częstotliwość łączeń 10 kHz, tętnienie prądu przemiennego<br />

10% przy danej częstotliwością łączeń). Ogólny,<br />

ideowo- blokowy schemat stanowiska, przedstawiono na<br />

rys. 6. W proponowanej strukturze modelu eksperymentalnego<br />

przewidziano dwa zasadnicze podzespoły:<br />

• panel z układem przekształtnika i obwodami silnoprądowymi<br />

oraz koniecznymi sprzęgami sterująco-pomiarowymi,<br />

10 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Rys. 6. Schemat ideowo-blokowy stanowiska do badań eksperymentalnego trójfazowego przekształtnika PWM zbudowanego z łączników<br />

zawierających diody zwrotne z krzemu i z węglika krzemu<br />

Fig. 6. General scheme of the laboratory setup with the PWM three phase converter built using silicon and silicon carbide anti-parallel diodes<br />

• mikrokontroler dSPACE 1103 we współpracy z środowiskiem<br />

rozwojowym PC (host) z implementowanym programem<br />

sterowania.<br />

Centralnym podzespołem stanowiska z punktu widzenia prowadzonych<br />

eksperymentów jest wyróżniony na rys. 7 przekształtnik<br />

PWM, który zawiera sześć dwukierunkowych<br />

łączników półprzewodnikowych umieszczonych na wspólnym<br />

radiatorze. Każdy z łączników zbudowany jest z tranzystora<br />

i diody zwrotnej. W podstawowym programie badań przewidziano<br />

pomiary strat mocy oraz rozkładu temperatur z możliwością<br />

porównywania wyników dla dwóch wariantów:<br />

pierwszego - tradycyjnego, w którym tranzystory IGBT<br />

współpracują z diodami krzemowymi typu PIN oraz drugiego<br />

w którym zostaną zastosowane diody Schottky’ego z węglika<br />

krzemu. Zgodnie z przyjętą metodyką badań porównawczych<br />

w stanowisku przewidziano możliwość łatwej wymiany diod<br />

z zachowaniem radiatora, a także ewentualną wymianę radiatora<br />

tak, aby dopasować jego wymiary i masę do występujących<br />

strat mocy. Radiator wraz z łącznikami jest tak<br />

usytuowany, by można było dokonywać obserwacji oscyloskopowych<br />

wybranych prądów i napięć, a także obserwacji<br />

i pomiarów rozkładu temperatur poszczególnych elementów<br />

półprzewodnikowych (przy użyciu kamery termowizyjnej). Do<br />

precyzyjnego pomiaru jakości energii oraz sprawności przekształtnika<br />

w obu badanych wersjach przewidziano precyzyjny<br />

analizator mocy typu NORMA. Przekształtnik jest zasilany<br />

dwustronnie w taki sposób, by możliwa była praca z dwukierunkowym<br />

przepływem energii (praca prostownikowa i falownikowa).<br />

Zasilacz w obwodzie napięcia stałego, poza<br />

zapewnieniem odpowiedniej mocy dla obu kierunków<br />

przepływu energii ma zagwarantować stabilizację napięcia<br />

i zapewniać jego nastawianie w zakresie 600...700 V). Dla<br />

bezpieczeństwa w obwodzie napięcia stałego przewidziano<br />

wyłącznik ręczny o zwielokrotnionych stykach oraz kondensator<br />

(C d ) o pojemności 160 µF. Dodatkowo, w celu zmniejszenia<br />

indukcyjności doprowadzeń do łączników i ograniczenia<br />

Tab. 3. Zestawienie elementów części silnoprądowej modelu eksperymentalnego<br />

przekształtnika<br />

Tabl. 3. Main circuit elements of the experimental model<br />

Element/zespół Typ/wykonanie Parametry Uwagi<br />

Tranzystor IGBT<br />

(T1…T6)<br />

Dioda krzemowa<br />

Pin (D1... D6)<br />

Dioda z węglika<br />

krzemu SBD<br />

(D1... D6)<br />

Radiator<br />

przekształtnika<br />

Dławiki<br />

w obwodzie ac<br />

(L1, L2, L3)<br />

Kondensatory dc<br />

Cd - C1, C2, C3<br />

BUP213<br />

( Siemens)<br />

DSEP12-<br />

12A(IYXS)<br />

C2D10120<br />

(Cree)<br />

Radiator<br />

aluminiowy<br />

o wymiarach<br />

190 x 100 x 40<br />

(mm)<br />

Dławiki z rdzeniem<br />

z blach<br />

krzemowych<br />

wykonane wg<br />

projektu własnego<br />

-<br />

U CE = 1200 V;<br />

I C = 32 A;<br />

T jmax = 150°C<br />

U RRM = 1200 V;<br />

I F = 15 A<br />

T rr = 40 ns<br />

U RRM = 1200 V;<br />

I F = 10 A<br />

Odpowiednik<br />

radiatora<br />

PR163/100/Al<br />

(Alutronic)*<br />

Indukcyjność<br />

przy prądzie<br />

10 A - 8 mH<br />

- 160 µF/900 V<br />

- WIMA<br />

1 µF/1000 V<br />

Wymiennie<br />

z diodami SiC<br />

SBD<br />

Wymiennie<br />

z diodami PiN<br />

-<br />

W konstrukcji<br />

przewidziano<br />

możliwość<br />

chłodzenia<br />

wymuszonego<br />

*) Parametry odpowiednika (PR163/100/Al (Alutronic)) zastosowanego<br />

w eksperymencie radiatora.<br />

-<br />

-<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 11


przepięć łączeniowych, bezpośrednio na szynach napięcia<br />

stałego w obrębie konstrukcji przekształtnika przy grupie<br />

łączników tworzących gałęzie fazowe przewidziano po jednym<br />

kondensatorze bezindukcyjnym (C1...C3) o pojemności 1 µF.<br />

Wyjście trójfazowe przekształtnika jest za pośrednictwem<br />

dławików oraz łącznika z zabezpieczeniem zwarciowym, doprowadzane<br />

do sieciowego trójfazowego transformatora separacyjnego<br />

o przekładni napięciowej równej 1. Wartość<br />

indukcyjności L dławików sprzęgających może być nastawiana<br />

w przedziale 5...15 mH poprzez zmianę długości szczeliny<br />

powietrznej w budowanym stanowisku. Zestawienie<br />

użytych do budowy modelu elementów podano w tabeli 3.<br />

Zasadniczy rdzeń układu sterowania zrealizowano wykorzystując<br />

kartę systemu mikroprocesorowego DS1103 firmy<br />

DSPACE, która jest przewidziana do pracy w superszybkich,<br />

o bardzo dużej liczbie zmiennych, cyfrowych systemach sterowania<br />

a także do symulacji w czasie rzeczywistym. Doskonale<br />

nadaje się do realizacji zaawansowanych algorytmów<br />

sterowania przekształtników energoelektronicznych, zapewniając<br />

odpowiednią szybkość przetwarzania sygnałów przy<br />

wykonywaniu operacji wymaganych w przypadku sterowania<br />

wykonanego modelu eksperymentalnego. Zastosowana<br />

wersja karty zawiera m.in. procesor główny Power PC<br />

450 MHz i procesor pomocniczy TMS 320F240.<br />

Zbudowany model eksperymentalny, łącznie z układem<br />

sterowania został uruchomiony i wstępnie przetestowany.<br />

Poprawność jego działania ilustrują oscylogramy przedstawione<br />

na rys. 7.<br />

Rys. 7.Oscylogramy napięcia i prądu wybranej fazy przekształtnika<br />

Fig. 7. Scope records of the ac voltage (upper channel) and current<br />

in one converter phase<br />

Podsumowanie<br />

Najbardziej obiecującym z punktu widzenia zastosowań energoelektronicznych,<br />

dostępnym komercyjnie przyrządem<br />

półprzewodnikowym z SiC, jest dioda Schottky’ego, którą<br />

można wykorzystać w łącznikach hybrydowych, złożonych<br />

z tranzystorów IGBT i diod zwrotnych z SiC. Dzięki pomijalnie<br />

małej wartości prądu wstecznego diod Schottky’ego z<br />

węglika krzemu, których napięcia wsteczne osiągają już wartości<br />

1,5 kV, łączniki energoelektroniczne z tymi elementami<br />

wykazują małe łączeniowe straty energii. Opracowany model<br />

symulacyjny przekształtnika umożliwia wyznaczenie strat<br />

energii w jego elementach półprzewodnikowych w warunkach<br />

formowania napięcia i prądu sinusoidalnego przy współpracy<br />

układu z siecią prądu przemienne o typowych parametrach<br />

(3×400 V/50 Hz). Wyniki obliczeń strat mocy dla dwóch wariantów<br />

(z diodami Si oraz SiC) budowy przekształtnika wskazują,<br />

że należy oczekiwać blisko dwudziestoprocentowej<br />

redukcji tych strat w przypadku zastąpienia diod krzemowych<br />

PIN diodami Schottky’ego z węglika krzemu. Stwarza to<br />

możliwość zwiększenia częstotliwości przełączeń (redukcja<br />

wymiarów elementów biernych przekształtnika), ograniczenia<br />

zaburzeń akustycznych, poprawę jakości przebiegów wartości<br />

chwilowych prądów i napięć a także zmniejszenie gabarytów<br />

całego urządzenia (wzrost wskaźnika mocy właściwej<br />

urządzenia). Na obecnym etapie rozwoju technologii przyrządów<br />

z węglika krzemu (jak i podzespołów towarzyszących)<br />

korzystne właściwości termiczne tego materiału (odporność<br />

na wysokie temperatury, duża przewodność cieplna) nie mają<br />

przynajmniej na razie w odniesieniu do najczęściej spotykanych<br />

urządzeń energoelektronicznych, istotniejszego znaczenia<br />

praktycznego. Opracowany model eksperymentalny<br />

o mocy S =5kVA pozwoli na badania porównawcze, ukierunkowane<br />

na pomiary jakości energii i jej strat, w przypadku<br />

zastosowania łączników półprzewodnikowych złożonych<br />

z tranzystora krzemowego IGBT i standardowej diody zwrotnej<br />

typu PIN oraz diody Schottky’ego z węglika krzemu.<br />

Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />

2007-2010 jako Projekt Badawczy Zamawiany<br />

Literatura<br />

[1] Nowak M., Barlik R.: Poradnik inżyniera energoelektronika. WNT,<br />

Warszawa, 1998.<br />

[2] Kolessar R.: Compact Modeling of Si and SiC Power Diodes.<br />

Doctoral Dissertation. Royal Institute of Technology, Department<br />

of Electrical Engineering Electrical Machines and Power Electronics.<br />

Stockholm, Sweden 2001.<br />

[3] Elasser A., Kheraluwala M. H., Ghezzo M., Steigerwald R. L.,<br />

Evers N. A., Kretchmer J., Chow T. P.: A Comparative Evaluation<br />

of New Silicon Carbide Diodes for Power Electronics Applications.<br />

IEEE Transactions on Industry Applications, vol. 39, no 4,<br />

July/August 2002, pp. 915-921.<br />

[4] Kolar J. W.: Use of SiC Components in Power Electronics System<br />

- Overview. SiC User Forum - Potential of SiC in Power Electronics.<br />

14-15 March 2006, Nuremberg, Germany.<br />

[5] Barlik R., Rąbkowski J., Nowak M.: Przyrządy półprzewodnikowe<br />

z węglika krzemu i ich zastosowania w energoelektronice. Przegląd<br />

Elektrotechniczny, R. 82, nr 11/2006, ss.1-8.<br />

[6] Szmidt J., Konczakowska A., Tłaczała M., Lisik Z., Łuczyński Z.,<br />

Olszyna A.: Nowe technologie na bazie węglika krzemu i ich zastosowania<br />

w elektronice wielkich częstotliwości, dużych mocyi<br />

wysokich temperatur. VI Krajowa Konferencja Elektroniki,<br />

Darłówko Wschodnie, 11-13 czerwca 2007, tom 1/2 , s. 67.<br />

[7] Oleksy M., Janke W.: SiC and Si Schottky Diodes Thermal Characteristics<br />

Comparison. International Conference Microtechnology<br />

and Thermal Problems in Electronics. Microtherm 2007,<br />

June 2007, Łódź, s. 117-122.<br />

[8] Barlik R., Nowak M., Rąbkowski J.: Symulacyjne studium projektowe<br />

trójfazowego przekształtnika PWM z zastosowaniem łączników z<br />

węglika krzemu. VII Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko<br />

Wschodnie, 02-04 czerwca 2008, materiały specjalne, s. 250-263.<br />

[9] Nowak M., Barlik R., Rąbkowski J.: Metodyka badań porównawczych<br />

krzemowych i węglikowo- krzemowych łączników<br />

mocy. <strong>Elektronika</strong>, Nr 7-8, 2008.<br />

[10] Nowak M., Rąbkowski J., Barlik R.: Measurement of Temperature<br />

Sensitive Parameter Characteristics of Semiconductor Silicon<br />

and Silicon - Carbide Power Devices. 13-th International<br />

Power Electronics and Motion Control Conference, 1-3 September<br />

2008, Poznań, IEEE Catalog Number CFP0834A-CDR;<br />

ISBN 978-1-4244-1742-1.<br />

[11] Rąbkowski J.: Silicon carbide JFET - fast, high voltage semiconductor<br />

device for power electronics applications. Przegląd<br />

Elektrotechniczny (artykuł przekazany do druku).<br />

[12] www.infineon.com<br />

[13] www.cree.com<br />

[14] www.rsc.rockwell.com./siliconcarbide/index.html<br />

12 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Ocena parametrów statycznych<br />

diod Schottky’ego z SiC<br />

dr inż. ARKADIUSZ SZEWCZYK, prof. dr hab. inż. ALICJA KONCZAKOWSKA,<br />

mgr inż. BARBARA STAWARZ-GRACZYK<br />

Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki<br />

Prowadzone od wielu lat prace nad technologią wytwarzania<br />

elementów półprzewodnikowych z węglika krzemu (SiC) zakończyły<br />

się sukcesem w zakresie produkcji diod Schottky’ego<br />

z SiC. Dostępne są komercyjne diody Schottky’ego<br />

produkcji, np. firmy CREE i firmy INFINEON. Zgodnie z informacjami<br />

producentów diody te charakteryzują się pomijalnie<br />

małym wstecznym prądem przejściowym przy wyłączaniu<br />

diody, stosunkowo małym spadkiem napięcia w stanie przewodzenia<br />

diody Schottky’ego z SiC w porównaniu z diodą<br />

krzemową PIN. W kartach katalogowych przytaczane są charakterystyki<br />

statyczne przy polaryzacji diod Schottky’ego<br />

w kierunku przewodzenia i zaporowym, które potwierdzają<br />

wyżej przytoczone właściwości [1,2].<br />

Celem pomiarów było sprawdzenie powtarzalności parametrów<br />

statycznych diod Schottky’ego wytworzonych przez<br />

CREE i INFINEON. Do badań wybrano typy diod Schottky’ego,<br />

dla których maksymalne napięcie wsteczne wynosi 600 V,<br />

różniących się średnim prądem przewodzenia. Badania przeprowadzono<br />

dla 3 prób diod Schottky’ego produkcji CREE -<br />

CSD02060A (29), CSD04060A (32), CSD10060A (10) oraz 2.<br />

prób produkcji INFINEON - SDT04S60 (27), SDT12S60 (10).<br />

W nawiasach podano liczby mierzonych elementów. Wstępne<br />

wyniki pomiarów charakterystyk statycznych diod Schottky’ego<br />

były prezentowane w czasie VII Krajowej Konferencji Elektroniki<br />

(2008 r.) na Sesji specjalnej poświęconej PBZ SiC.<br />

Charakterystyki statyczne diod<br />

Schottky’ego mierzone przy polaryzacji<br />

diody w kierunku przewodzenia<br />

Pomiary charakterystyk diod Schottky’ego, mierzonych przy<br />

polaryzacji w kierunku przewodzenie I D = f(U D ), przeprowadzono<br />

w typowym układzie pomiarowym przy pobudzeniu<br />

przebiegiem sinusoidalnym, przy wymuszonym chłodzeniu<br />

elementu w temperaturze pokojowej [3,4]. Pomiary prądu I D<br />

dla każdej diody danego typu wykonano w zakresie napięć<br />

U D od 0...1,6 V. Na rys. 1 przedstawiono wyniki pomiarów<br />

wszystkich typów diod.<br />

Stwierdzono, że dla danego typu diody, charakterystyki nie<br />

wykazują istotnych różnic, dlatego na rys. 1. wykreślono pojedyncze<br />

krzywe I D = f(U D ), średnie z wszystkich pomiarów,<br />

czyli średnie z próby dla danego typu diody. Charakterystyki<br />

te są zgodne z prezentowanymi w kartach katalogowych producentów<br />

[1,2].<br />

Z wyników pomiarów, zgodnie z wytycznymi zawartymi w<br />

normie PN-89/T-01202, oszacowano nachylenia charakterystyk,<br />

które oznaczono r d i wartości napięcia progowego oznaczone<br />

V T . Oszacowane wartości również nie wykazują<br />

istotnych różnic, przykładowo na rys. 2. i rys. 3. pokazano<br />

wartości r d [W] i V T [V] oszacowane z wyników pomiarów charakterystyk<br />

I D = f(U D ) diod Schottky’ego typu CSD04060<br />

(CREE) i SDT04S60 (INFINEON).<br />

W tabeli 1. zestawiono estymatory wartości średniej – r d ,<br />

V – T i odchylenia standardowego σ γd , σ VT oszacowane z wyników<br />

pomiarów badanych prób diod Schottky’ego.<br />

Jak widać z zestawionych danych, oszacowane wartości<br />

V – T są około 0,9 V, co jest zgodne z założeniami teoretycznymi<br />

dotyczącymi diod Schottky’ego z SiC. Odchylenie standardowe<br />

z próby jest bardzo małe - rzędu 10 -3 , co świadczy<br />

o bardzo małych rozrzutach pomierzonych wartości w obrębie<br />

danego typu diody. Natomiast oszacowane wartości – r d są<br />

różne w zależności od typu diody Schottky’ego i wykazują zależność:<br />

mniejszy średni prąd przewodzenia I D , większa wartość<br />

– r d .<br />

Wartości r d i V T diod Schottky’ego nie są podawane w danych<br />

katalogowych, można je określić z charakterystyk danego<br />

typu diody zamieszczanych w danych katalogowych<br />

producenta.<br />

Rys. 1. Charakterystyki prądu przewodzenia I D [A] (średnie z próby)<br />

w zależności od napięcia przewodzenia U D [V] dla 5 prób diod<br />

Schottky’ego<br />

Fig. 1. Forward characteristics (mean values) I D [A] vs U D [V] for 5<br />

samples of Schottky diodes<br />

Rys. 2. Oszacowane z pomiarów wartości r d i V T diod Schottky’ego<br />

typu CSD04060 (CREE)<br />

Fig. 2. Parameters r d and V T estimated from measurement data for<br />

CSD04060 diodes (CREE)<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 13


Rys. 3. Oszacowane z pomiarów wartości r d i V T diod Schottky’ego<br />

typu SDT04S60 (INFINEON)<br />

Fig. 3. Parameters r d and V T estimated from measurement data for<br />

SDT04S60 diodes (INFINEON)<br />

Rys. 4. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD02060A<br />

(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />

Fig. 4. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />

CSD02060 (CREE); bold line shows the mean value.<br />

Tab. 1. Wartości średnie i odchylenie standardowe z próby dla parametrów<br />

r d i V T oszacowanych dla badanych diod Schottky’ego oraz<br />

wartości oszacowane na podstawie danych katalogowych<br />

Tabl. 1. Mean values and standard deviation of the parameters r d<br />

and V T estimated from measurement data for tested Schottky<br />

diodes and values estimated from datasheets<br />

Typ diody<br />

CSD<br />

02060A<br />

CSD<br />

04060A<br />

CSD<br />

10060A<br />

SDT<br />

04S60<br />

SDT<br />

12S60<br />

estymator<br />

r- d [W] 0,224 0,135 0,064 0,158 0,053<br />

σ γd [W] 9,62•10 -3 8,98•10 -3 3,12•10 -3 5,14•10 -3 2,36•10 -3<br />

r d [W] 0,2758 0,135 0,059 0,197 0,049<br />

V- T [V] 0,930 0,906 0,893 0,905 0,882<br />

σ VT [V] 5,11•10 -3 13,36•10 -3 4,57•10 -3 7,91•10 -3 5,89•10 -3<br />

V T [V] 0,95 0,96 0,91 0,94 0,91<br />

Porównując dane oszacowane z wyników pomiarów i danych<br />

katalogowych można stwierdzić, że wartości r d są<br />

zbliżone i wykazują tą samą tendencję, natomiast „deklarowane”<br />

przez producenta wartości V T są zgodne z teoretycznymi<br />

i są większe od wartości średnich oszacowanych<br />

z pomiarów dla każdego typu diody Schottky’ego.<br />

Rys. 5. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD04060A<br />

(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />

Fig. 5. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />

CSD04060 (CREE); bold line shows the mean value<br />

Charakterystyki statyczne diod<br />

Schottky’ego mierzone przy polaryzacji<br />

diody w kierunku zaporowym<br />

Pomiary charakterystyk diod Schottky’ego I R = f(U R ), mierzone<br />

przy polaryzacji w kierunku zaporowym, przeprowadzono<br />

w typowym układzie pomiarowym [3,4]. Pomiary prądu<br />

I R dla każdej diody danego typu wykonano w zakresie napięć<br />

zaporowych U R od 0 do 800 V lub mniejszej wartości U R , tak<br />

aby nie przekroczyć maksymalnej wartości prądu wstecznego<br />

podanego w danych katalogowych dla danego typu diody. Na<br />

rys. 4, 5, 6, 7, 8 przedstawiono wyniki pomiarów wszystkich<br />

typów diod. Charakterystyki w obrębie każdego typu diody<br />

Schottky’ego są różne, w zależności od mierzonego egzemplarza<br />

diody.<br />

Rys. 6. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu CSD10060A<br />

(CREE), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />

Fig. 6. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />

CSD10060 (CREE); bold line shows the mean value<br />

14 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


jednak podkreślić, że wszystkie mierzone diody spełniają deklaracje<br />

producenta odnośnie wartości prądu I R , która przy<br />

U R = 600 V musi być mniejsza od wartości typowej (tab. 2).<br />

W celu dokonania oceny porównawczej badanych typów<br />

diod Schottky’ego, na rys. 9. zestawiono oszacowane średnie<br />

charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V].<br />

Z charakterystyk średnich przedstawionych na rys. 9. wynika,<br />

że diody SDT12S60 firmy INFINEON charakteryzują się<br />

najmniejszymi wartościami napięcia przebicia (rzędu 700 V),<br />

a diody CSD02060A firmy CREE największymi wartościami<br />

napięcia przebicia (większymi od 800 V).<br />

Rys. 7. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu SDT04S60 (IN-<br />

FINEON), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />

Fig. 7. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky diodes<br />

SDT04S60 (INFINEON); bold line shows the mean value<br />

Rys. 9. Charakterystyki średniego prądu wstecznego I R [A] w zależności<br />

od napięcia zaporowego U R [V] badanych diod<br />

Fig. 9. Reverse characteristics (mean values) I R [A] vs U R [V] for<br />

tested Schottky diodes<br />

Podsumowanie<br />

Rys. 8. Charakterystyki prądu wstecznego I R [A] w zależności od<br />

napięcia zaporowego U R [V] diod Schottky’ego typu SDT12S60 (IN-<br />

FINEON), linia pogrubiona wartość średnia z próby<br />

Fig. 8. Reverse characteristics I R [A] vs U R [V] for Schottky<br />

diodes SDT12S60 (INFINEON); bold line shows the mean value<br />

Jak widać z przedstawionych na rys. 4-8charakterystyk<br />

diod I R = f(U R ), przy polaryzacji diody w kierunku zaporowym,<br />

wszystkie charakterystyki różnią się w sposób istotny w obrębie<br />

danego typu diody, dla wartości napięć zaporowych powyżej<br />

600 V. Wyraźnie nie ma powtarzalności charakterystyk w tym<br />

zakresie polaryzacji. Największe rozrzuty charakterystyk występują<br />

dla diod typu CSD02060A i CSD04060A firmy CREE,<br />

najmniejsze do diod CSD10060A również firmy CREE. Należy<br />

Tab. 2. Wartości typowe I Rmax [mA]przy U R = 600 V badanych diod<br />

Schottky’ego deklarowane przez producentów [1,2]<br />

Tabl. 2. Typical values of the reverse current I Rmax [mA] at<br />

U R = 600 V for tested Schotky diodes declared by producers [1,2]<br />

Typ diody<br />

CSD<br />

02060A<br />

CSD<br />

04060A<br />

CSD<br />

10060A<br />

SDT<br />

04S60<br />

SDT<br />

12S60<br />

I Rmax [mA] 50 25 50 15 40<br />

Na podstawie przeprowadzonych pomiarów można stwierdzić,<br />

że badane diody Schottky’ego obu producentów wykazują powtarzalne<br />

parametry przy polaryzacji diod w kierunku przewodzenia.<br />

Wartości V T oszacowane na podstawie zmierzonych<br />

charakterystyk są rzędu 0,9 V, ale są mniejsze niż oszacowane<br />

z charakterystyk zamieszczonych w danych katalogowych<br />

producenta. Wartości r d są zgodne z danymi producenta.<br />

Podsumowując należy uznać, że charakterystyki diod Schottky’ego<br />

zmierzone przy polaryzacji diody w kierunku przewodzenia<br />

są w zasadzie zgodne z danymi producenta,<br />

iwobrębie danego typu diody wartości parametrów nie wykazują<br />

istotnych różnic. Natomiast przy polaryzacji w kierunku<br />

zaporowym charakterystyki badanych diod w obrębie danego<br />

typu diody Schottky’ego wykazują różnice, które stają się istotne<br />

po przekroczeniu napięcia zaporowego U R = 600 V.<br />

Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />

2007-2010 jako Projekt Badawczy Zamawiany.<br />

Literatura<br />

[1] Karty katalogowe elementów; CREE, Inc. www.cree.com/power<br />

[2] Karty katalogowe elementów; Infineon, http://www.infineon.com/<br />

[3] Badźmirowski K. i in.: Miernictwo elementów półprzewodnikowych<br />

i układów scalonych. WKiŁ, Warszawa 1984.<br />

[4] Januszewski S, Świątek H.: Miernictwo przyrządów półprzewodnikowych<br />

mocy. WKiŁ, Warszawa 1996.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 15


Wysokonapięciowa dioda z barierą Schottky’ego<br />

z węglika krzemu<br />

dr hab. inż. LECH DOBRZAŃSKI, mgr inż. KRZYSZTOF GÓRA,<br />

mgr inż. ANDRZEJ JAGODA, mgr ANDRZEJ KOZŁOWSKI, mgr BEATA STAŃCZYK,<br />

mgr KRYSTYNA PRZYBOROWSKA<br />

<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong>, Warszawa<br />

<strong>Instytut</strong> Technologii Materiałów <strong>Elektronicznych</strong> realizuje zadanie<br />

nr 1 w projekcie PBZ-MEiN-6/2/2006 Nowe technologie<br />

na bazie węglika krzemu i ich zastosowania w elektronice wysokich<br />

częstotliwości, dużych mocy i wysokich temperatur.<br />

Podstawowym zobowiązaniem <strong>Instytut</strong>u jest opracowanie<br />

technologii monokrystalizacji SiC oraz technologii wzrostu<br />

warstw epitaksjalnych dla potrzeb pozostałych uczestników<br />

projektu, a szczególnie dla realizatorów zadania drugiego,<br />

którzy są zobowiązani do wykonywania przyrządów półprzewodnikowych.<br />

Producent podłoży powinien kontrolować najważniejszy<br />

parametr, który ma decydujące znaczenie dla<br />

spełnienia podstawowych oczekiwań konstruktorów przyrządów<br />

wykonywanych z SiC. Wyższość węglika krzemu nad<br />

krzemem wynika z większej wartości elektrycznego pola krytycznego<br />

oraz z większej wartości przewodnictwa cieplnego.<br />

Głównym obszarem zastosowań SiC są wysokonapięciowe<br />

przyrządy mocy.<br />

W związku z tymi okolicznościami w ITME podjęto także<br />

wykonanie opracowania pod tytułem: Weryfikacja jakości wytworzonego<br />

w ITME węglika krzemu poprzez wykonanie i zbadanie<br />

parametrów wysokonapięciowej diody Schottky’ego.<br />

Nie ma metod charakteryzacji fizycznej materiału, których<br />

wyniki mają bezpośrednią interpretację w dziedzinie parametrów<br />

elektrycznych, szczególnie jeżeli chodzi o napięcie<br />

przebicia przyrządu, które jest uzależnione od struktury defektowej<br />

podłoża.<br />

Test funkcjonalny zaproponowany do wykonania w ITME<br />

wiąże się w istocie z opracowaniem technologii wysokonapięciowej<br />

diody i następnie z przeprowadzeniem badań statystycznych,<br />

mających wykazać, czy możliwa jest produkcja<br />

wysokonapięciowych przyrządów z tego materiału, z rozsądnym<br />

uzyskiem.<br />

W opracowaniu technologii przyrządu półprzewodnikowego<br />

jest wiele kroków przygotowawczych, z których najważniejsze<br />

to opracowanie technologii metalizacji kontaktów<br />

omowych, opracowanie metalizacji bariery Schottky’ego<br />

i opracowanie technologii trawień plazmowych (technika ICP<br />

RIE). Bardzo ważna jest także znajomość metod chemicznych<br />

trawienia, aktywacji i pasywacji powierzchni półprzewodnika.<br />

Ponadto potrzebne są techniki nakładania warstw<br />

dielektrycznych oraz opanowanie procesów utleniania termicznego<br />

SiC. Prace te wykonano w ITME w 2006 i 2007 r.<br />

Nie ma potrzeby dyskutowania ich obecnie, ponieważ istotne<br />

jest przede wszystkim, czy prowadzą do celu. W tej publikacji<br />

opisane zostaną jedynie zagadnienia konstrukcji diody, pomiary<br />

diod i będzie podana interpretacja wyników badań.<br />

Konstrukcja diody - problem<br />

zakończenia złącza<br />

Zjawisko przebicia złącza Schottky’ego należy rozpatrywać<br />

co najmniej w dwóch wymiarach przestrzennych. Trzeci wymiar<br />

nie musi być uwzględniony w obliczeniach, o ile dioda<br />

ma kształt koła o promieniu znacznie większym niż grubość<br />

warstw struktury półprzewodnikowej. W przypadku diod<br />

mających zastosowanie w tym projekcie pionowa struktura<br />

diody ma rozmiar maksymalny, który nie przekracza kilkunastu<br />

mikrometrów. Promień złącza Schottky’ego powinien<br />

być rzędu 150...200 µm.<br />

W miejscu, gdzie kończy się metalizacja Schottky’ego występuje<br />

koncentracja pola elektrycznego i tam zazwyczaj zaczyna<br />

się rozwijać zjawisko przebicia elektrycznego.<br />

W stosunku do idealizowanego przypadku, tzw. złącza<br />

płaskiego, które nie ma końca (jest to półpłaszczyzna) przebicie<br />

realnego złącza może wystąpić znacznie wcześniej.<br />

Spełnienie oczekiwania, że test funkcjonalny będzie miarodajną<br />

oceną jakości materiału, a nie będzie dostarczać informacji<br />

o opisanych tu zjawiskach drugorzędnych jest bardzo<br />

istotne. Oznacza to, że jakość konstrukcji i wykonania złącza<br />

musi być na poziomie profesjonalnym i wtedy jedynie można<br />

ocenić, czy materiał nadaje się do zastosowań profesjonalnych.<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 1.: Natężenie pola elektrycznego w rejonie zakończenia<br />

metalizacji Schottky’ego (a); gęstość prądu przebicia złącza Schottky’ego<br />

(b)<br />

Fig. 1.: Electric field distribution at the edge of Schottky metallization<br />

(a); breakdown current density of Schottky junction (b)<br />

16 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


a)<br />

a)<br />

b)<br />

b)<br />

Rys. 2.: Natężenie pola elektrycznego w rejonie zakończenia złącza<br />

Schottky’ego za pomocą płytki polowej (a); gęstość prądu przebicia<br />

złącza Schottky’ego zakończonego płytką polową (b)<br />

Fig. 2.: Electric field distribution in the region of field plate junction<br />

termination (a); breakdown current density at junction termination<br />

(b)<br />

Rysunek 1a. przedstawia symulację numeryczną zjawiska<br />

przebicia złącza Schottky’ego wykonaną za pomocą oprogramowania<br />

MEDICI.<br />

Cienka fioletowa linia wyznacza granicę styku metalizacji<br />

z półprzewodnikiem. Prostokątny obszar u góry z lewj strony obu<br />

rysunków jest to powietrze, którego właściwości elektryczne należy<br />

uwzględnić, aby obliczyć realny przypadek złącza leżącego<br />

na powierzchni półprzewodnika. Dla grubości warstwy półprzewodnika<br />

równej 10 µm, która jest domieszkowana na poziomie<br />

8•10 15 cm -3 obliczono wartość napięcia przebicia równą 320 V.<br />

Na rysunkach 2a i 2b przedstawiono wyniki symulacji zjawiska<br />

przebicia diody zakończonej tzw. płytką polową. Powierzchnię<br />

półprzewodnika pokryto warstwą dielektryka,<br />

w której wytrawiono okna. Metalizacja Schottky’ego styka się<br />

z półprzewodnikiem tylko w rejonie okna. Jej kraniec znajduje<br />

się jednak na powierzchni dielektryka. Polowe oddziaływanie<br />

elektrody odizolowanej od półprzewodnika - stąd pochodzi<br />

nazwa konstrukcji - płytka polwa (ang. field plate), powoduje<br />

korzystną zmianę rozkładu pola elektrycznego. Jak widać na<br />

rys. 2a największe natężenie pola występuje teraz w miejscu,<br />

gdzie kończy się metalizacja, a nie tam gdzie kończy się styk<br />

metalu z półprzewodnikiem. Rozkład gęstości prądu przebicia<br />

zobrazowany na rys. 2b jest teraz inny. Zjawisko przebicia występuje<br />

zarówno w miejscu, gdzie kończy się metalizacja<br />

(przebity jest także dielektryk), jak również w miejscu gdzie<br />

kończy się złącze Schottky’ego.<br />

To, który rejon zostanie przebity wcześniej zależy od kilku<br />

parametrów materiałowych i konstrukcyjnych płytki polowej<br />

(przede wszystkim od jej grubości i od wartości przenikalności<br />

elektrycznej warstwy dielektryka).<br />

Rys. 3.: Charakterystyki I-V przebicia złącza Schottky’ego bez płytki<br />

polowej (a); charakterystyki I-V przebicia złącza Schottky’ego z<br />

płytką polową (b)<br />

Fig. 3.: I-V breakdown characteristics of Schottky junction without<br />

field plate (a); I-V breakdown characteristics of Schottky junction<br />

with field plate (b)<br />

Dla tych samych danych materiałowych jak w przypadku<br />

diody bez płytki polowej, obliczono wartość napięcia przebicia<br />

diody równą 1160 V.<br />

Eksperymentalna weryfikacja obliczeń numerycznych zakończyła<br />

się sukcesem. Na rysunkach 3a oraz 3b przedstawiono<br />

pomiary napięć przebicia diody bez płytki polowej oraz<br />

z płytką polową. Obie diody wykonano na tej samej płytce<br />

półprzewodnika, zatem możliwe jest bezpośrednie porównywanie<br />

dwóch konstrukcji diody.<br />

W roku 2007 nie dysponowano jeszcze aparaturą do pomiaru<br />

napięc przebicia większych niż 1000 V. Na rysunku 3b<br />

przedstawiono dwadzieścia charakterystyk I-V. Jak widać jedynie<br />

trzy diody mają wartość napięcia przebicia mniejszą niż<br />

1000 V. Gwałtowny wzrost prądu w zakresie przebicia jest<br />

skojarzony ze zjawiskami cieplnymi i przepływem prądu<br />

w bardzo ograniczonym obszarze półprzewodnika. Jest to zjawisko<br />

niszczące i nieodwracalne.<br />

Statystyczna ocena jakości materiału<br />

Na rysunkach przedstawiono histogramy napięć przebicia<br />

w dwóch kolejnych partiach technologicznych. Badanie dotyczy<br />

diody o powierzchni złącza odpowiedniej do przewodzenia<br />

prądu 0,2 A. W tym przypadku można pozytywnie<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 17


zweryfikować hipotezę o normalności rozkładu napięć i zastosować<br />

kwantyle rozkładu do przewidywania uzysku. Przy<br />

ustawieniu napięcia testowania diod na wartość 800 V dla<br />

partiii z rys. 4a można przewidzieć uzysk 80%, natomiast dla<br />

partii z rys. 4b uzysk wynosi 70%.<br />

a)<br />

b)<br />

Maksymalne napięcia przebicia zmierzone w tych partiach<br />

znajdowały się w zakresie 1300...1400 V. Są to dobre wyniki,<br />

ale jednak diody testowe o małej powierzchni nie dają oceny<br />

jakości materiału. Diody, które opisywano dotychczas zostały<br />

wykonane na materiale podłożowym (krysztale) pochodzącym<br />

z firmy Cree, natomiast warstwy epitaksjalne wyhodowano<br />

w ITME. Poznanie zależności uzysku od powierzchni diody<br />

umożliwia oszacowanie gęstości defektów w materiale. Wykres<br />

(rys. 5.) przedstawia najprostszy model zależności<br />

uzysku od powierzchni diody. W modelu tym zakłada się, że<br />

przestrzenny rozkład defektów można opisać za pomocą statystyki<br />

Poissona oraz, że każdy defekt w obszarze złącza powoduje<br />

jego odpad.<br />

Zaprojektowano zintegrowny blok diod testowych o różnej<br />

powierzchni złącza i przeprowadzono szeroko zakrojone badania<br />

w celu weryfikacji modelu uzysku. Wyniki opracowano<br />

i przedstawiono na rys. 6.<br />

Na rysunku 6. diodę o powierzchni jednostkowej charakteryzuje<br />

maksymalny prąd przewodzenia 50 mA, natomiast<br />

diodę o powierzchni 36 razy większej dopuszczalny prąd<br />

1,8 A. Każde pudełko reprezentuje próbkę ok. 100 szt. przebitych<br />

diod. Czerwone koła oznaczają mediany rozkładów napięć<br />

przebicia, karby oznaczają zakres obszaru zaufania dla<br />

mediany, brzegi pudełka odpowiednio kwartyl dolny i górny.<br />

Używając testu Fishera zweryfikowano hipotezę o wystąpie-<br />

Rys. 4.: histogram napięć przebicia diod z parti technologicznej<br />

#826 (a); histogram napięć przebicia diod z parti technologicznej<br />

#825 (b)<br />

Fig. 4.: histogram of breakdown voltage in the lot #826 (a); histogram<br />

of breakdown voltage in the lot #825 (b)<br />

Rys. 6. Wykres typu pudełko z wąsami (box-whiskers plot) dla diod<br />

o różnej powierzchni złącza<br />

Fig. 6. Box and whiskers plot for diodes of diverse junction area<br />

Rys. 5 Model zależności uzysku (Y) od powierzchni diody (A). Jedynym<br />

parametrem modelu jest gęstość defektów (D)<br />

Fig. 5. Dependence of yield (Y) on diode area (A). The single yield<br />

model parameter is defect density (D)<br />

Rys. 7. Pomiar napięcia przebicia wysokonapięciowych diod<br />

Schottkyego<br />

Fig. 7. The probe station measurements of high-voltage Schottky<br />

diodes<br />

18 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


niu istotnych statystycznie różnic pomiędzy wynikami dla próbek<br />

o różnych polach powierzchni złącza. Dla dużej liczby pomiarów<br />

(tak jak przedstawiono na rys. 6.) różnice są istotne.<br />

Dolny kwartyl dla diod o największej powierzchni wynosi<br />

700 V. Występuje wyraźny trend spadku wartości kwantyli<br />

rozkładów napięć ze wzrostem powierzchni diody.<br />

Jednakże model uzysku bazujący na założeniach podanych<br />

wcześniej nie jest właściwy. Obecnie weryfikowana jest<br />

oryginalna hipoteza, o zależności uzysku od rozmiaru liniowego<br />

diody, a nie od jej powierzchni.<br />

Rysunek 7. przedstawia płytkę o średnicy 2” na której<br />

znajduje się ok. 200 bloków sruktur przeznaczonych do analizy<br />

modelu uzysku.<br />

W <strong>2009</strong> r. w ITME opanowano sposób obróbki powierzchni<br />

płytek SiC odpowiedni do wykonania wzrostu epitaksjalnego<br />

warstw. Stało się możliwe wykonanie przyrządów<br />

z materiału, który powstał w całości w Instytucie.<br />

Na rysunku 8. przedstawiono syntetycznie badanie jakości<br />

takich diod. Oprócz wykresu typu box and whisker na rys. 8<br />

umieszczono także histogramy napięć przebicia. Rozkład napięć<br />

przebicia diod z prądem maksymalnym 1,8 A jest dwumodalny<br />

(liczność próbek wynosiła ok. 25 szt.). Zwraca<br />

uwagę doskonała wartość dolnego kwartylu (680 V) dla diod<br />

o dużej powierzchni. Ten wynik jest podobny do osiągniętego<br />

w innych partiach technologicznych wykonanych z kryształów<br />

firmy Cree (np. #873 rys. 6).<br />

Obecnie prowadzone są badania statystyczne diod na powierzchniach<br />

płytek o średnicy 2” wykonanych w całości<br />

w ITME. W przypadku analizy dużych próbek spodziewamy<br />

się wystąpienia rozkładów napięć zbliżonych do normalnego.<br />

Wyniki już osiągnięte i przestawione pozwalają wyciągnąć<br />

bardzo optymistyczny wniosek. W ITME osiągnięto profesjonalny<br />

poziom technologii hodowania kryształu SiC, hodowania<br />

warstw epitaksjalnych, a także projektowania i<br />

wykonywania diod Schottky’ego z optymalnym zakończeniem<br />

złącza. Wniosek ten wyciągnięto na podstawie analizy napięć<br />

przebicia ok. 3000 przyrządów.<br />

Dioda wysokonapięciowa o parametrach U BR = 600 V<br />

oraz I F MAX =3A jest przyrządem, który może być już w tej<br />

chwili produkowany w ITME z uzyskiem lepszym niż 75%<br />

i sprzedawany, ponieważ jest potrzebny w wielu zastosowaniach<br />

z zakresu elektroenergetyki. Wymieniono wartość prądu<br />

3 A, ponieważ jedna z dwóch (jedynie dwóch) firm sprzedających<br />

diody wysokonapięciowe na rynku światowym stosuje<br />

w swoich wyrobach montaż dwóch struktur diodowych<br />

w jednej obudowie. Strategia ta, jak wynika z przedstawionych<br />

tu rozważań, jest stosowana w celu podwyższenia uzysku<br />

diod, który jest ograniczony ze względu na zależność wartości<br />

napięcia przebicia od rozmiaru diody.<br />

Perspektywy dalszych prac<br />

Na podstawie dotychczasowych doświadczeń przewidujemy<br />

dalsze udoskonalenie technologii i konstrukcji płytki polowej<br />

i osiągnięcie uzysku ok. 75% dla diod z barierą Schottky’ego<br />

o prądzie maksymalnym 5 A, a następnie 10 A.<br />

Planujemy wykonanie tranzystora typu CHEMFET z węglika<br />

krzemu do zastosowania w biochemii i medycynie. Prawdopodobieństwo<br />

sukcesu w tym zakresie jest duże, ponieważ<br />

w 2008 r. wykonaliśmy opracowanie pierwszego w kraju tranzystora<br />

MESFET z węglika krzemu, którego przykładowe charakterystyki<br />

przedstawiono na rys. 9a i 9b.<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 8. Wykres typu pudełko z wąsami (box-whiskers plot) dla diod<br />

wykonanych z materiału wytworzonego w ITME<br />

Fig. 8. Box and whiskers plot of diodes made out of SiC fabricated<br />

at ITME<br />

Wnioski<br />

Rys. 9.: wyjściowe charakterystyki tranzystora MESFET z SiC, L G =<br />

2 µm, W G = 150 µm (a); wyjściowe charakterystyki tranzystora<br />

MESFET z SiC, L G = 4 µm, W G = 150 µm, skok napięcia bramki<br />

-5 V, max. wartość pola elektrycznego pomiędzy elektrodą bramki<br />

i drenu E ~5•10 7 V/m (b)<br />

Fig. 9.: output I-V characteristics of MESFET made of SiC. L G =<br />

2 µm, W G = 150 µm (a); output I-V characteristics of MESFET made<br />

of SiC. L G = 4 µm, W G = 150 µm. Gate bias step -5 V. Maximum<br />

electric field between the gate and drain metal is E ~5•10 7 V/m (b)<br />

Jeszcze w <strong>2009</strong> r. planujemy wykonanie modelu diody<br />

p-i-n z węglika krzemu o napięciu blokowania ok. 5 kV<br />

i prądzie maksymalnym 5 A.<br />

Wykonanie wszystkich wymienionych zamierzeń nie jest<br />

zobowiązaniem ITME związanym z realizacją PBZ-MEiN-<br />

6/2/2006. Działania te podejmujemy w związku z dużym prawdopodobieństwem<br />

osiągnięcia opisanych celów.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 19


Optymalizacja konstrukcji i modelowanie<br />

tranzystora RESURF LJFET w 4H-SiC<br />

ANDRZEJ TAUBE 1,2 , dr inż. MARIUSZ SOCHACKI 1 , prof. dr hab. inż. JAN SZMIDT 1<br />

1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />

2 <strong>Instytut</strong> Technologii Elektronowej, Warszawa<br />

Zaprezentowane w 2001 roku komercyjnie dostępne diody<br />

Schottky’ego wykonane w technologii węglika krzemu (SiC),<br />

w szybkim tempie wyparły krzemowe diody p-i-n w nowoczesnych<br />

przekształtnikach energoelektronicznych pracujących<br />

przy napięciu do 1200 V [1,2]. Diody te znalazły<br />

zastosowanie przede wszystkim w układach do korekcji<br />

współczynnika mocy (PFC) zasilaczy impulsowych [3], w falownikach<br />

pracujących w systemach fotowoltaicznych [4] oraz<br />

w układach sterowania silnikami elektrycznymi [5], gdzie<br />

współpracują typowo jako diody zwrotne z tranzystorami typu<br />

MOSFET lub IGBT.<br />

Główną zaletą diod Schottky’ego SiC w porównaniu<br />

z krzemowymi diodami p-i-n okazała się mniejsza pojemność<br />

złącza i w efekcie małe straty mocy przy przełączaniu [6].<br />

Krzemowe diody Schottky’ego na ten zakres napięcia nie są<br />

produkowane z uwagi na duże statyczne straty mocy przy polaryzacji<br />

w kierunku przewodzenia. W efekcie diody Schottky’ego<br />

SiC zostały zaakceptowane przez producentów<br />

nowoczesnych urządzeń energoelektronicznych pomimo, że<br />

są to ciągle elementy zdecydowanie droższe od diod wykonywanych<br />

w technologii krzemowej. Produkowane obecnie<br />

diody SiC są co najmniej 10-krotnie szybsze od przyrządów<br />

krzemowych. Umożliwia to redukcję wymiarów i kosztów<br />

współpracujących elementów biernych. Małe dynamiczne<br />

straty mocy wpływają na ograniczenie lub wyeliminowanie<br />

chłodzenia wymuszonego, co zmniejsza masę i wymiary gotowego<br />

urządzenia oraz koszty energii niezbędnej do chłodzenia.<br />

Wymienione zalety często kompensują w dużym<br />

stopniu nakłady związane z zastosowaniem droższych diod.<br />

Kolejnym krokiem umożliwiającym poprawę sprawności<br />

i zmniejszenie rozmiarów urządzeń jest wprowadzenie na<br />

rynek tranzystorów w technologii SiC. Okres ostatnich ośmiu<br />

lat od momentu wprowadzenia na rynek diod Schottky’ego nie<br />

przyniósł w tym obszarze przełomowych zmian. Kłopoty<br />

z wdrożeniem do produkcji tranzystorów MOSFET SiC wynikają<br />

z niezawodności i powtarzalności procesów wytwarzania<br />

dielektryka bramkowego [7]. Duża wartość ładunku efektywnego,<br />

spowodowana niedoskonałością interfejsu dielektryk/półprzewodnik<br />

powoduje degradację ruchliwości<br />

nośników w obszarze kanału i ogranicza prąd wyjściowy tranzystora<br />

[8]. Pomimo wielu zabiegów technologicznych nie<br />

opracowano technologii wytwarzania warstw SiO 2 , której<br />

efekty dałoby się wdrożyć do seryjnej produkcji. Równolegle<br />

prowadzi się badania związane z wytwarzaniem i charakteryzacją<br />

alternatywnych materiałów dielektrycznych, które również<br />

nie przyniosły całkowicie satysfakcjonujących rezultatów<br />

[9]. Publikowane wyniki przekonują, że głównym czynnikiem<br />

ograniczającym rozwój technologii jest niezadowalająca jakość<br />

podłoża półprzewodnikowego. Prezentacja możliwości<br />

wytwarzania podłoży 4-calowych pozbawionych podstawowego<br />

defektu krytycznego, jakim przez wiele lat były mikrorurki<br />

(micropipes) w monokryształach SiC nie rozwiązała<br />

problemu niezawodności przyrządów. Ograniczenie liczby<br />

dyslokacji, w tym przede wszystkim dyslokacji w tak zwanej<br />

płaszczyźnie bazowej (basal-plane dislocations), jest konieczne<br />

w celu uzyskania wyraźnej poprawy jakości interfejsu<br />

dielektryk/półprzewodnik [10].<br />

Problemy związane z uzyskiem w produkcji tranzystorów<br />

MOSFET spowodowały wzrost zainteresowania tranzystorami<br />

polowymi złączowymi (JFET), które nie wymagają stosowania<br />

tej warstwy w obszarze bramki. Dzięki wyeliminowaniu<br />

warstwy dielektrycznej uzyskuje się lepszą stabilność długoterminową<br />

parametrów szczególnie przy pracy w podwyższonej<br />

temperaturze (nawet do 500°C), na co wpływa<br />

także odsunięcie obszaru kanału tranzystora od powierzchni<br />

półprzewodnika [11]. Możliwe jest zwiększenie wydajności<br />

prądowej tranzystora, ponieważ stan powierzchni półprzewodnika<br />

nie wpływa na ruchliwość nośników w obszarze kanału.<br />

Wyeliminowanie warstwy dielektrycznej ogranicza<br />

jednocześnie pojemności pasożytnicze tranzystora [12].<br />

Podstawowa konstrukcja tranzystora JFET ma jednak<br />

swoje wady. Tranzystor JFET w klasycznej topologii należy<br />

do grupy przyrządów normalnie włączonych i przewodzi prąd<br />

przy braku polaryzacji bramki. Odcięcie kanału wymaga<br />

przyłożenia na bramkę napięcia zapewniającego wzrost szerokości<br />

warstwy zaporowej i uzyskania obszaru zubożonego.<br />

Zastosowanie tego typu elementu w układzie przekształtnikowym<br />

wymaga ze względów bezpieczeństwa użycia niskonapięciowego<br />

tranzystora łączonego kaskadowo z tranzystorem<br />

mocy JFET w celu uzyskania przyrządu normalnie<br />

wyłączonego [13,14]. Dodatkowo, koszt wytwarzania tranzystora<br />

JFET jest większy w porównaniu z kosztem wytwarzania<br />

tranzystorów MOSFET, ponieważ przyrząd wymaga<br />

bardziej skomplikowanej struktury epitaksjalnej. Kłopoty technologiczne<br />

przy wytwarzaniu tranzystorów MOSFET spowodowały,<br />

że konstrukcjom tranzystora JFET poświęcono wiele<br />

prac badawczych.<br />

Szczególnie interesującym rozwiązaniem są lateralne<br />

tranzystory JFET, które łączą w sobie możliwości wykonania<br />

przyrządu wysokonapięciowego i dalszej integracji z bardziej<br />

złożonymi układami. Wysokie koszty materiału podłożowego<br />

i skomplikowana sekwencja procesów technologicznych powodują,<br />

że użycie dokładnych metod modelowania tranzystora<br />

JFET jest niezbędne do ograniczenia kosztów<br />

wytwarzania i optymalizacji parametrów. Modele materiałowe<br />

SiC dostarczane standardowo z oprogramowaniem do projektowania<br />

mogą być użyte jedynie do bardzo zgrubnych symulacji<br />

najprostszych przyrządów. Otrzymywanie wyników<br />

symulacji o dużym poziomie ufności w przypadku modelowania<br />

struktury lateralnego tranzystora RESURF JFET z implantowanym<br />

obszarem bramki wymaga wprowadzenia<br />

dodatkowych modeli oraz modyfikacji parametrów modeli istniejących<br />

głównie bazując na danych literaturowych i dopasowanie<br />

uzyskiwanych rezultatów symulacji do wyników<br />

charakteryzacji przyrządów.<br />

Odpowiednie podejście do projektowania tranzystorów<br />

RESURF JFET jest wymagane przede wszystkim ze względu<br />

na liczbę możliwych punktów swobody (poziom domieszko-<br />

20 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


wania i grubość co najmniej 4 warstw epitaksjalnych i podłoża,<br />

profil domieszki w obszarach implantowanych). Artykuł stanowi<br />

rozwinięcie i porównanie wyników symulacji tranzystora<br />

RESURF JFET uzyskanych po dopasowaniu podstawowych<br />

i krytycznych parametrów materiałowych [15] z wynikami analizy<br />

modeli prezentowanych w literaturze, weryfikacji ich konstrukcji<br />

zgodnie z wynikami eksperymentalnymi i kolejnej<br />

implementacji modeli i parametrów w środowisku projektowym<br />

ATLAS.<br />

Modele fizyczne<br />

Modele parametrów zostały zaczerpnięte ze źródeł literaturowych.<br />

Do najważniejszych zaliczyć należy modele przerwy<br />

energii zabronionych, ruchliwości nośników i jonizacji zderzeniowej.<br />

Przerwa energii zabronionych<br />

W symulacjach przyjęto następującą zależność szerokości<br />

przerwy energii zabronionych E g od temperatury [16]:<br />

gdzie T jest temperaturą bezwzględną sieci krystalicznej. Szerokość<br />

przerwy w temperaturze 300K dla politypu 4H-SiC wynosi<br />

3,23 eV.<br />

Ruchliwość nośników<br />

W modelu przyjęto zależność ruchliwości od temperatury T<br />

i poziomu domieszkowania N. W obecności małych pól elektrycznych<br />

ruchliwość elektronów µ e i ruchliwość dziur µ h są<br />

modelowane za pomocą modelu Caughey’a-Thomasa [16],<br />

w którym:<br />

(1)<br />

Jonizacja zderzeniowa<br />

Wydajność procesu generacji par elektron-dziura w skutek jonizacji<br />

zderzeniowej określona jest następującym równaniem:<br />

gdzie: n i p są wartościami koncentracji nośników, natomiast<br />

v n , v p są prędkością unoszenia odpowiednio elektronów<br />

i dziur. Współczynniki jonizacji zderzeniowej α n i α p opisane<br />

są modelem Chynowetha [18], otrzymanym przez dopasowanie<br />

wyników eksperymentów przeprowadzonych przez<br />

Konstantinova [19]:<br />

gdzie E jest natężeniem pola elektrycznego w V/cm.<br />

Pozostałe parametry<br />

Pozostałe parametry uwzględnione w symulacjach zostały<br />

przedstawione w tab. 1 [19,20].<br />

Tab. 1. Parametry elektrofizyczne politypu 4H-SiC uwzględnione w symulacjach<br />

Tabl. 1. 4H-SiC parameters taken into account in numerical simulations<br />

Parametr<br />

Wartość<br />

Stała dielektryczna ε s 9,77<br />

Przerwa energetyczna E g (300K)<br />

3,23 eV<br />

(6)<br />

(7)<br />

(8)<br />

(2)<br />

Prędkość nasycenia v sat<br />

Czas życia elektronów τ emax<br />

Czas życia dziur τ hmax<br />

Powinowactwo elektronowe c<br />

2,1•10 7 cm/s<br />

2,5•10 -6 s<br />

0,5•10 -6 s<br />

3,3 eV<br />

(3)<br />

Struktura tranzystora<br />

Dla potrzeb symulacji założono także zależność ruchliwości<br />

elektronów od silnego pola elektrycznego [17]. Zależność ta<br />

opisywana jest następującą formułą:<br />

Jako symulowaną strukturę przyjęto topografię tranzystora zaproponowaną<br />

przez grupę Fujikawy [21]. Przekrój przez strukturę<br />

przedstawiono na rys. 1, a wyjściowe grubości<br />

poszczególnych warstw i ich domieszkowanie zestawiono<br />

w tab. 2. Początkowa głębokość implantacji obszaru bramki<br />

(p+) wynosiła 0,35 µm.<br />

(4)<br />

gdzie: µ 0 jest ruchliwością dla niskich pól elektrycznych, v sat<br />

- prędkością nasycenia nośników, parametr β jest funkcją temperatury<br />

i został opisany następującą zależnością:<br />

(5)<br />

Rys. 1 Struktura lateralnego tranzystora JFET<br />

Fig. 1. Cross-section of LJFET transistor<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 21


Tab. 2 Wyjściowe grubości i domieszkowanie warstw epitaksjalnych<br />

i podłoża<br />

Tabl. 2. Thickness and doping of epitaxial layers and substrate - primary<br />

assumption<br />

Wyniki<br />

Warstwa Domieszkowanie Grubość<br />

Epitaksjalna typu p - RESURF (4) 2•10 17 1/cm 3 0,2 µm<br />

Epitaksjalna typu n (3) 2•10 17 1/cm 3 0,4 µm<br />

Epitaksjalna typu p (2) 1•10 16 1/cm 3 10 µm<br />

Epitaksjalna typu p (1) 5•10 16 1/cm 3 1 µm<br />

Podłożowa typu n+ 5•10 18 1/cm 3 -<br />

Głównymi parametrami konstrukcyjnymi wymagającymi optymalizacji<br />

są grubości i domieszkowanie poszczególnych<br />

warstw, głębokość implantacji bramki oraz odległości pomiędzy<br />

drenem a bramką oraz bramką a źródłem. Optymalizacja<br />

polegała na osiągnięciu jak największego napięcia przebicia<br />

przy jak najmniejszej wartości rezystancji charakterystycznej<br />

w stanie włączenia. Parametrem określającym jakość konstrukcji<br />

tranzystora jest w tym przypadku wartość współczynnika<br />

FOM, który jest definiowany jako [19]:<br />

gdzie: V br [V] jest napięciem przebicia zaś R on [Ωcm 2 ] jest rezystancją<br />

charakterystyczną w stanie włączenia obliczaną<br />

przy napięciach V ds = 0,2 V i V gs =2V. Jeżeli nie zaznaczono<br />

inaczej wszystkie symulacje przeprowadzono dla temperatury<br />

T = 773K (500°C).<br />

Optymalizacja wymiarów tranzystora<br />

Przyjmując domieszkowanie i grubości poszczególnych<br />

warstw jak w tab. 2 zbadano wpływ długości bramki i odległości<br />

drenu od bramki i źródła na parametry wyjściowe tranzystora.<br />

Długość bramki wynosiła 4, 7, 10 µm, zaś odległości<br />

drenu i źródła od bramki kolejno 3, 5, 10 µm. Wyniki przedstawiono<br />

na rys. 2.<br />

(9)<br />

Największe napięcia przebicia uzyskano dla struktur o największej<br />

odległości źródło-dren. Najlepszy wynik V br = 856 V<br />

osiągnięto dla odległości dren-bramka 10 µm przy długości<br />

bramki 5 i 10 µm. Długi kanał zapewnia lepsze zrównoważenie<br />

struktury typu RESURF. Rezystancja charakterystyczna<br />

w stanie włączenia (R on ) liniowo zależy od długości<br />

kanału. Największą wartość współczynnika FOM równą<br />

14,39 MW/cm 2 uzyskano dla odległości dren (źródło) -<br />

bramka 4 µm oraz długości bramki 3 µm, przy których napięcie<br />

V br wynosi 690 V i rezystancja R on przyjmuje wartość<br />

33 mWcm 2 . Wymiary te zostały uznane jako najlepsze do dalszych<br />

symulacji.<br />

Domieszkowanie warstw typu p (1,2)<br />

Parametry warstw typu p nr 1 i 2 decydują głównie o napięciu<br />

przebicia tranzystora i mają niewielki wpływ na wartość R on .<br />

Okazało się, że zmniejszając domieszkowanie tych warstw do<br />

p(1) = 1•10 16 cm -3 oraz p(2) = 5•10 15 cm -3 otrzymano lepsze<br />

zrównoważenie struktury typu RESURF. Obniżenie koncentracji<br />

spowodowało wyraźny wzrost napięcia przebicia do<br />

780 V, dzięki czemu otrzymano wartość współczynnika<br />

FOM = 22,16 MV/cm 2 . Poziom domieszkowania warstw p<br />

(1,2) nie może być jednakże zbyt mały, ponieważ przy<br />

założonej głębokości implantacji bramki pełne odcięcie kanału<br />

pojawia się przy nieakceptowalnie wysokich napięciach V gs .<br />

Implantacja bramki<br />

Jednym z kluczowych parametrów technologicznych wytwarzanych<br />

tranzystorów JFET jest głębokość implantacji obszaru<br />

bramki. W symulacji przyjęto gaussowski rozkład implantowanej<br />

domieszki o maksymalnej koncentracji 1•10 18 cm -3 na<br />

głębokości kolejno 0,15; 0,2; 0,25; 0,3 i 0,35 µm. Głębokość<br />

implantacji decyduje przede wszystkim o wartości rezystancji<br />

R on i wpływa w ten sposób na wydajność prądową tranzystora<br />

(rys. 3). Głębokość implantacji wpływa jednocześnie na<br />

napięcie przebicia i prąd upływu bramki. Największe napięcie<br />

przebicia i najmniejszy prąd upływu bramki uzyskano dla<br />

głębokości implantacji równej 0,35 µm (rys. 4).<br />

Głębokość implantacji wpływa na skuteczność sterowania<br />

prądem wyjściowym tranzystora napięciem V gs . Przy głębszej<br />

implantacji istnieje możliwość sterowania małym napięciem<br />

V gs dla uzyskania całkowitego zubożenia złącza p-n i odcięcia<br />

kanału. Na rys. 5. zaprezentowano wyznaczone na pod-<br />

Rys. 2. Współczynnik FOM dla różnych wymiarów tranzystora<br />

Fig. 2. Figure of Merit (FOM) vs. channel length and RESURF area<br />

length<br />

Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe I d = f(V ds ) tranzystora dla<br />

różnych głębokości implantacji (V gs = 2 V)<br />

Fig. 3. LJFET output current vs. implantation depth (V gs = 2 V)<br />

22 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


stawie ekstrapolacji charakterystyki I d 1/2 = f(V gs ) napięcie progowe<br />

tranzystora (V th ) w funkcji głębokości implantacji. Charakterystyki<br />

przejściowe wyznaczono dla stałej wartości<br />

napięcia V ds =6V. Przyłożenie na bramkę napięcia V gs przekraczającego<br />

napięcie włączenia złącza p-n (V gmax ) powoduje<br />

gwałtowny wzrost prądu płynącego przez bramkę i utratę<br />

sterowania prądem wyjściowym tranzystora. Tranzystor JFET<br />

zaczyna przy takiej polaryzacji bramki pracować jak typowy<br />

tranzystor bipolarny. Napięcie włączenia zależy w pewnym zakresie<br />

od rozkładu domieszki w wytworzonym metodą implantacji<br />

złączu p-n i zmienia się od 2,7 V dla głębokości<br />

implantacji 0,35 µm do 3,6 V dla głębokości implantacji<br />

0,15 µm (rys. 6).<br />

Optymalizacja struktury typu double RESURF<br />

Rys. 4. Charakterystyki wsteczne I d = f(V ds ) tranzystora dla różnych<br />

głębokości implantacji (V gs = -3 V).<br />

Fig. 4. LJFET reverse characteristics vs. implantation depth<br />

(V gs = -3 V)<br />

Rys. 5. Zależność napięcia progowego (V th ) tranzystora JFET od<br />

głębokości implantacji bramki<br />

Fig. 5. LJFET threshold voltage (V th ) vs. implantation depth<br />

Projektowane półprzewodnikowe przyrządy mocy powinny<br />

charakteryzować się wysokim współczynnikiem FOM. Warunkiem<br />

poprawnego działania struktury typu RESURF jest<br />

odpowiedni dobór domieszkowania i grubości warstw epitaksjalnych<br />

zapewniający osiągnięcie całkowitego zubożenia obszaru<br />

RESURF zanim wartość pola elektrycznego w obszarze<br />

pomiędzy bramką a drenem osiągnie wartość krytyczną [22].<br />

Na rys. 7. przedstawiony jest rozkład natężenia pola elektrycznego<br />

w momencie przebicia dla tranzystora bez i ze<br />

strukturą typu RESURF.<br />

Dla struktury tranzystora bez obszaru RESURF przedwczesne<br />

przebicie następuje w wyniku osiągnięcia krytycznego<br />

pola elektrycznego w kierunku lateralnym bramka-dren.<br />

Dla struktury z obszarem RESURF pole elektryczne jest<br />

rozłożone równomiernie pomiędzy bramką a dren i jednocześnie<br />

wnika znacznie głębiej w kierunku wertykalnym<br />

w warstwę typu p (nr 2), co wpływa na zwiększenie napięcia<br />

przebicia i zmniejszenie rezystancji R on .<br />

W celu osiągnięcia jak najlepszych parametrów niezbędne<br />

jest dobre zrównoważenie domieszkowania całej struktury dla<br />

ustalonych grubości warstw. Dla ustalonych wartości koncentracji<br />

domieszki warstwy aktywnej typu n od 1,8•10 17 cm -3 do<br />

2,2•10 17 cm -3 dobierano domieszkowanie górnej warstwy typu<br />

RESURF tak, aby uzyskać największą wartość współczynnika<br />

FOM. Największą wartość współczynnika FOM =<br />

22,16 MV/cm 2 uzyskano dla domieszkowania n = 2•10 17 cm -3<br />

i p = 2•10 17 cm -3 przy napięciu przebicia 780 V i rezystancji<br />

charakterystycznej w stanie włączenia 27,5 mΩcm 2 .<br />

Rys. 6. Zależność napięcia włączenia złącza p-n (V gmax ) od głębokości<br />

implantacji obszaru bramki<br />

Fig. 6. p-n junction on-state voltage (V gmax ) vs. implantation depth<br />

Rys. 7. Natężenie pola elektrycznego w momencie przebicia dla<br />

struktury tranzystora JFET z obszarem typu RESURF (po lewej)<br />

i dla tranzystora bez obszaru typu RESURF<br />

Fig. 7. Electrical field simulation for RESURF structure (left) and no-<br />

RESURF structure (right)<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 23


Uwzględnienie rzeczywistego rozkładu domieszki<br />

w obszarze bramki<br />

W celu uzyskania wyników symulacji uwzględniających rzeczywisty<br />

rozkład implantowanej domieszki w obszarze<br />

bramki do dalszych rozważań użyto profili rozkładu otrzymanych<br />

metodą spektrometrii masowej jonów wtórnych<br />

(SIMS). Profil domieszkowania jonami glinu po wygrzewaniu<br />

poimplantacyjnym, otrzymany w wyniku wielokrotnej implantacji<br />

wykonanej dla temperatury podłoża 500°C przy<br />

całkowitej dawce 7,1•10 14 cm -2 pokazany został na rys. 8.<br />

Implantację wykonano przy użyciu czterech różnych energii<br />

i czterech różnych doz dla otrzymania rozkładu zbliżonego<br />

do równomiernego (250 keV - 6,6•10 13 cm -2 , 160 keV -<br />

1,0•10 14 cm -2 , 100 keV - 1,7•10 14 cm -2 , 55 keV - 3,7•10 14 cm -2 ).<br />

Próbki poddano wygrzewaniu poimplantacyjnemu w atmosferze<br />

argonu w temperaturze 1600°C i w czasie 20 minut<br />

w celu rekrystalizacji zdefektowanego materiału i termicznej<br />

aktywacji wprowadzonej domieszki.<br />

Rys. 9. Przekrój przez obszar bramki i drenu wraz ze strukturą terminacji<br />

kontaktu<br />

Fig. 9. Cross-section of gate-drain region with drain edge termination<br />

Zastosowanie tej techniki spowodowało wzrost napięcia<br />

przebicia do 820 V przy zachowaniu wartości rezystancji R on<br />

na praktycznie niezmienionym poziomie. Dla odległości drenbramka<br />

równej 7 i 10 µm uzyskano napięcia przebicia równe<br />

kolejno 960 oraz 1020 V przy rezystancji R on równej 36,8 oraz<br />

48,1 mΩcm 2 . W tab. 3 porównane zostały wyniki dla struktur<br />

o różnej odległości dren-bramka.<br />

Rys. 8. Rzeczywisty rozkład domieszki określony metodą SIMS. Na<br />

wykres naniesiono grubości poszczególnych warstw i ich poziomy<br />

domieszkowania<br />

Fig. 8. Implantation SIMS doping profile with specific thickness and<br />

doping of epitaxial layers<br />

Po wykonaniu wstępnych symulacji konieczne okazało się<br />

przeprojektowanie konstrukcji, ponieważ rzeczywisty rozkład<br />

domieszki w bramce różnił się w sposób znaczący od<br />

zakładanego uprzednio idealnego rozkładu gaussowskiego.<br />

W celu uzyskania odpowiednio niskiej wartości rezystancji R on<br />

należało zwiększyć grubość warstwy typu n (nr 3) do 0,5 µm.<br />

Należało także ponownie zoptymalizować strukturę typu RE-<br />

SURF. Najlepsze parametry uzyskano dla domieszkowania<br />

warstw kolejno p(2) = 1,2•10 17 i 1•10 17 oraz n(3) = 2•10 17 .<br />

Uzyskano napięcie przebicia V br = 750 V, rezystancję R on =<br />

26,9 mΩcm 2 oraz współczynnik FOM = 20,92 MV/cm 2 .<br />

Wpływ terminacji kontaktu drenu na parametry<br />

tranzystora<br />

Kolejnym sposobem na uzyskanie większej wartości<br />

współczynnika FOM na drodze zwiększenia napięcia przebicia<br />

jest terminacja krawędzi kontaktu drenu. Zastosowano<br />

w tym celu topografię zbliżoną do struktury super RESURF<br />

[22]. Sposobem na ograniczenie pola elektrycznego na krawędzi<br />

kontaktu jest wytrawienie obszaru w bezpośrednim<br />

sąsiedztwie drenu i pasywacja materiałem dielektrycznym<br />

(SiO 2 ). Głębokość wytrawienia wynosiła 0,15 µm zaś długość<br />

2 µm. Strukturę przedstawiono na rys. 9.<br />

Tab. 3. Porównanie parametrów tranzystora dla różnych odległości<br />

dren-bramka<br />

Tabl. 3. LJFET parameters vs. drain - gate distance<br />

Odl. drenbramka<br />

(µm)<br />

Vbr(V)<br />

R on (773K)<br />

[mΩcm 2 ]<br />

R on (295K)<br />

[mΩcm 2 ]<br />

Wpływ grubości warstwy p(2) na parametry<br />

tranzystora<br />

FOM<br />

[MW/cm 2 ]<br />

4 820 26,7 9,1 25,16<br />

7 960 36,8 12,2 25,04<br />

10 1020 48,1 15,7 21,64<br />

Grubość warstwy typu p(2) nie ma praktycznie wpływu na rezystancje<br />

R on tranzystora. Sprawdzono w jakim stopniu można<br />

zmniejszyć grubość tej warstwy, aby wpływ grubości na napięcie<br />

przebicia tranzystora można było jeszcze uznać za pomijalny.<br />

Poza przyjętą wyjściową grubością warstwy (10 µm)<br />

badano kolejno konstrukcje z warstwami o grubościach: 8; 6,4<br />

i 5,3 µm. Dla warstwy o grubości ok. 8 µm napięcie przebicia<br />

nie zmienia się i wynosi 820 V. Dla cieńszych warstw napięcie<br />

przebicia drastycznie maleje i wynosi kolejno 735 V przy grubości<br />

6,4 µm i tylko 440 V przy grubości 5,3 µm.<br />

24 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Podsumowanie<br />

Przy użyciu oprogramowania Atlas wchodzącego w skład pakietu<br />

Silvaco TCAD [23] przeprowadzono procedurę optymalizacji<br />

konstrukcji tranzystora RESURF LJFET w węgliku<br />

krzemu 4H-SiC. Wykazano, że wybrane środowisko może<br />

z powodzeniem zostać wykorzystane do symulacji przyrządów<br />

półprzewodnikowych wykonanych w węgliku krzemu.<br />

Dzięki zastosowaniu odpowiednich metod konstrukcyjnych<br />

z bardzo dobrymi rezultatami zoptymalizowano konstrukcję<br />

tranzystora. Osiągnięto wysokie napięcia przebicia oraz niskie<br />

wartości rezystancji charakterystycznej w stanie włączenia,<br />

dające wysoką wartość współczynnika FOM, dużo<br />

większe niż wyjściowa konstrukcja [21].<br />

Rys. 10. Uzyskane w wyniku symulacji wartości R on i V br (WUT) dla<br />

lateralnego tranzystora JFET w porównaniu z opublikowanymi danymi<br />

eksperymentalnymi<br />

Fig. 10. R on resistance and breakdown voltage simulated in his<br />

work (WUT) compared to published experimental results<br />

Osiągane wartości rezystancji R on w prezentowanych tranzystorach<br />

lateralnych JFET wykonanych w technologii SiC są<br />

wyraźnie poniżej limitu dla przyrządów wykonanych w krzemie.<br />

W porównaniu z innymi przyrządami JFET z wertykalnym<br />

kanałem (VC-JFET) [24], charakteryzującymi się zbliżonymi<br />

parametrami, zaproponowana konstrukcja wyróżnia się dużo<br />

prostszym procesem technologicznym dającym w rezultacie<br />

większy uzysk i niższy koszt wykonania przyrządu.<br />

Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />

2007-2010 jako projekt badawczy zamawiany<br />

Literatura<br />

[1] Crees first SiC Schottky diodes. Compound Semiconductor, September<br />

2001.<br />

[2] Infineon Technologies Produces Worlds first Power Semiconductors<br />

in Silicon Carbide, Compound Semiconductor, February<br />

2001.<br />

[3] Spiazzi G., Buso S., Citron M., Corradin M., Pierobon R.: Performance<br />

Evaluation of a Schottky SiC Power Diode in a Boost<br />

PFC Application. IEEE Trans. on Power Electronics, vol. 18, no<br />

6, 2003, pp. 1249-1253.<br />

[4] Frank W.: Power electronics for solar power inverter systems.<br />

Hearst Electronic Products, March 2008.<br />

[5] Harada S., Hayashi Y., Takao K., Kinoshita A., Kato M., Okamoto<br />

M., Kato T., Nishizawa S., Yatsuo T., Fukusa K., Ohashi H., Arai<br />

K.: Demonstration of motor drive with SiC normally-off IEMOS-<br />

FET/SBD power converter. 19th International Symposium on<br />

Power Semiconductor Devices & ICs, 27-30 May 2007, Jeju,<br />

Korea, 289-292.<br />

[6] Johnson C. M., Rahimo M., Wright N. G., Hinchley D. A., Horsfall<br />

A. B., Morrison D. J., Knights A.: Characterisation of 4H-<br />

SiC Schottky diodes for IGBT applications. Industry<br />

Applications Conference, 8-12 października 2000, Rzym,<br />

Włochy, 2941-2947.<br />

[7] Suzuki T., Senzaki J., Hatakeyama T., Fukuda K., Shinohe T.,<br />

Arai K.: Reliability of 4H-SiC (000-1) MOS gate oxide using<br />

N2O nitridation. Materials Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>,<br />

557-560.<br />

[8] Watanabe H., Watanabe Y., Harada M., Kagei Y., Kirino T., Hosoi<br />

T., Shimura T., Mitani S., Nakano Y., Nakamura T.: Impact of<br />

a treatment combination nitrogen plasma exposure and forming<br />

gas annealing on defects passivation of SiO2/SiC interface. Materials<br />

Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 525-528.<br />

[9] Hosoi T., Harada M., Kagei Y., Watanabe Y., Shimura T., Mitani<br />

S., Nakano Y., Nakamura T., Watanabe H.: AlON/SiO2 stacked<br />

gate dielectrics for 4H-SiC MIS devices. Materiale Science<br />

Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 541-544.<br />

[10] VanMil B. L., Stahlbush R. E., Myers-Ward R. L., Picard Y. N.,<br />

Kitt S. A., McCrate J. M., Katz S. L., Gaskill D. K., Eddy C. R. Jr.:<br />

Basal plane dislocation mitigation in 8° off-cut 4H-SiC through in<br />

situ growth interrupts during chemical vapor deposition. Materials<br />

Science Forum, vol. 615-617, <strong>2009</strong>, 61-66.<br />

[11] Spry D. J., Neudeck P. G., Chen L-Y., Beheim G. M., Okojie R.<br />

S., Chang C. W., Meredith R. D., Ferrier T. L., Evans L. J.: Fabrication<br />

and Testing of 6H-SiC JFETs for prolonged 500°C operation<br />

in air ambient. Materials Science Forum, vol. 600-603,<br />

<strong>2009</strong>, 1079-1082.<br />

[12] Treu M., Rupp R., Blaschitz P., Ruschenschmidt K., Sekinger T.,<br />

Friedrichs P,, Elpelt R., Peters D.: Strategic considerations for<br />

unipolar SiC switch options: JFET vs. MOSFET. 42 th Industry<br />

Applications Conference, 23-27 września 2007, New Orleans,<br />

Stany Zjednoczone, 324-330.<br />

[13] Sheng K., Zhang Y., Su M., Zhao J. H., Li X., Alexandrov P., Fursin<br />

L.: Demonstration of the first SiC power integrated circuit.<br />

Solid-State Electronics, vol. 52, 2008, 1636-1646.<br />

[14] Biela J., Aggeler D., Bortis D., Kolar J. W.: 5 kV/200 ns pulsed<br />

power switch based on a SiC-JFET Super Cascode. 28th<br />

IEEE International Power Modulator Symposium and 2008<br />

High Voltage Workshop, 27-31 maja 2008, Las Vegas, Stany<br />

Zjednoczone.<br />

[15] Bieniek T., Stęszewski J., Sochacki M., Szmidt J.: Symulacje<br />

elektryczne diod Schottky’ego oraz tranzystorów RESURF JFET<br />

i RESURF MOSFET na podłożach z węglika krzemu (SiC). <strong>Elektronika</strong><br />

7-8/2008, ss. 11-14.<br />

[16] Bakowski M, Gustafsson U, Lindefelt U.: Simulation of SiC high<br />

power devices. Phys Stat Sol (a), 1997;162:421-40.<br />

[17] Roschke M., Schwierz F.: Electron mobility models for 4H, 6H<br />

and 3C SiC. IEEE Trans Electron Dev 2001;48(7):1442-7.<br />

[18] Chynoweth AG. Ionization rates for electrons and holes in Silicon.<br />

Phys Rev 1958;109(5):1537-40.<br />

[19] Konstantinov A. O., Wahab Q., Nordell N., Lindefelt U.: Ionization<br />

rates and critical fields in 4H silicon carbide. Appl. Phys. Lett. 71<br />

(1), 7 July 1997.<br />

[20] Baliga J.: Silicon Carbide Power Devices. World Scientific 2005.<br />

[21] Fujikawa K., Shibata K., Masuda T., Shikata S., Hayashi H.: 800<br />

V 4H-SiC RESURF-type lateral JFETs. IEEE Electron Device<br />

Lett., vol. 25, no 12, pp. 790-791, Dec. 2004.<br />

[22] Sheng K., Hu S.: Design criteria of high-voltage lateral RESURF<br />

JFETs on 4H-SiC. IEEE Trans. Electron Devices, vol. 52, no 10,<br />

pp. 2300-2308, Oct. 2005.<br />

[23] User’s Manual. Atlas, Silvaco, 2002.<br />

[24] Zhang Y., Sheng K., Su M., Zhao J. H., Alexandrov P., Fursin L.:<br />

1000-V 9.1 mΩ cm2 normally off 4H-SiC lateral RESURF JFET<br />

for power integrated circuit applications, IEEE Electron Device<br />

Lett., vol. 28, no 5, pp. 404-407, May 2007.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 25


Właściwości elektryczne i mechaniczne metalizacji<br />

kontaktowych Ni i Ti oraz wytworzonych na nich<br />

połączeń drutowych do n-SiC<br />

dr inż. RYSZARD KISIEL 1 , dr inż. MAREK GUZIEWICZ 2<br />

1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />

2 <strong>Instytut</strong> Technologii Elektronowej, Warszawa<br />

W niniejszym artykule przedstawiono postęp prac w technologii<br />

wytwarzania metalizacji kontaktów omowych do n-SiC<br />

dla wyprowadzeń drutowych Au i Al oraz połączeń między metalizacją<br />

kontaktu, a polami kontaktowymi na podłożach ceramicznych.<br />

Jako niskorezystywne metalizacje kontaktu<br />

stosowano Ni oraz Ti, zaś wyprowadzenia drutowe realizowano<br />

techniką ultrakompresji lub termoultrakompersji. Wykazano,<br />

że połączenia wykonywane drutami Au do złotej<br />

metalizacji na SiC z kontaktem omowym Ti są stabilne po wygrzewaniu<br />

w powietrzu w 400 o C. Natomiast połączenia wykonywane<br />

drutami Au do złotej metalizacji na SiC z Ni<br />

kontaktem omowym nie są stabilne po wygrzewaniu wysokotemperaturowym<br />

w powietrzu. Ponadto wyniki doświadczalne<br />

pokazują, że połączenia wykonywane drutem Al do glinowej<br />

metalizacji kontaktu omowego Ti lub Ni na SiC są stabilne niezależnie<br />

od typu metalizacji kontaktu omowego.<br />

W celu przeprowadzenia badań właściwości warstw kontaktowych<br />

do n-SiC oraz połączeń drutowych do tych warstw wykonano<br />

odpowiednie struktury testowe SiC. Materiałem<br />

wyjściowym do badań były płytki monokryształu 4H SiC<br />

o średnicy ok. 50 mm z naniesioną w ITME warstwą epitaksjalną<br />

n-typu o poziomie domieszkowania n > 10 19 /cm 2 . W celach<br />

badań strukturalnych metalizacji metodą XRD i składu<br />

atomowego kontaktów metodą RBS nakładano metalizacje<br />

na całych powierzchniach próbki SiC, zaś dla badań elektrycznych<br />

formowano w metalizacji wzory za pomocą techniki<br />

lift off oraz wytworzono wielowarstwę izolacyjną miedzy polami<br />

kontaktowymi. Metalizację kontaktową Ni lub Ti nanoszono<br />

przez magnetronowe rozpylanie katodowe<br />

w stanowisku Z400 Leybold z targetów czystych metali (Ni,<br />

Ti) o klasie czystości 4N. W następnej operacji formowano<br />

kontakt omowy przez wygrzewania RTA (Rapid Thermal Annealing)<br />

w urządzeniu Mattson w przepływie argonu. W przypadku<br />

kontaktu omowego z Ti stosowano wygrzewanie<br />

w temperaturze 1100 o C przez 3 min., natomiast w przypadku<br />

kontaktu omowego z Ni stosowano wygrzewanie w 1000 o C<br />

przez 3 min. Po uformowaniu kontaktu omowego wykonywano<br />

wielowarstwę SiO 2 /Si 3 N 4 /SiO 2 celem izolacji obszarów<br />

powierzchni miedzy kontaktami. Warstwy dielektryczne osadzano<br />

technika zmiennoprądowego rozpylania katodowego<br />

w stanowisku Z400 Leybold z targetów SiO 2 i Si 3 N 4 w atmosferze<br />

Ar. Po uformowaniu kontaktu omowego nanoszono<br />

na obszar kontaktu najpierw warstwę adhezyjną (Cr lub Ti)<br />

o grubości 10...20 nm. Następnie na taką warstwę nakładana<br />

była warstwa złota o grubości 1 µm lub aluminium o grubości<br />

2 µm pod połączenia odpowiednio drutami Au lub Al. Struktury<br />

testowe pogrubione warstwą Au wykorzystywano do wykonywania<br />

ultratermokompresyjnego połączeń drutem Au<br />

o średnicy 50 µm bądź do połączenia termokompresyjnego<br />

drutem o średnicy 100 µm. Natomiast struktury testowe pogrubiane<br />

warstwą Al wykorzystywano do wykonywania<br />

połączeń drutem Al o średnicy 100 µm (połączenia ultrakompresyjne).<br />

Układ warstw w strukturach do badań pokazano na<br />

rys. 1. Płytki z tak uformowanymi kontaktami wykorzystywano<br />

do pomiarów parametrów kontaktów omowych bądź stabilności<br />

parametrów elektrycznych połączeń wykonywanych<br />

drutami Al bądź Au.<br />

Wykonywanie struktur testowych<br />

Rys. 1. Układ warstw kontaktowych i montażowych stosowany<br />

w strukturach testowych<br />

Fig. 1. Scheme of SiC test structure<br />

Realizacja połączeń między struktura SiC,<br />

a podłożem<br />

Stosowane w badaniach własnych techniki wykonywania<br />

połączeń pomiędzy strukturą SiC, a podłożem opisano<br />

dokładniej w artykule [7]. Do połączenia struktur testowych do<br />

podłoża ceramicznego zastosowano kompozycję nieorganiczną<br />

utworzoną ze szkliwa oraz wypełniacza srebrowego.<br />

Kompozycje te charakteryzują się bardzo dobrą przewodnością<br />

cieplną (70...80 W/mK), dobrą adhezją oraz dużą odpornością<br />

termiczną, nawet w temperaturach powyżej 300ºC.<br />

W badaniach zastosowano kompozycję szkliwa i proszku<br />

srebrowego wytworzoną w Instytucie Technologii Materiałów<br />

<strong>Elektronicznych</strong>. Rezystywność stosowanej kompozycji FO-<br />

13 jest rzędu 7•10 -6 Ωcm. Kompozycję nakładano na pola<br />

kontaktowe podłoża za pomocą szablonu. Uzyskano zadowalającą<br />

adhezję struktur SiC do podłoża, przekraczającą<br />

300 N/cm 2 po wygrzewaniu 400°C & 200 h [7,8].<br />

Charakteryzacja elektryczna struktur<br />

metalicznych kontaktów omowych<br />

Do pomiaru oporności właściwej metalizacji Ti po osadzeniu<br />

wykorzystano struktury typu meander. Warstwa Ti o grubości<br />

100 nm bezpośrednio po osadzeniu wykazuje opór 8,8 Ω/ ,<br />

co odpowiada rezystywności 88 µΩcm, która jest bliska wartości<br />

litego metalu Ti (63 µΩcm). Po wygrzaniu RTA<br />

(T = 1100 o C) kontaktu Ti opór struktury spada do poziomu<br />

2•10 -3 Ω/ , co wskazuje na uformowanie kontaktu omowego<br />

do SiC. Dokładną wartość rezystancji kontaktu wyznaczono<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 26


metodą linii transmisyjnych w układzie kołowym c-TLM. Struktura<br />

c-TLM - tutaj o odległości między polami kontaktowymi<br />

10, 20, 30, 40, 50 i 60 µm umożliwia wyznaczenie oporności<br />

właściwej kontaktów omowych po formowaniu, a następnie<br />

po pogubieniu metalizacji. Oporność właściwa kontaktów n-<br />

SiC/Ti po wygrzewaniu RTA wynosiła 3...5•10 -5 Ωcm 2 , a po<br />

pogrubieniu Au (900 nm) zmniejszyła się do 1,5•10 -5 Ωcm 2 .<br />

Odnośnie kontaktów omowych opartych na Ni uzyskano rezystancję<br />

właściwą na poziomie 6•10 -5 Ωcm 2 . Przykładowa<br />

zależność zmierzonej rezystancji całkowitej od odległości między<br />

polami kontaktowymi pokazana jest na rys. 2. Pomiary<br />

z wykorzystaniem struktury c-TLM pozwalają także na określenie<br />

rezystywności warstwy podłożowej n-SiC. W badanym<br />

przypadku rezystywność SiC wyniosła 0,018 Ωcm.<br />

Rys. 2. Zależność zmierzonej rezystancji całkowitej kontaktu<br />

n-SiC/Ti/Au od odległości między polami kontaktowymi w strukturze<br />

c-TLM<br />

Fig. 2. Contact resistance of n-SiC/Ti/Au versus distance between<br />

contacts for c-TLM test structure<br />

Umieszczone na warstwie izolacyjnej struktury o metalicznej<br />

powierzchni 150x150 µm 2 pozwoliły na wyznaczenie<br />

napięcia przebicia warstwy dielektryka. W przypadku zastosowanej<br />

kombinacji SiO 2 /SiN x /SiO 2 o grubości całkowitej<br />

300 nm napięcie przebicia wynosi 0,2 MV/cm, świadcząc<br />

o poprawnej izolacji elektrycznej warstw dielektryka.<br />

Struktura warstw kontaktowych<br />

Warstwy kontaktowe do SiC wytwarzane z metalicznych<br />

warstw - czystych metali lub ich związków jak krzemki, azotki<br />

i węgliki oznaczają się z przeważnie strukturą polikrystaliczną,<br />

co wynika ze sposobu ich wytwarzania. W przypadku formowania<br />

kontaktu omowego przez reakcje metalizacji z SiC<br />

mamy do czynienia z tworzeniem różnych możliwych faz<br />

związków podwójnych metal-Si, metal-C oraz związków potrójnych<br />

metal-Si-C dla przypadku metali przejściowych. Wyjaśnienie,<br />

które z nich są stabilne w kontakcie z SiC daje<br />

szanse na dobór takich związków metali, które będą zapewniały<br />

długą i stabilną pracę kontaktu w przyrządzie poddanym<br />

maksymalnym obciążeniom.<br />

Z innej strony zwiększone wymagania na jakość montażu<br />

narzucają konieczność stosowania układu wielowarstwowego<br />

w strukturze kontaktowej, w którym jedna warstwa pełni rolę<br />

bezpośredniego kontaktu z SiC (kontakt omowy lub prostujący),<br />

a zewnętrza warstwa służy połączeniu z wyprowadzeniem.<br />

Powstaje więc kontakt materiałów o różnym<br />

powinowactwie względem siebie. Nawet jeśli materiały zastosowane<br />

w kontaktach są chemicznie stabilne z sąsiednimi,<br />

to może zachodzić interdyfuzja materiałów, a ta silnie zależy<br />

od ich mikrostruktury. Zasadnym jest więc dokładne zbadanie<br />

struktury krystalicznej materiałów wchodzących w skład metalizacji<br />

i zachodzących w nich procesów.<br />

Badania struktur warstw kontaktowych wykonano dla metalizacji<br />

Ni oraz Ti, gdyż z jednej strony zapewniają niskie rezystywności<br />

kontaktu, zaś drugiej są stosunkowo łatwe przy<br />

fotolitograficznym kształtowaniu wzorów.<br />

Kontakty na bazie Ni<br />

Znane z literatury badania nad kontaktami Ni wskazują [10-15],<br />

że metalizacja Ni stosowana w kontaktach do n-SiC umożliwia<br />

utworzenie złącza Schottky’ego jak i kontaktu omowego. Obserwowano,<br />

że już w 500 o C występuje tworzenie fazy Ni 31 Si 12<br />

na miedzypowierzchni, a w 700 o C formuje się faza Ni 2 Si, przy<br />

czym wzrasta grubość metalizacji i uwalniany jest węgiel z materiału<br />

podłoża. W wyższej temperaturze proces tworzenia<br />

krzemku przebiega szybciej aż do wyczerpania wolnego Ni<br />

w odpowiednio długim czasie. Własne prace potwierdzają dane<br />

literaturowe, że dla uformowania kontaktu omowego potrzebna<br />

jest temperatura powyżej 900 o C. Towarzyszy temu pogorszenie<br />

morfologii kontaktu, tworzenie wytrąceń węglowych oraz<br />

formowania mikroporów. Nie jest jednoznaczna sprawa głębokościowego<br />

profilu zawartości węgla i jednorodności rozkładu<br />

na powierzchni [14-16]. Ma to znaczenie dla procesów montażu,<br />

gdzie obecność wytrąceń węglowych pogarsza warunki<br />

dla dobrej adhezji zewnętrznej metalizacji.<br />

Na rysunku 3. przedstawiono widma XRD niskorezystywnego<br />

kontaktu omowego w strukturach n-SiC/Ni przed i po formowaniu<br />

kontaktu omowego przez wysokotemperaturowe<br />

wygrzewanie RTP 1050ºC & 3 min. Przedstawione widma<br />

XRD wykazują, że w tych warunkach wygrzewania metalizacji<br />

Ni (100 nm) występuje jedna tylko faza tj. d-Ni 2 Si przy<br />

braku obecności wolnego Ni, co sugeruje przereagowanie<br />

całej warstwy Ni. W efekcie wygrzania grubość warstwy<br />

zwiększa się ponad dwukrotnie, a jej powierzchnia jest silnie<br />

rozwinięta o chropowatości bliskiej 50 nm.<br />

Biorąc pod uwagę, że w krzemowych układach mocy stosuje<br />

się technologię połączeń Au, uznawaną jako najlepszą,<br />

także tutaj do układów z SiC mogłaby ona znaleźć zastosowanie.<br />

Praca Kuchuka [17] nad stabilnością układu cienkowarstwowego<br />

SiC/Ni 2 Si/Au wykazała, że morfologia<br />

metalizacji pogarsza się z czasem wygrzewania w powietrzu<br />

w 400 o C - powstają początkowo wytracenia, później także<br />

i dziury w metalizacji, co pokazuje fotografia na rys. 4. Ponadto<br />

rezystancja kontaktu wzrasta, a zmiany po 150 h wygrzewaniu<br />

Rys. 3. Widmo XRD kontaktu n-SiC/Ni przed i po formowaniu k.o.<br />

@1050 o C, 3’<br />

Fig. 3. The XRD spectra of n-SiC/Ni before and after ohmic contact<br />

formation at 1050 o C, 3’<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 27


Metalizacja Ti stosowana w kontaktach do SiC umożliwia wytworzenie<br />

kontaktu omowego do n- i p-typu SiC przez wysokotemperaturowe<br />

wygrzanie. W wyniku reakcji Ti z SiC<br />

w temp. 900...1000 o C powstają związki Ti 5 Si 3 i TiC znane z literatury,<br />

zaś przy wyższej temperaturze ok. 1000 o C może powstawać<br />

faza potrójnego związku Ti 3 SiC 2 , która współistnieje<br />

z poprzednio wymienionymi w tej temperaturze [18-22].<br />

Własne eksperymenty prowadzone w pierwszym etapie<br />

badań nad kontaktami wykazały, że kontakt omowy o niskiej<br />

rezystywności z metalizacji Ti na n-SiC (@n = 10 18 cm -3 ) formuje<br />

się przez proces RTP@1100ºC&3 min. Badania RBS<br />

metalizacji SiC/Ti (100 nm) poddanej wygrzewaniu w temp.<br />

950, 1000 i 1100ºC wskazują na pewne różnice w składzie<br />

metalizacji (rys. 5). W niższej temperaturze wygrzewania występuje<br />

większa zawartość węgla w obszarze przy międzypowierzchni<br />

niż przy powierzchni zewnętrznej, natomiast<br />

w próbce wygrzanej w 1100ºC więcej węgla jest w przy górnej<br />

powierzchni. Badania XRD tego kontaktu wykazały, że utworzoną<br />

warstwę kontaktową Ti-Si-C stanowi mieszanina faz<br />

Ti 8 C 5 oraz Ti 5 Si 3 .<br />

Warto nadmienić, że powierzchnia metalizacji Ti po wygrzewaniu<br />

dobrze zachowuje cechy gładkości bez widocznych<br />

wytrąceń. Grubość metalizacji nieznacznie zwiększa się<br />

dla próbki wygrzewanej w wyższej temperaturze.<br />

Badania właściwości mechanicznych oraz<br />

elektrycznych połączeń drutowych Al<br />

Rys. 4. Obraz mikroskopowy morfologii kontaktu n-SiC/Ni 2 Si/Au po<br />

wygrzewaniu w powietrzu 400 o C przez 150 h [17].<br />

Fig. 4. The n-SiC/Ni 2 Si/Au contact morphology after ageing in air<br />

400 o C & 150 h<br />

prowadzą do utraty liniowego charakteru I-V kontaktu. Badania<br />

XRD po 150 h wygrzewaniu próbki wykazały, że warstwa<br />

Au uległa znacznej degradacji i powstała faza potrójnego<br />

związku Au(Ni-Si). Zaobserwowano ponadto, że wygrzewanie<br />

kontaktu n-SiC/Ni 2 Si/Au w środowisku obojętnym nie czyni tak<br />

dramatycznych zmian. Tak więc przyczyną silnej degradacji<br />

kontaktu w powietrzu przy 400 o C jest prawdopodobnie środowisko<br />

utleniające, które dozwala na migracje tlenu przez<br />

cienką polikrystaliczną warstwę Au i częściowo dekomponuje<br />

krzemek niklu, przy czym powstaje jego związek z Au. Wydaje<br />

się, że zastosowanie grubej warstwy Au znacznie ograniczy<br />

degradację tego kontaktu w podwyższonej temperaturze.<br />

Kontakty na bazie Ti<br />

Połączenia elektryczne mogą być wykonywane drutami aluminiowymi,<br />

złotymi, rzadziej platynowymi, przy wykorzystaniu<br />

różnych technologii łączenia. Jednak narzucone wymagania<br />

dużej stabilności termicznej połączeń i konieczność wyeliminowania<br />

zmian strukturalnych złączy w czasie ich przebywania<br />

w wysokiej temperaturze, zawężają pole wyboru<br />

technologii dołączania. Połączenia grubym drutem aluminiowym,<br />

stosowane najczęściej w układach mocy, wykonywane<br />

są przy zastosowaniu technologii zgrzewania ultrakompresyjnego<br />

[22]. Technologia ta polega na dostarczeniu do obszaru<br />

połączenia energii ultradźwiękowej o częstotliwości ~60 kHz,<br />

przy jednocześnie wywartym nacisku. W trakcie łączenia zachodzi<br />

tarcie między powierzchniami łączonymi, dostarczona<br />

energia powoduje rekrystalizację obszaru odkształconego<br />

i powstanie złącza o charakterze wiązania metalicznego. Zaletą<br />

tego procesu jest jego realizacja w temperaturze pokojowej.<br />

Przy ultrakompresyjnym dołączaniu drutu Al o średnicy<br />

100 µm i większej stosuje się czyste aluminium, gdyż urywanie<br />

drutu za drugim połączeniem wykonywane jest za pomocą<br />

noża, zamocowanego w pobliżu stopki sonotrody. Dlatego<br />

drut nie wymaga dodatków krzemu czy magnezu dla zmniejszenia<br />

jego wydłużalności.<br />

W tab. 1 zebrano wyniki badań wytrzymałości pętli z drutu<br />

Al na metalizacji Al położonej na kontaktach omowych SiC<br />

z Ni oraz Ti. Połączenia zachowują właściwości mechaniczne<br />

po wygrzewaniu w 400°C przez 96 h, niezależnie od tego, jaki<br />

typ kontaktu omowego jest stosowany.<br />

Tab. 1. Wyniki badań wytrzymałości pętli z drutu Al na metalizacji Al<br />

na SiC (Ni oraz Ti k.o.)<br />

Tabl. 1. Wire pull test results for Al wire bonding onto Al contacts of<br />

n-SiC (Ni and Ti ohmic contacts)<br />

Połączenia<br />

monometaliczne<br />

Średnica<br />

drutu [µm]<br />

Siła zrywająca pętle z drutu na SiC<br />

Po montażu<br />

Po starzeniu<br />

400° & h<br />

Al-Al<br />

(Ni - Al + Al wire)<br />

100 525 mN 432 mN & 96h<br />

Al-Al<br />

(Ti -Al + Al wire)<br />

100 488 mN 427 mN & 96 h<br />

Rys. 5. Widma RBS kontaktu n-SiC/Ti przed i po wygrzewaniu<br />

w temp. 950...1100 o C w Ar<br />

Fig. 5. The 2 MeV He+ backscatering of n-SiC/Ti contact before and<br />

after annealing in Ar at temperature of 950...1100 o C<br />

W celu zbadania właściwości elektrycznych połączeń wykonywanych<br />

drutem Al na kontaktach bondabilnych Al na SiC,<br />

wykonano próbki testowe o konfiguracji jak na rys. 6.<br />

Dla tak wykonanych połączeń zbadano stabilność rezystancji<br />

w obszarach oznaczonych strzałkami (rys. 6) w trakcie<br />

narażeń cieplnych. W skład rezystancji obszaru oznaczonego<br />

strzałkami wchodziły następujące rezystancja połączenia drut<br />

Al- metalizacja Al na powierzchni SiC, rezystancja kontaktu<br />

28 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


omowego, rezystaja domieszkowanej warstwy SiC o długości<br />

ok. 1 mm, rezystancja kontaktu omowego oraz rezystancja<br />

metalizacja Al na SiC - drut Al. Wyniki tych badań zebrano na<br />

rys. 7 (Ni kontakt omowy) oraz rys. 8 (Ti kontakt omowy). Wyniki<br />

badań wskazują, że narażenie połączeń drutowych Al na<br />

kontaktach omowych z Ni oraz Ti na SiC w temperaturach do<br />

400°C nie powoduje degradacji połączeń elektrycznych.<br />

Rys. 6. Pętle z drutu Al 100 µm wykonane na Al polach kontaktowych<br />

na SiC/Ti (kontakt omowy)<br />

Fig. 6. Al 100 µm wire loops bonded onto Al contacts of n-SiC/Ti (o.c.)<br />

Badanie właściwości mechanicznych oraz<br />

elektrycznych połączeń drutowych Au<br />

Połączenia drutem złotym realizowane są przy zastosowaniu<br />

zgrzewania ultratermokompresyjnego bądź termokompresyjnego.<br />

Bardziej nowoczesną technologią jest zgrzewanie ultratermokopresyjne,<br />

bowiem wymagana temperatura łączenia nie<br />

przekracza 220ºC. Istnieje jednak ograniczenie dotyczące<br />

średnicy stosowanych drutów złotych, która dla tego typu<br />

połączeń nie może przekraczać 50 µm. Uzyskanie większych<br />

gęstości prądowych, w przypadku stosowania drutu złotego,<br />

można zrealizować przez wykonanie paru połączeń drutem<br />

50 µm, oczywiście, jeśli jest wystarczająco duża powierzchnia<br />

pola kontaktu. Natomiast zgrzewanie termokomresyjne można<br />

stosować do nieco grubszych drutów Au (100...200 µm).<br />

Połączenie powstaje przez doprowadzenie do obszaru<br />

połączenia energii cieplnej oraz wywarcie odkształcenia. Wymagana<br />

temperatura w tym procesie wynosi 340ºC i podgrzewane<br />

jest zarówno podłoże jak i narzędzie łączące.<br />

W tabeli 2. zebrano wyniki badań właściwości mechanicznych<br />

połączeń ultratermokompresyjnych w formie pętli z drutu<br />

Au (o średnicach z zakresu 50...100 µm) na powierzchni SiC<br />

z Ni kontaktami omowymi, na które naniesiona była warstwa<br />

metalizacji Au o grubości ok. 1 µm. Przeprowadzone badania<br />

właściwości mechanicznych połączeń wykonywanych drutem<br />

Au na złotej metalizacji kontaktu omowego z Ni po wygrzewaniu<br />

400°C & 120 h wykazują nieznaczne pogorszenie właściwości<br />

mechanicznych połączeń wykonanych drutami Au.<br />

Tab. 2. Siły zrywające pętle z drutu Au połączonego do metalizacji<br />

Au na n-SiC/Ni (kontakt omowy)<br />

Tabl. 2. Wire pull test results for Au wire bonding onto Au contacts<br />

of n-SiC/Ni (ohmic contact)<br />

Połączenia<br />

monometaliczne<br />

Au-Au<br />

Średnica<br />

drutu Au<br />

[µm]<br />

Siła zrywająca pętle z drutu na SiC<br />

Po wykonaniu<br />

Po wygrzaniu<br />

400° & h<br />

Rys. 7. Względne zmiany ∆R połączeń drutem Al w obszarach<br />

oznaczonych strzałkami w funkcji czasu wygrzewania w 300°C oraz<br />

400°C (kontakt Ni)<br />

Fig. 7. Relative resistance ∆R changes of Al wire bonds as a function<br />

of ageing time at 300°C and 400°C (Ni ohmic contact)<br />

Au-Au<br />

(Ni - Au + Au wire)<br />

Au-Au<br />

(Ni - Au + Au wire)<br />

50 340 mN 270 mN & 120h<br />

100 564 mN 490 mN & 120 h<br />

Rys. 8. Względna zmiana rezystancji połączeń Al-Al z obszarów<br />

oznaczonych strzałkami na kontaktach n-SiC/Ti (k.o.)/Al poddanych<br />

wygrzewaniu w 400°C<br />

Fig. 8. Relative changes of Al wire-Al metallization resistance onto<br />

n-SiC/Ti (o.c.) during ageing at 400°C (see arrows in Fig. 6)<br />

Rys. 9. Podwójna pętla do pomiarów właściwości elektrycznych<br />

połączeń między SiC, a kontaktami na ceramice alundowej<br />

Fig. 9. A double wire loop for electric test of joints between pads<br />

onto SiC and alumina<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 29


Niezależnie od badań właściwości mechanicznych<br />

połączeń wykonano pomiary rezystancji podwójnych pętli<br />

z drutu Au 50 µm między metalizacją Au na strukturze SiC,<br />

a kontaktami grubowarstwowymi na podłożu alundowym.<br />

Strukturę SiC montowano do podłoża szkliwem FO-13.<br />

Badano wpływ długoterminowego wygrzewania w temperaturze<br />

400°C na stabilność rezystancji połączeń o konfiguracji<br />

jak na rys. 9. Badania przeprowadzono dla dwóch<br />

rodzajów kontaktów omowych Ni oraz Ti. W obu przypadkach<br />

stosowano pokrycie Au o grubości ok. 1 µm jako warstwę<br />

bondabilną. Wyniki badań elektrycznych zaprezentowano na<br />

rys. 10 i 11.<br />

Badania wysokotemperaturowe właściwości elektrycznych<br />

podwójnych pętli z drutu Au na SiC, z różnymi typami metalizacji<br />

kontaktu omowego (Ni oraz Ti) wyraźnie wskazują na<br />

brak stabilności rezystancji połączeń wykonanych drutem Au<br />

na kontakcie Ni, względne zmiany ∆R na kontakcie Ni przekraczają<br />

160% po wygrzewaniu w temp 400°C przez 160 h,<br />

podczas gdy względne zmiany ∆R połączeń wykonanych tym<br />

samym drutem Au na kontakcie Ti nie przekraczają 5% po<br />

500 h wygrzewania.<br />

Testom stalilności poddano również połączenia wykonane<br />

ultratermokompresyjnie drutem Au 50 µm oraz termokompresyjnie<br />

drutem Au 100 µm do metalizacji Ti/Au z kontaktami<br />

omowymi na powierzchni epitaksjalnej n-SiC.<br />

Konfiguracje połączeń pokazano na rys. 12. Na mierzoną rezystancję<br />

R w obszarze oznaczonym strzałkami składały się:<br />

cztery rezystancje kontaktów omowych, cztery rezystancje<br />

metalizacja Au - połączenie drutowe Au, dwie rezystancje domieszkowanych<br />

obszarów SiC oraz rezystancję trzech odcinków<br />

drutu Au.<br />

Na rysunku 13. pokazano względne zmiany tej rezystancji.<br />

Połączenie ultratermokompresyjne wykonywane jest przy<br />

dużym odkształceniu plastycznym drutu, podgrzanym drucie<br />

oraz podłożu, a także przy dostarczanej energii ultradźwięko-<br />

Rys. 10. Procentowe zmiany ∆R podwójnej pętli z drutu Au 50 µm<br />

na Ni-kontakcie omowym z warstwą metalizacji Au<br />

Fig. 10. Relative changes ∆R of the double 50 µm Au wire loop resistance<br />

with Ni ohmic contacts<br />

Rys. 13. Względna zmiana rezystancji szeregowej ∆R w trakcie sukcesywnego<br />

wygrzewania w 400ºC, ultratermokompresyjne połączenia<br />

do SiC/Ti(k.o.)/Au wykonano drutem Au 50 µm<br />

Fig. 13. Relative resistance „∆R” changes during ageing in air at<br />

400ºC. The 50 µm Au ultrathermocompresssion bonding onto n-<br />

SiC/Ti/Au<br />

Rys. 11. Zmiany rezystancji ∆R podwójnej pętli z drutu Au 50 µm na<br />

Ti kontakcie omowym z warstwą metalizacja Au<br />

Fig. 11. Relative changes of the double 50 µm Au wire loop resistance<br />

on Ti ohmic contacts with Au film<br />

R<br />

Rys. 12. Konfiguracja połączeń termokompresyjnych wykonanych<br />

drutem Au 100 µm do pomiaru rezystancji R<br />

Fig. 12. Scheme of test sample for resistance measurement R of Au<br />

wire loops<br />

Rys. 14. Względne zmiany rezystancji ∆R przedstawionego układu<br />

połączeń termokompresyjnych drutem Au 100 µm do metalizacji<br />

kontaktowej n-SiC/Ti (k.o.)/Au po wygrzewaniu w 400°C w powietrzu<br />

Fig. 14. Relative resistance changes ∆R during ageing time in air at<br />

400ºC. The 100 µm Au thermocompresssion bonding onto<br />

n-SiC/Ti/Au<br />

30 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


wej w trakcie formowania. Ze wzrostem czasu wygrzewania<br />

następuje stopniowy wzrost rezystancji związany porządkowaniem<br />

struktury obszaru połączenia, a także zjawiskami na<br />

styku drutu Au z metalizacją Au, ale zachodzące zmiany nie<br />

degradują połączenia.<br />

Niezależnie od badań właściwości elektrycznych połączeń<br />

ultatermokompresyjnych wykonanych w konfiguracji „A”, drutem<br />

Au 50 µm, wykonano badania połączeń o tej samej konfiguracji,<br />

ale wykonanych metodą termokompresji drutem Au<br />

100 µm, przy czym struktura SiC była mocowana do ceramiki<br />

AlN kompozycją FO-13. Na rys. 14. pokazano względne<br />

zmiany ∆R przedstawionego układu połączeń z drutu Au<br />

100 µm. Jak wynika z badań rezystancji R, następują największe<br />

zmiany w ciągu 24 h wstępnego wygrzewania<br />

w 400°C, powodowane prawdopodobnie porządkowaniem<br />

struktury w obszarze połączeń. Połączenie termokompresyjne<br />

wykonywane jest przy dużym odkształceniu plastycznym podgrzanego<br />

drutu Au i obszaru połączenia. Dalsze przyrosty rezystancji<br />

w trakcie wygrzewanie są niewielkie, a połączenie<br />

zachowuje swoje parametry użytkowe.<br />

Badania właściwości mechanicznych i elektrycznych<br />

połączeń wykonywanych metodą ultratermokompresji (druty<br />

50 µm) oraz metodą termokompresji drutem Au 100 µm uwidoczniają,<br />

że najlepsze parametry użytkowe zachowują<br />

połączenia na SiC z Ti-kontaktem omowym. Połączenia zachowują<br />

swoje parametry po wygrzewaniu 400°C & 300 h.<br />

Wnioski<br />

W niniejszym artykule przedstawiono wyniki badań dotyczące<br />

formowania kontaktów omowych do n-SiC z Ni i Ti oraz wyniki<br />

badań stabilności metalizacji kontaktowych pogrubionych warstwa<br />

Al lub Au przy narażeniach wysokotemperaturowych,<br />

w tym właściwości elektrycznych i mechanicznych połączeń<br />

drutowych Au i Al na kontaktach do n-SiC, gdzie wyprowadzenia<br />

drutowe realizowano techniką ultrakompresji lub termoultrakompersji.<br />

Pomiary struktur testowych wykazały, że najniższą rezystancję<br />

właściwą kontaktu omowego o wartości 1,5•10 -5<br />

Ωcm 2 uzyskano dla n-SiC/Ti (RTA@1100 o C, 3’)/Au. Odnośnie<br />

kontaktów omowych opartych na Ni uzyskano rezystancje<br />

właściwą na poziomie 6•10 -5 Ωcm 2 . Badania strukturalne metalizacji<br />

wielowarstwowych oraz badania połączeń drutowych<br />

do tych metalizacji na SiC wykazały, że połączenia wykonywane<br />

drutami Au do złotej metalizacji na n-SiC z Ti kontaktem<br />

omowym są stabilne po wygrzewaniu w powietrzu w 400 o C.<br />

Natomiast połączenia wykonywane drutami Au do złotej metalizacji<br />

na n-SiC z Ni kontaktem omowym nie są stabilne po<br />

wygrzewaniu wysokotemperaturowym w powietrzu.<br />

Badania połączeń wykonywanych drutem Al do metalizacji<br />

kontaktu omowego n-SiC/Ti lub Ni pogrubionej warstwą<br />

glinu 2 µm wykazały, że są one stabilne w powietrzu w temperaturze<br />

300...400 o C niezależnie od typu metalizacji kontaktu<br />

omowego.<br />

Praca wykonana w ramach PBZ-MEiN-6/2/2006<br />

Literatura<br />

[1] Tsuyoshi Funaki et all.: Power Conversion with SiC Devices at<br />

Extremely High Ambient Temperature. IEEE Transaction on<br />

Power Electronics. vol. 22, no 4, July 2007<br />

[2] Gottfried K., Fritsche H. et all.: A High Temperature Stable Metallization<br />

Scheme for SiC Technology Operating at 400º C. MA-<br />

TERIALS Science Forum. vol. 264-268, 1998, pp. 795-798.<br />

[3] Cappola L., Huff D. et all.: Survey on High Temperature Packaging<br />

Materials for SiC Based Power Electronics Modules. IEEE.<br />

2007, pp. 2234-22-39.<br />

[4] Johnson R., Palmer M., Vang C., Liu.: Packaging Materials and<br />

Approaches for High Temperatures SiC Power Devices. Advances<br />

Microelectronics, vol. 31. no 1. Jan. 2004, pp. 8-11.<br />

[5] Mustain H.A., Lostetter A.B.,Brown W.D.: Evaluation of Gold and<br />

Aluminium Wire Bond Performance for High Temperature Silicon<br />

Carbide Power Modules. Electronic Components and Technology,<br />

ECTC, May 2005, pp.1623-1628.<br />

[6] Kiran Vanan, Fred Barlow : High Temperature SiC Packaging for<br />

Power Electronics Applications. Proc. of XXXI Conf. IMAPS-Poland.<br />

Krasiczyn. Sept. 2007, pp. 111-117.<br />

[7] Z. Szczepański, R.Kisiel :”Problemy montażu struktur SiC stosowanych<br />

w elektronice wysokich temperatur i dużych mocy”<br />

<strong>Elektronika</strong>, vol. XLIX nr 7-8/2008, ss. 19-24.<br />

[8] Szczepański, Z. Kisiel R.: SiC Die Connections for High Temperature<br />

Applications. 32nd International IMAPS -IEEE CPMT Poland<br />

Conference, Warszawa-Pułtusk, 21-24 September 2008,<br />

full paper CD version, ISBN 978-83-917701-6-0, 6 stron.<br />

[9] Szmidt J., Kisiel R., Szczepański Z.: Ohmic Contacts and Interconnections<br />

for High Temperatures SiC Devices. Proceed. of<br />

XXX Intern. Confer. IMAPS-Poland. Kraków 2006, pp. 111-117.<br />

[10] Crofton J., McMullin P. G., Williams J. R., Bozak M. J.: High temperature<br />

ohmic contact to n-type 6H-SiC using nickel J. Appl.<br />

Phys. 77 (3) (1995) 1317-1319.<br />

[11] Marinova Ts., Kakanakova-Georgieva A., Krastev V., Kakanakov<br />

R., Neshev M., Kassamakova L., Noblanc O., Arnodo C.,<br />

Cassette S., Brylinski C., Pecz B., Radnoczi G., Vincze Gy.: Nickel<br />

based ohmic contacts on SiC. Mater. Sci. Eng. B46 (1997)<br />

176-179.<br />

[12] Gasser S., Ba¨chli A., Garland C., Kolawa E., Nicolet M.-A.:<br />

Reaction of thin films with (001) 3C-SiC at 700oC. Microelectron.<br />

Eng. 37:38 (1997) 529-534.<br />

[13] Rastegaeva M.G., Andreev A.N., Zelenin V.V., Babanin A.I., Nikitina<br />

I.P., Chelnokov V.E., Rastegaev V.P.: Nickel-based metallization<br />

in processes of the 6H-SiC device fabrication: Ohmic<br />

contacts, masking and packaging. Inst. Phys. Conf. Ser. no 142,<br />

IOP Publishing, Bristol, 1996, pp. 581-584.<br />

[14] Hallin C., Yakimova R., Krastev V., Marinova Ts., Janzen E.: Interface<br />

chemistry and electrical properties of annealed Ni and<br />

Ni:Al-6H SiC structures, Inst. Phys. Conf. Ser. no. 142, IOP Publishing,<br />

Bristol, 1996, pp. 601-604.<br />

[15] Goesmann F., Schmid-Fetzer R.: Metals on 6H-SiC: Contact formation<br />

from the materials science point of view. Mater. Sci. Eng.<br />

B46 (1997) 357-362.<br />

[16] Roccaforte F., La Via F., Raineri V.: Int. J. of High Speed Electronics<br />

and Systems 15 (4) (2005) 781-820.<br />

[17] Kuchuka A. V., Guziewicz M., Ratajczak R., Wzorek M., Kladko<br />

V.P., Piotrowska A.: Long-term stability of Ni-silicide ohmic contact<br />

to n-type 4H-SiC. Microelectronic Engineering 85, (2008)<br />

2142-2145.<br />

[18] Makharti A., La Via F., Raineri V., Calcagno L., Frisina F.: Structural<br />

characterization of Ti - SiC reaction. Microelectr. Eng. 55<br />

(2001) 375-381.<br />

[19] Wakelkamp W. J. J., Van Loo F. J. J., Metselaar R.: Phase relations<br />

in the Ti-Si-C system. J. Eur. Ceram. Soc. 8 (1991) 135-139.<br />

[20] Goesmann F., Schmid-Fetzer R.: Temperature-dependent interface<br />

reactions and electrical contact properties of titanium on 6H-<br />

SiC. Semicond. Sci. Technol. 10 (1995) 1652-1658.<br />

[21] Kisiel R., Guziewicz M.: High Temperature Applications of Al Wire<br />

Connection to SiC Structures. Proceedings of ISSE 2008, 7-11<br />

May, Budapeszt, Hungary, ISBN 978-963-06-4915-5, pp. 266-<br />

270.<br />

[22] Guziewicz M., Kisiel R., Piotrowska A., Kamińska E., Kuchuk A.,<br />

Ratajczak R., Stonert A., Paszkowicz W.: Characterization of Tibased<br />

Ohmic Contacts compatible with Al wire Bonding for High<br />

Power SiC Devices. 9th International Workshop on Expert Evaluation<br />

& Control of Compound Semiconductor Materials & Technologies,<br />

1-4 th June 2008, EXMATEC 2008, Łódź, Poland,<br />

ISBN 978-83-915220-1-1, pp. 59-60.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 31


Charakteryzacja diod p-i-n wytworzonych<br />

metodą implantacji warstw epitaksialnych 4H-SiC<br />

jonami glinu<br />

mgr inż. NORBERT KWIETNIEWSKI 1 , KAMIL PAZIO, dr inż. MARIUSZ SOCHACKI 1 ,<br />

prof. dr hab. inż. JAN SZMIDT 1 , mgr ANDRZEJ DROŹDZIEL 2 , dr MIROSŁAW KULIK 2 ,<br />

dr SŁAWOMIR PRUCNAL 2 , mgr KRZYSZTOF PYSZNIAK 2 , mgr MICHAŁ RAWSKI 2 ,<br />

dr MARCIN TUREK 2 , dr hab. JERZY ŻUK 2 prof. UMCS<br />

1 Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Mikroelektroniki i Optoelektroniki<br />

2 Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, <strong>Instytut</strong> Fizyki, Lublin<br />

Węglik krzemu jest szerokoprzerwowym półprzewodnikiem<br />

o właściwościach materiałowych korzystnych przy konstrukcji<br />

elementów elektronicznych wysokich mocy i częstotliwości,<br />

mogących pracować w wysokiej temperaturze i w środowisku<br />

agresywnym chemicznie. Jest to także materiał atrakcyjny ze<br />

względu na zastosowania w technice jądrowej i kosmicznej.<br />

W ostatnich kilku latach nastąpił znaczny postęp w otrzymywaniu<br />

wysokiej jakości monokryształów oraz warstw epitaksjalnych<br />

SiC. W szczególności polityp 4H-SiC o dużej wartości<br />

przerwy energetycznej równej 3,2 eV i ze względu na wyższe<br />

wartości ruchliwości nośników niż 6H-SiC ma obecnie największe<br />

znaczenie technologiczne. Implantacja jonami glinu<br />

jest najbardziej odpowiednią metodą powtarzalnego i selektywnego<br />

otrzymywania warstw typu p w SiC. Wynika to ze<br />

względnie niskiej energii jonizacji tego akceptora w porównaniu<br />

do boru i galu oraz zbliżonego do atomu Si rozmiaru<br />

i masy atomu glinu, co ułatwia podstawienie Al w sieci<br />

w miejsce krzemu w procesie implantacji jonowej.<br />

W pracy omówiono oryginalną konstrukcję źródła jonów<br />

zbudowanego w Instytucie Fizyki UMCS dla celów implantacji<br />

glinem oraz przedstawiono wyniki badań metodą SIMS<br />

oraz spektrometrii mikroramanowskiej zaimplantowanych<br />

warstw epitaksjalnych 4H-SiC. Następnie dokładnie opisano<br />

proces wytwarzania diody p-i-n na bazie tego materiału, podano<br />

wyniki pomiarów rezystancji charakterystycznej kontaktów<br />

omowych, koncentracji nośników oraz przedstawiono<br />

charakterystyki prądowo-napięciowe.<br />

Źródło jonów implantatora UNIMAS<br />

Pomyślne przeprowadzenie procesu implantacji wiąże się<br />

z koniecznością zastosowania źródła wytwarzającego wiązkę<br />

jonów Al + o odpowiednio wysokim i stabilnym w czasie natężeniu<br />

prądu. Poglądowy schemat komory wyładowań W<br />

plazmowego źródła jonów implantatora UNIMAS przedstawiono<br />

na rys. 1. Wewnątrz komory o średnicy 11 mm<br />

i długości 20 mm znajduje się żarzona prądem stałym katoda<br />

K, która emituje elektrony podtrzymujące wyładowanie. Katoda<br />

wykonana jest z drutu wolframowego o średnicy<br />

0,75 mm i ma kształt spirali o sześciu zwojach, długość jej wynosi<br />

20 mm, a średnica zewnętrzna 6 mm. Natężenie prądu<br />

żarzenia katody zawarte jest w przedziale 31...33 A, żywotność<br />

katody wynosi wtedy średnio 70 godzin. Anoda A<br />

w kształcie cylindra wykonana jest z trudnotopliwego materiału<br />

- molibdenu. Z tego materiału wykonane są również elementy<br />

mocujące katodę i stanowiące jednocześnie<br />

doprowadzenia elektryczne. Anoda jest izolowana od detali<br />

mocujących katodę dwoma izolatorami wykonanymi z azotku<br />

boru. Parownik P w kształcie cienkiego walca (o długości<br />

17 mm, średnicy zewnętrznej 3,4 mm i wewnętrznej 2 mm)<br />

wykonany jest również z molibdenu ze względu na wysoką<br />

temperaturę pracy (ok. 2000°C). Parownik z umieszczonym<br />

w nim sproszkowanym, metalicznym glinem (jednorazowo<br />

około 50 mg) wsunięty jest osiowo do wnętrza spiralnie nawiniętej<br />

katody. Elementem ustalającym osiowe położenie parownika<br />

jest izolator z azotku boru. Konstrukcja parownika<br />

umożliwia ograniczenie wypływu par jonizowanej substancji<br />

przez zastosowanie specjalnej zatyczki. Osiąga on temperaturę<br />

pracy w wyniku nagrzewania promieniowaniem termicznym<br />

katody, jak i plazmy wyładowania łukowego. Temperatura<br />

parownika zależy również od głębokości na jaką jest on wsunięty<br />

w obszar katody. W przypadku implantacji jonami glinu<br />

(temperatura topnienia glinu - 660°C) głębokość ta równa się<br />

około dwie trzecie długości katody. Takie rozwiązanie konstrukcyjne<br />

źródła umożliwia wprowadzenie odparowanych<br />

atomów jonizowanej substancji bezpośrednio w obszar<br />

plazmy. Aby ułatwić zapłon wyładowania łukowego do wnętrza<br />

komory może być dozowany gaz np. argon. Ponadto moc<br />

prądu elektrycznego pobierana przez źródło jest stosunkowo<br />

niewielka i zawiera się w przedziale 350...500 W.<br />

Źródło jonów umieszczone jest w zewnętrznym polu magnetycznym<br />

B wytwarzanym przez specjalny elektromagnes.<br />

Linie sił pola magnetycznego są równoległe do osi źródła. Stosowanie<br />

dodatkowego pola magnetycznego ma na celu<br />

wydłużenie drogi, jaką pokonują w źródle elektrony, co zwiększa<br />

wydajność jonizacji. Wytworzone w plazmie jony są wyciągane<br />

ze źródła przez otwór ekstrakcyjny o średnicy 1 mm,<br />

dzięki działaniu pola elektrycznego pochodzącego od elektrody<br />

ekstrakcyjnej. Zazwyczaj stosowano napięcie ekstrakcyjne<br />

o wartości 25 kV. Przy otrzymywaniu jonów glinu<br />

natężenie całkowitego prądu jonowego uzyskiwanego z tego<br />

źródła mierzone na kolektorze implantatora jonów UNIMAS<br />

jest na poziomie 70...80 µA. Pozwala to na uzyskanie na tarczy<br />

o średnicy 5 cm, przy zastosowaniu przemiatania wiązki,<br />

gęstości natężenia prądu jonowego rzędu 3 µA/cm 2 .<br />

Rys. 1. Komora wyładowań plazmowego źródła jonów: K - katoda,<br />

A - anoda, P - parownik, I - izolatory, O - otwór ekstrakcyjny<br />

Fig. 1. Discharge chamber of plasma ion source: K - cathode,<br />

A - anode, P - evaporator, I - insulators, O - extraction opening<br />

32 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Eksperyment<br />

Struktura epitaksjalna wykorzystana do wytworzenia diod<br />

p-i-n została wykonana na 2-calowym podłożu 4H-SiC firmy<br />

SiCrystal AG o standardowym domieszkowaniu typu n na poziomie<br />

5•10 18 cm -3 . Bezpośrednio przed osadzaniem warstwy<br />

wysokorezystywnej powierzchnię podłoża poddano wysokotemperaturowemu<br />

trawieniu w atmosferze H 2 w reaktorze do<br />

osadzania warstw epitaksjalnych SiC w celu zmniejszenia<br />

gęstości i defektów na polerowanej powierzchni o polarności<br />

Si (0001). Na przygotowanej w ten sposób powierzchni osadzono<br />

warstwę epitaksjalną o grubości 10 µm domieszkowaną<br />

azotem (typ n) na poziomie 5•10 15 cm -3 . Strukturę<br />

epitaksjalną pocięto po procesie epitaksji na próbki o wymiarach<br />

5x5 mm. Następnie wykonano procesy wielokrotnej implantacji<br />

jonów glinu do warstwy epitaksjalnej. Podczas<br />

wszystkich procesów implantacji podłoże utrzymywano w<br />

temperaturze 500°C w celu ograniczenia efektów związanych<br />

z przypowierzchniową amorfizacją materiału przy interakcji z<br />

wiązką jonową. Dla osiągnięcia równomiernego rozkładu koncentracji<br />

domieszki na zakładanym poziomie 2•10 19 cm -3 do<br />

głębokości około 0,5 µm wykonano 4 kolejne procesy implantacji<br />

jonowej stosując następujące energie i dawki: 250<br />

keV - 3,7•10 14 cm -2 ; 160 keV - 1,7•10 14 cm -2 ; 100 keV -<br />

1,0•10 14 cm -2 ; 55 keV - 6,5•10 13 cm -2 .<br />

Przygotowane w ten sposób struktury poddano procesom<br />

wygrzewania wysokotemperaturowego mającego na celu rekrystalizację<br />

materiału i aktywację domieszki. Procesy wygrzewania<br />

prowadzono w reaktorze do epitaksji SiC w dobrze<br />

kontrolowanych warunkach przy przepływie argonu przy ciśnieniu<br />

100 hPa, temperaturze 1600°C i w czasie 20 minut.<br />

Profil domieszki otrzymany w wyniku implantacji i po wygrzewaniu<br />

wysokotemperaturowym zmierzono przy użyciu spektrometru<br />

mas jonów wtórnych (SIMS) IMS 6f firmy Cameca.<br />

Zbadano także widma światła rozproszonego ramanowsko<br />

stosując spektrometr Renishaw inVia. Zastosowany w pracy<br />

wysokorozdzielczy konfokalny spektrometr mikro-ramanowski<br />

Renishaw inVia umożliwia zogniskowanie wiązki lasera<br />

(l = 532 nm) na powierzchni rzędu kilku µm 2 .<br />

Na próbkach bez spodniego kontaktu omowego wykonano<br />

po stronie warstwy epitaksjalnej kontakty omowe do pomiaru<br />

koncentracji nośników metodą Halla. Trójkątne kontakty<br />

omowe o powierzchni 5•10 -3 cm 2 na narożach próbki wytworzono<br />

w wyniku osadzania wielowarstwowej metalizacji Ti/Al/Ti<br />

(10 nm/60 nm/30 nm) metodą rozpylania magnetronowego.<br />

Przed wykonaniem pomiarów kontakty wygrzano w czasie<br />

3 minut w temperaturze 1050°C w atmosferze argonu. Wartość<br />

rezystancji uzyskanych kontaktów omowych do obszaru<br />

typu p + zmierzono również przy wykorzystaniu metody c-TLM.<br />

Serię próbek poddano procesowi reaktywnego trawienia<br />

jonowego (RIE) o następujących parametrach: przepływ SF 6<br />

15 ml/min, przepływ O 2 30 ml/min przy ciśnieniu 4 Pa i mocy<br />

95 W w czasie 60 s. Proces trawienia fizykochemicznego zakończono<br />

krótkim (20 s) procesem rozpylania w argonie przy<br />

przepływie 45 ml/min. Pozostałe parametry procesu trawienia<br />

w Ar były analogiczne jak dla trawienia w mieszaninie SF 6 /O 2 .<br />

W wyniku trawienia usunięto 85 nm materiału.<br />

Trawienie jonowe wykorzystano także do zdefiniowania izolującego<br />

obszaru MESA w zaimplantowanej warstwie powierzchniowej<br />

SiC. Przed wytrawieniem obszaru MESA<br />

wykonano maski SiO 2 /Cr o grubości 200 nm/200 nm i przekroju<br />

kołowym. W trakcie trawienia jonowego w czasie 450 s usunięto<br />

materiał o grubości 520 nm przy opisanych parametrach trawienia<br />

RIE w mieszaninie SF 6 /O 2 . Po usunięciu maski SiO 2 /Cr wytworzono<br />

kontakty omowe do obszarów p + o średnicy 150 µm<br />

opisaną wcześniej metodą. Kontakty omowe do podłoża zostały<br />

wykonane w wyniku osadzania warstwy Ni o grubości 200 nm<br />

metodą rozpylania magnetronowego. Warstwy metalizacji zostały<br />

wygrzane w temperaturze 1050°C w czasie 3 minut w reaktorze<br />

RTP w atmosferze argonu w celu przebudowy obszaru<br />

przejściowego metal/półprzewodnik i uzyskania kontaktów o liniowej<br />

charakterystyce prądowo-napięciowej. Na wybranych<br />

próbkach wytworzono struktury testowe do pomiarów rezystancji<br />

kontaktów omowych metodą c-TLM. Wymagane wzory uzyskano<br />

przy użyciu fotolitografii lift-off.<br />

Charakterystyki prądowo-napięciowe (I-V) uzyskanych<br />

diod p-i-n zmierzono w temperaturze pokojowej przy użyciu<br />

stanowiska do pomiarów ostrzowych wyposażonego w zestaw<br />

mierników Keithley 236/237/238.<br />

Wyniki badań i dyskusja<br />

Teoretyczny profil domieszkowania otrzymany w wyniku symulacji<br />

za pomocą programu SRIM oraz rzeczywiste profile<br />

zmierzone metodą SIMS po wykonaniu opisanej w wcześniej<br />

4-krotnej implantacji warstwy 4H-SiC jonami Al + w temperaturze<br />

500°C (całkowita dawka D = 7,1•10 14 cm -2 ) i po wygrzewaniu<br />

w temperaturze 1600°C przedstawiono na rys. 2.<br />

Podgrzewanie podłoża w trakcie procesu implantacji oraz zjawisko<br />

kanałowania jonów powoduje, że domieszka lokuje się<br />

o około 150 nm głębiej niż w symulowanym profilu. Podczas<br />

wygrzewania poimplantacyjnego domieszka dyfunduje w kierunku<br />

powierzchni, dzięki czemu uzyskuje się wynikowy profil<br />

podobny do założonego w trakcie symulacji procesu. Wielokrotna<br />

implantacja zapewnia rozkład zbliżony do równomiernego,<br />

a uzyskany poziom domieszkowania jest zgodny<br />

z zakładaną wartością uzyskaną w wyniku symulacji. Trawienie<br />

RIE do głębokości około 80...90 nm zapewnia uzyskanie<br />

wysokiej koncentracji atomów glinu na powierzchni podłoża.<br />

Rysunek 3. przedstawia fragmenty widm ramanowskich dla<br />

nieimplantowanej (a), implantowanej Al + (b) oraz implantowanej<br />

i wygrzanej (c) warstwy 4H-SiC. Uwidocznione na rys. 3a<br />

w postaci silnych i wąskich linii aktywne ramanowsko mody<br />

w4H -SiC mają symetrię typu A 1 , E 1 i E 2 [1,2]. Charakteryzują<br />

one doskonały monokryształ i odpowiadają akustycznym<br />

i optycznym fononom poprzecznym (TA, TO) oraz optycznym<br />

fononom podłużnym (LO) o wyznaczonych wartościach liczb<br />

falowych podanych na rys. 3. Na uwagę zasługuje obecność<br />

szerokiego asymetrycznego pasma przy 978 cm -1 związanego<br />

z modem LOPC (Longitudinal Optic-Plasmon Coupled) pojawiającego<br />

się w wyniku sprzężenia fononu LO z kolektywnymi<br />

wzbudzeniami (plazmonami) plazmy ładunków w półprzewodniku.<br />

Wskutek implantacji pasmo to praktycznie zanika<br />

(rys. 3b), co świadczy o powstawaniu sporej liczby defektów<br />

radiacyjnych pułapkujących ładunki. Także obecność szerokich<br />

pasm charakterystycznych dla modów wibracyjnych [3]: Si-Si<br />

(przy ok. 500 cm -1 ), C-C (ok. 1400 cm -1 ) oraz dla amorficznych<br />

stopów SiC x (przy ok. 800...900 cm -1 ) na rys. 3b potwierdza istnienie<br />

przypowierzchniowej warstwy 4H-SiC bardzo silnie<br />

uszkodzonej wskutek implantacji. Obserwujemy także<br />

znaczące osłabienie pod wpływem uszkodzeń radiacyjnych,<br />

natężenia wąskich linii fononowych. Tak więc pomimo przeprowadzenia<br />

implantacji w temperaturze 500°C stwierdzić musimy<br />

obecność dużego nieporządku sieciowego w badanej<br />

warstwie 4H-SiC. Zastosowanie wygrzewania poimplantacyjnego<br />

w temperaturze 1600 o C zmienia radykalnie sytuację<br />

(rys. 3c) - zmniejszają się bądź zanikają pasma Si-Si, C-C oraz<br />

SiC x oraz pojawia się pasmo LOPC przy 978 cm -1 , co świadczy<br />

o odbudowie porządku krystalicznego. Generalnie jednak to<br />

widmo Ramana, chociaż charakterystyczne dla monokryształu<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 33


a)<br />

a)<br />

b)<br />

b)<br />

c)<br />

c)<br />

Rys. 2. Symulowany profil glinu w 4H-SiC po implantacji jonowej<br />

(a), profil Al uzyskany metodą SIMS dla tarczy 4H-SiC zaimplantowanej<br />

w t = 500°C (b), profil Al po implantacji i wygrzaniu<br />

w t = 1600°C (c)<br />

Fig. 2. Simulated Al ion implanted profile in 4H-SiC (a), SIMS Al<br />

depth profile in 4H-SiC after 500°C implantation (b), SIMS Al profile<br />

after 500°C implantation and 1600°C annealing (c)<br />

Rys. 3. Widma Ramana dla: nieimplantowanej warstwy epitaksjalnej<br />

4H-SiC (a), zaimplantowanej glinem (b), zaimplantowanej Al<br />

i wygrzanej w t = 1600°C (c) warstwy 4H-SiC<br />

Fig. 3. Raman spectra corresponding to: unimplanted epitaxial<br />

4H-SiC layer (a), Al-implanted (b), Al-implanted and annealed at<br />

1600°C (c) 4H-SiC layer<br />

jest gorszej jakości niż przedstawione na rys. 3a. Prawdopodobną<br />

przyczyną tego stanu rzeczy jest pogorszenie stanu powierzchni<br />

wskutek wygrzewania.<br />

Planowane są dalsze szczegółowe badania widm ramanowskich<br />

dla próbek o odbudowanym w wyniku wygrzewania<br />

poimplantacyjnego porządku sieciowym, w tym modu LOPC,<br />

którego analiza dostarczyć może wielu istotnych informacji,<br />

także ilościowych, między innymi o koncentracji nośników<br />

w warstwie zmodyfikowanej implantacją jonową.<br />

Rezystancja charakterystyczna kontaktów omowych została<br />

obliczona na podstawie pomiarów elektrycznych wykonanych<br />

metodą c-TLM. Metoda c-TLM (ang. circular pattern -<br />

Transmission Line Model) wykorzystuje maskę składającą się<br />

z kilku okrągłych pól stanowiących pole kontaktowe o jednakowym<br />

promieniu r 0 oraz pozostałej części metalizacji, od której<br />

pola kontaktowe są oddzielone przerwą d o różnej szerokości<br />

[4]. Topografię kontaktów metalicznych i rzeczywiste odwzorowanie<br />

w warstwie metalizacji przedstawia rys. 4.<br />

Rezystancja charakterystyczna kontaktu omowego w metodzie<br />

c-TLM określona jest wzorem:<br />

gdzie: U, I - zmierzone napięcie i prąd, L T - parametr metody<br />

c-TLM (transfer length), r 1 , d - parametry geometryczne metalizacji<br />

(promień zewnętrzny, szerokość przerwy w metalizacji).<br />

34 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


a)<br />

b)<br />

Parametr L T wyznaczany jest na podstawie aproksymacji<br />

wykresu R = f(d) otrzymywanego w wyniku pomiaru kolejnych<br />

charakterystyk I-V kontaktów omowych o różnej szerokości<br />

przerwy w metalizacji (d). Po podstawieniu do wzoru<br />

wyznaczonego parametru L T otrzymuje się wartość rezystancji<br />

charakterystycznej kontaktu omowego. W przypadku<br />

mierzonych kontaktów do podłoża n + i obszarów implantowanych<br />

p + uzyskano liniowy kształt charakterystyk I-V. Obliczona<br />

rezystancja charakterystyczna kontaktów do podłoża<br />

wynosiła typowo 8•10 -5 Ωcm 2 , a kontaktów do obszarów implantowanych<br />

1•10 -4 Ωcm 2 .<br />

Wyniki wykonanych pomiarów metodą Halla na dwóch<br />

stanowiskach potwierdzają dobrą powtarzalność pomiaru<br />

koncentracji nośników i ruchliwości przy zastosowaniu zaproponowanej<br />

struktury testowej. Uzyskane wartości koncentracji<br />

nośników w warstwie implantowanej zawierały się<br />

w przedziale 3…4•10 18 cm -3 przy założeniu, że domieszka<br />

jest rozłożona równomiernie do głębokości 350 nm. Kilkakrotnie<br />

niższa koncentracja nośników w porównaniu z pomiarami<br />

wykonanymi metodą SIMS może świadczyć<br />

o niekompletnej aktywacji domieszki w procesie wygrzewania<br />

wysokotemperaturowego.<br />

Wytworzone diody p-i-n charakteryzowały się napięciem<br />

przebicia 550...600 V przy dobrym uzysku na poziomie 85%.<br />

Niepożądanym zjawiskiem jest stosunkowo duży prąd upływu<br />

utrzymujący się na stałym poziomie 10 µA w szerokim zakresie<br />

napięcia polaryzacji zaporowej (50...400 V) - rys. 5. Największe<br />

rozrzuty parametrów zaobserwowano w przypadku<br />

prądu przewodzenia. Gęstość prądu diody przy polaryzacji<br />

napięciem 10 V zmienia się w zakresie 20...220 A/cm 2 .<br />

Podsumowanie<br />

Rys. 4. Topografia wzoru wykonywanego w metalizacji metodą fotolitografii<br />

(a), rzeczywista struktura wytworzonych kontaktów na<br />

SiC do pomiaru metodą c-TLM (b)<br />

Fig. 4. C-TLM pattern (a), real structure of ohmic contacts on silicon<br />

carbide surface (b)<br />

Rys. 5. Charakterystyka J-V złącza p-i-n spolaryzowanego w kierunku<br />

zaporowym<br />

Fig. 5. Reverse J-V characterstic of p-i-n junction<br />

Prowadzone badania miały przede wszystkim na celu charakteryzację<br />

implantowanych glinem warstw epitaksjalnych<br />

4H-SiC. Wykonane prace technologiczne wykazały możliwość<br />

wytworzenia diody p-i-n o napięciu zaporowym do<br />

600 V bez stosowania terminacji krawędziowej kontaktu z zadowalającym<br />

uzyskiem na poziomie 85%. Ograniczenie<br />

prądu zaporowego diody i zwiększenie napięcia przebicia wymaga<br />

dalszej optymalizacji struktury diody p-i-n i stosowania<br />

terminacji krawędziowej. Duży rozrzut prądu przewodzenia<br />

jest prawdopodobnie związany z procesami trawienia RIE<br />

mającego na celu usunięcie przypowierzchniowej warstwy<br />

materiału o niższej koncentracji glinu. Stabilizacja prądu przewodzenia<br />

diody p-i-n wymagałaby w takiej sytuacji użycia<br />

procesów utleniania termicznego węglika krzemu w celu usunięcia<br />

warstwy uszkodzonej po trawieniu RIE, co znacznie<br />

komplikuje procesy technologiczne. Materiał nie może być<br />

usunięty przy zastosowaniu jedynie utleniania termicznego<br />

i trawienia warstwy SiO 2 , ponieważ uzyskane profile domieszkowania<br />

charakteryzują się równomiernym rozkładem<br />

domieszki dopiero od głębokości 80...100 nm pod powierzchnią.<br />

Utlenianie węglika krzemu do takiej głębokości<br />

jest procesem długotrwałym i nieefektywnym z punktu widzenia<br />

ekonomicznego i seryjnej produkcji. Procesem znacznie<br />

usprawniającym wytwarzanie tego typu struktur<br />

przyrządowych byłoby opracowanie metody domieszkowania<br />

SiC w procesie implantacji glinu dużą dawką i przy jak<br />

najniższej energii jonów. W obecnie stosowanym implantatorze<br />

pojawia się problem stabilności wiązki jonowej przy najniższych<br />

energiach implantacji, co wymusza konieczność<br />

stosowania pewnych zabiegów technologicznych w celu usunięcia<br />

około 100 nm węglika krzemu.<br />

Praca naukowa finansowana ze środków na naukę w latach<br />

2007-2010 jako projekt badawczy zamawiany nr PBZ-MEiN-<br />

6/2/2006<br />

Literatura<br />

[1] Hayes W., Loudon R.: Scattering of Light by Crystals. Wiley, New<br />

York, 1978.<br />

[2] Martin E., Chafai M., Anton R., Torres A., Jimenez J.: Mat. Sci.<br />

Eng. B 80 (2001) pp. 366-369.<br />

[3] Perez-Rodriguez A., Pacaud Y., Calvo-Barrio L., Serre C., Skorupa<br />

W., Morante J. R.: J. Electron. Mater. 25 (1996) pp.541-547.<br />

[4] Marlow G. S., Das M. B.: The effects of contact size and nonzero<br />

metal resistance on the determination of specific contact resistance.<br />

Solid State Device Laboratory and Materials Research<br />

Laboratory, Pennsylvania, 1981.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 35


Polimery elektroprzewodzące w elektronice<br />

i analityce biochemicznej<br />

prof. dr hab. inż. WŁADYSŁAW TORBICZ, doc. dr hab. inż. DOROTA PIJANOWSKA<br />

<strong>Instytut</strong> Biocybernetyki i Inżynierii Biomedycznej PAN<br />

Szybki rozwój elektroniki i inżynierii materiałowej, a szczególnie<br />

dotyczący technologii półprzewodnikowych i chemii<br />

polimerów, doprowadził do opracowania wielu nowych materiałów<br />

o bardzo interesujących właściwościach. Jednym z<br />

ważnych odkryć w tym zakresie, dokonanym w latach 70.<br />

ubiegłego wieku było wynalezienie, a następnie rozwój technologii<br />

polimerów elektroprzewodzących (przewodzących).<br />

Właściwości elektryczne optyczne, chemiczne, elektrochemiczne,<br />

mechaniczne i wiele innych tych materiałów, zależą<br />

od działania na nie różnych czynników fizycznych, np. pola<br />

elektrycznego, światła, naprężenia (wykorzystanie w czujnikach<br />

wielkości fizycznych), a także chemicznych w postaci<br />

gazów oraz zjonizowanych i niezjonizowanych składników<br />

cieczy (wykorzystanie w czujnikach wielkości chemicznych).<br />

Szczególnie interesującą cechą polimerów elektroprzewodzących<br />

jest możliwość uzyskania pod wpływem odpowiedniego<br />

domieszkowania i czynników zewnętrznych zmian<br />

ich przewodności elektrycznej w bardzo szerokich granicach.<br />

W zależności od rodzaju polimeru można uzyskać zmianę o 10<br />

do 18 rzędów wielkości. Mogą więc one mieć właściwości<br />

przewodników metalicznych, półprzewodników (półprzewodniki<br />

organiczne) i izolatorów. Ponieważ metale są z zasady<br />

przewodnikami, więc polimery przewodzące o dużych przewodnościach<br />

są często nazywane metalami syntetycznymi.<br />

Duża różnorodność właściwości polimerów przewodzących<br />

spowodowała, że wykorzystuje się je do wykonania wielu miniaturowych<br />

elementów układów elektronicznych (rezystory,<br />

przewodniki, warstwy dielektryczne, diody, tranzystory, miniaturowych<br />

źródeł energii), optoelektronicznych (światłowody, fotodiody,<br />

fototranzystory, lasery, monitory i detektory optyczne),<br />

mechatronicznych (mikrozawory, mikropompy, mikroaktuatory,<br />

mikrodżwignie, rezonatory), elektrochemicznych (mikroczujniki<br />

chemiczne i biochemiczne, układy separujące składniki mieszanin<br />

cieczy i gazów), czy powłok ekranujących urządzenia<br />

elektroniczne od promieniowania elektromagnetycznego.<br />

W przeglądowym artykule omówiono podstawowe właściwości<br />

polimerów elektroprzewodzących i ich zastosowania<br />

w wybranych obszarach elektroniki i diagnostyki analitycznej.<br />

Wprowadzenie<br />

Polimery przewodzące, podobnie jak ogromna grupa polimerów<br />

naturalnych i syntetycznych składają się z wielokrotnie<br />

powtarzających się jednostek zwanych merami, ułożonych<br />

w łańcuchy [1,2]. Uzyskuje się je przez polimeryzację monomerów,<br />

najczęściej węglowych. Można tu wyróżnić homopolimery<br />

- polimery powstałe z jednakowych monomerów -<br />

i kopolimery - gdy do polimeryzacji użyto dwóch lub więcej rodzajów<br />

monomerów.<br />

W łańcuchu głównym polimerów przewodzących występują<br />

sprzężone wiązania podwójne [2,3]. Łańcuchy te mogą<br />

mieć ułożenie nieuporządkowane (niezorientowane polimery<br />

amorficzne), częściowo uporządkowane (zorientowane polimery<br />

amorficzne), albo mogą zawierać obszary całkowicie<br />

uporządkowane (krystality) o przypadkowej lub jednakowej<br />

orientacji. Zwartość budowy polimerów o nieuporządkowanym<br />

ułożeniu łańcuchów można uzyskać za pomocą czynnika sieciującego<br />

(sieciowanie).<br />

Polimery elektroprzewodzące można syntezować metodą:<br />

(1) rodnikową - centrami aktywnymi są rodniki, (2) jonową -<br />

centra aktywne to jony, (3) koordynacyjną - prowadzoną<br />

w obecności katalizatorów, (4) poprzez polikondensację i poliaddycję<br />

- każdy akt tworzenia łańcucha polimeru jest wynikiem<br />

kondensacji grup funkcyjnych. Ponadto, bardzo często<br />

stosuje się elektropolimeryzację. W tym przypadku monomery<br />

rozpuszczone w odpowiednim roztworze są utleniane pod<br />

wpływem napięcia podawanego na elektrody. Wytworzone kationorodniki<br />

są dołączane kolejno do łańcuchów polimeru osadzanych<br />

na anodzie.<br />

Praktycznie wszystkie tradycyjne polimery węglowe są<br />

izolatorami elektrycznymi, chociaż istniały nieliczne doniesienia<br />

z końca lat 50. ubiegłego wieku o polimerach wykazujących<br />

przewodnictwo elektryczne. Badania nad polimerami<br />

elektroprzewodzącymi zostały zintensyfikowane, gdy Alan<br />

J. Heeger, Alan G. MacDiarmid i Hideki Shirakawa wykazali,<br />

że modyfikacja trans-poliacetylenu przez oddziaływanie par<br />

jodu i bromu powoduje zwiększenie jego przewodności o 7<br />

rzędów wielkości, a także wpływa na jego właściwości<br />

optyczne [4,5]. „Za odkrycie i rozwój polimerów przewodzących”,<br />

otrzymali oni w 2000 r. Nagrodę Nobla w dziedzinie<br />

chemii.<br />

Właściwości polimerów przewodzących<br />

Na właściwości elektryczne, optyczne, magnetyczne, mechaniczne,<br />

chemiczne, termiczne i inne polimerów przewodzących<br />

ma wpływ budowa łańcucha głównego<br />

i przestrzenne ułożenie ich łańcuchów przez to upakowanie<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 36


tych łańcuchów, a także domieszki wprowadzane do polimeru.<br />

Właściwości te można wyjaśnić na podstawie analizy poziomów<br />

energetycznych orbitali na których znajdują się elektrony<br />

walencyjne węgla. Umożliwia to teoria orbitali molekularnych,<br />

które tworzą się przy powstawaniu związków zawierających<br />

wiele atomów węgla, dzięki hybrydyzacji (uwspólnianiu) ich<br />

orbitali atomowych [1]. Hybrydyzacja ta prowadzi do powstawania<br />

silnych pojedynczych wiązań chemicznych (orbitali) σ<br />

i słabych podwójnych π. Decyduje to o anizotropowych właściwościach<br />

elektrycznych tych polimerów .<br />

Właściwości elektryczne polimerów<br />

przewodzących<br />

Do opisu zjawisk związanych z przewodzeniem ładunków<br />

elektrycznych w polimerach przewodzących, podobnie jak w<br />

półprzewodnikach nieorganicznych (np. w krzemie), wykorzystuje<br />

się model pasmowy przewodnictwa [6]. Szerokość<br />

przerwy energetycznej, a więc i przewodność polimerów przewodzących<br />

jest zależna od rodzaju polimeru przewodzącego<br />

i od zastosowanych domieszek [2,3,7-9]. Na rysunku przedstawiono<br />

najczęściej stosowane polimery przewodzące<br />

(rys. b) i zakresy ich przewodności (rys. a), które, jak wspomniano<br />

wcześniej, można zmieniać pod wpływem różnych<br />

czynników, głównie domieszkowania, w bardzo szerokich granicach,<br />

od wartości odpowiadających izolatorom do wartości<br />

charakteryzujących metale.<br />

Domieszkowanie polimerów podstawowych uzyskuje się<br />

poprzez utlenianie, redukcję lub podstawienia. Do polimerów<br />

można wprowadzać różne domieszki typu p lub n. Domieszkami<br />

utleniającymi typu p są: jod (I 2 ), AsF 5 , BF 3 , FeCl 3 , SnCl 4 ,<br />

NOPF 6 , natomiast reduktorami typu n są: metale alkaliczne<br />

i ich związki. Z innych domieszek można wymienić: amalgamat<br />

sodu, naftalin sodu, NO 2 , SO 3 H, FeCl 4 - , Br 2 , sulfoniany<br />

(np. dodecylobenzenowy, boru), LiClO 4 , czy odpowiednio<br />

dobrane kwasy, np. kwas sulfonowo kamforowy, HX, gdzie<br />

X=F, Cl, Br, I (proponowanie) i zasady (deprotonowanie).<br />

Zmianę przewodności polimerów przewodzących można<br />

uzyskać również bez chemicznego domieszkowania, stosując<br />

napromieniowanie (domieszkowanie fotonowe - photo-doping)<br />

[2,3,7-9]. Inną, często stosowaną metodą jest wprowadzanie<br />

do polimeru ładunków elektrycznych za pomocą<br />

układu metal/izolator/półprzewodnik (MIS) [3,7]. W układzie<br />

tym metalowa elektroda jest oddzielona od polimeru (półprzewodnika)<br />

cienką warstwą dielektryka.<br />

Istnieje kilka mechanizmów przesuwania ładunków [10-12].<br />

W jednym z nich transport (przepływ) cząstek przenoszących<br />

ładunek można rozpatrywać jako szereg następujących po<br />

sobie reakcji utleniania-redukcji sąsiednich fragmentów łańcucha<br />

polimeru lub fragmentów sąsiednich łańcuchów, któremu<br />

towarzyszy przesuwanie elektronów lub/i dziur. Ważnymi parametrami<br />

określającym jakość polimeru jako półprzewodnika,<br />

podobnie jak w półprzewodnikach klasycznych są: koncentracja<br />

(liczba) nośników ładunków elektrycznych i ich ruchliwość.<br />

Podobnie jak szerokość przerwy energetycznej, koncentracja<br />

i ruchliwość nośników ładunków elektrycznych zależą od rodzaju<br />

i koncentracji domieszek, a ponadto, od struktury<br />

polimeru (bezpostaciowość, występowanie struktur krystalicznych).<br />

Jakościowym wyjaśnieniem tej zależności jest mechanizm<br />

przesyłania ładunku elektrycznego w polimerze, któremu<br />

często towarzyszy lokalna zmiana struktury chemicznej<br />

cząstek przekazujących ładunek, co nie jest procesem natychmiastowym,<br />

lecz wymagającym pewnego czasu.<br />

Jest ciekawe, że polimery elektroprzewodzące mogą być<br />

nadprzewodnikami. Potwierdza to przypuszczenia, że w<br />

żywych organizmach może występować zjawisko nadprzewodnictwa<br />

wysoko temperaturowego. Białka są przecież polimerami<br />

organicznymi.<br />

Właściwości optyczne polimerów przewodzących<br />

Niektóre z opisanych poprzednio niedomieszkowanych lub<br />

słabo domieszkowanych polimerów elektroprzewodzących<br />

(dielektryków i półprzewodników) mają właściwości optyczne,<br />

przydatne do konstrukcji czujników optycznych i systemów<br />

wykorzystujących takie czujniki. Można tu przykładowo wymienić:<br />

polianilinę, poliacetylen, polifluoreny, domieszkowane<br />

polistyreny czy kopolimer parafenylu i winylu [13-16].<br />

Opis zjawisk optycznych w ciałach stałych, a szczególnie w<br />

polimerach przewodzących, obejmuje zarówno generację par<br />

nośników ładunku elektrycznego pod wpływem energii świetlnej<br />

(fotonów), ich rekombinację (emisja fotonów lub przekazywanie<br />

energii drganiom sieci), jak i emisję światła spowodowaną zmianami<br />

poziomów kwantowych elektronów [13-16]. Prawdopodobieństwo<br />

zaistnienia wymienionych aktów, a więc i czasy ich<br />

zachodzenia zależą od struktury energetycznej polimeru.<br />

Jak wspomniano poprzednio, przy konstrukcji optycznych<br />

mikrosystemów pomiarowych są również wykorzystywane<br />

w celach pomocniczych (jako korpusy urządzeń przepływowych,<br />

światłowody), przezroczyste polimery nasycone, które<br />

są elektrycznie nieaktywne. O ich przydatności decyduje przezroczystość,<br />

odporność na działanie czynników chemicznych<br />

i temperatury oraz wytrzymałość mechaniczna i łatwość obróbki,<br />

np. plastycznej - w celu uzyskania odpowiednich struktur<br />

przestrzennych (kanały przepływowe, celki pomiarowe,<br />

światłowody). Najczęściej stosowanym do tych celów materiałem<br />

jest polidimetylosiloksan (PDMS). Duże nadzieje są<br />

wiązane z wykorzystaniem poliimidu, polimetakrylanu propylu<br />

(PPMA - Poly(Propyl Methacrylate)), polimetakrylanu metylu<br />

(PMMA - Poly(Methyl Methacrylate)), polistyrenu i nanokompozytu<br />

polistyrenu [17,18].<br />

Właściwości magnetyczne polimerów<br />

przewodzących<br />

Dostępne w literaturze informacje poświęcone polimerom<br />

przewodzącym o właściwościach magnetycznych nie są tak<br />

liczne jak omówionym poprzednio polimerom, w których wykorzystuje<br />

się ich właściwości elektryczne i optyczne. Zaobserwowano<br />

w tych polimerach zjawisko magnetorezystancji<br />

[19] i dużych wartości przenikalności i pozostałości magnetycznej<br />

(ferromagnetyzm) [20,21]. Zmiany rezystancji pod<br />

wpływem pola magnetycznego uzyskano w polifluorenach,<br />

polimerach zawierających grupę trój-(8-hydroksychinolinian)<br />

glinu [22], w polianilinie domieszkowanej utlenionym kwasem<br />

ferrocensulfonowym, w kopolimerze aniliny i kwasu 5-amino-<br />

2-naftalenosulfonowego [23,24] oraz w układzie koronowym<br />

z łańcuchem heksapirolu [25].<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 37


Najczęściej spotykane postacie podstawowe polimerów elektroprzewodzących: a) zakresy przewodności, b) struktury chemiczne<br />

Most common basic forms of electroconducting polymers: a) conductivity ranges, b) chemical structures<br />

Właściwości mechaniczne polimerów<br />

przewodzących<br />

Polimery przewodzące charakteryzują się dużym wachlarzem<br />

właściwości mechanicznych [3,26]. Można je wytwarzać<br />

w postaci: cieczy, żelu, ciekłych kryształów; plastycznych, elastycznych,<br />

sprężystych czy twardych bloków, płytek, foli, prętów,<br />

rurek, grubych i cienkich warstw oraz w postaci<br />

najróżnorodniejszych kształtek. Warstwy i folie z polimerów<br />

mogą mieć różną porowatość. Wiele z tych materiałów to piezoelektryki.<br />

Przykładowo, materiałami piezoelektrycznymi są<br />

różne domieszkowane polipirole i polianiliny, czy 3,4-etylenodioksytiofen.<br />

Różnorodność form polimerów przewodzących<br />

pozwala na wykonanie z tych materiałów rozbudowanych<br />

elektronicznych systemów wieloczujnikowych, np. w postaci<br />

tekstyliów [27]. Plastyczność polimerów przed ich końcowym<br />

utwardzeniem umożliwia wykonanie w nich wgłębień za pomocą<br />

negatywowej pieczątki [28], natomiast ciekła forma niektórych<br />

polimerów lub prepolimerów (monomery, oligomery -<br />

z których po polimeryzacji otrzymuje się polimery) pozwala na<br />

wykorzystanie drukarek strumieniowych do wytwarzania<br />

struktur warstwowych z tych materiałów [29].<br />

Właściwości sprężyste i piezoelektryczne polimerów przewodzących<br />

można wykorzystać w czujnikach do bezpośredniego<br />

pomiaru wielkości fizycznych (masa, siła, przyśpieszenie,<br />

ciśnienie, ugięcie), jak i do pośredniego pomiaru wielkości chemicznych,<br />

np. poprzez pomiar masy adsorbowanej na powierzchni<br />

materiału (mikrowaga), która jest zależna od stężenia<br />

oznaczanego składnika.<br />

Właściwości chemiczne i elektrochemiczne<br />

polimerów przewodzących<br />

Omówione wcześniej właściwości polimerów przewodzących<br />

można kształtować przez odpowiednie oddziaływanie czynnikami<br />

chemicznymi, co można wykorzystać do budowy czujników<br />

chemicznych i biochemicznych, w których wykorzystuje<br />

się zjawiska: (1) elektromechaniczne; (2) termiczne; (3) elek-<br />

38 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


trochemiczne (amperometria, potencjometria, pomiary impedancyjne);<br />

(4) magnetyczne; (5) optyczne (spektrofotometria,<br />

spektroskopia fluorescencyjna i absorpcyjna, polarymetria);<br />

(6) radiacyjne; (7) biologiczne (enzymy, przeciwciała, komórki,<br />

części tkanek, DNA, kwasy nukleinowe). W przypadku czujników<br />

elektrochemicznych do pomiaru składników cieczy, sygnał<br />

analityczny powstaje w wyniku reakcji elektrodowych<br />

zachodzących na granicy ciała stałego (elektrody) i analizowanej<br />

cieczy. Czujniki chemiczne z biologicznym członem detekcyjnym<br />

są powszechnie nazywane bioczujnikami.<br />

Najczęściej wykorzystywanymi enzymami w bioczujnikach<br />

amperometrycznych są enzymy, które wymagają obecności<br />

akceptorów elektronów do regeneracji enzymu<br />

(przenoszenia elektronów) po reakcji enzymatycznej. Do tego<br />

celu stosuje się najczęściej mediatory. Mediator, to<br />

małocząsteczkowa para redoks, która najpierw reaguje ze<br />

zredukowanym koenzymem, a następnie dyfunduje do elektrody,<br />

przenosząc ładunki elektryczne przy odpowiednio<br />

niższym potencjale. Mediatory mogą być akceptorami elektronów<br />

i protonów [2,30-33]. Możliwość przekazywania elektronów<br />

mediatorom lub innym substancjom przez polimery<br />

przewodzące umożliwia ich wykorzystanie w bioczujnikach<br />

amperometrycznych i w pomiarach woltametrycznych. Takimi<br />

polimerami są np. polipirole, polianilina czysta i domieszkowana<br />

oraz ich kompozyty [34,35].<br />

W niektórych polimerach przewodzących może zaistnieć<br />

wymiana jonowa na granicy polimeru i elektrolitu [36], co pozwala<br />

wykonywać czujniki potencjometryczne składników<br />

cieczy [2,37,38]. Do tych celów wykorzystywano domieszkowane<br />

polimery przewodzące, m.in. jonoforami. Można tu<br />

przykładowo wymienić polipirol, polianilinę i jej kompozyty<br />

oraz poli(3-octylotiofen).<br />

Zależność rezystancji polimerów przewodzących od<br />

różnych domieszek, którymi mogą być gazy (np. O 2 , NH 3 ,<br />

NO 2 , NO, H 2 S, CO, CO 2 , CH 4 ,) i pary różnych substancji organicznych,<br />

pozwala na wykorzystanie tych polimerów jako<br />

detektorów rezystancyjnych tych gazów i różnego rodzaju par.<br />

Można tu przykładowo wymienić odpowiednio domieszkowane<br />

następujące polimery: polipirol (PPy), PPy-SnO 2 , PPy-<br />

ZnO, polianilina (PANi), PANi-SnO 2 , poliheksylotiofen (PHTh),<br />

poli(etylenodioksytiofen) (PEDT), kopolimery PHTh-PEDT,<br />

(PHTh-EDT)-SnO 2 [3,39-41].<br />

Łatwość unieruchamiania w polimerach elektroprzewodzących<br />

różnych substancji biologicznych, np. enzymów,<br />

przeciwciał, fragmentów DNA i innych receptorów biologicznych<br />

jest przesłanką do ich stosowania w potencjometrycznych,<br />

amperometrycznych i rezystancyjnych bioczujnikach<br />

wielu składników płynów ustrojowych [42,43]. Do wykonania<br />

bioczujników wykorzystuje się różne polimery i kopolimery<br />

przewodzące (są to np. polipirol, polianilina, polipirol-polivinyl<br />

- bez domieszek i z domieszkami) oraz ich kompozyty<br />

[44,45].<br />

Właściwość selektywnego przepuszczania cząsteczek<br />

o różnych masach cząsteczkowych jest wykorzystywana do<br />

przesiewania (separowania, selekcji) tych cząsteczek, w tym<br />

jonów [46], co daje możliwość poprawienia selektywności<br />

czujników chemicznych, czy też opłaszczania materiału biologicznego,<br />

np. komórek czy mikroorganizmów wykorzystywanych<br />

do celów analitycznych.<br />

Wykorzystanie polimerów przewodzących<br />

do budowy elementów elektronicznych<br />

i optoelektronicznych<br />

Praktycznie we wszystkich współczesnych urządzeniach pomiarowych<br />

i do przetwarzania informacji, w tym w medycynie,<br />

stosuje się półprzewodnikowe układy elektroniczne. Wynika<br />

to z dążenia do miniaturyzacji i obniżenia ceny urządzeń pomiarowych<br />

oraz zwiększenia liczby mierzonych wielkości i automatyzacji<br />

pomiarów. Ponieważ przewodność polimerów<br />

elektroprzewodzących można zmieniać w szerokich granicach<br />

przez ich domieszkowanie, więc materiały te można również<br />

wykorzystać do budowy układów elektronicznych<br />

(elektronika organiczna), zawierających elementy bierne: rezystory<br />

[2,47] i kondensatory [48] oraz czynne: diody [49] i<br />

tranzystory polowe [50,51]. Ze względu na interesujące właściwości<br />

optyczne polimerów przewodzących, znalazły one zastosowanie<br />

w układach optoelektronicznych do wykonania<br />

źródeł i detektorów światła - fotodiod [52] i laserów [53] - oraz<br />

światłowodów [54]. Zintegrowanie wymienionych układów<br />

oraz czujników wielkości fizycznych i (bio)chemicznych, które<br />

można umieszczać na cienkich elastycznych foliach,<br />

mających postać tkaniny [55,56].<br />

Użycie polimerów przewodzących do wykonania elementów<br />

biernych - rezystorów, kondensatorów i światłowodów -<br />

jest zadaniem prostszym do wykonania niż elementów czynnych,<br />

jakimi są diody, tranzystory, fotodiody czy lasery, gdyż<br />

każdemu elementowi biernemu, uformowanemu w procesie<br />

fotolitografii warstwy polimeru, odpowiada obszar o jednakowych<br />

właściwościach - rezystancji, w odniesieniu do rezystorów<br />

i pojemności (a więc grubości dielektryka) w odniesieniu<br />

do kondensatorów. W przypadku tranzystorów, diod i elementów<br />

optycznych (fotodiod i laserów) obszary te zawierają<br />

połączone ze sobą podobszary (np. dren, źródło, kanał,<br />

złącza p-n), które spełniają różne funkcje. Podobszary te mają<br />

różne przewodnictwo, np. typu p i n, różne szerokości pasma<br />

zabronionego i przewodności. Uzyskuje się to przez lokalne<br />

domieszkowanie określonych obszarów polimeru [10,57-60].<br />

Urządzenia optoelektroniczne - ich podstawy, technologia,<br />

charakteryzacja i zastosowanie - wykorzystujące polimery<br />

elektroprzewodzące są omówione w licznych publikacjach,<br />

np. [14-16, 52-54, 61,62].<br />

Czujniki i mikrosystemy na potrzeby<br />

analityki wykorzystujące polimery<br />

przewodzące<br />

Człon pomiarowy czujników chemicznych, przetwarzający<br />

wielkość chemiczną na sygnał analityczny, można wykonać<br />

w różny sposób, uczulając odpowiednio obszar czujnika<br />

będący w kontakcie z oznaczanym medium.<br />

Czujniki i bioczujniki amperometryczne<br />

Sygnałem wyjściowym w czujnikach amperometrycznych jest<br />

natężenie prądu, mierzone przy odpowiednio dobranej wartości<br />

napięcia podanego pomiędzy katodę (elektroda pracująca)<br />

wykonaną z metalu szlachetnego (platyna lub węgiel)<br />

i anodę Ag/AgCl (elektroda odniesienia) [63]. Najbardziej zna-<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 39


nym czujnikiem amperometrycznym jest tlenowa elektroda<br />

Clarka. W wyniku reakcji elektrodowej na katodzie z udziałem<br />

tlenu, elektrony są przekazywane do elektrolitu. Natężenie<br />

prądu zależy od liczby przekazywanych elektronów, a więc<br />

jest zależne linowo od stężenia tlenu. Elektroda Clarka jest<br />

wykorzystywana jako czujnik podstawowy wielu bioczujników<br />

enzymatycznych (np. glukozy), w których tlen, obok oznaczanej<br />

substancji jest substratem (np. z udziałem oksydazy<br />

glukozowej unieruchomionej na elektrodzie pracującej). Wartość<br />

napięcia charakterystycznego dla danej substancji, przy<br />

którym zachodzi reakcja enzymatyczna może być zmieniona<br />

przez odpowiedni dobór mediatora [29-35].<br />

Znacznie większe możliwości, niż amperometria stałonapięciowa<br />

daje woltametria cykliczna (CV - Cyclic Voltametry).<br />

Jest to jedna z podstawowych metod stosowanych w elektrochemii,<br />

polegająca na podawaniu, pomiędzy elektrodę pracującą<br />

i referencyjną, cyklicznie zmieniającego się liniowo<br />

napięcia. Na podstawie uzyskanego woltamogramu, tj. zależności<br />

prądu od potencjału polaryzacji elektrody roboczej<br />

można określić potencjał utleniania (anodowy) i amplitudę<br />

piku prądu utleniania oraz potencjał redukcji (katodowy) i prąd<br />

piku, których wartości wynikają z reakcji elektrodowych zachodzących<br />

na elektrodzie pracującej. Materiał tej elektrody<br />

jest tak dobrany, aby zapewnić detekcję określonej substancji.<br />

Wartości wymienionych potencjałów pozwalają określić rodzaj<br />

substancji, a amplituda piku prądu utleniania lub redukcji<br />

- jej stężenie [64].<br />

Cykliczne powtarzanie zmieniającego się napięcia, również<br />

najczęściej liniowo, może być wykorzystane do polimeryzacji<br />

i osadzania materiałów elektroaktywnych na<br />

powierzchni elektrody roboczej (elektropolimeryzacja CV).<br />

W tabeli 1. przedstawiono przykłady wybranych czujników<br />

amperometrycznych składników cieczy, w których na elektrodzie<br />

pracującej zastosowano polimery przewodzące.<br />

Przykłady bioczujników amperometrycznych składników<br />

cieczy z polimerami przewodzącymi i receptorami biologicznymi<br />

naniesionymi na elektrodę pracującą, wybrane z dużej<br />

Tab. 1. Czujniki amperometryczne składników cieczy z polimerami przewodzącymi<br />

Tabl. 1. Conducting polymer amperometric sensors of liquid components<br />

NH 4<br />

+<br />

H 2 O 2<br />

Analit Polimer, (receptor), wykonanie Publ.<br />

Katecholaminy<br />

Pestycydy<br />

3 rodzaje<br />

NADH<br />

Lipaza<br />

Białka, Lizozym<br />

PANi domieszkowany kopolimerem polisulfanionu<br />

styrenu i kwasu elaninowego<br />

(PSSMA); elektropolimeryzacja CV<br />

polianilina domieszkowana elektrochemicznie<br />

kwasem ferrocenosulfonowym<br />

poli(3-metylotiofen), elektropolimeryzacja<br />

CV i stałonapięciowa<br />

PANi, PPy nanoszone na nanorurki techniką<br />

elektropolimeryzacji<br />

Elektroda węglowa; PANi domieszkowany<br />

polietylenodioksytiofenem; elektropolimeryzacja<br />

CV<br />

PANi, elektropolimeryzacja CV, elektroda<br />

węglowa<br />

elektroda platynowa; PPy domieszkowany<br />

polikwasem aminofenyloborowym, elektropolimeryzacja<br />

CV<br />

35<br />

65<br />

66<br />

67<br />

68<br />

69<br />

70<br />

Tab. 2. Bioczujniki amperometryczne składników cieczy z polimerami przewodzącymi<br />

Tabl. 2. Conducting polymer amperometric sensors of liquid components<br />

Analit Polimer, wykonanie Receptor biologiczny, wykonanie Publ.<br />

Glukoza<br />

Elektroda Ag; Kopolimer 3-metylotiofen/tiofen-<br />

3 octowy; elektropolimeryzacja<br />

GOD unieruchamiana elektrochemicznie na kopolimerze;<br />

mediator: p-benzochinon<br />

71<br />

Glukoza<br />

Elektroda Pt; PPy, domieszkowanie: polianion/poli(glikol<br />

etylenowy) (PEG); elektropolimeryzacja stałonapięciowa<br />

GOD unieruchamiana chemicznie na strukturze PEG<br />

/polyanion/kwas poliakryloamidometylopropano sulfonowy<br />

(AMPS)<br />

72<br />

Glukoza<br />

Elektroda węglowa; kompozyt: nanodrucików PPy<br />

elektropolimeryzacja stałonapięciowa i nanocząstek<br />

Pt - CV<br />

GOD unieruchamiany elektrochemicznie (CV); zastosowany<br />

nieprzewodzący poli(ortoaminofenol)<br />

73<br />

Glukoza Laktoza<br />

Galaktoza<br />

Elektroda Pt, PPy domieszkowany polyanion/PEG;<br />

elektropolimeryzacja stałonapięciowa<br />

Oksydazy: glukozowa, laktozowa, galaktozowa unieruchamiane<br />

chemicznie poprzez PEG na AMPS<br />

74<br />

Cholesterol<br />

Elektroda Pt, stałonapięciowa elektropolimeryzacja<br />

PPy,<br />

Esteraza i oksydaza cholesterolowa elektrochemicznie<br />

unieruchamiane na PPy<br />

75<br />

Cholina<br />

Elektroda węglowa; poli(kwas 3-karboksytertiofenowy);<br />

elektropolimeryzacja CV;<br />

Dwa rozwiązania: (1) oksyd. cholinowa, (2) oksyd.<br />

cholinowa/peroksydaza chrzanowa<br />

76<br />

Mocznik<br />

Elektroda szklana pokryta tlenkiem indu i cyny; porowaty<br />

kopolimer poli(N-3-aminopropylopyrol-pyrol)<br />

Ureaza unieruchomiona chemicznie 77<br />

40 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


liczby rozwiązań omówionych w literaturze, przedstawiono<br />

w tab. 2.Przegląd bioczujników amperometrycznych, wykorzystujących<br />

polimery przewodzące przedstawiono w [78].<br />

Czujniki i bioczujniki potencjometryczne<br />

W czujnikach (elektrodach) potencjometrycznych sygnałem wyjściowym<br />

jest różnica potencjałów między analizowaną cieczą<br />

(elektrolitem), a membraną czułą chemicznie tego czujnika. Nowoczesnymi<br />

rozwiązaniami tych czujników, umożliwiającymi ich<br />

znaczną miniaturyzację są tranzystory polowe czułe na jony<br />

(ISFET-y). Wykonanie membrany czułej chemicznie z polimeru<br />

przewodzącego wykazującego właściwości jonowymienne lub<br />

umożliwiającego unieruchamianie jonoforów prowadzi do rozszerzenia<br />

możliwości konstrukcyjnych czujników potencjometrycznych.<br />

Przykładowe rozwiązania tego rodzaju czujników<br />

omówiono w podanych publikacjach, stosując schemat: numer<br />

publikacji, analit, zastosowany polimer i jonofor (o ile występuje):<br />

[79], Ca 2+ , polianilina (PANi) domieszkowana fosforanem<br />

bis[4-(1,1,3,3-tetrametylobutyl)fenylu]; [80], pH, PVC-PPy; [81],<br />

pH, kompozyt szkło/PPy-Nafion; [82], pH, PPy; [83], K + , Na + ,<br />

PPy-PCV, walinomycyna, jonofor sodu - ETH 227; [84] K + ,<br />

Ca 2+ , poli(3,4-etylenodioksytiofen) (PEDOT) domieszkowany<br />

jonami poli(4-styrenosulfonianu); [85], Cl -1 , (PEDOT) domieszkowany<br />

HCl; [86], Ag + , poli(3-oktylotiofen), jonofor<br />

srebra - cyklofan.<br />

Tranzystorom czułym na jony, w których zastosowano polimery<br />

przewodzące, poświęcono m.in. prace: [87] - pomiar<br />

pH, gdzie zastosowano kopolimer poli (para-fenule-winylen);<br />

[88] - pomiar NH 3 (gaz), z użyciem PANi domieszkowanego<br />

kwasem kamforowosulfonowym.<br />

Bioczujniki potencjometryczne, podobnie jak bioczujniki<br />

amperometryczne, uzyskuje się przez naniesienie receptora<br />

biologicznego na obszar czuły chemiczne. Dużą grupę stanowią<br />

tu bioczujniki enzymatyczne. Przedstawiono je w podobny<br />

sposób jak poprzednio (analit, materiał elektrody, enzym): [89],<br />

mocznik, kopolimer poli(N-3-aminopropylo pirolowy), ureaza;<br />

[90] mocznik, BSA/PPy, ureaza [91], kreatynina, PANi, kreatyninaza<br />

i kreatynaza; [92], kwas askorbinowy, PPy, oksydaza<br />

askorbinowa; [93], pestycydy, PANi, cholinoesteraza. Tranzystorowy<br />

bioczujnik glukozy, omówiony w [94], wykonano<br />

jako układ całkowicie polimerowy, w którym użyto polimeru<br />

poli(3,4-etylenodioksythiofen) domieszkowanego poli(sulfonianem<br />

styrenu) (PEDOT:PSS). Przegląd rozwiązań i zastosowań<br />

w analityce tranzystorowych bioczujników<br />

polimerowych (typu EnFET) jest przedstawiony w [95].<br />

Czujniki chemiczne i bioczujniki rezystancyjne<br />

W czujnikach rezystancyjnych zawierających polimery przewodzące<br />

wykorzystuje się omówioną wcześniej zależność ich<br />

rezystancji od oddziaływania analitów w postaci gazów, par i<br />

składników cieczy. Mogą to być układy stałoprądowe i zmiennoprądowe.<br />

W drugim przypadku, wielkością mierzoną może<br />

byc impedancja lub jej składowe wyznaczane dla różnych<br />

częstotliwości (spektroskopia impedancyjna).<br />

Przykłady rezystancyjnych czujników gazów i par wykorzystujących<br />

polimery przewodzące przedstawiono stosując<br />

wcześniej podaną zasadę (nr publikacji, analit, polimer): [96],<br />

pary etanolu, PPy; [97], pary acetonu, domieszkowany PPy<br />

(badanie 7 rodzajów domieszek anionowych); [40], selektywność<br />

pomiaru NO x , PPy (1-10%)/ZnO; [98], para wodna,<br />

poli(fenylenowinylen) domieszkowany LiClO 4 i LiCl.<br />

Literatura odnosząca się do enzymatycznych bioczujników<br />

składników cieczy jest mniej liczna. Można tu<br />

przykładowo wymienić publikację [99].<br />

Czujniki i bioczujniki optoelektroniczne<br />

Polimery przewodzące znajdują coraz szersze zastosowanie<br />

do budowy optycznych czujników chemicznych i bioczujników<br />

enzymatycznych [100]. Jest to bardzo rozległa dziedzina, wymagająca<br />

specjalistycznej wiedzy. Czujniki te nie będą omawiane<br />

w niniejszym opracowaniu.<br />

Bioczujniki immunologiczne i DNA<br />

Choroby o podłożu odpornościowym są powszechne, co<br />

zwiększa zapotrzebowanie na tego rodzaju bioczujniki. Otrzymuje<br />

się je przez unieruchomienie przeciwciał lub antygenów<br />

w obszarze czułym chemicznie wybranego przetwornika analitycznego.<br />

Przykładowo można tu wymienić immunologiczne<br />

czujniki amperomertryczne [101], rezystancyjne (impedancyjne)<br />

[102] i optyczne [103,104].<br />

Znaczna liczba chorób ma podłoże genetyczne. Stąd istnieje<br />

potrzeba analiz DNA. Istnieje wiele metod przeprowadzania<br />

takich analiz, w których wykorzystuje się różnego<br />

rodzaju urządzenia, zawierające bioczujniki, np. (1) optyczne<br />

(światłowody, mikromacierze DNA, złote jako nośniki fragmentów<br />

DNA, kropki kwantowe); (2) piezoelektryczne (czujniki<br />

masowe); (3) elektrochemiczne (ze znacznikami<br />

enzymatycznymi i immunologicznymi i bez znaczników); (4)<br />

rezystancyjne oraz (5) z nanokulkami magnetycznymi z unieruchamianymi<br />

na nich fragmentami DNA [44,105].<br />

Mikrosystemy w diagnostyce analitycznej<br />

W celu zapewnienia możliwości tanich i szybkich pomiarów<br />

małych próbek analitycznych (miniaturyzacja), możliwie<br />

w sposób ciągły i zautomatyzowany, np. w warunkach terenowych,<br />

a w odniesieniu do diagnostyki medycznej, gdy są<br />

konieczne pomiary w warunkach in vivo, albo przy łóżku pacjenta<br />

są opracowywane mikrosystemy do całościowej analizy<br />

chemicznej (µTAS - Micro Total Analysis System), dla których<br />

przyjęto również nazwę lab-on-a-chip. Najczęściej są to<br />

układy przepływowe, w których zintegrowano najważniejsze<br />

bloki funkcyjne takie jak: (1) blok pobierania, transportu próbki:<br />

mikropompy, mikrozawory, człon zawierający kanały mikroprzepływowe,<br />

(2) blok wstępnego przygotowania próbki:<br />

mieszalnik, reaktor, człon do rozcieńczania próbki, (3) blok detekcji<br />

w postaci czujników chemicznych i biochemicznych oraz<br />

(4) blok przetwarzania sygnałów pomiarowych.<br />

Tradycyjnymi materiałami konstrukcyjnymi, najczęściej<br />

wykorzystywanymi do budowy tych urządzeń, są krzem i polimery<br />

nasycone. Szczególnie ważną rolę w układach typu<br />

µTAS spełnia blok detekcji, w którym można stosować omówione<br />

wcześniej czujniki i bioczujniki chemiczne wykorzystujące<br />

polimery przewodzące. Zaawansowane prace<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 41


konstrukcyjne i technologiczne, odnoszące się do tych polimerów,<br />

mają na celu wykonanie miniaturowych mechanicznych<br />

elementów wykonawczych (aktuatorów) [106,107];<br />

wytwarzanie, z użyciem fotolitografii, miniaturowych struktur<br />

(warstwy funkcyjne, kontakty elektryczne, mikrokanały) [108-<br />

110], czy też integracja różnych podukładów funkcyjnych<br />

[111,112], dają duże perspektywy szerszego wykorzystania<br />

polimerów przewodzących w układach lab-on-a-chip.<br />

Polimery przewodzące można wykorzystywać jako biomateriały<br />

zapewniające biokompatybilność urządzeń wszczepianych<br />

do organizmu lub będące z nim w bezpośrednim<br />

kontakcie [45,113-116]. Są to m.in. następujące zastosowania:<br />

(1) bioczujniki wszczepialne do organizmu, (2) inżynieria<br />

tkankowa - materiały na sztuczne mięśnie, biodegradowalne,<br />

mające właściwości stymulujące regenerację tkanek, (3) elektrody<br />

do stymulacji neuronów, wszczepialnych do mózgu, (4)<br />

wszczepialne mikrodozowniki leków z kontrolowanym uwalnianiem<br />

ich do organizmu.<br />

Podsumowanie<br />

Podsumowując można stwierdzić, że obserwowany w ostatnim<br />

okresie rozwój technologii polimerów przewodzących i<br />

technologii elektronicznych sprawił, iż polimery te są już stosowane<br />

w wielu dziedzinach techniki, a w technice sensorowej<br />

dla potrzeb diagnostyki analitycznej będą jeszcze przez<br />

wiele lat materiałami umożliwiającymi poprawę parametrów<br />

czujników, bioczujników i innych urządzeń, w tym miniaturyzację<br />

zautomatyzowanych systemów pomiarowych wielu wielkości<br />

biochemicznych i biofizycznych.<br />

Literatura<br />

[1] J. McMurry, Chemia organiczna, Tomy 1-5, PWN, 2007.<br />

[2] Z. Floriańczyk, S. Pęczek (red.), Chemia Polimerów, Tomy 1-3,<br />

Oficyna Wydawnicza Pol. Warszawskiej, 2002.<br />

[3] A. G. MacDiarmid, Synthetic metals: a novel role for organic<br />

polymers, Synthetic Metals, 125, 2002, 11-22.<br />

[4] H. Shirakawa, E. J. Louis, A. G. MacDiarmid, C. K. Chiang,<br />

A. J. Heeger, J. Chem. Soc. Chem. Comm., 1977, 579.<br />

[5] C. K. Chiang, C. R. Fischer, Y. W. Park, A. J. Heeger, H. Shirakawa,<br />

E. J. Louis, S. C. Gau and A. G. MacDiarmid , Phys.<br />

Rev. Letters, 39, 1977, 1098.<br />

[6] J. Hennel, Podstawy elektroniki półprzewodnikowej, WNT, Warszawa,<br />

2003.<br />

[7] S. Yang, P. Olishevski, M. Kertesz, , Synthetic Metals, 141,<br />

2004, 171-177.<br />

[8] P.K. Kahol J. C. Ho, Y. Y. Chen, C. R. Wang, S. Neeleshwar,<br />

C.B. Tsai, B. Wessling, , Synthetic Metals, 151, 2005, 65-72.<br />

[9] C. H. Ho, Ch. D. Liu, Ch. H. Hsieh, K. H. Hsieh, S. N. Lee, Synthetic<br />

Metals, 158, 2008, 630-637.<br />

[10] N. Karl, Synthetic Metals, 133-134, 2003, 649-657.<br />

[11] L. Li, G. Meller, H. Kosina, Synthetic Metals, 157, 2007, 243-<br />

246.<br />

[12] X. Liu, K.Gao, Y. Li, J. Fu, J. Wei, Sh. Xie, Synthetic Metals,<br />

157, 2007, 380-385.<br />

[13] S. Brazovski, N. Kirova, Synthetic Metals, 125, 2002, 129-138.<br />

[14] D. Moses, J. Wang, A. J. Heeger, N. Kirova, S. Brazovski, Synthetic<br />

Metals, v. 125, 2002, 93-98.<br />

[15] N. Kirova, Synthetic Metals, 152, 2005, 313-316.<br />

[16] J. Liu, Y. Zhang, Sh. Suna, J. Tang, Synthetic Metals, 157,<br />

2007, 134-137.<br />

[17] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />

Metals, 156, 2006, 1203-1207.<br />

[18] H. Wu, T. W. Odom, D. T. Chiu, G. M. Whitesides, J. Am. Chem.<br />

Soc., 125, No. 2, 2003, 554-559.<br />

[19] V. N. Prigodin, J. D. Bergeson, D. M. Lincoln, A. J. Epstein,<br />

Synthetic Metals, 156, 2006, 757-761.<br />

[20] X. Wu, X. Wang, J. Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />

176-181.<br />

[21] M. Jouini, M. Lazerges, S. Chelly, M. Billon, C. Lombard,<br />

B. Pepin-Donat, C. Pernelle, Synthetic Metals, 158, 2008,<br />

681-683.<br />

[22] V. N. Prigodin, J. D. Bergeson, D. M. Lincoln, A. J. Epstein,<br />

Synthetic Metals, 156, 2006, 757-761.<br />

[23] X. Wu, X. Wang, Ji Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />

176-181.<br />

[24] X. Wu, X. Wang, J. Lia, F. Wang, Synthetic Metals, 157, 2007,<br />

182-185.<br />

[25] M. Jouini, M. Lazerges, S. Chelly, M. Billon, C. Lombard,<br />

B. Pepin-Donat, C. Pernelle, Synthetic Metals, 158, 2008, 681-<br />

683.<br />

[26] F. Vidal, C. Plesse, G. Palaprat, A. Kheddar, J. Citerin, D. Teyssié,<br />

C. Chevrot, Synthetic Metals, 156, 2006, 1299-1304.<br />

[27] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />

Metals, v. 156, 2006, 1203-1207.<br />

[28] M. Rhee, M. A. Burns, Lab on a Chip, 8, 2008, 1365-1373.<br />

[29] Y. Yoshioka, G. E. Jabbour, 156, 2006, 779-783.<br />

[30] S. Zhang, G. Wright, Y. Yang, Biosensors and Bioelectronics,<br />

15, 2000, 273-282.<br />

[31] A. Kossakowska, D. G. Pijanowska, W. Torbicz, <strong>Elektronika</strong>, nr<br />

5, 2008, 113-118.<br />

[32] A. Kossakowska, D.G. Pijanowska, J. Kruk, W. Torbicz, Polish<br />

Journal of Chemistry, 82, nr 6, 2008, 1273-1281.<br />

[33] A. Chaubey, B. D. Malhotra, Biosensors and Bioelectronics, 17,<br />

2002, 441-456.<br />

[34] S. S. Razola, B. L. Ruiz, N. M. Diezc, H. B. Mark, Jr, J. M. Kauffmann,<br />

Biosensors and Bioelectronics, 17, 2002, 921-928.<br />

[35] Y. Ch. Luo, J. Sh Do, Sensors and Actuators B, 115, 2006,<br />

102-108<br />

[36] C. Jérôme, L. Martinot, R. Jérôme, Synthetic Metals, 105,<br />

1999, 65-71.<br />

[37] S. Carquigny, O. Segut, B. Lakard, F. Lallemand, P. Fievet,<br />

Synthetic Metals, 158, 2008, 453-461.<br />

[38] T. Lindfors, A. Ivaska, Anal. Chim. Acta, 437, 2001, 171-182.<br />

[39] L. Ruangchuay, A. Sirivat, J. Schwank, Synthetic Metals, 140,<br />

2004, 15-21.<br />

[40] L. Geng, Y. Zhao, X. Huang, Sh. Wang, Sh. Zhang, W. Huang,<br />

Sh. Wu, Synthetic Metals, 156, 2006, 1078-1082.<br />

[41] A. Wu, E.C. Venancio, A.G. MacDiarmid, Synthetic Metals, 157,<br />

2007, 303-310.<br />

[42] T. Ahuja, I.A. Mir, D. Kumar, Rajesh, Biomaterials, 28, 2007,<br />

791-805.<br />

[43] F.R.R. Teles, L.P. Fonseca, Materials Science and Engineering<br />

C, 28, 2008, 1530-1543<br />

[44] M. Gerard, A. Chaubey, B. D. Malhotra, Biosensors and Bioelectronics,<br />

17, 2002, 345-359.<br />

[45] N. K. Guimard, N. Gomez, Ch. E. Schmidt, Prog. Polym. Sci.,<br />

32, 2007, 876-921.<br />

[46] R. B. Kaner, Synthetic Metals, 125, 2002, 65-71.<br />

[47] G. Min, Synthetic Metals, 153, 2005, 49-52.<br />

[48] P. Sivaraman, S. K. Rath, V. R. Hande, A. P. Thakur, M. Patri,<br />

A. B. Samui, Synthetic Metals, 156, 2006, 1057-1064.<br />

[49] Z. Liu, W. Guo, D. Fu, W. Chen, Synthetic Metals, 156, 2006,<br />

414-416.<br />

[50] T. G. Bäcklund, H. G. O. Sandberg, R. Österbacka, H. Stubb,<br />

T. Mäkelä, S. Jussila, Synthetic Metals, 148, 2005, 87-91.<br />

[51] M. S. Lee, H. S. Kang, H. S. Kang, J. Joo, A. J. Epstein,<br />

J. Y. Lee, Thin Solid Films, 477, 2005, 169- 173.<br />

[52] J. H. Lee, D. H. Hwang, Polymer light-emitting diode using<br />

a new trialkoxyalkyl substituted PPV derivative, Synthetic Metals,<br />

158, 2008, 273-277.<br />

[53] E. Itoh, I. Torres, C. Hayden, D.M. Taylor, Synthetic Metals,<br />

156, 2006, 129-134.<br />

[54] H. D. Bauer, W. Ehrfeld, M. Harder, T. Paatzsch, M. Popp,<br />

I. Smaglinski, Synthetic Metals, 115, 2000, 13-20.<br />

42 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


[55] P. Ch. Wang, A. G. MacDiarmid, Displays, 28, 2007, 101-104.<br />

[56] R. Mannerbro, M. Ranlöf, N. Robinson, R. Forchheimer, Synthetic<br />

Metals, 158, 2008, 556-560.<br />

[57] T. G. Bäcklund, H. G. O. Sandberg, R. Österbacka, H. Stubb,<br />

T.Mäkelä, S. Jussila, Synthetic Metals, 148, 2005, 87-91.<br />

[58] S. Ch Lim, S. H. Kim, J. H. Lee, M. K. Kim, D. J. Kim, T. Zdung,<br />

Synthetic Metals, 148, 2005, 75-79.<br />

[59] L. A. Majewski, M. Grell, Synthetic Metals, 151, 2005, 175-179.<br />

[60] R. Şahingöz, H. Kanbur, M. Voigt, C. Soykan, Synthetic Metals,<br />

v. 158, 2008, 727-731.<br />

[61] F. Yakuphanoglu, Synthetic Metals, 157, 2007, 859-862.<br />

[62] K. Ch. Tang, Sh. R. Tseng, W.Sh. Li, H. F. Meng, Sh. F. Horng,<br />

Ch. Sh. Hsu, Synthetic Metals, 158, 2008, 287-291.<br />

[63] B. R. Eggins, Chemical Sensors and Biosensors, Analytical<br />

Techniques in the Sciences, Viley-VCH, 2002.<br />

[64] J. Wang, Analytical Electrochemistry, Wiley-VCH, 2006.<br />

[65] Y. Yang, Sh. Mu, Biosensors and Bioelectronics, 21, 2005,<br />

74-78.<br />

[66] A. Kelley, B. Angolia, I. Marawi, J. Solid State Electrochem.,<br />

10, 2006, 397-404.<br />

[67] P. Manisankar, P. L. A. Sundari, R. Sasikumar, S. P. Palaniappan,<br />

Talanta, 76, 2008, 1022-1028.<br />

[68] A. Balamurugan, Shen-Ming Chen, Sensors and Actuators B,<br />

129, 2008, 850-858.<br />

[69] A. Kumar, G. Whitaker, A. Kumar, Biosensors and Bioelectronics,<br />

21, 2005, 513-517.<br />

[70] J. Rick, T. Ch. Chou, Biosensors and Bioelectronics, 22, 2006,<br />

329-335.<br />

[71] T. Kuwahara, K. Oshima, M. Shimomura, S. Miyamuchi, Synthetic<br />

Metals, 152, 2005, 29-32.<br />

[72] W. J. Sung, Y. H. Bae, Biosensors and Bioelectronics, 18, 2003,<br />

1231-1239.<br />

[73] J. Li, X. Lin, Biosensors and Bioelectronics, 22, 2007, 2898-<br />

2905.<br />

[74] W. J. Sung, Y. H. Bae, Sensors and Actuators B, 114, 2006,<br />

164-169.<br />

[75] S. Singh, A. Chaubey, B. D. Malhotra, Analytica Chimica Acta,<br />

502, 2004, 229-234.<br />

[76] Md. A. Rahman, D. S. Park, Y. B. Shim, Biosensors and Bioelectronics,<br />

19, 2004, 1565-1571.<br />

[77] Rajesh, V. Bisht, W. Takashima, K. Kaneto, Biomaterials, 26,<br />

2005, 3683-3690.<br />

[78] J. C. Vidal, E. Garcia-Ruiz, J. R. Castillo, Microchim. Acta, 143,<br />

2003, 93-111.<br />

[79] F. Hide, B. J. Schwartz, M. A. Diaz-Garcia, A. J. Heeger, Synthetic<br />

Metals, 91, 1997, 35-40.<br />

[80] C. Masalles, S. Borrós, C. Viñas, F. Teixidor, Anal Bioanal<br />

Chem., 372, 2002, 513-518.<br />

[81] H. Jahn, H. Kaden, Microchim. Acta, 146, 2004,173-180.<br />

[82] B. Lakard, O. Segut, S. Lakard, G. Herlem, T. Gharbi, Sensors<br />

and Actuators B, 122, 2007, 101-108.<br />

[83] A. Michalska, A. Hulanicki, A. Lewenstam, Microchemical Journal,<br />

57, 1997, 59-64.<br />

[84] A. Michalska, K. Maksymiuk, Analytica Chimica Acta, 523,<br />

2004, 97-105.<br />

[85] P. Sjöberg-Eerola, J. Bobacka, A. Lewenstam, A. Ivaska, Sensors<br />

and Actuators B, 127, 2007, 545-553.<br />

[86] M. Vázquez, J. Bobacka, A. Ivaska, J. Solid State Electrochem.,<br />

9, 2005, 865-873.<br />

[87] P. Pistor, V. Chu, D. M. F. Prazeres, J. P. Conde, Sensors and<br />

Actuators B, 123, 2007, 153-157.<br />

[88] A. Saheb, M. Josowicz, J. Janata, Anal. Chemistry, 80 2008,<br />

4214-4219.<br />

[89] R. V. Bisht, W. Takashima, K. Kaneto, 62, 2005, 51-59.<br />

[90] T. Ahuja, I. A. Mir, D. Kumar, Rajesh, Sensors and Actuators B,<br />

134, 2008, 140-145.<br />

[91] P. C. Pandey, A. P. Mishra, Sensors and Actuators B, 99, 2004,<br />

230-235.<br />

[92] J. Ch. Chou, , Y. H. Tsai, Ch. Ch. Chen, IEEE Sensors J. 8, no<br />

9, 2008, 171-1577.<br />

[93] A. N. Ivanov, G. A. Evtugyn, Lilia V. Lukachova, Elena E. Karyakina,<br />

H. C. Budnikov, S. G. Kiseleva, A. V. Orlov, G. P. Karpacheva,<br />

and Arkady A. Karyakin, IEEE Sensors J. 3, no 3,<br />

2003, 333-340.<br />

[94] J. Liu, M. Agarwal, K. Varahramyan, Sensors and Actuators B,<br />

135, 2008, 195-199.<br />

[95] C. Bartic, G. Borghs, Anal. Bioanal. Chem. 384, 2006, 354-365.<br />

[96] G. Jin, J. Norrish, Ch. Too, G. Wallace, Current Applied Physics,<br />

4, 2004, 366-369.<br />

[97] L. Ruangchuay, A. Sirivat, J. Schwank, Synthetic Metals, 140,<br />

2004, 15-21.<br />

[98] K. Liu, Y. Li, L. Hong, M. Yang, Sensors and Actuators B, 129,<br />

2008, 24-29.<br />

[99] Ch. Esseghaier, S. Helali, H. Ben Fredj, A. Tlili, A. Abdelghani,<br />

Sensors and Actuators B, 131, 2008, 584-589.<br />

[100] M. J. O’Connell, C. K. Ch., W. Li, R. K. Hicks, S. K. Doorn,<br />

H. L. Wang, Polymer, 48, 2007, 7582-7589.<br />

[101] K. Singh, Md. A. Rahmanb, J.I. Son, K. Ch. Kim, Y. B. Shim,<br />

Biosens. and Bioelectronics, 23, 2008, 1595-1601.<br />

[102] Ch. Esseghaier, S. Helali, H. B. Fredj, A. Tlili, A. Abdelghani,<br />

Sensors and Actuators B, 131, 2008, 584-589.<br />

[103] Ch. R. Taitt, G. P. Anderson, F. S. Ligler, Biosens. and Bioelectronics,<br />

20, 2005, 2470-2487<br />

[104] W. Hu, Ch. M. Li, Hua Dong, Analytica Chimica Acta, 630,<br />

2008, 67-74.<br />

[105] F. R. R. Teles, L. P. Fonseca, Talanta, 77, 2008, 606-623.<br />

[106] E. Smela, W. Lu, B. R. Mattes, Synthetic Metals, 151, 2005,<br />

25-42.<br />

[107] E. Smela, B. R. Mattes, Synthetic Metals, 151, 2005, 43-48.<br />

[108] W. Prissanaroon, N. Brack, P. J. Pigram, P. Hale, P. Kappen,<br />

J. Liesegang, Thin Solid Films, 477, 2005, 131- 139.<br />

[109] E. Itoh, I. Torres, C. Hayden, D. M. Taylor, Synthetic Metals,<br />

156, 2006, 129-134.<br />

[110] S. B. Prakash, M. Urdaneta, M. Christophersen, E. Smela,<br />

P. Abshire, Sensors and Actuators B, 129, 2008, 699-704.<br />

[111] T. S. Hansen, K. West, O. Hassager, N. B. Larsen, Synthetic<br />

Metals, 156, 2006, 1203-1207.<br />

[112] A. Chakraborty, X. Liu, G. Parthasarathi, Ch. Luo, Microsyst.<br />

Technol., 13, 2007, 1175-1184.<br />

[113] H. I. Kim, S. J. Park, S. I. Kim, N. G. Kim, S. J. Kim, Synthetic<br />

Metals, 155, 2005, 674-676.<br />

[114] R. A. Green, N. H. Lovell, G. G. Wallace, L. A. Poole-Warren,<br />

Biomaterials, 29, 2008, 3393-3399.<br />

[115] J. F. Wang, X. Y. Liu, B. Luan, J. of Materials Processing Technology,<br />

197, 2008, 428-433.<br />

[116] S. Geetha, Chepuri R. K. Rao, M. Vijayan, D. C. Trivedi, Analytica<br />

Chimica Acta, 568, 2006, 119-125.<br />

Przypominamy o prenumeracie miesięcznika <strong>Elektronika</strong> na <strong>2009</strong> r.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 43


Rola modułów dialogowych w tworzeniu profilów<br />

osobowych uczestników szkoleń e-learningowych<br />

mgr WOJCIECH PRZYŁUSKI<br />

<strong>Instytut</strong> Maszyn Matematycznych<br />

Moduły dialogowe<br />

Modułem dialogowym jest nazywany taki fragment kursu<br />

e-learningowego, w którym następuje wymiana informacji<br />

(na ogół w języku naturalnym) pomiędzy kursantem, a systemem<br />

sterującym. Ta wymiana może dotyczyć dwóch typów<br />

zagadnień. Z jednej strony to m.in.: preferencje edukacyjne<br />

osoby szkolonej, jej stan wiedzy i postęp w szkoleniu oraz<br />

różnorakie możliwości i potrzeby, czyli to wszystko, co<br />

łącznie określić można jako profil kursanta. Z drugiej strony<br />

to m.in.: planowany przebieg e-kursu, sposób i poziom zaliczenia<br />

jego fragmentów oraz całego szkolenia, zasoby edukacyjne<br />

kursu wraz z zasadami ich wykorzystywania, czyli<br />

informacje które interesują osobę szkoloną bowiem składają<br />

się na szeroko rozumianą charakterystykę e-kursu. Dalsza<br />

część artykułu jest poświęcona zagadnieniom związanym<br />

z tworzeniem profilu kursanta.<br />

Tendencje rozwoju e-learningu wskazują, że w e-kursach<br />

moduły dialogowe mogą odegrać ważną rolę. W pracy [1]<br />

o problemach i kierunkach zdalnego nauczania można przeczytać<br />

diagnozę (fragment): Personalizacja procesu<br />

kształcenia, czy to przez adaptacyjny przebieg e-kursu, czy<br />

też przez możliwość budowania z dostępnego kontentu<br />

własnego programu szkolenia „self paced”, musi obejmować<br />

monitorowanie i ocenę poziomu nabywanej lub nabytej wiedzy.<br />

Wraz z oceną skutków szkolenia, ocenie (ewaluacji)<br />

musi podlegać kontent oraz organizacja procesu zdalnego<br />

kształcenia. Wydaje się, że dominującym nurtem we<br />

współczesnym e-learningu jest troska o jakość i skuteczność<br />

zdalnego kształcenia oraz o wiarygodność oceniania,<br />

zwłaszcza w tych instytucjach i organizacjach, które wydają<br />

certyfikaty i dyplomy.<br />

W tym kontekście wydaje się, że rola personalizacji nauczania<br />

(a zatem i modułów dialogowych) w e-kursach może<br />

być dwojaka: emocjonalna (psychologiczna) i merytoryczna.<br />

Emocjonalna oznacza, że właściwie przygotowane moduły<br />

dialogowe umieszczone w odpowiednich miejscach w e-kursie<br />

i uruchomione w stosownym czasie mogą sprawić, że<br />

kursant poczuje się dowartościowany faktem traktowania go<br />

w sposób indywidualny. Będzie miał świadomość, że<br />

„ścieżka”, którą podąża w e-kursie jest unikalna i specjalnie<br />

dla niego dobrana. Rola merytoryczna oznacza, że celem<br />

działania modułów dialogowych jest określenie profilów osobowości<br />

i stanu wiedzy kursantów oraz przechowanie tych<br />

informacji w systemie tak, aby mogły być wykorzystane do<br />

doboru najlepszej metody szkolenia i oceny kursanta czyli<br />

do inteligentnego nauczania. Ta baza wiedzy dotycząca profilu<br />

użytkownika może też być wykorzystana do konstruowania<br />

kolejnych modułów dialogowych danego e-kursu.<br />

Kurs e-learningowy jest prawie zawsze przeznaczony dla<br />

większej liczby odbiorców. Musi więc być uniwersalny i jeśli<br />

ma dobrze wypełnić swoje zadania edukacyjne, powinien<br />

uwzględniać różnice intelektualne i rozmaite predyspozycje<br />

poszczególnych kursantów. Te różnice pomiędzy kursantami<br />

nie powinny utrudnić, ale wręcz przeciwnie ułatwić proces<br />

kształcenia. Warto tu może przytoczyć słowa Stevena Levy,<br />

wielokrotnego zdobywcy tytułu „nauczyciel roku” w USA: słowo<br />

„edukacja” wywodzi się od „educere”, co znaczy „wyciągnąć,<br />

wydobywać”. Uczeń nie jest zatem pustym naczyniem, COŚ<br />

już w nim jest i czeka na odkrycie. Tak więc głównym rezultatem<br />

użycia modułów dialogowych jest określenie profilu kursanta<br />

w tym ocena skutków szkolenia (cząstkowa i końcowa),<br />

a rezultatem ubocznym - choć mającym istotne znaczenie -<br />

jest utwierdzenie w świadomości kursanta faktu, że jest unikalnym<br />

podmiotem procesu kształcenia.<br />

Warto podkreślić, że nie należy w żadnym wypadku lekceważyć<br />

emocjonalnej roli modułów dialogowych. Jest rzeczą<br />

znaną, że uczeń potraktowany indywidualnie często osiąga<br />

bardzo dobre wyniki w nauce, mimo iż przedtem anonimowo<br />

w grupie uczył się miernie. Z drugiej strony, w e-learningu nie<br />

zależy specjalnie na tym, aby dialog systemu sterowania<br />

z kursantem symulował w sposób możliwie doskonały dialog<br />

z żywym człowiekiem. Kursant wie, że rozmawia z programem<br />

sterującym i ważne jest jedynie, aby ten dialog podtrzymał<br />

jego zainteresowanie e-kursem, a jednocześnie pomógł<br />

osiągnąć twórcom kursu zamierzone cele. A jeśli tak, to dialog<br />

z kursantem nie musi się odbywać wyłącznie w języku naturalnym<br />

i można go swobodnie przeplatać różnorodnymi<br />

typami pytań (ich charakter będzie dalej wyjaśniony). W takim<br />

omówimy moduły dialogowe.<br />

Opracowanie modułów dialogowych oraz odpowiednie ich<br />

wkomponowanie do e-kursu, a potem wykorzystanie, nie jest<br />

rzeczą łatwą. Przede wszystkim, twórca szkolenia musi dysponować<br />

odpowiednim środowiskiem e-learningowym, które<br />

umożliwia tworzenie i wykonywanie takich konstrukcji edukacyjnych.<br />

Jako jedno z nielicznych środowisko TeleEdu TM e-Learning<br />

Suite (w skrócie TeleEdu TM ) daje spore możliwości w tym<br />

zakresie. Więcej informacji na ten temat, a tym również porównanie<br />

możliwości tworzenia inteligentnych e-kursów w środowiskach<br />

Moodle i TeleEdu TM , znajdzie czytelnik w pracy [2].<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 44


Systemy uczące<br />

W pracy [3] poruszono wiele ciekawych aspektów dotyczących<br />

indywidualizacji procesu nauczania. Autorzy proponują<br />

wizję pewnej struktury (modelu) systemu, która<br />

umożliwia zgromadzenie informacji, dotyczących predyspozycji<br />

psychologicznych kursanta, daje możliwość ich analizy<br />

(w konsekwencji możliwość wyboru), a wreszcie realizacji najefektywniejszej<br />

w jego przypadku metody nauczania. Schemat<br />

tej struktury pokazano na rys. 1.<br />

Rys. 1. Schemat struktury systemu uczącego<br />

Fig. 1. Structure of learning system<br />

Jak piszą autorzy, jest to system z jednokierunkowym<br />

przepływem sygnałów, ale dla badań i eksperymentów warto<br />

dopuścić także możliwość sprzężeń zwrotnych.<br />

Moduł gromadzenia wiedzy o uczniu - zawiera zestaw<br />

pytań i testów, których zadaniem jest zebranie informacji o osobie<br />

uczącej się, w kontekście jej indywidualnych preferencji,<br />

upodobań i przyzwyczajeń związanych z procesem uczenia.<br />

Moduł rozpoznawania i kwalifikacji - dokonuje analizy danych<br />

zebranych w części pierwszej i podejmuje decyzję o tym,<br />

jaka metoda nauczania będzie najbardziej odpowiednia dla<br />

danego ucznia.<br />

Moduł nauczający - zawiera bogatą bazę wiedzy z danej<br />

dziedziny oraz zaprogramowane różne algorytmy przekazu<br />

tej wiedzy. W zależności od wprowadzonej bazy wiedzy<br />

możliwe jest nauczanie różnych przedmiotów, bądź różnych<br />

treści w obrębie tego samego przedmiotu.<br />

Przedstawiony model można łatwo zrealizować w środowisku<br />

TeleEdu TM , ale można również wyobrazić sobie realizację<br />

w tym środowisku innego modelu. W drzewiastej<br />

strukturze e-kursu usytuowanych jest wiele modułów dialogowych<br />

i dydaktycznych, a pomiędzy wszystkimi tymi modułami<br />

dwukierunkowy przepływ informacji. Definicje tych<br />

nowych modułów są następujące:<br />

Moduły dialogowe (moduły gromadzenia wiedzy o uczniu)<br />

- zawierają zestawy pytań i testów, których zadaniem jest zebranie<br />

informacji o osobie uczącej się, w kontekście jej indywidualnych<br />

preferencji, upodobań i przyzwyczajeń, związanych<br />

z aktualnym stanem procesu uczenia. Ponadto moduły służą<br />

do zebrania informacji o aktualnym stanie wiedzy ucznia oraz<br />

o wszelkich trudnościach związanych z procesem nauczania.<br />

Informacje te tworzą aktualny (dynamicznie zmieniający się)<br />

profil kursanta.<br />

Moduły dydaktyczne (moduły rozpoznawania i kwalifikacji<br />

oraz nauczające) - analizują i modyfikują aktualny profil kursanta<br />

oraz wykorzystują go do wyboru i realizacji najlepszej w danym<br />

momencie ścieżki edukacyjnej (m.in. najlepszej metody nauczania<br />

oraz najodpowiedniejszych treści szkoleniowych).<br />

Warto zwrócić uwagę na istotne różnice pomiędzy przedstawionymi<br />

modelami struktur systemów uczących. W modelu<br />

przedstawionym w [3] sugerowana jest pewna sekwencyjność<br />

działań: najpierw gromadzi się wiedzę o uczniu tworząc jego<br />

profil, a później na podstawie tego profilu dobiera się metodę<br />

nauczania, aby według niej przekazywać odpowiednie treści<br />

szkoleniowe.<br />

Istotą modelu drugiego jest zmultiplikowanie i rozproszenie<br />

w szkoleniu rozważanych modułów. Profil kursanta<br />

ma z założenia dynamiczny charakter. Tworzenie profilu<br />

i fragmenty nauczania przeplatają się ze sobą i mogą<br />

wpływać nawzajem na siebie. Elementem porządkującym<br />

ten układ jest jedynie drzewiasta struktura projektu całego<br />

szkolenia, w której moduły dialogowe umieszcza się w newralgicznych<br />

z dydaktycznego punktu widzenia punktach,<br />

a moduły dydaktyczne reprezentują te fragmenty szkolenia,<br />

które są realizowane w różny, spersonalizowany sposób.<br />

Warto zwrócić uwagę, że profil można też uzyskać proponując<br />

kursantowi wypełnienie na początku kursu specjalnej<br />

ankiety. Jednak byłby to profil statyczny (niezmienny). Moduły<br />

dialogowe i profil kursanta mają charakter dynamiczny.<br />

W wyniku dialogu, który może się przewijać przez cały okres<br />

trwania szkolenia, profil kursanta może być stale aktualizowany<br />

(w tym mogą być weryfikowane niektóre ze złożonych<br />

przez kursanta deklaracji). Zupełnie inną kwestią jest jak<br />

często i w jakich miejscach szkolenia profil ten jest wykorzystywany.<br />

Ponieważ TeleEdu TM umożliwia realizację zarówno pierwszego,<br />

jak i drugiego modelu, dlatego można podjąć interesujące<br />

prace (postulowane zresztą we wspomnianym już<br />

artykule [3]), zmierzające do porównania wyników nauczania<br />

w zależności od stopnia rozbudowania i sposobu wykorzystywania<br />

w procesie szkoleniowym profilu ucznia.<br />

Moduły dialogowe w TeleEduTM<br />

Więcej informacji na temat tworzenia w TeleEdu TM inteligentnych<br />

systemów uczących znajdzie czytelnik w artykułach<br />

[4,5], teraz skupimy się głównie na modułach dialogowych.<br />

Aby w TeleEdu TM tworzyć takie moduły, należy przede wszystkim<br />

posłużyć się testami.<br />

Prowadzenie dialogu w języku naturalnym umożliwiają<br />

w testach dwa mechanizmy:<br />

• pytania typu fill in blank wraz z odpowiednim systemem<br />

słów kluczowych, oraz<br />

• specjalna strategia zadawania pytań - tzw. pytania powiązane<br />

logicznie.<br />

Po wybranych fragmentach dialogu realizowanych przez<br />

test można tworzyć w TeleEdu TM (wirtualnie bądź realnie)<br />

bazę faktów, w której gromadzone są informacje istotne dla<br />

profilu kursanta, przydatne w danym e-kursie. Zestaw atrybutów<br />

tego profilu, to podstawowy wyznacznik działania modułów<br />

dialogowych danego kursu.<br />

Atrybuty można w zasadzie podzielić na trzy kategorie.<br />

Pierwsza to predyspozycje psychologiczne. Druga to aktualny<br />

stan wiedzy z zakresu dziedziny szkolenia oraz wiedzy ogólnej.<br />

Trzecia kategoria to preferencje, świadome wybory, postulaty,<br />

dane osobowe i organizacyjne.<br />

Jeśli na przykład e-kurs jest przeznaczony dla studentów<br />

historii i dotyczy historii Europy, to fragment zestawu atrybutów<br />

tworzonego profilu i ich przykładowych wartości przedstawiono<br />

w tabeli.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 45


Fragment profilu kursanta. Odcieniami szarości zaznaczono różne<br />

kategorie atrybutów<br />

Fragment of student’s profile. Different types of attributes are<br />

marked with suitable tints of grey<br />

Atrybuty profilu<br />

Preferowany styl uczenia się<br />

Styl myślenia<br />

Samodzielność<br />

Ocena stanu wiedzy z zakresu historii<br />

powszechnej<br />

Ocena stanu wiedzy z zakresu historii<br />

Europy<br />

Kategoria najczęstszych błędów<br />

Poznane osobiście kraje europejskie<br />

Znajomość języków obcych (bierna)<br />

Dodatkowe kierunki studiów<br />

Ulubiony temat historyczny<br />

Wady wzroku<br />

Hobby<br />

Wartości atrybutów<br />

wzrokowy<br />

analityczny<br />

duża<br />

Taka tabela profilu kursanta może ułatwić dobranie odpowiedniej<br />

ścieżki edukacyjnej. Ponieważ kursant nie zna języka<br />

niemieckiego przy prezentowaniu treści materiałów dotyczących<br />

II Wojny Światowej należy zadbać o tłumaczenie ważnych tekstów<br />

podawanych w języku niemieckim. Z drugiej strony tabela ta<br />

stanowi dobry punkt wyjścia do zadawania kursantowi dalszych<br />

precyzujących jego profil pytań. Przygotowując szkolenie, jego<br />

twórcy projektują wirtualną (wejściową, nadmiarową) strukturę<br />

profilu kursanta. Zawiera ona wszystkie możliwe atrybuty, które<br />

mogą ich zainteresować, w myśl zasady, że warto uzyskać tylko<br />

takie informacje o kursancie, które można wykorzystać przy dobieraniu<br />

dla niego najlepszej ścieżki edukacyjnej.<br />

W trakcie szkolenia w ramach modułów dialogowych<br />

struktura profilu kursanta jest stopniowo zapełniana treścią<br />

(wartościami atrybutów). W zależności od przebiegu tego dialogu<br />

może się jednak okazać, że pewne jej fragmenty przestają<br />

twórców szkolenia interesować. Na przykład, jeśli atrybut<br />

uzyska wartość , wtedy doprecyzowanie rodzajów<br />

hobby nie ma już sensu i ten przygotowany fragment<br />

profilu (jeśli był zaprojektowany) pozostanie niewykorzystany.<br />

W ten sposób wypełniony istotną treścią będzie na ogół jedynie<br />

pewien podzbiór struktury wejściowej profilu kursanta.<br />

To zapełnianie treścią struktury profilu kursanta może się<br />

odbywać także w inny sposób. W modułach dydaktycznych<br />

systemu uczącego mogą zostać umieszczone lokalne systemy<br />

eksperckie (rozumiane tu jako specyficzne sydtemy<br />

wspomagania podejmowania decyzji), których głównym<br />

celem jest dobór najlepszej ścieżki szkoleniowej. Dobór<br />

ścieżek poprzedza analiza aktualnego profilu kursanta i modyfikacja<br />

tego profilu w myśl reguł wnioskowania (reguł produkcji)<br />

danego systemu eksperckiego. Działanie takich reguł<br />

będzie przedstawione poniżej przy omawianiu przykładu dotyczącego<br />

tworzenia profilu kursanta. Modyfikacja profilu obejmować<br />

może zarówno zmianę wartości pewnych atrybutów,<br />

jak i nadanie wartości dotychczas niewykorzystywanym atrybutom.<br />

Możliwość wbudowywania w e-kursy systemów eksperckich<br />

czyni z TeleEdu TM wyjątkowo wyrafinowane<br />

5<br />

3<br />

datowanie wydarzeń<br />

Włochy, Francja<br />

francuski, angielski<br />

architektura<br />

historia Francji<br />

słabowidzenie<br />

brak<br />

narzędzie do tworzenia inteligentnych szkoleń. Więcej informacji<br />

na ten temat wraz z opisem przykładowego systemu<br />

eksperckiego „Czworokąty” znajdzie czytelnik w artykule [5].<br />

Idea dialogu w języku naturalnym polega na tworzeniu<br />

pytania umożliwiającego swobodną odpowiedź kursantowi.<br />

Z pytaniem wiąże się układ (listę zestawów) słów kluczowych,<br />

który służy do analizy wypowiedzi kursanta. W wyniku<br />

tej analizy próbę identyfikacji sensu odpowiedzi kursanta<br />

uznaje się:<br />

• za pomyślną i zgodnie z tym sensem dobierane jest kolejne<br />

pytanie odpowiednio powiązane logicznie i pogłębiające<br />

wątek dialogu, albo<br />

• za niepomyślną i wtedy zwraca się do kursanta z prośbą<br />

o zmianę formy swojej wypowiedzi.<br />

Metoda słów kluczowych wydaje się wystarczająca,<br />

choćby z tego względu, że w konkretnym e-kursie zakres prowadzenia<br />

dialogu jest ograniczony, np. przez tematykę kursu.<br />

Ponadto inicjatywa w prowadzeniu dialogu jest po stronie programu<br />

sterującego. Tak więc wszelkie dygresje kursanta<br />

można po prostu zignorować.<br />

Przykład tworzenia profilu<br />

Przedstawiamy rozważania dotyczące tworzenia w TeleEdu TM<br />

pewnego fragmentu profilu kursanta. Do minimum ograniczono<br />

szczegóły techniczne i tam, gdzie to możliwe wprowadzić<br />

tylko poglądowe opisy.<br />

Załóżmy, że chcemy na potrzeby budowanego profilu kursanta<br />

uzyskać informację o jego biernej znajomości języków<br />

obcych. Interesuje nas przy tym jedynie określona pula tych<br />

języków, bowiem tylko w zakresie tej puli mamy przygotowane<br />

wielojęzyczne materiały szkoleniowe. Niech ta pula<br />

obejmuje trzy języki: angielski, francuski i niemiecki. Omówimy<br />

dwa rozwiązania.<br />

Pierwsze rozwiązanie<br />

Oczywiście najprostszym rozwiązaniem byłoby zadanie kursantowi<br />

pytania wielokrotnego wyboru, np. takiego:<br />

Pytanie:<br />

Zaznacz te języki, w których swobodnie czytasz oraz rozumiesz<br />

czytany tekst<br />

1. Angielski<br />

2. Francuski<br />

3. Niemiecki<br />

Rys. 2. Pytanie wielokrotnego wyboru dotyczące znajomości<br />

języków<br />

Fig. 2. Multiple choice question concerning knowledge of languages<br />

Punktacja:<br />

• za zaznaczenie wszystkich opcji - 7 punktów,<br />

• za zaznaczenie opcji 1 i 2 - 6 punktów,<br />

• za zaznaczenie opcji 2 i 3 - 5 punktów,<br />

• za zaznaczenie opcji 1 i 3 - 4 punkty,<br />

• za zaznaczenie opcji 3 - 3 punkty,<br />

46 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


• za zaznaczenie opcji 2 - 2 punkty,<br />

• za zaznaczenie opcji 1 - 1 punkty,<br />

• za niezaznaczenie żadnej opcji - 0 punktów.<br />

Punkty zdobyte przez kursanta za ten jednopytaniowy test<br />

jednoznacznie określają interesujące nas dane językowe. Na<br />

przykład, 6 punktów oznacza wartość atrybutu językowego<br />

identyczną z podaną wcześniej w tabeli. W tym wypadku<br />

liczby przyznanych punktów za poszczególne odpowiedzi kursanta<br />

nie mają znaczenia, bowiem służą one jedynie do rozróżnienia<br />

między sobą odpowiedzi.<br />

Drugie rozwiązanie<br />

Jeśli chcemy uzyskać informację językową jako efekt dialogu<br />

prowadzonego w języku naturalnym, możemy zadać kursantowi<br />

pytanie typu fill in blank (umożliwiające swobodną wypowiedź<br />

pisemną kursanta):<br />

Pytanie:<br />

Napisz, w których językach (angielski, francuski, niemiecki)<br />

swobodnie czytasz oraz rozumiesz czytany tekst.<br />

Rys. 3. Pytanie otwarte dotyczące znajomości języków<br />

Fig. 3. Open question concerning knowledge of languages<br />

W TeleEdu TM oceniając to pytanie mamy możliwość przyporządkowania<br />

mu całej listy możliwych (potencjalnych) odpowiedzi.<br />

Każda z odpowiedzi z tej listy zawiera pewien układ<br />

możliwych słów kluczowych oraz wskaźnik liczbowy mówiący<br />

ile słów z układu musi w danej odpowiedzi wystąpić.<br />

Przykładowo, lista taka może być w postaci:<br />

%angielsk%francusk%niemieck%%3%<br />

%angielsk%francusk%%2%<br />

%angielsk%niemieck%%2%<br />

%francusk%niemieck%%2%<br />

%angielsk%<br />

%francusk%<br />

%niemieck%<br />

Pozostałe przypadki<br />

Znaki % oddzielają słowa kluczowe oraz parametry liczbowe.<br />

Używamy przy tym jako słów kluczowych tematów wyrazów np.<br />

„francusk”, ponieważ spodziewać się możemy odpowiedzi typu:<br />

Dobrze czytam po francusku, albo Znam biernie język francuski.<br />

Po udzieleniu odpowiedzi przez kursanta system sterujący<br />

próbuje dopasować do niej kolejno odpowiedzi z przedstawionej<br />

listy. Niedopasowanie kolejnych siedmiu pozycji oznacza,<br />

że dopasowana jest ósma opcja „Pozostałe przypadki”, czyli<br />

uznajemy, że kursant nie zna biernie żadnego z wymienionych<br />

języków. Natomiast dopasowanie odpowiedzi sugeruje poprawne<br />

zinterpretowanie odpowiedzi kursanta, ale tylko z pewnym<br />

prawdopodobieństwem. W przypadku ogólnym, to czy<br />

prawdopodobieństwo prawidłowej interpretacji wypowiedzi<br />

kursanta jest większe lub mniejsze zależy oczywiście od stopnia<br />

komplikacji stosowanych układów słów kluczowych.<br />

W przedstawionym bardzo prostym przykładzie prawdopodobieństwo<br />

to nie jest zbyt duże. Przecież bardzo możliwa<br />

jest odpowiedź kursanta typu:<br />

Nie znam języka francuskiego ani angielskiego, natomiast<br />

trzeci z wymienionych znam znakomicie.<br />

Taka odpowiedź kursanta kompletnie wprowadzi w błąd<br />

system sterujący. Aby mieć całkowitą pewność odnośnie przyjętej<br />

interpretacji odpowiedzi, wiążemy z pytaniem układ kolejnych<br />

pytań w ten sposób, że każdej z potencjalnych<br />

odpowiedzi podporządkowane jest odpowiadające jej kolejne<br />

pytanie dialogu. Na przykład z odpowiedzią:<br />

%angielsk%francusk%%2%<br />

możemy związać pytanie jednokrotnego wyboru:<br />

Pytanie:<br />

Przyjmuję zatem, że znasz biernie język angielski i francuski?<br />

Czy to potwierdzasz?<br />

Tak<br />

Jeśli kursant wybierze pierwszą opcję, można uznać fragment<br />

dialogu dotyczący informacji językowej za zakończony.<br />

Natomiast wybór opcji drugiej, albo nie wybranie żadnej z nich<br />

interpretujemy jako brak zgody kursanta na przedstawioną interpretację<br />

jego stanowiska. Prezentujemy kursantowi komentarz,<br />

np. w postaci:<br />

Widocznie źle Cię zrozumiałem. Bardzo proszę odpowiedz<br />

ponownie na pytanie dotyczące języków, ale spróbuj inaczej<br />

sformułować swoją wypowiedź.<br />

Uruchamiamy mechanizm pętli, czyli powracamy ponownie do<br />

pierwszego głównego pytania tego fragmentu dialogowego.<br />

Dalsze rozbudowywanie profilu<br />

Zarysowany wcześniej układ pytań może odgrywać rolę<br />

małego modułu dialogowego, ale z łatwością można wyobrazić<br />

sobie dalszą jego rozbudowę. Wystarczy na przykład, że<br />

wejściowa struktura profilu kursanta przewiduje potrzebę<br />

oceny znajomości poszczególnych języków obcych. Przy<br />

czym nie chodzi tu o samoocenę kursanta, ale o w miarę<br />

obiektywny osąd. W tej sytuacji nasuwa się od razu pomysł<br />

na rozbudowę omawianego modułu.<br />

Do każdego wątku dialogu, który kończy się deklaracją<br />

biernej znajomości jednego, dwu albo trzech języków, dodaje<br />

się odpowiedni zestaw testów językowych. W ten sposób<br />

w części językowej profilu kursanta pojawią się dodatkowo liczbowe<br />

oceny obiektywnie opisujące stopień opanowania przez<br />

kursanta deklarowanych przez niego języków. Przy okazji również<br />

uzyskuje się dodatkową informację o jakości procesu samooceny<br />

kursanta w zakresie jego zdolności językowych.<br />

O tej ewentualnej rozbieżności pomiędzy samooceną,<br />

a oceną systemu można rozmawiać z kursantem i dociekać<br />

przyczyn tej rozbieżności. Projektując szkolenie e-learningowe<br />

twórcy muszą zakładać pewien cel swoich działań (dydaktyczny,<br />

ekonomiczny, marketingowy itp.). Nie jest raczej<br />

celem szkolenia samym w sobie prowadzenie wielowątkowych<br />

dialogów z kursantem. Prowadzony dialog jest w ogra-<br />

Nie<br />

Rys. 4. Pytanie jednokrotnego wyboru dotyczące potwierdzenia<br />

znajomości języków<br />

Fig. 4. Single choice question confirming language knowledge<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 47


niczonym zakresie (wejściowy profil kursanta), aby uzyskać<br />

tylko te informacje, które można wykorzystać dla zwiększenia<br />

efektywności procesu nauczania.<br />

Do rozbudowy profilu mogą przyczynić się reguły wnioskowania<br />

systemów eksperckich z modułów dydaktycznych.<br />

Jeśli wśród materiałów szkoleniowych mamy szczegółowe<br />

opracowania dotyczące genezy, historii i analizy tekstu hymnu<br />

francuskiego (Marsylianki), wtedy w określonych warunkach<br />

można wybranym (odpowiednio przygotowanym) kursantom<br />

ten materiał zaprezentować. W odpowiednim module dydaktycznym<br />

może zostać umieszczony niewielki system ekspercki,<br />

a wśród reguł wnioskowania umieszczona reguła, której<br />

schemat działania byłby następujący:<br />

Jeśli<br />

= i<br />

=<br />

i<br />

>= 4<br />

to<br />

= <br />

W efekcie działania tej reguły może się zdarzyć, że w profilu<br />

kursanta nieokreślony dotychczas atrybut uzyska wartość . Wtedy w odpowiednim<br />

module dydaktycznym analiza aktualnego profilu kursanta<br />

spowoduje dobranie ścieżki szkoleniowej zawierającej szczegółowy<br />

wykład dotyczący hymnu francuskiego.<br />

Podsumowanie<br />

Biorąc pod uwagę proces tworzenia e-kursu w środowisku TeleEdu<br />

TM twórcy e-kursu przygotowując materiały szkoleniowe<br />

opracowują ich różne wersje mając na uwadze różne metody<br />

dydaktyczne oraz wejściową (nadmiarową) strukturę profilu<br />

kursanta. W newralgicznych miejscach e-kursu umieszczają<br />

moduły dialogowe, które wpływają na zmianę (zapełnianie)<br />

tego profilu, a w konsekwencji na tok nauczania. Moduły dialogowe<br />

są więc rodzajem czujników, które kontrolują „stan pacjenta”,<br />

którym w tym przypadku jest kursant.<br />

W miarę postępu procesu nauczania w danym e-kursie,<br />

system sterujący „mądrzeje” modyfikując i zapełniając profil<br />

kursanta. Mają więc szansę zadziałać pewne reguły, których<br />

przesłanki wcześniej nie były spełnione. Tak więc, im bardziej<br />

proces szkolenia zbliża się do końca, tym bardziej rosną<br />

możliwości jego innej lepszej realizacji.<br />

W wielu rozwiązaniach e-learningowych pod koniec e-kursów<br />

ich twórcy umieszczają ankiety, które służą do zebrania<br />

opinii kursanta np. na temat jakości szkolenia, czy stopnia<br />

spełnienia oczekiwań z nim związanych. Twórcy szkoleń analizują<br />

później te informacje i mogą na ich podstawie zmodyfikować<br />

szkolenia, tworząc ich kolejne wersje. Z punktu<br />

widzenia kursanta, który ukończył już dany e-kurs jest to<br />

działanie mocno spóźnione. W TeleEdu TM można stosować<br />

inne rozwiązania. Po wejściu szkolenia w fazę końcową celowe<br />

jest uruchomienie specjalnego modułu dialogowego i dydaktycznego,<br />

w których dokona się m.in.:<br />

• oceny stanu wiedzy kursanta,<br />

• oceny stopnia satysfakcji kursanta z dotychczasowego<br />

przebiegu szkolenia,<br />

• oceny zakresu możliwych modyfikacji procesu nauczania,<br />

• rozpoznania preferencji kusanta w zakresie kontynuowania<br />

danego szkolenia.<br />

W efekcie możliwa jest faza kontynuacji szkolenia poprzez<br />

prezentację odpowiednich materiałów uzupełniających albo<br />

wręcz poprzez powtórzenie całego szkolenia. Ta ewentualna<br />

powtórka odbywałaby się już w innej sytuacji niż poprzednio,<br />

ponieważ inny jest aktualny profil kursanta.<br />

Ktoś mógłby zauważyć, że taki kurs mógłby nigdy się nie<br />

skończyć, ale tak nie jest, ponieważ barierę stanowi skończona<br />

i niezmienna wejściowa struktura profilu kursanta.<br />

Na zakończenie przedstawionego zarysu realizowanego<br />

w TeleEdu TM procesu nauczania, warto sformułować dwa postulaty.<br />

Pierwszy z nich wiąże się z faktem, że profil jest strukturą,<br />

którą można wykorzystać tylko w ramach pojedynczej<br />

sesji szkoleniowej danego kursanta. Sesja szkoleniowa<br />

związana jest z udostępnieniem danemu kursantowi konkretnego<br />

szkolenia na platformie. Każde nowe otwarcie tego<br />

szkolenia, nawet po dłuższej przerwie, to ta sama sesja szkoleniowa.<br />

Jeśli jednak ten sam kursant otworzy na platformie<br />

inne szkolenie, to jego profil jest dla systemu sterującego zupełnie<br />

nieznany. Wszystkie bowiem informacje z dawnego<br />

profilu kursanta, które być może byłyby ważne również dla<br />

tego nowego szkolenia, są niedostępne. Jednym z kierunków<br />

rozwoju TeleEdu TM jest stworzenie powiązań profilu kursanta<br />

z platformą, aby w ten sposób uniezależnić w jakimś stopniu<br />

profil od pojedynczej sesji szkoleniowej.<br />

Drugi postulat dotyczy autokorekty szkoleń czyli wbudowanego<br />

w szkolenie mechanizmu, który automatycznie je<br />

modyfikuje wykorzystując doświadczenia zebrane podczas<br />

sesji szkoleniowych. W tej chwili wszelkie autokorekty<br />

działania systemu sterującego związane z procesem nauczania<br />

dotyczą jednej konkretnej sesji szkoleniowej. Są<br />

więc one oczywiście tymczasowe. Planowana jest ich trwała<br />

modyfikacja, która następowałaby w wyniku analizy wielu<br />

sesji szkoleniowych przeprowadzonych dla większej grupy<br />

użytkowników.<br />

Literatura<br />

[1] Brzostek-Pawłowska J.: E-learning 2008: Problemy i trendy w<br />

zdalnym nauczaniu, technologiach i standardach. Prace Naukowo-Badawcze<br />

<strong>Instytut</strong>u Maszyn Matematycznych z serii<br />

ABC.IT zeszytów e-learningowych, Zeszyt nr 2/2008 (10).<br />

[2] Abramowicz A.: Porównanie platform utworzonych na bazie modeli<br />

SCORM i IMS QTI w aspekcie realizacji adaptowalnych e-<br />

kursów: Moodle CMS vs. TeleEduTM LMS. <strong>Elektronika</strong> nr<br />

12/2008, ss. 154-158.<br />

[3] Zając M., Wójcik K.: Wykorzystanie technik sztucznej inteligencji<br />

do indywidualizacji procesu nauczania. Informatyka Teoretyczna<br />

i Stosowana nr 4, 2003.<br />

[4] Przyłuski W.: Wirtualny nauczyciel poszukiwany, czyli dlaczego<br />

warto korzystać z TeleEduTM. Prace Naukowo-Badawcze <strong>Instytut</strong>u<br />

Maszyn Matematycznych z serii ABC.IT zeszytów e-learningowych,<br />

Zeszyt nr 2/2007(8).<br />

[5] Przyłuski W.: TeleEduTM - krok w kierunku sztucznej inteligencji<br />

(kapsuła edukacyjna: repozytorium i e-kurs ekspertowy).<br />

Prace Naukowo-Badawcze <strong>Instytut</strong>u Maszyn<br />

Matematycznych z serii ABC.IT zeszytów e-learningowych,<br />

Zeszyt nr 2/2006(6).<br />

48 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Aktywna antena radiolokacyjna na pasmo S.<br />

Część 3. System nadawczy<br />

mgr inż. ANNA CZWARTACKA, mgr inż. JACEK CHOLEWA,<br />

mgr inż. TOMASZ LORENS, mgr inż. ROBERT SENDER,<br />

mgr inż. KONRAD SZUSTAK, mgr inż. BOGDAN STACHOWSKI<br />

Przemysłowy <strong>Instytut</strong> Telekomunikacji S.A., Warszawa<br />

System antenowy aktywnej anteny radiolokacyjnej według<br />

koncepcji opisanej w części 1 artykułu [1] wykorzystuje do nadawania<br />

radiolokacyjnych sygnałów sondujących szesnastowierszową<br />

strukturę promieniującą. Do każdego z wierszy<br />

struktury promieniującej nadawczego systemu antenowego<br />

są doprowadzane sygnały impulsowe o określonej amplitudzie<br />

i fazie, wytwarzane w blokach formowania wiązki nadawczej.<br />

W systemie zastosowano układ symetrycznego<br />

pobudzania struktury promieniującej przez sygnały wytwarzane<br />

w dwóch niezależnych blokach formowania wiązki nadawczej.<br />

Takie rozwiązanie pozwoliło na zwiększenie mocy<br />

wypromieniowywanej w przestrzeń, dzięki zmniejszeniu strat<br />

w liniach doprowadzających moc do struktury promieniującej<br />

i zmniejszeniu strat w układach składania mocy w modułach.<br />

Przy znacznych gabarytach systemu antenowego pracującego<br />

w paśmie S, zwiększenie mocy nadawanej sięga<br />

nawet kilka procent.<br />

System nadawczy wytwarza moc impulsową około 25 kW<br />

w impulsie i moc średnią około 2,5 kW oraz kształtuje wiązkę<br />

nadawczą w płaszczyznach azymutu i elewacji. Do projektu<br />

przyjęto kształt wiązki w płaszczyźnie elewacji typu cosecans<br />

kwadrat zapewniającej kąt pokrycia 40°. W płaszczyźnie azymutu<br />

wiązka nadawcza jest wiązką szpilkową, a pokrycie<br />

w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy anteny.<br />

Struktura systemu nadawczego<br />

Rys. 1. Struktura systemu nadawczego<br />

Fig. 1. Electrical structure of transmit part of the S band active antenna<br />

System nadawczy aktywnej anteny składa się z: szesnastowierszowej<br />

struktury promieniującej opisanej w Części 2. artykułu,<br />

dwóch bloków formowania wiązki nadawczej<br />

i wejściowego dzielnika mocy sygnału wzbudzania. Bloki formowania<br />

wiązki nadawczej są umieszczone w deszczoszczelnej,<br />

ekranowanej elektromagnetycznie kabinie antenowej.<br />

Strukturę systemu nadawczego przedstawiono na rys. 1.<br />

Impulsowy sygnał wzbudzenia doprowadzany do wejścia<br />

kabiny jest dzielony na cztery części w układzie podziału<br />

mocy i doprowadzany do wejść układów wzmacniania i podziału<br />

mocy w blokach formowania wiązki nadawczej usytuowanych<br />

symetrycznie względem osi kabiny. Każdy z bloków<br />

formowania wiązki nadawczej jest złożony z dwóch układów<br />

wzmacniania i podziału mocy sygnałów wzbudzania<br />

dzielących sygnał wzbudzania na osiem części oraz z szesnastu<br />

modułów nadawczo-odbiorczych o różnych poziomach<br />

mocy wyjściowej.<br />

Uzyskanie założonej charakterystyki promieniowania wymaga<br />

zapewnienia określonych rozkładów amplitudy i fazy<br />

sygnałów zasilających wiersze anteny. Do ustawienia wymaganego<br />

przesunięcia fazy wykorzystano cyfrowe przesuwniki<br />

fazy zastosowane w każdym z torów wzbudzania układów pobudzania<br />

modułów. Zastosowano 6-bitowe przesuwniki fazy<br />

ze skokową zmianą fazy 5,625°, co zapewniło wystarczającą<br />

dokładność realizowanego rozkładu fazy.<br />

Znacznie trudniejszym problemem jest realizacja wymaganego<br />

rozkładu amplitudy. W przypadku charakterystyki typu<br />

cosecans kwadrat należy zapewnić rozkład amplitudy dla<br />

różnych wierszy, w którym amplituda sygnałów zmienia się<br />

w przedziale prawie 20 dB (p. rys. 2).<br />

Moduły nadawczo-odbiorcze użyte w systemie antenowym<br />

są budowane na bazie wzmacniaczy tranzystorowych<br />

z tranzystorami pracującymi w klasie C. Tranzystory we<br />

wzmacniaczach klasy C pracują w nasyceniu, a ich moc wyjściowa<br />

jest zbliżona do nominalnej mocy wyjściowej tranzystora.<br />

Dostępne na rynku światowym tranzystory przeznaczone<br />

do pracy w zakresie częstotliwości pasma S pozwalają na budowę<br />

wzmacniaczy o mocach wyjściowych rzędu 100 W<br />

w impulsie. W opisywanej antenie aktywnej sygnały pobudzania<br />

wierszy antenowych w środkowych wierszach mają<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 49


Rys. 2. Rozkład amplitudy dla charakterystyki cosecans kwadrat<br />

(krzywa czerwona) oraz rozkład amplitudy przy zasilaniu wierszy<br />

wg rozkładu schodkowego jak w tabeli 1 (krzywa niebieska)<br />

Fig. 2. Amplitude distribution for cosecant square characteristic<br />

(red color) and step amplitude rows exciting according distribution<br />

given in the table 1 (blue color)<br />

Tab. 1. Zestawienie typów modułów i wielkość mocy zasilającej<br />

wiersze 16-wierszowej anteny<br />

Tabl. 1. Comparison of different modules and powers supplying particular<br />

rows of a 16-row antenna.<br />

moc wyjściową około 1,5 kW w impulsie. Tak dużą moc uzyskano<br />

przez sumowanie w końcowym stopniu nadawczego<br />

wzmacniacza, mocy z szesnastu wzmacniaczy z pojedynczymi<br />

tranzystorami w każdym stopniu, o mocy wyjściowej pojedynczego<br />

wzmacniacza ponad 100 W.<br />

W pozostałych wierszach anteny zastosowano moduły,<br />

w których moc wyjściowa jest uzyskiwana poprzez wykorzystanie<br />

różnych konfiguracji układów sumowania lub podziału<br />

mocy ze wzmacniaczy 100 W, uzyskując w efekcie dynamikę<br />

zmiany amplitudy około 18 dB. Do aproksymacji rozkładu amplitud<br />

charakterystyki cosecans kwadrat zastosowano pięć<br />

typów modułów nadawczo-odbiorczych o mocach wyjściowych<br />

25...1500 W.<br />

Zestawienie typów modułów w szesnastowierszowej antenie<br />

i wielkość ich mocy wyjściowych podano w tab. 1.<br />

Na rysunku 2. przedstawiono rozkład amplitudy dla charakterystyki<br />

cosecans kwadrat (krzywa czerwona) oraz<br />

rozkład amplitudy przy zasilaniu wierszy wg rozkładu schodkowego<br />

zgodnie z tab. 1. (krzywa niebieska).<br />

Dla obydwu rozkładów przeprowadzono symulację charakterystyki<br />

promieniowania w płaszczyźnie elewacji, wyniki<br />

symulacji przedstawia rys. 3.<br />

Krzywa czerwona na rys. 3 przedstawia charakterystykę<br />

dla rozkładu cosecans kwadrat, a krzywa niebieska odpowiada<br />

charakterystyce zadanej przez zestaw modułów o mocach<br />

jak w tab. 1. Aproksymacja „schodkowa” rozkładu<br />

amplitud (tab. 1.) pozwoliła na uzyskanie charakterystyki nadawczej<br />

bardzo bliskiej charakterystyce cosecans kwadrat.<br />

Nr wiersza<br />

Typ modułu nadawczo-odbiorczego<br />

Moc wyjściowa<br />

[W]<br />

1 1/16 HPA 25<br />

2 1/16 HPA 25<br />

3 1/8 HPA 50<br />

4 1/2 HPA 50<br />

5 2 HPA 770<br />

6 2 HPA 770<br />

7 4 HPA 1500<br />

8 4 HPA 1500<br />

9 4 HPA 1500<br />

10 4 HPA 1500<br />

11 2 HPA 770<br />

12 2 HPA 770<br />

13 1/2 HPA 200<br />

14 1/8 HPA 50<br />

15 1/16 HPA 25<br />

16 1/16 HPA 25<br />

Rys. 3. Symulowana charakterystyka nadawcza: krzywa niebieska<br />

dla pobudzeń wg rozkładu w tabeli 1, krzywa czerwona dla<br />

rozkładu cosecans kwadrat<br />

Fig. 3. Calculated transmit pattern: discrete (step) amplitude distribution<br />

(red color) and cosecans square distribution (blue color)<br />

Blok formowania wiązki nadawczej<br />

Blok formowania wiązki nadawczej tworzy szesnaście modułów<br />

nadawczo-odbiorczych i dwa układy pobudzania modułów<br />

(ZTM). Widok bloku formowania wiązki nadawczej w kabinie<br />

antenowej po otwarciu drzwi przedstawiono na rys. 4.<br />

50 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


MODUŁY NO<br />

ZPM<br />

Rys. 5. Schemat blokowy modułu nadawczo-odbiorczego 4 HPA<br />

Fig. 5. Block diagram of a 4HPA transmit-receive module<br />

Rys. 4. Widok bloku formowania wiązki nadawczej<br />

Fig. 4. General view of transmit beam former<br />

Bloki formownia wiązek są usytuowane symetrycznie po<br />

lewej i prawej stronie kabiny antenowej. Na rys. 4 zaznaczono<br />

blok montowany w lewej części kabiny. W środkowej części<br />

kabiny jest montowany synfazowy układ podziału mocy sygnału<br />

wzbudzającego na cztery części, z którego zasilane są<br />

układy ZTM.<br />

Moduły nadawczo-odbiorcze<br />

Moduły nadawczo-odbiorcze zawierają tor nadawczy realizowany<br />

jako wielostopniowy wzmacniacz dużej mocy i tor odbiorczy,<br />

w którym jest włączony małoszumny wzmacniacz<br />

z ogranicznikiem mocy na wejściu. Tory nadawczy i odbiorczy<br />

są połączone z wierszami antenowymi przez cyrkulator<br />

trójramienny spełniający rolę układu nadawanie-odbiór.<br />

Wzmacniacz toru nadawczego jest wzmacniaczem dużej<br />

mocy impulsowej o dużej sprawności na tranzystorach bipolarnych<br />

pracujących w klasie C. Dla uzyskania „ schodkowego”<br />

rozkładu amplitudy na wyjściu układu formowania<br />

wiązki nadawczej są stosowane wzmacniacze o mocach wyjściowych:<br />

4 HPA, 2 HPA, ½ HPA, 1/8 HPA i 1/16 HPA. Ze<br />

względu na wymaganie zachowania relacji amplitudowych<br />

i fazowych w poszczególnych wierszach zarówno w funkcji<br />

częstotliwości jak i w zakresie zmian temperatury otoczenia.<br />

Przyjęto jednakową strukturę toru nadawczego modułu od<br />

wejścia do wyjścia, uzyskując zmianę mocy wyjściowej jedynie<br />

poprzez zmianę liczby wzmacniaczy w końcowym stopniu<br />

wzmacniacza (zmieniana liczba wzmacniaczy w końcowym<br />

układzie sumowania mocy).<br />

Moduł nadawczo-odbiorczy 4 HPA<br />

Schemat modułu nadawczego 4 HPA przedstawiono na<br />

rys. 5. W torze nadawczym modułu zastosowano trzystopniowy<br />

wzmacniacz wstępny wzmacniający wejściowy sygnał<br />

wzbudzania do poziomu 100 W. W drugim i trzecim stopniu<br />

wzmacniacza wstępnego pracują tranzystory klasy C<br />

IBM3135MH20 i IBM3135MH100 odpowiednio o mocach 20<br />

i 100 W. Sygnał o mocy wyjściowej 100 W jest dzielony w synfazowym<br />

dzielniku mocy 1 : 4 na cztery części, których każda<br />

po ponownym wzmocnieniu do poziomu 100 W jest wykorzystywana<br />

do sterowania 400 W wzmacniacza mocy.<br />

Wzmacniacz mocy 400 W zrealizowano poprzez sumowanie<br />

mocy z czterech wzmacniaczy 100 W. Moc z czterech<br />

wzmacniaczy 400 W jest sumowana w sumatorze wyjściowym<br />

4 :1i poprzez cyrkulator NO jest kierowana do segmentu<br />

antenowego. Wszystkie wzmacniacze 100 W mają<br />

identyczną konstrukcję i pracują na tranzystorach<br />

IBM3135MH100. Ważnymi podzespołami toru nadawczego<br />

poza wzmacniaczem 100 W są dzielniki mocy, sumatory<br />

mocy i układy wyrównywania amplitudy w paśmie pracy.<br />

W układzie zastosowano dzielniki i sumatory mocy o oryginalnej<br />

strzeżonej patentem konstrukcji, o bardzo małych stratach,<br />

której wewnętrzna struktura jest odizolowana od<br />

zewnętrznego rozproszonego w obudowie modułu pola elektromagnetycznego.<br />

Wyjściowy sumator dużej mocy jest sumatorem<br />

typu Gysela wykonanym w technice niesymetrycznych<br />

linii paskowych. Kluczowymi podzespołami toru<br />

nadawczego są układy wyrównywania amplitudy zapewniające<br />

utrzymanie poziomu sygnału sterującego wzmacniaczy<br />

pracujących w klasie C w wymaganych tolerancjach.<br />

Cechą charakterystyczną wzmacniaczy klasy C jest wymaganie<br />

sterowania mocą wejściową w przedziale mocy<br />

ściśle określonym dla danego typu tranzystora, np. dla tranzystorów<br />

produkowanych przez firmę INTEGRA moce sterujące<br />

powinny zawierać się w przedziale 1 dB, przy czym<br />

warunek musi być spełniony w zakresie wymaganych zmian<br />

temperatury otoczenia i częstotliwości pracy. Konstrukcja<br />

tłumika jest rozwiązaniem oryginalnym i zgłoszonym do<br />

ochrony patentowej RP, umożliwia uzyskanie bezodbiciowej<br />

charakterystyki tłumienia o wymaganym przebiegu tłumienia<br />

w funkcji częstotliwości.<br />

Na wyjściu każdego modułu od strony wiersza antenowego<br />

jest włączony sprzęgacz, przez który jest pobierany sygnał<br />

do systemu diagnostyki.<br />

Podzespoły modułu są zamknięte w szczelnej,<br />

spełniającej wymagania EMI obudowie. Podzespoły są montowane<br />

na dwóch poziomach w odseparowanych celach. Na<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 51


dolnym poziomie są montowane: zespoły trzystopniowego<br />

wzmacniacza sterującego, układy podziału i wzmacniania<br />

sygnału do sterowania końcowego stopnia wzmacniającego,<br />

a także płytka zasilania i diagnostyki oraz zestawy kondensatorów<br />

elektrolitycznych. Na rys. 6 pokazano widok wzmacniacza<br />

impulsowego po zdjęciu pokrywy dolnej, a na rys. 7<br />

widok wzmacniacza od strony pokrywy górnej.<br />

Na górnym poziomie modułu jest montowanych 16<br />

wzmacniaczy 100 W oraz układy podziału i sumowania mocy.<br />

Połączenia układów mikrofalowych z dolnego i górnego poziomu<br />

są wykonane liniami współosiowymi. W ramie modułu<br />

pomiędzy dolnym i górnym poziomem jest poprowadzony<br />

kanał chłodzenia cieczowego, przy czym wszystkie wzmacniacze<br />

100 W na obydwu poziomach są tak zamontowane, że<br />

tranzystory mocy są usytuowane obustronnie wzdłuż kanałów<br />

chłodzenia, dzięki temu chłodzenie tranzystorów jest bardzo<br />

skuteczne. Wejścia i wyjścia kanałów chłodzenia są zaopatrzone<br />

w szybkozłączne szczelne złącza.<br />

Rys. 8. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 4 HPA<br />

Fig. 8. Output power of 4 HPA modules<br />

Tab. 2. Podstawowe parametry modułu 4 HPA<br />

Tabl. 2. Basic parameters of the 4 HPA modules<br />

Impulsowa moc wyjściowa<br />

Impulsowa moc wejściowa<br />

min. 1300 W<br />

+23 dBm ±1 dB<br />

Współczynnik wypełnienia max. 10%<br />

Szerokość impulsu<br />

Wzmocnienie mocy<br />

max. 100 µsec<br />

typ. 37 dB<br />

Wejściowy i wyjściowy WFS ≤ 1,5<br />

Równomierność mocy wyjściowej w pasmie<br />

≤ 2 dB<br />

Rys. 6. Widok modułu 4 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />

Fig. 6. General view of a 4 HPA module without bottom cover<br />

Cyrkulator NO i sprzęgacz diagnostyczny są zmontowane<br />

w części wzmacniacza wspólnej dla obydwu poziomów. Charakterystyki<br />

mocy wyjściowej modułu nadawczo-odbiorczego<br />

4 HPA przedstawiono na rys. 8.<br />

Podstawowe parametry modułu nadawczo-odbiorczego 4<br />

HPA zestawiono w tabeli 2.<br />

Moduł nadawczo-odbiorczy 2 HPA<br />

Schemat blokowy toru nadawczego modułu nadawczo-odbiorczego<br />

2 HPA przedstawiono na rys. 9. Struktura modułu<br />

jest taka sama jak modułu 4 HPA jedynie w końcowym stop-<br />

Rys. 7. Widok modułu 4 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />

Fig. 7. General view of a 4 HPA module without upper cover<br />

Rys. 9. Schemat blokowy modułu 2 HPA<br />

Fig. 9. Block diagram of a 2 HPA transmit-receive module<br />

52 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


niu wzmacniacza moc wyjściowa jest sumowana tylko<br />

z dwóch wzmacniaczy 400 W. Moc impulsowa na wyjściu modułu<br />

nadawczo-odbiorczego 2 HPA jest około 770 W.<br />

Widok modułu po zdjęciu pokrywy górnej przedstawiono na<br />

rys. 10, a na rys. 11 widok modułu po zdjęciu pokrywy dolnej.<br />

Na rysunku 12. przedstawiono przebieg charakterystyk<br />

mocy wyjściowej w funkcji częstotliwości ośmiu modułów nadawczo-odbiorczych<br />

2 HPA.<br />

Moduł nadawczo-odbiorczy 1/2 HPA<br />

Rys. 10. Widok modułu 2 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />

Fig. 10. General view of a 2 HPA module without upper cover<br />

Schemat blokowy toru nadawczego modułu nadawczo-odbiorczego<br />

1/2 HPA przedstawiono na rys. 13. Struktura modułu jest<br />

taka sama jak modułów 2 HPA i 4 HPA, końcowy stopień<br />

wzmacniacza jest pojedynczym wzmacniaczem 400 W zmodyfikowanym<br />

tak, że jego moc wyjściowa jest zredukowana<br />

o połowę. We wzmacniaczu moc wyjściowa jest sumowana<br />

tylko z dwóch wzmacniaczy 100 W. Moc impulsowa na wyjściu<br />

modułu nadawczo-odbiorczego 1/2 HPA jest rzędu 200 W.<br />

Widok modułu po zdjęciu pokrywy górnej przedstawiono<br />

na rys. 14, a na rys. 15 widok modułu po zdjęciu pokrywy dolnej.<br />

Na rys. 16. przedstawiono przebieg charakterystyk mocy<br />

wyjściowej w funkcji częstotliwości modułów nadawczoodbiorczych<br />

1/2 HPA.<br />

Rys. 11. Widok modułu 2 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />

Fig. 11. General view of a 2 HPA module without bottom cover<br />

Rys. 13. Schemat blokowy modułu nadawczo-odbiorczego 1/2 HPA<br />

Fig. 13. Block diagram of a 1/2 HPA transmit-receive module<br />

Rys. 12. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów nadawczo-odbiorczych<br />

2 HPA<br />

Fig. 12. Output power of 2 HPA transmit-receive modules<br />

Rys. 14. Widok modułu 1/2 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />

Fig. 14. General view of a 1/2 HPA module without upper cover<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 53


Moduły o mniejszej mocy 1/8 HPA i 1/16 HPA mają konstrukcję<br />

jednopoziomową bardzo podobną do siebie. Widok<br />

modułu 1/8 HPA o mocy wyjściowej 55 W przedstawia rys. 18.<br />

Charakterystyki mocy wyjściowej czterech modułów 1/8 HPA<br />

przedstawia rys. 19. Charakterystyki mocy wyjściowych ośmiu<br />

modułów 1/16 HPA przedstawiono na rys. 20.<br />

Rys. 15. Widok modułu 1/2 HPA po zdjęciu pokrywy dolnej<br />

Fig. 15. General view of a 1/2 HPA module without bottom cover<br />

Rys. 18. Widok modułu 1/8 HPA po zdjęciu pokrywy górnej<br />

Fig. 18. General view of a 1/8 HPA module without bottom cover<br />

Rys. 16. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów nadawczo-odbiorczych<br />

1/2 HPA.<br />

Fig. 16. Output power of a 1/2 HPA transmit-receive module.<br />

Moduły nadawczo-odbiorcze 1/8 HPA<br />

i 1/16 HPA<br />

Schemat blokowy modułów nadawczo-odbiorczych 1/8 HPA<br />

i 1/16 HPA przedstawiono na rys. 17. Moduły nadawczo-odbiorcze<br />

małej mocy mają strukturę wzmacniacza sterującego,<br />

stosowanego we wszystkich typach modułów HPA. Moc modułów<br />

małej mocy jest mniejsza od mocy wyjściowej wzmacniacza<br />

sterującego bliskiej 100 W. Wymagany poziom mocy<br />

wyjściowej jest ustalany przez odpowiedni dobór tłumika<br />

wyjściowego T.<br />

Rys. 19. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 1/8 HPA<br />

Fig. 19. Output power of a 1/8 HPA modules<br />

Rys. 17. Schemat blokowy toru nadawczego modułów 1/8 HPA<br />

i 1/16 HPA<br />

Fig. 17. Block diagrams of 1/8 HPA and 1/16 HPA transmit-receive<br />

modules<br />

Rys. 20. Charakterystyki mocy wyjściowej modułów 1/16 HPA<br />

Fig. 20. Output power of 1/16 HPA modules<br />

54 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Układy pobudzania modułów<br />

Układy pobudzania modułów ZPM dostarczają sygnały<br />

o określonej amplitudzie i fazie niezbędne do wysterowania<br />

wzmacniaczy w modułach nadawczo-odbiorczych. W antenie<br />

są stosowane cztery układy ZPM. W układach pobudzania modułów,<br />

wejściowy sygnał wzbudzania jest dzielony w synfazowym<br />

dzielniku mocy na równe części. W każdym z ośmiu torów<br />

układu wzbudzania jest włączony 6-bitowy przesuwnik fazy<br />

i wzmacniacz średniej mocy. W układzie zastosowano przesuwnikI<br />

typu PH 332 PT2 umożliwiające zmianę fazy ze skokiem<br />

5,625°. Parametry przesuwnika fazy podano w tabeli 3.<br />

Moc na wyjściu układu pobudzania modułów jest utrzymywana<br />

na poziomie 200 mW z tolerancją ±1 dB i spełnia wymagania<br />

na poziom mocy sterującej moduły nadawczoodbiorcze.<br />

Dla utrzymania stałego poziomu mocy wyjściowej zastosowano<br />

wyjściowy wzmacniacz średniej mocy pracujący<br />

w stanie nasycenia, dzięki temu moc wyjściowa wzmacniacza<br />

nie jest wrażliwa na zmiany sygnału wejściowego, Nominalny<br />

poziom mocy wyjściowej jest ustalany poprzez dobór tłumików<br />

trymujących dołączanych do wyjścia wzmacniacza. Na<br />

rys. 21. przedstawiono widok układu pobudzania od strony<br />

układów mikrofalowych.<br />

Tab. 3. Parametry przesuwnika fazy PH 332P2<br />

Tabl. 3. Parameters of the phase shifter PH 332P2<br />

Na rysunku 22. przedstawiono charakterystyki mocy wyjściowej<br />

układu pobudzania modułów w funkcji częstotliwości.<br />

Typowy przebieg charakterystyk fazowych w funkcji częstotliwości<br />

dla pojedynczego toru wzbudzania dla stanów przesuwnika<br />

odpowiadającym bitom 0...16 pokazano na rys. 23.<br />

Rys. 22. Charakterystyki mocy wyjściowej układu pobudzania modułów<br />

w funkcji częstotliwości<br />

Fig. 22. Output power versus frequency of transmit-receive modules<br />

exciter<br />

Pasmo pracy<br />

Straty<br />

Przesunięcie fazy<br />

3,1...3,5 GHz<br />

< 7,5 dB<br />

0...360° (64 bity)<br />

Błąd fazy RMS 3°<br />

Wejściowy punkt kompresji 1 dB<br />

25 dBm<br />

WFS we i wy < 1,9<br />

Rys. 23. Przebieg charakterystyk fazowych w funkcji częstotliwości<br />

dla pojedynczego toru wzbudzania dla stanów przesuwnika odpowiadającym<br />

bitom 0...16<br />

Fig. 23. Phase characteristics versus frequency for a single exciting<br />

channel for different phase shifter states responding to 16 bits<br />

(from 0 to 16)<br />

Charakterystyki toru nadawczego anteny<br />

aktywnej<br />

Rys. 21. Widok ogólny układu pobudzania modułów<br />

Fig. 21. General view of a transmit-receive modules exciter without<br />

upper cover<br />

Charakterystyki toru nadawczego (bez segmentów antenowych)<br />

są wyznaczane na podstawie wyników pomiarów<br />

rozkładów amplitudy i fazy w wierszach toru. Pomiary amplitudy<br />

i fazy systemu nadawczego aktywnej anteny są bardzo<br />

trudne, gdyż ze względu na wzmacniacze klasy C użyte w<br />

modułach nadawczo-odbiorczych pomiary te muszą być wykonywane<br />

przy pełnej mocy nadawanej. Do pomiaru rozkładu<br />

amplitudy i fazy wykorzystano elementy systemu diagnostyki<br />

systemu nadawczego. Zasadniczym elementem systemu<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 55


diagnostyki jest detektor amplitudy i fazy pozwalający na<br />

określenie amplitudy i fazy mierzonego sygnału z dużą<br />

dokładnością. System diagnostyki toru nadawczego będzie<br />

szczegółowo opisany w Części 5. artykułu.<br />

Charakterystyki toru nadawczego bez segmentów antenowych<br />

są charakterystykami bloku formowania wiązki nadawczej.<br />

W przypadku opisywanej aktywnej anteny są to dwie<br />

charakterystyki nadawcze dla dwóch bloków formowania<br />

wiązek. Wyniki symulacji charakterystyki antenowej przedstawiono<br />

na rys. 24.<br />

Rys. 24. Elewacyjne charakterystyki nadawcze bloków nadawczych:<br />

charakterystyka teoretyczna (krzywa niebieska), charakterystyka<br />

bloku „lewego”- krzywa zielona, charakterystyka bloku<br />

„prawego”- krzywa czerwona<br />

Fig. 24. Elevation transmit pattern for transmit beam formers; blue<br />

color - theoretical pattern, green color - “left” beam former pattern,<br />

red color - “right” beam former pattern<br />

Podobnie jak w torze odbiorczym aktywnej anteny, zastosowanie<br />

w torze nadawczym 6-bitowego przesuwnika fazy<br />

pozwoliło na ustawienie rozkładu fazy z dużą dokładnością,<br />

pozwalającą na uzyskanie rzeczywistych charakterystyk bardzo<br />

bliskich charakterystykom teoretycznym.<br />

Podsumowanie<br />

W artykule przedstawiono system nadawczy aktywnej anteny<br />

radiolokacyjnej na pasmo S. W systemie zastosowano elektroniczne<br />

kształtowanie wiązki nadawczej. Do projektu przyjęto<br />

kształt wiązki w płaszczyźnie elewacji typu cosecans<br />

kwadrat zapewniający kąt pokrycia 40°. W płaszczyźnie azymutu<br />

wiązka nadawcza jest wiązką szpilkową, a pokrycie<br />

w azymucie będzie zapewnione przez ruch obrotowy anteny.<br />

Do ustawienia wymaganego rozkładu fazy w płaszczyźnie<br />

elewacji zastosowano w każdym z wierszy 6-bitowy przesuwnik<br />

fazy pozwalający na realizację rozkładu fazy z dokładnością<br />

±3°.<br />

Wymagany rozkład amplitudy zrealizowano stosując<br />

wzmacniacze mocy klasy C o różnych mocach wyjściowych.<br />

Aproksymacja rozkładu amplitudy i duża dokładność odwzorowania<br />

teoretycznego rozkładu fazy pozwoliła na uzyskanie<br />

charakterystyk nadawczych systemu antenowego bardzo bliskich<br />

charakterystykom teoretycznym. System nadawczy<br />

może wypromieniować moc impulsową około 25 kW w impulsie<br />

i moc średnią około 2,5 kW.<br />

Literatura<br />

Czwartacka A.: Aktywna antena radiolokacyjna na pasmo S. Część 1.<br />

System antenowy - koncepcja. <strong>Elektronika</strong> nr 4/<strong>2009</strong>, ss. 135-139.<br />

Jerzy Siuzdak: Systemy i sieci fotoniczne. WKiŁ, Warszawa <strong>2009</strong><br />

Książka jest poświęcona zagadnieniom<br />

wykorzystania transmisji optycznej we<br />

współczesnych systemach i sieciach telekomunikacyjnych.<br />

Oprócz opisu podstaw<br />

techniki światłowodowej zawarto w niej<br />

omówienie fotonicznych systemów i sieci:<br />

transportowych, dostępowych i lokalnych,<br />

a także systemów analogowych.<br />

W pierwszych rozdziałach książki<br />

omówiono teorię zjawisk zachodzących<br />

podczas transmisji światła w światłowodzie,<br />

stosowane współcześnie w przemyśle<br />

typy światłowodów, zdefiniowano ich<br />

podstawowe parametry techniczne (m.in.<br />

tłumienie, dyspersja chromatyczna, współczynniki odbicia, załamania).<br />

Scharakteryzowano elementy toru światłowodowego, szczególnie<br />

rodzaje stosowanych źródeł światła, układy elektroniczne<br />

współpracujące ze źródłami światła, fotodetektory, odbiorniki<br />

optyczne, sprzęgacze, wzmacniacze optyczne SOA i Ramana oraz<br />

domieszkowane pierwiastkami ziem rzadkich, modulatory zewnętrzne<br />

i sprzęgacze i in.<br />

W kolejnych rozdziałach przedstawiono budowę i właściwości<br />

optycznych sieci transportowych PDH, SDH i (D)WDM. Omówiono<br />

parametry każdego toru i ich wpływ na jakość transmisji a także zarządzanie<br />

siecią i utrzymanie zgodnie z najnowszymi modelami<br />

N(E)MS/OSS (Network (Element) Management System/Operation<br />

Support System) i metody protekcji w sieciach optycznych.<br />

Następnie scharakteryzowano systemy analogowe, w tym szkieletowe<br />

sieci CATV do transmisji sygnałów telewizyjnych i Internetu,<br />

systemy RoF wykorzystujące światłowody do transmisji sygnałów<br />

radiowych pomiędzy stacją centralną (czołową) a odległymi stacjami<br />

antenowymi. Zostały krótko opisane komputerowe sieci lokalne<br />

LAN, wykorzystujące światłowody do budowy sieci o przepływnościach<br />

10 Gbit/s i większych. Omówiono optyczne sieci dostępowe<br />

FITL oraz HFC, FTTH, PON, ADSL i VDSL oraz HFC. Zwrócono<br />

uwagę na niekompatybilność rozwiązań poszczególnych producentów<br />

sieci dostępowych.<br />

Nakreślono również kierunki rozwoju technik fotonicznych w telekomunikacji.<br />

Przedstawiono zagadnienia transmisji koherentnej<br />

i solitonowej oraz systemy OTDM i OCDMA.<br />

Na końcu każdego rozdziału zamieszczono zestawy pytań kontrolnych<br />

i zadania pozwalające sprawdzić i ugruntować zdobytą<br />

wiedzę. Podręcznik ten to kompendium wiedzy na temat współczesnej<br />

techniki światłowodowej. Jest przeznaczony dla studentów kierunków<br />

telekomunikacjI i elektronikI, a także dla inżynierów<br />

zajmujących się zagadnieniami związanymi z transmisją optyczną.<br />

56 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Szybki algorytm dyskretnej transformacji Gabora<br />

mgr inż. ŁUKASZ BONIKOWSKI, dr hab. inż. ALEXANDR TARIOV prof. ZUT<br />

Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki, Szczecin<br />

W pracy został przedstawiony szybki algorytm dyskretnej<br />

transformacji Gabora. W porównaniu ze znanymi algorytmami<br />

realizującymi tę transformację za pomocą dualnych okien biortogonalnych,<br />

proponowany algorytm wyróżnia się mniejszą<br />

liczbą operacji arytmetycznych niezbędnych do wyznaczania<br />

współczynników rozwinięcia Gabora w sytuacjach doboru stosunkowo<br />

dużej liczby przedziałów w czasie M. Ponieważ dyskretna<br />

transformata Gabora pozwala dobierać dokładność<br />

reprezentacji sygnału na podstawie kompromisu pomiędzy<br />

jego rozdzielczością w domenie czasu a częstotliwości, to<br />

i wielkość zysku obliczeniowego (stopy redukcji liczby operacji<br />

arytmetycznych) jest zmienna. Jednak nawet w najgorszym<br />

przypadku najmniejszy zysk jest co najmniej dwukrotny w stosunku<br />

do niezoptymalizowanej wersji transformaty.<br />

Transformata Gabora jest jedną spośród metod dekompozycji<br />

sygnału do dziedziny czasowo-częstotliwościowej i jego<br />

rekonstrukcji do dziedziny czasu. W przypadku wykorzystania<br />

okna gaussowskiego, uzyskiwana jest bardzo dobra lokalizacja<br />

otrzymanej reprezentacji w dziedzinie czasu i częstotliwości<br />

[1], ograniczona zasadą nieoznaczoności Heisenberga.<br />

Transformata Gabora cechuje się zatem niską redundancją<br />

zawartej w niej informacji czasowo-częstotliwościowej [2],<br />

wprzeciwieństwie do krótkookresowej transformaty Fouriera<br />

(dla której redundancja informacji jest duża [3]). Porównanie<br />

właściwości transformaty Gabora z transformatą krótkookresową<br />

można odnaleźć w [4].<br />

Dzięki nadpróbkowaniu (ang. oversampling) a więc takiemu<br />

doborowi liczby przedziałów w czasie (M) i częstotliwości<br />

(N) dla którego spełniony jest warunek MN ≥ L (gdzie za<br />

L oznaczono długość sygnału), istnieje możliwość uzyskania<br />

wysokiej rozdzielczości czasowo-częstotliwościowej.<br />

Transformata Gabora jest dobrym narzędziem do reprezentacji<br />

obrazów. Entropia obrazu reprezentowanego za pomocą<br />

DGT jest znacznie mniejsza od entropii bitmapy, co<br />

szczególnie dla silnych stopni kompresji daje możliwość uzyskania<br />

lepszych wyników kompresji obrazów od osiąganych za<br />

pomocą DCT [5]. Szerokie zastosowania dla DGT znaleźć<br />

można również w systemach przetwarzania sygnałów dźwiękowych.<br />

Zastąpienie STFT transformatą Gabora w systemach<br />

rozpoznawania tekstu pracujących z nagraniami zaszumionymi<br />

postulowane zostało w pracy [6]. Transformata ta wykorzystywana<br />

jest również w systemach rozpoznawania<br />

obiektów, analizy sygnałów (np. ech sejsmicznych) i innych.<br />

Duży „koszt” wyznaczenia transformaty Gabora (również<br />

w sytuacji próbkowania krytycznego w której MN = L) zrodził<br />

potrzebę stworzenia szybkich algorytmów DGT. Precyzyjnego<br />

porównania metod o złożoności z zakresu od O(L 2 ) do<br />

O(Llog 2 L) dostarcza artykuł Orra [7], omawiający metody biortogonalne<br />

(multiply and add, algorytm Balarta [8], Expurgated<br />

FFT-based [7]), metody wyznaczania DGT wykorzystujące dekonwolucję<br />

oraz metodę opartą na transformacie Zaka [7,11].<br />

Szybszy od wymienionych algorytm dekompozycji pozwalający<br />

na dokonanie analizy i syntezy ze złożonością rzędu<br />

O(Llog 2 L) można odnaleźć w [9]. Przegląd metod wyznaczenia<br />

transformaty Gabora w 2D (poprzez inwersję macierzy,<br />

transformatę Zaka i metodę relaxation network) pod kątem<br />

prędkości, dokładności i stabilności można odnaleźć w [5].<br />

Najszybszy znany autorom algorytm DGT, wykorzystujący filtry<br />

rekurencyjne cechuje się zadeklarowaną złożonością obliczeniową<br />

sięgającą O(L) [10].<br />

Niestety część spośród szybkich algorytmów dostarcza<br />

w pewnych sytuacjach nieprawidłowych współczynników analizy.<br />

Przykładem może być algorytm wykorzystujący transformatę<br />

Zaka, który dla pewnych danych może dawać błędne<br />

rezultaty [8]. Niekiedy dopuszczanie do pojawienia się niewielkich<br />

przekłamań jest celową strategią, pozwalającą na<br />

zredukowanie złożoności obliczeniowej (czego przykładem<br />

może być m.in. metoda przedstawiona w [11]).<br />

Założeniem przyjętym podczas projektowania przedstawionego<br />

w artykule algorytmu, było dostarczenie metody<br />

pozwalającej na uzyskanie współczynników analizy nieróżniących<br />

się od wyznaczanych za pomocą algorytmu macierzowego<br />

(przedstawionego w kolejnym punkcie artykułu).<br />

Określenie DGT w ujęciu macierzowym<br />

Dyskretne rozwinięcie Gabora sygnału x(k) (wyznaczane gdy<br />

MN ≥ L [12]), może zostać wyrażone jako [11]:<br />

gdzie: h(k) oznacza okno syntezy, którym zazwyczaj jest okno<br />

gaussowskie ze względu na jego dobrą lokalizację w dziedzinie<br />

czasu i częstotliwości. Niestety przesunięte w czasie, zmodulowane<br />

funkcje elementarne nie tworzą bazy ortogonalnej.<br />

Transformata Gabora jest zatem transformatą nieortogonalną<br />

[13], co rodzi problem jednoznacznego określenia współczynników<br />

rozwinięcia Gabora. Jednym z możliwych rozwiązań<br />

jest użycie zaproponowanej przez Bastiaansa [14] metody polegającej<br />

na odnalezieniu okna dualnego γ(k) (w stosunku do<br />

okna syntezy h(k)). Wyznaczenie okna γ(k) pozwala na uzyskanie<br />

współczynników analizy y m,n według zależności [11]:<br />

Okno dualne powinno zostać dobrane w taki sposób, aby<br />

spełniony został warunek biortogonalności pomiędzy h(k) i γ(k):<br />

(gdzie δ oznacza deltę Kroneckera [15]), którego dowód dla<br />

sygnałów dyskretnych można odnaleźć w [16]. Ponieważ<br />

przebieg okna syntezy zależy od długości sygnału, a także od<br />

ustalonej liczby przedziałów w dziedzinie czasu i częstotliwości,<br />

zatem również kształt okna analizy zależny jest od<br />

wspomnianych czynników (rys. 1).<br />

Uzyskanie wartości okna dualnego może zostać dokonane<br />

przez wyznaczenie macierzy odwrotnej w stosunku do H MN :<br />

(1)<br />

(2)<br />

(3)<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 57


(4)<br />

W celu uzyskania macierzy pozwalającej na dokonanie<br />

obecnej we wzorze (1) modulacji okna gaussowskiego<br />

(a także okna dualnego γ(k) z równania 2) sinusoidami o poszczególnych<br />

częstotliwościach, budowana jest blokowo-diagonalna<br />

macierz [17]:<br />

której elementami są macierze diagonalne :<br />

(7)<br />

zawierające N spośród L elementów okna syntezy h(k).<br />

Rozpiętość okna wykorzystywanego do uzyskania DGT<br />

jest niezależna od ustalonej liczby przedziałów analizy sygnału<br />

w czasie. Z tego powodu konieczne jest wykorzystanie<br />

okna o odpowiednio dobranej wariancji i przesuniętego cyklicznie<br />

o odpowiednią liczbę próbek (w taki sposób, by<br />

w każdym kroku maksimum okna znajdowało się w centrum<br />

analizowanego zakresu sygnału):<br />

(5)<br />

(6)<br />

gdzie za pomocą operatora „* ” oznaczono sprzężenie hermitowskie.<br />

Macierz złożona jest z M macierzy E* N :<br />

a więc macierzy dyskretnej transformaty Fouriera dostarczającej<br />

informacji o częstotliwościach zawartych w sygnale.<br />

Uzyskanie zbioru współczynników analizy Y MNx1 wymaga<br />

wyznaczenia iloczynu macierzy E^MN z macierzą Γ MN oraz<br />

wektorem danych wejściowych:<br />

(8)<br />

(9)<br />

Sposób selekcjonowania L elementów macierzy H -1 MN =<br />

Γ MN opisujących przebieg okna γ(k), przedstawiony został za<br />

pomocą algorytmu (1). Ujęcie transformaty Gabora w notacji<br />

macierzowej eliminuje jednak potrzebę tego typu działania.<br />

gdzie:<br />

(10)<br />

Synteza procedury szybkiego<br />

wyznaczania DGT<br />

Rys. 1. Przebieg okien syntezy (a) i analizy (b) dla sygnału<br />

o długości L = 64 w przypadku, gdy M = 4 i N = 16 (linia czarna) oraz<br />

gdy M = N = 8 (linia czerwona)<br />

Fig. 1. Schedule representations of synthesis window (a) and<br />

analysis window (b) for signal of length L = 64 for M = 4, N = 16<br />

(dark curve) and for M = N = 8 (red curve)<br />

Struktura macierzy H MN budowana jest bowiem w taki<br />

sposób, aby jej iloczyn z wektorem zawierającym sygnał wejściowy<br />

odpowiadał iloczynowi odpowiednich elementów sygnału<br />

i okna opisanych równaniem (2).<br />

Złożoność obliczeniowa realizacji transformacji Gabora według<br />

procedury (9) jest relatywnie duża ze względu na konieczność<br />

wykonania operacji odwrócenia macierzy oraz dwóch operacji<br />

mnożenia wektora przez macierz. Dlatego intencją projektantów<br />

było poszukiwanie sposobów minimalizacji liczby operacji<br />

arytmetycznych niezbędnych do realizacji omawianej procedury.<br />

Stąd, na przykład, w pracach [11,18] zostało zaproponowane<br />

przyspieszenie obliczeń dokonywane za pomocą<br />

„szybkich” algorytmów odwrócenia macierzy H NM . Należy jednak<br />

zauważyć, że ponieważ elementami tej macierzy są<br />

„z góry” znane liczby stałe, to tak naprawdę, odwrócenia macierzy<br />

można by było dokonać zawczasu i przechowywać wyniki<br />

odwrócenia w pamięci urządzenia przetwarzającego<br />

w przeciągu realizacji procesu obliczeniowego, pobierając je<br />

w miarę potrzeby. Natomiast znacznie ciekawszym by było<br />

skupienie się na przyspieszeniu operacji (a raczej „makrooperacji”)<br />

wyznaczania iloczynu wektora danych przez macierz<br />

Γ NM . Niezależnie od tego, czy elementy macierzy Γ NM wy-<br />

58 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


znaczane są „z góry” i przechowywane w pamięci, czy zostały<br />

wyliczone za pomocą jednego z „szybkich” algorytmów odwrócenia<br />

macierzy, żadnych innych udoskonaleń procesu obliczeniowego<br />

opisywanego za pomocą procedury (9) jak dotąd<br />

nie zaproponowano. Okazuje się, że możliwość dalszej racjonalizacji<br />

liczenia transformaty Gabora jednak istnieje i polega<br />

ona właśnie na dokonaniu faktoryzacji macierzy Γ NM . Rozpatrzmy<br />

tę kwestię bardziej szczegółowo.<br />

Na rysunku 2. zilustrowana została struktura macierzy Γ 16<br />

dla przypadku M =8przedziałów w czasie i N =2w częstotliwości.<br />

Macierze Γ MN wypełniane są elementami wybieranymi<br />

ze zbioru L wartości opisujących kształt okna dualnego. Jak<br />

łatwo zauważyć wszystkie wartości opisujące przebieg okna<br />

występują w każdej spośród M grup złożonych z N wierszy.<br />

Każda z M grup przesunięta jest cyklicznie o N elementów<br />

względem poprzedniej, co pozwala na wyselekcjonowanie za<br />

pomocą opisywanej macierzy odpowiednich fragmentów sygnału.<br />

Specyficzna blokowo-diagonalna struktura macierzy<br />

Γ MN daje również możliwość wielokrotnego zastosowania procedur<br />

dekompozycji zaproponowanych w [19].<br />

Wymiarowość macierzy oraz może zostać<br />

określona jako:<br />

Przez H 2 oznaczono macierz Hadamarda 2 rzędu:<br />

(13)<br />

(14)<br />

(15)<br />

Ponieważ H 2 = E 2 , dlatego macierze H 2 można zastąpić macierzami<br />

E 2 (co uczyniono podczas konstruowania modelu<br />

grafostrukturalnego przedstawionego na rysunku (3)). Jako<br />

T 3x2 i T 2x3 oznaczono macierze:<br />

(16)<br />

Symbolami „⊗” oraz „⊕” oznaczono odpowiednio operację iloczynu<br />

tensorowego oraz sumy prostej dwóch macierzy [19].<br />

Elementy macierzy D P mogą zostać uzyskane w wyniku<br />

rekurencyjnej procedury (wymagającej przeprowadzenia<br />

log 2 M iteracji), przedstawionej za pomocą algorytmu (2). Wykorzystanie<br />

algorytmu wymaga znajomości wartości elementów<br />

okna dualnego. Do ich wyselekcjonowania z macierzy Γ MN<br />

można posłużyć się metodą przedstawioną w algorytmie (1).<br />

Wymiarowość uzyskanej macierzy D P może zostać określona<br />

za pomocą zależności:<br />

(17)<br />

Rys. 2. Struktura macierzy Γ 16 dla M = 8, N = 2<br />

Fig. 2. Structure of matrix Γ 16 for M = 8, N = 2<br />

W wyniku przeprowadzenia log 2 M iteracji dekompozycji<br />

macierzy Γ MN , uzyskana może zostać procedura szybkiego<br />

algorytmu wyznaczania transformaty Gabora, opisana zależnością:<br />

Ponieważ D P jest macierzą diagonalną, zatem liczba mnożeń<br />

wykonywanych w celu uzyskania transformaty Gabora (w sytuacji<br />

próbkowania krytycznego) będzie dla przedstawionej<br />

procedury równa P.<br />

Liczba operacji dodawania konieczna do przeprowadzenia<br />

prezentowanej procedury dana jest natomiast zależnością:<br />

(11)<br />

(18)<br />

gdzie:<br />

(12)<br />

W przypadku przetwarzania wielu sygnałów, koszt wyznaczania<br />

macierzy D P a także elementów macierzy Γ MN poniesiony<br />

zostanie w sytuacji dostarczania sygnałów o różnej<br />

długości. Ten koszt będzie poniesiony również, jeżeli ulegnie<br />

zmianie liczba przedziałów analizy sygnału w czasie (M) lub<br />

częstotliwości (N).<br />

Nakład ten można w pewnym stopniu zredukować wykorzystując<br />

fakt dostarczania niezależnych względem siebie<br />

współczynników rozwinięcia Gabora w sytuacji próbkowania<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 59


krytycznego. Daje to możliwość K-krotnego wyznaczania<br />

transformaty Gabora obliczonej w M/K przedziałach w czasie<br />

i N przedziałach w częstotliwości.<br />

Rozpatrzmy przykład proponowanego algorytmu w przypadku,<br />

gdy L = 16, M = 8 i N =2. Wówczas procedura (11)<br />

przybiera postać:<br />

s 8 = 0,25(a + i - e - m) (34)<br />

s 9 = 0,25(b + j - f - n) (35)<br />

s 10 = 0,5(k - c - o + g - m + e + a - i) (36)<br />

poszczególne zaś macierze są postaci:<br />

(19)<br />

(20)<br />

(21)<br />

(22)<br />

(23)<br />

s 11 = 0,5(l - d - p + h - n + f + b - j) (37)<br />

s 12 = 0,5(o - g - c + k - m + e + a - i) (38)<br />

s 13 = 0,5(p - h - d + l - n + f + b - j) (39)<br />

s 14 = 0,5(m - e - a + i) (40)<br />

s 15 = 0,5(n - f - b + j) (41)<br />

s 16 = 0,5(c - k - o + g - e + m + a - i) (42)<br />

gdzie:<br />

(24)<br />

(25)<br />

s 17 = 0,5(d - l - p + h - f + n + b - j) (43)<br />

s 18 = 0,5(g - o - c + k - e + m + a - i) (44)<br />

s 19 = 0,5(h - p - d + l - f + n + b - j) (45)<br />

s 0 = 0,125(a + i + e + m + c + k + g + o) (26)<br />

s 1 = 0,125(b + j + f + n + d + l + h + p) (27)<br />

s 2 = 0,125(a + i + e + m - c - k - g - o) (28)<br />

s 3 = 0,125(b + j + f + n - d - l - h - p) (29)<br />

s 4 = 0,25(g + o - c - k - a - i - e - m) (30)<br />

s 5 = 0,25(h + p - d - l - b - j + f + n) (31)<br />

s 6 = 0,25(c + k - g - o - a - i + e + m) (32)<br />

s 7 = 0,25(d + l - h - p - b - j + f + n) (33)<br />

s 20 = 0,5(e - m - a + i) (46)<br />

s 21 = 0,5(f - n - b + j) (47)<br />

s 22 = 0,5(o - g - a + i) (48)<br />

s 23 = 0,5(p - h - b + j) (49)<br />

s 24 = 0,5(c - k - a + i) (50)<br />

s 25 = 0,5(d - l - b + j) (51)<br />

s 26 = 0,5(a - i) (52)<br />

s 27 = 0,5(b - j) (53)<br />

60 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Rys. 3. Grafo-strukturalny model organizacji procesu obliczeniowego wyznaczania DGT zgodnie z proponowanym algorytmem, dla L = 16,<br />

M = 8, N = 2<br />

Fig. 3. The graph-structural model of DGT computing process organization according to proposed algorithm for L = 16, M = 8, N = 2<br />

Na rysunku 3. pokazano model grafostrukturalny ilustrujący<br />

organizacje procesu obliczeniowego wyznaczania<br />

współczynników dyskretnej transformaty Gabora zgodnie<br />

z opracowaną procedurą (dla L = 16, M = 8 i N =2). Liniami<br />

prostymi oznaczone są operacje transferu danych. W przypadku<br />

tego modelu skupienie linii prostych w odpowiednich<br />

punktach oznacza operacje dodawania, natomiast linie rozchodzące<br />

sie (rozgałęzienia) - zwykłe operacje dublowania<br />

danych. Kółkami na tym modelu są przedstawione operacje<br />

mnożenia przez stałe w nie wpisane, prostokątami zaś oznaczone<br />

zostały bloki mnożenia wpisanych w nie macierzy przez<br />

odpowiednie podwektory danych.<br />

Uzyskane rezultaty<br />

Na rysunku 4. porównano nakład obliczeniowy ponoszony<br />

w sytuacji użycia zaproponowanej metody szybkiego wyznaczania<br />

DGT a także w sytuacji wykorzystania procedury (9)<br />

do analizy sygnału o długości L = 4096.<br />

Nakład dla metody macierzowej oszacowano przy<br />

założeniu wykonywania jedynie niezbędnych mnożeń (a więc<br />

założeniu odpowiedniego selekcjonowania elementów macierzy<br />

Γ MN oraz X MNx1 ). Można zauważyć, iż stopień redukcji<br />

złożoności obliczeniowej staje się coraz mniejszy (w odniesieniu<br />

do metody macierzowej) wraz ze wzrostem M. Zapro-<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 61


Rys. 4. Porównanie złożoności obliczeniowej metody macierzowej<br />

[11] i proponowanego algorytmu wyznaczania DGT, dla sygnału<br />

o długości L = 4096<br />

Fig. 4. Comparison of computing complexity of method [11] and<br />

proposed algorithm for signal of length L = 4096<br />

ponowana procedura wyznaczania DGT cechuje się jednak<br />

mniejszym kosztem obliczeniowym od pozostałych metod wykorzystujących<br />

okna dualne (takich jak algorytm Balarta [8]<br />

czy metoda Expurgated FFT-based [7]) w sytuacji doboru stosunkowo<br />

dużej liczby przedziałów analizy w czasie (M).<br />

Literatura<br />

[1] Lienhart R., Boogaart C.: Fast Gabor Transformation For Processing<br />

High Quality Audio. In IEEE International Conference on<br />

Acoustics. Speech and Signal Processing - ICASSP 2006, vol. 3,<br />

2006, pp. 161-164.<br />

[2] Chen D., Qian S.: Joint Time-Frequency Analysis - Methods and<br />

Applications. Prentice Hall, 1996.<br />

[3] Zielinski T.: Cyfrowe przetwarzanie sygnałów. WKŁ, Warszawa,<br />

2007.<br />

[4] Auslander L., Buffalano C., Orr R., Tolimieri T.: Comparison of<br />

the Gabor and short-time Fourier transforms for signal detection<br />

and feature extraction in noisy environments. Proc. SPIE Int.<br />

Soc. Opt. Eng., 1348, 1990, pp. 230-247.<br />

[5] Reed T., Chien T.: A Performance Analysis of Fast Gabor Transform<br />

Methods. Graphical Models and Image Processing, 59(3),<br />

1997, pp. 117-127.<br />

[6] Madan V.: Analysis of Spoken Words Employing Gabor Transform.<br />

In Workshop on Spoken Language Processing, Mumbai,<br />

India, 2003.<br />

[7] Orr R.: The Order of Computation for Finite Discrete Gabor<br />

Transforms. IEEE Transactions on Signal Processing, 41(1),<br />

1993, pp. 122-130.<br />

[8] Balart R.: Matrix reformulation of the Gabor transform. Optical<br />

Engineering, 1992, pp. 1235-1242.<br />

[9] Qiu S., Zheng F., Crandall P.: Discrete Gabor transforms with<br />

complexity. Signal Processing, 77, 1999, pp. 159-170.<br />

[10] Young I., Vliet L., Ginkel M.: Recursive Gabor filtering. IEEE<br />

Transactions on Signal Processing, 50, 2002, pp. 2798-2805.<br />

[11] Ahalt S., Stewart D., Potter L.: Computationally attractive real<br />

Gabor transforms. IEEE Transactions on Signal Processing,<br />

43(1), 1995, pp. 77-83.<br />

[12] Chen D., Qian S.: Discrete Gabor Transform. IEEE Transactions<br />

on Signal Processing, 41(7), 1993, pp. 2429-2438.<br />

[13] Strohmer T.: A unified approach to numerical algorithms for discrete<br />

Gabor expansions. In Proc. SampTA - Sampling Theory<br />

and Applications, Aveiro/Portugal, 1997, pp. 297-302.<br />

[14] Bastiaans M.: Gabor expansion of a signal into Gaussian elementary<br />

signals. Proc. IEEE, 68, 1980, pp. 594-598.<br />

[15] Janssen A.: Signal analytic proof of two basic results on lattice<br />

expansions. Appl. Comp. Harm. Anal., 1(4), 1994, pp. 350-354.<br />

[16] Wexler J., Raz S.: Discrete Gabor expansions. Signal Processing,<br />

21(3), 1990, pp. 207-221.<br />

[17] Yao J.: Complete Gabor Transformation for Signal Representation.<br />

IEEE Transactions on Image Processing, 2(2), 1993, pp.<br />

152-159.<br />

[18] Kracher G., Hampejs M.: The inversion of Gabor-type matrices.<br />

Signal Processing, (87), 2007, pp. 1670-1676.<br />

[19] Ţariov A.: Strategie racjonalizacji obliczen przy wyznaczaniu iloczynów<br />

macierzowo-wektorowych. Metody Informatyki Stosowanej,<br />

2008, pp. 147-158.<br />

Flexible packet scheduling algorithm utilization<br />

for on-chip networks<br />

(Algorytm elastycznego kolejkowania pakietów w sieciach<br />

wewnątrzukładowych)<br />

mgr inż. PAWEŁ STOLARSKI, dr inż. TOMASZ MĄKA, dr inż. PIOTR DZIURZAŃSKI<br />

Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki, Szczecin<br />

Using contemporary technology, it is possible to implement a<br />

large number of computational units inside a single chip. Such<br />

kind of chip is usually referred to as System on Chip - SoC.<br />

A typical system of this type is usually composed of computational<br />

elements, I/O interfaces, memory, and communication<br />

infrastructure. Due to the continuously increasing complexity of<br />

these systems and low scalability of inner connections, system<br />

cores are connected with Network on Chip (NoC) [1].<br />

These networks are an alternative to the state-of-the-art point<br />

to point or bus-based connections and, similarly to buses, they<br />

offer an universal interface for connecting SoC elements. However,<br />

NoCs guarantee better electrical parameters of transmitted<br />

signals, higher bandwidth and are capobility of transferring<br />

a few portions of information simultaneously [4].<br />

Owing to the specificity of the NoCs and the complexity of<br />

the cores, it is necessary to develop an appropriate communication<br />

architecture to get a requested efficiency of the algorithm<br />

implementation. Moreover, depending on the user<br />

requirements and the constraints of the realized algorithms,<br />

NoCs should support mechanisms guaranteeing an appropriate<br />

level of service [6]. Quality of Service, QoS, determines<br />

the capabilities of a network to guarantee the required transmission<br />

parameters for a selected traffic or link. Typically, the<br />

guaranteed parameters are delay and throughput [6].<br />

62 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


To guarantee QoS, it is necessary to realize the three following<br />

tasks. The first is to identify traffics in a network element.<br />

The incoming data is to be assigned into appropriate<br />

traffic classes and serviced according to the rules defined for<br />

these traffics. The identification is performed based on the<br />

data placed in the package header or the signals received<br />

from other interfaces. The second aspect is implementation<br />

of QoS mechanism inside a network element. Routing and<br />

buffering algorithms, together with scheduling packages to<br />

links have to incorporate the rules, which makes it possible to<br />

follow the QoS constraints for all packages transmitted by<br />

a network element. The last problem is to control the traffics<br />

and fulfilling the requirements for all links in the whole network.<br />

In NoCs, this aspect is usually considered only at the<br />

system design stage [10]. The QoS mechanisms can be divided<br />

into two groups: based on bandwidth allocation and<br />

buffer allocation. The first group includes Time Division Multiplexing<br />

(TDM) scheme, which introduces dividing system<br />

working time into time slots. In every slot, there is a certain<br />

transmission type defined. The slots are to be organized in<br />

the form that guarantees conflict-free transmission with certain<br />

parameters. The arbitration mechanism determines the order<br />

of data transmission on router output based on the traffic class<br />

priorities. The buffer allocation mechanisms, on the other<br />

hand, is based on virtual channels utilization, i.e., the connection<br />

mechanisms whose buffers assigned to a transmission<br />

are allocated for the transmission exclusively [5].<br />

There exist various approaches for guaranteeing quality<br />

of service. One of the most widely used solution is based on<br />

the constant priorities assigned to the identified traffic classes.<br />

This scheme is used, for example, in [3]. Another technique is<br />

to apply cyclic algorithms, which have been implemented in<br />

network [7]. The virtual channels are primary mechanism used<br />

in NoCs in order to improve the link throughput [2]. In this<br />

scheme, a virtual route is established between a sender and<br />

a receiver, and then the data stream is transferred between<br />

these cores. This route is set for the time of the whole package<br />

transmission and then the route is released. The technique<br />

proposed in the sequel of this paper utilizes a QoS<br />

scheme exploiting this mechanism.<br />

However, if the proposed algorithm with dynamic priorities (Algorithm<br />

1) is used, the class priority is modified after each flit<br />

transmission. After a few cycles, the priority of the class initially<br />

lower than A becomes higher and, consequently, this<br />

package will be then transmitted (Fig. 3).<br />

Assuming the tolerable delays of the higher traffic classes,<br />

it is possible to steer the priorities so that the packages of the<br />

lower classes can be transmitted in the cycles initially dedicated<br />

for other, higher classes. Although this operation increases<br />

the delay of the higher class packages, by decreasing<br />

the delay of the lower classes it may result in better network<br />

resources utilization. Moreover, it can cause all the traffic<br />

classes to be transferred with the assumed QoS parameters.<br />

Fig. 1. Contention of two traffics<br />

Rys. 1. Konflikt między dwoma transmitowanymi strumieniami<br />

danych<br />

Dynamic priority QoS mechanism<br />

The primary algorithm for arbitrage used for guaranteeing the<br />

assumed quality of service is an algorithm assigning constant<br />

priorities to the traffic classes. In this case, the problem with<br />

starvation of the lower class packages may appear under large<br />

load of the network. An example distribution of transmission<br />

that may lead to the starvation of lower class packages is presented<br />

in Fig. 1. In the nodes where the routes for both transmission<br />

A and B are the same, it is required to execute the<br />

algorithm for selecting the transmission precedence. If the priority<br />

algorithm is used, the class of higher priority can block<br />

the transmission of the lower priority package entirely. When<br />

both transmissions via routes A and B have the same priority,<br />

the packages of the transmission received earlier would be<br />

transferred. Four classes of traffic have been defined: very high<br />

(VH), high (H), low (L), and very low (VL). These classes are<br />

assigned with numeric priorities, denoted as P VH , P H , P L , and<br />

P VL , respectively. The traffic with higher priority numeric value<br />

is handled before the traffics with the lower ones.<br />

In the priority algorithm, packages of the A class (the highest)<br />

are transmitted in subsequent cycles, even though there<br />

exist other class packages waiting for transmission. This situation<br />

lasts until all A-class packages have been sent (Fig. 2).<br />

Fig. 2. Successive steps of the priority algorithm<br />

Rys. 2. Kolejne kroki algorytmu priorytetowego<br />

Fig. 3. Successive steps of the algorithm with dynamic priority<br />

Rys. 3. Kolejne kroki algorytmu z dynamicznym priorytetem<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 63


a)<br />

b)<br />

Tabl. 1. Scheduling algorithm with the dynamic priority<br />

Tab. 1. Algorytm kolejkowania z dynamicznym priorytetem<br />

1:<br />

2:<br />

3:<br />

4:<br />

5:<br />

6:<br />

7:<br />

8:<br />

9:<br />

10:<br />

11:<br />

12:<br />

13:<br />

14:<br />

15:<br />

16:<br />

17:<br />

18:<br />

19:<br />

PSL: priority of class SL<br />

PTmpSL: temporary priority of class SL<br />

∆SL: change of priority of class SL<br />

BSL: number of the flits stored in a buffer for class SL<br />

for utilized traffic classes SL do<br />

PTmpSL ← PSL<br />

end for<br />

while true do<br />

SLTmp ← choose the class of the highest PTmp, for which<br />

BSLTmp > 0<br />

transfer a flit of class SLTmp<br />

for used traffic classes SL do<br />

if SL ! = SLTmp and BSL > 0 then<br />

PTmpSL = PTmpSL + ∆SLTmp<br />

end if<br />

if SL == SLTmp then<br />

if BSL > 0 then<br />

PTmpSL = PTmpSL − ∆SLTmp<br />

else if BSL == 0 or the last flit of the package then<br />

PTmpSL = PSL<br />

end if<br />

end if<br />

end for<br />

end while<br />

c)<br />

d)<br />

The ∆SL parameter, linked with traffic class SL, is introduced<br />

in the algorithm based on a constant priority. This parameter,<br />

referred to as priority aging factor, determines the<br />

value modifying the class priority after transmitting a package<br />

of the SL class. The transmission causes decreasing the priority<br />

of the class associated with the traffic and increasing the<br />

remaining traffic priorities. Packages waiting for the transmission<br />

obtain then higher and higher priority up to the time of<br />

their transmission.<br />

When a number of packages with different classes are to<br />

be transmitted by a single link, their priorities would equalize<br />

after a certain number of cycles, depending on the ∆ parameter<br />

and the initial class priorities. Then, they are transmitted<br />

similarly to the cyclic mode. The alteration of the class priority<br />

results in faster priorities equalize and faster transmission<br />

alterations. As a result, the packages with the lower priority<br />

gain the access to the link faster than in the case when the priorities<br />

of the untransferred packages were increased.<br />

It is necessary to restore the previous class priority after<br />

the package is entirely transmitted. Having omitted this operation,<br />

after a number of cycles, the priorities of all classes<br />

would equate. The goal of the implemented mechanism is to<br />

solve long-lasting conflicts among a few traffic classes. The<br />

values of the initial priority and ∆ parameters should be adjusted<br />

to the problem and the traffic generated by the network.<br />

Setting of varied ∆ parameters for each traffic class allows<br />

us to define their values of changes individually. The example<br />

results are provided in Fig. 4.<br />

NoC architecture<br />

Fig. 4. Results for constant priority (a); cyclic (b); dynamic priority<br />

(P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with ∆ = 0.2 (c) and dynamic<br />

priority (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with ∆ = 0.5 (d) arbitrage<br />

Rys. 4. Wyniki uzyskane przy stałym priorytecie (a); cyklicznym (b);<br />

dynamicznym priorytecie (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) z ∆ = 0,2<br />

(c) i dynamicznym priorytecie (P VH = 4, P H = 3, P L = 2, P VL = 1) with<br />

∆ = 0,5 (d)<br />

The QoS mechanisms, presented in the previous section,<br />

have been implemented in an MPSoC with the network topology<br />

depicted in Fig. 5. The network has been built according<br />

to the mesh architecture with four virtual channels. In the figure,<br />

IP Block (Intellectual Property Block) denotes any element<br />

inside SoC which uses a NoC for communication with<br />

the remaining elements of the system. Routers are devices<br />

which route packages inside networks utilizing the popular XY<br />

64 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


algorithm where flits are first routed horizontally and then vertically.<br />

Based on the implemented algorithms, the routers<br />

move packages from their input towards output ports allowing<br />

mutual communication of the elements [1]. The wormhole<br />

scheme has been used as a switching mechanism. In this<br />

scheme, packages are split into smaller portion of data - flits<br />

(flow control units). The flits are sent to the next hop node<br />

even if there is no room for storing the whole package. All flits<br />

are of equal length and usually their size is equal to the number<br />

of wires in the data bus. Only the first flit of a package includes<br />

the address of the target element, the remaining flits<br />

follows it using the same route. Typically, the link between two<br />

routers is blocked by a package as long as all its flits are transferred<br />

to the next hop node [9,1,11].<br />

The fields of the flit for the proposed architecture and the<br />

structure of the designed router are provided in Fig. 6 and 7<br />

respectively. The input port contains 4 buffers and a write controller.<br />

The number of utilized buffers is equal to the number<br />

of the defined traffic classes. Packages of different classes<br />

are then buffered independently. The controller is connected<br />

to the neighboring router by the mean of input ports. Its function<br />

is to manage the writing of the received data to the appropriate<br />

buffer, and to transmit information about their state.<br />

After receiving a portion of data by an input port, in the same<br />

cycle its traffic class is identified and its transmission to the<br />

appropriate port using one of four possible outputs, one for<br />

each buffer is procceded. Between the controller and the<br />

buffer, there exits 1-bit bus that allows the controller to receive<br />

the information about free space in that buffer. The controller<br />

owns 4 connections of this kind - one for each buffer. The<br />

process of traffic class identification is carried out according to<br />

the marker distinguished in the flit structure (Fig. 6).<br />

a)<br />

c)<br />

b)<br />

Fig. 7. Router architecture: internal structure (a), switch (b), input<br />

port (c)<br />

Rys. 7. Architektura rutera: struktura wewnętrzna (a), przełącznik<br />

(b), port wejściowy (c)<br />

Experimental results<br />

Fig. 5. Top level of the chosen NoC architecture<br />

Rys. 5. Najwyższy poziom hierarchii wybranej architektury wewnątrzukładowej<br />

Class<br />

type<br />

data<br />

7<br />

5<br />

3<br />

0<br />

Using the model described earlier in the paper, we carried out<br />

some experiments with the proposed arbitrage algorithms. We<br />

defined three routes in the network (Fig. 8) for measuring the<br />

flit transmission time. These routes run by the network parts<br />

characterized with different loads. Three cores are selected<br />

to generate packages to one of the three selected destination<br />

cores, as shown in Tabl. 2, where the s and r subscripts denote<br />

the sender and receiver nodes, respectively. The remaining<br />

cores generate flits to random target elements. The<br />

random selection of the target element is performed according<br />

to the uniform distribution. The frequency of the package<br />

generation depends on the chosen value of the appropriate<br />

parameter. The network load is proportional to the package<br />

Code<br />

Type<br />

11<br />

header<br />

01<br />

data<br />

00<br />

end of package<br />

Fig. 6. Flit structure<br />

Code<br />

Class<br />

11<br />

VH (the highest priority)<br />

10<br />

H<br />

01<br />

L<br />

00<br />

VL (the lowest priority)<br />

Rys. 6. Struktura flitu<br />

Tabl. 2. Routes used for the analysis of the network efficiency<br />

Tab. 2. Ścieżki wykorzystane do analizy efektywności sieci<br />

Route Source address (X,Y) Destination address (X,Y)<br />

A (1.0) (3.1)<br />

B (0.1) (2.3)<br />

C (0.3) (1.1)<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 65


Fig. 8. Routes used for the analysis of the network efficiency<br />

Rys. 8. Ścieżki wykorzystane do analizy efektywności sieci<br />

generation probability and influences the package delay. The<br />

cores generating packages randomly must not generate packages<br />

to the cores selected as the target elements of the analyzed<br />

routes. This constraint is required for fair comparison of<br />

the times of package generation and receiving.<br />

We implemented the proposed architecture in SystemC<br />

hardware description language using Synopsys CoCentric<br />

SystemStudio (The Software described in this document is<br />

furnished under a license from Synopsys (Northen Europe)<br />

Limited), a system-level design creation, simulation and analysis<br />

tool. The simulations have been performed for three various<br />

probabilities of the random packages generation - three<br />

different network load scenarios. In Tabl. 4, the number of<br />

packages generated in every scenario is provided. The generated<br />

packages are comprised of 8 flits. The simulation was<br />

carried out during 2000 clock cycles. The comparison of the<br />

proposed technique with the methods utilizing constant priorities<br />

and cyclic algorithms are presented in Tabl. 1. In all<br />

cases, the average delay for all classes is almost the same.<br />

However, using the constant priorities, one gets the transfers<br />

with relatively high standard deviation. It means that the packages<br />

of low priority are prone to starvation. On the other hand,<br />

using the cyclic priorities, the importance of various traffic<br />

classes is ignored - they are treated similarly by the arbitrage<br />

algorithm. The proposed approach is the most flexible; by selecting<br />

an appropriate priorities and aging factor, it is possible<br />

to steer the standard deviation to the level required by the particular<br />

system.<br />

The results obtained with the priority algorithm are shown<br />

in Tabl. 3. With the increase of the network load, the delay of<br />

the class with the highest priority and its standard deviation<br />

remains at a constant level. The lower is the class parameter,<br />

the faster its parameters deteriorate. In particular, the delay<br />

of the lowest priority traffic class delay is about 17 times higher<br />

in comparison with the delay of the packages with the highest<br />

class priority under the highest load.<br />

Tabl. 3. Comparison of minimum (min), maximum (max), average (t) delays and their standard deviation (σ t ) of the priority algorithm<br />

Tab. 3. Porównanie minimalnego (min), maksymalnego (max) i średniego (t) opóźnienia oraz odchylenia standardowego (σ t ) algorytmu priorytetowego<br />

Route A<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 47 67 57.4 5.1 48 121 75.2 23.7 43 97 65.5 13.9<br />

H 46 84 70.7 8.6 46 261 159.7 69.8 76 407 216.9 120.8<br />

L 62 369 179.7 77.2 62 854 626.4 276.1 301 1269 1026.9 301.9<br />

VL 78 1102 737.8 221.2 78 1373 1262.2 215.2 1554 1631 1592.8 31.4<br />

Route B<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 57 78 68.7 5.2 57 77 68.1 5.1 59 98 72.6 10.3<br />

H 56 94 81.9 8.9 56 163 91.3 27.7 56 370 188.5 103.5<br />

L 72 381 191 77.9 72 652 333.5 220.3 72 603 343.8 200.8<br />

VL 88 1114 749.6 221.4 88 1595 1307.6 499.5 859 1282 1068.8 141.9<br />

Route C<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 46 67 57.7 5.2 47 105 63.9 16.5 45 94 60.5 12.8<br />

H 45 83 70.9 8.9 45 189 81.9 23.7 45 453 208.9 150.7<br />

L 61 370 180.1 77.9 61 549 360.4 142.5 61 850 521.9 290.7<br />

VL 77 1103 738.6 221.4 695 1202 1010.6 125.4 77 1579 1288.4 474.4<br />

66 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Tabl. 4. Number of flits generated in the network by the priority<br />

algorithm<br />

Tab. 4. Liczba flitów wygenerowanych w sieci przez algorytm<br />

priorytetowy<br />

Scenario Probability Number flits<br />

Average<br />

number of<br />

flits per core<br />

According<br />

to max. flit<br />

number<br />

P 0 0.000 642 40.1 20%<br />

P 1 0.009 2148 134.3 67%<br />

P 2 1.000 3192 199.5 100%<br />

The results of the algorithm test with the traffic generated<br />

randomly are provided in Tabl. 5. The outcome is different<br />

from the one obtained with the priority algorithms. The delays<br />

of all the classes increase, whereas in the previous experiment<br />

the highest class delay was at a constant level. In contrast<br />

to the previous test, there is no such large difference<br />

between class delays. The analysis of the results in the three<br />

testing points leads to the conclusion that the delay of the lowest<br />

priority traffic class decreases in every scenario in each<br />

route, whereas the delay of the L priority (the second lowest)<br />

decreases only in route A. This route runs through the boundary<br />

elements of the network, where the link utilization is lower<br />

in comparison with the central elements due to the selected<br />

routing algorithm. The delays of the remaining traffic classes<br />

have increased.<br />

The parameter which deteriorated in the majority of cases<br />

after applying the algorithm with dynamic priority is the standard<br />

deviation of the transmission delay. The improvement of<br />

the standard deviation has been observed in only few cases<br />

for the two lowest traffic classes (V and VL).<br />

The transmission of traffic class packages L and VL is performed<br />

with lower delay in comparison with the constant priority<br />

approach - the packages leave the buffers in shorter<br />

time. The ∆ parameter influences the transmission delay in<br />

the following way. An increase of this parameter value is proportional<br />

to the delay of L and VL and inversely proportional to<br />

the delays in the VH and H traffic classes. The higher difference<br />

between initial classes priority results in the effect similar<br />

to the increase of the ∆ parameter.<br />

When the difference between the results obtained with the<br />

proposed technique and the priority scheduling increases, the<br />

transmission parameters resemble their counterparts in the<br />

cyclic transmission, in which delays of all traffic classes are<br />

the same. The delay increases rapidly when the link utilization<br />

is higher than 20 per cent. This value is similar to the one<br />

when the cyclic algorithm from QNoC network violates QoS<br />

constraints [8].<br />

Tabl. 5. Comparison of minimum (min), maximum (max), average (t) delays and their standard deviation (σ t ) of the dynamic algorithm<br />

Tab. 5. Porównanie minimalnego (min), maksymalnego (max) i średniego (t) opóźnienia oraz odchylenia standardowego (σ t ) algorytmu dynamicznego<br />

Route A<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 46 152 84.1 29.7 52 182 98.4 38.1 47 266 135.1 82.5<br />

H 46 328 163.7 82.1 46 377 219.3 102.5 248 630 380.8 142.2<br />

L 62 539 335.4 157.9 62 919 601.7 366.7 96 750 338.4 150.1<br />

VL 78 757 528.2 196.7 356 882 691.5 172.5 526 1101 905.8 238.1<br />

Route B<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 58 164 94.9 30.2 62 460 216.9 125.9 66 247 147.4 70.1<br />

H 56 340 174.6 82.8 56 577 330.7 187.1 56 546 247.1 166.1<br />

L 72 551 346.5 158.7 72 657 434 185.2 116 794 579 207.7<br />

VL 88 769 539.6 197.5 88 1149 824.9 280.8 346 1112 772.1 225.9<br />

Route C<br />

P 0 P 1 P 2<br />

min max t σ t min max t σ t min max t σ t<br />

VH 46 152 83.6 30.1 48 212 106.1 42.5 54 264 155.3 69.6<br />

H 45 328 163.4 82.5 45 532 253.9 168.1 45 778 457.4 291.4<br />

L 61 539 335.1 158.1 61 747 385.1 219.9 100 763 535.1 268.9<br />

VL 77 757 528.1 197.1 200 1109 677.6 346.8 220 1203 880.5 352.3<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 67


Conclusion<br />

In the paper, a new arbiter algorithm dedicated for Network<br />

on Chips has been presented. The proposed algorithm offers<br />

the possibility of adapting the scheduling influencing the order<br />

of package transmission. Due to this alteration, it is possible<br />

to change the obtained delays of various traffic classes, to<br />

some extent. Thanks to the utilization of the intervals previously<br />

assigned to the higher priority- class traffic by other<br />

classes, the transfer delays of them decrease and live-locks<br />

are avoided in the result. Under the proper selection of the ∆<br />

parameter, the change of the delays allows us to satisfy transmission<br />

constraints of all traffic classes. Thus applying of this<br />

algorithm results in better utilization of the available network<br />

resources, according to the transfers parameters. The delays<br />

in the flow of the packages influence the transfer obtained for<br />

the given transmission. It depends on these delays, a cycle<br />

of the used system clock, and the width of the data bus. Applying<br />

the algorithm with dynamic priority allows us to adjust<br />

the available bandwidth for the transfers belonging to various<br />

traffic classes.<br />

One of the drawbacks of the algorithm is the necessity to<br />

choose the proper ∆ value for the given problem. It is rather<br />

difficult to establish this value statistically, as it would not be<br />

well scalable. It is recommended to equip the algorithm with<br />

the mechanism that could perform automatic adaptation of this<br />

parameter. Some additional wires can be used here for transmitting<br />

the information about the need of increasing or decreasing<br />

the bandwidth allocated for the particular traffic class<br />

using some rules. A similar mechanism could be also implemented<br />

locally, what would result in lower resource utilization.<br />

The research work presented in this paper was sponsored<br />

by Polish Ministry of Science an Higher Education (years<br />

2007-2010).<br />

Bibliography<br />

[1] Bjerregaard T., Mahadevan S.: A Survey of Research and Practices<br />

of Network-on-Chip. ACM Computing Surveys (CSUR), vol.<br />

38, Article 1, 2006.<br />

[2] Bjerregaard T., Sparso J.: Virtual channel designs for guaranteeing<br />

bandwidth in asynchronous network-on-chip. Proceedings<br />

of Norchip Conference, 2004, pp. 269-272.<br />

[3] Bolotin E., Cidon I., Ginosar R., Kolodny A.: QNoC: QoS architecture<br />

and design process for network on chip. Journal of Systems<br />

Architecture, vol. 50, issue 2-3, 2004, pp. 105-128.<br />

[4] Dally W. J., Towles B.: Route Packets, Not Wires: On-Chip Interconnection<br />

Networks. Design Automation Conference proceedings.,<br />

2001, pp. 684-689.<br />

[5] Felicijan T., Furber S.B.: Quality of Service (QoS) for Asynchronous<br />

On-Chip Networks. Formal Methods for Globally<br />

Asynchronous Locally Synchronous Architecture (FMGALS<br />

2003), 2003.<br />

[6] Goossens K., Dielissen J., Meerbergen J. van, Poplavko P., Radulescu<br />

A., Rijpkema E., Waterlander E., Wielage P.: Guaranteeing<br />

The Quality Of Services In Networks On Chip. Networks<br />

on chip, pp. 66-82, Kluwer Academic Publishers, 2003.<br />

[7] Goossens K., Dielissen J., Radulescu A.: AEthereal Network on<br />

Chip:Concepts, Architectures, and Implementations. IEEE Design<br />

& Test of Computers, vol. 22, no. 5, 2005, pp. 414-421.<br />

[8] Guz Z., Walter I., Bolotin E., Cidon I., Ginosar R., Kolodny A.: Efficient<br />

Link Capacity and QoS Design forWormhole Network-on-<br />

Chip. The Design, Automation, and Test in Europe (DATE’06),<br />

2006, pp. 9-14.<br />

[9] Moraes F., Calazans N., Mello A., Moller L., Ost L.: HERMES:<br />

an infrastructure for low area overhead packet-switching networks<br />

on chip. Integration, the VLSI Journal, vol. 38, no 1, 2004,<br />

pp. 69-93.<br />

[10] Murali S., Benini L., Micheli G. de: Mapping and physical planning<br />

of networks-on-chip architectures with quality-of-service<br />

guarantees. Proceedings of the 2005 conference on Asia South<br />

Pacific design automation, 2005, pp. 27-32.<br />

[11] Rijpkema E., Goossens K., Radulescu A., Dielissen J., Meerbergen<br />

J. van, Wielage P., Waterlander E.: Trade Offs in the Design<br />

of a Router with Both Guaranteed and Best-Effort Services<br />

for Networks on Chip. DATE ’03: Proceedings of the conference<br />

on Design, Automation and Test in Europe, 2003, pp. 294-302.<br />

Dalszy ciąg streszczeń artykułów z 5 str.<br />

ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Modele i makromodele tranzystorów<br />

MOS mocy dla programu SPICE<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), nr 6/<strong>2009</strong>, s. 96<br />

Praca dotyczy problematyki modelowania tranzystorów MOS mocy.<br />

Przedstawiono i omówiono wybrane modele i makromodele rozważanego<br />

elementu, sformułowane dla programu SPICE. Na<br />

przykładzie arbitralnie wybranego tranzystora MOS mocy dokonano<br />

oceny dokładności rozważanych w pracy modeli i makromodeli.<br />

Słowa kluczowe: modelowanie, tranzystory MOS, SPICE<br />

ZARĘBSKI J., BISEWSKI D.: Models and macromodels of power<br />

MOS transistors for SPICE<br />

<strong>Elektronika</strong> (L), no 6/<strong>2009</strong>, p. 96<br />

The paper deals with a problem of modelling of power MOS transistors.<br />

Construction of models and macromodels of considered transistors<br />

formulated for SPICE have been presented and discussed.<br />

Estimation of accuracy of the models and macromodels of arbitrarily<br />

chosen power MOS transistors has been performed.<br />

Keywords: modelling, MOS transistors, SPICE<br />

68 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Szkło dla fotoniki. Część 9.<br />

Rodzaje szkieł laserowych<br />

dr hab. inż. RYSZARD ROMANIUK prof. PW<br />

Politechnika Warszawska, <strong>Instytut</strong> Systemów <strong>Elektronicznych</strong><br />

Szkła laserowe pozwalają na konstrukcję laserów promieniujących<br />

w zakresie ok. 0,5...2,8 µm. Są to lasery wykonywane<br />

ze szkła objętościowego i coraz częściej lasery<br />

światłowodowe - włóknowe i planarne. Krótkofalowy zakres<br />

promieniowania obejmujący także obszar widzialny jest interesujący<br />

do budowy systemów zapisu informacji i masowych<br />

pamięci optycznych o zwiększonej gęstości wobec zapisu promieniowaniem<br />

czerwonym. Długofalowy zakres promieniowania<br />

jest interesujący w aplikacjach do wzmacnianej<br />

optycznie, światłowodowej transmisji informacji na znaczne<br />

odległości oraz w układach zintegrowanej optyki planarnej.<br />

W wielu z tych aplikacji czołową rolę odgrywa laser szkło-Nd,<br />

także ze względu na to, że może promieniować dość wydajnie<br />

w paśmie 1,3 µm, oprócz podstawowego 1,06 µm. Drugim<br />

pod względem szerokości aplikacji jest laser szkło-Er, ze<br />

względu na wydajne promieniowanie w pasmach 1,54 µm<br />

(zastosowania telekomunikacyjne) oraz 2,75 µm (zastosowania<br />

biomedyczne).<br />

Jony domieszki aktywującej i uczulającej<br />

w szkłach laserowych<br />

Jony aktywatora są równomiernie rozłożone w szkle laserowym<br />

w laserach szklanych objętościowych. Szkło stanowi<br />

przezroczystą osnowę, w której jony aktywatora (trójwartościowe<br />

lantanowce) mogą być pompowane optycznie długością<br />

fali efektywnie absorbowaną przez domieszkę. Absorpcja<br />

energii pompy prowadzi do inwersji obsadzeń w jonie aktywatora<br />

zawieszonym w osnowie szklanej. Transformacja energii<br />

pompy w energię promieniowania (emisja fotonu) i energię niepromienistą<br />

(rozpraszanie wielofononowe) odbywa się poprzez<br />

międzypasmowe elektronowe przejścia energetyczne<br />

nazywane relaksacją. W proces transformacji energii włączone<br />

muszą być co najmniej dwa poziomy energetyczne atomu domieszki,<br />

a znacznie częściej uczestniczą w tym trzy lub cztery<br />

poziomy, co zwiększa efektywność procesu. Rekombinacja<br />

promienista z poziomu wyższego na niższy może być spontaniczna<br />

lub stymulowana. W czasie rekombinacji stymulowanej<br />

fazy fali stymulującej i generowanej są jednakowe.<br />

Szkło z rozproszonymi jonami aktywatora działa jako<br />

wzmacniacz optyczny dla fali stymulującej (w odróżnieniu od<br />

fali pompującej). Szerokość pasma fali promieniowanej jest<br />

skończona o rozkładzie Gaussa. Wynika to z braku<br />

uporządkowania struktury szkła w wyniku czego charakter<br />

rozszerzenia jest niejednorodny (w odróżnieniu od jonów aktywatora<br />

rozproszonych w krysztale). Zmienna jest lokalna<br />

gęstość szkła, koncentracja domieszki, rozszczepienie poziomów<br />

energetycznych domieszki, itp. Niejednorodne rozszerzenie<br />

poziomów energetycznych domieszki aktywnej<br />

w szkle jest podobnego rzędu, co rozszerzenie jednorodne<br />

(wynikłe z oddziaływania uśrednionego) poziomów Starka<br />

i wynosi ok. 100 cm -1 .<br />

W trzypoziomowym systemie pompowania i rekombinacji<br />

(relaksacji), akcja laserowa zachodzi pomiędzy poziomem pośrednim,<br />

niższym od (pompowanego) poziomu inwersji,<br />

a podstawowym. Czas życia poziomu pośredniego musi być<br />

znaczny w porównaniu z czasem relaksacji pomiędzy poziomami<br />

pompowanym i pośrednim. Bardziej korzystnym sposobem<br />

prowadzenia akcji laserowej jest wykorzystanie<br />

czterech poziomów, gdzie przejście promieniste zachodzi<br />

między dwoma poziomami pośrednimi, wyższym powolnym<br />

do którego nośniki szybko relaksują z poziomu pompowanego<br />

i niższym - nieobsadzonym z którego nośniki relaksują szybko<br />

do poziomu podstawowego. Lasery czteropoziomowe mają<br />

niższy próg generacji niż trzypoziomowe.<br />

Wzmocnienie lasera wyraża się zależnością:<br />

G = R 1 R 2 exp[2(g - α)L], gdzie: R 1 i R 2 są współczynnikami<br />

odbicia obu zwierciadeł rezonatora, L - długość szkła aktywnego<br />

we wnęce rezonansowej, α [dB/cm] - współczynnik absorpcji<br />

szkła laserowego, g [dB/cm] - współczynnik<br />

wzmocnienia szkła laserowego. Dla G = 1 występuje ciągła<br />

akcja laserowa. Charakterystyka przejściowa mocy lasera wyraża<br />

się zależnością: P wy = ∆(P we - P p ), gdzie: P wy - optyczna<br />

moc wyjściowa lasera , P we - moc pompy, P p - moc progowa<br />

akcji laserowej, równoważąca straty, ∆ - nachylenie charakterystyki<br />

mocy lasera P wy = f(P we ).<br />

Do zapisu stanu energetycznego elektronu używa się kilku<br />

symbolik np. notacji Russela-Soundersa o postaci: 2s+1 S l+s ,<br />

gdzie: l - azymutalna liczba kwantowa, m - magnetyczna<br />

liczba kwantowa, s - spinowa liczba kwantowa. Równie często<br />

używana jest jednopostaciowa symboliczna notacja klasyczna<br />

zapisu poziomu energetycznego w atomie o postaci: n k l j ,<br />

gdzie n - główna liczba kwantowa n = 1,2,3..., k - krotność poziomu<br />

energetycznego, l -orbitalna (azymutalna) liczba kwantowa<br />

l = 0,1,2,..., j - wewnętrzna liczba kwantowa j=l± s, s -<br />

spinowa liczba kwantowa. W jonie aktywnym zawieszonym<br />

w szkle przejście optyczne zachodzi pomiędzy stanami w wewnętrznych<br />

niezapełnionych powłokach elektronowych.<br />

W trójwartościowych jonach lantanowców występuje wiele poziomów<br />

fluorescencyjnych na poziomie 4f. Jony ziem rzadkich<br />

mają wypełnioną wewnętrzną powłokę podobnie do<br />

palladu o konfiguracji 4f n 5s 2 p 6 . Powłoki 5s i 5p ekranują<br />

powłokę głębszą 4f i przez to zmniejszają jej wrażliwość na<br />

wpływ otaczających innych jonów. W jonie wieloelektronowym<br />

złożony układ poziomów energetycznych jest superpozycją<br />

oddziaływań kulombowskich i spinowo-orbitalnych między<br />

elektronami. Znaczna liczba istniejących stanów wzbudzonych<br />

w jonie faworyzuje znalezienie odpowiedniej kombinacji<br />

poziomów o znacznej wydajności kwantowej (duże wartości<br />

czasu życia fluorescencji oraz przekroju poprzecznego na<br />

emisję stymulowaną) do wykorzystania w akcji laserowej.<br />

W tabeli 1. zebrano najczęściej stosowane jony domieszki<br />

aktywacyjnej w szkłach laserowych, łącznie z długościami<br />

promieniowanej fali. Jony pochodzą z grupy lantanowców<br />

obejmującej: lantan, cer, prazeodym, neodym, promet, samar,<br />

europ, gadolin, terb, dysproz, holm, erb, tul, iterb, lutet, hafn,<br />

tantal, lub z grupy metali przejściowych (o niewypełnionej podpowłoce<br />

d: np. cer, ren, osm, chrom, skand, mangan, itp. Czasami<br />

łącznie z jonem aktywatorem stosuje się jon<br />

pośredniczący w procesie pompowania optycznego, nazy-<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 69


wany jonem uczulającym. Jon uczulający w szkle bierze<br />

udział w absorpcji mocy optycznej z pompy i dodatkowo przekazuje<br />

akumulowaną energię jonowi laserującemu, zwiększając<br />

całkowitą sprawność procesu pompowania.<br />

Tab. 1. Jony aktywatory i jony uczulające w szkłach laserowych<br />

Tabl. 1. Activating and sensitizing ions in laser glasses<br />

Jon aktywator<br />

Przybliżona długość promieniowanej<br />

fali λ[µm]<br />

Jon uczulający<br />

Neodym: Nd 3+ 0,88; 1,06; 1,35; 1,80 Cr 3+ , Mn 2+ , Ce 3+<br />

Erb: Er 3+ 1,30; 1,54; 1,72; 2,75 Cr 3+ , Yb 3+<br />

Iterb: Yb 3+ 1,03 Nd 3+<br />

Samar: Sm 3+ 0,65<br />

Holm: Ho 3+ 0,55; 1,38; 2,05<br />

Tul: Tm 3+ 0,80; 1,47; 1,95; 2,25 Er 3+ , Yb 3+<br />

Terb: Tb 3+ 0,54<br />

Prazeodym: Pr 3+ 0,89; 1,04; 1,34<br />

Promet: Pm 3+ 0,93; 1,1<br />

Dysproz: Dy 3+ 1,3; 1,7<br />

Szkło laserowe może występować w postaci objętościowej,<br />

np. prętów oraz w postaci światłowodów. Pręty laserowe szkło:<br />

Nd dużej mocy mają nawet 20 cm średnicy i 3 m długości.<br />

Światłowody aktywne laserujące i wzmacniające posiadają<br />

standardowe wymiary włókien optycznych telekomunikacyjnych.<br />

Szkło laserowe objętościowe produkuje się poprzez dodanie<br />

np. odpowiedniego tlenku aktywatora do składu szkła.<br />

Światłowody aktywne ze szkieł tlenkowych produkuje się, np.<br />

metodą MCVD poprzez zastosowanie w formie gazowej jonu<br />

aktywatora w trakcie nakładania rdzeniowych warstw szkła<br />

światłowodowego. Światłowody aktywne ze szkieł nietlenkowych<br />

produkuje się metodą tyglową lub pręt-rura.<br />

Szkło osnowy ma pewien wpływ na stan poziomów energetycznych<br />

jonów aktywatorów. Rezultatem są takie zmienne<br />

parametry jak długość emitowanej fali, czas życia fluorescencji,<br />

przekrój poprzeczny emisji stymulowanej, sprawność<br />

kwantowa procesu laserowania. Zmiany tych parametrów są<br />

na ogół niewielkie jednak pokazują wyraźny wpływ osnowy<br />

na rozszczepienie i przesunięcie poziomów energetycznych<br />

jonów aktywatorów.<br />

Do zastosowań w telekomunikacji światłowodowej wykorzystywane<br />

są cztery jony aktywatorów: erb (pasmo 1,55 µm)<br />

oraz neodym, prazeodym i dysproz (pasmo 1,3 µm). W jonach<br />

tych głównymi mechanizmami nieradiacyjnego rozpraszania<br />

energii są: bezpośrednie przejścia na sąsiedni poziom niższy<br />

o pochodzeniu wielofononowym, absorpcja stanu wzbudzonego<br />

ESA (Excited State Absorption) oraz wzmocniona emisja<br />

spontaniczna ASE (Amplified Spontaneous Emission).<br />

Szkło laserowe domieszkowane Nd 3+<br />

Jon neodymu Nd 3+ ma bardzo korzystny rozkład poziomów<br />

energetycznych z punktu widzenia laserowania, dlatego jest<br />

pierwszą i najczęstszą domieszką szkła laserowego. W jonie<br />

neodymu do pompowania za pomocą źródła generującego<br />

w paśmie 800 nm wykorzystywane są poziomy energetyczne<br />

2 H 9/2 lub 4 F 5/2 . Górny poziom laserowy jest 4 F 3/2 o czasie<br />

życia 300...600 µm. Poziomem dolnym podstawowym jest<br />

4 I 9/2 . Relaksacja laserowa zachodzi z górnego poziomu laserowego<br />

na cztery dolne o następujących symbolach i długościach<br />

fali: 4 I 15/2 λ=1,80 µm, 4 I 13/2 λ=1,35 µm, 4 I 11/2<br />

λ=1,06 µm, 4 I 9/2 λ=0,88 µm. Laserowanie (wolna relaksacja<br />

Tab. 2. Szkła laserowe domieszkowane Nd 3+<br />

Tabl. 2. Laser glasses doped with Nd 3+ ions<br />

Rodzaj szkła<br />

Długość fali fluorescencji<br />

λ[µm]<br />

Czas życia fluorescencji<br />

τ [µs]<br />

Przekrój poprzeczny na<br />

emisję stymulowaną<br />

σ[10 -20 cm 2 ]<br />

Nieliniowy współczynnik<br />

załamania szkła<br />

n 2 [10 -13 esu]<br />

Maksymalna energia<br />

fali fononowej<br />

ħω [cm -1 ]<br />

BeF 2 1,048 450 - 900 1,5 - 4,0 0,3 400<br />

ZrF 4 1,049 450 3,0 1,2 500<br />

ZBLAN 1,049 400 - 450 2,5 - 3,5 1,2 - 1,5 500<br />

AlF 3 1,050 400 - 600 2,0 - 3,0 0,5 400<br />

PF 5 1,052 350 - 500 1,5 - 4,0 0,5 - 0,7 400<br />

PCl 5 1,055 300 5,0 - 5,5 1,5 300<br />

B 2 O 3 1,055 50 - 400 1,0 - 2,0 0,9 1400<br />

B 2 O 3 +SiO 2 1,058 200 - 800 0,8 - 3,0 1,2 1200<br />

SiO 2 1,060 300 - 1000 1,0 - 3,5 1,4 - 1,6 1100<br />

P 2 O 5 1,060 100 - 500 1,8 - 4,8 0,9 - 1,2 1200<br />

Fluoro-borokrzemionka<br />

1,060 300 1,0 - 1,7 0,8 - 1,1 1000<br />

Tellurkowe 1,060 150 - 250 3,0 - 5,5 10 - 30 700<br />

Chlorkowe 1,063 180 - 250 6,0 - 7,0 7 - 20 300<br />

Siarczkowe 1,076 50 - 120 7,0 - 8,5 7 - 20 350<br />

Al 2 O 3 1,078 50 - 300 1,0 - 2,0 1,0 1400<br />

70 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


promienista) zachodzi z różnymi efektywnościami kwantowymi,<br />

a następnie układ relaksuje szybko i bezpromieniście<br />

do poziomu dolnego. Przejścia są czteropoziomowe<br />

z wyjątkiem najkrótszej fali 0,88 µm, gdzie przejście jest trzypoziomowe<br />

z górnego poziomu laserowego bezpośrednio na<br />

poziom dolny. Najbardziej wydajne jest przejście czteropoziomowe<br />

λ=1,06 µm, gdzie podział pomiędzy procesy promieniste<br />

i konkurencyjne niepromieniste jest około 0,45...0,48.<br />

Bardzo interesujące jest z punktu widzenia zastosowań w<br />

telekomunikacji światłowodowej przejście promieniste w jonie<br />

Nd dla długości fali 1,3 µm. Przekrój poprzeczny na emisję<br />

stymulowaną dla 1,3 µm jest ok. czterokrotnie mniejszy w Nd<br />

niż dla fali 1,06 µm. Zjawisko ASE (emisji spontanicznej) dla<br />

fali 1,06 µm staje się konkurencyjne dla procesów 1,3 µm<br />

i powoduje szybkie nasycenie wzmocnienia dla tej długości<br />

fali. Rozwiązaniem jest filtracja promieniowania ASE w okolicach<br />

długości fali 1,06 µm.<br />

Jonem Nd 3+ domieszkuje się praktycznie wszystkie rodzaje<br />

szkieł optycznych nadających się na szkła laserowe.<br />

W tab. 2. zebrano parametry takich szkieł. Jonem Nd 3+ domieszkuje<br />

się także kryształy laserowe jak np. Nd:YAG.<br />

W tab. 3. zebrano porównanie zakresów parametrów uzyskiwanych<br />

w obu grupach materiałów. Kryształy mają duże wartości<br />

przekrojów poprzecznych, oraz bardzo dobre<br />

właściwości mechaniczne i termiczne. Wadą kryształów jest<br />

ograniczenie ich wymiarów i kształtów oraz znaczna cena.<br />

Tych ostatnich wad kryształów pozbawione są szkła laserowe.<br />

Tab. 3. Porównanie szkieł laserowych domieszkowanych Nd<br />

z kryształami laserowymi domieszkowanymi Nd<br />

Tabl. 3. Comparison of Nd doped oxide laser glasses and Nd doped<br />

laser crystals<br />

Parametr Szkło:Nd Kryształ:Nd<br />

Przekrój poprzeczny na emisję<br />

stymulowaną [10 -20 cm 2 ]<br />

Koncentracja neodymu<br />

[%wag.Nd 2 0 3 ] / [10 20 jonów/cm 3 ]<br />

1 - 5 30 - 80<br />

0,5 - 10/2,5 - 8 0,7-1/1,4-2<br />

Czas życia fluorescencji [µs] 200 - 500 200 - 550<br />

Szerokość charakterystyki fluorescencji,<br />

fwhm [nm]<br />

Długość fali maksymalnej fluorescencji<br />

[nm]<br />

Nieliniowy współczynnik załamania<br />

n 2 [10 -13 esu]<br />

20 - 55 0,2<br />

1050 - 1070 1053 - 1064<br />

0,5 - 1,6 1 - 5<br />

Liczba Abbego 55 - 90 -<br />

Termiczna dyspersja refrakcji<br />

[10 -6 /°C]<br />

Dyspersja termiczna drogi<br />

optycznej [10 -6 K -1 ]<br />

0,5 - 7,0 -<br />

-1 - 0 - +10 10 - 20<br />

Przewodność termiczna [W/m·K] 0,6 - 1,5 5 - 15<br />

Współczynnik rozszerzalności<br />

liniowej [10 -7 /°C]<br />

70 - 150 -<br />

Odporność na złamanie<br />

[MN/m 3/2 ]<br />

0,5 - 1,0 -<br />

Odporność na szok termiczny<br />

[kJ/hm 1/2 ]<br />

2,0 - 4,0 -<br />

Kryształy: Nd - YAG, YLF, YAO, YAP, GSAO, GSGG;<br />

Szkło: Nd - tlenkowe komercyjne<br />

Szkła neodymowe są wykorzystywane do budowy laserów<br />

o największej energii i wielkiej mocy. Są stosowane<br />

w wielolaserowych systemach inercyjnej fuzji laserowej, jako<br />

pompy energii dla źródeł promieniowania X do mikrolitografii.<br />

Są jednymi z najczęściej stosowanych laserów w technice.<br />

Szkło laserowe domieszkowane Er 3+<br />

W odróżnieniu od jonu Nd 3+ , jon Er 3+ pracuje w układzie trzypoziomowym<br />

(dla pompowania krótszymi falami) i w układzie<br />

dwupoziomowym przy pompowaniu najdłuższą falą. Jon<br />

można pompować bezpośrednio do metastabilnego górnego<br />

poziomu laserowego 4 I 13/2 λ=1,48...1,49 µm z poziomu dolnego<br />

4 I 15/2 (przejście dwupoziomowe o przerwie energetycznej<br />

ok. 6500 cm -1 ). Ta przerwa energetyczna jest relatywnie<br />

duża wobec energii fononu w borokrzemionce 1400 cm -1<br />

i krzemionce 1100 cm -1 . Przy przejściu między poziomami<br />

4 I 13/2 - 4 I 15/2 laser Er:szkło promieniuje falę o długości ok.<br />

1,55 µm. Różnica pomiędzy długościami fali absorpcji (pompowanie)<br />

i emisji (przesunięcie emisji w kierunku większych<br />

długości fali) wynika z niejednorodnego obsadzenia poziomów<br />

Starka. Możliwe jest pompowanie do wyższych poziomów<br />

następującymi długościami fali: 4 I 11/2 λ=970...980 nm;<br />

4 I 9/2 λ=807 nm; 4 F 9/2 λ=660 nm; 2 H 11/2 λ=514,5 nm,<br />

(wszystkie przejścia trzypoziomowe). Dla pasma absorpcyjnego<br />

980 nm o znacznym przekroju poprzecznym nie występuje<br />

zjawisko absorpcji stanu wzbudzonego (ESA). Długość<br />

fali 980 nm (tanie lasery półprzewodnikowe dużej mocy) jest<br />

optymalną długością fali pompy optycznej dla szkła domieszkowanego<br />

erbem. Z poziomów pompowania układ relaksuje<br />

zawsze do górnego metastabilnego poziomu laserowania<br />

4 I 9/2 . Laserowanie zachodzi pomiędzy 4 I 13/2 (górny poziom laserowy)<br />

oraz 4 I 15/2 (dolny poziom laserowy, będący jednocześnie<br />

poziomem dolnym podstawowym). Laserowanie<br />

może także zachodzić do poziomu bliskiego energetycznie<br />

poziomowi 4 I 15/2 . W jonie Er 3+ zawsze zachodzi absorpcja<br />

bezpośrednia wprost ze stanu podstawowego do górnego<br />

stanu laserowego co stanowi konkurencję dla procesu emisji<br />

pomiędzy dokładnie tymi samymi stanami. Z tego powodu lasery<br />

Er 3+ :szkło mają wyższe moce progowe (większe straty)<br />

niż lasery Nd 3+ :szkło.<br />

Szkło domieszkowane Er 3+ jest często ko-domieszkowane<br />

jonami Yb, tworząc układ Er 3+ :Yb 3+ szkło. Jony iterbu<br />

spełniają w tym układzie rolę uczulacza w stosunku do laserujących<br />

jonów erbu. Do szkła krzemionkowego domieszkowanego<br />

Er 3+ dodaje się Al 2 O 3 który zapobiega zjawisku<br />

klastrowania jonów Er. Czyste szkło SiO 2 ma bardzo<br />

sztywną quasi-sieć amorficzną i akceptuje jedynie niewielką<br />

domieszkę jonów ziem rzadkich. W szkle jest brak odpowiedniej<br />

ilości atomów tlenu nie wypełniających klasycznych<br />

funkcji mostka tlenowego w celu skoordynowania izolowanych<br />

atomów domieszki. W tej sytuacji atomy domieszki ulegają<br />

grupowaniu dzieląc się niemostkowym atomem tlenu.<br />

Tlenek aluminium tworzy w krzemionce rodzaj rozpuszczalnika<br />

zgrupowanego wokół atomu domieszki Er 3+ . Z udziałem<br />

Al 2 O 3 domieszka Er 3+ w szkle krzemionkowym może<br />

osiągnąć poziom 1 [10 20 cm 3 ].<br />

Lasery Er 3+ :szkło są stosowane w tzw. systemach bezpiecznych<br />

dla oka (np. dalmierzach) pracujących w paśmie<br />

1,54 µm. Lasery Er 3+ :szkło dużej mocy promieniujące falę<br />

o długości 2,75 µm są stosowane w skalpelach biomedycznych<br />

ze względu na silne pasmo absorpcji wody w tkankach<br />

biologicznych. Wzmacniacze światłowodowe EDFA (Erbium<br />

Doped Fiber Amplifier) są stosowane w telekomunikacji. Najkorzystniejsze<br />

warunki pracy wzmacniacza EDFA (ze względu<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 71


na trójpoziomowy układ pracy) to mała moc pompy optycznej,<br />

mała średnica rdzenia światłowodu, niski poziom domieszkowania,<br />

długa droga oddziaływania w światłowodzie.<br />

Szkło laserowe domieszkowane Pr 3+<br />

Jony Pr stosuje się ze względu na liczne pasma rekombinacji<br />

promienistej rozciągające się w zakresie 0,9...1,3 µm. W jonie<br />

prazeodymu Pr 3+ do generacji fali 1,3 µm wykorzystuje się<br />

przejście energetyczne 1 G 4 - 3 H 5 w układzie czteropoziomowym.<br />

Współczynnik podziału dla tego przejścia ma wysoką<br />

wartość 0,56. Inwersja populacji poziomu 1 G 4 otrzymywana<br />

jest przez bezpośrednie pompowanie z poziomu 3 H 4 pasma<br />

absorpcyjnego dla długości fali 1010 nm. Z poziomu 1 G 4 występuje<br />

absorpcja stanu wzbudzonego (ESA) do poziomu 1 D 2<br />

obniżająca wzmocnienie. Maksimum wzmocnienia występuje<br />

dla 1,3 µm. Najpoważniejszym problemem wzmacniaczy<br />

PDFA (Praseodymium Doped Fiber Amplifiers) jest nieradiacyjna<br />

relaksacja z poziomu laserowego 1 G 4 na bezpośredni<br />

poziom niższy 3 F 4 , przy różnicy energii pomiędzy tymi poziomami<br />

ok. 3000 cm -1 . Stąd wniosek że dla domieszki prazeodymowej<br />

najbardziej korzystne jest szkło o niskiej energii fali<br />

fononowej np. ZBLAN (500 cm -1 ). W szkle krzemionkowym<br />

(1100 cm -1 ) tylko trzy fonony wystarczą do pokonania przerwy<br />

energetycznej relaksacji niepromienistej. Stąd w szkle<br />

krzemionkowym, wskutek fononowego gaszenia fluorescencji,<br />

emisja z poziomu 1 G 4 nie jest obserwowana.<br />

Innym nieradiacyjnym procesem relaksacyjnym obniżającym<br />

fluorescencję z poziomu 1 G 4 jest gaszenie spowodowane<br />

koncentracją jonów Pr (wzajemny wpływ jonów<br />

sąsiednich na siebie) poprzez zjawiska kross-relaksacji pomiędzy<br />

poziomami ( 1 G 4 - 3 H 5 )-( 3 H 4 - 3 F 4 ) oraz ( 1 G 4 - 3 H 6 )-<br />

( 3 H 4 - 3 F 2 ). We fluorkowych włóknach światłowodowych<br />

koncentracja prazeodymu nie przekracza wartości 1000 ppm<br />

i wówczas zjawisko kross-relaksacji jest pomijalne. Parametry<br />

komercyjnego wzmacniacza PDFA na jednomodowym<br />

włóknie fluorkowym są: średnica rdzenia ok. 3,5 µm, wzmocnienie<br />

30 dB/20 m, długość fali promieniowanej 1,31 µm,<br />

długość fali pompy optycznej ok. 1,11 µm.<br />

Szkło domieszkowane Pr jest często ko-domieszkowane<br />

jonami Yb tworząc układ Pr 3+ :Yb 3+ :szkło. Zadaniem jonów<br />

Yb jest poprawa absorpcji dla poziomu 1 G 4 jonu Pr. Osnowa<br />

fluorocyrkonowa redukuje relaksację nieradiacyjną Pr z poziomu<br />

1 G 4 , jednak czas życia fluorescencji jest niewielki,<br />

nieco większy niż 100 µs. Efektywność kwantowa fluorescencji<br />

wynosi ok. 3%. Dla podwyższenia sprawności układu<br />

konieczne jest zastosowanie osnowy o jeszcze mniejszej<br />

energii fali akustycznej niż w szkłach bazujących na ZrF 4 .<br />

Takimi szkłami są InF 3 , PbF 2 i AlF 3 . Czas życia fluorescencji<br />

w tych szkłach jest bliski 200 µs, a jednoprzejściowy<br />

współczynnik wzmocnienia jest w zakresie 0,3...0,7 dB/mW.<br />

Dalsze obniżanie energii fali fononowej wymaga zastosowania<br />

mieszanych szkieł halogenkowo-chalkogenkowych,<br />

gdzie czas życia fluorescencji wynosi do ok. 400 µs. Sprawność<br />

kwantowa wzrasta w tych warunkach do 60%,<br />

a współczynnik wzmocnienia do ok. 1 dB/mW. Maksimum<br />

emisji dla jonu Pr w szkłach chalkogenkowych (np.<br />

Pr:Ga 2 S 3 -Na 2 S) jest przesunięte w kierunku dłuższych fal<br />

1,31...1,34 µm.<br />

Szkło laserowe domieszkowane Dy 3+<br />

W jonie dysprozu Dy 3+ do generacji fali 1,3 µm wykorzystuje<br />

się przejście energetyczne z dubletu poziomów na poziom<br />

podstawowy 6 F 11/2 ( 6 H 9/2 ) - 6 H 15/2 . Pasma absorpcyjne dla<br />

poziomów 6 H 9/2 , 6 H 5/2 , 6 F 5/2 istnieją dla długości fal: 1,25,<br />

0,90, 0,80 µm wszystkie o znacznych przekrojach poprzecznych,<br />

tzn. o dużej sprawności pompowania poziomu laserowego.<br />

Przerwa energetyczna pomiędzy dubletem górnych<br />

poziomów laserujących oraz najbliższym poziomem niższym<br />

jest niewielka i wynosi ok. 1800...2000 cm -1 , czyli rzędu dwóch<br />

fononów w szkle krzemionkowym. Dlatego w szkle krzemionkowym<br />

emisja w tych poziomów nie zachodzi, natomiast jest<br />

dość efektywna w szkłach chalkogenkowych. Efektywny<br />

współczynnik podziału dla jonu Dy w szkle chalkogenkowych<br />

wynosi ok. 0,98 w porównaniu z 0,60 dla jonu Pr. Długość fali<br />

emisji jonu Dy 3+ w szkle chalkogenkowym (np. Ge-Ga-S) wynosi<br />

1,32 µm w porównaniu z 1,33...1,34 µm dla jonu Pr.<br />

Optymalną długością fali dla okna telekomunikacyjnego minimalnej<br />

naturalnej dyspersji falowodowej jest 1,31 µm.<br />

Szkło laserowe domieszkowane Yb 3+<br />

Jony iterbu, jednego z najbardziej wydajnych domieszek aktywnych<br />

w matrycach krzemionkowych, charakteryzuje prostota<br />

jego struktury poziomów energetycznych, w której<br />

widoczne są dwa poziomy: podstawowy 2 F 7/2 i metastabilny<br />

2 F 5/2 w odległości odpowiadającej λ=1,0 µm. Wszystkie inne<br />

poziomy leżą w zakresie promieniowania ultrafioletowego,<br />

zatem brak wyższych poziomów energetycznych wyraźnie<br />

zmniejsza prawdopodobieństwo relaksacji wielofononowej.<br />

Brak wyższych poziomów energetycznych pozwala na stosowanie<br />

wysokiej koncentracji jonów aktywatora do kilku tysięcy<br />

ppm. Widmowy zakres generacji jest szeroki ~970...1200 nm,<br />

podobnie jak szerokie jest pasmo absorpcji odpowiadające<br />

przejściu 2 F 7/2 → 2 F 5/2 , co odpowiada zakresowi ok.<br />

850...1070 nm. Czas życia na poziomie metastabilnym wynosi<br />

700...1400 µs.<br />

Włóknowy laser na iterbie pompowany do wyższych podpoziomów<br />

poziomu 2 F 5/2 zachowuje się jak typowy układ trójpoziomowy<br />

przy generacji promieniowania o długości fali<br />

< 990 nm i quasi-czteropoziomowy dla zakresu 1000 -<br />

1200 nm. W szkłach krzemionkowych iterb jest uznawany za<br />

jeden z najbardziej wydajnych aktywatorów.<br />

W przypadku jednoczesnego domieszkowania jonami<br />

neodymu i iterbu w wyniku sprzężenia następuje przekazanie<br />

energii wzbudzenia z jonu neodymu do iterbu, co jest wykorzystywane<br />

do zintensyfikowania pobudzania lasera<br />

włóknowego.<br />

W porównaniu z kryształami szkła dotowane Yb 3+ wykazują<br />

relatywnie długi czas fluorescencji oraz szerokie pasmo<br />

emisji i absorpcji, co czyni je atrakcyjnymi dla generacji<br />

i wzmocnień impulsów ultrakrótkich.<br />

Szkła laserowe domieszkowane<br />

Sm 3+ i Ho 3+<br />

Jony Sm i Ho stosuje się do wytwarzania laserów na szkle<br />

promieniujących w zakresie widzialnym 0,55...0,65 µm.<br />

Emisja laserowa występuje dla jonu Ho w obszarze bliskiej<br />

podczerwieni dla długości fali ok. 2 µm, co odpowiada przejściu<br />

5 I 7 → 5 I 8 . Jony holmu charakteryzuje bogactwo widma<br />

w aspekcie pobudzania, absorpcja jest możliwa dla 450,<br />

540 i 650 nm. Czas życia w stanie wzbudzonym na poziomie<br />

metastabilnym 5 I 7 wynosi 600 µs. Stosowany jako domieszka<br />

dla uzyskiwania emisji w podczerwieni dla 2, 3,<br />

3,2 µm, ale także w obszarze widzialnym przy zachodzącej<br />

konwersji wzbudzenia. Szkłami, które dają dobre wyniki<br />

w holmowych laserach światłowodowych, są fluorkowe<br />

i fluorocyrkonowe ZBLAN.<br />

72 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Szkło laserowe domieszkowane Tm 3+<br />

Jony Tm stosuje się ze względu na liczne pasma rekombinacji<br />

promienistej rozciągające się w pasmach 0,8...2,25 µm.<br />

Jon tulu należy do aktywatorów o quasi-czteropoziomowym<br />

układzie poziomów energetycznych. Jego pasma absorpcji<br />

i fluorescencji są szerokie w wyniku rozszczepienia stanów<br />

biorących udział w generacji, co jest skutkiem działania matrycy<br />

szklanej. Absorpcja ma miejsce dla długości fali 785 nm.<br />

Stosunkowo duża koncentracja domieszek (> 1%) pozwala<br />

na uzyskiwanie dużej sprawności kwantowej i w efekcie dużej<br />

mocy laserów włóknowych (kilkadziesiąt watów). Tul znalazł<br />

zastosowanie jako sensybilizator w układach z holmem.<br />

Rodzaje aktywnych szkieł laserowych<br />

Pierwszy laser na szkle skonstruowano w 1961 r. używając<br />

kron barowy domieszkowany Nd. Od tego czasu prowadzone<br />

są badania nad wieloma optymalnymi dla różnych zastosowań<br />

składami szkieł tlenkowych, nietlenkowych i mieszanych.<br />

Oprócz szkieł tlenkowych stosowane są szkła halogenkowe<br />

(fluorkowe, chlorkowe, bromkowe, jodkowe) i szkła tlenowcowe<br />

(siarczkowe, selenkowe, tellurkowe). W porównaniu ze<br />

szkłami tlenkowymi szkła nietlenkowe mają na ogół znaczną<br />

przezroczystość w zakresie IR oraz mniejszą energię fali fononowej.<br />

Także są mniej stabilne chemicznie i słabsze pod<br />

względem mechanicznym.<br />

Tlenkowe szkła laserowe<br />

Typowe tlenkowe szkła laserowe bazują na osnowie szkieł<br />

optycznych wysokiej jakości zawierających takie tlenki silnie<br />

szkłotwórcze jak: SiO 2 , B 2 O 3 , GeO 2 , P 2 O 5 , TeO 2 . Takie materiały<br />

nazywane są szkłami krzemionkowymi wieloskładnikowymi.<br />

Szkła krzemionkowe charakteryzują się najdłuższymi<br />

czasami fluorescencji do 1 ms. Jednak szkła o największych<br />

wartościach czasu fluorescencji mają na ogół małe wartości<br />

przekroju poprzecznego na emisję stymulowaną w okolicach<br />

1 [10 -20 cm 2 ]. Największe wartości przekroju poprzecznego<br />

wśród szkieł tlenkowych mają szkła fosforowe oraz tellurowe,<br />

rzędu 5 [10 -20 cm 2 ]. Szkła te mają mniejsze wartości<br />

czasu fluorescencji.<br />

Halogenkowe szkła laserowe<br />

Najsilniejsze właściwości szkłotwórcze mają następujące<br />

halogenki: BeF 2 , CdF 2 , AlF 3 , ZrF 4 , HfF 4 , BiCl 3 , ThCl 4 oraz<br />

BiBr 3 . Szkła fluoroberylowe mają najniższą wartość nieliniowego<br />

współczynnika załamania n 2 = 0,3<br />

[10 -13 esu]. Najszerzej używana na szkła laserowe dla zakresu<br />

IR jest rodzina fluorocyrkonianów ZBLAN domieszkowanych<br />

Er 3+ . Lasery takie emitują falę o długości<br />

1,54 µm. Szkła ZBLAN domieszkuje się także tulem Tm 3+ ,<br />

promieniowanie na długości fali 1,85 µm; holmem Ho 3+ , promieniowanie<br />

na długości fali 1,95 µm; prazeodymem i neodymem<br />

Pr 3+ i Nd 3+ , promieniowanie na długości fali<br />

w okolicy 1,30 µm. Szkła fluoroaluminiowe mają również<br />

małą wartość nieliniowego współczynnika załamania<br />

n 2 = 0,5 [10 -13 esu]. Przekrój poprzeczny tych szkieł wynosi<br />

ok. 3 [10 -20 cm 2 ]. Typowy skład szkieł fluoroaluminiowych<br />

jest: AlF 3 - CaF 3 - BaF 2 - NdF 3 . Domieszka neodymu<br />

w szkle jest w postaci NdF 3 i na ogół wynosi ok. 1%. Halogenkowe<br />

szkła chlorkowe mają największe wartości przekroju<br />

poprzecznego ok. 6,5 [10 -20 cm 2 ]. Jednocześnie szkła<br />

te mają dużą wartość nieliniowego współczynnika załamania<br />

rzędu 10 [10 -13 esu] i większy oraz słabe właściwości<br />

mechaniczne, chemiczne i termiczne. Relatywnie łatwo podlegają<br />

rekrystalizacji.<br />

Oxyhalogenkowe szkła laserowe<br />

Grupa szkieł o mieszanych anionach obejmuje szkła fluorofosforanowe<br />

i chlorofosforanowe. Szkło fluorofosforanowe<br />

jest wykorzystywane do budowy laserów komercyjnych. Mają<br />

przekrój poprzeczny rzędu 2,5 [10 -20 cm 2 ], bardzo małą wartość<br />

rozszerzalności termicznej i długi czas fluorescencji ok.<br />

0,5 µs, a także mała wartość nieliniowego współczynnika<br />

załamania światła n 2 = 0,5 [10 -13 esu]. Szkła chlorofosforanowe<br />

o składzie NaPO 3 -ZnCl mają znaczne wartości przekroju<br />

poprzecznego rzędu 5,5 [10 -20 cm 2 ]. Podstawowym<br />

problemem technologicznym podczas wytwarzania tych<br />

szkieł jest ich zanieczyszczenie jonami platyny oraz jonami<br />

hydroniowymi OH - . Jony te, wbudowywane w szkło podczas<br />

procesu technologicznego, nawet na poziomie ppb, tworzą<br />

silne pasma absorpcyjne i obniżają próg odporności szkła na<br />

zniszczenie optyczne. Ponadto jony OH - mają wysokoenergetyczne<br />

stany wibracyjne, nie tylko w szkle fosforowym, ale<br />

i w szkłach tlenkowych o energii rzędu 3600 cm -1 , a więc<br />

znacznie większej od energii fononów nawet w borokrzemionce,<br />

która wynosi 1400 cm -1 . Oznacza to silne uczestnictwo<br />

jonów OH - w procesach relaksacji nieradiacyjnej<br />

w szkłach.<br />

Chalkogenkowe szkła laserowe<br />

Najsilniejsze właściwości szkłotwórcze spośród związków tlenowców<br />

posiadają As 2 S 3 , As 2 Se 3 , La 2 S 3 . Szkła siarczkowe<br />

posiadają znaczne wartości przekroju poprzecznego rzędu<br />

8,5 [10 -20 cm 2 ]. Czasy życia fluorescencji nie przekraczają<br />

100 µs. Szkła są badane w kierunku wykorzystania do budowy<br />

laserów i wzmacniaczy optycznych w zakresie bliskiej<br />

podczerwieni dla telekomunikacji optycznej.<br />

Dewitryfikaty (szkło-ceramiki) laserowe<br />

Niektóre rodzaje szkło-ceramiki o bardzo drobnych krystalitach<br />

(o wymiarach poniżej 20 nm) są badane w kierunku budowy<br />

laserów. Najlepsze rezultaty uzyskano dla<br />

alumino-szkło-ceramiki mieszanej tlenkowo-fluorkowej<br />

o składzie: SiO 2 - LiAlO 2 - (Mg,Zn)Al 2 O 4 - AlPO 4 - La 2 O 3 -<br />

CdF 2 - PbF 2 - YF 3 - Nd 2 O 3 . Małe wymiary nanokrystalitów<br />

zapobiegają nadmiernemu rozproszeniu światła. Materiały te<br />

mają bliską zeru rozszerzalność termiczną. Przekrój poprzeczny<br />

wynosi ok. 2,5 [10 -20 cm 2 ] a czas życia fluorescencji ok.<br />

200 µs. Domieszkowanie neodymem jest na poziomie pojedynczych<br />

procent wagowych Nd 2 O 3 . Oprócz neodymu szkłoceramiki<br />

domieszkowane są Er 3+ , Eu 3+ , Yb 3+ , Tm 3+ .<br />

Sprawność kwantowa szkło-ceramik jest wysoka z powodu<br />

wbudowywania się niektórych jonów domieszki aktywnej (np.<br />

Pr) w nanokrystality fluorkowe o wymiarach poniżej 15 nm.<br />

Nanokrystality fluorkowe są wbudowane w osnowę tlenkową.<br />

Osnowa tlenkowa zapewnia odpowiednie właściwości takiego<br />

materiału kompozytowego, a zawieszenie jonów domieszki<br />

w subosnowie fluorkowej odpowiednią sprawność kwantową<br />

emisji laserowej.<br />

Podsumowanie<br />

• Lasery i wzmacniacze na szkle budowane są w formie<br />

urządzeń objętościowych, włóknowych i planarnych.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 73


• Szkło osnowy modyfikuje w pewnym stopniu właściwości<br />

jonu aktywatora poprzez subtelne rozszczepienie<br />

i przesunięcie poziomów energetycznych oraz<br />

wpływ na sprawność kwantową procesów relaksacji<br />

promienistej.<br />

• Istotnym parametrem szkła osnowy jest energia fali fononowej<br />

związana z siłą wiązań kowalencyjnych lub jonowych<br />

w quas-matrycy amorficznej. Duża energia fali<br />

fononowej (wiązania kowalencyjne) powoduje gaszenie<br />

niektórych poziomów laserujących jonów aktywatorów.<br />

Mała energia fali fononowej (wiązania jonowe) powoduje<br />

możliwość emisji z poziomów niepromienistych w innych<br />

rodzajach szkieł.<br />

• Najczęściej stosowanymi aktywnymi jonami modyfikatorami<br />

są ziemie rzadkie jak: Nd, Pr, Er, Dy, Yb, Ho, Tm.<br />

• Na szkła laserowe stosowane są najczęściej szkła<br />

osnowy - tlenkowe, fluorkowe, chlorkowe, siarczkowe<br />

oraz mieszane.<br />

• Najszybszemu rozwojowi podlegają obecnie lasery<br />

i wzmacniacze światłowodowe o nowych konstrukcjach<br />

z wykorzystaniem szkieł fotonicznych i metaszkieł.<br />

Literatura<br />

[1] Yamane M., Asahara Y.: Glasses for photonics. Cambridge University<br />

Press, 2000.<br />

[2] Agraval G.P.: Nonlinear fiber optics. Academic Press, Boston<br />

1989.<br />

[3] Fournier J., Snitzer E.: The nonlinear refractive index of glasses.<br />

IEEE J. on Quantum Electronics, May 1974, vol. 10, issue 5,<br />

pp.473-475.<br />

[4] Weber M.J.: Handbook of optical materials. CRC Press, New<br />

York, 2003.<br />

[5] Musikant S., Thompson B.J.: Optical materials. A series of advances,<br />

vol. 1, Marcel Dekker, New York, 1999.<br />

[6] Szwedowski A.: Materiałoznawstwo optyczne i optoelektroniczne.<br />

WNT, Warszawa, 1996.<br />

[7] Bach H., Neuroth N.: The properties of optical glass. Springer,<br />

2000.<br />

Badania lokalności aplikacji równoległych<br />

bazujących na tworzeniu niezależnych<br />

wątków obliczeń<br />

prof. dr hab. inż. WŁODZIMIERZ BIELECKI, dr inż. KRZYSZTOF KRASKA<br />

Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny, Wydział Informatyki<br />

Współczesne problemy naukowo-inżynierskie wymagają zastosowania<br />

złożonych obliczeniowo aplikacji, skutkując zwiększeniem<br />

czasu wykonania kodu programu. Naturalnym<br />

sposobem uzyskania przyśpieszenia - zwłaszcza dziś, gdy<br />

wieloprocesorowe architektury SMP (ang. Symmetric Multiprocessing)<br />

z pamięcią dzieloną są powszechne - jest zrównoleglenie<br />

programów sekwencyjnych i wykonanie w środowisku<br />

wieloprocesorowym. Skalowalność architektur SMP jest jednak<br />

ograniczona wydajnością magistrali/przełącznicy. Poprawę<br />

skalowalności uzyskuje się poprzez zastosowanie<br />

wielopoziomowej hierarchii pamięci, w której poziomy pamięci<br />

kolejno oddalone od procesora są tańsze, większe pod względem<br />

rozmiaru lecz cechują się dłuższym czasem dostępu.<br />

Aktualnie rynek oferuje wiele układów wieloprocesorowych<br />

z pamięcią wspólną, m.in. IBM Power4/Power5/Power6,<br />

Sun UltraSPARC T1/T2, ARM11 MPCore, ARM Cortex-A9<br />

MPCore, XMOS XS1-G4, Texas Instruments TMS320C80<br />

MVP, Broadcom SiByte SB1250/SB1255/SB1455, Intel Core<br />

2 i wiele innych. Zastosowanie takich układów stwarza potrzebę<br />

dostarczania oprogramowania dostosowanego do<br />

możliwości docelowej architektury, które zostanie wykonane<br />

równolegle.<br />

W [1] przedstawiono nową metodę ekstrakcji niezależnych<br />

sekwencji operacji dla pętli programowych (ang. Synchronization-Free<br />

Slices) umożliwiającą osiągnięcie przyśpieszenia<br />

poprzez wykonanie obliczeń w równoległych wątkach. Jednak<br />

efektywne wykorzystanie hierarchii pamięci wymaga od<br />

programów równoległych dodatkowo dobrej lokalności przetwarzanych<br />

danych (ang. data locality). Aktualne badania<br />

wskazują, że mała lokalność danych jest powszechną cechą<br />

wielu istniejących aplikacji, które w pętlach programowych intensywnie<br />

wykonują afiniczne referencje do wielkich zbiorów<br />

danych, przekraczających swym rozmiarem szybką, lecz małą<br />

pamięć podręczną procesora [3]. Nieoptymalny kod najczęściej<br />

można poddać transformacji do wydajniejszej postaci.<br />

Analiza lokalności danej postaci kodu może zostać wykonana<br />

na podstawie metryk uzyskanych z dostępnych na rynku narzędzi<br />

analizy wydajności oprogramowania, takich jak Intel<br />

VTune Performance Analyzer.<br />

Celem artykułu jest przedstawienie wyników badań nad<br />

lokalnością danych aplikacji równoległych wytwarzających<br />

niezależne wątki obliczeń i wyprowadzenie na ich podstawie<br />

zaleceń dla programistów, aby tworzone przez nich oprogramowanie<br />

cechowała dobra lokalność danych oraz przedstawienie<br />

możliwości zastosowania nowego narzędzia Intel<br />

VTune Performance Analyzer do analizy lokalności danych<br />

aplikacji równoległych.<br />

Pojęcia i akronimy<br />

W artykule rozważana jest lokalność danych aplikacji równoległych.<br />

Dwa pojęcia określają lokalność danych: czasowa lokalność<br />

(ang. temporal locality) oraz przestrzenna lokalność<br />

(ang. spatial locality). Czasowa lokalność ma miejsce wówczas,<br />

gdy te same dane wykorzystywane są wielokrotnie<br />

w krótkim odstępie czasu. Przestrzenna lokalność występuje<br />

wówczas, gdy w krótkim odstępie czasu wykorzystywane są<br />

inne dane, aczkolwiek rozmieszczone obok siebie; takie dane<br />

z wysokim prawdopodobieństwem wciąż znajdują się w wierszach<br />

szybkiej pamięci podręcznej procesora obok danych<br />

uprzednio użytych. Lokalność danych wiąże się z ich ponownym<br />

użyciem (ang. reuse). Odległość ponownego użycia<br />

74 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


(ang. reuse distance) jest liczbą unikalnych miejsc pamięci,<br />

dla których nastąpiły odwołania pomiędzy dwoma referencjami<br />

do tych samych danych [11].<br />

Współczesne architektury stosują hierarchię pamięci<br />

w celu redukcji czasu dostępu do danych. Kolejne poziomy<br />

pamięci oddalone od procesora (Level1 Cache, Level2<br />

Cache, pamięć główna) są tańsze, większe pod względem<br />

rozmiaru, lecz cechują się dłuższym czasem dostępu. Słowo<br />

cache jest wprowadzonym w latach 60. i przyjętym powszechnie<br />

w literaturze określeniem buforów szybkiej pamięci.<br />

W procesorach stosuje się trzy niezależne typy cache:<br />

instrukcji, danych oraz translacji adresów. L1D Cache (ang.<br />

Level1 Data Cache) jest obszarem pamięci cache danych<br />

pierwszego poziomu hierarchii pamięci.<br />

Jeżeli procesor odwołuje się do danych w pierwszej kolejności<br />

sprawdzana jest dostępność danych w L1D Cache. Gdy<br />

dane zostaną odnalezione wówczas zachodzi trafienie w pamięci<br />

cache (ang. cache hit); w przeciwnej sytuacji następuje<br />

chybienie (ang. cache miss) powodujące konieczność załadowania<br />

danych z pamięci niższego poziomu. Chybienia pojemnościowe<br />

(ang. capacity misses) są konsekwencją<br />

ograniczonej pojemności pamięci cache danego poziomu.<br />

Chybienia konfliktowe (ang. conflict misses) wynikają z ograniczonej<br />

asocjacyjności pamięci cache.<br />

Cache Replacement Algorithm jest algorytmem zarządzania<br />

danymi zawartymi w pamięci cache - w sytuacji, gdy pamięć<br />

cache jest pełna algorytm musi podjąć decyzję, które<br />

wiersze należy usunąć w celu zapewnienia wolnej przestrzeni<br />

dla nowych danych.<br />

Write-back jest metodą odzwierciedlania w pamięci<br />

głównej zmodyfikowanych wartości danych zawartych<br />

w cache. W przypadku metody write-back zmiany nie są odzwierciedlane<br />

natychmiastowo, lecz dopiero w momencie<br />

usuwania danych z wiersza pamięci cache.<br />

Wątek (ang. thread) jest rodzajem procesu wykonywanego<br />

współbieżnie/równolegle w obrębie jednego programu.<br />

Różnica między zwykłym procesem, a wątkiem polega na<br />

współdzieleniu przez wszystkie wątki uruchomione w jednym<br />

programie przestrzeni adresowej oraz wszystkich struktur systemowych<br />

[9].<br />

Technika Hyper-Threading opracowana przez firmę Intel<br />

polega na tym, że dwa niezależne wątki mogą korzystać z<br />

tych samych jednostek wykonawczych procesora, gdy jeden<br />

z nich oczekuje na zasoby (np.: w konsekwencji błędnej predykcji<br />

rozgałęzienia w przetwarzaniu potokowym) sprawiając<br />

wrażenie wykonania równoległego [10].<br />

Niezależne sekwencje operacji dla pętli programowych (ang.<br />

Synchronization-Free Slices) są podejściem umożliwiającym<br />

wydzielenie równoległości nie wymagającej synchronizacji<br />

w pętlach programowych [1]. Wydzielone niezależne sekwencje<br />

operacji mogą następnie zostać wykonane równolegle w architekturze<br />

SMP przez przydzielenie do wątków.<br />

W trakcie badań przyjęto następujące założenia:<br />

• dla uproszczenia zobrazowania postaci danych w L1D<br />

Cache przyjęto, że dane zostały rozmieszczone przez<br />

kompilator na 16-bajtowych granicach; dzięki temu<br />

założeniu linie L1D Cache są wypełniane przetwarzanymi<br />

danymi od swojego początku,<br />

• wymiary tablicy R[][] zostały dobrane w taki sposób, aby<br />

w każdym z przypadków liczba elementów przetwarzanych<br />

przez każdą sekwencję operacji była jednakowa.<br />

Uzasadnieniem wyboru przypadków jest zbadanie lokalności<br />

danych w sytuacjach, gdy referencje do danych w iteracjach<br />

pętli programowych wykonywane są zarówno wzdłuż<br />

ciągłego jak i nieciągłego obszaru pamięci, a także w sytuacji<br />

łączącej oba przypadki. Taki dobór przypadków reprezentuje<br />

dość ogólny przekrój referencji w aplikacjach równoległych.<br />

Przypadek 1<br />

W przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje operacji,<br />

wewnątrz których iterowane są kolejne elementy wymiaru<br />

stride-1 tablicy R[][]. Algorytm badanego przypadku<br />

i zobrazowanie zależności operacji w wyodrębnionych sekwencjach<br />

przedstawiają odpowiednio rys. 1 i 2. Rys. 3 obrazuje<br />

rozmieszczenie danych w pamięci L1D Cache.<br />

Dla rozważanego przypadku wiersze tablicy R[][] przetwarzane<br />

są przez niezależnie sekwencje operacji. Wewnątrz<br />

pojedynczej sekwencji zależność danych pomiędzy kolejnymi<br />

iteracjami przebiega wzdłuż wymiaru stride-1 tablicy R[][].<br />

Referencja do pierwszego elementu powoduje załadowanie<br />

z pamięci zewnętrznej do wiersza L1D Cache oprócz pierwszego<br />

elementu kolejnych 15-elementów typu int wymiaru<br />

stride-1 danego wiersza tablicy R[][]. Przejście do kolejnej<br />

Λ1: (par) for( int t1 = 1; t1 < S ; t1++ )<br />

{<br />

Λ2: for( int i = t1, j = 1 ; j < N ; j++ )<br />

{<br />

O1: R[i][j] = φ ( R[i][j-1] );<br />

}<br />

}<br />

Rys. 1. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />

Fig. 1. A loop of independent threads of operations<br />

Analiza lokalności danych wybranych<br />

przypadków<br />

Poniżej poddano analizie lokalności danych dla pamięci L1D<br />

Cache trzy przypadki programów, dla których przy użyciu metody<br />

[1] wydzielono niezależne sekwencje operacji wykonywane<br />

w pętlach programowych. W kolejnych sekcjach<br />

analizowane przypadki zostały zaimplementowane w kodzie<br />

języka C++ z użyciem dyrektyw OpenMP i wykonane na docelowej<br />

architekturze SMP, gdzie zostały zebrane przy użyciu<br />

programowego analizatora wydajności, rzeczywiste metryki<br />

lokalności danych.<br />

Rys. 2. Model zależności iteracji<br />

Fig. 2. Iteration dependence model<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 75


Rys. 3. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 1<br />

Fig. 3. Data layout in Case 1<br />

iteracji wewnątrz sekwencji powoduje uzyskanie referencji do<br />

kolejnego elementu w wymiarze stride-1, który jest już załadowany<br />

do L1D Cache w następstwie poprzedniej referencji.<br />

W konsekwencji nie zachodzi potrzeba ponownego ładowania<br />

danych z pamięci zewnętrznej, co prowadzi do powstania<br />

lokalności przestrzennej. Ponieważ w iteracji korzysta się<br />

z obliczonego w poprzedniej sekwencji elementu poprzedzającego<br />

element aktualny w wierszu L1D Cache, zachodzi<br />

lokalność czasowa.<br />

Po wyczerpaniu referencji do wszystkich 16. elementów<br />

znajdujących się w wierszu pamięci cache i wykonaniu referencji<br />

do 17. elementu wymiaru stride-1 zachodzi potrzeba<br />

załadowania z pamięci zewnętrznej kolejnych 16. elementów<br />

tablicy do nowego wiersza pamięci L1D Cache. W tej sytuacji<br />

nie występuje lokalność przestrzenna. Jednak odwołanie<br />

w tej iteracji do elementu poprzedniego wymiaru stride-1 powoduje<br />

odwołanie do poprzedniego wiersza L1D Cache,<br />

gdzie z dużym prawdopodobieństwem element wciąż jest dostępny,<br />

prowadząc do powstania lokalności czasowej. Kolejne<br />

iteracje powtarzają powyżej opisany cykl na granicach N•16<br />

elementów wiersza R[][] przetwarzanego w ramach danej<br />

sekwencji.<br />

Po wykonaniu referencji do poprzedniego wiersza pamięci<br />

L1D Cache kolejne iteracje danej sekwencji operacji oraz iteracje<br />

dowolnej następnej sekwencji wykonywanej na tym procesorze<br />

nie korzystają z danych w nim zawartych.<br />

W konsekwencji wiersz może zostać wykorzystany do przechowywania<br />

kolejnego obszaru pamięci; w tej sytuacji Cache<br />

Replacement Algorithm przenosi zawartość danych z zastępowanego<br />

wiersza L1D Cache do właściwego miejsca w pamięci<br />

zewnętrznej (write-back).<br />

Jednocześnie, ponieważ każdy z procesorów przetwarza<br />

w wątku wszystkie elementy danego wiersza tablicy, gdzie<br />

wiersze są niezależne od siebie, nie zachodzi potrzeba synchronizacji<br />

wierszy cache pomiędzy procesorami.<br />

Przypadek 2<br />

W poniższym przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje<br />

operacji, wewnątrz których iterowane są kolejne elementy<br />

wymiaru tablicy R[][] nie będącego stride-1. Algorytm<br />

badanego przypadku i zobrazowanie zależności operacji w<br />

wyodrębnionych sekwencjach przestawiają odpowiednio<br />

rys. 4 i rys. 5. Rys. 6 obrazuje rozmieszczenie danych w pamięci<br />

L1D Cache.<br />

Dla rozważanego przypadku kolumny tablicy R[][]<br />

przetwarzane są przez niezależne sekwencje operacji. Wewnątrz<br />

pojedynczej sekwencji zależność danych pomiędzy<br />

kolejnymi iteracjami nie dotyczy wymiaru stride-1 tablicy<br />

R[][]. Referencja do pierwszego elementu powoduje<br />

załadowanie z pamięci zewnętrznej do wiersza L1D Cache<br />

oprócz pierwszego elementu kolejnych 15. elementów typu<br />

int wymiaru stride-1 danego wiersza tablicy R[][]. Przejście<br />

do kolejnej iteracji wewnątrz danej sekwencji powoduje<br />

uzyskanie referencji do kolejnego wiersza tablicy R[][],<br />

który w tym przypadku nie jest wymiarem stride-1. To z kolei<br />

powoduje konieczność załadowania z pamięci zewnętrznej<br />

do następnego wiersza L1D Cache 16. elementów typu int<br />

wymiaru stride-1 następnego wiersza tablicy R[][], stąd nie<br />

zachodzi lokalność przestrzenna. Równocześnie, ponieważ<br />

iteracja korzysta z obliczonego w poprzedniej iteracji elementu<br />

poprzedniego wiersza tablicy R[][], znajdującego<br />

się w poprzednim wierszu L1D Cache, gdzie z dużym prawdopodobieństwem<br />

element wciąż jest dostępny, stąd<br />

z dużym prawdopodobieństwem zachodzi lokalność czasowa.<br />

Kolejne iteracje powtarzają powyżej opisany cykl<br />

równy liczbie wierszy tablicy R[][] przetwarzanych w ramach<br />

danej sekwencji.<br />

Λ1: ((par) for( int j = 1 ; j < S ; j++ )<br />

{<br />

Λ2: for ( int i = 1 ; i < N ; i++ )<br />

{<br />

O1: R[i][j] = φ ( R[i-1][j] );<br />

}<br />

}<br />

Rys. 4. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />

Fig. 4. A loop of independent threads of operations<br />

Rys. 5. Model zależności iteracji<br />

Fig. 5. Iteration dependence model<br />

Po wykonaniu referencji do poprzedniego wiersza pamięci<br />

L1D Cache kolejne iteracje danej sekwencji nie korzystają<br />

z danych w nim zawartych. W konsekwencji wiersz może zostać<br />

wykorzystany do przechowywania kolejnego obszaru pamięci,<br />

w tej sytuacji Cache Replacement Algorithm przenosi<br />

zawartość danych z zastępowanego wiersza L1D Cache do<br />

właściwego miejsca w pamięci zewnętrznej (write-back).<br />

Kolejna sekwencja operacji przydzielona do danego procesora<br />

przetwarza niezależnie kolejną kolumnę tablicy R[][],<br />

rozpoczynając od elementu przetwarzanej kolumny w pierwszym<br />

wierszu tablicy. Jeżeli wiersz L1D Cache załadowany w<br />

wyniku wykonywania poprzedniej sekwencji nie został jeszcze<br />

usunięty przez Cache Replacement Algorithm, wówczas wy-<br />

76 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Rys. 6. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 2<br />

Fig. 6. Data layout in Case 2<br />

stąpi lokalność przestrzenna. Zastępowanie wierszy przez<br />

Cache Replacement Algorithm zależy od rozmiaru przetwarzanych<br />

danych i wielkości L1D Cache oraz ograniczeń asocjacyjności<br />

L1D Cache (powodując odpowiednio chybienia<br />

pojemnościowe i konfliktowe). Im większy rozmiar danych tym<br />

większe prawdopodobieństwo chybienia i mniejsza lokalność<br />

danych. Niedeterministycznym czynnikiem dla rozważanego<br />

przykładu jest dynamiczna alokacja pamięci dla dwuwymiarowej<br />

tablicy R[][] wpływająca na chybienia konfliktowe.<br />

Ponieważ każdy z procesorów przetwarza w wątku dla<br />

danej kolumny wszystkie wiersze tablicy R[][], stąd może<br />

zachodzić potrzeba synchronizacji wierszy cache pomiędzy<br />

procesorami. Czynnikiem wpływającym na potrzebę synchronizacji<br />

jest sposób planowania przydziału sekwencji operacji<br />

do wątków i dalej wątków do procesora. Synchronizację wierszy<br />

cache pomiędzy procesorami można ograniczyć zapewniając,<br />

aby kolejne sekwencje przydzielane do tego samego<br />

procesora przetwarzały sąsiednie kolumny w granicach pojemności<br />

wiersza L1D Cache. Przywołując przyjęte na wstępie<br />

założenie, iż dane w L1D Cache zostały rozmieszczone<br />

przez kompilator na 16-bajtowych granicach ograniczenie potrzeby<br />

synchronizacji wierszy cache pomiędzy procesorami<br />

może nastąpić poprzez przydzielanie procesorom zbiorów 16.<br />

kolejnych sekwencji operacji.<br />

Przypadek 3<br />

W poniższym przypadku zostały wydzielone niezależne sekwencje<br />

operacji, wewnątrz których iterowane są jednocześnie<br />

kolejne elementy obu wymiarów tablicy R[][], tj.:<br />

wymiaru stride-1 oraz wymiaru nie będącego stride-1. W tym<br />

przypadku należy zwrócić uwagę na to, że w celu zachowania<br />

we wszystkich badanych przypadkach jednakowej liczby<br />

elementów przetwarzanych przez każdy wątek, wymiar i tablicy<br />

R[][] musiał zostać powiększony dwukrotnie w stosunku<br />

do pozostałych przypadków. Algorytm badanego przypadku i<br />

zobrazowanie zależności operacji w wyodrębnionych sekwencjach<br />

przestawia odpowiednio rys. 7 i rys. 8. Rys. 9 obrazuje<br />

rozmieszczenie danych w pamięci L1D Cache.<br />

Λ1: ((par) for( int t1 = 1; t1 < S ; t1++ )<br />

{<br />

Λ2: for( int i = t1, j = 1 ; i < N ; i++,<br />

j++ )<br />

{<br />

O1: R[i][j] = φ ( R [i - 1][j - 1]<br />

);<br />

}<br />

}<br />

Rys. 7. Pętla przybierająca niezależne sekwencje operacji<br />

Fig. 7. A loop of independent threads of operations<br />

Rys. 8. Model zależności iteracji<br />

Fig. 8. Iteration dependence model<br />

Rys. 9. Rozmieszczenie danych dla Przypadku 3<br />

Fig. 9. Data layout in Case 3<br />

Rozważany przypadek jest w zasadzie szczególną realizacją<br />

Przypadku 2. Elementem odmiennym od przypadku 2<br />

jest większe prawdopodobieństwo odwoływania do wierszy<br />

L1D Cache znajdujących się w sąsiednim procesorze, co jest<br />

konsekwencją ukośnego schematu dostępu do elementów<br />

linii cache przedstawionego na rys. 9.<br />

Środowisko wykorzystane do badań<br />

eksperymentalnych<br />

Badania eksperymentalne zostały wykonane w następującym<br />

środowisku:<br />

• procesor Intel(R) Core(TM) 2 Duo CPU T7200 @ 2.00 GHz<br />

o następujących parametrach [5-8]:<br />

Parametr<br />

Wartość<br />

Number of Physical Cores 2<br />

Core 1 Speed<br />

2.0 GHz<br />

Core 1 System Bus<br />

667 MHz<br />

Core 1 L1D Cache<br />

32KB write-back<br />

Core 1 L1D Cache Line Size<br />

64-byte<br />

Core 1 L1 Instruction Cache<br />

32 KB<br />

Core 2 Speed<br />

2.0 GHz<br />

Core 2 System Bus<br />

667 MHz<br />

Core 2 L1D Cache<br />

32KB write-back<br />

Core 2 L1D Cache Line Size<br />

64-byte<br />

Core 2 L1 Instruction Cache<br />

32 KB<br />

L1 Cache Associativity<br />

8-way set<br />

L2 Cache Memory<br />

4 MB (shared)<br />

L2 Cache Line Size<br />

64-byte<br />

L2 Cache Associativity<br />

16-way set<br />

Intel Hyper-Threading Technology<br />

No<br />

Intel 64 Architecture<br />

Yes<br />

Intel Virtualization Technology<br />

Yes<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 77


• system operacyjny Microsoft Windows XP SP3 32-bit,<br />

• kompilator Microsoft (R) 32-bit C/C++ Optimizing Compiler<br />

Version 15.00.21022.08 for 80x86.<br />

Zastosowane podczas kompilacji opcje:<br />

- ’/Od’ - wyłączenie wbudowanych optymalizacji,<br />

- ‘/openmp’ - włączenie rozszerzeń języka OpenMP 2.0.<br />

Wartości przyjęte domyślnie przez kompilator w trakcie<br />

kompilacji kodu programu:<br />

- omp_get_num_procs( ): 2<br />

- omp_get_max_threads( ): 2<br />

- OMP_SCHEDULE = static,0<br />

• analizator wydajności oprogramowania Intel VTune Performance<br />

Analyzer v9.0 [4].<br />

Aplikacje równoległe analizowanych<br />

przypadków<br />

W badanych źródłach wspólnie wykorzystano implementację<br />

dynamicznego tworzenia i usuwania dwuwymiarowych tablic<br />

elementów typu int przedstawioną poniżej:<br />

class Array2D {<br />

public:<br />

static int** createInt( const int rows, const int<br />

columns, const int range = 65536 )<br />

{<br />

int** a2d = new int*[ rows ];<br />

srand( (unsigned)time( NULL ) );<br />

for( int i = 0; i < rows; i++ ) {<br />

a2d[ i ] = new int[ columns ];<br />

for( int j = 0; j < columns; j++ ) a2d[ i ][ j<br />

] = rand( ) % range ;<br />

}<br />

return a2d;<br />

}<br />

static void freeInt( int** a2d, int rows )<br />

{<br />

for( int i = 0 ; i < rows ; i++ ) delete( a2d[<br />

i ] );<br />

delete( a2d );<br />

}<br />

};<br />

Rozważane przypadki zostały zaimplementowane w standardzie<br />

OpenMP/C++ w następujący sposób:<br />

#define COLUMNS 16 * krotność<br />

#define ROWS COLUMNS<br />

#define SLICES ROWS<br />

int main( int argc, char* argv[ ] )<br />

{<br />

int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />

int i, j, t1;<br />

#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />

shared( R )<br />

for( t1 = 1; t1 < SLICES ; t1++ )<br />

for( i = t1, j = 1 ; j < COLUMNS ; j++ )<br />

R[ i ][ j ] = ( R[ i ][ j - 1 ] >> 2 ) / ( 1 + R[ i ][<br />

j ] );<br />

Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />

return 0;<br />

}<br />

Aplikacja dla przypadku 1<br />

define COLUMNS<br />

#define ROWS<br />

#define SLICES<br />

16 * krotność<br />

COLUMNS<br />

COLUMNS<br />

int main( int argc, char* argv[ ] )<br />

{<br />

int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />

int i, j, t1;<br />

#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />

shared( R )<br />

for( t1 = 1 ; t1 < SLICES ; t1++ )<br />

for( j = t1, i = 1 ; i < ROWS ; i++ )<br />

R[ i ][ j ] = ( R[ i - 1 ][ j ] >> 2 ) / ( 1 + R[ i ][<br />

j ] );<br />

}<br />

Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />

return 0;<br />

Aplikacja dla przypadku 2<br />

#define COLUMNS 16 * krotność<br />

#define ROWS 2 * COLUMNS<br />

#define SLICES COLUMNS<br />

int main( int argc, char* argv[ ] )<br />

{<br />

int** R = Array2D::createInt( ROWS, COLUMNS );<br />

int i, j, t1;<br />

#pragma omp parallel for private( i, j, t1 )<br />

shared( R )<br />

for( t1 = 1; t1 < SLICES ; t1++ )<br />

for( i = t1, j = 1 ; ( i < ROWS ) && ( j <<br />

COLUMNS ) ; i++, j++ )<br />

R[ i ][ j ] = ( R[ i - 1 ][ j - 1 ] >> 2 ) / ( 1 + R[<br />

i ][ j ] );<br />

}<br />

Array2D::freeInt( R, ROWS );<br />

return 0;<br />

Aplikacja dla przypadku 3<br />

Makrodefinicje ROWS i COLUMNS umożliwiły modyfikację rozmiaru<br />

tablicy przetwarzanej przez równoległe wątki wykonujące<br />

zadania wewnątrz niezależnych sekwencji. Dla<br />

uproszczenia badań założono, że rozmiary ROWS i COLUMNS<br />

są krotnością 16. elementów typu int, tj. ile elementów mieści<br />

jeden wiersz L1D Cache bądź L2 Cache. Wyniki badań<br />

pozostają tożsame przy braku tego założenia. Zestawiono<br />

wolumen danych R[][] przetwarzanych w ramach badanego<br />

przypadku w zależności od wartości makrodefinicji<br />

ROWS i COLUMNS:<br />

78 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Krotność<br />

Liczba<br />

elementów<br />

typu int<br />

Przypadek 1 i przypadek 2<br />

Rozmiar<br />

danych<br />

[ kB ]<br />

Krotność<br />

Liczba<br />

elementów<br />

typu int<br />

Rozmiar<br />

danych<br />

[ kB ]<br />

1 256 1 30 230 400 900<br />

2 1 024 4 40 409 600 1 600<br />

Wyniki badań eksperymentalnych<br />

Użyte w badaniach oprogramowanie Intel VTune Performance<br />

Analyzer w wersji 9.0 odczytuje w kolejnych próbkach<br />

dane o zdarzeniach gromadzone przez PMU (ang. Performance<br />

Management Unit) procesora Intel Core2 Duo. Do<br />

określenia lokalności danych w badanych przypadkach zostały<br />

wyselekcjonowane odpowiednie metryki zdarzeń.<br />

Poniżej przedstawiono w postaci graficznej zestawienie<br />

wyników badań dla wszystkich przypadków względem każdej<br />

z badanych metryk.<br />

3 2 304 9 50 640 000 2 500<br />

4 4 096 16 60 921 600 3 600<br />

5 6 400 25 62 984 064 3 844<br />

6 9 216 36 64 1 048 576 4 096<br />

7 12 544 49 66 1 115 136 4 356<br />

8 16 384 64 68 1 183 744 4 624<br />

(a) L1D_ALL_REF<br />

9 20 736 81 70 1 254 400 4 900<br />

10 25 600 100 80 1 638 400 6 400<br />

20 102 400 400<br />

Przypadek 3<br />

Krotność<br />

Liczba<br />

elementów<br />

typu int<br />

Rozmiar<br />

danych<br />

[ kB ]<br />

Krotność<br />

Liczba<br />

elementów<br />

typu int<br />

Rozmiar<br />

danych<br />

[ kB ]<br />

(b) L1D_ALL_CACHE_REF<br />

1 512 2 30 460 800 1 800<br />

2 2 048 8 40 819 200 3 200<br />

3 4 608 18 50 1 280 000 5 000<br />

4 8 192 32 60 1 843 200 7 200<br />

5 12 800 50 62 1 968 128 7 688<br />

6 18 432 72 64 2 097 152 8 192<br />

(c) L1D_CACHE_LD.MESI<br />

7 25 088 98 66 2 230 272 8 712<br />

8 32 768 128 68 2 367 488 9 248<br />

9 41 472 162 70 2 508 800 9 800<br />

10 51 200 200 80 3 276 800 12 800<br />

20 204 800 800<br />

(d) L1D_CACHE_ST.MESI<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 79


(e) L1D_PEND_MISS<br />

(f) L1D_REPL<br />

(g) Metryka L1D_M_EVICT<br />

Znaczenie poszczególnych metryk jest następujące [12]:<br />

a) L1D_ALL_REF - odwzorowuje liczbę zdarzeń wszelkich referencji<br />

do L1D Cache, włączając ładowanie i zapis do dowolnego<br />

typu pamięci niższego poziomu.<br />

b) L1D_ALL_CACHE_REF - odwzorowuje liczbę zdarzeń odczytu<br />

bądź zapisu danych do pamięci L1D Cache.<br />

c) L1D_CACHE_LD.MESI - odwzorowuje liczbę zdarzeń odczytu<br />

danych z pamięci L1D Cache, tj. ile razy uzyskiwano dostęp<br />

do linii L1D Cache w dowolnym jej stanie (Modified, Exclusive,<br />

Shared, Invalidate).<br />

d) L1D_CACHE_ST.MESI - odwzorowuje liczbę zdarzeń zapisu<br />

danych do pamięci L1D Cache, tj. ile razy uzyskiwano dostęp<br />

do linii L1D Cache w dowolnym jej stanie (Modified, Exclusive,<br />

Shared, Invalidate).<br />

e) L1D_PEND_MISS - odwzorowuje liczbę zaległych chybień dla<br />

L1D Cache w dowolnym cyklu. Chybienie jest zaległe od<br />

cyklu, w którym wystąpiło do cyklu, w którym pierwsza część<br />

danych jest już dostępna.<br />

f) L1D_REPL - odwzorowuje liczbę linii dostarczonych do L1D<br />

Cache.<br />

g) L1D_M_EVICT - odwzorowuje liczbę zmodyfikowanych linii<br />

usuniętych z L1D Cache w konsekwencji zastąpienia bądź interwencji<br />

snoop HITM (modyfikacji przez drugi procesor tych<br />

samych danych w swoim L1D Cache i konieczności zachowania<br />

koherencji).<br />

h) MEM_LOAD_RETIRED.L1D_LINE_MISS - odwzorowuje liczbę<br />

linii operacji ładowania danych, które zakończyły się chybieniem<br />

w L1D Cache i spowodowały wysłanie do L2 Cache<br />

żądania dostarczenia brakującej linii cache.<br />

i) CMP_SNOOP.BOTH_CORES.ANY - odwzorowuje liczbę zdarzeń<br />

podglądania (ang. snoop) L1D Cache w celu zlokalizowania<br />

linii cache, która jest potrzebna przez inny procesor.<br />

Należy mieć na uwadze, że większa wartość każdej z metryk<br />

oznacza większą liczbę zdarzeń (większą aktywność),<br />

w konsekwencji prowadząc do mniejszej wydajności oraz<br />

większej konsumpcji energii.<br />

Wnioski<br />

(h) MEM_LOAD_RETIRED.L1D_LINE_MISS<br />

Na podstawie uzyskanych wyników można wyprowadzić następujące<br />

zalecenia dla programistów, aby tworzone przez<br />

nich oprogramowanie cechowała dobra lokalność danych:<br />

a) Rozmiar przetwarzanych danych wpływa na efektywność<br />

wykorzystania dostępnej pamięci cache. Dla przeprowadzonych<br />

badań próg efektywności wykorzystania dostępnej<br />

pamięci cache określała następująca zależność:<br />

rozmiar_L1D_Cache x poziom_asocjacyjności_cache x<br />

liczba_procesorów<br />

(i) CMP_SNOOP.BOTH_CORES.ANY<br />

W przypadku, gdy całkowity rozmiar przetwarzanych<br />

w programie danych nie przekraczał wymienionego progu,<br />

efektywność wykorzystania cache jest największa. Jeżeli<br />

całkowity rozmiar przetwarzanych danych przekracza ten<br />

rozmiar, to należy zastosować techniki partycjonowania danych<br />

na mniejsze zbiory (np.: tiling) [3].<br />

Zalecenia dostarczane przez producenta procesora wskazują<br />

na ogólną zasadę, iż rozmiar bloku przetwarzanych<br />

danych powinien w przybliżeniu znajdować się w prze-<br />

80 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


dziale od ½ do ¾ fizycznego rozmiaru cache dla procesora<br />

bez technologii Hyper-Threading oraz od ¼ do ½ fizycznego<br />

rozmiaru cache dla procesora wykorzystującego tę<br />

technologię [2]. Wyniki uzyskane w przeprowadzonych badaniach<br />

dla procesora Intel Core2 Duo (bez technologii<br />

Hyper-Threading) potwierdzają zalecenia producenta. Wykonane<br />

badania dla rozważanych przypadków pozwalają<br />

na intuicyjne postawienie hipotezy, że górna granica rozmiaru<br />

bloku przetwarzanych danych zapewniająca efektywność<br />

wykorzystania cache zależy od schematu dostępu<br />

do danych w programie, co z kolei pozwala na potwierdzenie<br />

zaleceń producenta.<br />

b) Najbardziej korzystny sposób iteracji kolejnych elementów<br />

tablicy w ramach wątku polega na sekwencyjnym uzyskiwaniu<br />

dostępu do elementów wzdłuż wymiaru stride-1.<br />

W badaniach uzyskane wartości wszystkich metryk były<br />

najkorzystniejsze dla Przypadku 1. Potwierdza to tezę prezentowaną<br />

w literaturze [3]. Najmniej korzystny okazał się<br />

natomiast Przypadek 3, którego schemat iteracji kolejnych<br />

elementów tablicy wprowadzał konieczność koherencji pamięci<br />

cache sąsiadujących procesorów.<br />

Zmiana rozmieszczenia struktur danych może okazać się<br />

sposobem dla programistów na poprawę lokalności danych.<br />

Dla przykładu, jeżeli w kodzie programu iteracja elementów<br />

tablicy R[][] nie następuje wzdłuż wymiar<br />

stride-1, wówczas zamiana wierszy z kolumnami spowoduje<br />

poprawę lokalności danych. Zastosowanie tej techniki<br />

zwiększenia lokalności danych ma jednak swoje ograniczenia,<br />

ponieważ ta sama tablica może być wykorzystana<br />

w innych miejscach programu i w innych operacjach, gdzie<br />

zmienione rozmieszczenie danych może powodować deprecjację<br />

lokalności danych.<br />

c) Zmniejszenie odległości ponownego użycia (ang. reuse<br />

distance) prowadzi do większego prawdopodobieństwa<br />

wystąpienia lokalności czasowej. Odległość ponownego<br />

użycia określa liczbę dostępów do innych danych pomiędzy<br />

kolejnymi dostępami do tej samej danej; im krótszy<br />

wektor ponownego użycia, tym szybciej dane stają się<br />

zbędne, a komórka pamięci cache może zostać wykorzystana<br />

do przechowywania nowych danych. Ze względu na<br />

wierszowy charakter cache dla zwiększenia lokalności<br />

przestrzennej danych należy w dalszej kolejności skupić<br />

operacje przetwarzające dane sąsiadujące w wierszu<br />

cache wokół danej, dla której wystąpił efekt lokalności czasowej.<br />

O ile w pierwszym przypadku ponowne użycie ma<br />

charakter zależności danych to w drugim przypadku może<br />

być konsekwencją np.: aglomeracji.<br />

Podsumowanie<br />

W artykule przedstawiono wyniki badań nad lokalnością danych<br />

aplikacji równoległych z wytworzaniem niezależnych<br />

wątków obliczeń. W badaniach zastosowano taki dobór przypadków,<br />

który pozwolił odwzorować dość ogólny przekrój<br />

możliwych referencji do danych w aplikacjach równoległych.<br />

Jednocześnie na przykładzie badanych aplikacji przedstawiono<br />

zastosowanie narzędzia Intel VTune Performance Analyzer<br />

do analizy lokalności danych. Ostatecznie na podstawie<br />

uzyskanych wyników wyprowadzono zalecenia dla programistów,<br />

aby tworzone przez nich oprogramowanie cechowała<br />

dobra lokalność danych.<br />

Celem najbliższych prac autorów będzie poszerzenie wyników<br />

badań nad lokalnością danych aplikacji równoległych<br />

o pętle programowe tworzące zbór NAS Parallel Benchmarks<br />

(http://www.nas.nasa.gov/), w których wydzielono niezależne<br />

sekwencje operacji zgodnie z metodą przedstawioną w [1].<br />

Uzyskane w tych pracach wyniki wykorzystują ogólnie przyjęte<br />

aplikacje stanowiące kryteria oceny wydajności superkomputerów<br />

równoległych, powinny przyczynić się do<br />

lepszego zrozumienia uwarunkowań dobrej lokalności danych<br />

w programach równoległych z wytworzeniem niezależnych<br />

wątków obliczeń.<br />

Literatura<br />

[1] Bielecki W., Siedlecki K.: Extracting synchronization-free slices in<br />

perfectly nested loops. Electonic Modeling, vol.29, no 6, Kijów<br />

2007, pp. 61-76.<br />

[2] Threading Methodology: Principles and Practices. Version 2.0,<br />

Intel Corporation, 2004.<br />

[3] Aho A. V., Lam M. S., Sethi R., Ullman J. D.: Compilers: Principles,<br />

Techniques and Tools, 2nd Edition. Addison-Wesley, 2006.<br />

[4] http://www.intel.com/support/performancetools/vtune/<br />

[5] Intel® 64 and IA-32 Architectures Software Developer’s Manual,<br />

Intel Corporation, 2008.<br />

[6] Intel® Core2 Duo Processor E8000 and E7000 Series, Intel<br />

Corporation, 2008.<br />

[7] Intel Procesor Identyfication Utility, Version 4.00.20081113, Intel<br />

Corporation, 2008.<br />

[8] CPU-Z, Version 1.48, CPUID Software Development Kit, 2008.<br />

[9] Wilson G.V.: Practical Parallel Programming. The MIT Press,<br />

1995.<br />

[10] http://en.wikipedia.org/<br />

[11] Beyls K.: Software Methods to Improve Data Locality and Cache<br />

Behavior, PhD dissertation, Universiteit Gent, 2004.<br />

[12] Intel® VTune Performance Analyzer. VTune Performance<br />

Environment Help, Intel Corporation, 2008.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 81


Wykorzystanie elementu XOR w syntezie logicznej<br />

przeznaczonej dla programowalnych struktur<br />

CPLD typu PAL<br />

mgr inż. WALDEMAR GRABIEC 1 , dr hab. inż. DARIUSZ KANIA prof. PŚ 2<br />

1 Wojskowa Akademia Techniczna, Wydział Elektroniki, <strong>Instytut</strong> Telekomunikacji<br />

2 Politechnika Śląska, Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki<br />

Układy matrycowe CPLD (ang. Complex Programmable Logic<br />

Devices) stanowią jedną z głównych grup oferowanych na<br />

rynku programowalnych struktur logicznych. Większość z nich<br />

wykorzystuje architekturę typu PAL (ang. Programmable Array<br />

Logic), której cechą charakterystyczną jest programowalna<br />

matryca iloczynów i nieprogramowalna (stałe połączenia) matryca<br />

sum. Rdzeniem matrycowych struktur programowalnych<br />

CPLD jest blok logiczny typu PAL zawierający pewną liczbę<br />

iloczynów k (najczęściej k = 3,5,8) dołączonych na stałe do<br />

wejść bramki sumy logicznej (rys. 1). Jednym z głównych problemów<br />

w syntezie logicznej dedykowanej tym strukturom jest<br />

efektywne wykorzystanie dostępnej liczby iloczynów zawartych<br />

w blokach typu PAL.<br />

Klasyczna metoda realizacji funkcji<br />

w strukturach typu PAL<br />

Klasyczna metoda realizacji funkcji f: B n → B m w strukturach<br />

CPLD typu PAL związana jest z realizacją zminimalizowanych<br />

funkcji f i : B n → B (i = 1,2,….,m) w postaci sieci składających<br />

się z k-iloczynowych bloków typu PAL [1].<br />

Przykład 1<br />

Rozważmy realizację pojedynczej funkcji logicznej f: B 5 → B<br />

opisanej siatką Karnaugha (rys. 2a) wykorzystując bloki logiczne<br />

typu PAL zawierające 3 iloczyny. W wyniku dwupoziomowej<br />

minimalizacji przeprowadzonej za pomocą programu<br />

ESPRESSO uzyskujemy postać zawierającą 10 implikantów<br />

(rys. 2b).<br />

Rys. 1. Struktura bloku logicznego typu PAL zawierającego k iloczynów<br />

Fig. 1. Strukture of PAL - based logic block consisting of k terms<br />

Bloki logiczne układów CPLD oprócz iloczynów zawierają<br />

również pewne dodatkowe elementy, takie jak: konfigurowalne<br />

przerzutniki, wyjściowe bufory trójstanowe, bramki<br />

XOR itp. Elementy te mają różnorodne przeznaczenie. Okazuje<br />

się jednak, że ich istnienie z powodzeniem można<br />

uwzględnić w procesie syntezy logicznej, podnosząc tym<br />

samym jej efektywność. W syntezie logicznej przeznaczonej<br />

dla matrycowych struktur CPLD można wykorzystać elementy<br />

dekompozycji, odgrywające dotychczas kluczową rolę<br />

w syntezie układów cyfrowych realizowanych w tablicowych<br />

strukturach FPGA (ang. Field Programmable Gate Array).<br />

W przypadku struktur matrycowych CPLD istota dekompozycji<br />

polega na „dopasowaniu” projektu do wewnętrznej<br />

struktury układu programowalnego [1].<br />

Celem artykułu jest przedstawienie koncepcji nowatorskiego<br />

modelu dekompozycji, umożliwiającego wykorzystanie<br />

elementu XOR powszechnie występującego w blokach<br />

logicznych większości struktur CPLD. Opracowany model dekompozycji<br />

jest rozszerzeniem tzw. dekompozycji kolumnowej,<br />

bazujacej na klasycznym modelu dekompozycji Curtisa<br />

[1-3]. Bazując na przykładzie prostej funkcji logicznej, dokonano<br />

porównania zaproponowanej koncepcji z klasyczną metodą<br />

syntezy oraz metodą wykorzystującą dekompozycję<br />

Curtisa ukierunkowaną na efektywne wykorzystywanie bloków<br />

logicznych typu PAL [1].<br />

W celu uproszczenia prezentowanych zagadnień,<br />

przykłady omawiane w dalszej części artykułu będą rozpatrywane<br />

dla bloków logicznych zawierających 3 iloczyny (k =3).<br />

Rys. 2. Metoda klasyczna realizacji funkcji f: B 5 → B: siatka Karnaugha<br />

(a) i wynik minimalizacji w postaci pliku y.pla zapisanego<br />

w formacie ESPRESSO (b)<br />

Fig. 2. The Karnaugh map of function (a) and result of minimization<br />

y.pla (b)<br />

Niech ∆ fi oznacza liczbę implikantów, dla których funkcja<br />

f i : B n → B przyjmuje wartość 1, natomiast δ fi niech będzie<br />

liczbą bloków logicznych typu PAL potrzebnych do realizacji<br />

funkcji f i . Liczba iloczynów zawarta w bloku logicznym jest<br />

równa k. W sytuacji, gdy ∆ fi > k liczba niezbędnych do realizacji<br />

funkcji bloków k-iloczynowych wynosi<br />

δ fi = + 1 (1)<br />

W rozważanym przypadku powstaje struktura składająca się<br />

z ξ fi warstw bloków logicznych typu PAL, przy czym parametr<br />

ten określony jest następującą zależnością:<br />

ξ fi = (2)<br />

82 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Zapis ⎡x⎤ oznacza najmniejszą liczbę naturalną nie mniejszą<br />

od x. Dla rozpatrywanej w przykładzie funkcji określone wyżej<br />

parametry wynoszą odpowiednio:<br />

oraz<br />

k = 3, ∆ fi = 10, δ fi = + 1 = + 1 = 5 (3)<br />

ξ fi = = = 3 (4)<br />

Realizację przedstawionej powyżej funkcji f: B 5 → B metodą<br />

klasyczną przedstawiono na rys. 3. Linią przerywaną oznaczono<br />

niewykorzystany iloczyn w bloku logicznym.<br />

klasycznego modelu dekompozycji Ashenhursta-Curtisa<br />

(określanej w literaturze mianem dekompozycji rozłącznej<br />

Curtisa) stanowi twierdzenie, w sposób graficzny przedstawione<br />

na rys. 4.<br />

Twierdzenie o dekompozycji rozłącznej Curtisa<br />

Funkcja:<br />

podlega dekompozycji tzn.:<br />

y = f(i n ,....,i 2 ,i 1 ) = f(X 2 ,X 1 ) (5)<br />

f(X 2 ,X 1 ) = F[g 1 (X 1 ),g 2 (X 1 ),...,g p (X 1 ),X 2 ] (6)<br />

wtedy i tylko wtedy, gdy złożoność kolumnowa opisującej ją<br />

matrycy podziałów (siatki Karnaugha) wynosi:<br />

ν(X 2 ⏐ X 1 ) ≤ 2 p [2,3] (7)<br />

Zbiory X 1 i X 2 nazywane są odpowiednio zbiorem związanym<br />

(ang. bound set) i zbiorem wolnym (ang. free set), przy czym<br />

zachodzą między nimi relacje:<br />

X 1 ∪X 2 = {i n ,...,i 2 ,i 1 } oraz X 1 ∩X 2 = φ (8)<br />

Rys. 3. Klasyczna realizacja funkcji f: B 5 → B wykorzystująca bloki<br />

logiczne typu PAL<br />

Fig. 3. Classical implementation of the function f: B 5 → B based on<br />

PAL-logic block<br />

Metoda realizacji funkcji wykorzystująca<br />

dekompozycję kolumnową<br />

Metody dekompozycji funkcji znalazły bardzo szerokie zastosowanie<br />

w wielu dziedzinach informatyki, do których można<br />

m.in. zaliczyć sztuczną inteligencję, analizę obrazów czy też<br />

syntezę logiczną. W ostatniej z wymienionych dziedzin metody<br />

dekompozycji pozwalają projektować w sposób efektywny<br />

układy cyfrowe bazujące na strukturze programowalnej<br />

CPLD/FPGA [4]. Intensywne prace nad wykorzystaniem dekompozycji<br />

funkcji w syntezie logicznej układów cyfrowych<br />

realizowanych w strukturach FPGA prowadzone są od blisko<br />

30 lat. Teoretyczną podstawę klasycznej teorii dekompozycji<br />

stanowią prace Ashenhursta opublikowane w drugiej połowie<br />

lat 50. [2], rozwinięte kilka lat później przez Curtisa [3]. Istotę<br />

Rys. 4. Idea rozłącznej dekompozycji Curtisa<br />

Fig. 4. Disjoint Curtis decomposition<br />

Pod pojęciem złożoności kolumnowej matrycy podziałów<br />

(nazywanej również w literaturze jako krotność kolumnowa)<br />

rozumiemy liczbę wszystkich różniących się miedzy sobą<br />

(w sensie kombinacji zerojedynkowej) wzorców kolumn występujących<br />

w siatce Karnaugha opisującej daną funkcję<br />

logiczną:<br />

Istota dekompozycji funkcji sprowadza się zwykle do odpowiedniego<br />

podziału projektowanego układu cyfrowego na<br />

podukłady o zadanej liczbie wejść i wyjść. Takie podejście ma<br />

miejsce podczas realizacji układu cyfrowego w strukturach<br />

FPGA typu tablicowego, gdzie następuje dopasowanie poszczególnych<br />

podukładów do bloków logicznych CLB (ang.<br />

Configurable Logic Block) struktury FPGA . Okazuje się jednak,<br />

że dekompozycja może być również wykorzystywana do<br />

podziału projektu na części realizowane w poszczególnych<br />

blokach logicznych typu PAL, których głównym „mankamentem”<br />

jest ograniczona liczba wielowejściowych iloczynów (termów)<br />

[1]. W świetle tego faktu istota dekompozycji<br />

przeznaczonej dla struktur typu PAL sprowadza się do minimalizacji<br />

liczby wykorzystywanych iloczynów, pośrednio prowadząc<br />

do minimalizacji liczby użytych bloków logicznych<br />

typu PAL lub dopasowania projektowanego układu do struktury<br />

bloków logicznych typu PAL.<br />

Analizując podział układu będący konsekwencją dekompozycji<br />

Ashenhursta-Curtisa (rys. 4) należy zauważyć, iż towarzyszy<br />

mu ekspansja całkowitej liczby wyjść. W przypadku<br />

układów CPLD prowadzi to do wykorzystania dodatkowo co<br />

najmniej p - bloków logicznych typu PAL niezbędnych do realizacji<br />

bloku związanego. Wynika z tego wniosek, że zastosowanie<br />

dekompozycji może być opłacalne tylko wtedy, gdy<br />

(9)<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 83


w klasycznym podejściu wykorzystanie sprzężeń zwrotnych<br />

prowadzi do użycia większej liczby bloków logicznych typu<br />

PAL. Zagadnienie wykorzystania dekompozycji w syntezie<br />

CPLD przedstawia poniższy przykład.<br />

Przykład 2<br />

Rozpatrzmy realizację funkcji logicznej f: B 5 → B z przykładu<br />

1. Można zauważyć, że kolumny siatki Karnaugha<br />

(rys. 5a) tworzą trzy wzorce (tzn. występują trzy różne kolumny)<br />

oznaczone literami A, B, C. Złożoność kolumnowa wynosi<br />

ν(X 2 │X 1 )=3. Z twierdzenia Curtisa wynika, iż do<br />

rozróżnienia wzorców kolumn musimy użyć dwóch bitów<br />

(p = 2): g 1 (X 1<br />

) i g 2 (X 1<br />

). Siatki Karnaugha opisujące podukłady<br />

powstające po dekompozycji czyli blok związany i wolny wraz<br />

ze strukturą ostatecznej realizacji układu przedstawiono na<br />

rys. 5. Z rysunku 5b. przedstawiającego realizację praktyczną<br />

rozpatrywanej funkcji logicznej widać, że omawiana metoda<br />

syntezy jest „oszczędniejsza” pod względem liczby wykorzystanych<br />

bloków logicznych PAL w porównaniu z metodą klasyczną.<br />

Na rysunku tym linią przerywaną oznaczono<br />

niewykorzystane iloczyny bloku logicznego.<br />

Metoda dekompozycji ukierunkowana na<br />

wykorzystanie elementu XOR<br />

Jednym z elementów składowych bloków logicznych programowalnych<br />

struktur CPLD jest element (bramka) XOR<br />

(rys. 6). Element ten wykorzystywany jest zwykle do wyboru<br />

aktywności poziomu wyjściowego, wyboru sposobu realizacji<br />

funkcji z warunków działania lub niedziałania, modyfikacji typu<br />

przerzutnika itp. Okazuje się, iż możliwe jest ukierunkowanie<br />

procesu syntezy układów cyfrowych realizowanych w strukturach<br />

CPLD na wykorzystanie elementu XOR. Prowadzi to<br />

w wielu sytuacjach do efektywniejszych rozwiązań (oszczędniejsze<br />

wykorzystanie zasobów struktury programowalnej)<br />

w stosunku do rozwiązań uzyskiwanych metodą klasyczną,<br />

jak również w porównaniu do metod zaimplementowanych<br />

w narzędziach komercyjnych.<br />

Rys. 6. Struktura bloku logicznego typu PAL z uwzględnieniem elementu<br />

XOR<br />

Fig. 6. Structure of PAL-based logic block consisting of XOR element<br />

Przykład 3<br />

Rozpatrzmy realizację funkcji logicznej f: B 5 → B przedstawioną<br />

we wcześniejszych przykładach, uwzględniając element<br />

XOR występujący w bloku logicznym. Analizując siatkę<br />

Karnaugha rozpatrywanej funkcji przedstawioną na rys. 7<br />

Rys. 5. Realizacja funkcji f: B 5 → B bazująca na dekompozycji<br />

Curtisa<br />

Fig. 5. Implementation of the function based on Curtis decomposition<br />

Rys. 7. Siatka Karnaugha funkcji logicznej (a) oraz odpowiadający<br />

jej graf niezgodności i dopełnień kolumn (b)<br />

Fig. 7. The Karnaugh map (a) and the Column Incompatibility and<br />

Complement Graph (b)<br />

84 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


można zauważyć, że wzorzec B stanowi dopełnienie wzorca<br />

A (tzn. B = A’). Mówimy, że wzorzec jednej kolumny jest dopełnieniem<br />

wzorca drugiego wtedy i tylko wtedy, gdy w zbiorze<br />

par komórek należących do dwóch różnych kolumn nie<br />

występują pary (1,1) i (0,0). W omawianej metodzie syntezy<br />

wykorzystano zagadnienie kolorowania wierzchołków grafu.<br />

Polega ono na takim etykietowaniu wierzchołków grafu (nadawaniu<br />

im kolorów), że każde dwa wierzchołki do siebie<br />

przyległe (tzn. połączone wspólną krawędzią) mają różne kolory.<br />

Z zagadnieniem kolorowania wierzchołków grafu<br />

związane jest pojęcie liczby chromatycznej, określającej najmniejszą<br />

liczbę kolorów niezbędnych do pokolorowania grafu.<br />

Analizę wzorców kolumn siatki Karnaugha z uwzględnieniem<br />

relacji dopełnienia kolumn można wykonywać kolorując wierzchołki<br />

grafu niezgodności i dopełnień kolumn. Wyczerpujący opis<br />

tworzenia i kolorowania wierzchołków grafu niezgodności i dopełnień<br />

można znaleźć w pracy [1]. W niniejszym artykule ograniczono<br />

się do skrótowego zaprezentowania istoty zastosowania<br />

grafu niezgodności i dopełnień kolumn w procesie wyszukiwania<br />

wyrażeń realizowanych za pomocą elementów XOR.<br />

Wierzchołki grafu niezgodności i dopełnień kolumn skojarzone<br />

są z kolumnami siatki Karnaugha (zmienne: c, d, e) opisującej<br />

rozpatrywaną funkcję logiczną. Krawędzie grafu<br />

opisują dwa rodzaje relacji występujące pomiędzy jego wierzchołkami.<br />

Relacja niezgodności wzorców kolumn oznaczona<br />

jest na grafie krawędziami niebieskimi. Za pomocą krawędzi<br />

oznaczonych kolorem czerwonym reprezentowane są relacje<br />

dopełnienia wzorców kolumn. Do oznaczenia kolorów wierzchołków<br />

grafu posłużono się wytłuszczoną czcionką typu Arial.<br />

Istota algorytmu kolorowania wierzchołków grafu niezgodności<br />

i dopełnień kolumn polega na sekwencyjnym wyborze<br />

wierzchołków, którym przypisywany jest kolor<br />

dozwolony (oznaczany dużą literą np. A) lub kolor dopełnienia<br />

(np. A’) w miarę możliwości taki, który jest już przypisany innemu<br />

wierzchołkowi. Po przypisaniu w i-tym kroku wybranemu<br />

wierzchołkowi koloru dozwolonego lub koloru<br />

dopełnienia, przypisywane są kolory zabronione (oznaczane<br />

małą literą np. a) wszystkim wierzchołkom, połączonym krawędziami<br />

niebieskimi z wybranym wierzchołkiem i kolory dopełnienia<br />

wszystkim wierzchołkom, połączonym krawędziami<br />

czerwonymi z wybranym wierzchołkiem.<br />

Wybór i-tego wierzchołka realizowany jest zgodnie z poniższymi<br />

zasadami:<br />

• wybierany jest wierzchołek z maksymalną liczbą kolorów<br />

zabronionych; przyporządkowywany jest mu kolor dozwolony<br />

(jeżeli jest to możliwe - ze zbioru kolorów wcześniej<br />

użytych),<br />

• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych<br />

wybierany jest tzw. wierzchołek najwyższego<br />

stopnia czyli ten, do którego jest incydentna maksymalna<br />

liczba krawędzi (tzn. do którego dochodzi maksymalna<br />

liczba krawędzi),<br />

• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych<br />

i maksymalną liczbą krawędzi incydentnych wybierany<br />

jest ten, który ma dodatkowo maksymalną liczbę<br />

kolorów dopełnień (jeżeli jest to możliwe, przyporządkowywany<br />

jest mu kolor dopełnienia),<br />

• spośród wierzchołków z identyczną liczbą kolorów zabronionych,<br />

kolorów dopełnień i incydentnych krawędzi wybierany<br />

jest ten, do którego dochodzi maksymalna liczba<br />

krawędzi oznaczonych kolorem niebieskim (relacja niezgodności<br />

wzorców).<br />

Po wybraniu danego wierzchołka i przypisaniu pozostałym<br />

wierzchołkom grafu kolorów dozwolonych, kolorów dopełnień<br />

i kolorów zabronionych wykonywana jest redukcja<br />

grafu. Polega ona na eliminacji krawędzi łączących wybrany<br />

wierzchołek z innymi wierzchołkami grafu, po czym wybierany<br />

jest kolejny (i + 1) wierzchołek, tym razem po analizie<br />

grafu zredukowanego. W ostatnim kroku wierzchołkom, które<br />

mają kolory zabronione i kolory dopełnień, przypisywane są<br />

wszystkie możliwe, występujące na grafie kolory dozwolone<br />

i kolory dopełnień.<br />

Poszczególne etapy kolorowania wierzchołków grafu niezgodności<br />

i dopełnień kolumn przedstawiono w [1,5]. W niniejszym<br />

artykule ograniczono się do przedstawienia<br />

końcowego efektu procesu kolorowania grafu niezgodności<br />

i dopełnień kolumn rozpatrywanej funkcji (rys. 8).<br />

Analizując pokolorowany graf (rys. 8b) można zauważyć,<br />

że wzorce kolumn z dozwolonym kolorem A pokryte są jednym<br />

implikantem (0-1), natomiast do pokrycia wzorca dopełnienia<br />

(kolor A’) konieczne jest użycie 2 implikantów (000, 11-). Korzystając<br />

z faktu, że relacja dopełnień kolumn jest relacją symetryczną,<br />

możliwa jest zamiana koloru dopełnienia A’<br />

z kolorem dozwolonym A. Operację tę przedstawiono na rys. 9.<br />

Siatki Karnaugha obrazujące poszczególne etapy syntezy<br />

uwzględniającej istnienie elementu XOR przedstawiono na<br />

rys. 10., przedstawiono również pierwotną siatkę Karnaugha<br />

już po zamianie wzorców kolumn, gdzie kolumny dopełnienia<br />

oznaczono kolorem zielonym.<br />

Po zamianie kolorów wzorzec dopełnienia (kolumna A’)<br />

występuje dla dwóch kolumn skojarzonych z wyrażeniem c’e.<br />

W tej sytuacji możemy rozpatrywać matrycę podziałów tak<br />

jakby zawierała ona dwa rodzaje kolumn: A i B. Skutkuje to<br />

mniejszą (w myśl twierdzenia Curtisa) liczbą bloków logicznych<br />

niezbędnych do realizacji bloku związanego. Wzorzec<br />

dopełnienia (kolumna A’) można natomiast uzyskać poprzez<br />

zanegowanie uzyskanego wyrażenia, wykorzystując do tego<br />

celu bramkę XOR występującą w bloku logicznym.<br />

Rys. 8. Graf niezgodności i dopełnień kolumn (a) i końcowy efekt<br />

kolorowania (b)<br />

Fig. 8. The Column Incompatibility and Complement Graph and result<br />

of the colouring process<br />

Rys. 9. Grafy niezgodności i dopełnień kolumn (a) i siatki Karnaugha<br />

(b) przed i po zamianie kolorów A↔A’<br />

Fig. 9. The Column Incompatibility and Complement Graphs (a) and<br />

Karnaugh maps (b) before and after exchange of the coulors<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 85


wykorzystanych bloków logicznych) w porównaniu z metodą<br />

klasyczną. Również w sensie szybkości (liczba warstw logicznych)<br />

prezentowana metoda syntezy jest bardziej efektywna.<br />

Wyniki końcowe<br />

Final results<br />

Metoda<br />

Liczba bloków PAL<br />

(bloki 3- iloczyn.)<br />

Liczba warstw<br />

logicznych<br />

Klasyczna 5 3<br />

Bazująca na dekompozycji<br />

kolumnowej<br />

Dekompozycja z wykorzystaniem<br />

bramki XOR<br />

4 3<br />

2 2<br />

Podsumowanie<br />

Rys. 10. Synteza funkcji logicznej f: B 5 → B ukierunkowana na wykorzystanie<br />

elementu XOR występującego w bloku logicznym<br />

Fig. 10. Implementation of the function f: B 5 → B based on using<br />

XOR gate method<br />

W artykule przedstawiono koncepcję syntezy logicznej dedykowanej<br />

strukturom CPLD bazującą na wykorzystaniu elementów<br />

XOR powszechnie występujących w blokach<br />

logicznych tych struktur. Zaproponowana metoda dekompozycji<br />

stanowi rozszerzenie tzw. dekompozycji kolumnowej. Jej<br />

istota polega na wyszukiwaniu dopełnień wzorców kolumn<br />

matrycy podziałów. W procesie poszukiwania wzorców kolumn<br />

można wykorzystać algorytm kolorowania wierzchołków<br />

grafu niezgodności i dopełnień kolumn [1].<br />

Oczywiście trudno na podstawie jednego prostego<br />

przykładu wyciągać daleko idące wnioski. Można jednak<br />

z proponowaną metodą wiązać duże nadzieje, ponieważ wyniki<br />

bardzo licznych eksperymentów zamieszczonych w [1],<br />

przeprowadzonych dla popularnych układów testowych<br />

(benchmark) pokazały, że metody bazujące na dekompozycji<br />

opracowane dla struktur CPLD dają znacznie lepsze rezultaty<br />

w porównaniu z metodą klasyczną. Zaproponowana<br />

metoda stanowi uzupełnienie dekompozycji kolumnowej<br />

i prowadzi do wyników niejednokrotnie lepszych, a przynajmniej<br />

nie gorszych, niż strategie syntezy bazujące wyłącznie<br />

na tej dekompozycji.<br />

Literatura<br />

Rys. 11. Realizacja funkcji uwzględniająca element XOR<br />

Fig. 11. Implementation of the function with XOR gate<br />

Realizację funkcji uzyskaną po dekompozycji uwzględniającej<br />

w syntezie istnienie bramki XOR przedstawiono<br />

na rys. 11.<br />

Zbiorcze zestawienie wyników dla analizowanego<br />

przykładu zamieszczono w tabeli. Jak widać, wynik syntezy<br />

opartej na proponowanej metodzie wykorzystującej element<br />

XOR jest znacznie lepszy pod względem powierzchni (liczby<br />

[1] Kania D.: Synteza logiczna przeznaczona dla matrycowych<br />

struktur logicznych typu PAL. Zeszyty Naukowe Politechniki<br />

Śląskiej, Gliwice 2004.<br />

[2] Ashenhurst R. L.: The decomposition of switching functions, Proceedings<br />

of an International Symposium on the Theory of Switching,<br />

April 1957.<br />

[3] Curtis H. A.: The Design of switching Circuits, D.van Nostrand<br />

Company Inc., Princeton, New Jersey, Toronto, New York 1962.<br />

[4] Łuba T., Selvaraj H.: A General Approach to Boolean Function<br />

Decomposition and its Applications in FPGA-based Synthesis.<br />

VLSI Design. Special Issue on Decompositions in VLSI Design,<br />

vol.3, no 3-4, 289-300, 1995.<br />

[5] Kania D., Grabiec W.: Synteza logiczna dla struktur CPLD typu<br />

PAL wykorzystująca elementy XOR. Biuletyn WAT, vol. LVI 3<br />

(647). Warszawa 2007, ss. 229-241.<br />

86 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Estymacja parametrów modelu Danga tranzystora MOS<br />

prof. dr hab. inż. JANUSZ ZARĘBSKI, mgr inż. DAMIAN BISEWSKI<br />

Akademia Morska w Gdyni, Katedra Elektroniki Morskiej<br />

Tranzystory MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) zajmują<br />

ważną pozycję we współczesnej elektronice i są głównie stosowane<br />

w elektronicznych układach wzmacniaczy, kluczy<br />

oraz przetwornic napięcia. Projektowanie oraz analiza<br />

układów z tymi tranzystorami wymaga użycia odpowiednich<br />

programów komputerowych.<br />

Popularnym i chętnie stosowanym przez inżynierów oraz<br />

konstruktorów wyżej wymienionych układów programem komputerowym<br />

jest PSPICE [1-7], zawierający wbudowane fizyczne<br />

modele elementów biernych oraz modele<br />

podstawowych elementów półprzewodnikowych, w tym rozważanego<br />

tranzystora MOS. W programie PSPICE (wersja<br />

10.0) dostępne są następujące modele tranzystora MOS:<br />

model Shichmana-Hodgesa, model Meyera, model Danga,<br />

model BSIM, model EKV, model BSIM3 [1].<br />

Na szczególną uwagę zasługuje model Danga, wykorzystywany<br />

często, np. przez producentów tranzystorów MOS<br />

przy formułowaniu firmowych makromodeli tych elementów<br />

[8-11]. Postać analitycznych zależności opisujących model<br />

Danga tranzystora MOS, jak również definicje poszczególnych<br />

parametrów występujących w tych zależnościach są prezentowane<br />

w literaturze [1-7].<br />

Wartości parametrów modelu Danga dla wybranych typów<br />

tranzystorów MOS są udostępniane na stronach WWW [8-11]<br />

przez producentów tych tranzystorów, jak również są umieszczone<br />

w bibliotece PWRMOS.LIB programu PSPICE [12].<br />

Jednakże dla licznej grupy tranzystorów MOS wartości parametrów<br />

rozważanego modelu nie są udostępnione przez<br />

producentów tych tranzystorów, jak również nie są one dostępne<br />

w wyżej wymienionej bibliotece.<br />

W pakiecie PSPICE’a (od wersji 9.0) umieszczono specjalistyczny<br />

program MODEL EDITOR, służący do estymacji<br />

parametrów modeli wielu elementów półprzewodnikowych:<br />

diody p-n, tranzystora bipolarnego, tranzystora JFET, w tym<br />

również modelu Danga tranzystora MOS. We wcześniejszych<br />

wersjach pakietu PSPICE program MODEL EDITOR występował<br />

pod nazwą PARTS. W literaturze można odnaleźć informacje<br />

na temat oceny przydatności wymienionego<br />

programu do estymacji parametrów wybranych modeli elementów<br />

półprzewodnikowych [13-17].<br />

W pracy omówiono proces estymacji parametrów modelu<br />

Danga z wykorzystaniem programu MODEL EDITOR. Zbadano<br />

wpływ doboru liczby oraz rozmieszczenia punktów pomiarowych<br />

na charakterystykach tranzystora, na uzyskane<br />

wartości wybranych parametrów wymienionego modelu. Dla<br />

arbitralnie wybranego typu tranzystora MOS, porównano wartości<br />

parametrów modelu Danga, uzyskane z programu<br />

MODEL EDITOR z wartościami parametrów modelu tego tranzystora<br />

podanymi w bibliotece PWRMOS.LIB [12]. Ponadto,<br />

przeprowadzono estymację parametrów rozważanego w pracy<br />

typu tranzystora MOS w oparciu o jego dane katalogowe.<br />

Program MODEL EDITOR<br />

Przeprowadzenie estymacji parametrów modelu Danga<br />

w programie MODEL EDITOR wymaga wykonania pomiarów<br />

odpowiednich charakterystyk rozważanego elementu, a następnie<br />

wprowadzenia jako danych wejściowych do MODEL<br />

EDITORa współrzędnych punktów pomiarowych leżących na<br />

tych charakterystykach. Po obliczeniach wykonanych przez<br />

program MODEL EDITOR uzyskuje się wymagany zbiór wartości<br />

parametrów. Alternatywą jest wprowadzenie do programu<br />

MODEL EDITOR odpowiednich współrzędnych<br />

punktów na podstawie danych katalogowych elementu, o ile<br />

takie informacje są dostępne. Dane wejściowe muszą dotyczyć<br />

temperatury otoczenia równej 300K.<br />

Program MODEL EDITOR wykorzystuje współrzędne<br />

punktów leżących na ośmiu charakterystykach stanowiących<br />

wykresy następujących zależności:<br />

a) transkonduktancji od prądu drenu g m<br />

= f(i D<br />

). Z zależności<br />

tej wyznaczana jest wartość współczynnika transkonduktancji<br />

KP oraz szerokości kanału W,<br />

b) prądu drenu od napięcia bramka-źródło i D<br />

= f(u GS<br />

). Wymieniona<br />

zależność jest niezbędna do estymacji napięcia<br />

progowego VTO,<br />

c) rezystancji włączenia od prądu drenu R ON<br />

= f(i DS<br />

). Zależność<br />

ta służy do obliczenia rezystancji szeregowej<br />

drenu R D<br />

,<br />

d) prądu drenu od napięcia dren-źródło i D<br />

= f(u DS ) przy<br />

U GS<br />

=0V. Z zależności tej wyznaczana jest wartość rezystancji<br />

R DS<br />

włączonej między drenem i źródłem tranzystora,<br />

e) prądu drenu od napięcia źródło-dren i D<br />

= f(u SD<br />

). Wymieniona<br />

zależność jest niezbędna do estymacji wartości<br />

prądu nasycenia IS złącza izolującego obszar drenu od<br />

podłoża, współczynnika emisji N tego złącza oraz rezystancji<br />

szeregowej podłoża R B<br />

,<br />

f) pojemności C OSS<br />

od napięcia dren-źródło C OSS<br />

= f(u DS<br />

) przy<br />

U GS<br />

=0V. Zależność ta służy do obliczenia wartości pojemności<br />

C BD<br />

diody podłożowej przy zerowej polaryzacji, potencjału<br />

wbudowanego diody podłożowej PB, współczynnika<br />

MJ opisującego profil domieszkowania płaskiej części złącza<br />

w diodzie podłożowej oraz współczynnika FC określającego<br />

granicę linearyzacji pojemności tego złącza,<br />

g) napięcia bramka-źródło od ładunku bramki (charakterystyka<br />

ładowania bramki u GS<br />

= f(Q G<br />

)). Z zależności tej wyznaczane<br />

są wartości parametrów C GSO<br />

, C GDO<br />

,<br />

związanych z opisem pojemności bramkowych,<br />

h) czasu opadania od prądu drenu t f = f(i D<br />

). Zależność ta jest<br />

niezbędna do estymacji wartości rezystancji szeregowej<br />

bramki R G<br />

.<br />

Jak wynika z instrukcji użytkowania programu MODEL<br />

EDITOR [1], podstawową wadą tego programu jest to, że nie<br />

wszystkie wartości parametrów modelu Danga są wyznaczane<br />

przez program. Ponadto, w przypadku charakterystyk wymienionych<br />

w punktach a, b, c, e oraz f nie jest określona wymagana<br />

liczba, a w przypadku wszystkich charakterystyk również<br />

rozmieszczenie punktów pomiarowych na charakterystykach<br />

tranzystora, stanowiących dane wejściowe do programu.<br />

Ocena przydatności programu<br />

MODEL EDITOR<br />

W celu oceny przydatności programu MODEL EDITOR przy<br />

estymacji parametrów modelu Danga tranzystora MOS przeprowadzono<br />

eksperyment numeryczny polegający na porównaniu<br />

obliczonych przez ten program wartości parametrów<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 87


ozważanego modelu z umieszczonymi w bibliotece programu<br />

PSPICE [1] wartościami parametrów tranzystora MOS o symbolu<br />

IRF143 [11]. Dane wejściowe do programu MODEL EDI-<br />

TOR stanowiły współrzędne punktów na charakterystykach<br />

wymienionych w poprzednim punkcie, wygenerowane w programie<br />

PSPICE dla bibliotecznych wartości badanego tranzystora<br />

(tabela 1).<br />

Tab. 1. Biblioteczne wartości parametrów modelu Danga dla tranzystora<br />

IRF143 [11]<br />

Tabl. 1. The library values of the Dang model parameters of the<br />

transistor IRF143 [11]<br />

Parametr Wartość Parametr Wartość<br />

C BD 2,398 nF PHI 0,6 V<br />

C GSO 955 pF R D 42,19 mΩ<br />

C GDO 550,4 pF R DS 355,6 kΩ<br />

DELTA 0 R G 3,926 Ω<br />

ETA 0 R S 21,94 mΩ<br />

FC 0,5 THETA 0<br />

GAMMA 0 TOX 10 -7 m<br />

IS 2,823 pA TT 142 ns<br />

KAPPA 0,2 U0 600 V<br />

KP 20,61 µA/V 2 VMAX 0 V<br />

L 2 µm VTO 3,189 V<br />

MJ 0,5 W 0,97 m<br />

N 1 XJ 0<br />

PB 0,8 V - -<br />

Na rysunku 1. pokazano charakterystyki tranzystora<br />

IRF143: zależność transkonduktancji w funkcji prądu drenu<br />

(a), zależność prądu drenu w funkcji napięcia bramka-źródło<br />

(b), zależność rezystancji włączenia w funkcji prądu drenu (c),<br />

zależność prądu drenu w funkcji napięcia dren-źródło (d), zależność<br />

prądu drenu w funkcji napięcia źródło-dren (e), zależność<br />

pojemności C OSS<br />

w funkcji napięcia dren-źródło (f),<br />

charakterystykę ładowania bramki (g) oraz zależność czasu<br />

opadania w funkcji prądu drenu t f = f(i D<br />

) (h), obliczone w programie<br />

PSPICE dla wartości parametrów z tabeli 1.<br />

Charakterystyki z rys. 1 obliczono w układach, których reprezentacje<br />

obwodowe są dostępne zarówno w literaturze [18],<br />

jak i w karcie katalogowej badanego elementu półprzewodnikowego<br />

[11]. Na rys. 1a - 1f oraz 1h zaznaczono punkty, których<br />

współrzędne stanowią dane wejściowe dla programu MODEL<br />

EDITOR. W przypadku charakterystyk z rys. 1g dane wejściowe<br />

stanowią wartości ładunków Q GS<br />

i Q GD<br />

odczytane z tych charakterystyk<br />

przy określonych wartościach prądu drenu i D<br />

oraz<br />

napięcia dren-źródło u DS<br />

. Z kolei danymi wejściowymi z rys. 1h<br />

jest czas opadania t f , prąd i D<br />

oraz napięcie u DS<br />

, odczytane<br />

z tego rysunku. Sposób wyznaczenia wartości ładunków Q GS<br />

i Q GD<br />

szczegółowo opisano w pracy [18]. W tabeli 2, zebrano<br />

odczytane z rys. 1g wartości parametrów Q GS<br />

, Q GD<br />

w wybranych<br />

punktach pracy tranzystora o współrzędnych (I D<br />

,U DS<br />

).<br />

Przeprowadzono estymację wartości wymienionych w poprzednim<br />

rozdziale parametrów modelu Danga tranzystora<br />

IRF143 wykorzystując współrzędne punktów podane na rys. 1<br />

oraz w tabeli 2. Na rys. 2 przedstawiono wyrażone w procentach<br />

wartości błędu względnego poszczególnych parametrów modelu,<br />

zdefiniowanego jako stosunek różnicy wartości obliczonej<br />

i nominalnej (tabela 1) do wartości nominalnej określonego parametru,<br />

w zależności od sposobu doboru danych wejściowych.<br />

Tab. 2. Wartości parametrów Q GS , Q GD odczytane z rys. 1g<br />

Tabl. 2. The values of the parameters Q GS , Q GD from Fig. 1g<br />

Nr odczytu U DS [V] I D [A] Q GS [nC] Q GD [nC]<br />

1 30 10 9,8 15,2<br />

2 50 10 9,8 25,8<br />

3 80 10 9,8 41,8<br />

4 30 20 11,6 14<br />

5 50 20 11,6 24,8<br />

6 80 20 11,6 41<br />

7 30 30 12,8 13,8<br />

8 50 30 12,8 24,6<br />

9 80 30 12,8 40,2<br />

Jak widać z rys. 2, duże znaczenie ma dobór liczby oraz rozmieszczenia<br />

punktów na charakterystykach z rys. 1, stanowiących<br />

dane wejściowe do programu MODEL EDITOR.<br />

Najmniejszy błąd wyznaczania wartości parametrów KP oraz<br />

W uzyskano wybierając punkty z rys. 2a dla niewielkich wartości<br />

prądu drenu tranzystora (punkt A1 lub punkty A1 i A2). Jak widać<br />

z rys. 2b, bardzo dobre rezultaty estymacji parametru VTO uzyskuje<br />

się dobierając punkty pomiarowe z charakterystyki w zakresie<br />

nasycenia dla najwyższej wartości napięcia dren-źródło<br />

(punkty B4...B6 oraz B5). W przypadku estymacji parametru R D<br />

niewielki błąd obliczeń popełniono we wszystkich przypadkach,<br />

w których wybrano punkt z charakterystyki R ON<br />

= f(i D<br />

) (rys. 1c)<br />

w zakresie liniowym. Z rys. 2d widać, że wybór punktu pomiarowego<br />

na charakterystyce i D<br />

= f(u DS<br />

) nie ma istotnego wpływu<br />

na obliczone wartości parametru R DS<br />

- we wszystkich rozważanych<br />

przypadkach błąd obliczeń ≤ 0,01%. Z kolei przy<br />

estymacji wartości parametrów I S<br />

, N oraz R B<br />

stosunkowo niewielki<br />

błąd popełnia się wybierając punkty z charakterystyki<br />

z rys. 1e w zakresie blokowania (część charakterystyki obejmująca<br />

punkty E1...E6). Najmniejszy błąd wyznaczania wartości<br />

parametrów C BD<br />

, PB oraz MJ uzyskano wybierając punkty w początkowym<br />

zakresie charakterystyki z rys. 1f (punkty F1...F4).<br />

Jak wynika z rys. 2g oraz danych zebranych w tabeli 2, najmniejsze<br />

błędy estymacji wartości parametrów C GSO<br />

oraz C GDO<br />

uzyskano korzystając z charakterystyk ładowania bramki zmierzonych<br />

dla najniższej wartości prądu drenu. Z kolei jak widać na<br />

rys. 2h, dobre rezultaty estymacji parametru R G<br />

uzyskano dla<br />

punktów na charakterystyce t f = f(i D<br />

) przy stosunkowo niewielkich<br />

wartości napięcia dren-źródło (U DS<br />

≤ 20 V).<br />

Estymacja parametrów modelu Danga<br />

tranzystora MOS wykorzystując dane<br />

katalogowe<br />

Przeprowadzono estymację wartości parametrów modelu<br />

Danga tranzystora IRF143 programem MODEL EDITOR, wykorzystując<br />

charakterystyki katalogowe tego elementu [11].<br />

Współrzędne punktów na poszczególnych charakterystykach,<br />

stanowiące dane wejściowe do programu MODEL EDITOR<br />

dobrano w taki sposób, aby uzyskać minimalne wartości<br />

błędów estymacji poszczególnych parametrów, analogicznie<br />

jak pokazano to na rys. 1 i 2.<br />

Uzyskane w programie MODEL EDITOR wartości parametrów<br />

modelu Danga badanego tranzystora zebrano w tabeli 3.<br />

88 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


a) b) c)<br />

d) e) f)<br />

g) h)<br />

Rys. 1. Charakterystyki tranzystora IRF143: g m = f(i D ) (a), i D = f(u GS ) (b), R ON = f(i DS ) (c), i D = f(u DS ) (d), i D = f(u SD ) (e), C OSS = f(u DS ) (f),<br />

u GS = f(Q G ) (g) oraz t f = f(i D ) (h)<br />

Fig. 1. g m = f(i D ) (a), i D = f(u GS ) (b), R ON = f(i DS ) (c), i D = f(u DS ) (d), i D = f(u SD ) (e), C OSS = f(u DS ) (f), u GS = f(Q G ) (g) oraz t f = f(i D ) (h) characteristics<br />

of the transistor IRF143<br />

a) b) c)<br />

d) e) f)<br />

g) h)<br />

Rys. 2. Wartości błędu względnego estymacji wyznaczonych w programie MODEL EDITOR wartości wybranych parametrów modelu<br />

Danga w zależności od sposobu doboru punktów pomiarowych na charakterystykach z rys. 1 oraz danych z tabeli 2<br />

Fig. 2. The influence of the number and the distribution of the measuring input data (Fig. 1 and Tabl. 2) of the MOS transistor IRF143 on the<br />

values of the error of some Dang model parameters<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 89


Tab. 3. Obliczone w programie MODEL EDITOR wartości parametrów<br />

modelu Danga dla tranzystora IRF143 [11]<br />

Tabl. 3. The values of the Dang model parameters obtained from<br />

the MODEL EDITOR of the transistor IRF143 [11]<br />

Parametr Wartość Parametr Wartość<br />

C BD 3,28 nF PB 2,86 V<br />

C GSO 605 pF R D 21,89 mΩ<br />

C GDO 824 pF R DS 240 kΩ<br />

FC 0,5 R G 5,8659 Ω<br />

IS 0,1 A R B 0,0134 Ω<br />

KP 20,6 µA/V 2 VTO 3,632 V<br />

MJ 1,233 W 0,78 m<br />

N 5 - -<br />

Jak widać z tabeli 3, tylko wartość parametru KP, wyznaczona<br />

na podstawie charakterystyk katalogowych jest praktycznie<br />

równa wartości bibliotecznej z tabeli 1, a pozostałe różnią się.<br />

Wykonano obliczenia modelem Danga statycznych i dynamicznych<br />

charakterystyk rozważanego typu tranzystora<br />

MOS wykorzystując zarówno wartości parametrów modelu<br />

uzyskane w programie MODEL EDITOR (tabela 3), jak i wartości<br />

parametrów tego tranzystora podane w bibliotece<br />

PWRMOS.LIB (tabela 1).<br />

Przykładowo, na rysunku 3 porównano obliczone oraz katalogowe<br />

charakterystyki wyjściowe (a) i charakterystyki ładowania<br />

bramki (b) tranzystora IRF143 w temperaturze<br />

pokojowej. Punkty połączone linią przerywaną reprezentują<br />

charakterystyki katalogowe [11], natomiast kolorem niebieskim<br />

i czerwonym (linia ciągła) oznaczono wyniki obliczeń modelem<br />

Danga z wykorzystaniem odpowiednio bibliotecznych<br />

(tabela 1) oraz uzyskanych w programie MODEL EDITOR<br />

(tabela 4) wartości parametrów tego modelu.<br />

Na rysunku 3, różnice pomiędzy wynikami symulacji i katalogowymi<br />

wynikami pomiarów są większe dla bibliotecznych<br />

wartości parametrów modelu, niż w przypadku wartości obliczonych<br />

w programie MODEL EDITOR. Na charakterystykach<br />

z rys. 3a w zakresie nasycenia przy napięciach U GS<br />

= 6 i 7 V<br />

różnice między charakterystykami katalogowymi i obliczonymi<br />

dla bibliotecznych wartości parametrów modelu dochodzą do<br />

40%, natomiast w przypadku wyników obliczeń dla wartości<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe (a) oraz ładowania bramki (b)<br />

tranzystora IRF143<br />

Fig. 3. The output (a) and the gate charge (b) characteristics of the<br />

transistor IRF143<br />

uzyskanych z programu MODEL EDITOR różnice są praktycznie<br />

niezauważalne. Z kolei, przy napięciu U GS<br />

=9V dobrą<br />

zgodność wyników symulacji, z wykorzystaniem wartości parametrów<br />

uzyskanych w programie MODEL EDITOR oraz<br />

charakterystyk katalogowych uzyskano wyłącznie w zakresie<br />

triodowym dla napięcia U DS<br />


Lead free electronic module test research for<br />

motion control of cars front windscreen wipers<br />

(Testowanie bezołowiowego modułu elektronicznego sterującego<br />

wycieraczki szyby przedniej samochodu)<br />

PhD Assistant Professor ANELIYA MANUKOVA-MARINOVA 1 ,<br />

PhD Associate Professor VALENTIN DIMOV 1 , PhD Associate Professor AVRAM LEVI 1 ,<br />

MsC DOJCHIN STEPHANOV 2<br />

1 University of Rousse, Rousse, Bulgaria<br />

2 ELI-EKC SMD, Town of Layskovetz, rejoin of Veliko Tarnovo, Bulgaria<br />

There is an increased demand for complying with the<br />

environmental protection requirements not only in the modern<br />

electronic production process, but also in their out exploitation<br />

phase [1,6]. The electronic automobile industry observes the<br />

conditions set by the European Union on ecologically clean<br />

products and introduces its lead free technology production<br />

everythere, where people safety regulations permit [4].<br />

Ecologically clean (Green)-electronic items and wares<br />

become more and more popular, but common standards<br />

objectively defining them as such have not been existing yet,<br />

so each producer creates their own criteria for this. For<br />

product validation and production process feasibility series of<br />

tests and control operations have to be performed [2]. The<br />

tests are of a general character and climatic tests.<br />

A block scheme and action of an<br />

electronic system for operating front<br />

windscreen wipers of a car<br />

The entity is an electronic system for operating front<br />

windscreen wipers of a car with a central microcontroller. On<br />

Fig. 1 the block scheme is shown; while on Fig. 2 a printed<br />

circuit boardand the materials, used in the production process<br />

are described. The complexity of the functions specifies the<br />

elected standard microcontroller ST 72 F361. Its frequency is<br />

16 MHz and is provided by an exterior quartz soundboard.<br />

• Saturation of surface assembly parts: solder paste Indium<br />

241 LF.<br />

• Wave soldering: flux Alpha EF 6000, solder<br />

Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />

• Multi-wave solder: flux - alpha EF 6000, solder<br />

Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />

• Selective polish: HumiSeal 1R32A-2, Thinner 503.<br />

Fig. 2. A printed circuit board of an electronic system for operating<br />

front windscreen wipers of a car<br />

Rys. 2. Płytka drukowana modułu elektronicznego sterującego silnikiem<br />

mechanizmu wycieraczek szyby przedniej samochodu<br />

• Selective solder: flux Kester 959T, solder<br />

Sn96.5Ag3.0Cu0.5.<br />

The sensor part is operated by Hall sensors. Two of the<br />

sensors are used for defining the engine position, and the<br />

other two describe its speed.<br />

LIN (local information network) communication guarantees<br />

a reliable connection with the central car computer. It is<br />

necessary that some of the main parameters to be exposed<br />

on the dashboard.<br />

In the scheme a DC engine is chosen with a statorpersistent<br />

magnet. The change of the direction of the turn of<br />

the engine anchor with the help of a persistent magnet is<br />

achieved by changing the polarity of the supplying voltage.<br />

The engine operating block is run as a bipolar switch on the<br />

base of MOSFET transistors. One of the terminal of the<br />

operating integral block scheme is used for a direct contact<br />

with the engine of the other windscreen wipers.<br />

Results of the used part reflow profile<br />

testing<br />

Fig. 1. A block scheme of an electronic system for operating front<br />

windscreen wipers of a car<br />

Rys. 1. Schemat blokowy modułu elektronicznego sterującego silnikiem<br />

mechanizmu wycieraczek szyby przedniej samochodu<br />

The solder-wave and the selective solder are the cardinal<br />

processes in the production of the electronic system. Their<br />

parameters are essential to the reliability and the working<br />

capacity of the product [3,5].<br />

Reflow profile design is indispensable not only for lead but<br />

also for lead free products [2,6]. The form of the temperature<br />

profile indicates if all requirements for optimal solder quality<br />

have been observed.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 91


The testing of the reflow profile of the used parts of the<br />

product is done according to 100 selected for conducting the<br />

study modules of printed circuit boards. From it modules A and<br />

B have been chosen to demonstrate the achieved results.<br />

Solder wave parameter test control in soldering<br />

surface assembled parts<br />

Part of the electronic product elements are soldered with the<br />

widespread method of Wave Soldering. In this method a<br />

temperature of about 15...35°C higher than the one used tin<br />

and lead alloys this applied. This needs a more complex<br />

technological equipment and can damage either some of the<br />

parts or the relations between them. That necessitates careful<br />

product quality control. Using special fluxes is essential to the<br />

production process in order to protect the steel parts of the<br />

equipment.<br />

Experimental board of the chosen modules has been tested.<br />

The results are processed in a graphic way by a specialized<br />

program called ERSA Shuttle and are presented on Fig. 3.<br />

The time for dipping is from 3 to 5 s at a maximum<br />

temperature of 373,8°C of the bathtub. The used flux is 0,03 g<br />

for a module.<br />

The resulting parameters match the requirements for<br />

working with lead free solders. The temperature of the printed<br />

circuit board on which the elements are soldered, changes in<br />

a particular manner, which is known as reflow profile and goes<br />

through four compulsory stages. At the preheating stage, the<br />

printed circuit board together with the elements and the<br />

applied on the selected for soldering spots solder paste are<br />

heated to the minimum soak temperature of 50°C. The<br />

increasing temperature speed rate is by 1°C/s, which is<br />

optimal for preventing element damage.<br />

The thermal soak stage shown on graph 3 lasts for 2.2<br />

minutes and ends at a temperature of 91°C. The increasing<br />

temperature speed rate is by 0.5 and 1°C/s. At a higher speed<br />

the solder paste might oxidize and form small balls which will<br />

result in poor soldering.<br />

At the next soldering stage the temperature rise is more<br />

considerable than at the previous two stages. First the<br />

liquidous temperature of 210°C is reached at which the solder<br />

is melted and spilled, the heating continues until it reaches<br />

the peak temperature of 223.3°C. This value is defined by the<br />

soldering ally, the type of the polish of the soldering surfaces<br />

and the type of the soldering elements. The maximum dwell<br />

time is 10 s to assure the cleaning effect on the flux and<br />

a good spilling of the soldering ally. A metallurgical connection<br />

is achieved which is essential for the firmness of the soldering.<br />

The last stage is the cool down stage. It starts with the<br />

termination of the heating. The cooling of the printed circuit<br />

boards to room temperature is reached for 1.5 minutes, and<br />

the speed of the temperature fall again determines the<br />

firmness of the soldering and is 3°C/s.<br />

Test control of thermopeofile parameters in<br />

the process of soldering surface assembled parts<br />

The conducting of the test is associated with the reflow profile<br />

values in the different parts of the printed circuit board and is<br />

indicative of the similarity of the undergoing thermal<br />

Fig. 3. Reflow profile of the solder-wave Rys. 3. Profil temperaturowy lutowania na fali<br />

92 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


processes in it. The measurement is done on a test board<br />

from the chosen modules and four thermocouples, situated in<br />

different zones on it. The results are processed in a graphic<br />

type and shown on Fig. 4.<br />

The received parameters comply with the requirements for<br />

working with lead-free solders. Taking into consideration the<br />

graphic and tabular results from Fig. 4 we can assess an<br />

average temperature difference less than 10°C at a maximum<br />

heating temperature of 238.3°C. Following the standard<br />

norms and regulations for this article production these<br />

temperatures are within the norm requirements and thus<br />

process verification has been successfully completed.<br />

Test control of selective solder parameters in<br />

the process of soldering surface assembled parts<br />

The measurement is done on a test board from the chosen<br />

modules. The results are processed in a graphic type by<br />

a specialized program named ERSA Shuttle and shown on<br />

Fig. 5. All parameters conform to the conditions of work with<br />

lead free solders.<br />

Results of the analysis of the spolders<br />

control according to IPC A610 D<br />

Fig. 4. Reflow profile of simultaneously tested zones of the electronic<br />

module<br />

Rys. 4. Profil temperaturowy równoległych testowanych obszarów<br />

modułu elektronicznego<br />

The study and the estimate on the process of component<br />

saturation are done according to classes 3 from IPC A 610<br />

D „Suitability of electronic products”. Class 3 is the highest<br />

Fig. 5. A reflow profile of a selective solder Rys. 5. Profil temperaturowy lutowania selektywnego<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 93


one by this standard. The products that fulfil its<br />

requirements have the highest operating capability and<br />

reliability in this class. Life supporting systems, all control<br />

systems, security car systems and many other depend on<br />

their proper running.<br />

Visual control is performed for the chosen A and B<br />

modules of all the selected for that study modules and the<br />

main controlled faults and deviations have been traced. The<br />

results are presented in Table.<br />

The defects in saturation can be produced as a result of<br />

human’s fault in the process of programming and machine<br />

loading or of detail variations and the saturation machine<br />

management. What is needed in both cases is a correction of<br />

the product matrix.<br />

Controlling at the starting stage is crucial. When it is not<br />

high enough cold solders with dull color and granulative<br />

structure are produced as a result. On the other hand too high<br />

temperature can damage either elements or the printed circuit.<br />

Solder analysis of an electronic system for operating front windscreen wipers according to IPC A610 D electronic products reliability standards<br />

Analiza spoin modułu elektronicznego sterującego wycieraczki samochodowe na szybach przednich zgodnie z IPC A610 D<br />

Small balls and tin dusting<br />

The small balls are captured (capsulated) and<br />

do not interrupt the process of the flow of electricity<br />

module А<br />

module B<br />

Balloons in the lacquered surface<br />

The binding of the adjacent parts and landings<br />

does not happen with a conducting material and are<br />

not a result of a poor adhesion<br />

module А<br />

module B<br />

A crack in the solder<br />

The experiment is performed under ultraviolet light.<br />

The zones coincide with the ones specified in<br />

the technical documentation<br />

Side-components<br />

Side-components<br />

A zone without a lacquered coating<br />

The leak base is visible. The leak does not reach<br />

the surface at the terminal<br />

module А<br />

module B<br />

94 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Fig. 6. Cuts to C31 - module A Rys. 6. Przekrój modułu A<br />

In order not to get intermetal compounds that can serve as a<br />

prerequisite for decreasing solder strength the necessary time<br />

under the maximum temperature should not be exceeded.<br />

The right reflow profile selection and its strict observance<br />

play an essential role for the product reliability. For example,<br />

it is more important that the product soldering ends will to get<br />

oxidized, a condition which is not so crucial when tin-lead<br />

alloys are used and this fact leads to a more careful choice of<br />

flux. The oxidizing can happen in the first three stages if the<br />

temperature speed increase is less than necessary, while at<br />

a faster temperature speed increase some damages to the<br />

printed circuit boards or elements a are possible.<br />

While studying solder cracks a cross-sectional slash is<br />

made. The study results prove to be fully compliable with the<br />

standard requirements. For the chosen modules polished<br />

cross-sectional slashes on the C31 condenser are made. The<br />

results are shown on Fig. 6 and Fig. 7.<br />

The Analysis results of the cuts from Figures 6. and 7.<br />

show that the solders are homogeneous and are with good<br />

shape, filling as well as adhesiveness to the contact surface.<br />

No micro cracks and air bubbles critical for the fixture of the<br />

solders has been observed.<br />

Results<br />

All experiments do not demonstrate unacceptable deviations.<br />

In all cases of incompatibility with the standard quality<br />

requirements a plan for immediate corrective actions and their<br />

execution in the product production process is applied.<br />

Fig. 7. Cuts to C31 - module B Rys. 7. Przekrój modułu B<br />

In reply to the incompatible with the standard quality<br />

requirements results an additional approval of the component<br />

producers is needed.<br />

Reference<br />

[1] Directive 2002/95/EC of the European Parliament and of the<br />

Council of 27 January 2003 on the restriction of the use of<br />

certain hazardous substances in electrical and electronic<br />

equipment. Official Journal of the European Union,<br />

13.02.2004, pp. 19-23.<br />

[2] Drozd Z.: Reliability of Lead-free Soldered Joints in Electronic<br />

Products. Prace Przemysłowego <strong>Instytut</strong>u Elektroniki, Warszawa,<br />

Rok XLVII (153), ss. 95-103.<br />

[3] Friedel K.: Technologia lutowania spoiwami bezołowiowymi. III<br />

Krajowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Ekologia w elektronice”,<br />

Warszawa, 5-6 grudnia 2004 r., Materiały konferencyjne,<br />

Przemysłowy <strong>Instytut</strong> Elektroniki, ss. 49-57.<br />

[4] Manukova A., D. Trifonova, V. Dimov, A. Levi: Quality of leadfree<br />

solder joints applied on frequency synthesizer for automotive<br />

electronics. Monigrafies of Tele & Radio Research Institute, vol.<br />

1. Progress in Eco-Electronics, Warsaw, 2008, ss. 101-107.<br />

[5] Sitek J., Kozioł G.: Projekt GreenRoSE - doświadczenia w<br />

bezołowiowym lutowaniu rozpływowym i na fali. Prace Przemysłowego<br />

<strong>Instytut</strong>u Elektroniki, Warszawa, Rok XLVII (153),<br />

ss. 74-83.<br />

[6] Куцаров С.: RoHS технологии в електрониката, сп.<br />

ИНЖЕНЕРИНГ РЕВЮ, бр.5, 2006 cc. 52-64.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 95


Modele i makromodele tranzystorów MOS mocy<br />

dla programu SPICE<br />

prof. dr hab. inż. JANUSZ ZARĘBSKI, mgr inż. DAMIAN BISEWSKI<br />

Akademia Morska w Gdyni, Katedra Elektroniki Morskiej<br />

Modelowanie tranzystorów MOS mocy jest ważnym zagadnieniem,<br />

istotnym z punktu widzenia projektowania i analizy<br />

układów elektronicznych i energoelektronicznych, w których<br />

występują te elementy. Współczesny inżynier - konstruktor takich<br />

układów, musi dysponować wiarygodnymi modelami tranzystora<br />

MOS mocy oraz programami komputerowymi<br />

akceptującymi te modele. Takim programem jest na przykład<br />

program SPICE, dostępny obecnie w wielu odmianach, np.<br />

PSPICE, ISSPICE, LTSPICE, z których każda stanowi swoiste<br />

rozwinięcie wersji podstawowej.<br />

W programie SPICE są dostępne, zróżnicowane pod<br />

względem złożoności i dokładności, wbudowane modele tranzystora<br />

MOS, które jak wynika z literatury [1-6] można z powodzeniem<br />

stosować do modelowania rozważanych<br />

elementów mocy. W literaturze krajowej oraz zagranicznej odnaleźć<br />

można wiele publikacji szczegółowo opisujących<br />

postać tych modeli, na przykład [7-12].<br />

Podstawową cechą poprawnego modelowania jest zachowanie<br />

racjonalnego kompromisu pomiędzy złożonością<br />

i dokładnością modelu. Z reguły dokładniejszy model zawiera<br />

większą liczbę parametrów, uwzględnia więcej zjawisk fizycznych,<br />

posiada bardziej złożony opis, co w konsekwencji<br />

prowadzi do bardziej czasochłonnych analiz.<br />

Program SPICE umożliwia formułowanie, tzw. makromodeli<br />

[13] elementów w postaci podukładów. Makromodele<br />

takie tworzy się wykorzystując wbudowane w programie<br />

SPICE modele elementów półprzewodnikowych i elementów<br />

biernych oraz prądowe i napięciowe źródła sterowane, dostępne<br />

w tym programie.<br />

Głównym celem tworzenia makromodeli elementów<br />

półprzewodnikowych, w tym makromodeli tranzystorów MOS<br />

mocy, jest poprawa dokładności opisu elementu poprzez<br />

uwzględnienie zjawisk fizycznych, nieuwzględnionych na<br />

przykład w modelach wbudowanych w programie SPICE, a istotnych<br />

z punktu widzenia działania tego elementu. Makromodele<br />

stanowią również użyteczne narzędzie do analizy<br />

właściwości nowych konstrukcji elementów półprzewodnikowych<br />

wykonanych w nowoczesnych technologiach, na<br />

przykład wykorzystujących materiały o dużej szerokości przerwy<br />

energetycznej, opisanych odmiennymi zależnościami<br />

analitycznymi w stosunku do zależności występujących we<br />

wbudowanych modelach programu SPICE.<br />

Z uwagi na sposób formułowania można wyróżnić dwa rodzaje<br />

makromodeli [1]:<br />

• makromodele hybrydowe, stanowiące połączenie wbudowanych<br />

w programie SPICE modeli tranzystora MOS,<br />

diody p-n, źródeł sterowanych oraz elementów biernych,<br />

• makromodele w pełni implementowane, w których nie występują<br />

odwołania do wbudowanych modeli tranzystora<br />

MOS, natomiast ich rolę przejmują źródła sterowane o wydajnościach<br />

opisanych dowolną zależnością analityczną,<br />

w której wybrany parametr może być traktowany jako<br />

zmienna niezależna.<br />

W pracy omówiono problematykę modelowania tranzystorów<br />

MOS mocy, rozważając kolejno modele wbudowane<br />

oraz makromodele tego elementu. Rozważania teoretyczne<br />

zilustrowano wynikami symulacji i pomiarów wybranego wysokonapięciowego<br />

tranzystora MOS mocy. Przeprowadzono<br />

ocenę dokładności rozważanych modeli i makromodeli.<br />

Modele wbudowane<br />

Wbudowane w programach klasy SPICE (like-SPICE tools)<br />

modele tranzystora MOS cechują się różną dokładnością<br />

i złożonością, a zatem również liczbą parametrów. W tabeli<br />

zamieszczono syntetyczne informacje o najpopularniejszych<br />

zdaniem autorów, modelach tranzystora MOS: modelu Shichmanna-Hodgesa<br />

[7-12], modelu Danga [14], modelu Sakurai-<br />

Newtona [15], modelu EKV (Enz-Krummenacher-Vittoz) [16]<br />

oraz modelach BSIM [17].<br />

Jak widać, rozważane modele opracowane w latach 1968-<br />

2001 przeznaczone są do projektowania i analizy układów<br />

z tranzystorami o bardzo zróżnicowanej długości kanału - od<br />

0,1 µm do kilku µm i liczbie parametrów od kilku (S-H) do ponad<br />

stu (BSIM3v3), a użytkownik programu SPICE musi znać wartość<br />

parametru Level, aby móc wybrać interesujący go model.<br />

Modele tranzystora MOS w wybranych programach komputerowych<br />

Models of the MOS transistor built-in in chosen computer programs<br />

Nazwa modelu lub<br />

nazwisko autora<br />

(rok opracowania)<br />

Poziom modelowania<br />

w danym programie<br />

(Level)<br />

PSPICE<br />

Na szczególną uwagę zasługują dwa pierwsze wymienione<br />

w tab. modele: model Shichmana-Hodgesa i model<br />

Danga, gdyż są one bardzo często wykorzystywane przez<br />

producentów tranzystorów MOS mocy do konstrukcji makromodeli<br />

firmowych [2,3,18-20].<br />

Ponadto wartości parametrów modelu Danga dla konkretnych<br />

typów tranzystorów MOS mocy są udostępniane na<br />

stronach WWW [21-24] przez producentów tych tranzystorów,<br />

jak również są dostępne w bibliotece PWRMOS.LIB programu<br />

SPICE [25].<br />

LTSPICE<br />

ISSPICE<br />

Liczba parametrów<br />

Minimalna długość<br />

kanału [µm]<br />

Shichman-Hodges (1968) 1 1 1 14 4<br />

Dang (1980) 3 3 3 19 2<br />

Sakurai-Newton (1990) - 6 6 20 0,25<br />

EKV v 2.6 (1997) 5 12 - 25 0,25<br />

BSIM (1985) 4 4 4 23 1<br />

BSIM3 v 2.0 (1994) 6 - 7 42 0,2<br />

BSIM4 v 2. 1 (2001) - 14 - 97 0,1<br />

BSIM3 v 3. 2 (2002) 7 8 - 131 0,18<br />

96 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Model Shichmana-Hodgesa oraz model Danga mają<br />

identyczną reprezentację obwodową (rys. 1). W obydwu modelach<br />

diody podłożowe D1 i D2 opisane są charakterystykami<br />

prądowo-napięciowymi, w których nie uwzględniono:<br />

prądów generacyjno-rekombinacyjnych, zjawiska przebicia<br />

i efektów wysokoprądowych, a nieliniowe pojemności Cbd,<br />

Cbs stanowią równoległe połączenie pojemności złączowej<br />

i dyfuzyjnej danej diody.<br />

Rezystory Rd, Rs modelują rezystancje szeregowe obszarów<br />

odpowiednio drenu i źródła, natomiast rezystor Rds<br />

zapewnia dodatnie nachylenie charakterystyk wyjściowych<br />

w zakresie nasycenia, co jest istotne w przypadku pominięcia<br />

w modelu zjawiska modulacji długości kanału tranzystora.<br />

Z kolei różnice między rozważanymi modelami dotyczą opisu<br />

źródła Id, a także pojemności Cgd, Cgs i Cgb związanych z tlenkiem<br />

bramki (pojemności bramkowe). Zależności analityczne<br />

w modelu Shichmana-Hodgesa opisujące wydajność źródła Id<br />

wynikają bezpośrednio z fizyki działania elementu i opisują trzy<br />

zakresy pracy tranzystora: zakres nasycenia, nienasycenia i odcięcia,<br />

natomiast pół-empiryczne zależności modelu Danga opisują<br />

pracę tranzystora również w zakresie podprogowym.<br />

Pojemności bramkowe w modelu Shichmana-Hodgesa<br />

mają wartość stałą, natomiast w modelu Danga są opisane<br />

nieliniowymi funkcjami napięcia u DS oraz u GS .<br />

Należy zaznaczyć, że nie zawsze postać zależności analitycznych<br />

wbudowanych w programie SPICE odpowiada<br />

postaci tych zależności zamieszczonych w instrukcji programu<br />

[26]. Przykładowo w programie PSPICE w modelu Shichmana-<br />

Hodgesa ze wzoru opisującego temperaturową zależność napięcia<br />

progowego wynika, że przy zwarciu podłoża ze źródłem<br />

(zaciski B oraz S na rys. 1) napięcie progowe nie zależy od<br />

temperatury, co pozostaje w sprzeczności z eksperymentem<br />

numerycznym, z którego wynika, że zależność temperaturowa<br />

rozważanego parametru jest zgodna ze wzorem podanym dla<br />

modelu Danga [4]. Ponadto, niezgodność pomiędzy opisem<br />

analitycznym podanym w [26], a wynikami obliczeń dotyczą<br />

też modelowania pojemności bramkowych. Jak się okazuje [4],<br />

w modelu Shichmana-Hodgesa można wykorzystać nieliniowe<br />

zależności występujące w modelu Danga, podając niezerową<br />

wartość parametru TOX. Z kolei eksperyment numeryczny wykazał,<br />

iż pojemność Cgb w modelu Danga ma wartość stałą,<br />

co jest niezgodne z opisem uzależniającym wartości tej pojemności<br />

od napięć u DS oraz u GS .<br />

również opisane we wcześniejszych pracach autorów<br />

[1,28,29]. W charakterze przykładu przedstawiono hybrydowy<br />

makromodel takiego tranzystora, udostępniony na stronie<br />

WWW [27] i opisany m.in. w pracach [28,29] oraz opracowany<br />

przez autorów makromodel w pełni implementowany opisany<br />

m. in. w [1,4-6]. Obwodową postać tych makromodeli przedstawiono<br />

na rys. 2.<br />

Występujący w strukturze makromodelu z rys. 2a. tranzystor<br />

M1 został opisany za pomocą wbudowanego modelu<br />

Shichmana-Hodgesa tranzystora MOS. Dioda DB modeluje<br />

złącze dren-podłoże i odpowiada za przebieg charakterystyki<br />

tranzystora w zakresie polaryzacji inwersyjnej. Rezystancje<br />

szeregowe obszarów drenu, bramki i źródła są reprezentowane<br />

przez rezystory liniowe R D , R S oraz R G . Rezystor R DS<br />

reprezentuje rezystancję upływu kanału. Sterowane źródła<br />

prądowe FI1, FI2 wraz z układem pomocniczym, złożonym<br />

z diod D2, D3, D4, rezystorów R L i R CAP , pojemności C AP ,<br />

źródła sterowanego EVI6 oraz źródeł napięciowych o zerowej<br />

wydajności VFI1, VFI2, modelują prąd płynący przez nieliniową<br />

pojemność C GD rozważanego tranzystora. Wydajność<br />

źródła EVI6 zależy od napięcia bramka-dren u GD , natomiast<br />

prądowe źródła FI1, FI2 są sterowane prądem płynącym przez<br />

niezależne źródła napięciowe VI1, VI2 o zerowej wydajności.<br />

Z kolei w makromodelu z rys. 2b źródło I DC reprezentuje<br />

składową stałą prądu drenu wynikającą z modelu Shichmana-<br />

Hodgesa, wydajność źródeł I G , I BR , I RD oraz I RS modelują odpowiednio:<br />

prąd generacyjny diody podłożowej, prąd<br />

tranzystora w zakresie przebicia oraz prądy płynące przez rezystancje<br />

szeregowe obszarów drenu i źródła, natomiast<br />

źródła I CGS , I CGD , I CDS - pojemności odpowiednio: bramkaźródło,<br />

bramka-dren i dren-źródło. Zależności analityczne opisujące<br />

omawiany makromodel w pełni implementowany<br />

zamieszczono w pracach [1,4-6].<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 1. Reprezentacja obwodowa modelu Shichmana-Hodgesa<br />

oraz Danga tranzystora MOS<br />

Fig. 1. Network representation of the Shichman-Hodges model of<br />

the MOS transistor<br />

Makromodele<br />

W literaturze oraz Internecie można znaleźć wiele propozycji<br />

makromodeli tranzystorów MOS mocy, np. [2,3,18-20,27].<br />

Wybrane makromodele spośród wyżej wymienionych zostały<br />

Rys. 2. Postać obwodowa makromodelu hybrydowego (a) oraz<br />

w pełni implementowanego (b) tranzystora MOS mocy<br />

Fig. 2. Network representation of the hybrid (a) and the fully implemented<br />

macromodel of the power MOS transistor<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 97


Wyniki badań<br />

Aby ocenić dokładność rozważanych w pracy modeli oraz makromodeli<br />

tranzystora MOS porównano wyniki symulacji i pomiarów<br />

wybranych charakterystyk wysokonapięciowego<br />

tranzystora mocy IRF840 (600 V) [21]. Wartości parametrów<br />

modelu Shichmana-Hodgesa oraz makromodelu z rys. 2b<br />

otrzymano za pomocą opracowanej przez autorów procedury<br />

estymacyjnej wykorzystującej algorytm genetyczny [30], wartości<br />

parametrów modelu Danga zostały zaczerpnięte z biblioteki<br />

PWRMOS.LIB [25], natomiast wartości elementów oraz<br />

parametrów makromodelu z rys. 3a dla rozważanego tranzystora<br />

zostały podane w [27].<br />

Na rysunkach 3-6 przedstawiono wybrane statyczne<br />

oraz dynamiczne charakterystyki badanego tranzystora. Na<br />

rysunkach tych punkty połączone linią przerywaną reprezentują<br />

wyniki pomiarów (lub katalog), natomiast linie ciągłe oznaczają<br />

wyniki obliczeń, przy czym kolory: czarny, zielony,<br />

niebieski i czerwony reprezentują wyniki symulacji odpowiednio:<br />

modelem Shichmana-Hodgesa (S-H), modelem Danga<br />

(D-G), firmowym makromodelem hybrydowym (FMH) oraz<br />

makromodelem w pełni implementowanym (MWPI).<br />

a)<br />

b)<br />

Na rysunku 3. przedstawiono charakterystyki wyjściowe<br />

rozważanego tranzystora odpowiadające temperaturze otoczenia<br />

równej odpowiednio 298K (rys. 3a) i 423K (rys. 3b).<br />

Jak widać na rys. 3a, uzyskano zadowalającą zgodność<br />

wyników pomiarów i obliczeń modelem D-G oraz makromodelem<br />

MWPI charakterystyk wyjściowych w temperaturze pokojowej,<br />

natomiast w przypadku modelu S-H oraz<br />

makromodelu FMH rozbieżności dochodzące do 20% występują<br />

na charakterystykach wyjściowych przy napięciu<br />

U GS = 5,5 V. Z kolei, w podwyższonej temperaturze otoczenia<br />

(rys. 3b) dobrą zgodność wyników pomiarów i symulacji<br />

uzyskano wyłącznie w przypadku makromodelu MWPI. Na rysunku<br />

4. przedstawiono charakterystyki wyjściowe tranzystora<br />

IRF840 w zakresie odcięcia i przebicia odpowiadające<br />

różnym wartościom temperatury otoczenia.<br />

Obliczone z wykorzystaniem modeli S-H i D-G oraz makromodelu<br />

FMH wartości prądu drenu (rys. 4) w zakresie odcięcia<br />

(U DS < 600 V) znacznie się różnią (nawet o kilka<br />

rzędów wielkości) od wartości zmierzonych, co wynika z nieuwzględnienia<br />

w tych modelach i makromodelu prądu generacyjnego<br />

diody podłożowej oraz z nieprawidłowo przyjętych<br />

wartości parametrów opisujących prąd nasycenia tej diody.<br />

Natomiast charakterystyki obliczone z użyciem makromodelu<br />

MWPI dobrze odwzorowują wyniki pomiarów.<br />

W rozważanym tranzystorze zakres przebicia lawinowego<br />

występuje dla napięcia U DS > 600 V, co ilustrują wyniki pomiarów<br />

pokazane na rys. 4. Tylko makromodel MWPI prawidłowo<br />

modeluje ten zakres pracy tranzystora w szerokim zakresie<br />

zmian temperatury otoczenia. Co prawda, w makromodelu<br />

FMH producent uwzględnił zakres przebicia tranzystora dla<br />

niższej wartości napięcia przebicia U BR ≈ 450 V, jednak nie<br />

uzależniono tego parametru od temperatury otoczenia.<br />

Zależność rezystancji włączenia R ON rozważanego tranzystora<br />

od temperatury pokazano na rys. 5. Jak widać, tylko<br />

makromodel MWPI uwzględnia wpływ temperatury na wartość<br />

rezystancji włączenia R ON tranzystora, natomiast obli-<br />

Rys. 3. Charakterystyki wyjściowe tranzystora IRF840<br />

Fig. 3. The output characteristics of the transistor IRF840<br />

Rys. 5. Charakterystyki R ONnorm (T) tranzystora IRF840<br />

Fig. 5. The characteristics R ONnorm = f(T) of the transistor IRF840<br />

Rys. 4. Charakterystyki wyjściowe w zakresie odcięcia i przebicia<br />

tranzystora IRF840<br />

Fig. 4. The output characteristics of the transistor IRF840 in the cutoff<br />

and breakdown range<br />

Rys. 6. Charakterystyki ładowania bramki tranzystora IRF840<br />

Fig. 6. The gate charge characteristics of the transistor IRF840<br />

98 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


czone przy wykorzystaniu pozostałych modeli i makromodelu<br />

FMH wartości tego parametru są praktycznie stałe w funkcji<br />

temperatury, ponieważ nie uwzględniono w tych modelach<br />

i makromodelu temperaturowych zależności zmian rezystancji<br />

szeregowych drenu oraz źródła. Z drugiej strony, wbudowane<br />

rezystory RD i RS w makromodelu FMH mają opcję<br />

modelowania wpływu temperatury, poprzez podanie wartości<br />

temperaturowych współczynników zmian tych rezystancji, jednak<br />

jak widać z rys. 5, w rozważanym makromodelu nie wykorzystano<br />

tej możliwości.<br />

Na rysunku 6. pokazano charakterystyki ładowania bramki<br />

rozważanego tranzystora, natomiast na rys. 7 - zależność pojemności<br />

wyjściowej C OSS tego tranzystora od napięcia u DS<br />

(rys. 7a) oraz pojemności wejściowej C ISS od napięcia u GS<br />

(rys. 7b). Definicje rozważanych pojemności są zamieszczone<br />

w karcie katalogowej tranzystora IRF840 [21].<br />

Dobrą zgodność wyników pomiarów i symulacji charakterystyk<br />

ładowania bramki z rys. 6 uzyskano tylko w przypadku<br />

makromodeli FMH oraz MWPI, co wynika z uwzględnienia<br />

w tych makromodelach wpływu napięć polaryzujących na wartości<br />

pojemności włączonych między bramką i drenem tranzystora<br />

(rys. 2). Jak widać z rys. 6, w przypadku modeli<br />

wbudowanych S-H i D-G uzyskano ilościowe, a w modelu S-<br />

H również jakościowe różnice między wynikami symulacji i pomiarów,<br />

wynikające m.in. z pominięcia w tych modelach<br />

wpływu napięcia dren źródło na pojemność C ISS .<br />

W przypadku zależności pojemności z rys. 7a, tylko w zakresie<br />

niewielkich napięć dren źródło uzyskano zadowalającą<br />

zgodność wyników pomiarów i symulacji modelami S-H i D-G<br />

oraz makromodelem FHM, natomiast obliczone z wykorzystaniem<br />

makromodelu MWPI i zmierzone wartości pojemności<br />

C OSS praktycznie nie różnią się w całym rozważanym zakresie<br />

napięć dren-źródło badanego tranzystora.<br />

Z kolei jak wynika z rys. 7b zmierzone oraz obliczone<br />

wartości pojemności wejściowej C ISS są bardzo zbliżone<br />

w przypadku modelu S-H, modelu D-G w zakresie napięć<br />

u GS -11...-2 V oraz 1...11 V, a także w przypadku makromodelu<br />

MWPI w całym rozważanym zakresie napięć polaryzujących<br />

tranzystor.<br />

a)<br />

b)<br />

Rys. 7. Zależności pojemności C OSS = f(u DS ) (a) oraz C ISS = f(u GS )<br />

(b) tranzystora IRF840<br />

Fig. 7. The characteristics C OSS = f(u DS ) (a) and C ISS = f(u GS ) (b) of<br />

the transistor IRF840<br />

Uwagi końcowe<br />

Przedstawione w pracy wyniki badań pokazują, że ważne zjawiska<br />

fizyczne takie, jak m.in.: przebicie lawinowe, prąd generacyjny<br />

diody podłożowej, wpływ temperatury na wartości<br />

rezystancji szeregowych, mające istotny wpływ na kształt charakterystyk<br />

tranzystora MOS mocy, nie zostały uwzględnione<br />

w podstawowych modelach i firmowym makromodelu hybrydowym<br />

tego tranzystora, dedykowanych dla programu SPICE.<br />

Uzależnienie pojemności włączonej między bramką i drenem<br />

tranzystora w makromodelu firmowym, jak również obu<br />

pojemności bramkowych (bramka-dren, bramka-źródło) w<br />

modelu w pełni implementowanym od napięć polaryzujących<br />

tranzystor wpływa w znacznym stopniu na zwiększenie<br />

dokładności tych makromodeli, w przypadku wybranych charakterystyk<br />

dynamicznych.<br />

W zaprezentowanym w pracy makromodelu w pełni implementowanym<br />

zastosowano stosunkowo proste zależności<br />

analityczne opisujące ważne, zdaniem autorów, zjawiska występujące<br />

w tranzystorze MOS. Wymieniony makromodel<br />

charakteryzuje się największą dokładnością spośród omawianych<br />

w pracy modeli, przy zachowaniu racjonalnej<br />

złożoności tego makromodelu.<br />

Praca finansowana ze środków na naukę w latach 2007-<strong>2009</strong> jako<br />

projekt badawczy Nr N N510 3425 33.<br />

Literatura<br />

[1] Zarębski J., Tranzystory MOS mocy. Fundacja Rozwoju Akademii<br />

Morskiej w Gdyni, Gdynia, 2007.<br />

[2] http://www.fairchildsemi.com/an/AN/AN-7532.pdf<br />

[3] http://www.fairchildsemi.com/ds/FD/FDP038AN06A0.pdf<br />

[4] Bisewski D., Modelowanie tranzystora MOS mocy. Praca dyplomowa,<br />

Wydział Elektryczny, Akademia Morska w Gdyni, Gdynia,<br />

2004.<br />

[5] Zarębski J., Bisewski D., Właściwości modelu Shichmana-Hodgesa<br />

tranzystora MOS w programie SPICE. Raport Katedry Radioelektroniki<br />

Morskiej Nr NB.12/2003.<br />

[6] Wasilewski P., Modelowanie pojemności tranzystora VDMOS<br />

w programie SPICE. Praca dyplomowa, Wydział Elektryczny,<br />

Akademia Morska w Gdyni, Gdynia, 2006.<br />

[7] Antognetti P., Massobrio G.: Semiconductor Device Modeling<br />

with SPICE. McGraw-Hill, New York, 1993.<br />

[8] Izydorczyk J., Komputerowa symulacja układów elektronicznych.<br />

Helion, Gliwice, 1993.<br />

[9] Porębski J., Korohoda P.: SPICE program analizy nieliniowej<br />

układów elektronicznych. Wydawnictwo Naukowo-Techniczne,<br />

Warszawa, 1996.<br />

[10] Vladimirescu A.: The Spice Book. John Wiley and Sons, New<br />

York, 1994.<br />

[11] Wilamowski M. B., Jaeger R. C.: Computerized Circuit Analysis<br />

Using SPICE Programs. McGraw-Hill, New York, 1997.<br />

[12] Zimny P., Karwowski K.: SPICE klucz do elektroniki. Wydawnictwo<br />

Politechniki Gdańskiej, Gdańsk, 1998.<br />

[13] Stanclik J., Modyfikacja makromodeli wzmacniaczy operacyjnych.<br />

Kwartalnik Elektroniki i Telekomunikacji, vol. 44, z. 1, 1998,<br />

ss. 19-34.<br />

[14] Dang L. M., A Simple Current Model for Short Channel IGFET<br />

and Its Application to Circuit Simulation. IEEE J. Solid-State Circuits,<br />

vol. 14, 1979.<br />

[15] Sakurai T., Newton A. R., A Simple MOSFET Model for Circuit<br />

Analysis, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 38, no 4,<br />

1991, pp. 887-888.<br />

[16] Enz C. C., Krummenacher F., Vittoz E. A., An Analytical MOS<br />

Transistor Model Valid in All Regions of Operation and Dedicated<br />

to Low-Voltage and Low-Current Applications. Journal on<br />

Analog Integrated Circuits and Signal Processing Low-Voltage<br />

and Low-Power Design, vol. 8, 1995, pp. 83-114.<br />

[17] Gowda S. M., Sheu B. J., BSIM plus: an advanced SPICE model<br />

for submicron MOS VLSI circuits. IEEE Transactions on Computer-Aided<br />

Design of Integrated Circuits and Systems, vol. 13,<br />

no 9, 1994, pp. 1166-1170.<br />

ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong> 99


[18] http://www.catena.uk.com/site/support/modelinfo/onsemi_models.htm<br />

[19] http://www.datasheetarchive.com/search.php?q=SPP11N60C2<br />

[20] http://www.infineon.com, PSPICE Libraries for CoolMOS Power<br />

Transistors<br />

[21] http://www.irf.com<br />

[22] http://onsemi.com<br />

[23] http://www.vishay.com<br />

[24] http://www.fairchildsemi.com<br />

[25] Biblioteka PWRMOS.LIB, PSPICE 10.0, MicroSim Corporation,<br />

2003.<br />

[26] PSPICE A/D Reference Guide Version 10.0, MicroSim Corporation,<br />

June 2003.<br />

[27] http://www.irf.com/product-info/models/spice/spice.zip<br />

[28] Zarębski J., Jasicki P., Vinh T. C.: Modelowanie wpływu temperatury<br />

na charakterystyki statyczne tranzystora MOSFET w programie<br />

SPICE. Zeszyty Naukowe Wyższej Szkoły Morskiej<br />

w Gdyni Nr 34, Gdynia, 1998, s. 63.<br />

[29] Zarębski J., Górecki K.: Modelling Trench MOSFETs in SPICE.<br />

15th IEEE International Conference on electronics, Circuits and<br />

Systems ICECS, Malta, 2008, pp. 73-76.<br />

[30] Bisewski D.: Estymacja parametrów wybranych elementów<br />

półprzewodnikowych z wykorzystaniem algorytmu genetycznego.<br />

Raport badawczy, Seminaria Katedry Elektroniki Morskiej,<br />

Akademia Morska, Gdynia, <strong>2009</strong>.<br />

100 ELEKTRONIKA 6/<strong>2009</strong>


Światowy Dzień Telekomunikacji i Społeczeństwa Informacyjnego<br />

Warszawa, 13-15 maja <strong>2009</strong> r.<br />

Bezpieczeństwo dzieci w cyberprzestrzeni<br />

Bardzo udane były tegoroczne obchody Światowego Dnia<br />

Telekomunikacji i Społeczeństwa Informacyjnego (ŚDTiSI),<br />

zorganizowane przez Stowarzyszenie Elektryków Polskich<br />

(SEP), obchodzone pod hasłem Bezpieczeństwo dzieci w cyberprzestrzeni.<br />

Rozpoczęło się 13 maja w Technikum Łączności im.<br />

prof. Janusza Groszkowskiego przy Zespole Szkół nr 37 im.<br />

Agnieszki Osieckiej w Warszawie, III Ogólnopolskim Spotkaniem<br />

Uczniów i Nauczycieli Szkół Łączności. Nauczycieli<br />

i uczniów z całej Polski przywitał dyrektor technikum dr Eugeniusz<br />

Śniegowski, a werdykt o przyznanym przez SEP stypendium<br />

wyróżniającemu się uczniowi Warszawskiego<br />

Technikum im. Groszkowskiego Mariuszowi Wojewódzkiemu,<br />

ogłosiła sekretarz generalna SEP Jolanta Arendarska.<br />

Prof. Andrzej Jakubiak z Politechniki Warszawskiej<br />

wygłosił referat Czy świat jest cyfrowy?. Uczniowie z Zespołu<br />

Szkół Łączności w Szczecinie, Patryk Chojnacki i Daniel<br />

Mikołajczyk, przedstawili multimedialną prezentację Bezpieczeństwo<br />

dzieci w cyberprzestrzeni.<br />

14 maja br. w Wojskowej Akademii Technicznej w Warszawie<br />

odbyła się II Międzyuczelniana Konferencja Naukowa Studentów<br />

Bezpieczeństwo jednostki w cyberprzestrzeni, pod<br />

patronatem honorowym Minister Nauki i Szkolnictwa Wyższego<br />

Barbary Kudryckiej i Rektora Wojskowej Akademii Technicznej<br />

gen. Zygmunta Mierczyka.Konferencję otworzył prezes Stowarzyszenia<br />

Elektryków Polskich prof. Jerzy Barglik. Referaty<br />

wygłosili oraz sesję panelową przygotowali: studenci we<br />

współpracy z pracownikami naukowymi z Wojskowej Akademii<br />

Technicznej, Politechniki Warszawskiej, Uniwersytetu Warszawskiego,<br />

Zachodniopomorskiego Uniwersytetu Technologicznego<br />

w Szczecinie, ze studenckich kół naukowych<br />

Wirtualna Organizacja Działań (WOD) na: Politechnice Poznańskiej,<br />

Wyższej Szkole Informatyki w Łodzi, Dolnośląskiej<br />

Wyższej Szkole Przedsiębiorczości i Techniki w Polkowicach,<br />

z Sieci Laboratoriów WOD: Łódź - Olsztyn - Polkowice.<br />

Sesja obejmowała trzy bloki tematyczne:<br />

1) interaktywną komunikację medialną,<br />

2) nowe technologie na rzecz rozwoju społeczeństwa informacyjnego,<br />

3) bezpieczeństwo użytkownika prywatnego.<br />

Wśród ciekawych referatów znalazły się m.in.: Ochrona sfery<br />

prywatności użytkownika sieci teleinformatycznej, Polityka bezpieczeństwa<br />

teleinformatycznego systemu federacyjnego, Bezpieczeństwo<br />

komunikacji i aplikacji na urządzeniach mobilnych.<br />

Dyrektor Departamentu Telekomunikacji Ministerstwa Infrastruktury<br />

Pani Agnieszka Zaborowska zaprezentowała<br />

działania Ministerstwa związane z zapewnieniem bezpieczeństwa<br />

dzieci w cyberprzestrzeni. Konferencji towarzyszyła sesja<br />

posterowa oraz wystawa studenckich kół naukowych.<br />

Podsumowaniem ŚDTiSI była jubileuszowa X Konferencja<br />

Okrągłego Stołu (KOS) pt. Polska w drodze do społeczeństwa<br />

informacyjnego - bezpieczeństwo w warunkach powstającego<br />

społeczeństwa informacyjnego, pod honorowym patronatem<br />

marszałka Sejmu Bronisława Komorowskiego, która tradycyjnie<br />

odbyła się w Sali Kolumnowej Sejmu.<br />

Część oficjalną KOS otworzył prezes SEP prof. Jerzy Barglik.<br />

List od marszałka Sejmu Bronisława Komorowskiego odczytała<br />

sekretarz generalna SEP Jolanta Arendarska. Głos<br />

zabierali m.in.: podsekretarz stanu w Ministerstwie Infrastruktury<br />

Magdalena Gaj, generalny inspektor Ochrony Danych<br />

Osobowych Michał Serżycki. Prezes SEP prof. Jerzy Barglik<br />

mówiąc o przyszłości, nawiązał do tradycji obchodzonej w tym<br />

roku 90. rocznicy Stowarzyszenia Elektryków Polskich. Prezes<br />

zaprosił na organizowany przez SEP 2-4 września br.<br />

Kongres Elektryki Polskiej.<br />

O budowie społeczeństwa informacyjnego oraz cyfryzacji<br />

naszego kraju mówił poseł Janusz Piechociński, wiceprzewodniczący<br />

sejmowej Komisji Infrastruktury.<br />

Część oficjalną zakończyło wręczenie przez podsekretarz<br />

stanu w Ministerstwie Infrastruktury Magdalenę Gaj i prezesa<br />

SEP prof. Jerzego Barglika statuetek ministra infrastruktury, nadanych<br />

z okazji Światowego Dnia Telekomunikacji i Społeczeństwa<br />

Informacyjnego oraz dyplomów uznania od SEP.<br />

Statuetki zostały przyznane: Wojskowej Akademii Technicznej<br />

im. Jarosława Dąbrowskiego w Warszawie, w uznaniu<br />

nieocenionych osiągnięć w dziedzinie elektroniki,<br />

telekomunikacji oraz informatyki (nagrodę odebrał Rektor<br />

WAT gen. Zygmunt Mierczyk); czasopismu naukowo-technicznemu<br />

„<strong>Elektronika</strong> - konstrukcje, technologie, zastosowania”,<br />

wydawanemu przez SEP - w uznaniu zasług (odebrał<br />

redaktor naczelny prof. Jerzy Klamka); prof. Zbigniewowi<br />

Kierzkowskiemu, za inicjatywę i nieoceniony wkład merytoryczny<br />

w organizację ŚDTiSI; inż. Krzysztofowi Mangelowi,<br />

w uznaniu aktywnej działalności w obszarze radioelektroniki<br />

i telekomunikacji.<br />

Dyplomy wręczono firmom: IFS Polska - na ręce dyrektor<br />

Ewy Mieczkowskiej, PTC ERA - otrzymał dyrektor Janusz Morawski<br />

oraz Przemysłowemu <strong>Instytut</strong>owi Telekomunikacji SA -<br />

przyjął Prezes PIT dr inż. Andrzej Wilk.<br />

Do Konferencji Okrągłego Stołu wprowadził jej pomysłodawca<br />

i twórca dr Andrzej Wilk. Przez ponad godzinę<br />

trwała dyskusja nt. procesu cyfryzacji oraz budowy<br />

społeczeństwa informacyjnego w Polsce, o konsekwencjach<br />

nowych technologii dla demokracji również w sensie globalnym,<br />

o możliwościach, jakie niosą te technologie, o zagrożeniach,<br />

jak pogodzić powszechny dostęp do informacji<br />

z ochroną prywatności itp. Dyskutowano także o obronności<br />

kraju, poruszając takie zagadnienia, jak: „Czy współczesna<br />

wojna zacznie się od ataku hakerów?”, „Komputer w obronie<br />

narodowej”, „Techniki mikrofalowe na polu walki”.<br />

Obchody ŚDTSI <strong>2009</strong> odbyły się pod honorowym patronatem<br />

Ministra Infrastruktury Pana Cezarego Grabarczyka<br />

i są poświęcone tematyce telekomunikacji oraz jej wpływowi<br />

na codzienne życie społeczeństw na całym świecie.<br />

Zgodnie z decyzją przywódców państw z listopada 2005 r.,<br />

podjętą w Tunisie podczas Światowego Szczytu Społeczeństwa<br />

Informacyjnego i postanowieniem Konferencji Pełnomocników<br />

Międzynarodowego Związku Telekomunikacyjnego<br />

(ITU) w Turcji w 2006 r. przyjęto, aby 17 maja na całym świecie<br />

obchodzono Światowy Dzień Telekomunikacji i Społeczeństwa<br />

Informacyjnego. Data ta upamiętnia utworzenie w 1865 r.<br />

Międzynarodowego Związku Telekomunikacyjnego (ITU).<br />

8 lipca br., w Ministerstwie Infrastruktury zbierze się po raz<br />

pierwszy Komitet Honorowy Światowego Dnia Telekomunikacji<br />

i Społeczeństwa Informacyjnego 2010 r.<br />

Stanisław J. Szałapak<br />

redaktor-koordynator


Nowe telefony Nokia E75 i E52<br />

Firma Nokia wprowadziła na polski rynek najnowszy telefon biznesowy Nokia E75.<br />

Nokia E75 to pierwsze urządzenie firmy wyposażone w wysuwaną z boku klawiaturę<br />

QWERTY. Dzięki Nokia Messaging telefon oferuje użytkownikom dostęp<br />

do poczty prywatnej i biznesowej poprzez większość istniejących kont e-mail,<br />

m.in. Yahoo! Mail®, Gmail, Windows Live Hotmail, Interia, Onet, Wirtualna Polska,<br />

a wiadomości na telefon dostarczane są automatycznie i na bieżąco. Pocztę w telefonie<br />

można skonfigurować w kilka sekund za pomocą trzech prostych kroków.<br />

Nokia E75 to pierwszy telefon z licencją na usługę Nokia Messaging, która dostępna<br />

jest w nim bezpłatnie na całe życie produktu.<br />

Poręczna Nokia E75 udostępnia nowy,<br />

rozbudowany i bardzo wygodny interfejs<br />

poczty email. Telefon wyposażony jest<br />

w bogaty pakiet narzędzi, który zapewnia<br />

pełną obsługę folderów i wiadomości w formacie<br />

HTML, załączników, rozwijane<br />

widoki, a także możliwość sortowania wiadomości<br />

według dat, nadawców i rozmiarów.<br />

Oprócz udoskonalonych funkcji<br />

przesyłania poczty, urządzenie to daje dostęp<br />

w czasie rzeczywistym do kalendarza,<br />

kontaktów i zadań.<br />

Nokia E75 jest ściśle zintegrowana<br />

z usługami Ovi. Telefon posiada wbudowany<br />

moduł A-GPS, aplikację Nokia Maps<br />

z 3-miesięczną pełną licencją na nawigację<br />

samochodową, a także dostęp do doskonałych<br />

gier N-Gage. Co więcej,<br />

ważnymi plikami przechowywanymi na<br />

komputerze stacjonarnym można zdalnie<br />

zarządzać i udostępniać je za pomocą<br />

usługi Ovi Files, dostępnej także w telefonie<br />

Nokia E75.<br />

Elegancka i stylowa Nokia E75 ze<br />

stałym dostępem do poczty email dostępna<br />

jest w kolorze srebrno-granatowym i srebrno-czerwonym.<br />

Najnowszą propozycją z linii biznesowej Eseries jest model Nokia<br />

E52. Nowy telefon, wraz z zaprezentowanymi na początku tego roku Nokia E75<br />

i Nokia E55, stanowi kontynuację linii smartfonów zaprojektowanych z myślą o ułatwianiu<br />

pracy mobilnej.<br />

Nokia E52 stanowi kontynuację cieszącego się dużym powodzeniem telefonu<br />

Nokia E51. Nowy model wyróżnia się wyjątkowo długim czasem rozmów dzięki<br />

wytrzymałej baterii (blisko miesiąc w trybie czuwania), a także wysoką jakością dźwięku<br />

dzięki systemowi redukującemu szumy. Ponadto urządzenie udostępnia szereg<br />

funkcjonalnych rozwiązań, takich jak szybka transmisja danych HSPA,<br />

umożliwiająca pobieranie oraz wysyłanie materiałów z i do internetu, A-GPS<br />

z Nokia Maps do nawigacji czy aparat fotograficzny o rozdzielczości 3,2 Mpix.<br />

Nowe urządzenie można z łatwością zintegrować z firmowymi systemami telefonicznymi,<br />

co może stanowić skuteczne dopełnienie, a nawet zamiennik telefonu<br />

stacjonarnego. Rozwiązania typu Call Connect - łączące urządzenia mobilne Nokia<br />

z systemami PBX liderów branżowych, takich jak Cisco i Alcatel-Lucent - sprawiają,<br />

że dany pracownik może być osiągalny pod jednym numerem telefonu. Dzięki temu<br />

firmy mogą zmniejszyć liczbę urządzeń oraz kontrolować i ograniczać koszty.<br />

Poza zaawansowanymi funkcjami głosowymi Nokia E52 wyróżnia się rozbudowaną<br />

aplikacją poczty email z nowym interfejsem, który doskonale sprawdza<br />

się podczas korzystania z usługi Nokia Messaging oraz korporacyjnych rozwiązań<br />

pocztowych tj: Mail for Exchange i IBM Lotus Notes Traveler. Dzięki Nokia Messaging<br />

telefon oferuje użytkownikom dostęp do poczty prywatnej i biznesowej poprzez<br />

większość istniejących kont e-mail, m. in. Yahoo! Mail®, Gmail, Windows<br />

Live Hotmail, Interia, Onet, Wirtualna Polska czy O2, a wiadomości na telefon dostarczane<br />

są automatycznie i na bieżąco.<br />

Z kolei bezpośredni dostęp do serwerów pocztowych Microsoft Exchange lub<br />

IBM Lotus Notes pozwala firmom na zmniejszenie kosztów operacyjnych związanych<br />

z umobilnieniem poczty, kalendarza, firmowej książki kontaktowej, m.in. ze<br />

względu na fakt, że w rozwiązaniu Nokia nie jest wymagane oprogramowanie<br />

warstwy pośredniej ani dodatkowe serwery.<br />

Więcej informacji: www.nokia.pl<br />

Informacja prasowa firmy NOKIA

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!