ASMLとインターンシップについて - 慶応義塾大学理工学部

ASMLの 装 置 は 半 導 体 製 造 工 程 のどこで 使 われているの?切 断(シリコンの 塊 )研 磨ウェハー 表 面 の 酸 化フォトレジスト( 感 光 剤 )の 塗 布露 光紫 外 線 (UV 光 )を 露 光 する露 光 装 置 はこの工 程 で 使 われ、 半導 体 の 回 路 を 転写 ( 形 成 )する 工程 を 担 います。現 像パッケージングダイシングウェハー 完 成フォトレジスト 除 去エッチングイオン 注 入半 導 体 (ICチップ)はあらゆる 電 化 製 品 で 使 用 されています。Slide 5 |Confidential