Le dégazage sous vide ! - Réseau des technologies du vide - CNRS
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Formation Permanente<strong>Le</strong> dégazage thermiqueTaux de dégazage <strong>des</strong> métaux non étuvésL’adsorption <strong>des</strong> molécules sur la surfacephysisorptionchimisorptionForces de Van Der WallsLiaison faible < 10 kcal/molLiaison + forte > 12 kcal/molDésorption dominée par la vapeur d’eau4,18 kJ/mol =1 kcal/mol = 0.043 ev/atFort moment dipolaireEnergie d’ adsorption importante<strong>Le</strong> temps de séjour15 à 25 kcal/mol (métaux)15 ms < τ < 5 jours à 20 °CAugmentation <strong>du</strong> temps de pompageE< 20 kcal/mol pompage facileDylla [REF. 1]Joly et al. [REF. 2]Chun et al. [REF. 3]E> 26 kcal/mol (τ=28 jours) reste sur la surfaceDégazage <strong>sous</strong> <strong>vide</strong>Septembre 20107
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