中山大學材料與光電系副教授周明奇 - 國科會物理研究推動中心
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3. 實 驗 室 現 況<br />
目 前 已 安 裝 七 台 多 功 能 性 柴 氏 提 拉 爐 (Multi-functional i l Czochralski pulling<br />
furnace)、 一 台 氫 化 物 汽 相 磊 晶 爐 及 數 台 磊 晶 生 長 爐 。<br />
(a)<br />
(b)<br />
(a) () 柴 式 提 拉 爐 (Czochralski, Cz), (b) 氫 化 物 汽 相 磊 晶 爐 (Hydride Vapor Phase<br />
Epitaxy, HVPE)
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