_Handhabung & Montage Chipkrise lässt Automatisierung im Reinraum boomen Herausforderungen im Reinraum Der Mangel an Halbleitern sorgt in der Industrie für erhebliche Probleme. Angesichts dieser Chipkrise ist die Automatisierung in der Halbleiter-Herstellung noch wichtiger geworden. Dass die Reinraum-Automation boomt, kann auch die Scio Automation als Spezialist für Intra-Reinraum-Logistiklösungen bestätigen. Schiller hat mit seinen partikelreduzierten Fördersystemen und Lagerlösungen ein breites Portfolio für die Reinräume der Halbleiter- und Elektronikindustrie aufgebaut. Vor mehr als zehn Jahren begann das Scio Gruppenmitglied Schiller mit der Entwicklung seiner ersten Reinraum-Lösung – konkret ging es um ein Hochregallager für den Reinraum einer Halbleiterfirma mit der ISO-Klasse 5. Mittlerweile hat sich Schiller mit seinen partikelreduzierten Lagerlösungen und Fördersystemen für Reinräume der Halbleiter- und Elektronikindustrie ein weiteres Standbein neben der klassischen Automatisierungstechnik geschaffen. Schiller liefert Lager- und Transportsysteme für 200 mm und 300 mm Carrier sowie für kundenspezifische Ladungsträger und Produkte. Damit können komplette Fertigungsstrecken im Reinraumsegment automatisiert werden. Allerdings bringt die Entwicklung für den Reinraum drei ganz besondere Herausforderungen mit sich: 1. Reinheit Bei der Automatisierung für den Reinraum steht an erster Stelle die Vermeidung von Partikeln, die z.B. Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH durch den Abrieb von Bauteilen entstehen könnten. Entsprechende ISO-Klassen beschreiben die maximal erlaubte Anzahl an Partikeln in der Luft. In der Klasse 5 sind z.B. 3520 Partikel mit einer Größe von 0,5 Mikrometern je Kubikmeter Luft erlaubt. Verglichen damit ist frische Bergluft in 2000 m Höhe mit rund 30 Millionen Partikeln geradezu schmutzig. Die Produkte von Schiller Automation können sogar in Anlagen der ISO-Klasse 3 mit nur 35 Partikeln je Kubikmeter Luft betrieben werden – dem reinsten Raum, wo sich noch ein Mensch aufhalten darf. 2. Platz Die Flächen im Reinraum sind durch die erhöhten Anforderungen enorm teuer. Deshalb konzentriert sich Schiller bei der Entwicklung neuer Innovationen nicht nur auf die Reinheit, sondern vor allem auch auf möglichst platzsparende Lösungen. Hinzu kommt, dass sich die Systeme kombinieren und nahtlos in bestehende Umgebungen integrieren lassen müssen. 3. Eigener Reinraum für Entwicklung und Inbetriebnahme Die automatisierten Systeme müssen bereits in einem Reinraum gefertigt werden, damit sie später beispielsweise in einer Halbleiter-Fab zum Einsatz kommen können. Denn bereits kleinste Partikel in der Luft können beispielsweise zu Beschädigungen an den Wafern führen. Deshalb werden die Lager und Fördersysteme im hauseigenen Reinraum am Firmensitz in Osterhofen entwickelt und in Betrieb genommen. Alle Anlagen werden von den Kunden vor der Auslieferung auf Herz und Nieren getestet. Dabei wird neben der Funktionalität von Software und Anlage auch die Anzahl der erzeugten Partikel gemessen, die beim Betrieb der Anlage entstehen. ↓ Scio Automation GmbH www.scio-automation.com 56 April 2022
_Produkte Pressen nach neuer Norm Werden Pressen neu konstruiert, modernisiert oder überholt, geschieht das immer nach Norm. Ab sofort gilt die im August 2019 beschlossene DIN EN ISO 16092. Tox Pressotechnik fertigt vor allem mechanische Servopressen unter Einhaltung der neuen Produktnorm. Geändert hat sich auch der Aufbau der Norm: Gab es früher für jeden Pressentyp eine eigene Norm, sind nun alle Varianten in einer DIN EN ISO geordnet zusammengefasst. Teil 1 beinhaltet die allgemeinen Sicherheitsanforderungen für die Konstruktion aller Pressentypen. In den Teilen 2 bis 4 sind die spezifischen Anforderungen an die einzelnen Antriebsvarianten – mechanisch oder servomotorisch, hydraulisch oder pneumatisch – beschrieben. Entsprechend wenden die Entwickler je nach Pressentyp den allgemeinen Teil in Kombination mit Teil 2, 3 oder 4 an. Die neue Norm berücksichtigt zudem erstmals servomotorische Pressen als Unterkategorie der mechanischen Anlagen. Tox Pressotechnik hat daher für seine Pressen mit Tox-Electric-Drive- Antrieb den Abgleich und die Bewertung auf die neue Norm – genau genommen Teil 1 und 2 – umgestellt, während das Konformitätsbewertungsverfahren für mechanische, hydraulische und pneumatische Pressen gleich bleibt. www.tox-pressotechnik.com Bild: Tox Pressotechnik Schneller zum passenden Linearantrieb Die Auswahl eines geeigneten Linearsystems erfolgt aufgrund verschiedener Faktoren. Der neue Anfragekonfigurator von IEF-Werner unterstützt den Nutzer bei der Wahl dieser Faktoren entsprechend seinen individuellen Anforderungen. Das Online-Tool führt den Nutzer in wenigen Schritten durch die Abfrage aller relevanten Faktoren – zum Beispiel die Umgebungsbedingungen, die Nutzlast, den verfügbaren Bauraum, die Taktzeit oder die Antriebe. Die Steuerungstechnik kann der Nutzer ebenfalls abstimmen. Damit lässt sich seine individuelle Aufgabenstellung genau beschreiben. Nach erfolgreicher Konfiguration schickt das Programm die Aufgabenstellung automatisch und unverbindlich an die IEF- Vertriebsmitarbeiter, die mit diesen Informationen schnellstmöglich ein Angebot erstellen. Innerhalb kurzer Zeit erhält der Kunde ein konkretes Angebot, das als Basis für ein weiterführendes Beratungsgespräch dienen kann. www.ief.de Bild: IEF-Werner 1792449-1.pdf - März 28, 2022 yam_fa_automationspraxis_92x133mm.pdf - März 28, 2022 x NEW Robonity Series Discover the new Motor-less single axis actuator/ Single-axis robots April 2022 57
