Wat is 1 nanometer eigenlijk
Wat is 1 nanometer eigenlijk
Wat is 1 nanometer eigenlijk
SHOW LESS
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Waarom Vacuum bij FEI ?“FEI” = imaging, het verkopen van een “plaatje”.Resolutie menselijk oog = ~ 0,2 mm op 0,2 m -> 1 mradMet microscopen kun je de details vergroten.» Resolutie opt<strong>is</strong>ch systeem (ASML): R = k.λ / ( n.sinα )» Golflengte licht: λ = 400 - 800 nm. DUV = 248, 193, 153 nm» Golflengte elektronenbundel: ~ 40 pm / kV Ook depositie (dmv. FIB & GIS) opschone oppervlakken, zonder andere gassen in de buurt5
Change language