21. Yüzyıl teknolojileri
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
MEMS Teknolojisi Neden Kullanılır?<br />
MEMS teknolojisi minyatür boyutlarda olmasına rağmen makroskopik boyutlarda istenilen<br />
görevleri, verimleri minyatür boyutlarda da almamızı sağlar. Bundan dolayı MEMS<br />
teknolojisinin en belirgin özelliği minyatür boyutlarda olmasıdır. Daha fazla özelliği sıralarsak,<br />
1-) Çok küçük boyutlarda, kütle ve hacime sahiptirler.<br />
2-) MEMS teknolojisi bize entegrasyon kolaylığı sağlar.<br />
3-) Mikro fabrikasyon yöntemiyle üretilme teknikleri daha kolaydır.<br />
4-) Toplu halde büyük dizinler şeklinde üretilebilirler.<br />
5-) Geliştirilmiş termal genleşme toleranslarına sahiptirler.<br />
6-) Çok az güç tüketirler.<br />
7-) Titreşim, şok ve radyasyon gibi son derece alışılmışın dışındaki ortamlarda dayanıklı<br />
olabilirler.<br />
Genellikle MEMS teknolojisi ortak bir silikon yüzey üzerinde mekanik elemanlar, sensörler,<br />
motorlar ve elektrik-elektronik cihazlardan oluşmaktadır. MEMS sensörleri; mekanik, termal,<br />
biyolojik, kimyasal, optik, manyetik vb. fenomenlerin verilerini ölçüm yoluyla çevreden<br />
toplamada günümüzün vazgeçilmez <strong>teknolojileri</strong> arasında yerlerini almışlardır. MEMS<br />
bileşenlerinin büyüklüğü 1 ila 100 mikrometre aralığında ve MEMS cihazlarının kendilerinin<br />
büyüklüğü 20 mikrometre ya da 20 milimetre arasında değişmektedir.
Change language