98年中技社科技研究獎學金簡冊 - 財團法人中技社

2009
張 嘉 華
國 立 台 灣 大 學 電 子 工 程 學 研 究 所 博 四
傑 出 表 現
1. 國 外 研 討 會 論 文 發 表 2 篇 、 國 內 研 討 會 論 文 5 篇
2. 國 外 期 刊 發 表 7 篇
3. 參 與 專 案 計 畫 6 項
4. 具 環 保 署 甲 級 廢 棄 物 處 理 技 術 員 證 照
自 我 介 紹
學 生 現 就 讀 於 台 灣 大 學 電 子 工 程 研 究 所 博 士 班 。 大 學 時 期 就 讀 電 機 系 時 ,
接 觸 電 子 元 件 領 域 後 產 生 濃 厚 的 興 趣 , 因 而 決 定 報 考 研 究 所 並 順 利 應 屆 考 取 , 得
以 在 電 子 工 程 領 域 繼 續 學 習 深 造 。 在 大 學 及 研 究 所 這 段 期 間 , 曾 修 習 半 導 體 元 件
物 理 、MOS 元 件 、 積 體 電 路 工 程 、 氧 化 層 穩 定 度 等 有 關 積 體 電 路 方 面 的 課 程 ,
對 此 領 域 因 此 有 更 深 的 了 解 , 更 加 深 了 我 研 究 的 熱 忱 , 因 此 決 定 繼 續 鑽 研 博 士 學
業 , 期 望 學 成 之 後 對 社 會 國 家 有 所 貢 獻 。
研 究 概 述
論 文 題 目 「 低 製 程 高 介 電 係 數 閘 極 介 電 層 之 金 氧 半 元 件 特 性 研 究 」: 在 於 低 溫 形
成 之 高 介 電 常 數 閘 極 介 電 層 (High-k gate dielectric) 的 開 發 及 穩 定 度 相 關 的 研 究 ,
並 已 開 發 出 利 用 在 濺 鍍 金 屬 時 , 以 傾 斜 晶 圓 基 版 的 方 式 , 在 同 一 晶 片 上 得 到 不 同 厚 度
的 氧 化 層 , 並 以 模 型 分 析 氧 化 鉿 / 陽 極 氧 化 二 氧 化 矽 堆 疊 絕 緣 層 之 缺 陷 特 性 , 可 有 效 降
低 製 作 成 本 及 易 於 作 特 性 分 析 。 此 外 , 亦 嘗 試 開 發 低 溫 堆 疊 式 快 閃 記 憶 體 技 術 , 期 能
提 供 下 一 世 代 記 憶 體 應 用 之 參 考 。 研 究 題 目 著 重 於 在 低 溫 下 製 備 絕 緣 層 , 希 冀 能 提 供
未 來 低 溫 製 程 之 絕 緣 層 技 術 參 考 。
得 獎 感 言
本 次 參 與 中 技 社 「 科 技 研 究 獎 學 金 」 甄 選 , 很 榮 幸 能 有 此 機 會 獲 獎 。 首 先
感 謝 我 的 論 文 指 導 教 授 胡 振 國 博 士 的 悉 心 指 導 , 教 導 我 在 論 文 研 究 上 許 多 寶 貴 的
知 識 , 同 時 謝 謝 我 的 父 母 的 養 育 及 栽 培 , 也 謝 謝 中 技 社 評 審 賞 識 以 及 向 小 姐 的 幫
助 。 學 生 會 更 加 努 力 , 期 望 未 來 能 有 機 會 能 替 社 會 服 務 , 以 認 真 學 習 及 團 隊 合 作
的 態 度 , 貢 獻 自 己 的 心 力 。
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