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MÉTODOS DE PROCESAMIENTO AVANZADO E ... - Editorial Reverte

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<strong>MÉTODOS</strong> <strong>DE</strong><br />

<strong>PROCESAMIENTO</strong> <strong>AVANZADO</strong><br />

E INTELIGENCIA ARTIFICIAL<br />

EN SISTEMAS SENSORES<br />

Y BIOSENSORES<br />

Lorenzo Leija<br />

Coordinador<br />

Barcelona • Bogotá • Buenos Aires • Caracas • México<br />

2009


Título de la obra:<br />

Métodos de Procesamiento Avanzado e Inteligencia Artificial<br />

en Sistemas Sensores y Biosensores<br />

Primera edición, 2009<br />

Coordinador:<br />

Lorenzo Leija<br />

S. de Bioelectrónica,<br />

Departamento de Ingeniería Eléctrica,<br />

CINVESTAV IPN, México<br />

Diseño y formación:<br />

Reverté-Aguilar, S.L.<br />

www.reverte-aguilar.com<br />

Diseño de cubierta:<br />

David Kimura y Gabriela Varela<br />

Reservados todos los derechos. La reproducción total o parcial de esta obra, por cualquier medio<br />

o procedimiento, comprendidos la reprografía y el tratamiento informático, queda rigurosamente<br />

prohibida, salvo excepción previa en la ley. Asimismo queda prohibida la distribución de ejemplares<br />

mediante alquiler o préstamo públicos, la comunicación pública y la transformación de cualquier<br />

parte de esta publicación (incluido el diseño de la cubierta) sin la previa autorización de los<br />

titulares de la propiedad intelectual y de la <strong>Editorial</strong>. La infracción de los derechos mecionados<br />

puede ser constitutiva de delito contra la propiedad intelectual (Art. 270 y siguientes del Código<br />

Penal). El Centro Español de Derechos Reprográficos (CEDRO) vela por el respeto a los citados<br />

derechos.<br />

Este documento se ha realizado con la ayuda financiera de la Comunidad Europea. El contenido<br />

de este documento es responsabilidad exclusiva de los autores de este libro y en modo alguno<br />

debe considerarse que refleja la posición de la Unión<br />

Europea.<br />

Propiedad de:<br />

© Reverté Ediciones, S.A. de C.V. y <strong>Editorial</strong> Reverté, S.A.<br />

Río Pánuco No. 141, Col. Cuauhtémoc Loreto 13 - 15 Local B<br />

06500 México, D.F. 08029 Barcelona, España<br />

T. + (52) 55 5533.5658 T. (3493) 419 33 36<br />

F. + (52) 5555146799<br />

reverte@reverte.com.mx<br />

www.reverte.com<br />

ISBN 978-607-7815-01-3 México<br />

ISBN 978-84-291-8013-8 España<br />

Impreso en México. Printed in Mexico.<br />

F. (3493) 419 51 89<br />

www.reverte.com


Agradecimientos<br />

Una obra de esta magnitud requiere el esfuerzo de múltiples personas e instituciones. En primer<br />

lugar es importante mencionar al programa ALFA, dedicado a la cooperación entre Instituciones de<br />

Educación Superior (IES) de la Unión Europea y América Latina, que otorgó los fondos para el<br />

funcionamiento de la Red ALFA-BioSenIntg (Métodos de procesamiento avanzado e inteligencia<br />

artificial en sistemas sensores y biosensores). La Red se integró con ocho laboratorios de Europa en<br />

España, Francia y Portugal y seis de Latinoamérica en Brasil, Cuba, México y Perú. Todos ellos<br />

han sido participantes entusiastas del proyecto de escribir esta obra, orientada a los estudiantes de<br />

Ingeniería de habla hispana. Mi reconocimiento al esfuerzo de cada uno de ellos.<br />

Cabe destacar la participación de colegas y personal del CINVESTAV-IPN: Roberto, Arturo,<br />

Rubén, Hugo y Gina, quienes asumieron el proyecto como un reto personal y siempre estuvieron<br />

presentes cuando el esfuerzo de corrección de figuras y de escritura lo demandó.<br />

Agradezco al CYTED, Programa Iberoamericano de Ciencia y Tecnología para el Desarrollo,<br />

su apoyo decidido en la edición de la presente obra, tanto a su Secretario General, Fernando<br />

Aldana, como al Coordinador Científico y Tecnológico, Jordi Aguiló; ambos colegas y amigos de<br />

años en las relaciones iberoamericanas.<br />

Igualmente al personal de <strong>Editorial</strong> Reverté, en particular a Judith Sandoval, que no han escatimado<br />

tiempo y esfuerzo para mejorar el contenido de la misma.<br />

A todos ellos mi reconocimiento por su contribución para que este libro sea una realidad.<br />

- v -<br />

Lorenzo Leija Salas.<br />

Profesor del CINVESTAV-IPN, México


Prólogo<br />

Aunque la publicación de un libro representa siempre el final de una etapa, creo y deseo que en este<br />

caso se trate sólo del fin de una primera, del arranque inicial necesario para formar un buen equipo<br />

de trabajo.<br />

En esta obra, el lector podrá disfrutar de un texto completo y prácticamente autocontenido que<br />

aborda la ciencia y la tecnología de base en los micro y nano sistemas realmente en el estado del<br />

arte. Desde una lectura menos técnica, es claro que distintos grupos iberoamericanos comparten y<br />

han compartido sus conocimientos y la experiencia adquirida como resultado tangible de los proyectos<br />

y redes llevados a cabo en común. De esa lectura se deduce también que, posteriormente,<br />

estos grupos han sabido incorporarse e integrarse a grupos similares en Europa, con objeto de<br />

fomentar sinergias e incrementar su propio potencial. Sin duda alguna, éste es un inicio prometedor,<br />

con un presente encomiable y unas potencialidades inmensas. Hoy, el programa CYTED se siente<br />

orgulloso de haber contribuido a este proyecto desde sus orígenes.<br />

Por otra parte, la temática genérica del libro: sensores, microsensores y los sistemas electrónicos<br />

que se sustentan sobre ellos, no puede ser más actual. Nuestra sociedad apuesta decididamente por<br />

ello, es decir, que en la Sociedad de la Información no sean sólo los ordenadores los que generen,<br />

traten y difundan esa información. Actualmente el reto reside en que fluya además información propia<br />

de los seres vivos, y que la produzcan, traten y difundan unos u otros indistintamente: ordenadores<br />

y seres vivos compartiendo recursos sin fronteras preestablecidas. Es innegable que a partir de<br />

esa sinergia y del inicio de este trabajo conjunto se generarán conocimientos en torno a los complejos<br />

mecanismos de funcionamiento y de control en los seres vivos. Lo que permitirá desarrollar, a<br />

través de una retroalimentación, interfases que hagan amigables -a muy bajo nivel- al ser vivo, la<br />

electrónica, la información y el conocimiento.<br />

Asimismo, el desarrollo de la investigación que ha derivado en este libro ha surgido del trabajo<br />

en red, de compartir conocimiento, experiencia y saber hacer con grupos muy diversos y geográficamente<br />

distantes, lo que no puede ser también más actual. Y en este sentido no sólo nuestra sociedad<br />

está apostando al respecto, sino que es casi imposible concebir de otra forma el progreso. Y me<br />

refiero desde luego al progreso científico y tecnológico, pero también al industrial. La empresa que<br />

aspire a ser viable en el futuro no tiene más remedio que apoyarse en grupos como los presentes, en<br />

su I+D, trabajar con ellos en red y compartir conocimientos y tecnologías con otras empresas. Gestionar<br />

adecuadamente lo que se ha dado en llamar la “coopetición” (cooperación simultánea con la<br />

competición), parece ser la única salida viable para la innovación en las empresas y especialmente<br />

en las empresas de base tecnológica.<br />

Reiterando el orgullo que siente CYTED de haber contribuido a este proyecto, vaya por escrito<br />

y públicamente su compromiso y el de quien suscribe para dar todo el soporte posible al grupo, con<br />

el fin de que siga avanzando por esta vía con paso firme y con el mismo entusiasmo y la misma<br />

generosidad que hasta el momento.<br />

Jordi Aguiló<br />

Coordinador Científico y Tecnológico de CYTED<br />

- vii -


Índice de Contenidos<br />

Agradecimientos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - v<br />

Prólogo - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - vii<br />

Introducción a los Sensores e Inteligencia Artificial1<br />

A.1 Ordenadores, sensores y actuadores.......................................................................1<br />

A.2 Inteligencia artificial .......................................................................................................2<br />

A.3 Sensores químicos.........................................................................................................3<br />

A.3.1 Reconocimiento químico, biológico y biomimético..............................4<br />

A.3.2 Transductores ...............................................................................................6<br />

A.4 Integración en ciencia y tecnología............................................................................6<br />

A.4.1 Sistemas analíticos integrados....................................................................7<br />

A.5 Integración de sensores e inteligencia artificial.......................................................7<br />

A.5.1 Arreglos de sensores y aproximaciones biomimética..........................7<br />

A.5.2 Sensores y tecnologías de la información y la comunicación .............9<br />

A.5.3 Sensores y convergencia de tecnologías .................................................9<br />

A.6 Bibliografía recomendada...........................................................................................10<br />

Parte 1: Generalidades sobre los Sensores 1.A Sensores Físicos - - - - - - - - - - - - 11<br />

Presentación ..............................................................................................................................11<br />

Capítulo 1: Sensores de Temperatura - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 13<br />

1.1 Introducción..................................................................................................................13<br />

1.2 Sensores de temperatura resistivos (RTDs) .........................................................14<br />

1.3 Termistores ..................................................................................................................17<br />

1.4 Termocuplas o Termopares .....................................................................................20<br />

1.5 Sensores de temperatura basados en fibras ópticas............................................25<br />

1.6 Sensores de temperatura basados en uniones de semiconductores...............28<br />

- ix -


Índice de Contenidos<br />

1.7 Termómetros de expansión o dilatación de líquido ...........................................31<br />

1.8 Sensores de radiación.................................................................................................33<br />

1.9 Bibliografía recomendada...........................................................................................34<br />

Capítulo 2: Principios y Aspectos Prácticos de los Sensores Ultrasónicos - - - - - - - - - 35<br />

2.1 Introducción..................................................................................................................35<br />

2.2 Piezoelectricidad..........................................................................................................37<br />

2.2.1 Piroelectricidad y electrostricción..........................................................37<br />

2.2.2 Acciones piezoeléctricas...........................................................................38<br />

2.2.3 Envejecimiento ............................................................................................39<br />

2.3 Materiales piezoeléctricos .........................................................................................39<br />

2.3.1 Cristales de cuarzo.....................................................................................40<br />

2.3.2 Cristales solubles en agua.........................................................................40<br />

2.3.3 Monocristales con alto punto de fusión................................................40<br />

2.3.4 Semiconductores piezoeléctricos ...........................................................41<br />

2.3.5 Cerámicas piezoeléctricas ........................................................................41<br />

2.3.6 Compuestos piezoeléctricos....................................................................41<br />

2.4 La propagación ultrasónica........................................................................................41<br />

2.4.1 Ley de Hooke: la relación entre esfuerzo y deformación.................42<br />

2.4.2 Consideraciones generales.......................................................................42<br />

2.4.3 Propagación longitudinal y transversal...................................................42<br />

2.5 Propagación de la onda ultrasónica.........................................................................42<br />

2.5.1 Velocidad de propagación.........................................................................43<br />

2.5.2 Impedancia acústica ....................................................................................44<br />

2.5.3 Atenuación acústica....................................................................................44<br />

2.5.4 Medida de la absorción de energía ultrasónica....................................46<br />

2.6 El campo ultrasónico...................................................................................................47<br />

2.7 Medición del campo ultrasónico ..............................................................................48<br />

2.8 El transductor ultrasónico.........................................................................................52<br />

2.9 Patrón de propagación del haz ultrasónico ...........................................................53<br />

2.10 Focalización de transductores ..................................................................................54<br />

2.10.1 Transductores esféricos............................................................................54<br />

2.10.2 Focalizado eléctrico....................................................................................55<br />

2.10.3 Arreglo de transductores .........................................................................55<br />

2.11 Partes básicas de un equipo de ultrasonido ..........................................................56<br />

2.12 Diagramas eléctricos de referencia del pulsador-receptor de equipos<br />

de ultrasonido...............................................................................................................57<br />

2.13 Consideraciones a tomar en cuenta en la selección de un transductor.........61<br />

2.13.1 Consideraciones en la selección de un transductor...........................61<br />

2.13.2 Las aplicaciones de los transductores ultrasónicos en la medicina........63<br />

2.14 Bibliografía recomendada...........................................................................................64<br />

- x -


- xi -<br />

Índice de Contenidos<br />

Capítulo 3: Sensores Ultrasónicos Piezoeléctricos. Aspectos Básicos y Modelos Circuitales - - - 67<br />

3.1 Introducción..................................................................................................................67<br />

3.2 Estructura básica y aplicaciones ...............................................................................69<br />

3.3 Aspectos generales de diseño y parámetros de eficiencia.................................71<br />

3.4 Transductores piezoeléctricos trabajando en modo “espesor”.......................73<br />

3.5 Modelos circuitales de los transductores basados en placas<br />

piezoeléctricas vibrando en modo espesor...........................................................75<br />

3.6 Modelos y simulación utilizando PSPICE para su implementación...................79<br />

3.7 Adaptación circuital del modelo de Redwood para su implementación<br />

mediante Spice .............................................................................................................80<br />

3.7.1 Adaptación de Morris y Hutchens en formato Spice.........................81<br />

3.7.2 Otras adaptaciones para implementación en Spice ............................83<br />

3.8 Bibliografía recomendada...........................................................................................84<br />

Capítulo 4: Sensores Ópticos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 87<br />

4.1 Introducción..................................................................................................................87<br />

4.2 La naturaleza de la luz.................................................................................................88<br />

4.3 Sensores interferométricos.......................................................................................89<br />

4.4 Sensores de fibra óptica.............................................................................................92<br />

4.4.1 Propagación de la onda electromagnética a través de una guía<br />

de onda..........................................................................................................94<br />

4.4.2 Sensores extrínsecos de fibra óptica .....................................................94<br />

4.4.3 Sensores intrínsecos de fibra óptica.......................................................97<br />

4.5 Sensores optoquímicos. Un esquema integrado ..................................................99<br />

4.5.1 Conceptos básicos......................................................................................99<br />

4.5.2 Ejemplos prácticos de sensores ópticos integrados........................ 101<br />

4.5.3 Sensor óptico integrado de refracción, del tipo<br />

interferométrico ...................................................................................... 103<br />

4.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 105<br />

Capítulo 5: Sensores de Imágenes - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 107<br />

5.1 Las imágenes en biología y en medicina .............................................................. 107<br />

5.2 Los sensores de imágenes ...................................................................................... 108<br />

5.2.1 El Ojo.......................................................................................................... 108<br />

5.2.2 Los sensores CCD y CMOS................................................................. 109<br />

5.2.3 Sensores de color.................................................................................... 113<br />

5.2.4 Los espacios de representación del color ......................................... 114<br />

5.2.5 Los sensores de Rayos X y Gamma (y).............................................. 117<br />

5.2.6 Los sensores de infra-rojo..................................................................... 120<br />

5.2.7 Los sensores de ultrasonidos................................................................ 121<br />

5.2.8 Las imágenes láser y la luz estructurada............................................. 121<br />

5.3 Bibliografía recomendada........................................................................................ 125


Índice de Contenidos<br />

Capítulo 6: Sistemas Microelectromecánicos (MEMS) - - - - - - - - - - - - - - - - - - 127<br />

6.1 Medición y monitoreo de sistemas naturales con MEMS................................ 128<br />

6.2 Materiales ...................................................................................................................129<br />

6.3 Grabado......................................................................................................................130<br />

6.4 Fotolitografía.............................................................................................................. 132<br />

6.5 Mascarillas................................................................................................................... 132<br />

6.6 Encapsulamiento ....................................................................................................... 133<br />

6.7 Aplicaciones ............................................................................................................... 133<br />

6.7.1 Microsensores en la audición humana ................................................ 136<br />

6.8 Bibliografía recomendada........................................................................................ 141<br />

Capítulo 7: Sensores Magnéticos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 145<br />

7.1 Sensores inductivos.................................................................................................. 145<br />

7.1.1 Sensores inductivos con núcleo de aire ............................................. 145<br />

7.1.2 Sensores inductivos con núcleo ferromagnético.............................. 148<br />

7.1.3 Interfaces electrónicas para los sensores inductivos....................... 152<br />

7.2 Sensores fluxgate ...................................................................................................... 155<br />

7.2.1 Modelización de la característica de magnetización B-H<br />

en un material magnético....................................................................... 155<br />

7.2.2 Sensor fluxgate basado en varilla de material magnético ............... 157<br />

7.2.3 Sensor fluxgate basado en dos varillas de material<br />

magnético (fluxgate de Vacquier)......................................................... 159<br />

7.2.4 Interfaces electrónicas para sensores fluxgate.................................. 161<br />

7.3 Sensores magnetorresistivos: principios y propiedades.................................. 162<br />

7.3.1 Sensores magnéticos de estado sólido ............................................... 163<br />

7.3.2 Efecto magnetorresistivo galvanomagnético ..................................... 163<br />

7.3.3 Efecto magnetorresistivo anisotrópico............................................... 164<br />

7.3.4 Efecto magnetorresistivo gigante ......................................................... 167<br />

7.3.5 Interfaces electrónicas para sensores magnetorresistivos............. 169<br />

7.4 Sensores basados en el efecto Hall ...................................................................... 170<br />

7.4.1 El efecto Hall............................................................................................. 171<br />

7.4.2 Elementos Hall de película delgada...................................................... 172<br />

7.4.3 Sensores Hall integrados........................................................................ 174<br />

7.4.4 Interfaces electrónicas para sensores Hall......................................... 176<br />

7.4.5 Aplicaciones de los sensores Hall........................................................ 176<br />

7.5 Inductor Rogowski-Chattock ................................................................................ 179<br />

7.5.1 Caracterización física .............................................................................. 179<br />

7.5.2 Caracterización eléctrica ....................................................................... 180<br />

7.5.3 Aspectos prácticos a tener en cuenta................................................. 182<br />

7.5.4 Interfaz electrónico para inductor de Rogowski-Chattock ........... 183<br />

7.5.5 Aplicaciones .............................................................................................. 184<br />

7.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 184<br />

- xii -


- xiii -<br />

Índice de Contenidos<br />

Parte I: Generalidades sobre sensores 1.B Sensores químicos - - - - - - - - - - - - 187<br />

Presentación ........................................................................................................................... 187<br />

Capítulo 8: Sensores Potenciométricos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 189<br />

8.1 Introducción............................................................................................................... 189<br />

8.2 Electrodos selectivos de iones .............................................................................. 191<br />

8.2.1 Diferentes tipos de electrodos selectivos ......................................... 193<br />

8.2.2 Electrodos compuestos.......................................................................... 196<br />

8.3 Electrodos de alambre recubierto........................................................................ 197<br />

8.4 Sensores tipo ISFET ................................................................................................. 198<br />

8.4.1 El modelo de la doble capa eléctrica................................................... 200<br />

8.4.2 EL EnFET.................................................................................................... 203<br />

8.4.3 Principio de funcionamiento de los EnFETs....................................... 203<br />

8.5 Conclusiones ............................................................................................................. 204<br />

8.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 205<br />

Capítulo 9: Sensores Amperométricos- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 207<br />

9.1 Introducción............................................................................................................... 207<br />

9.2 La técnica voltamperométrica ............................................................................... 208<br />

9.3 Técnicas amperométricas....................................................................................... 210<br />

9.3.1 Voltamperometría cíclica ....................................................................... 210<br />

9.3.2 Voltamperometría diferencial de pulsos............................................. 210<br />

9.3.3 Voltamperometría de redisolución...................................................... 210<br />

9.4 Sensores amperométricos...................................................................................... 211<br />

9.4.1 Electrodos modificados químicamente ............................................... 212<br />

9.4.2 Biosensores amperométricos ............................................................... 214<br />

9.4.3 Otros dispositivos amperométricos destacados.............................. 214<br />

9.5 Conclusiones ............................................................................................................. 216<br />

9.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 216<br />

Capítulo 10: Biosensores - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 219<br />

10.1 Introducción............................................................................................................... 219<br />

10.2 Biosensores: Clasificación....................................................................................... 220<br />

10.2.1 Según el elemento de reconocimiento ............................................... 220<br />

10.2.2 Según el elemento transductor ............................................................ 227<br />

10.3 Técnicas de inmovilización ..................................................................................... 231<br />

10.3.1 Adsorción física........................................................................................ 232<br />

10.3.2 Atrapamiento o copolimerización dentro de una matriz<br />

polimérica .................................................................................................. 232<br />

10.3.3 Entrecruzamiento .................................................................................... 234<br />

10.3.4 Enlace covalente....................................................................................... 234<br />

10.3.5 Interacciones electrostáticas................................................................. 234<br />

10.3.6 Interacciones de afinidad........................................................................ 235<br />

10.4 Aplicaciones ............................................................................................................... 235<br />

10.4.1 Biosensor de glucosa: Un gran éxito comercial ............................... 235


Índice de Contenidos<br />

10.4.2 Uso de sensores basados en ácidos nucleicos para<br />

el diagnóstico de cáncer......................................................................... 237<br />

10.4.3 Biosensor de microcistina para el control medioambiental<br />

y clínico ...................................................................................................... 238<br />

10.4.4 Biosensor de ocratoxina A: evaluación de la calidad de los<br />

alimentos.................................................................................................... 240<br />

10.5 Conclusiones y perspectivas .................................................................................. 242<br />

10.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 243<br />

Parte 2: Fundamentos de la Inteligencia Artificial - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 249<br />

Presentación ........................................................................................................................... 249<br />

Capítulo 11: Acondicionamiento de Señal - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 251<br />

11.1 Sistema de medida.................................................................................................... 251<br />

11.2 Procesamiento analógico de la señal.................................................................... 252<br />

11.2.1 Tipos de señales....................................................................................... 253<br />

11.2.2 Puente de Wheatstone........................................................................... 254<br />

11.2.3 Amplificador operacional....................................................................... 256<br />

11.2.4 Etapa de amplificación DC..................................................................... 257<br />

11.2.5 Amplificacion AC ..................................................................................... 264<br />

11.3 Multiplexado .............................................................................................................. 266<br />

11.4 Adquisición en el dominio de las amplitudes CAD .......................................... 268<br />

11.5 Muestreo y retención .............................................................................................. 270<br />

11.6 Barreras de aislamiento........................................................................................... 271<br />

11.7 Interfaces directas sensor-microcontrolador .................................................... 272<br />

11.8 Bibliografía recomendada........................................................................................ 274<br />

Capítulo 12: Análisis en el Dominio de la Frecuencia - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 275<br />

12.1 Dominio de la frecuencia........................................................................................ 275<br />

12.2 Series de Fourier ...................................................................................................... 276<br />

12.3 Transformada de Fourier........................................................................................ 277<br />

12.3.1 Densidad espectral de potencia ........................................................... 279<br />

12.3.2 Función de autocorrelación................................................................... 279<br />

12.4 Muestreo ....................................................................................................................280<br />

12.4.1 Periodo de muestreo.............................................................................. 280<br />

12.4.2 Teorema de muestreo............................................................................ 283<br />

12.5 Transformada de Fourier Discreta (DFT) .......................................................... 283<br />

12.6 Efecto del intervalo de tiempo finito en el muestreo ...................................... 287<br />

12.7 Transformada rápida de Fourier (FFT)................................................................ 290<br />

12.7.1 Descomposición en el dominio del tiempo....................................... 290<br />

12.7.2 Descomposición en el domino de la frecuencia............................... 293<br />

12.8 Bibliografía recomendada........................................................................................ 294<br />

- xiv -


- xv -<br />

Índice de Contenidos<br />

Capítulo 13: Eliminación de Ruido Mediante el Uso de Wavelets - - - - - - - - - - - - - 295<br />

13.1 Wavelets ortogonales para la eliminación de ruido<br />

y compresión ............................................................................................................. 295<br />

13.1.1 Descomposición dispersa de señales .................................................. 296<br />

13.1.2 Descomposición del ruido..................................................................... 297<br />

13.1.3 Algoritmo general para la eliminación de ruido ............................... 298<br />

13.2 Eliminación de ruido mediante la umbralización de la wavelet...................... 300<br />

13.2.1 Estrategia de umbralización................................................................... 300<br />

13.2.2 Cálculo del umbral................................................................................... 302<br />

13.3 Bibliografía recomendada........................................................................................ 306<br />

Capítulo 14: Aplicación de Redes Neuronales Artificiales a la Minería de Datos - - - - - - - 307<br />

14.1 Introducción............................................................................................................... 307<br />

14.2 Descubrimiento del conocimiento y minería de datos.................................... 308<br />

14.3 Perceptrón multicapa (MLP) .................................................................................. 309<br />

14.4 Algunas aplicaciones de las redes MLPs .............................................................. 312<br />

14.5 Mapas auto-organizativos (SOM).......................................................................... 313<br />

14.6 Aplicaciones de las redes SOM ............................................................................. 316<br />

14.7 Conclusiones ............................................................................................................. 318<br />

14.8 Bibliografía recomendada........................................................................................ 319<br />

Capítulo 15: Algoritmos Genéticos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 321<br />

15.1 Introducción............................................................................................................... 321<br />

15.2 Estructura del algoritmo genético ........................................................................ 322<br />

15.3 Implementación del algoritmo genético básico ................................................. 323<br />

15.4 Representación, codificación y generación de la población inicial ................ 325<br />

15.5 Evaluación y selección.............................................................................................. 326<br />

15.6 Operadores genéticos............................................................................................. 326<br />

15.7 Generación de la nueva población........................................................................ 328<br />

15.8 Un sencillo ejemplo.................................................................................................. 328<br />

15.9 Conclusiones ............................................................................................................. 331<br />

15.10 Revisión bibliográfica................................................................................................ 331<br />

15.11 Bibliografía recomendada....................................................................................... 332<br />

Capítulo 16: Máquinas de Vectores Soporte para Clasificación - - - - - - - - - - - - - - 335<br />

16.1 Introducción............................................................................................................... 335<br />

16.2 Casos linealmente separables ................................................................................ 338<br />

16.3 Múltiples categorías.................................................................................................. 343<br />

16.4 Caso no separable linealmente.............................................................................. 344<br />

16.5 Maquinas de vectores soporte no lineales.......................................................... 346<br />

16.6 Revisión bibliográfica................................................................................................ 349<br />

16.7 Bibliografía recomendada........................................................................................ 349


Índice de Contenidos<br />

Parte 3: Algunas Aplicaciones de Sensores con Inteligencia Artificial - - - - - - - - - - 353<br />

Presentación ........................................................................................................................... 353<br />

Capítulo 17: Aplicaciones en Sistemas Distribuidos- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 355<br />

17.1 Introducción............................................................................................................... 355<br />

17.2 Sistemas de instrumentación.................................................................................. 356<br />

17.3 Arquitectura de un sistema de instrumentación............................................... 356<br />

17.3.1 HARDWARE............................................................................................ 357<br />

17.3.2 SOFTWARE.............................................................................................. 361<br />

17.4 Redes de sensores.................................................................................................... 363<br />

17.5 Objetivos de una red de sensores........................................................................ 365<br />

17.6 Topología de la red de sensores........................................................................... 365<br />

17.7 Hardware de la red de sensores........................................................................... 366<br />

17.7.1 Hardware del nodo central................................................................... 370<br />

17.7.2 Hardware del nodo remoto.................................................................. 371<br />

17.8 Software de los nodos central y remoto ............................................................ 373<br />

17.9 Interfaz gráfica de la red de sensores .................................................................. 374<br />

17.10 Comunicación entre los nodos de la red de sensores .................................... 375<br />

17.10.1 Red cableada ............................................................................................. 376<br />

17.10.2 Red inalámbrica ........................................................................................ 378<br />

17.11 Aplicaciones de los sistemas de medida distribuidos....................................... 381<br />

17.12 Bibliografía recomendada........................................................................................ 386<br />

Capítulo 18: Sensores de Temperatura y Campo Eléctrico en Hipertermia Oncológica - - - 387<br />

18.1 Hipertermia oncológica........................................................................................... 387<br />

18.2 Principios biológicos a nivel celular y fisiológico............................................... 389<br />

18.2.1 Efectos a nivel celular, metabólico y molecular................................ 389<br />

18.2.2 Efectos fisiológicos................................................................................... 390<br />

18.3 Sensor de campo eléctrico..................................................................................... 395<br />

18.3.1 Detector .................................................................................................... 398<br />

18.3.2 Línea de transmisión resistiva............................................................... 399<br />

18.4 Sensores de temperatura: introducción.............................................................. 402<br />

18.4.1 Sensores invasivos ................................................................................... 405<br />

18.5 Bibliografía recomendada........................................................................................ 413<br />

Capítulo 19: Diagnóstico de CVA Isquémicos Asistido por Redes Neuronales Mediante<br />

la Exploración por CT - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 415<br />

19.1 Introducción............................................................................................................... 416<br />

19.2 Metodología ............................................................................................................... 416<br />

19.2.1 Redes neuronales RBF............................................................................ 417<br />

19.3 Conjunto de datos ................................................................................................... 418<br />

19.4 Parte experimental................................................................................................... 420<br />

19.5 Resultados y discusión............................................................................................. 420<br />

- xvi -


- xvii -<br />

Índice de Contenidos<br />

19.6 Conclusiones y trabajos futuros............................................................................ 423<br />

19.7 Bibliografía recomendada........................................................................................ 423<br />

Capítulo 20: Aplicación de los Algoritmos Genéticos en Diseño y Estimación Paramétrica<br />

de Sistemas Sensores Ultrasónicos - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 425<br />

20.1 Generalidades............................................................................................................ 426<br />

20.1.1 Analogía biológica de los algoritmos genéticos ................................ 427<br />

20.2 Estructura del algoritmo genético usada en el diseño de sensores<br />

ultrasónicos................................................................................................................ 428<br />

20.3 Aplicaciones de los algoritmos genéticos en el área de los ultrasonidos........ 432<br />

20.3.1 Necesidad de la estimación de parámetros constructivos<br />

en sensores ultrasónicos........................................................................ 432<br />

20.3.2 Conveniencia del empleo de los AGs en el contexto<br />

de la estimación paramétrica ................................................................ 433<br />

20.4 Implementaciones del procedimiento de estimación para<br />

transductores ultrasónicos piezoeléctricos de banda ancha .......................... 435<br />

20.5 Resultados de estimación aplicando el procedimiento basado en AGs<br />

para dos transductores ultrasónicos de banda ancha ...................................... 438<br />

20.5.1 Resultados para la primera implementación: con respuestas<br />

simuladas de un transductor de alta frecuencia. Análisis<br />

de viabilidad del procedimiento............................................................ 438<br />

20.5.2 Resultados con la segunda implementación: aplicación a<br />

un transductor piezocerámico práctico. Validación con<br />

mediciones experimentales ................................................................... 440<br />

20.6 Bibliografía recomendada........................................................................................ 443<br />

Capítulo 21: Métodos de Soft Computing para la Estimación no Invasiva de la Temperatura<br />

en Medios Multicapa Empleando Ultrasonido Retrodisperso - - - - - - - - - 445<br />

21.1 Introducción............................................................................................................... 446<br />

21.2 Disposición experimental y adquisición de datos ............................................. 447<br />

21.3 Procesamiento de datos.......................................................................................... 450<br />

21.4 Entrenamiento y selección de la estructura de RBFNN ................................. 451<br />

21.5 Resultados y discusión............................................................................................. 455<br />

21.6 Conclusiones ............................................................................................................. 459<br />

21.7 Bibliografía recomendada........................................................................................ 460<br />

Capítulo 22: Sistemas Sensores Ultrasónicos para Detección e Imagen. Control Electrónico<br />

y Simulación Circuital - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 463<br />

22.1 Presentación del capítulo........................................................................................ 464<br />

22.2 Generalidades. Implicaciones tecnológicas......................................................... 464<br />

22.3 Esquemas ultrasónicos generales para detección e imagen............................ 465<br />

22.4 Control de sensores ultrasónicos para las aplicaciones de imagen.<br />

Principales requerimientos..................................................................................... 467<br />

22.4.1 Excitación pulsada de Arrays de sensores ultrasónicos<br />

en alta frecuencia ..................................................................................... 468


Índice de Contenidos<br />

22.4.2 Circuitos excitadores mono-canal para transductores<br />

de imagen ultrasónica ............................................................................. 469<br />

22.4.3 Circuitos para recepción de señales de banda ancha<br />

en sensores ultrasónicos........................................................................ 471<br />

22.5 Excitador eficiente con impulsos AT de sensores para imagen<br />

ultrasónica .................................................................................................................. 472<br />

22.6 Modelización circuital para simular la excitación impulsional en alta<br />

tensión de los sensores piezoeléctricos. Tratamiento de aspectos<br />

no lineales................................................................................................................... 474<br />

22.6.1 Adaptación entre los sensores piezoeléctricos<br />

y la electrónica no lineal asociada........................................................ 474<br />

22.6.2 Aproximaciones propuestas para modelar las etapas de<br />

excitación pulsada.................................................................................... 475<br />

22.7 Implementaciones circuitales para simular la respuesta transitoria<br />

de los sensores piezoeléctricos en sistemas pulso-eco.<br />

Adaptación de modelos .......................................................................................... 477<br />

22.7.1 Resumen de bases teóricas para el análisis transitorio................... 477<br />

22.7.2 Implementación circuital de Leach del modelo Mason-Redwood<br />

para vibración en modo “Espesor”...................................................... 480<br />

228 Representaciones en SPICE del circuito análogo de Leach<br />

para el sensor ............................................................................................................ 481<br />

22.9 Simulación circuital global de un emisor-receptor de pulsos<br />

ultrasónicos................................................................................................................ 485<br />

22.9.1 Simulación circuital de pérdidas Internas en el sensor<br />

piezoeléctrico ........................................................................................... 486<br />

22.10 Bibliografía recomendada........................................................................................ 487<br />

Capítulo 23: Segmentación de Agrupamientos de Microcalcificaciones en las Imágenes<br />

de Rayos X para su Detección Temprana en Mama- - - - - - - - - - - - - - 489<br />

23.1 Introducción............................................................................................................... 490<br />

23.1.1 Contexto médico..................................................................................... 490<br />

23.1.2 Trabajo previo .......................................................................................... 491<br />

23.2 Algoritmo de la segmentación............................................................................... 492<br />

23.2.1 Principio del algoritmo ........................................................................... 492<br />

23.2.2 Tratamiento de las imágenes de contraste realzado....................... 492<br />

23.2.3 Tratamiento de las imágenes suavizadas ............................................ 494<br />

23.2.4 Tratamiento de las imágenes binarias ................................................. 494<br />

23.2.5 Extracción de características y clasificación de los candidatos ..... 494<br />

23.3 Pruebas de la segmentación, resultados y discusión ........................................ 496<br />

23.3.1 Criterios de evaluación de los resultados y base de datos<br />

de imagen................................................................................................... 496<br />

23.3.2 Ajuste del parámetro del algoritmo .................................................... 498<br />

23.3.3 Resultados de la segmentación y discusión ....................................... 498<br />

23.4 Conclusión y discusión sobre la utilidad del algoritmo de<br />

la segmentación......................................................................................................... 502<br />

23.5 Bibliografía recomendada........................................................................................ 505<br />

- xviii -


- xix -<br />

Índice de Contenidos<br />

Capítulo 24: Lenguas Electrónicas Potenciométricas - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 507<br />

24.1 Introducción............................................................................................................... 507<br />

24.1.1 La lengua electrónica, un sistema bio inspirado en el sentido<br />

del gusto..................................................................................................... 508<br />

24.1.2 Lengua electrónica................................................................................... 509<br />

24.2 Arreglo de sensores potenciométricos............................................................... 510<br />

24.2.1 Arreglos redundantes ............................................................................. 511<br />

24.2.2 Arreglos selectivos .................................................................................. 511<br />

24.2.3 Arreglos de selectividad cruzada.......................................................... 511<br />

24.3 Procesamiento........................................................................................................... 511<br />

24.3.1 Datos de entrenamiento........................................................................ 514<br />

24.4 Aplicaciones ............................................................................................................... 515<br />

24.5 Bibliografía recomendada........................................................................................ 516<br />

Capítulo 25: Lenguas Electrónicas Voltamperométricas - - - - - - - - - - - - - - - - - - 519<br />

25.1 Introducción............................................................................................................... 519<br />

25.1.1 Sistemas bioinspirados............................................................................ 520<br />

25.2 Naturaleza de los sensores .................................................................................... 521<br />

25.2.1 Uso de un único sensor voltamperométrico .................................... 521<br />

25.2.2 Uso de matrices de sensores voltamperométricos......................... 521<br />

25.3 Uso de biosensores.................................................................................................. 523<br />

25.4 Estrategias de procesamiento................................................................................ 523<br />

25.5 Aplicaciones representativas.................................................................................. 524<br />

25.6 Conclusiones ............................................................................................................. 527<br />

25.7 Bibliografía recomendada........................................................................................ 527<br />

Índice alfabético - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 529


A.1<br />

Introducción a los Sensores<br />

e Inteligencia Artificial<br />

SALVADOR ALEGRET<br />

Universitat Autònoma de Barcelona, España.<br />

Ordenadores, sensores y actuadores<br />

La irrupción de los ordenadores o computadores en multitud de ámbitos de nuestra sociedad, tan<br />

vitales como son los de orden económico, social, político, cultural, artístico y, sobre todo, los de<br />

tipo científico y técnico, ha sido considerada como una verdadera revolución, y hay quien aventura<br />

que tendrá un impacto mayor al que supuso la Revolución Industrial.<br />

El ordenador se ha convertido en un centro neural, una especie de ‘cerebro’, que regula, ayuda,<br />

calcula, coordina, controla, evalúa, informa, comunica o decide, cada vez más, desde aspectos puntuales<br />

cotidianos hasta otros de repercusión y alcance mundiales. De hecho, el ordenador no tan<br />

solo asiste al hombre en multitud de tareas –con gran rapidez, fiabilidad, integridad, seguridad o<br />

privacidad–, sino que lo sustituye en un gran número de actividades, que hasta hace muy poco eran<br />

inimaginables. Los ordenadores empiezan a ser unos «ingenios ubicuos».<br />

Uno de los usos más generalizados de los ordenadores en las sociedades desarrolladas es la gestión<br />

de la información, de naturaleza muy diversa, la cual se almacena de forma jerarquizada en<br />

base de datos, de fácil acceso y diseminación a través de redes telemáticas de alcance mundial.<br />

Nunca antes de ahora, gracias a los ‘cerebros ordenadores y computadores’, no había habido tanta<br />

información disponible, fácilmente accesible y bien gestionada. Y también nunca antes de ahora, a<br />

su vez, no había habido la necesidad de generar datos de forma continua para que los ‘cerebros<br />

electrónicos’ puedan construir sus propios sistemas de información y de conocimiento, y puedan<br />

intervenir en un sistema exterior de forma inmediata y eficiente. Debido a la alta velocidad en el<br />

procesamiento de los datos que permiten los ordenadores actuales, uno de los pasos limitantes, para<br />

que dichos instrumentos puedan tomar decisiones oportunas, más o menos rápidamente, es la forma<br />

en que el ordenador adquiere los datos o las señales desde el exterior, que le permitirán reaccionar.<br />

Si, por ejemplo, la adquisición de datos se efectúa físicamente de la mano del hombre, de forma<br />

más bien lenta, esto imposibilita efectuar reacciones de forma inmediata.<br />

En este contexto, hay una demanda creciente de dispositivos que sean capaces de suministrar de<br />

forma continua a los ‘cerebros electrónicos’ información del mundo exterior. Es decir, de dotar a<br />

los ordenadores de una especie de ‘sentidos’, de unos análogos de la vista, el oído, el tacto, el gusto


Introducción a los Sensores e Inteligencia Artificial<br />

y el olfato. Dispositivos de este tipo se les conoce con el nombre de sensores. Son muy habituales<br />

los sensores de temperatura, presión, aceleración, nivel, caudal, sonido, radiactividad, luz, color,<br />

etc. (sensores físicos). Son menos habituales sensores de componentes (sólidos, líquidos o gaseosos)<br />

de los sistemas materiales de interés biomédico, ambiental o industrial (sensores químicos), y<br />

por esto se están haciendo actualmente muchos esfuerzos de I+D en esta dirección.<br />

Sin dejar este contexto, el retrato no quedaría completo si no tuviésemos en cuenta que la información<br />

percibida de forma continua por el ordenador mediante los distintos tipos de sensores, debidamente<br />

procesada, eventualmente con algoritmos de inteligencia artificial (ver § A.2), sirve para<br />

construir conocimiento, el cual permitirá intervenir en los sistemas materiales de una forma racional,<br />

mediante los actuadores (válvulas, motores, bombas, pinzas, articulaciones, brazos, dispensadores,<br />

etc.) que, haciendo el papel de unas ‘extremidades’, permiten al ordenador intervenir en su<br />

entorno exterior.<br />

A.2<br />

Sensores físicos<br />

Comunicación<br />

Conocimiento<br />

Toma de decisiones<br />

Figura A.1 Sistema simple de control de un proceso a partir de sensores<br />

y actuadores gobernados por un ordenador, con indicación de<br />

distintas categorías de actividades informáticas realizadas y de su analogía<br />

antropomórfica.<br />

Inteligencia artificial<br />

Información<br />

Computador<br />

Actuadores<br />

La inteligencia artificial (IA) es el reto más ambicioso de la informática actual. Hace años que se ha<br />

conseguido que los ordenadores sean más rápidos y tengan más memoria que los humanos. Ahora<br />

se trata que las máquinas tengan también inteligencia o, es decir, que realicen ciertas tareas que<br />

hechas por el hombre requieren el uso de la inteligencia.<br />

Actualmente, cuando se investiga en el campo de la IA se persiguen dos objetivos complementarios,<br />

que ponen su énfasis, respectivamente, en aspectos teóricos o aplicados. Por un lado se estudian<br />

los procesos cognitivos en general considerando la inteligencia como computación; cómo los<br />

ordenadores pueden ser útiles en la comprensión de los principios que hacen posible la inteligencia.<br />

De aquí los múltiples puntos de contacto de la IA con ciencias como, por ejemplo, la neurofisiología,<br />

la lógica formal y la lingüística. Por otro lado, la IA intenta obtener sistemas automáticos que<br />

- 2 -<br />

Sensores químicos<br />

Sentidos<br />

Cerebro<br />

Extremidades


- 3 -<br />

Sensores químicos<br />

puedan realizar tareas reservadas a los humanos. Aquí la IA aparece como una disciplina eminentemente<br />

tecnológica que persigue la construcción de máquinas y programas capaces de llevar a cabo<br />

tareas complejas con una competencia y eficiencia iguales o superior a la de los humanos.<br />

Uno de los temas centrales de la IA son los diferentes sistemas que utiliza para la representación<br />

del conocimiento y, implícitamente, las posibilidades que dicha representación ofrece para su utilización.<br />

Los sistemas expertos, que reproducen correctamente el comportamiento de un experto<br />

humano en el dominio de su competencia, también llamados sistemas basados en el conocimiento,<br />

es otro campo de la IA. Las redes neuronales artificiales (ANN, artificial neural networks), que pretenden<br />

reproducir, mediante sistemas informáticos, la estructura y el comportamiento de las redes<br />

neuronales biológicas, han encontrado aplicaciones en muchos campos y, en especial, en algunos<br />

problemas clásicos de la IA, como el reconocimiento de formas y de voz.<br />

Hoy en día las técnicas de IA se aplican en distintos campos, como por ejemplo en sistemas<br />

expertos, visión por ordenador, lenguaje natural, robótica, sensores, etc.<br />

A.3<br />

Sensores químicos<br />

En electroanálisis, el concepto de sensor químico representa un redescubrimiento de un tipo de instrumentación<br />

muy habitual en este campo. Los sensores químicos tienen hoy en día un interés renovado<br />

debido a las perentorias necesidades actuales de disponer más y mejor información analítica en unas<br />

condiciones no convencionales. En efecto, unas veces en complementariedad, otras en oposición al<br />

diseño o concepto que representan los grandes equipos analíticos −de elevado coste, de manipulación<br />

especializada y confinados en recintos acondicionados−, los sensores químicos representan una nueva<br />

clase de instrumentación analítica, caracterizada por unas pequeñas dimensiones, un bajo coste, una<br />

utilización amigable y una generación de la información (idealmente) en tiempo real.<br />

En electroanálisis, atendiéndonos a las características acabadas de mencionar, se utilizan sensores<br />

químicos desde principios del siglo pasado. Son muy bien conocidos, por ejemplo, los electrodos<br />

redox, los electrodos selectivos de iones, especialmente el electrodo de vidrio para medir el pH,<br />

y, en cierta forma, los distintos detectores electroquímicos asociados a la instrumentación analítica,<br />

por ejemplo en cromatografía. Lo que ha acontecido ahora es que, desde la irrupción y popularización<br />

de los ordenadores en los laboratorios, se ha impulsado de forma sistemática I + D en sensores,<br />

tanto físicos como químicos, debido a la extraordinaria innovación que representa el seguimiento<br />

en continuo con microprocesadores de parámetros físicos y químicos de un proceso complejo (por<br />

ejemplo, biomédico, ambiental o industrial) y, en consecuencia, poderlo controlar y actuar sobre él<br />

de forma provechosa mediante actuadores (ver § A.1).<br />

Idealmente, un sensor químico está formado por dos partes bien diferenciadas. Un elemento de<br />

reconocimiento molecular o iónico (receptor) (ver § A.3.1), que interacciona selectivamente con un<br />

determinado componente de la muestra (analito), y un elemento instrumental (transductor) que traduce<br />

la interacción en una señal procesable (ver § A.3.2). Ambas partes pueden encontrarse más o<br />

menos integradas, pero en todo caso conectadas, ya que la señal primaria generada en la reacción de<br />

reconocimiento (de tipo electroquímico, óptico, térmico o másico) será convertida por el transductor<br />

en una señal secundaria, en último término, del dominio eléctrico (ver Fig. A.2). La ‘conexión’<br />

entre el elemento receptor y el transductor se materializa mediante los procesos conocidos como<br />

inmovilización.<br />

Cuando el elemento de reconocimiento o receptor (R) es un reactivo sintético denominamos al<br />

sensor químico quimiosensor, y cuando se trata de un reactivo de naturaleza biológica, lo designamos<br />

como biosensor.<br />

Así pues, esta configuración tan simple de reconocimiento + transducción, que integra el proceso<br />

analítico convencional, ha permitido un diseño de una nueva instrumentación, de característi-


Capítulo 1 Sensores de Temperatura<br />

Actualmente, los sensores de temperatura se han convertido en elementos esenciales en incontables<br />

aplicaciones. En este capítulo, se presentan los sensores más utilizados para realizar mediciones de<br />

temperatura.<br />

1.2<br />

Sensores de temperatura resistivos (RTDs)<br />

Los detectores de temperatura resistivos son aquellos que varían la resistencia eléctrica, R, en función<br />

del parámetro físico que quiere medirse. Se suelen designar con sus siglas inglesas RTD<br />

(Resistance Temperature Detector). Pertenecen a la familia de los sensores o detectores que se<br />

basan en los métodos eléctricos para el control y la medición de la temperatura. En la Figura 1.1 se<br />

muestra la representación gráfica general para estos detectores.<br />

+ t 0<br />

Figura 1.1 Representación gráfica de un RTD.<br />

La línea recta en diagonal sobre el resistor indica que tienen un comportamiento lineal intrínseco<br />

y la anotación que la acompaña indica que su variación se debe a la temperatura y que tiene un<br />

coeficiente positivo.<br />

El funcionamiento de los RTDs se basa en la propiedad que tienen los metales que constituyen<br />

dichos detectores de cambiar su resistencia eléctrica de forma casi lineal al variar la temperatura. Al<br />

aumentar la temperatura, la agitación térmica de los electrones (vibraciones alrededor de su posición<br />

de equilibrio) también lo hace, reduciendo el espacio físico para el desplazamiento de estos y<br />

por tanto su velocidad media. Todo ello se traduce en un aumento de la resistencia al aumentar la<br />

temperatura, de ahí que los RTDs tengan un coeficiente de temperatura positivo. Dicha variación<br />

puede expresarse de la forma siguiente:<br />

n<br />

RT ( ) R(1 T<br />

) , (1.1)<br />

0 n1<br />

n<br />

donde R0 es la resistencia a la temperatura del material a 0 ºC y viene determinada por las dimensiones<br />

del RTD y la resistividad del material empleado, T es el incremento de temperatura y es el coeficiente<br />

de temperatura resistivo del material. Para determinados conductores, los coeficientes a partir<br />

del segundo orden pueden despreciarse con respecto a 1 en un amplio margen de temperatura y la<br />

expresión anterior queda como:<br />

RT ( ) R(1 T)<br />

. (1.2)<br />

0<br />

El empleo de un conductor para la medida de temperaturas, basándose en el comportamiento descrito<br />

anteriormente, está sometido a varias limitaciones. En primer lugar, es obvio que no se podrán<br />

medir temperaturas próximas ni superiores a las de fusión del conductor. En segundo lugar, para poder<br />

- 14 -


- 15 -<br />

Sensores de temperatura resistivos (RTDs)<br />

medir una temperatura determinada con este método es necesario que el sensor esté precisamente a<br />

dicha temperatura. Habrá que evitar, pues, autocalentamientos provocados por el circuito de medida.<br />

La capacidad de disipación de calor, para un determinado sensor en un ambiente concreto, viene dada<br />

por el coeficiente de disipación, y depende del tipo de fluido y su velocidad, en el caso que sea posible<br />

la evacuación de calor por convección. Otra limitación a considerar es la posible presencia de deformaciones<br />

mecánicas que provocan también un cambio en el valor de la resistencia eléctrica de un conductor.<br />

Esta situación puede darse, inadvertidamente, al medir, por ejemplo temperaturas superficiales<br />

mediante un elemento adherido a la superficie (R. P. Areny 2005).<br />

En general, las ventajas de todos estos termómetros se concentran en la alta repetibilidad, la<br />

linealidad, estabilidad a largo plazo, su sensibilidad (que es unas diez veces mayor que la de los termopares),<br />

exactitud (en el caso del platino), y el bajo costo (en el caso del cobre y del níquel).<br />

Los materiales más frecuentemente utilizados en la fabricación de los RTDs son: níquel, oro, cobre,<br />

plata y platino. En la Tabla 1.1 se presentan las propiedades más importantes de algunos materiales.<br />

Las características que deben poseer los materiales para construir un RTD son las siguientes:<br />

• Alto coeficiente de temperatura de la resistencia (alta sensibilidad).<br />

• Alta resistividad (alta velocidad de respuesta y menor error). La resistividad es una característica<br />

propia de un material medido, con unidades de ohmios-metro, que indica cuanto se opone el<br />

material al paso de la corriente.<br />

• Relación lineal resistencia-temperatura.<br />

• Rigidez y ductilidad.<br />

• Estable en sus características durante la vida útil del RTD.<br />

Tabla 1.1 Especificaciones de diversos detectores de temperatura resistivos.<br />

Metales Resistividad a 20 ºC<br />

(Ω cm)<br />

Coeficiente<br />

de temperatura (Ω/Ω/K)<br />

Platino 10.6 3.85 x 10 –3<br />

Intervalo<br />

de temperatura ºC<br />

–200 a +850<br />

Níquel 6.844 6.81 x 10 –3 –80 a +320<br />

Molibdeno 5.7 3.786 x 10 –3<br />

Cobre 1.673 4.3 x 10 –3<br />

–200 a +200<br />

–200 a +260<br />

El oro y la plata se usan raramente debido a su baja resistividad y alto costo. Los materiales por<br />

excelencia usados en la fabricación de RTDs son: platino, cobre y níquel. Se construyen termómetros<br />

de platino depositando películas de metal por evaporación o proyección sobre un soporte cerámico,<br />

y cortando éste con un láser. Los de cobre o níquel se construyen con menor calidad y más<br />

baratos, fabricados sobre soportes planos de cerámica o polímeros. La descripción de las ventajas y<br />

desventajas de cada uno de estos metales será presentada a continuación.<br />

– El cobre es un metal barato, estable, tiene una variación de resistencia uniforme en el intervalo<br />

de temperatura cercano a la del ambiente, pero tiene el inconveniente de su baja resistividad, ya<br />

que hace que las variaciones relativas de resistencia sean menores que las de cualquier otro<br />

metal. Por otra parte, sus características químicas lo hacen inutilizable por encima de los 180 ºC.


Capítulo 1 Sensores de Temperatura<br />

– El níquel es un material relativamente de bajo coste, presenta una resistencia más elevada con<br />

mayor variación por grado, alta resistividad y coeficiente de temperatura, ofrece mayor sensibilidad,<br />

pero su margen lineal es menor que el del platino, ver la Figura 1.2. En el intervalo de<br />

temperatura de 0 a 100 ºC, su resistencia aumenta en un 62 % mientras que el platino solo<br />

aumenta en un 38 %. Los problemas relativos a su oxidación u otro tipo de deterioro químico,<br />

limitan su utilización e incluso ponen en peligro la reproducibilidad de sus medidas.<br />

– El platino es el material que ofrece mejores prestaciones desde el punto de vista de precisión y<br />

estabilidad, además, ofrece un margen lineal más amplio (–200 a 850 ºC, e incluso superior con<br />

ciertas correcciones), no es reactivo, presenta mejor resistencia a la oxidación, posee una gran<br />

inercia química y es relativamente fácil de obtener puro. Los sensores de platino son considerados<br />

más exactos en las mediciones de temperatura, hasta el punto de que se emplean como<br />

patrones de referencia en los laboratorios de termometría entre las temperaturas de (–182.96 ºC<br />

y 630.74 ºC). El sensor con sonda de platino es uno de los sensores de temperatura más comunes.<br />

La tolerancia en los valores de resistencia está entre el 0.1 % y el 1 %. Además, como metal<br />

noble que es, no es propenso a la contaminación. En aquellas aplicaciones donde puede resultar<br />

excesivamente caro, se prefieren el níquel o aleaciones de éste. Existen dos configuraciones<br />

básicas de termómetros de resistencia de platino: Termómetro de Resistencia de Platino Patrón<br />

(TRPP) y Termómetro de Resistencia de Platino Industrial (TRPI). Un análisis detallado de<br />

éstos sensores es presentado por P.R.N. Childs et al. (2000).<br />

Resistencia relativa Rt R0 8<br />

6<br />

4<br />

2<br />

Niquel<br />

0 –200 0 200 400<br />

ºC<br />

Figura 1.2 Curvas usuales de termómetros de resistencia<br />

para el platino, cobre y níquel.<br />

Dado que los RTDs son sensores resistivos, hay que cuidar la medida de resistencia si se quiere<br />

obtener una medida de precisión. Hay que tener en cuenta que se trata de medir cambios en resistencia<br />

de décimas de miliohmios. Para ello, la mejor manera para detectar sus variaciones debidas<br />

al efecto de temperatura es conectarlos a un circuito puente. En una de las ramas del puente se<br />

coloca el RTD y se denomina malla de medición y en la otra se colocan una relación de resistencias<br />

que actúan como malla de referencia. Típicamente, una fuente de corriente constante de alta precisión<br />

se usa como fuente de excitación. Existen varios métodos para la determinación del valor de la<br />

resistencia, el método más recomendado es el de 4 hilos, con este método se evita que la resistencia<br />

de los cables sea tomada en cuenta en la medición, además, en un buen indicador debe de existir<br />

- 16 -<br />

Cobre<br />

Platino<br />

600 800


- 17 -<br />

Termistores<br />

inversión de corriente, esto es para eliminar las f.e.m. térmicas (milivolts) que se generan en las<br />

uniones. La corriente de excitación debe ser bastante pequeña para evitar errores debido al autocalentamiento<br />

del RTD. También se puede usar el método de tres o dos, hilos, pero con una pérdida<br />

de la precisión.<br />

1.3<br />

Termistores<br />

Los termistores son termómetros de resistencia. El término se deriva de la palabra inglesa thermistor,<br />

formado a partir de los vocablos thermally sensitive resistor. Estos están compuestos por materiales<br />

semiconductores, y no como los RTDs que están basados en conductores, cuya conductividad<br />

eléctrica varía con la temperatura. Están hechos de materiales cerámicos compuestos por una mezcla<br />

de óxidos metálicos. Poseen coeficientes de temperatura muy elevados, ya sean positivos o<br />

negativos, siendo este último más típico y de bajo coste. Coeficientes negativos, implican que la<br />

resistencia del elemento disminuye según sube la temperatura, y coeficientes positivos al contrario,<br />

aumentan su resistencia con el aumento de la temperatura. A los termistores con coeficiente de temperatura<br />

negativo se les denomina NTC (Negative Temperature Coeficient), y los que tienen coeficiente<br />

de temperatura positivo se les denomina PTC (Positive Temperature Coeficient). En la<br />

Figura 1.3 se muestran los símbolos del NTC y del PTC, donde el trazo horizontal en el extremo de<br />

la línea inclinada indica que se trata de una variación lineal.<br />

PTC<br />

+ t 0 – t 0<br />

Figura 1.3 Representación gráfica de los termistores.<br />

La principal característica de estos tipos de sensores es que tienen una sensibilidad del orden de<br />

diez veces mayor que la de los sensores metálicos, y como se ha dicho antes, la resistencia aumenta a<br />

medida que la temperatura decrece y viceversa. Son adecuados para mediciones precisas de temperatura<br />

ya que tienen una elevada sensibilidad a variaciones de temperatura. Valores comunes de termistores<br />

son 2252 , 5000 y 10000 . Un termistor de 5000 tiene aproximadamente una<br />

sensibilidad de 200 /ºC a la temperatura ambiente, comparada con 0.4 /ºC de la Pt100. Se pueden<br />

utilizar para la medición o la detección de temperatura tanto en gases, como en líquidos o sólidos.<br />

Su fundamento está en la dependencia de la resistencia de los semiconductores con la temperatura,<br />

debida a la variación con ésta del número de portadores, reduciéndose la resistencia, y de ahí<br />

que presenten coeficiente de temperatura negativo. Esta dependencia varía con la presencia de<br />

impurezas, y si el dopado es muy intenso, el semiconductor adquiere propiedades metálicas con<br />

coeficiente de temperatura positivo (PTC) en un margen de temperaturas limitado.<br />

En comparación con los termopares, el termistor no ofrece ventajas de exactitud de salida y<br />

estabilidad. Posiblemente, una ventaja importante esté en la extremadamente elevada sensibilidad<br />

NTC


Capítulo 2<br />

Principios y Aspectos Prácticos<br />

de los Sensores Ultrasónicos<br />

LORENZO LEIJA Y ARTURO VERA<br />

Bioelectrónica, Departamento de Ingeniería Eléctrica, CINVESTAV IPN, México.<br />

Se describen las bases de funcionamiento de un sensor ultrasónico así como aspectos prácticos<br />

para su uso en un sistema de medición. Se presentan los fundamentos de los materiales piezoeléctricos,<br />

se presentan las bases de su polarización electrónica, se hace una descripción de la onda mecánica<br />

resultante y el camino que sigue la onda, produciendo el campo ultrasónico. Se describen las<br />

características de la onda y algunos ejemplos de las propiedades ultrasónicas de los cuerpos a sensar.<br />

Se describe la onda resultante de la suma de las características ultrasónicas del cuerpo a medir y<br />

la onda incidente, se describe el comportamiento del sensor cuando llega la onda sensada con la<br />

información del cuerpo a medir. Se hace una descripción general de los circuitos típicos que intervienen<br />

en la emisión y recepción de la onda ultrasónica. En la parte última del capítulo se ofrecen<br />

algunos ejemplos de las características de transductores comerciales para terminar con lecturas<br />

sugeridas y direcciones WWW para profundizar en el tema de sensores ultrasónicos.<br />

2.1<br />

Introducción<br />

Los sensores ultrasónicos ocupan hoy día un lugar importante en la vida moderna. Su influencia en la<br />

industria, en las tareas de inspección y control de procesos, crece continuamente. En la navegación se<br />

aplica desde sus inicios con el sonar. En la biología marina tiene uso intensivo en el seguimiento de<br />

las actividades de los animales marinos. En tareas de vigilancia se utiliza en la detección o ausencia de<br />

personas. Un uso industrial extendido es la cuantificación de la velocidad de flujo, presencia o ausencia<br />

de objetos, medidas de distancia, sin olvidar muchas aplicaciones adicionales en otras áreas de la<br />

industria. En la medicina, su aplicación está presente en los campos de la visualización, diagnóstico y<br />

terapéutica. Hoy día, este tipo de sensor está presente en prácticamente todas las actividades humanas.<br />

En usos industriales tiene gran demanda en ensayos no destructivos (END), detector de presencia de<br />

cuerpos de diferentes materiales, medidor de desplazamiento de fluidos y muchas otras aplicaciones.<br />

En los últimos años, sin duda, su desarrollo espectacular ha estado influenciado con el desarrollo de la<br />

microelectrónica, las técnicas digitales, nuevos materiales y el avance de los medios de cómputo.


Capítulo 2 Principios y Aspectos Prácticos de los Sensores Ultrasónicos<br />

Un sensor ultrasónico es un dispositivo que convierte la energía sonora en energía eléctrica,<br />

cuando funciona como sensor ultrasónico. Este mismo dispositivo puede funcionar como emisor de<br />

ondas ultrasónicas cuando es excitado apropiadamente con una fuente de energía eléctrica; entonces<br />

emite ondas ultrasónicas. En las dos situaciones descritas puede ser el mismo componente, en un<br />

tiempo es emisor y en otro es receptor. Para tener una mejor idea del funcionamiento, señalamos que<br />

el componente básico del sensor es una lámina circular de un material piezoeléctrico. El piezoeléctrico<br />

tiene la propiedad de cambiar una de sus dimensiones cuando un voltaje es aplicado, provocando<br />

una vibración amortiguada. Este mismo material presenta también el fenómeno inverso, cuando<br />

recibe una vibración mecánica, recibe una presión mecánica y produce un voltaje entre sus caras.<br />

La frecuencia de vibración que produce el material piezoeléctrico es función de la geometría y<br />

las propiedades del material del que está compuesto. Cuando la vibración del piezoeléctrico es<br />

superior a los 20,000 Hz (ciclos/segundo), decimos, entonces, que emite una onda ultrasónica<br />

(tomándo como referencia la banda auditiva del oído humano). El término transductor ultrasónico<br />

es usado para referirse a transductores piezoeléctricos que convierten la energía eléctrica en sonido,<br />

este mismo transductor se puede usar como sensor ultrasónico.<br />

Las ondas ultrasónicas tienen ventajas con respecto a otro tipo de energías. Algunas de sus ventajas<br />

son que es una energía no ionizante, es posible dirigirla y seleccionar cuánta energía queremos<br />

que llegue al blanco, tiene propiedades de reflexión en objetos sólidos, en usos médicos no presenta<br />

efectos secundarios, esta propiedad le da ventaja contra otras tecnologías. Esta técnica tiene algunos<br />

inconvenientes; requiere un medio para propagarse, es pobre su desplazamiento en gases y su<br />

reflexión depende del acoplamiento acústico del cuerpo en donde incide.<br />

La acción de las ondas ultrasónicas es similar a un radar o a un sonar. Hacen la exploración de<br />

los atributos de un cuerpo en exploración combinando la información del blanco con la señal original;<br />

luego, esta señal es reflejada, produciendo un eco de la señal mezclada. La señal de eco es recibida<br />

con un sensor de ultrasonido (US) y con circuitería ésta se somete a un procesamiento para<br />

separar la información útil de la mezcla de información recibida. En la actualidad, la señal que nos<br />

entrega el sensor no sólo sirve para responder preguntas del estado de un objeto o blanco de la<br />

medida, sino que también puede hacerse un preprocesamiento de la señal de respuesta entregándola<br />

dentro de una ventana con valores estandarizados. Los sensores en la actualidad tienen en su cuerpo<br />

circuitos electrónicos miniatura que permiten hacer filtrados y amplificaciones de la señal de salida.<br />

A estos sensores modernos que incluyen circuitos electrónicos en su estructura con el que realizan<br />

un preprocesado de la señal de salida, se les conoce como sensores inteligentes.<br />

Cada sensor tiene características técnicas que lo identifican; destacan las siguientes: intervalo de<br />

medida, precisión, offset o desviación de cero, linealidad, sensibilidad, resolución, rapidez de respuesta,<br />

derivas, repetitividad, entre otras.<br />

Para introducirnos al ultrasonido, es necesario que hablemos primero de las bases de la acústica;<br />

a este campo de la física se le conoce como el estudio de las deformaciones que varían con el tiempo (o<br />

vibraciones) y que además se propagan en medios materiales, éste es el caso del sonido. La clasificación<br />

del sonido se hace tomando como referencia la fisiología humana. Se toma como base el intervalo de la<br />

percepción media del oído humano de 20 Hz a 20 kHz. Al intervalo de frecuencias menores a 20 Hz se le<br />

conoce como infrasonido. El término ultrasonido se refiere a las frecuencias acústicas superiores de<br />

20 kHz. A las ondas sonoras con frecuencias mayores de 10 9 Hz se le denomina hipersonido. La división<br />

entre acústica y ultrasónica no es rígida. Teóricamente no hay límites superiores para las vibraciones<br />

mecánicas. Otros ejemplos, además de los mencionados anteriormente, de usos de la tecnología del<br />

ultrasonido cuando se utiliza en la medición son: la velocidad y dirección del viento, el llenado de un tanque,<br />

la aceleración del aire o de un líquido, el estado de salud de un niño en el vientre de la madre, la temperatura,<br />

la viscosidad, detección de fallas en motores, determinación del estado de las estructuras en<br />

edificios, detección de fallas en materiales industriales, mecanismos de posicionamiento, determinación<br />

de presencia o ausencia de objetos y muchas otras aplicaciones que crecen día con día.<br />

- 36 -


- 37 -<br />

Piezoelectricidad<br />

Como sabemos, el sensor por sí solo no es un instrumento de medición. Para que cumpla su función<br />

de medición, es necesario que se acompañe de la circuitería electrónica que acompaña a cada<br />

una de las partes del sistema de medida. En el sensor identificamos dos partes: a) La emisión de la<br />

onda ultrasónica (emisor de US) y b) el receptor de la onda ultrasónica (sensor ultrasónico). El emisor<br />

es un material piezoeléctrico comercial polarizado con una señal eléctrica con una frecuencia y<br />

magnitud apropiadas. Al ser polarizado, el piezoeléctrico se contrae y empuja el medio que le<br />

rodea, generando una onda mecánica con propiedades específicas. La onda viaja en el medio y llega<br />

al blanco a medir, la geometría y propiedades físicas del blanco altera la onda y la onda resultante<br />

es el producto de sus propiedades originales más las propiedades añadidas por el blanco a medir. En<br />

un momento determinado, por la geometría del cuerpo o por un reflector, la onda viaja en sentido<br />

inverso hasta llegar al receptor ultrasónico. En cuanto a la recepción de la onda ultrasónica (receptor<br />

de US), la onda ultrasónica que llega al sensor ultrasónico presiona su superficie generando una<br />

diferencia de potencial proporcional a la onda recibida. El sensor produce una señal eléctrica con<br />

características de tiempo, frecuencia y amplitud proporcionales a la señal recibida. Esta señal es<br />

amplificada, luego es sometida a procesamientos electrónicos para separar la información útil; posteriormente<br />

es adaptada en magnitud para ser mostrada en un visualizador al usuario. La tecnología<br />

está limitada por las formas de las superficies y la densidad y consistencia del material. Por ejemplo,<br />

la espuma en la superficie de un fluido puede producir errores en la medición.<br />

En este capítulo, haremos una descripción de los principios de la piezoelectricidad, los modos<br />

eléctricos de excitación, la propagación y formación del campo ultrasónico, modos de recepción<br />

del sensor, de las partes que componen a un sensor de ultrasonido, características de un sensor de<br />

ultrasonido, la circuitería eléctrica típica de un emisor de US y de un receptor de US y, finalmente,<br />

mostraremos algunos ejemplos de las características técnicas de algunos sensores ultrasónicos<br />

comerciales.<br />

2.2<br />

Piezoelectricidad<br />

La palabra piezoelectricidad significa electricidad por presión. La piezoelectricidad es una propiedad de<br />

ciertos materiales como el cuarzo, la sal de Rochelle, la turmalina, el titanato de bario, etc. y fue descubierta<br />

por Pierre y Jacques Curie en los años 1880. La piezoelectricidad describe el fenómeno de la generación<br />

de una carga eléctrica en una sustancia, la cual es proporcional al esfuerzo mecánico aplicado y,<br />

recíprocamente, un cambio dimensional proporcional al campo eléctrico aplicado. Para que el efecto piezoeléctrico<br />

ocurra es necesaria la ausencia de un centro de simetría, porque en este caso hay ciertos ejes<br />

del material que poseen polaridad. Todos los materiales cristalinos están convencionalmente divididos<br />

en 32 clases de cristales. De los 21 que no tienen centro de simetría, 20 pueden mostrar piezoelectricidad.<br />

Si el cristal es comprimido en una de esas direcciones, un dipolo es deformado a expensas de los otros y<br />

se genera un momento de dipolo neto, esto es, se manifiesta el fenómeno piezoeléctrico.<br />

2.2.1 Piroelectricidad y electrostricción<br />

Entre los materiales que pueden presentar piezoelectricidad, hay un subgrupo que puede generar, en<br />

adición a las cargas piezoeléctricas por el esfuerzo aplicado, una carga eléctrica cuando son calentados<br />

uniformemente, debido al cambio en magnitud del dipolo con la temperatura. Este efecto es<br />

conocido como piroelectricidad. En los materiales piezoeléctricos que no son piroeléctricos, están<br />

presentes varios dipolos internos, pero ellos se distribuyen de manera que (bajo no deformación)<br />

ocurre una compensación y no hay un momento de dipolo neto. Puede verse que, aunque todos los<br />

piroeléctricos son piezoeléctricos, la piezoelectricidad y la piroelectricidad son fenómenos diferentes<br />

porque ellos están relacionados con diferentes condiciones de simetría.


- 39 -<br />

Materiales piezoeléctricos<br />

trodos de polarización, el elemento experimenta temporalmente una expansión adicional en la<br />

dirección de polarización y una contracción en la dirección paralela a los electrodos de polarización.<br />

Recíprocamente, cuando se aplica un voltaje d.c. de polaridad opuesta al voltaje de polarización,<br />

los elementos se contraen en la dirección de polarización y se expanden en dirección<br />

paralela a los electrodos. En cualquier caso, el elemento retorna a su dimensión original de polarización<br />

cuando se retira el voltaje de los electrodos.<br />

2.2.3 Envejecimiento<br />

La mayoría de las propiedades de las cerámicas piezoeléctricas cambian con el tiempo después de la<br />

polarización original, esto es, “envejecen”. Los cambios tienden a ser aproximadamente logarítmicos.<br />

Como ejemplo, la constante dieléctrica decrece en su valor aproximadamente 1% por década de<br />

tiempo. La Figura 2.2 muestra la variación de las propiedades con el tiempo, después de polarizado.<br />

0.00<br />

–0.05<br />

–0.10<br />

Figura 2.2 La caracterización logarítmica del envejecimiento tiene limitaciones, pero se cumple bien en el<br />

intervalo de las 50 semanas después de la polarización. Después de aproximadamente un año hay un típico<br />

ligero decrecimiento en la razón de cambio por década de tiempo.<br />

El envejecimiento de varias de las propiedades depende de la composición de la cerámica y de la<br />

manera en que fue procesada durante su producción, por lo que no pueden ser especificados ritmos<br />

exactos de envejecimiento. Los valores exactos de varias propiedades tales como la constante dieléctrica,<br />

el acoplamiento y el módulo elástico pueden ser especificados para un tiempo establecido después<br />

de la polarización. Mientras mayor es este tiempo, más estable resulta el material.<br />

2.3<br />

De/v Dkp/kp DN 1 /N 1<br />

1<br />

0.00<br />

–0.02<br />

–0.04<br />

Materiales piezoeléctricos<br />

Semanas después de la polarización<br />

Envejecimiento de las propiedades<br />

La elección de un material piezoeléctrico depende de la aplicación específica a la cual va a estar<br />

destinado el transductor. La eficiencia para los emisores y la sensibilidad para los receptores son<br />

características fundamentales que deben ser maximizadas en los transductores ultrasónicos.<br />

0.04<br />

–0.02<br />

–0.00<br />

10 100 1 10 100 1 10 100


Capítulo 2 Principios y Aspectos Prácticos de los Sensores Ultrasónicos<br />

Ambos están vinculados directamente con el coeficiente de acoplamiento electromecánico k, de<br />

una manera tal, que siempre un alto valor de k es deseable. De igual manera, junto con un valor<br />

alto de k para el modo de vibración útil, se requiere una baja k para los otros modos de competencia<br />

para suprimir respuestas espurias basadas en el modo acoplado. Las propiedades eléctricas<br />

y las dimensiones de los transductores piezoeléctricos son dependientes de las constantes<br />

dieléctricas, piezoeléctricas y elásticas del material. Para frecuencias ultrasónicas bajas y<br />

medias (entre 20 y unos pocos cientos de kHz), altos valores de permitividad y de elasticidad<br />

pueden ser favorables en obtener valores prácticos de impedancia eléctrica y de la resonancia<br />

del elemento piezoeléctrico. Los materiales piezoeléctricos normalmente usados para los transductores<br />

ultrasónicos pueden ser clasificados en: 1- cristales de cuarzo, 2- cristales solubles en<br />

agua, 3- monocristales con alto punto de fusión, 4- semiconductores piezoeléctricos, 5- cerámicas<br />

piezoeléctricas, 6- materiales polímeros piezoeléctricos, 7- compuestos cerámicos piezoeléctricos.<br />

2.3.1 Cristales de cuarzo<br />

La forma termodinámicamente más estable del SiO 2 a temperaturas hasta de 573 ºC es el tipo<br />

. Las demás formas son estables a temperatura más elevada y metaestables a la temperatura<br />

ambiente. Su mayor aplicación es en el control de frecuencia y en filtros de ondas eléctricos.<br />

En estos campos no tiene competidores. Esto es consecuencia de su gran estabilidad con la<br />

temperatura. El cuarzo tiene una Q mecánica que es alta en comparación con otros cristales<br />

piezoeléctricos. El cuarzo sintético se ha hecho comercialmente disponible y es ampliamente<br />

usado en filtros eléctricos de onda. Fue el primer monocristal empleado para la generación<br />

acústica, pero como transductor ultrasónico o como medio de retardo en el intervalo de 10<br />

MHz a 1 GHz el cuarzo ha sido desplazado por materiales con mayor acoplamiento piezoeléctrico<br />

o transductores depositados con mayor Q. La disponibilidad de cristales grandes de<br />

cuarzo de alta calidad y bajo costo asegura la continuación de su uso. Sus características hacen<br />

que su utilidad para la construcción de sensores ultrasónicos se haya reducido notablemente en<br />

los últimos años.<br />

2.3.2 Cristales solubles en agua<br />

A este grupo pertenecen materiales de uso común para transductores electromecánicos como la<br />

sal de Rochelle (NaKC4H4O6.4H2O), los ADP o fosfatos dihidrógeno de amonio<br />

(NH4H2PO4), cristales de sulfato de litio y el iodato de litio. Tanto la sal de Rochelle como el<br />

ADP son usados normalmente en modo longitudinal. La sal de Rochelle se usa principalmente<br />

en modo de flexión en “bimorfos”, en “pickups” o unidades de tocadiscos (gramófonos),<br />

micrófonos y audífonos, con sensibilidad mayor que las cerámicas. El ADP tiene mucho menor<br />

acoplamiento que la sal de Rochelle pero ofrece muy alta estabilidad sobre un intervalo amplio<br />

de temperatura. Es usado en aplicaciones subacuáticas y en acelerómetros. El sulfato de litio se<br />

compara con el ADP y la sal de Rochelle por su impedancia acústica mucho mejor acoplada al<br />

agua o a los líquidos orgánicos que el cuarzo o las cerámicas piezoeléctricas, pero es más frecuentemente<br />

usado en el modo de alta frecuencia, especialmente como transductor para la<br />

detección de fallas en materiales.<br />

2.3.3 Monocristales con alto punto de fusión<br />

En la búsqueda de alternativas al cuarzo, con mayor k para uso en filtros de onda, (y en algunos<br />

casos como alternativa al silicio como semi-conductor de alta temperatura) se han encontrado cristales<br />

piezoeléctricos no solubles como el niobato de litio (LiNbO3) el tantalato de litio (LiTaO3) y<br />

- 40 -


Capítulo 2 Principios y Aspectos Prácticos de los Sensores Ultrasónicos<br />

Incluso cuando se usan las ondas acústicas para estudiar la estructura atómica o molecular del<br />

medio, relacionamos frecuentemente los parámetros estructurales con las propiedades de un<br />

medio continuo equivalente.<br />

2.4.1 Ley de Hooke: la relación entre esfuerzo y deformación<br />

Un cuerpo que tiende a recobrar su forma y tamaño originales, cuando cesan las fuerzas de deformación<br />

o torque y sin disipación de energía, es llamado cuerpo elástico. Este comportamiento de<br />

los cuerpos elásticos es descrito básicamente por la Ley de Hooke:<br />

Esfuerzo = módulo x deformación<br />

• Esfuerzo. Es la fuerza aplicada por unidad de área.<br />

• Deformación. Pertenece a cualquier cambio que ocurra en las posiciones relativas de las partes<br />

del cuerpo elástico bajo la acción de un esfuerzo.<br />

• Módulo. Representa una constante que describe la relación lineal entre el esfuerzo y la deformación,<br />

esto es, el esfuerzo es proporcional a la deformación. La teoría de la elasticidad está<br />

basada esencialmente en generalizaciones de esta ley.<br />

Todos los materiales, ya sean sólidos, líquidos o gases poseen elasticidad de volumen. Una<br />

deformación que consiste en un cambio en el volumen (V) del cuerpo sin cambio en su forma<br />

es llamada deformación de volumen, ésta puede ser medida por V/Vo, donde Vo es el volumen<br />

inicial.<br />

2.4.2 Consideraciones generales<br />

El siguiente conjunto de leyes fundamentales describen el comportamiento de la onda acústica para<br />

los materiales:<br />

1. Su masa permanece constante.<br />

2. La rapidez de cambio de momento (cantidad de movimiento) es igual a la fuerza resultante.<br />

3. La rapidez de cambio del momento angular es igual al torque resultante.<br />

4. El incremento de energía es igual al trabajo externo hecho sobre el cuerpo, más el calor y otras<br />

energías no mecánicas adicionadas al cuerpo.<br />

2.4.3 Propagación longitudinal y transversal<br />

En la Figura 2.3 se observa una representación de la propagación longitudinal y transversal. En el<br />

caso transversal se observa además el fenómeno de polarización característico.<br />

2.5<br />

Propagación de la onda ultrasónica<br />

Existen tres características que destacan por su importancia en la propagación de la onda de ultrasonido:<br />

velocidad de propagación, impedancia acústica y atenuación de la onda. El conocimiento de<br />

estas propiedades nos permite hacer las previsiones de los cambios que sufrirá la onda emitida<br />

cuando sea afectada por el blanco a sensar y el medio recorrido; esta información llega con la onda<br />

recibida por el sensor. Es importante mencionar que para este capítulo se han elegido principal-<br />

- 42 -


- 43 -<br />

Propagación de la onda ultrasónica<br />

mente ejemplos en el área médica; sin embargo, la mayoría de las consideraciones hechas aquí pueden<br />

extrapolarse a otras áreas.<br />

2.5.1 Velocidad de propagación<br />

Tomaremos como ejemplo la propagación de la onda en tejido biológico ya que esta propiedad se<br />

ha estudiado ampliamente. Los valores típicos de la velocidad en el aire, agua, tejidos blandos y<br />

hueso se muestran en la tabla siguiente, Tabla 2.1. La mayoría de los tejidos suaves tiene una velocidad<br />

acústica con variación del ±3%, con un valor promedio de 1540 m/s. La grasa es una excepción,<br />

su valor es menor en 6%.<br />

u<br />

y<br />

Z<br />

u<br />

y<br />

Desplazamiento<br />

del elemento<br />

Z´<br />

L<br />

L<br />

u + du<br />

u + du<br />

u + du<br />

Dirección de<br />

propagación<br />

Figura 2.3 Ondas longitudinales y transversales.<br />

Z<br />

Z<br />

(a)<br />

(b)<br />

Dirección de propagación<br />

Rarefacción<br />

Compresión<br />

Dirección de<br />

propagación


Capítulo 3<br />

Sensores Ultrasónicos<br />

Piezoeléctricos.<br />

Aspectos Básicos<br />

y Modelos Circuitales<br />

JOSÉ SAN EMETERIO, ABELARDO RUIZ Y ANTONIO RAMOS<br />

Departamento de Señales, Sistemas y Tecnologías Ultrasónicas, Instituto de Acústica. CSIC, España.<br />

Se describen aspectos básicos de los sensores ultrasónicos basados en el efecto piezoeléctrico.<br />

El capítulo se centra en los sensores utilizados en régimen pulsado, en los que el elemento piezoeléctrico<br />

actúa alternativamente como emisor y receptor. Se hace un resumen de los fundamentos<br />

teóricos para elementos vibrantes en forma de placa piezoeléctrica delgada, vibrando en modo<br />

espesor, y se comentan algunas de sus aplicaciones industriales y médicas más importantes. Se<br />

introducen también los modelos unidimensionales más generales basados en equivalencias electromecánicas<br />

que permiten calcular las respuestas eléctricas y acústicas de los sensores y que constituyen<br />

por tanto herramientas de ayuda durante el diseño de estos dispositivos. Se presenta finalmente<br />

un resumen sobre los métodos y programas para la implementación de estos modelos usando un<br />

entorno para diseño y análisis de circuitos analógicos PSpice®. Finalmente se describe la adaptación<br />

de uno de estos modelos para su implementación usando dicho programa de análisis circuital.<br />

3.1<br />

Introducción<br />

Un sensor físico transforma una magnitud física a medir (presión, deformación, temperatura, posición,<br />

...) en una magnitud eléctrica básica. Los sensores ultrasónicos en particular, que se basan en<br />

distintas formas de transducción electro-mecánica, se caracterizan por la presencia y utilización de


Capítulo 3 Sensores Ultrasónicos Piezoeléctricos. Aspectos Básicos y Modelos Circuitales<br />

ondas ultrasónicas. De forma convencional, se consideran ultrasonidos las ondas acústicas o elásticas<br />

con frecuencia superior a los 20 kHz.<br />

Existe una gran variedad de sensores ultrasónicos. En una primera aproximación se pueden distinguir<br />

3 grupos:<br />

• Sensores que únicamente reciben ondas ultrasónicas, como por ejemplo sensores de emisión<br />

acústica, hidrófonos, etc. La mayoría de procesos y estructuras industriales, sobre todo las que<br />

incluyen partes en movimiento con fricción, crean algún tipo de ruido ultrasónico. Los sensores<br />

ultrasónicos pueden captar esta energía mecánica y generar señales eléctricas que pueden ser<br />

posteriormente procesadas para fines de diagnóstico industrial.<br />

• Sensores que trabajan en régimen de emisión / recepción de ondas ultrasónicas. En este capitulo nos<br />

centraremos en este tipo de sensores, que podemos denominar sensores ultrasónicos pulsados en la<br />

medida en que suelen trabajar en la etapa de emisión con excitaciones eléctricas impulsionales o<br />

con trenes de onda de muy pocos ciclos. En este tipo de funcionamiento, los sensores ultrasónicos<br />

generan ondas mecánicas y evalúan, en la etapa de recepción, los ecos que se reflejan en discontinuidades<br />

presentes en el medio de propagación Mediante estos sensores se evalúa el tiempo de transito<br />

entre la señal emitida y los ecos recibidos, para determinar la distancia / posición de los objetos<br />

externos (propagación en aire, agua) o defectos / inhomogeneidades internas (propagación en sólidos<br />

o tejidos biológicos). A partir de dicho tiempo de transito, se puede también evaluar la<br />

velocidad de las ondas ultrasónicas en el medio de propagación permitiendo determinar algunas<br />

propiedades físicas del medio. Por otra parte, un análisis de la amplitud y del contenido frecuencial<br />

de dichas señales de eco permite obtener indirectamente informaciones valiosas acerca de la<br />

estructura interna y de otras propiedades características de los materiales analizados.<br />

• Sensores ultrasónicos resonantes. Este tipo de sensores suele estar basado en la propagación de<br />

una onda ultrasónica en un medio físico confinado, que por su geometría determina la aparición<br />

de ondas estacionarias [Lucklum 2004, Ferrari et al. 2005]. A partir de la medida de la admitancia<br />

eléctrica en los terminales de entrada de este tipo de sensores, para la banda de frecuencias<br />

correspondiente a una de las resonancias o modos de vibración (bien en el fundamental o bien<br />

en sus sobretonos), se pueden determinar magnitudes físicas muy variadas (como, por ejemplo,<br />

temperatura, humedad, densidad, ...). Una parte importante de estos sensores se basan en la propagación<br />

de ondas acústicas de volumen (Bulk acoustic waves), como por ejemplo en el caso de<br />

los resonadores de cuarzo (QCR “quartz cristal resonator”). Existe también una amplia variedad<br />

de sensores basados en ondas acústicas superficiales (SAW, “surface acoustic waves”) [Benes<br />

1998]. Estos sensores resonantes encuentran un amplio campo de aplicaciones en dispositivos<br />

del tipo: filtros, líneas de retardo, microbalanzas, sensores electroquímicos, biosensores, etc.<br />

La mayoría de los sensores ultrasónicos comentados están basados en el efecto piezoeléctrico, a<br />

causa de la idoneidad y versatilidad de este fenómeno, derivada de su reversibilidad y eficiencia.<br />

Los transductores piezoeléctricos son dispositivos que pueden actuar de forma reversible en el sentido<br />

de que pueden actuar propiamente como sensores, transformando energía mecánica en energía<br />

eléctrica, o bien alternativamente como actuadores, es decir convirtiendo la energía eléctrica aplicada<br />

en mecánica.<br />

El efecto piezoeléctrico directo consiste en el cambio en la polarización eléctrica de un material<br />

piezoeléctrico que se produce cuando se le aplica una presión o tensión mecánica externa. Este<br />

efecto se usa en las etapas de recepción ultrasónica. El efecto piezoeléctrico inverso consiste en el<br />

cambio en las dimensiones (deformación elástica) del material cuando se le somete a un campo<br />

eléctrico externo. Este efecto se usa en las etapas de emisión ultrasónica. Aunque existen sensores<br />

ultrasónicos basados en otros tipos de fenómenos físicos (por ejemplo los que utilizan fenómenos<br />

capacitivos, electromagnéticos EMAT, etc.), el capítulo presente está centrado en los aspectos bási-<br />

- 68 -


- 69 -<br />

Estructura básica y aplicaciones<br />

cos, los modelos representativos de funcionamiento y la problemática del diseño del tipo de sensores<br />

ultrasónicos más ampliamente utilizado en la actualidad: el basado en el efecto piezoeléctrico.<br />

Existen distintos tipos de materiales piezoeléctricos que se utilizan en la fabricación de sensores<br />

ultrasónicos, entre los que podemos destacar: el cuarzo, las cerámicas piezoeléctricas (PZT, Metaniobato<br />

de plomo, ...), los polímeros piezoeléctricos (PVDF y co-polímeros), o los piezo-compuestos<br />

“composites”, y las combinaciones de materiales piezoeléctricos activos y polímeros pasivos con el<br />

objetivo de mejorar las propiedades globales como elemento sensor para aplicaciones particulares.<br />

Un análisis detallado de la vibración electromecánica en un sólido piezoeléctrico resulta muy<br />

complejo. El material piezoeléctrico, en sí, es anisótropo, es decir sus propiedades en distintas<br />

direcciones cambian. Por otro lado, están las condiciones de contorno mecánicas y eléctricas que<br />

presenta el elemento piezoeléctrico activo. En este capítulo, nos centramos en los sensores más<br />

habituales, que están basados en elementos piezoeléctricos en forma de placa delgada, vibrando en<br />

modo espesor (thickness extensional).<br />

3.2<br />

Estructura básica y aplicaciones<br />

Los sensores ultrasónicos pulsados generan señales ultrasónicas de corta duración que se propagan<br />

a través del medio en estudio. Un mismo transductor actuando como emisor y receptor (modo<br />

pulso-eco), o en combinación con otro transductor similar (modo transmisión) pueden ser utilizados<br />

para recibir y detectar las señales ultrasónicas que se han reflejado / dispersado en su propagación<br />

por el medio.<br />

Existen distintos tipos de sensores ultrasónicos piezoeléctricos pulsados, dependiendo de su<br />

estructura interna, la cual está relacionada a su vez con la aplicación, el medio de propagación, y los<br />

mecanismos transductores utilizados, entre los que podemos destacar:<br />

• Transductores tipo sándwich. Estos transductores están generalmente constituidos por anillos de<br />

cerámicas piezoeléctricas tipo PZT, unidos a dos cilindros de aluminio / acero, mediante un tornillo<br />

que proporciona una tensión mecánica específica. En las aplicaciones de medida en aire, la<br />

superficie radiante está constituida por una cabeza metálica que vibra a flexión. La vibración a<br />

flexión, con amplitudes mayores que la vibración longitudinal, proporciona una mejor adaptación<br />

acústica al aire.<br />

• Transductores unimorfos. La estructura básica de este tipo de transductores está constituida por<br />

un disco (placa) metálico delgado que vibra a flexión a partir de su excitación mediante un disco<br />

cerámico piezoeléctrico de diámetro inferior pegado a él. Los discos delgados vibrando a<br />

flexión están bien adaptados a la baja impedancia acústica del aire. Se pueden obtener en construcción<br />

abierta (no adecuado para intemperie) o en construcción cerrada. El modo de vibración<br />

depende de las dimensiones y forma de montaje, pudiendo tener nodo o antinodo en el centro.<br />

Se puede trabajar en la resonancia fundamental o en un armónico. Un inconveniente de este tipo<br />

de transductores es que la vibración a flexión de la placa delgada puede presentar zonas en contrafase<br />

que cancelan parcialmente la presión acústica generada. Para resolverlo se utilizan distintas<br />

estructuras que cancelan la radiación en contrafase.<br />

• Transductores bimorfos. Están constituidos por un acoplamiento especial de dos placas de material<br />

cerámico piezoeléctrico que se montan unidas de tal manera que vibran en contra-fase.<br />

• Transductores basados en placas piezoeléctricas delgadas vibrando en modo espesor, es decir en<br />

la misma dirección en la que se establece la polarización eléctrica presente en el material. Este<br />

tipo de sistema transductor encuentra una amplia gama de aplicaciones para distintos medios de<br />

propagación (gases, fluidos, sólidos), y es en esta clase de dispositivos en la que nos centraremos<br />

en el resto del capítulo.


Capítulo 3 Sensores Ultrasónicos Piezoeléctricos. Aspectos Básicos y Modelos Circuitales<br />

En el esquema de la Figura 3.1 se muestra la estructura básica de uno de estos transductores,<br />

para el caso de una disposición de tipo mono-elemento, que es la empleada para la generación y<br />

detección primaria de ondas ultrasónicas. Están constituidos por varios elementos básicos, firmemente<br />

acoplados mediante uniones pegadas, que determinan en gran medida su funcionamiento:<br />

a. Una placa piezoeléctrica delgada (con un diámetro mucho mayor que su espesor), la cual<br />

genera, a partir de su vibración, las ondas ultrasónicas con las que se irradia el medio bajo estudio,<br />

siendo por tanto la encargada de realizar la conversión electromecánica; está conectada<br />

eléctricamente al exterior mediante contactos soldados a los electrodos metálicos que cubren<br />

cada una de sus caras.<br />

b. Junto a esta lámina activa se encuentran otros elementos pasivos que determinan las características<br />

temporales de las respuestas del transductor tanto en la etapa de transmisión como en la<br />

fase de recepción. Estos elementos son un elemento de contramasa (“backing”) y, en algunas<br />

ocasiones, una lámina o capa de adaptación de impedancias mecánicas (Inoue,1987; San Emeterio<br />

et al., 2002).<br />

Figura 3.1 Esquema típico de la estructura interna de un transductor ultrasónico de<br />

banda ancha basado en una placa piezoeléctrica delgada vibrando a modo “espesor”.<br />

La presencia de ambos elementos determina las condiciones de frontera mecánica a la vibración<br />

“en espesor” (“thickness extensional”) que presenta la placa piezoeléctrica, la cual en principio<br />

emite energía mecánica en ambos sentidos. Como en las aplicaciones prácticas solo se utiliza la<br />

emisión de una sola de dichas caras, se coloca la contramasa en la cara trasera de la lámina, la cual<br />

tiene como función principal el absorber la energía mecánica emitida en ese sentido, y como consecuencia<br />

produce un efecto añadido de ensanchamiento de su banda frecuencial, lo que provoca un<br />

acortamiento de los pulsos ultrasónico resultantes.<br />

La capa de acoplamiento, o adaptación de impedancias mecánicas, por su parte, facilita la transmisión<br />

de la energía mecánica con cierta eficiencia, desde la cara delantera de la lámina piezoeléctrica<br />

hacia el medio al cual se aplica la misma, y viceversa, desde el medio analizado al sensor que<br />

recibe las reflexiones de los pulsos emitidos; ese medio (p.e., el material bajo estudio, una estructura<br />

industrial, un órgano del cuerpo humano, etc.) constituye la carga mecánica del sensor. Debe<br />

- 70 -


Aspectos generales de diseño y parámetros de eficiencia<br />

tenerse en cuenta que, en principio, suele existir una notable diferencia de impedancias acústicas<br />

entre el medio y el material piezoeléctrico vibrante.<br />

Los sensores ultrasónicos pulsados tienen una gama muy variada de aplicaciones en los campos<br />

de control de procesos [Lynnworth 1989], caracterización de materiales, diagnóstico y control de<br />

calidad (entre otros), lo que puede resolver necesidades planteadas en un amplio espectro que<br />

abarca desde el ámbito industrial al biomédico. En cada aplicación se presenta una problemática<br />

específica de diseño para estos dispositivos, dado que en cada caso deben satisfacerse requisitos<br />

distintos y que en ocasiones pueden resultar contradictorios.<br />

Dentro del ámbito industrial, esta forma de operación pulsada constituye una valiosa herramienta<br />

en labores de detección de defectos en el interior de piezas y estructuras (detección de grietas,<br />

despegues, huecos o inclusiones, etc.) mediante técnicas no invasivas denominadas de ensayo<br />

no destructivo.<br />

Por otra parte, este modo de operar permite extraer información sobre la presencia / ausencia y<br />

posición espacial de posibles obstáculos. De esta forma, se suelen incluir sensores ultrasónicos en<br />

equipamientos robóticos, detección submarina, extendiéndose el ámbito de aplicación en tareas de<br />

ayuda a minusválidos.<br />

En medicina, las aplicaciones de los sensores ultrasónicos incluyen el diagnóstico médico<br />

mediante la visualización del interior del cuerpo humano (ecografía), la medición de flujo sanguíneo<br />

(Doppler, tiempo de tránsito), y la elastografía ultrasónica.<br />

De una forma general, las principales áreas de aplicación de los sensores ultrasónicos, considerados<br />

en este capítulo, están definidas en torno a: diagnóstico médico, evaluación no destructiva,<br />

monitorización de procesos, geofísica, vigilancia y detección sonar, caracterización de materiales,<br />

detección / medida en aire, medida de flujo / caudal. A modo de ejemplo, citamos algunas aplicaciones<br />

importantes:<br />

• Control de calidad de estructuras (“structural health monitoring”)<br />

• Ensayos no destructivos: detección precoz de grietas y defectos<br />

• Medición de espesores<br />

• Control de nivel<br />

• Control de procesos en operaciones de producción y empaquetamiento<br />

• Filtros pasa-banda<br />

• Acústica submarina (Sonar)<br />

• Medida de presión acústica (Hidrófonos)<br />

• Detectores de profundidad<br />

• Detectores de bancos de pesca<br />

• Medición de flujo / caudal (gases y fluidos)<br />

• Anemometría<br />

• Sistemas de vigilancia y alarma<br />

• Diagnóstico médico mediante imágenes<br />

• Medición de flujo sanguíneo<br />

• Elastografía en tejidos<br />

• Estimación no invasiva de temperatura<br />

3.3<br />

Aspectos generales de diseño y parámetros de eficiencia<br />

La respuesta de un sensor ultrasónico pulsado depende críticamente de los parámetros constructivos<br />

y de los materiales que intervienen en su estructura interna, así como de algunos componentes eléctricos<br />

que suelen incorporarse (bien dentro de su encapsulado o bien en la electrónica asociada)<br />

para su adaptación y/o sintonización. Por ello, resulta necesario disponer de algún tipo de herra-<br />

- 71 -


Capítulo 6<br />

Sistemas<br />

Microelectromecánicos<br />

(MEMS)<br />

PABLO R. HERNÁN<strong>DE</strong>Z RODRÍGUEZ<br />

Bioelectrónica, Departamento de Ingeniería Eléctrica, CINVESTAV IPN, México.<br />

En sentido general, un MEMS es una estructura mecánica miniaturizada de geometrías y materiales<br />

diversos que convierte y acondiciona, en el caso de sensores, una cantidad no eléctrica, como<br />

presión, temperatura o concentraciones de substancias químicas, generalmente en señales eléctricas.<br />

En el caso de un transductor MEMS, las señales eléctricas resultantes se acondicionan, ya sea<br />

para seguir procesándose o para exhibirse adecuadamente para su interpretación o lectura. Actualmente,<br />

los circuitos electrónicos para realizar el acondicionamiento ya están integrados al dispositivo<br />

(Figura 6.1). Por consiguiente, un MEMS no sólo desempeña la función de detectar<br />

(microsensores), sino también de acondicionar respuestas (circuitos integrados) y de generar acciones<br />

(microactuadores).<br />

El concepto de micromaquinado fue introducido por Nathanson y Wickstrom en 1965 al presentar<br />

la forma de trabajar con materiales de sacrificio (release). Ya en 1985 se describen los micromaquinados<br />

para la generación de trampolines (cantilevers) (Figura 6.2) y a finales de los años 80 del<br />

siglo XX, aparecen los primeros MEMS aprovechando el concepto de microsistemas (MST).<br />

La tecnología de microelectrónica para la fabricación de circuitos electrónicos cuenta ya con<br />

una infraestructura, experiencia y estandarización de los procesos que permiten la producción<br />

masiva de estos dispositivos de manera confiable. En el caso de los microsensores no es así, cada<br />

diseño involucra nuevas ideas, materiales y procesos acorde con las necesidades y la infraestructura<br />

de fabricación disponible. Por esta razón, enfocaremos nuestra revisión a diferentes aplicaciones y a<br />

diferentes soluciones dadas para estos dispositivos.


Capítulo 6 Sistemas Microelectromecánicos (MEMS)<br />

6.1<br />

metal 2<br />

óxido de<br />

contacto<br />

ISFETs amplificador ISFET<br />

nitruro<br />

de<br />

silicio<br />

óxido<br />

intermetal metal 1<br />

área sensible<br />

D S D S D<br />

n+ polisilicio<br />

sustrato-p<br />

Figura 6.1 Sistema que combina sensores y circuitos<br />

electrónicos de acondicionamiento (Baltes et al. 2005).<br />

Medición y monitoreo de sistemas naturales con MEMS<br />

Generalmente los sistemas naturales son muy complejos. Estos sistemas están a su vez conformados<br />

por subsistemas agrupados de acuerdo a la función que desempeñan, pero que mantienen una<br />

interacción entre ellos para producir una función general. En otras palabras, podemos ejemplificar<br />

lo anterior con el cuerpo humano, que se forma con el sistema respiratorio, cardiovascular, nervioso,<br />

digestivo, neurológico, etc., y que cada uno de ellos desempeña una función particular que<br />

contribuye para el fin común que es la vida.<br />

En un segundo nivel de integración, cada sistema está formado por órganos diferentes, con funciones<br />

diferentes pero relacionadas unas con otras. Esta relación que guardan entre sí, produce respuestas<br />

diversas con un grado de integración relacionado en el mismo sentido del nivel que guardan<br />

en el sistema general. Esto es, las respuestas observadas a nivel del sistema general, serán más integradas.<br />

De esta manera, tratar de averiguar respuestas particulares de diversos sistemas desde señales<br />

del nivel general, por ser tal vez la instrumentación más simple, menos invasiva o por no<br />

requerir de un pre-tratamiento de muestras para separar componentes, entre otros factores, ha resultado<br />

muy complicado en muchos casos.<br />

La necesidad de registrar in situ señales menos integradas ha propiciado la creación de dispositivos<br />

de registro o sensores miniaturizados a niveles micrométricos o aún menores. Esta acción ha<br />

implicado, en algunos casos, la modificación de los sistemas bajo medida, complicaciones en las<br />

técnicas de medida y en la instrumentación correspondiente. Tenemos como ejemplo que la miniaturización<br />

de sensores químicos repercute en una disminución de su sensibilidad y del límite de<br />

detección; en este caso se establece una limitación importante de ese proceso. Sin embargo, llegar a<br />

ciertos niveles de miniaturización ha sido el resultado de comprometer desventajas y ventajas para<br />

lograr beneficios reales.<br />

- 128 -<br />

óxido de óxido de<br />

compuerta campo


(a) (b)<br />

A<br />

Materiales<br />

(c)<br />

(d)<br />

(e)<br />

(f)<br />

Area de soporte<br />

- 129 -<br />

Trampolín<br />

Materiales<br />

Figura 6.2 Presentación esquemática de una superficie micromaquinada. a) Depósito de la capa de sacrificio;<br />

b) Depósito del material estructural; c) Vista superior del área grabada; d) Corte seccional A-A’ de la<br />

estructura completa; e) y f) Vista superior y lateral B-B’ de la microestructura (González JL, 2006).<br />

6.2<br />

B<br />

Area de soporte Trampolín<br />

Los materiales utilizados para la fabricación de MEMS pueden ser: metales, semiconductores, cerámicas,<br />

polímeros y composites. Los metales son usados principalmente para establecer interconexiones<br />

y contactos óhmicos que se realizan por evaporación o sputtering.<br />

El semiconductor más usado para la fabricación de MEMS es el silicio y compuestos basados en<br />

silicio. Esto se debe, por un lado, a que este elemento presenta las características químicas, estructurales<br />

y técnicas apropiadas para desarrollar dispositivos robustos y, por otro, a que la tecnología<br />

A’<br />

B’


Capítulo 6 Sistemas Microelectromecánicos (MEMS)<br />

para la fabricación de dispositivos electrónicos basados en silicio ha sido mejorada de manera significativa<br />

y se encuentra disponible en muchos laboratorios.<br />

Las cerámicas son materiales inorgánicos que se forman con elementos metálicos y no metálicos unidos<br />

químicamente. Entre estos materiales están la alúmina (Al 2 O 3 ), cloruro de sodio (NaCl) o superconductores<br />

cerámicos como YBa 2 Cu 3 O 6.5 (Gardner et al. 2001). Por sus características de bajo peso,<br />

dureza, alta resistencia a la temperatura, baja fricción y propiedades aislantes, entre otras, estos materiales<br />

se han usado como substratos en la fabricación de micromáquinas o materiales de pasivación en los<br />

MEMS.<br />

Por sus excelentes características eléctricas aislantes, los polímeros desempeñan la función de<br />

pasivación en la fabricación de los MEMS. Entre los materiales poliméricos ampliamente usados se<br />

tienen: epóxicos, poliéster, nylon y siliconas.<br />

Los composites son materiales producto de la combinación de dos o más materiales. La mayoría<br />

de los composites están formados por un material de relleno, que determina sus características de<br />

fortaleza, rigidez o conductividad y un material fijador que mantiene rígidamente unida a la mezcla.<br />

Su uso en la fabricación de los MEMS también es generalmente de pasivación.<br />

6.3<br />

Grabado<br />

Una de las técnicas fundamentales para la fabricación de MEMS es la de grabado del silicio u otros<br />

materiales para generar circuitos integrados del tipo CMOS y BiCMOS (Baltes et al. 2005) y para<br />

maquinar dispositivos y estructuras con movimiento en escala micrométrica (Gardner et al. 2001)<br />

(Figura 6.3).<br />

Acc.V Magn WD 500 μm<br />

5.00 kV 65x 22.6 EPFL - IMS L.J. Guerin 13.11.97<br />

Acc.V Spot Magn Det WD Exp.<br />

100 μm<br />

5.00 kV 3.0 212x SE 20.5 1<br />

N. FAHRNI<br />

Acc.V Spot Magn Det WD Exp.<br />

1 μm<br />

5.00 kV 3.0 35x SE 26.3 1 N. FAHRNI<br />

Figura 6.3 Microestructuras fabricadas con los diferentes procesos que involucran máscaras, materiales de<br />

sacrificio y materiales fotosensibles (Gardner et al., 2001).<br />

- 130 -


- 131 -<br />

Grabado<br />

Estas acciones, en general, constituyen una aportación tecnológica importante, ya que se han<br />

logrado conjuntar, en un mismo dispositivo, dos tecnologías que, por los procesos involucrados,<br />

eran incompatibles hasta hace algún tiempo; esto es, estructuras electromecánicas y circuitos electrónicos<br />

de alta integración. El proceso de grabado define la impresión de patrones gráficos sobre<br />

un sustrato o una superficie. Este proceso hace uso de máscaras, materiales de sacrificio y materiales<br />

fotosensibles que determinan zonas que serán protegidas y otras que estarán sujetas a los ataques<br />

químicos para formar los grabados.<br />

La técnica de grabado se aplica sobre sustratos (bulk) o sobre superficies. En el caso de sustratos,<br />

las microestructuras se forman en materiales relativamente gruesos, mientras que en superficie,<br />

las microestructuras se hacen sobre capas delgadas. Ejemplos de las dos técnicas se muestran en la<br />

Figura 6.4, para sustratos y la Figura 6-5 para superficie, respectivamente.<br />

Mascarilla protectora del ataque químico<br />

Plano (111) del silicio<br />

Plano (100) del silicio<br />

Trampolín<br />

Esquina convexa<br />

Figura 6.4 Ejemplo de la aplicación de la técnica de grabado sobre el sustrato, (Baltes et al., 2005)<br />

Figura 6.5 Ejemplo de la aplicación de<br />

la técnica de grabado sobre la superficie<br />

(Baltes et al., 2005)<br />

100 μm


Capítulo 6 Sistemas Microelectromecánicos (MEMS)<br />

De acuerdo a como se producen los grabados de sustrato, estos pueden ser isotrópicos o anisotrópicos.<br />

En los primeros, el grabado se realiza independientemente de la orientación cristalina<br />

debido a que la disolución decapante actúa en todas las direcciones del material (Figura 6.6) y en<br />

los segundos, las formas geométricas dependen de la orientación de la red cristalina debido a que la<br />

disolución decapante actúa más importantemente en unos ejes que otros de la red; esto genera grabados<br />

con paredes trapezoidales (Figura 6.7).<br />

La técnica de grabado puede darse en seco, si se utiliza un gas (plasma), o húmeda en donde se<br />

utilizan disoluciones. El decapante más utilizado es el HNA, que es una mezcla de ácido fluorhídrico<br />

(HF), ácido nítrico (HNO 3 ) y ácido acético (CH 3 COOH).<br />

El ataque anisotrópico húmedo es el más común para hacer micromaquinados y la disolución<br />

más usada es el cloruro de potasio (KCl). Como ejemplo, una solución 6M de KCl a 95ºC proporciona,<br />

en una red cristalina tipo , una tasa de ataque de 150 m y una relación de tasas de ataque<br />

de 30:100 entre las direcciones y .<br />

Figura 6.6 Resultado de un grabado utilizando un<br />

ataque isotrópico.<br />

6.4<br />

Fotolitografía<br />

La fotolitografía es el proceso de transferencia de patrones de imágenes desde una mascarilla hacia<br />

un sustrato. El proceso utiliza, complementariamente, un material sensible a la luz ultravioleta<br />

(UV) depositado en un sustrato y una fuente de luz ultravioleta. El material sensible, llamado<br />

comercialmente resina fotosensible o fotoresist, es termocurable a 90ºC, comúnmente antes de la<br />

exposición luminosa, y a 120ºC después de la exposición. Posteriormente se somete a un proceso de<br />

revelado para eliminar la resina no endurecida, que pueden ser los motivos del patrón deseado<br />

dependiendo del tipo de resina. Existen resinas positivas y negativas. Con las primeras, la zona de<br />

resina endurece en donde no incide la luz UV y el resto es removida con el revelado. Con las segundas<br />

ocurre lo contrario; en donde la luz incide, la resina endurece. Esto significa que se pueden<br />

hacer combinaciones convenientes entre mascarillas y resinas para lograr los grabados requeridos.<br />

6.5<br />

Mascarillas<br />

Las mascarillas son elementos muy importantes para la obtención de buenos grabados, que contienen<br />

los patrones de imágenes necesarios para llevar a cabo los diferentes procesos involucrados en<br />

la fabricación de dispositivos semiconductores, microsensores o microactuadores. La forma en que<br />

son elaboradas es prácticamente la misma que la utilizada para los dispositivos semiconductores<br />

individuales o para circuitos integrados. La calidad de las mascarillas define generalmente la calidad<br />

de los grabados obtenidos y el número de ellas dependerá del número de procesos que se deban<br />

- 132 -<br />

Figura 6.7 Resultado de un grabado utilizando un<br />

ataque anisotrópico.


Capítulo 7 Sensores Magnéticos<br />

La resistencia efectiva asociada el sensor está formada por su componente óhmica R DC, la asociada<br />

al efecto piel R AC y ahora las asociadas a las pérdidas por corrientes de vórtices, R e y por histéresis,<br />

R h ambas referidas al material magnético. La componente R e tiene una dependencia con el<br />

cuadrado de la frecuencia (R e ~ f 2 ) mientras que la componente R h depende de la frecuencia (R e ~ f).<br />

Ambas dependencias son específicas del tipo de material magnético. Para sensores inductivos con<br />

núcleo magnético es difícil obtener una expresión explícita para la capacidad parásita C asociada,<br />

por lo que es más recomendable medirla experimentalmente.<br />

Desde un punto de vista aplicado, los inductores con núcleo magnético se utilizan en la medida de<br />

campos magnéticos cuando se necesite sensibilidad alta con reducidas dimensiones físicas. Buenos<br />

ejemplos de ello son los instrumentos magnéticos diseñados en investigación espacial (Korepanov) o<br />

en la medida del campo magnético terrestre (Korepanov and Berkman).<br />

7.1.3 Interfaces electrónicas para los sensores inductivos<br />

Las ecuaciones 7.13 y 7.14 indican que el valor máximo de la tensión inducida en régimen senoidal es<br />

directamente proporcional al producto f · H. El objetivo de una interfaz electrónica conectada a las terminales<br />

de salida del sensor inductivo es el de suministrar una tensión que sea sólo proporcional al<br />

campo magnético de interés. Ello hace necesario que en el rango de frecuencias de uso del sensor<br />

inductivo con la interfaz electrónica ha de presentar una dependencia frecuencial de la forma 1/f.<br />

Un circuito electrónico que puede sintetizar sin excesiva complejidad el hardware en esta<br />

dependencia es el llamado convertidor corriente-tensión. Esta interfaz está formada por un amplificador<br />

operacional real y una resistencia R1 en el lazo de realimentación negativa. La Figura 7.7<br />

muestra la configuración de esta interfaz.<br />

Z inp (j · f) ≅ R 1<br />

a 0<br />

Figura 7.7 Convertidor corriente-tensión<br />

con amplificador operacional real y su impedancia<br />

de entrada.<br />

La relación salida-entrada para el amplificador operacional viene dada por:<br />

0<br />

v a( v v<br />

)<br />

o p n<br />

- 152 -<br />

–<br />

+<br />

R1<br />

(7.20)<br />

donde a es la ganancia en lazo abierto del amplificador operacional cuya dependencia con la frecuencia<br />

es:<br />

ao<br />

a( jf) <br />

f<br />

(7.21)<br />

1<br />

j<br />

f<br />

a


- 153 -<br />

Sensores inductivos<br />

a o es la ganancia en continua (a o ≥ 200.000) y f a es la frecuencia de corte (f a ~ 10 Hz). Teniendo<br />

en cuenta las ecuaciones 7.20 y 7.21 la impedancia de entrada que ofrece el convertidor de la<br />

Figura 7.7, viene dada por la expresión Zinp R1ao. Valor que es extremadamente pequeño. Este<br />

resultado indica que la capacidad parásita que ofrezca el inductor podrá despreciarse frente a la<br />

resistencia de entrada del convertidor i-v. En otras palabras, la interfaz electrónica estará acondicionando<br />

la corriente de cortocircuito del sensor inductivo. En consecuencia, el circuito práctico real<br />

que permite medir el campo magnético seria el representado en la Figura 7.8.<br />

La función de transferencia<br />

V0 ( jf) T( jf) <br />

del circuito de la Figura 7.8, admi-<br />

Vm( jf) tiendo un comportamiento real del amplificador operacional dado por 7.21, es:<br />

con<br />

V max<br />

1 Raowa fo<br />

<br />

2<br />

L<br />

L R R1<br />

Figura 7.8 Interfaz electrónica para la medida de<br />

campo magnético mediante sensor inductivo.<br />

2<br />

<br />

T( j f)<br />

(7.22)<br />

1 Raow a L R1<br />

1 <br />

y (7.23)<br />

Q L R Ra w a w<br />

<br />

Las expresiones anteriores indican que la respuesta en frecuencia de T(j·f) es del tipo pasa-baja<br />

con una frecuencia característica dada por la expresión de fo y un factor de calidad dado por la<br />

expresión de Q. Considerando el amplificador operacional ideal ( ao ),<br />

es posible obtener una<br />

característica de transferencia simplificada. En particular:<br />

–<br />

+<br />

R1<br />

R<br />

f j f<br />

1<br />

<br />

<br />

f Q f <br />

o o<br />

R1<br />

T( jf) <br />

R<br />

f<br />

1<br />

j<br />

f<br />

o<br />

+<br />

V0 –<br />

o a o a<br />

(7.24)


Capítulo 7 Sensores Magnéticos<br />

1<br />

con f<br />

. La Figura 7.9 muestra la respuesta en frecuencia de la función T(j · f) dada<br />

o <br />

2R<br />

L<br />

por 7.22. Se observa que para frecuencias f < fo presenta una asíntota horizontal de valor R1 R<br />

(comportamiento constante con la frecuencia) mientras que para f > fo el comportamiento es el de<br />

una dependencia con la frecuencia en la forma 1/f (pendiente de -20 dB/dec). Esta zona de frecuencias<br />

es precisamente la que se desea para compensar la dependencia con la frecuencia del sensor<br />

inductivo. Por otro lado, de acuerdo a la expresión de la frecuencia característica fo , sería posible<br />

aumentar el ancho de banda correspondiente al tramo 1/f simplemente aumentando el valor de la<br />

resistencia R. Ello es posible aunque debe llegarse a un compromiso de diseño pues aumentar R trae<br />

como consecuencia otros efectos de segundo orden no deseados como aparición de capacidades<br />

parásitas asociadas a la resistencia R o aumento de la señal de ruido. Una alternativa interesante,<br />

también encaminada a aumentar el intervalo de frecuencias de la región 1/f, consiste en conectar<br />

una red R-C serie en paralelo con la resistencia R, (Prance et al.).<br />

T (j · f ) (dB)<br />

40<br />

20<br />

0<br />

–20<br />

–40<br />

–60<br />

–80<br />

–100<br />

1 10 100 1·10 3<br />

Figura 7.9 Respuesta en frecuencia de la función de transferencia de la interfaz<br />

electrónica para la medida de campo magnético mediante sensor inductivo.<br />

Haciendo trabajar el sensor inductivo a una frecuencia f > f o entonces la salida de la interfaz<br />

electrónica viene dada por la expresión, para el inductor con núcleo magnético:<br />

- 154 -<br />

1 10 4 1·10 5 1·10 6 1·10 7<br />

f (Hz) 40<br />

R1<br />

V nHSV L<br />

o,max o c<br />

max<br />

. (7.25)<br />

En el caso de un inductor con núcleo de aire debe hacerse c = 1 en la ecuación anterior. Se<br />

observa como el valor máximo de la tensión de salida, supuesto un régimen senoidal, es directamente<br />

proporcional al valor del campo magnético H sin ninguna dependencia con la frecuencia<br />

de trabajo.<br />

Por otra parte, las interfaces electrónicas de alta impedancia de entrada están pensadas para<br />

medir la tensión en circuito abierto del sensor inductivo (Dehmel, 1989). Esta solución no es muy


Capítulo 8 Sensores Potenciométricos<br />

eléctricos que siguen la ecuación de Nernst, de esta manera se tiene la relación de la diferencia de<br />

potencial en la interfase electrolito/aislante o, con la sensibilidad al pH.<br />

Para el caso que el aislante en contacto con la solución sea el Si 3N 4 se considera que existen dos<br />

centros discretos diferentes, uno formado por Si-OH y el otro por N-H 2 que solo se carga positivamente<br />

con iones hidrógeno. Por tanto para este caso, se tendrá una superficie siempre cargada<br />

debido a que el pH correspondiente al punto donde la carga neta de la superficie es nula, es diferente<br />

para cada centro discreto originando una respuesta Nernstiana al pH.<br />

Las expresiones matemáticas que gobiernan el comportamiento del ISFET son similares a las<br />

que presenta el MOSFET (tanto para la tensión de bandas planas como para la tensión umbral) y se<br />

puede llegar a ellas considerando al conjunto de elementos (electrodo, electrolito, aislante y semiconductor)<br />

que conforman el ISFET como una celda electroquímica.<br />

Por otro lado, tendremos en cuenta que al entrar en contacto fases de diferentes propiedades<br />

electroquímicas se genera en la interfase una redistribución de cargas y potencial hasta lograr el<br />

equilibrio definido por la igualdad de los potenciales electroquímicos de los portadores de carga en<br />

ambas fases, estableciéndose una interfase con unas propiedades electroquímicas definidas. Por tal<br />

razón, se pueden estudiar las interfases desde un punto de vista electroquímico considerando que<br />

existe equilibrio termodinámico. La celda compuesta por el conjunto de fases que entran en contacto<br />

tiene un mecanismo de operación que puede ser descrita por procesos en cada una de las fases<br />

y de las interfases.<br />

Considerando el análisis entre las diferentes interfases en donde influyen las cargas libres<br />

mediante un potencial y los dipolos orientados en las superfices interfaciales y tomando en cuenta<br />

la analogía con el MOSFET, la tensión umbral de un ISFET será:<br />

Siendo para el MOSFET:<br />

V T = V Ref – o + Sol – W Si /q – (Q i + Q B ) /C ox + 2 F<br />

V T = V bp – Q B /C ox + 2 F<br />

Donde:<br />

V Ref : Potencial del electrodo de referencia<br />

o : Caída de potencial en la interfaz aislante/electrolito<br />

Sol : Potencial del dipolo de superficie del electrolito en la interfaz aislante/electrolito<br />

W Si : Función de trabajo del silicio<br />

Q i : Carga efectiva por unidad de área en el aislante y en la interfaz asilante/silicio<br />

Q B : Carga en la zona empobrecida del silicio<br />

C ox: Capacidad del aislante<br />

F : Potencial de Fermi<br />

El término o es el parámetro que introduce “la química” por ser función del pH de la solución.<br />

Por tanto, el ISFET puede ser visto como un dispositivo electrónico similar al MOSFET con una<br />

característica adicional: la posibilidad de modificar químicamente la tensión umbral V T mediante el<br />

potencial interfacial en la interfase electrolito/aislante.<br />

8.4.1 El modelo de la doble capa eléctrica<br />

En el caso particular del ISFET existe una interfase formada por un electrolito y un aislante. La presencia<br />

de un límite para el electrolito genera una redistribución de las cargas y de los dipolos orientables<br />

(en comparación con su distribución en la masa de las fases). Esta redistribución constituye<br />

- 200 -<br />

(8.4)<br />

(8.5)


- 213 -<br />

Sensores amperométricos<br />

bles y/o anticorrosivas, los displays electrocrómicos, las células fotovoltaicas, o claro está, los sensores<br />

electroquímicos.<br />

Uno de los enfoques comunes para la incorporación de un modificador a la superficie ha sido la<br />

cobertura con una película polimérica adecuada. La mayoría de los polímeros se aplican a las superficies<br />

de los electrodos aprovechando tanto la adsorción como la baja solubilidad en la disolución<br />

electrolítica, utilizando polímeros preformados o provocando una polimerización electroquímica.<br />

Una primera aproximación en el uso de polímeros preformados es su uso como anclaje para coordinar<br />

con complejos metálicos en los electrodos de grafito pirolítico. Los ejemplos incluyen la polivinilpiridina,<br />

el polivinilferroceno (PVF) o el polinitroestireno, sobre los cuales se ensamblan<br />

complejos de hierro, rutenio, osmio, etc. Con propiedades cataliticas establecidas.<br />

Las ventajas de los electrodos modificados químicamente para la preconcentración fueron<br />

observadas inicialmente al recubrir electrodos con una fina película de un polímero de intercambio<br />

iónico. La estrategia de revestir un electrodo con un polímetro de intercambio aniónico, de hecho es<br />

similar al principio de la voltamperometría de redisolución. Primero las especies son atraídas eléctricamente<br />

y retenidas, y por tanto acumuladas, para a continuación ser reoxidadas, de donde se<br />

toma la señal analítica. La respuesta dependerá de la cantidad de especies electroactivas que fueron<br />

incorporadas por intercambio iónico en el interior de la capa polimérica.<br />

Si se utiliza un polímero intercambiador con la carga y selectividad apropiada se pueden<br />

detectar metales, principios activos farmacológicos y compuestos biológicos a niveles de concentración<br />

traza, tan bajos como 0.1 nM. El polímero más popular es el Nafion ® (Figura 9.3),<br />

aunque también se utilizan otros, como el poliestireno sulfonado o el ácido poliacrílico. De<br />

hecho, el agente de preconcentración puede actuar a la vez como una membrana permselectiva,<br />

ofreciendo barreras para la difusión de especies interferentes, bien por exclusión de tamaño<br />

molecular o por repulsión electrostática. Polímeros como el polidiaminobenceno se han utilizado<br />

para los objetivos de exclusión, y el Nafion, por su carga negativa para eliminar la interferencia<br />

de especies aniónicas. Otra familia de recubrimientos que ha atraído mucho interés en la<br />

última década es la de los polímetros conductores. Sustancias como el polipirrol, la polianilina o<br />

el politiofeno se pueden depositar por adsorción, o especialmente mediante electropolimerización<br />

(Imisides et al., 1991).<br />

Otros tipos de películas inorgánicas también se pueden usar como modificadores de las superfícies<br />

de electrodo: entre otras, óxidos del metal, arcilla, zeolita y ferrocianuros metálicos. Estas películas<br />

tienen interés, básicamente porque forman estructuras bien definidas, con estabilidad química<br />

y térmica, son económicas y fácilmente disponibles. Se pueden obtener películas delgadas de materiales<br />

como el azul de Prusia (ferrocianuro férrico) y materiales similares en la superficie del electrodo<br />

y proporcionar mejoras catalíticas a ciertas reacciones electroquímicas, mejorando la<br />

selectividad y permitiendo la aplicación en muestras complejas.<br />

F<br />

F F<br />

F<br />

F F<br />

F<br />

m n<br />

O<br />

F<br />

F<br />

F<br />

F O<br />

O O<br />

F F<br />

F<br />

–<br />

F3C S<br />

O<br />

Figura 9.3 Estructura química<br />

del polímero de intercambio<br />

perfluorado Nafion ® .


Capítulo 9 Sensores Amperométricos<br />

9.4.2 Biosensores amperométricos<br />

En un biosensor se acopla un componente biológico (enzima, anticuerpo, gen, receptor celular,<br />

célula o tejido) junto con un transductor amperométrico, de forma que la interacción con un analito<br />

permite que se establezca (o al contrario, que desaparezca) una reacción electroquímica. Algunos<br />

ejemplos son el uso de enzimas redox, para los que la reacción con el substrato ya supone un intercambio<br />

de electrones, o el seguimiento de reacciones de afinidad a través de elementos de marcado<br />

enzimático. Con esta integración se logra conjugar las prestaciones de la medida amperométrica<br />

con la altísima selectividad de los reactivos provenientes de la biología. La descripción detallada de<br />

los biosensores amperométricos se encuentra en el Capítulo 10.<br />

9.4.3 Otros dispositivos amperométricos destacados<br />

9.4.3.1 (Bio)composites conductores<br />

Hoy en día, la introducción de nuevos materiales ha promovido el desarrollo de una nueva generación<br />

de electrodos basados en materiales compuestos conocidos como composites. Un composite<br />

resulta de la combinación de diferentes componentes que confieren sus cualidades básicas, pero al<br />

combinarse generan un material con características propias. Estos materiales ofrecen la posibilidad<br />

de mejorar las características de respuesta del transductor (como la relación señal-ruido y el límite<br />

de detección) (Céspedes et al. 1996).<br />

Los composites conductores se pueden clasificar según la distribución de las partículas conductoras<br />

en el material aislante en (Céspedes et al. 1996, Tallman & Petersen 1990) (a) composites<br />

ordenados, por presentar un cierto grado de ordenación de los componentes que lo forman, y (b)<br />

composites aleatorios, en los cuales las partículas se encuentran distribuidas de manera aleatoria en<br />

el material. Los composites aleatórios se pueden a su vez distinguir en composites dispersos, si la<br />

distribución del conductor es totalmente aleatoria, y composites consolidados, si una de las fases<br />

predomina de forma aleatoria en algunas áreas de la matriz.<br />

Se pueden emplear gran diversidad de materiales conductores (platino, oro, grafito), así como<br />

también una gran cantidad de polímeros. Su elección depende de la posterior aplicación del sensor.<br />

Los primeros transductores electroquímicos basados en composites descritos en la bibliografía fueron<br />

los de pasta de carbono (Adams 1958, Gilmartin & Hart 1995). Están formados por partículas<br />

de polvo de grafito (fase conductora), y un líquido aislante viscoso (aceite mineral). Debido a<br />

inconvenientes de tipo físico-mecánico (resistencia del material), se han desarrollado composites<br />

rígidos (Céspedes et al. 1996). Algunas ventajas de estos composites rígidos es su facilidad de<br />

mecanización y regeneración mediante un simple pulido, lo que aumenta el tiempo de vida de éstos.<br />

9.4.3.2 Microelectrodos<br />

La necesidad de disponer de sensores amperométricos de pequeñas dimensiones ha llevado a los<br />

investigadores a entrar en el campo de los electrodos microscópicos. En este campo son especialmente<br />

destacables los trabajos de Mark Wightman (Wightman, 2006), interesado especialmente en<br />

la determinación in vivo e in vitro de neurotransmisores, por ejemplo la liberación de dopamina en<br />

la transmisión del impulso nervioso. Aparte de eso, los microelectrodos exhiben otras posibilidades<br />

también atractivas, como la exploración electroquímica microscópica, la detección en sistemas de<br />

microfluídica, seguimiento en tiempo real de procesos celulares y los análisis con volúmenes de<br />

muestra muy reducidos.<br />

Electrodos de diferentes materiales se han miniaturizado en diversas formas geométricas, con la<br />

característica común de que la dimensión del electrodo sea significativamente menor que la capa de<br />

difusión en su superficie. Con estas dimensiones de área tan reducidas, la capacitancia de la doble<br />

- 214 -


- 215 -<br />

Sensores amperométricos<br />

capa electroquímica se ve altamente reducida, lo que redunda en la mejora de la transferencia de<br />

electrones; aparte, el régimen de difusión de las especies hacia la superficie del electrodo cambia de<br />

plano-infinito a semiesférico, comportando mejoras también respecto al transporte de materia. Por<br />

todo ello, la relación señal-ruido resulta mejorada respecto de los electrodos convencionales, por lo<br />

que se posibilita trabajar en situaciones altamente resistivas, incluidos disolventes no acuosos de<br />

baja constante dieléctrica, soluciones a baja temperatura, en fase gaseosa, con polímeros conductores,<br />

y con soluciones donde no se ha adicionado electrolito soporte.<br />

Las dimensiones micrométricas ofrecen algunas ventajas para el procedimiento analítico. Hilos<br />

metálicos estirados hasta el límite (Pt, Au, Ir), fibras de carbono o finas películas conductoras son<br />

algunas de las modalidades empleadas para obtener los microelectrodos. En ocasiones el diseño y<br />

geometría se hace compatible para el desarrollo de medidas en una única gota de unos pocos L.<br />

La potencialidad de aplicación de los ultramicroelectrodos en medios biológicos aún fue mejorada<br />

con la modificación química de éstos, como por ejemplo cuando se incorporaron polímeros de<br />

intercambio iónico. Las membranas cargadas dejan circular iones de determinado tipo, mientras<br />

que reducen la interferencia de proteínas u otros componentes presentes. Posteriormente, la distribución<br />

de conjuntos de microelectrodos en una superficie ha sido un campo de actividad en la que<br />

se cuenta con las ventajas de la escala micrométrica mientras se integran las diversas señales disponibles,<br />

lo que permite disponer de señales de corriente mayores y por tanto más fácilmente medibles.<br />

En estas situaciones el resultado superficial es un conjunto de microdiscos conductores o islas<br />

espaciados sobre un material aislante, en el que la corriente debida a la reacción electroquímica se<br />

suma entre todos los elementos conductores, mientras que la contribución de fondo, fundamentalmente<br />

ruido, se ve reducida por la escala. Más recientemente, con la irrupción de la tendencia hacia<br />

la nanotecnología, estos logros han sido aún mejorados cuando a los componentes se les han dado<br />

dimensiones nanométricas, por ejemplo con el empleo de nanopartículas metálicas o nanotubos de<br />

carbono. En este último caso, las muy excepcionales características de estos elementos han mejorado<br />

incluso la selectividad, dadas sus excepcionales características para la transferencia electrónica<br />

(Pacios et al., 2008).<br />

9.4.3.3 Electrodos serigrafiados<br />

La demanda de sensores electroquímicos de fácil utilización, portátiles o incluso de un solo uso, se<br />

ha visto satisfecha mediante la tecnología serigráfica. De esta manera se producen electrodos depositando<br />

sucesivamente diversas capas aislantes o conductoras sobre un soporte inerte, por ejemplo<br />

PVC o un sustrato cerámico. Así, el soporte se cubre con tintas conductoras especialmente formuladas,<br />

y estas a su vez se recubren con una tinta aislante, ambos con motivos prediseñados para conseguir<br />

el efecto buscado. Se adicionan los contactos eléctricos en un extremo, o incluso se añaden el<br />

resto de elementos de la celda voltamperométrica, el electrodo auxiliar y el electrodo de referencia,<br />

usando para ello posiblemente tintas conductoras de diferente naturaleza.<br />

De esta manera se consiguen unos dispositivos miniaturizados que posibilitan su uso fuera del<br />

laboratorio, en aplicaciones de tipo clínico, ambiental o industrial. Sus características les permiten la<br />

portabilidad, un uso simple y robusto, así como un bajo coste, hasta para ser desechados tras su uso.<br />

El tipo de tintas que se han utilizado recae básicamente en formulaciones con carbón o con<br />

metales nobles. De hecho, por su bajo coste, el carbón es el elemento más utilizado, aunque frecuentemente<br />

también incorpore terceros elementos para la modificación química en la formulación<br />

de la tinta. El instrumental y maquinaria necesaria para la fabricación de los dispositivos, así como<br />

las tintas, están disponibles comercialmente. Algunas aplicaciones relevantes que se han descrito<br />

incluyen trabajos para la determinación de compuestos farmacéuticos, toxinas ambientales o alimentarias<br />

y contaminantes de origen industrial. Algunos de los analitos que se recogen son compuestos<br />

orgánicos, como el ácido ascórbico, ácido úrico, glucosa, paracetamol, ácido salicílico,


Capítulo 9 Sensores Amperométricos<br />

diversos fenoles, etanol, colesterol, insecticidas y herbicidas; algunos de los de naturaleza inorgánica<br />

son el formaldehído, la hidrazina, el nitrito, o metales pesados.<br />

A modo de conclusión, los electrodos serigrafiados muestran una gran aceptación por la facilidad<br />

de uso, y por la posibilidad de utilización fuera del laboratorio, permitiendo determinaciones<br />

simples, rápidas y hasta de un solo uso. Por ejemplo la determinación de glucosa en sangre, muy<br />

habitual entre los diabéticos, no tendría el grado de confiabilidad y amigabilidad que le caracteriza<br />

hoy en día, en el cuidado personal de estos pacientes, muchos de edad avanzada.<br />

9.5<br />

Conclusiones<br />

La técnica amperométrica y los sensores amperométricos presentan numerosas ventajas que los<br />

hacen adecuados para diversos campos de aplicación. Ya que existe una relación directa entre la<br />

concentración y la intensidad de corriente (señal analítica), esto justifica la mayor sensibilidad de<br />

amperometría respecto a otras técnicas electroanalíticas, como la potenciometría o la conductimetría.<br />

En especial, en potenciometría, la señal analítica (potencial) depende del logaritmo de la concentración.<br />

Este hecho, junto con la mejor relación señal ruido en la medida de corrientes permite<br />

obtener, por lo general, mejores límites de detección. En las técnicas voltamperométricas, la medida<br />

se basa en reacciones que tienen lugar en la superficie del electrodo, por lo que el resultado no<br />

depende del volumen de la muestra o solución que se esté midiendo. El procedimiento de medida es<br />

un proceso simple, robusto y económico. La señal analítica obtenida puede ser directamente procesable,<br />

lo que favorece su aplicación en el control de procesos y la automatización. La medida amperométrica<br />

no es susceptible de interferencias de tipo físico (color, turbidez, viscosidad), esto evita la<br />

necesidad de tratamiento de muestra. Los materiales que constituyen los transductores pueden ser<br />

simples y accesibles (tal como el carbón).<br />

La principal desventaja cuando se aplica la voltamperometría es que todas las especies que tengan<br />

comportamiento redox similar al analito responsable de otorgar la información analítica (es<br />

decir, que se reduzcan u oxiden a potenciales similares) interferirán en las medidas – sólo los procedimientos<br />

de modificación de la superficie del electrodo serán entonces capaz de corregir el error.<br />

9.6<br />

Bibliografía recomendada<br />

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sensing surfaces: A review emphasizing electrode position of heteroaromatic compounds. Electroanalysis<br />

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- 216 -


- 217 -<br />

Bibliografía recomendada<br />

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