Ellipsométrie Spectroscopique Calendrier des formations ... - Horiba
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Contact Information<br />
Nom :<br />
Société/Laboratoire :<br />
Nombre d echantillons a analyser<br />
Description <strong>des</strong> Echantillons<br />
E-mail :<br />
Téléphone :<br />
entre 1 et 5 maximum<br />
Le schéma ci-contre représente la convention de <strong>des</strong>cription <strong>des</strong> échantillons: le numéro<br />
de la couche est croissant du substrat à la surface de l’échantillon.<br />
Donner pour chaque échantillon, le maximum d’in<strong>formations</strong> et particulièrement:<br />
• l’épaisseur du substrat et <strong>des</strong> couches<br />
• les matériaux du substrat et <strong>des</strong> couches (procédés utilisés, éventuels problèmes<br />
rencontrés et possibles conséquences: porosité, inhomogénéité, etc…)<br />
• les constantes optiques (n,k) du substrat et <strong>des</strong> couches<br />
N’hésitez pas à fournir tous autres renseignements pouvant être utiles, une photo de l’échantillon, indiquer<br />
l’endroit où la mesure a été effectuée, etc…<br />
Epaisseur, Constantes optiques (n,k), Gap optique Eg, Rugosité, Interface, Anisotropie, Gradient, Porosité, Dopage,<br />
Concentration, Composition, etc…<br />
Echantillon N°<br />
Substrat<br />
Couche 1<br />
Couche 2<br />
Couche 3<br />
Couche x<br />
Epaisseur (Å, nm ou µm)<br />
(n,k) preciser la<br />
longueur d'onde<br />
Description <strong>des</strong> Conditions de Mesure<br />
- Nom du fichier experimental:<br />
- Type d’Ellipsomètre:<br />
- Taille du spot:<br />
Fiche de Description Echantillons<br />
Couche n<br />
Couche 2<br />
Couche 1<br />
Substrat<br />
In<strong>formations</strong> Recherchees<br />
- Substrat transparent (verre, plastique): O / N<br />
Materiau / Procede In<strong>formations</strong> recherchees<br />
UVISEL MM-16 Auto SE Autres (précisder) :<br />
UVISEL 2 Smart SE<br />
Mesure simple Mesure en masquant la face arrière<br />
Mesure en grattant la face arrière<br />
Conseils de Mesures à Suivre:<br />
- Par défaut, mesurer votre échantillon sur toute la gamme spectrale de votre ellipsomètre<br />
- Si le substrat est rugueux (ex: métaux), mesurer votre échantillon en configuration merge (high accuracy)<br />
- Si possible, envoyer également une mesure du substrat seul sans couche<br />
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