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COMPARAISON ENTRE LES CARACTERISTIQUES DES
SWCNT/DWCNT SYNTHETISES PAR PECVD ET PAR CVD BASSE
PRESSION
T. Minea § , A. Gohier, A. Djouadi, A. Granier
Institut des Matériaux Jean Rouxel-IMN, LPCM, Université de Nantes, CNRS - UMR 6502,
44322 Nantes Cedex, France
Les nanotubes de carbone (NTC) sont déjà exploités dans nombreuses applications qui utilisent certaines de leurs
propriétés extrêmes tel l’émission de champ [1], les transistors à effet de champ [2], les interconnexions entre
niveaux [3], etc. La diversification de ces applications montre que la recherche sur les NTC a atteint un degré de
maturité qui exige la focalisation des efforts sur le contrôle des procédés et la compréhension des paramètres clés
qu’y gouvernent plus que sur la faisabilité et l’explication de la structure de ces nano-objets.
Généralement, on distingue deux catégories de nanotubes, les nanotubes mono-feuillet (SWCNT) qui ne possèdent
qu’une seule paroi et les multi-feuillets (MWCNT). Récemment, une attention toute particulière s’est portée sur les
nanotubes double-feuillets (DWCNT). Ces-derniers semblent bénéficier des avantages des deux familles de NTC. En
tant que partie intégrante de systèmes, les SWCNT et DWCNT ont un très fort potentiel applicatif.
Bien que les méthodes dites ‘haute température’ tel l’arc électrique ont permis la synthèse de SWCNT et DWCNT,
les procédés qui nécessite une température modéré apparaissent comme une alternative viable à l’intégration des
NTC. Cette dernière catégorie regroupe deux grandes familles : (i) le dépôt chimique en phase vapeur en présence
d’un plasma PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) et (ii) le dépôt chimique assisté par la
température uniquement (CVD). Les deux permettent d’abaisser la température de synthèse (