太é½è½é»æ± å 件製ç¨æè¡ - åç«è¯å大å¸
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太 陽 能 電 池 元 件 製 程 技 術<br />
Solar Cell Devices Process Technology<br />
許 正 興<br />
國 立 聯 合 大 學 電 機 工 程 學 系
Introduction to semiconductor process technology<br />
Introduction to solar cell material, mechanism and<br />
measurement<br />
Amorphous solar cell process technology<br />
Single crystal and polycrystalline solar cell<br />
process technology<br />
III-V group compound semiconductor solar cell<br />
process technology<br />
II-VI group compound semiconductor solar cell<br />
process technology<br />
CuInSe system and organic solar cell technology
Introduction to Solar Cell Materials and Devices<br />
太 陽 能 電 池 材 料 的 種 類 , 依 其 外 觀 形 態 區 分 ,<br />
<br />
<br />
塊 狀 型 (Bulk)<br />
• 單 晶 矽 半 導 體<br />
• 多 晶 矽 半 導 體<br />
薄 膜 型 (Thin Film)<br />
• 矽 系 列<br />
• 銅 銦 硒 (CIS) 系 列<br />
• 染 料 光 敏 化 系 列<br />
• 有 機 半 導 體 系 列<br />
矽 型<br />
太 陽 電 池<br />
化 合 物 型<br />
非 晶 系<br />
結 晶 系<br />
III-V 族<br />
II-VI 族<br />
單 晶 矽 晶 圓 片<br />
多 晶 矽 晶 圓 片<br />
多 晶 矽 薄 膜<br />
有 機<br />
半 導 體 型<br />
有 機 薄 膜 太 陽 能 電 池<br />
有 機 染 料 太 陽 能 電 池<br />
矽 系 列 的 半 導 體 材 料 , 是 目 前 太 陽 能 光 電 發 電 系 統 中 , 應 用 領 域 最 為<br />
廣 泛 的 材 料 ; 而 化 合 物 半 導 體 材 料 , 則 是 以 應 用 於 太 空 衛 星 系 統 以 及<br />
聚 光 型 太 陽 能 光 電 發 電 系 統 為 主 要 的 領 域 .
太 陽 能 電 池 用 多 晶 矽 原 材 料 的 主 要 生 產 廠 商 :<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
德 國 Socmic 公 司<br />
挪 威 REC 公 司<br />
美 國 Hemlock Semiconductor 公 司<br />
日 本 Tokuyama 公 司<br />
德 國 Wacker Chemie 公 司<br />
日 本 Mitsubishi Materials 公 司<br />
美 國 MEMC Electronic Materials 公 司<br />
美 國 ASiMi 公 司 (Advanced Silicon Materials LLC) 等 。<br />
美 國 Hemlock 公 司 , 是 由 美 國 Dow Corning 公 司 、 日 本 Mitsubishi<br />
Materials 公 司 、 以 及 日 本 Shi-Etsu Handotai 公 司 所 合 資 成 立 的 公 司 。
(a) 太 陽 能 電 池<br />
(b) 太 陽 能 電 池<br />
(c) 太 陽 能 電 池<br />
單 接 面 型 的<br />
多 重 接 面 型 的<br />
同 質 接 面 型 的<br />
異 質 接 面 型 的<br />
堆 疊 型 的<br />
光 波 頻 譜 轉 換 型 的<br />
中 間 能 帶 型 的<br />
太 陽 能 電 池 的 元 件 種 類 , 因 其 接 面 形 態 的 不 同 :<br />
<br />
<br />
單 接 面 型 (Single-Junction) 太 陽 能 電 池 元 件<br />
多 重 接 面 型 (Multiple-Junction) 太 陽 能 電 池 元<br />
件<br />
太 陽 能 電 池 的 元 件 種 類 , 因 其 接 面 材 質 的 不 同 :<br />
<br />
<br />
同 質 接 面 型 (Homo-Junction) 太 陽 能 電 池 元 件<br />
異 質 接 面 型 (Hetero-Junction) 太 陽 能 電 池 元 件<br />
熱 載 子 型 的<br />
(d) 矽 型 太 陽 能 電 池 元 件<br />
薄 膜 型 矽 基 元 件<br />
晶 圓 片 型 矽 基 元 件<br />
非 晶 質 矽 型 元 件<br />
微 晶 質 矽 型 元 件<br />
單 晶 晶 圓 片 矽 型 元 件<br />
多 晶 晶 圓 片 矽 型 元 件<br />
單 層 式 微 晶 質 矽 型 元 件<br />
堆 疊 式 微 晶 質 矽 型 元 件
電 子 電 洞 對 再 復 合 的 基 本 機 制 :<br />
<br />
光 子 的 發 射 (Light Emission)<br />
<br />
聲 子 的 發 射 (Phonon Emission)<br />
<br />
歐 傑 效 應 (Auger Effect)<br />
光 線<br />
: 電 洞<br />
: 電 子<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
p 型 半 導 體<br />
n 型 半 導 體<br />
電 流<br />
代 表 性 太 陽 能 電 池 元 件 的 電 子 電 洞 對 再 復 合 機 制
一 般 太 陽 能 電 池 的 製 作 方 式 , 是 以 摻 雜 微 量 的 硼 原 子 (Boron, B), 以<br />
形 成 p 型 半 導 體 , 並 用 於 作 為 基 板 材 料 ; 然 後 , 使 用 高 溫 熱 擴 散 的 或<br />
低 溫 離 子 佈 植 的 方 式 , 將 濃 度 高 於 硼 的 磷 原 子 (Phosphor, P) 摻 雜 於 p<br />
型 基 板 之 內 , 以 形 成 p-n 的 接 面 。<br />
太 陽 能 電 池 的 基 本 材 料 是 矽 (Silicon, Si)。<br />
(0,0,1/ 2) (1/ 2 ,1/ 2 ,1/ 2)<br />
鎵<br />
碳<br />
(1/ 4 ,1/ 4 ,1/ 4)<br />
a<br />
砷<br />
a<br />
(1/ 2 ,0,0)<br />
(0 ,1/ 2 ,0)<br />
(a) 鑽 石 立 方 晶 格 結 構<br />
(b) 閃 鋅 礦 立 方 晶 格 結 構
一 個 物 質 的 結 晶 結 構 , 可 以 使 用 米 勒 指 數 (Miller Indices) 來 表 示 其 結 晶 方<br />
向 、 結 晶 面 、 以 及 結 晶 面 族 等 .<br />
z z z<br />
(001)<br />
a<br />
a<br />
a<br />
(010)<br />
[111]<br />
[100]<br />
a<br />
o<br />
a<br />
y o<br />
y y<br />
a<br />
o<br />
a<br />
a [110]<br />
a<br />
x<br />
x<br />
x<br />
(100) (110) (111)<br />
代 表 性 結 晶 方 向 [100]、 結 晶 方 向 族 、 結 晶 面 (100)、 以 及 結 晶 面 族 {100}<br />
的 示 意 圖
一 次<br />
二 次<br />
180<br />
一 次<br />
45<br />
平 切 角<br />
平 切 角<br />
平 切 角<br />
二 次<br />
平 切 角<br />
{111} n 型 {100} n 型<br />
一 次<br />
平 切 角<br />
90<br />
一 次<br />
平 切 角<br />
{111} p 型 {111} p 型<br />
二 次<br />
平 切 角<br />
代 表 性 晶 圓 片 的 {111} n 型 矽 半 導 體 、{100} n 型 矽 半 導 體 、{111} p 型 矽 半<br />
導 體 、 以 及 {100} p 型 矽 半 導 體 等 示 意 圖
不 同 種 類 太 陽 能 電 池 , 其 基 本 物 性 的 優 點 、 缺 點 、 以 及 發 展 方 向
不 同 種 類 太 陽 能 電 池 , 其 基 本 物 性 的 優 點 、 缺 點 、 以 及 發 展 方 向
Fabrication of Solar Cell Devices<br />
太 陽 能 電 池 的 製 作 , 可 以 分 為 晶 圓 片 型 的 以 及 薄 膜 型 的 兩 種 不 同 的 製<br />
程 技 術 。 晶 圓 片 型 的 太 陽 能 電 池 , 因 為 原 材 料 的 短 缺 而 供 應 不 足 以 及<br />
其 單 價 是 較 高 的 , 以 致 於 大 面 積 而 高 效 率 的 薄 膜 型 的 太 陽 能 電 池 , 成<br />
為 未 來 發 展 的 重 點 所 在 。<br />
緣 邊 膜 進 料 長 晶 的 方 式 (Edge-Defined Film-Fed Growth, EFG), 是 美<br />
國 ASE 公 司 所 發 展 出 來 的 一 種 技 術 , 亦 是 先 進 而 成 本 經 濟 效 益 最 大 的<br />
一 種 長 晶 製 程 技 術 。 此 一 拉 晶 長 晶 的 方 式 , 是 可 以 拉 出 中 空 型 的 八 角<br />
形 柱 體 ; 然 後 , 使 用 雷 射 切 割 方 式 , 將 其 切 割 成 10 10 cm 2 的 晶 片 。
單 晶 圓 片 型 矽 太 陽 能 電 池 的 生 產 流 程 , 其 內 容 如 下 :<br />
拉<br />
晶<br />
切<br />
片<br />
清<br />
洗<br />
銀 漿 印 刷<br />
修<br />
角<br />
蝕 刻 及 拋 光<br />
擴<br />
散<br />
蒸<br />
鍍<br />
單 晶 圓 片 型 矽 太 陽 能 電 池 的 生 產 流 程
Introduction to solar cell material mechanism
一 般 太 陽 能 電 池 所 使 用 的 核 心 材 料 是 半 導 體 材 料 , 在 自 然 界 中 的 半 導<br />
體 材 料 種 類 :<br />
<br />
<br />
有 機 半 導 體 材 料<br />
無 機 半 導 體 材 料<br />
在 無 機 半 導 體 材 料 方 面 :<br />
<br />
<br />
<br />
矽 系 列 半 導 體 材 料<br />
化 合 物 系 列 半 導 體 材 料<br />
陶 瓷 系 列 半 導 體 材 料
在 半 導 體 材 料 中 , 當 兩 種 不 同 的 電 荷 載 體 相 接 合 , 而 產 生 發 光 的 效 應 , 則<br />
此 一 物 理 現 象 稱 之 為 「 電 激 發 光 效 應 (Electro-luminescence Effect)」, 它<br />
是 一 種 電 能 轉 換 成 光 能 的 物 理 現 象 。 倘 若 半 導 體 材 料 受 到 外 來 光 的 照 射 ,<br />
而 激 發 出 電 子 以 及 電 洞 等 電 荷 載 體 , 並 增 加 其 電 的 傳 導 體 性 , 則 此 一 現 象<br />
稱 之 為 「 光 傳 導 效 應 (Photo-Conductive Effect)」, 而 且 此 些 電 荷 載 體 將<br />
往 不 同 的 電 場 方 向 移 動 , 導 致 電 荷 載 體 的 極 化 效 應 (Polarization), 進 而 衍<br />
生 出 所 謂 的 電 位 差 或 電 能 , 則 此 一 現 象 稱 之 為 「 光 伏 特 效 應 或 光 起 電 力 效<br />
應 (Photo-Voltaic Effect)」, 它 是 一 種 光 能 轉 換 成 電 能 的 物 理 現 象 。<br />
當 矽 的 外 層 軌 域 電 子 獲 得 的 光 能 量 大 於 1.1 電 子 伏 特 , 則 最 外 層 軌 域 電 子 將<br />
形 成 自 由 電 子 以 及 電 洞 , 此 一 物 理 現 象 稱 之 為 「 光 激 發 電 子 - 電 洞 對<br />
(Light-Generated Electron-Hole Pairs)」。 電 子 - 電 洞 對 的 數 量 大 小 將 對 其<br />
電 特 性 有 很 大 的 影 響 , 當 激 發 所 衍 生 的 電 子 - 電 洞 對 數 量 愈 多 的 話 , 則 其<br />
導 電 效 果 就 愈 好 的 , 而 且 輸 出 電 流 也 將 愈 大 的 , 此 一 現 象 則 是 稱 之 為 光 導<br />
電 效 應 (Photo Conductive Effect)。 除 了 吸 收 外 來 的 光 能 量 而 產 生 電 子 - 電<br />
洞 對 之 外 , 吸 收 外 來 的 熱 能 量 , 而 產 生 電 子 - 電 洞 對 的 現 象 也 有 的 , 此 一<br />
情 形 稱 之 為 「 熱 激 發 電 子 - 電 洞 對 (Hot-Generated Electron-Hole<br />
Pairs)」。
在 矽 材 料 之 中 , 摻 雜 第 五 族 的 元 素 於 其 內 , 則 所 形 成 的 半 導 體 是 帶 有<br />
較 多 電 子 的 n 型 半 導 體 .<br />
倘 若 摻 雜 第 三 族 的 元 素 於 其 內 , 則 所 形 成 的 半 導 體 是 帶 有 較 多 電 洞 的<br />
p 型 半 導 體 .<br />
當 p 型 半 導 體 以 及 n 型 半 導 體 接 合 在 一 起 的 時 候 , 因 為 兩 端 的 自 由 電 子<br />
以 及 電 洞 濃 度 不 同 而 產 生 擴 散 現 象 ,p 型 半 導 體 中 的 電 洞 濃 度 較 高<br />
的 , 而 向 n 型 半 導 體 方 面 擴 散 .
在 接 合 面 附 近 , 由 於 電 荷 密 度 分 布 的 不 均 勻 , 而 產 生 內 部 的 電 場 效 應 ,<br />
並 驅 使 電 子 以 及 電 洞 移 動 至 n 型 半 導 體 以 及 p 型 半 導 體 , 進 而 促 使 接 合 面<br />
附 近 沒 有 電 子 以 及 電 洞 , 此 一 區 域 稱 之 為 空 乏 區 域<br />
Region)。<br />
(1) 元 件 結 構<br />
p<br />
Xp<br />
空 間 電 荷 區 域<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
Xn<br />
n<br />
(Depletion<br />
32<br />
(2) 能 帶<br />
本 質 費 米 能 階 (E Fi )<br />
費 米 能 階 (E )<br />
F<br />
(qV bi ) 電 位 能 障 礙<br />
E Fi<br />
<br />
(3) 電 荷 密 度 ( ,<br />
Coul / cm )<br />
3<br />
X<br />
p<br />
X<br />
p<br />
qN d<br />
<br />
<br />
電 場 (E)<br />
<br />
qN a<br />
<br />
<br />
X<br />
n<br />
X<br />
n<br />
(4) 電 場 分 佈<br />
Vbi<br />
電 位 能 ( )<br />
(5) 電 位 能 分 佈<br />
X<br />
p<br />
X<br />
n
「 光 電 效 應 (Opto-Electronic Effect)」 即 是 光 能 轉 換 成 電 能 的 現 象 .<br />
電 光 效 應 (Electro-Optical Effect)」 是 一 種 將 電 能 轉 換 成 光 能 的 物 理 現 象 .<br />
太 陽 電 池 元 件 以 及 發 光 二 極 體 元 件 , 均 是 含 有 兩 個 電 極 的 二 端 子 型 元 件<br />
<br />
<br />
太 陽 電 池 元 件 是 光 電 效 應<br />
發 光 二 極 體 元 件 是 電 光 效 應
Solar cell Basic Structure<br />
歐 姆 接 觸 (Ohmic Contact), 是 一 層 金 屬 薄 膜 蒸 鍍 於 半 導 體 的 表 面 , 所 形<br />
成 的 一 種 導 電 特 性 。<br />
受 光 面 電 極<br />
背 面 電 極<br />
n<br />
p<br />
抗 反 射 膜<br />
p-n 接 合<br />
受 光 面 電 極<br />
(a) 矽 晶 型 太 陽 能 電 池 構 造<br />
n i p n i p<br />
背 面 電 極<br />
抗 反 射 膜<br />
(b) 非 晶 矽 型 或 疊 積 型 ( 堆 疊 型 ) 太 陽 能 電 池 構 造<br />
p-n 接 面 型 太 陽 能 電 池 元 件 的 基 本 結 構 及 其 組 成
接 面 區 域<br />
電 子<br />
p 型 半 導 體<br />
費 米 能 階<br />
電 位 能 障 礙 (qV<br />
bi<br />
)<br />
n 型 半 導 體<br />
能 隙 (Eg)<br />
導 電 帶<br />
價 電 帶<br />
電 洞<br />
p-n 接 面 型 太 陽 能 電 池 元 件 的 能 帶 示 意 圖
太 陽 能 電 池 附 有 負 載 的 等 效 電 路 (Equivalent Circuit), 包 含 : 電 流 源 (I L<br />
), 二 極 體<br />
飽 和 電 流 (I S<br />
), 電 阻 (R L<br />
)<br />
電 流 (I)<br />
入<br />
射<br />
太<br />
陽<br />
光<br />
線<br />
I L<br />
電 流<br />
(I F )<br />
二<br />
極<br />
體<br />
電<br />
壓<br />
(V)<br />
<br />
負<br />
載<br />
入<br />
射<br />
太<br />
陽<br />
光<br />
線<br />
I L<br />
二<br />
極<br />
體<br />
電 流<br />
(I F )<br />
電<br />
壓<br />
(V)<br />
<br />
(a)<br />
(b)<br />
太 陽 能 電 池 元 件 附 有 負 載 的 (a) 以 及 無 負 載 的 (b) 等 效 電 路
太 陽 能 電 池 元 件 的 理 想 電 流 - 電 壓 (I-V)<br />
特 性 , 可 表 示 為 :<br />
S<br />
(qV / kT)<br />
I I [exp 1] I<br />
此 一 公 式 所 繪 製 的 曲 線 , 分 布 於 直 角 座 標 第 四 象 限 所 圍 的 區 域 ; 它 是 相 當 於 此<br />
一 太 陽 能 元 件 所 輸 出 的 功 率 , 所 得 四 方 形 的 面 積 大 小 即 是 最 大 輸 出 功 率 。<br />
L<br />
電 流 (I)<br />
二 極 體 特 性 曲 線<br />
電 流 (I)<br />
I s h<br />
I m a x<br />
太 陽 能 電 池<br />
特 性 曲 線<br />
0 Vo p<br />
Vo c<br />
0<br />
電 壓 (V ) 電 壓 (V )<br />
V V<br />
m ax<br />
o c<br />
I o p<br />
I sh<br />
V<br />
V<br />
op<br />
o c<br />
: 操 作 電 壓 I : 操 作 電 流<br />
: 斷 路 電 壓 I : 短 路 電 流<br />
op<br />
s h<br />
V<br />
I<br />
m a x<br />
m a x<br />
: 最 大 電 壓 值<br />
: 最 大 電 流 值<br />
(a ) 電 流 - 電 壓 示 意 圖 (b ) 元 件 參 數 示 意 圖<br />
太 陽 能 電 池 元 件 的 電 流 電 壓 關 係 曲 線 (a) 以 及 短 路 電 流 、 斷 路 電 壓 、 最 大 電 流 值 、 以 及<br />
最 大 電 壓 值 等 參 數 (b) 示 意 圖
由 上 圖 可 以 得 知 :<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
短 路 電 流 (Short Circuit Current, ISC)<br />
開 放 電 路 或 斷 路 電 壓 (Open Circuit Voltage, VOC)<br />
最 大 電 流 值 (Maximum Current, Im)<br />
最 大 電 壓 值 (Maximum Voltage, Vm)<br />
如 上 圖 所 示 的 。 I L 代 表 著 太 陽 光 輻 射 於 太 陽 能 電 池 元 件 , 其 內 部<br />
產 生 過 量 載 體 而 形 成 的 電 流 源 ; 而 Is 代 表 著 二 極 體 元 件 的 飽 和 電<br />
流 。<br />
I<br />
S<br />
/ A J S<br />
qNcNv[1/ N<br />
A<br />
( Dn / n ) 1/ N<br />
D<br />
( Dp / p)]exp<br />
<br />
V (kT / q)ln[(I / I ) 1](kT / q)ln(I / I )<br />
OC L S L S<br />
(Eg / kT)<br />
倘 若 選 擇 最 佳 化 的 負 載 (Load), 則 此 一 太 陽 能 電 池 可 以 輸 出 ( Voc ) ( Isc )<br />
功 率 的 80%。Is 是 此 一 電 池 的 電 流 並 等 於 I L , 而 Voc 則 是 電 池 的 開 路 或<br />
斷 路 電 壓 。 當 V=Voc (I=0) 時 ,<br />
I<br />
L<br />
I<br />
SC
對 於 一 定 的 I L , Voc 將 隨 著 其 飽 和 電 流 Is 的 減 少 , 而 呈 現 指 數 式<br />
的 增 加 :<br />
P (I)(V) (I )(V)[exp(qV / kT) 1] (I )(V)<br />
S<br />
當 dP / dV = 0 , 其 輸 出 電 功 率 是 最 大 的 , 而 最 大 輸 出 電 功 率 為<br />
P = Pmax (Im, Vm) 。<br />
最 大 輸 出 電 功 率 為 :<br />
V ( k T / q ) ln [1 ( I / I ) / 1 ( q m V / k T ) ]<br />
I<br />
m L S<br />
V ( k T / q ) ln [1 ( q V m / k T ) ]<br />
O C<br />
I [qV / kT]exp(qVm / kT)<br />
m S m<br />
I [1 (1/<br />
qVm / kT)]<br />
L<br />
L
最 大 輸 出 電 功 率 為 :<br />
P<br />
m<br />
(I m<br />
)(V<br />
m<br />
) I L{V OC<br />
(kT / q)ln[1 (qVm / kT) (kT<br />
/ q)]}<br />
太 陽 能 電 池 元 件 的 理 想 光 電 轉 換 效 率 或 能 量 轉 換 效 率 ( ) 為 :<br />
P / P 100%<br />
m<br />
in<br />
(I )(V )/ P 100%<br />
m m in<br />
(FF)(I )(V )/(P ) 100%<br />
L OC in<br />
形 狀 因 子 (Fill Factor, FF) 的 定 義 為 :<br />
FF (I m<br />
)(V<br />
m<br />
) /(I<br />
L<br />
)(V<br />
OC<br />
)
若 太 陽 能 電 池 有 串 聯 電 阻 負 載 的 時 候 , 此 時 , 太 陽 能 電 池 元 件 的 電 流 -<br />
電 壓 (I-V) 特 性 以 及 能 量 轉 換 效 率 , 可 表 示 為 :<br />
I<br />
n{[(I I L<br />
) / I<br />
S] 1} q(V IRs) / kT<br />
I I {exp[q(V IRs) / kT] 1} I<br />
S<br />
P I{(kT / q)ln{[(I I ) / I ] 1} IRs}<br />
L<br />
S<br />
L<br />
串 聯 電 阻<br />
R s<br />
電 流 (I)<br />
入<br />
射<br />
太<br />
陽<br />
光<br />
線<br />
I L<br />
二<br />
極<br />
體<br />
R<br />
並 sh<br />
聯<br />
電<br />
阻<br />
電<br />
壓<br />
(V)<br />
<br />
負<br />
載<br />
太 陽 能 電 池 有 串 聯 電 阻 負 載 的 等 效 電 路 示 意 圖
V ( 2 k T / q ) ln [1 ( I / I ) / 1 ( q m V / 2 k T )<br />
m L S<br />
V ( 2 k T / q ) ln [1 ( q V m / 2 k T )]<br />
O C<br />
I I [qV / 2kT ]exp(qV / 2kT )<br />
m S m m<br />
I [(1 (1 / qVm / 2kT )]<br />
L<br />
P (I )(V )<br />
m m m<br />
I {V (2kT / q ) ln[1 (qV / 2kT )] (2kT / q )}<br />
L O C m<br />
太 陽 電 池 的 能 量 轉 換 效 率 (η) 為 :<br />
P<br />
m<br />
L<br />
/ P<br />
in<br />
(I )(V ) / P<br />
m m in<br />
(FF)(I )(V ) /(P )<br />
OC<br />
L OC in<br />
I {V (2kT / q) ln[1 (qVm / 2kT)] (2kT<br />
/ q)}
因 接 面 使 用 材 料 的 種 類 而 區 分 , 則 太 陽 能 電 池 元 件 的 種 類 :<br />
<br />
<br />
同 質 接 面 型 太 陽 能 電 池 元 件 (Homo-Junction Solar Cell)<br />
異 質 接 面 型 太 陽 能 電 池 元 件 (Hetero-Junction Solar Cell)<br />
在 接 面 型 太 陽 能 電 池 元 件 的 特 性 上 , 有 金 屬 - 半 導 體 接 觸 特 性 (Metal-<br />
Semiconductor Contact) 以 及 金 屬 - 絕 緣 體 - 半 導 體 接 觸 特 性 (Metal-<br />
Insulator-Semiconductor) 等 兩 種 ; 而 金 屬 - 半 導 體 接 觸 特 性 , 稱 之 為<br />
蕭 特 基 能 障 (Schottky Energy Barrier or Schottky Barrier)。<br />
蕭 特 基 能 障 或 金 屬 - 半 導 體 接 觸 , 乃 是 由 極 薄 的 金 屬 薄 膜 以 及 半 導 體<br />
薄 膜 等 所 構 成 的 界 面 , 其 界 面 處 存 在 有 空 乏 區 , 亦 就 是 沒 有 任 何 載 體<br />
存 在 的 區 域 。<br />
就 金 屬 - 半 導 體 接 觸 型 太 陽 能 電 池 元 件 而 言 , 其 飽 和 電 流 密 度 以 及 開<br />
放 電 壓 為<br />
S<br />
2<br />
J AT exp[ q /(kT)]<br />
Bn<br />
V (kT / q) (kT / q)ln[J / AT ]<br />
OC Bn L<br />
A: 半 導 體 基 板 材 料 常 數 。<br />
2
E F<br />
接 觸 前<br />
功 函 數<br />
( 金 屬 )<br />
金 屬<br />
真 空 位 準 能 階<br />
電 子 親 和 力<br />
n 型 半 導 體<br />
功 函 數<br />
E C<br />
E F<br />
E F i<br />
E V<br />
E F<br />
接 觸 後<br />
蕭 特 基 障 礙<br />
金 屬<br />
X n<br />
空 乏 區 域<br />
內 建 電 位 能 障 礙<br />
n 型 半 導 體<br />
E C<br />
E F<br />
位 能<br />
( 半 導 體 )<br />
E V<br />
就 金 屬 - 絕 緣 體 - 半 導 體 接 觸 型<br />
太 陽 電 池 元 件 而 言 , 其 飽 和 電 流<br />
密 度 以 及 開 放 電 壓 為 :<br />
(a) 蕭 特 基 接 觸<br />
2<br />
J AT exp[ q /(kT)exp( a )]<br />
S<br />
Bn<br />
接 觸 前<br />
功 函 數<br />
( 金 屬 )<br />
E F<br />
真 空 位 準 能 階<br />
電 子 親 和 力<br />
功 函 數<br />
E C<br />
E F<br />
E F i<br />
接 觸 後<br />
E F<br />
蕭 特 基 障 礙<br />
位 能 ( 半 導 體 )<br />
E C<br />
E F<br />
E Fi<br />
E V<br />
V (kT / q) (kT / q)ln[J / AT ]<br />
OC Bn a L<br />
A: 半 導 體 基 板 材 料 常 數 ;a:<br />
常 數 ;: 絕 緣 體 薄 膜 厚 度 。<br />
2<br />
E V<br />
金 屬<br />
n 型 半 導 體<br />
金 屬<br />
n 型 半 導 體<br />
(b) 歐 姆 接 觸<br />
接 觸 前<br />
電 子 親 和 力<br />
( 半 導 體 )<br />
真 空 位 準 能 階<br />
接 觸 後<br />
位 能 差 ( 氧 化 物 )<br />
E F<br />
功 函 數<br />
( 金 屬 )<br />
金 屬<br />
能 隙<br />
氧 化 物<br />
電 子 親 和 力 ( 半 導 體 )<br />
n 型 半 導 體<br />
E C<br />
E F<br />
E F i<br />
E V<br />
(c) 金 氧 半 接 觸<br />
功 函 數<br />
( 金 屬 )<br />
金 屬<br />
功 函 數<br />
( 半 導 體 )<br />
氧 化 物<br />
電 子 親 和 力 ( 氧 化 物 )<br />
位 能 ( 半 導 體 )<br />
n 型 半 導 體<br />
E C<br />
E F<br />
E Fi<br />
E V<br />
蕭 特 基 能 障 或 金 屬 - 半 導 體 接 觸<br />
(a) 以 及 金 屬 - 絕 緣 體 - 半 導<br />
體 接 觸 (b), 其 元 件 以 及 能 帶 示<br />
意 圖
Solar Cell Device Measurement
在 太 陽 能 電 池 胞 及 其 模 組 的 輸 出 量 測 方 面 , 其 輸 出 量 測<br />
輸 出 量 測 是 一 種 可 變 負 載 方 式 的 , 而 其 主 要 的 量 測 方<br />
式 :<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
X-Y 記 錄 器 方 式 (X-Y Record Measurement)<br />
電 容 負 載 方 式 (Capacitance Loading Measurement)<br />
偏 電 壓 電 源 方 式 (Bias Voltage Source Measurement)<br />
電 子 負 載 方 式 (Electronic Loading Measurement)
一 、X-Y 記 錄 器 方 式<br />
<br />
在 X-Y 記 錄 器 方 式 量 測 上 , 有 電 阻 負 載 兩 端 子 型 的 (a) 以 及 電 源<br />
負 載 四 端 子 型 的 (b) 等 兩 種 , 如 圖 所 示<br />
<br />
X-Y 記 錄 器 量 測 方 式 (X-Y Record Measurement), 是 測 量 太 陽<br />
電 池 元 件 輸 出 特 性 的 最 簡 單 的 方 法 。 在 圖 (a) 所 示<br />
A<br />
電 流 計 (Y)<br />
A<br />
太 陽 能 電 池<br />
太 陽 能 電 池<br />
V<br />
電 壓 計 (X)<br />
負 載<br />
( 可 變 電 阻 )<br />
V<br />
負 載<br />
( 電 源 )<br />
(a) 電 阻 負 載 兩 端 子 型 的<br />
(b) 電 源 負 載 四 端 子 型 的<br />
X-Y 記 錄 器 量 測 方 式 的 基 本 原 理 示 意 圖
二 、 電 容 負 載 量 測 方 式 (Capacitance Loading Measurement), 是 在 可 變<br />
負 載 的 內 部 置 入 電 容 , 而 在 進 行 充 放 電 之 際 , 量 測 到 所 需 的 電 流 電<br />
壓 的 數 據 .<br />
A<br />
電 流 計<br />
太 陽 能 電 池<br />
切 換 式 開 關<br />
V<br />
電 壓 計<br />
電 容 器<br />
電 容 負 載 量 測 方 式 的 基 本 原 理 示 意 圖
三 、 偏 電 壓 電 源 量 測 方 式 (Bias Voltage Source Measurement) , 偏 電 壓 電<br />
源 方 式 , 是 施 加 階 段 式 偏 電 壓 電 源 , 進 而 測 量 以 及 記 錄 電 壓 電 流 的 曲<br />
線 關 係 圖 。<br />
A<br />
電 流 計<br />
太 陽 能 電 池<br />
V<br />
電 壓 計<br />
偏 壓 電 源<br />
偏 電 壓 電 源 量 測 方 式 的 基 本 原 理 示 意 圖
四 、 電 子 負 載 量 測 方 式 (Electronic Loading Measurement)<br />
是 將 可 變 電 阻 器 以 及 待 測 的 太 陽 電 池 模 組 連 接 著 , 施 加 階 段 式 偏 電 壓<br />
電 源 , 而 測 量 以 及 記 錄 電 壓 電 流 的 曲 線 關 係 圖 。<br />
A<br />
電 流 計<br />
可 變 電 阻<br />
V<br />
電 壓 計<br />
偏 壓 電 源<br />
電 子 負 載 量 測 方 式 的 基 本 原 理 示 意 圖