2 - 國立聯合大學

半 導 體 製 程 技 術Introduction to Semiconductor Process Technology許 正 興國 立 聯 合 大 學 電 機 工 程 學 系

• Introduction to fabricated Integrated Circuits• Semiconductor Material and Device• Oxidation and Diffusion• Lithographic technology• Ion Implementation• Etch Technology• Thin Film Technology• CMP Technology• Process Integration• CMOS Process

平 坦 化 的 定 義• 平 坦 化 是 一 個 製 程 , 它 會 移 除 表 面 形 貌 並 使 表 面 光 滑 化 及 平 坦 化• 平 坦 化 的 程 度 可 指 明 晶 圓 表 面 的 平 坦 度 與 平 滑 度完 全 順 形 成 長 的 薄 膜 , 沒 有 平 坦 化順 形 及 平 滑 的 薄 膜 , 沒 有 平 坦 化

平 坦 化 的 定 義部 分 平 坦 化全 區 平 坦

平 坦 化 的 程 度平 坦 化 R(µm) θ表 面 平 滑 0.1 至 2.0 > 30 。區 域 性 平 坦 2.0 至 100 30 。 至 0.5 。全 區 性 平 坦 > 100 < 0.5 。Rθ

平 坦 化• 平 滑 化 與 局 部 的 平 坦 化 可 以 藉 由 加 熱 流 動 以 及 回 蝕 刻 製 程而 達 到• 全 面 性 的 平 坦 化 對 於 圖 形 尺 寸 小 於 0.35 μm 是 必 要 的 , 而這 只 能 藉 著 化 學 機 械 研 磨 才 能 達 到

CMP 的 必 要 性• 微 影 技 術 的 解 析 度 R = K 1 λ/NA• 為 改 善 解 析 度 , 數 字 孔 徑 (NA) ↑ or 波 長 (λ) ↓• 景 深 (DOF) = K 2 λ/2(NA) 2 , 兩 種 改 善 解 析 度 的 方 法 都 會降 低 光 學 系 統 的 景 深• 當 解 析 度 0.25 μm 時 , 景 深 約 2,083 Å, 解 析 度 0.18μm 時 , 景 深 約 1,500 Å• 此 處 我 們 假 設 K 1 =K 2 , λ=248 nm (DUV), 且 NA=0.6• 圖 形 尺 寸 0.25 μm 需 要 粗 糙 度 < 2000 Å• 所 需 的 平 坦 化 只 能 藉 著 使 用 CMP 製 程 而 達 到• 圖 形 尺 寸 > 0.35 μm, 其 他 的 平 坦 化 方 法 可 以 用來 滿 足 微 影 技 術 的 景 深 需 求

CMP 的 優 點• 晶 圓 表 面 平 坦 化 可 以 容 許 高 解 析 度 的 微 影 技 術 製 程• 被 平 坦 化 的 表 面 也 可 以 消 除 由 於 較 差 的 PVD 階 梯 蓋造 成 的 側 壁 變 薄 的 問 題• 排 除 過 度 曝 光 和 顯 影 的 需 求 , 這 些 需 求 是 為 了 清 除因 介 電 質 階 梯 造 成 較 厚 光 阻 層 區 域 而 要 做 的 步 驟• 改 善 金 屬 接 觸 窗 和 金 屬 線 圖 案 化 製 成 的 解 析 度• 均 勻 的 薄 膜 沉 積• 減 少 蝕 刻 所 需 要 的 時 間• 減 少 底 切 (undercut) 的 形 成 或 是 基 片 損 失 的 機 會

CMP 的 優 點• CMP 有 效 的 降 低 缺 陷 密 度 , 改 善 良 率• 減 少 在 薄 膜 沉 積 、 微 影 技 術 以 及 蝕 刻 製 程 中 所 發 生 的製 程 問 題 .• CMP 擴 大 積 體 電 路 晶 片 的 設 計 參 數• CMP 本 身 也 會 引 起 缺 陷• 需 要 適 當 的 後 清 洗 (post-CMP cleaning)

CMP 的 應 用• STI 形 成• 介 電 質 平 坦 化• PMD 和 IMD• 鎢 栓 塞 形 成• 深 溝 槽 電 容 器• 銅 局 部 連 線 .• 銅 非 常 難 以 進 行 乾 式 蝕 刻• 雙 重 金 屬 鑲 嵌 : 銅 金 屬 化 的 選 擇 製 程• 鎢 栓 塞 是 金 屬 鑲 嵌 製 程

CMP 的 應 用• 使 用 兩 個 介 電 質 的 蝕 刻 製 程• 一 個 是 金 屬 層 接 觸 窗 孔 蝕 刻 , 另 一 個 是 溝 槽 蝕 刻• 金 屬 層 被 沉 積 進 入 金 屬 層 間 接 觸 窗 孔 和 溝 槽 中 .• 金 屬 CMP 製 程 從 晶 圓 表 面 移 除 銅 與 鉭 阻 擋 層• 將 銅 線 和 栓 塞 嵌 入 介 電 質 層 中CMP 終 點 偵 測• 監 視 馬 達 的 電 流• 光 學 量 測

CMP 終 點 的 馬 達 電 流• 當 CMP 製 程 接 近 終 點 時 , 研 磨 襯 墊 會 開 始 接 觸 並研 磨 底 層• 摩 擦 力 開 始 改 變• 為 了 保 持 固 定 的 襯 墊 旋 轉 速 率 , 研 磨 頭 旋 轉 馬 達的 電 流 將 會 改 變• 監 視 馬 達 電 流 的 改 變 , 我 們 可 以 找 到 CMP 製 程 的終 端 點

CMP 後 清 洗• CMP 後 清 洗 需 要 同 時 移 除 粒 子 和 化 學 污 染 物• 否 則 缺 陷 的 生 成 同 時 降 低 良 率• 超 純 水 的 機 械 式 刷 洗• 增 加 超 純 水 的 水 量 、 較 高 的 刷 洗 壓 力 可 以 達 到 較 高 的清 洗 效 率• 三 種 基 本 步 驟 : 清 洗 、 沖 洗 和 旋 乾• 通 常 刷 子 都 是 由 多 孔 性 的 聚 合 體 所 製 成 , 能 讓化 學 藥 品 通 過 並 將 其 傳 送 到 晶 圓 表 面• 通 常 在 CMP 後 清 洗 製 程 中 會 使 用 雙 邊 洗 滌 器

CMP 後 清 洗• 當 研 磨 漿 在 晶 圓 表 面 乾 固 時 , 研 磨 漿 粒 子 會 與 晶 圓表 面 上 的 原 子 產 生 鍵 結• 化 學 添 加 物 , 像 是 NH 4 OH, HF 或 是 界 面 活 性 劑 被 用來 減 弱 或 是 破 壞 粒 子 對 表 面 的 化 學 鍵 而 移 除 這 些 鍵的 粒 子• 添 加 物 也 可 以 幫 助 粒 子 從 表 面 擴 散 離 開• 化 學 溶 液 也 可 以 被 用 來 調 整 晶 圓 與 粒 子 表 面 的 電荷 , 藉 靜 電 排 斥 作 用 防 止 粒 子 重 新 沉 積 在 其 表 面• 酸 性 溶 液 可 以 被 用 來 氧 化 及 溶 解 有 機 或 是 金 屬 粒 子

粒 子 移 除 機 制酸 性 溶 液 : 氧化 及 溶 解鹼 性 溶 液 : 表 面蝕 刻 和 電 性 排 斥

未 來 的 趨 勢• 更 廣 泛 的 使 用 銅 CMP• 結 合 銅 和 低 -k 介 電 質 的 連 線 製 程• 低 -k 介 電 質 CMP• 銅 和 阻 擋 層 CMP 製 程 對 低 -k 製 程 具 有 高 的 選 擇 性• DRAM 應 用 : 牽 涉 到 多 晶 矽 和 高 -k 介 電 質 的 CMP 製 程 需被 發 展

Integration Technology尖 端 先 進 的 技 術• 2000 年 的 技 術• 圖 形 尺 寸 0.13 mm 或 更 小• 晶 圓 尺 寸 200 mm 或 300 mm• 矽 覆 蓋 絕 緣 技 術 (SOI) 和 淺 溝 槽 絕 緣 技 術 STI• 完 全 隔 離 矽 基 片 上 相 鄰 的 電 子 元 件• 防 止 元 件 間 輻 射 感 應 的 軟 性 誤 差 (soft error)• 增 加 IC 晶 片 電 晶 體 的 密 度 .• 高 輻 射 阻 抗 力• 應 用 矽 覆 蓋 絕 緣 技 術 的 晶 片 將 成 為 高 效 能 電 子 儀 器 的 主流

尖 端 先 進 的 技 術• 銅 和 低 -k 降 低 電 阻 電 容 (RC) 延 滯• 低 功 率 消 耗 , 高 速 IC• 雙 重 金 屬 鑲 嵌 製 程• 兩 個 介 電 質 蝕 刻 製 程 , 沒 有 金 屬 蝕 刻• 使 用 金 屬 CMP 取 代 金 屬 蝕 刻• 主 要 挑 戰 : 介 電 質 蝕 刻 , 金 屬 沉 積 和 金 屬 研 磨• 銅 金 屬 化 : 銅 種 晶 層 , Ta/TaN 阻 擋 層 , Cu ECP, 退 火 和金 屬 CMP• 低 -k 介 電 質 : 然 在 研 發 中• CVD 和 自 旋 塗 佈 介 電 質 (SOD).• CVD: 純 熟 的 技 術 , 既 有 的 設 備 製 程 和 經 驗• SOD: 能 把 多 孔 二 氧 化 矽 的 介 電 係 數 延 伸 到 非 常 低的 數 值 (k

鉛 錫 合 - 金氮 化 矽PSG尖 端 先 進 的 技 術 矽覆 蓋 絕 緣 技 術CMOS IC 使 用 銅與 低 -k 連 線銅 5SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD銅 2SODSODCu 銅 11Cu 銅 11SOD Cu 銅 11Cu 銅 11SODSTI鎢 鎢PSGn + n +P- 型 井 區USG p + p +N- 型 井 區USG深 埋 SiO 2 P- 型 晶 圓

裸 晶 圓P 型 晶 圓

高 電 流 氧 離 子 佈 植氧 離 子 , O +P 型 晶 圓

氧 化 退 火深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

晶 圓 清 洗深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

磊 晶 矽 沉 積P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

晶 圓 清 洗P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

氧 化 - 屏 蔽 氧 化 層P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

光 罩 0- 對 準 光 罩光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

曝 光光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

曝 光 後 烘 烤 (PEB)- 顯 影 , 和 檢 視光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

蝕 刻 氧 化 層 , 蝕 刻 矽光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

剝 除 光 阻P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

剝 除 屏 蔽 氧 化 層P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

晶 圓 清 洗P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

氧 化 - 襯 墊 氧 化 層P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

LPCVD 氮 化 矽氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻氮 化 矽P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

光 罩 1: 淺 溝 槽 絕 緣 (STI)

對 準 和 曝 光光 阻氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻氮 化 矽P 型 磊 晶 層深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

蝕 刻 氮 化 矽 和 襯 墊 氧 化 層光 阻氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓

剝 除 光 阻氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓

蝕 刻 矽氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓P 型 磊 晶 層

晶 圓 清 洗氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓P 型 磊 晶 層

氧 化 - 阻 擋 氧 化 層氮 化 矽深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層P 型 晶 圓P 型 磊 晶 層

高 密 度 電 漿 化 學 氣 相 沉 積 未 摻 雜 玻 璃(HDP CVD USG)氮 化 矽P 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

化 學 機 械 研 磨 (CMP) USG氮 化 矽P 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

剝 除 氮 化 矽P 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

剝 除 襯 墊 氧 化 層STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

晶 圓 清 洗STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

氧 化 - 犧 牲 氧 化 層STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

光 罩 2: N- 型 井 區

對 準 和 曝 光光 阻STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STIP 型 磊 晶 層USGP 型 磊 晶 層USG深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓

N- 型 井 區 佈 植磷 離 子 , P +光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

PMOS V T 調 整 佈 植硼 離 子 , B +光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 3: P 型 井 區

對 準 和 曝 光光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STI深 埋 SiO 2 層P 型 磊 晶 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

P- 型 井 區 佈 植硼 離 子 , B +光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

NMOS V T 調 整 佈 植磷 離 子 , P +光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 犧 牲 氧 化 層STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

晶 圓 清 洗STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

閘 極 氧 化 層STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

LPCVD 沉 積 非 晶 矽閘 極 氧 化 層非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 4- 閘 極 和 局 部 連 線

對 準 和 曝 光光 阻非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 , 顯 影 和 檢 視光 阻非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

非 晶 矽 蝕 刻光 阻非 晶 矽閘 極 氧 化 層STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

晶 圓 清 洗非 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

多 晶 矽 退 火 和 氧 化多 晶 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤多 晶 矽光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 5- NMOS LDD 佈 植

對 準 和 曝 光多 晶 矽光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

NMOS LDD 佈 植銻 離 子 , Sb +光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤多 晶 矽光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 6: PMOS LDD 佈 植

對 準 和 曝 光多 晶 矽光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視多 晶 矽光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

PMOS LDD 佈 植多 晶 矽光 阻氟 化 硼 離 子 , BF 2+STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

CVD 沉 積 USG- CVD 沉 積 氮 化 矽STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

氮 化 矽 和 USG 回 蝕 刻 (Etchback)多 晶 矽 閘 極側 壁 空 間 層STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 7- NMOS S/D 佈 植

對 準 和 曝 光光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

NMOS S/D 佈 植砷 離 子 , As +光 阻STIP 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STIn + n +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻STIn + n +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

光 罩 8- PMOS S/D 佈 植

對 準 和 曝 光光 阻STIn + n +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STIn + n +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

PMOS S/D 佈 植光 阻硼 離 子 , B +STIn + n +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層USGP 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 光 阻STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

快 速 加 熱 退 火STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

氬 離 子 濺 射 蝕 刻STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

鈷 和 氮 化 鈦 濺 鍍 沉 積氮 化 鈦鈷STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

快 速 加 熱 退 火氮 化 鈦鈷鈷 矽 化 物 (CoSi 2 )STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

剝 除 氮 化 鈦 和 鈷鈷 矽 化 物 (CoSi 2 )STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

PECVD 沉 積 氮 化 矽鈷 矽 化 物 (CoSi 2 )STIn + n + USG p + p +P 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區USG

HDP CVD 沉 積 摻 磷 矽 玻 璃 ( PSG)STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

CMP 摻 磷 矽 玻 璃 ( PSG)STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 9- 接 觸 窗 及 局 部 連 線

對 準 和 曝 光光 阻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

蝕 刻 PSG光 阻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

氬 離 子 濺 射 蝕 刻STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

鈦 和 氮 化 鈦 濺 鍍 沉 積鈦 / 氮 化 鈦 附 著 層 及 阻 擋 層STIPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

CVD 沉 積 鎢鈦 / 氮 化 鈦 附 著 層 及 阻 擋 層STIW TungstenPSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

鎢 、 氮 化 鈦 和 鈦 CMPSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 碳 化 矽 密 封 層STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

自 旋 塗 佈 介 電 質 (SOD) 的 塗 佈SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SOD 烘 烤SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 SiC 蝕 刻 停 止 層SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SOD 塗 佈 及 硬 化 (curing)SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

沉 積 PE-TEOS 覆 蓋 層SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 10- 金 屬 層 接 觸 窗 孔 1

對 準 和 曝 光SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

蝕 刻 PE-TEOS 和 SOD 並 在 SiC 層 停 止SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 11- 金 屬 溝 槽 1

對 準 和 曝 光SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視SODSOD光 阻STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

蝕 刻 溝 槽光 阻SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

氬 離 子 濺 射 清 潔SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PVD 沉 積 鉭 和 氮 化 鉭 阻 擋 層SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PVD 沉 積 Cu 種 晶 層SODSODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

巨 量 銅 的 電 化 學 電 鍍 沉 積銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

銅 退 火銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

銅 、 鉭 和 氮 化 鉭 的 CMP銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 SiC 密 封 層銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

自 旋 塗 佈 介 電 質 (SOD) 的 塗 佈SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SOD 硬 化SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 SiC- 蝕 刻 停 止 層SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SOD 塗 佈 及 硬 化SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PE-TEOS 覆 蓋 層 (Cap) 沉 積SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 12- 金 屬 溝 槽 2

對 準 和 曝 光SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

蝕 刻 溝 槽 並 停 止 在 SiC 層SiC光 阻SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SiCSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 13- 金 屬 層 接 觸 窗 孔 2

對 準 和 曝 光光 阻SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

金 屬 層 接 觸 窗 孔 2 蝕 刻光 阻SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

氫 電 漿 清 潔SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PVD 沉 積 鉭 和 氮 化 鉭 阻 擋 層SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PVD 沉 積 銅 種 晶 層SODSODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1STI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

巨 量 銅 的 電 化 學 電 鍍 沉 積銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

銅 退 火銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

銅 、 鉭 和 氮 化 鉭 的 CMP銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 SiC- SOD 塗 佈 和 硬 化SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

PECVD 沉 積 SiC- 蝕 刻 停 止 層SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤光 阻SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 14- 金 屬 層 接 觸 窗 孔 3

對 準 和 曝 光光 阻SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視光 阻SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

蝕 刻 SiC光 阻SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SOD 塗 佈 和 烘 烤 - PE-TEOS 沉 積 覆 蓋 層SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 阻 塗 佈 與 烘 烤SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

光 罩 15- 金 屬 溝 槽 3

對 準 和 曝 光SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

曝 光 後 烘 烤 - 顯 影 和 檢 視SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

介 電 質 蝕 刻SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

剝 除 光 阻SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

氫 電 漿 清 潔SODSOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

銅 、 鉭 和 氮 化 鉭 的 沉 積 和 CMP銅 3 SOD 銅 3SOD銅 2SODSOD銅 1 銅 1 SOD 銅 1 銅 1SODSTI鎢鎢PSGn + n + USG p + p + USGP 型 井 區深 埋 SiO 2 層P 型 晶 圓N 型 井 區

SiC、 SOD、 SiC、 SOD、 和 PE-TEOSSODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 和 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 和顯 影SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

蝕 刻 金 屬 層 接 觸 窗 孔 4SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

剝 除 光 阻SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 和 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 和顯 影SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

溝 槽 蝕 刻SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

剝 除 光 阻SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

氫 電 漿 清 潔SODSOD銅 3 SOD 銅 3SOD

銅 、 鉭 和 氮 化 鉭 的 沉 積 和 CMPSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

SiC、 SOD、 SiC、 SOD、 和 PE-TEOSSODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 及 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 及 顯影SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

蝕 刻 金 屬 層 接 觸 窗 孔 5SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

剝 除 光 阻SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 和 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 和顯 影SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

介 電 質 蝕 刻SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

剝 除 光 阻SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

氫 電 漿 清 潔SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

銅 、 鉭 和 氮 化 鉭 的 沉 積 和 CMP銅 5SODSODSOD銅 4SOD銅 3 SOD 銅 3SOD

PECVD 沉 積 氮 化 矽 、 PSG 及 氮 化 矽 保 護層氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 及 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 及顯 影氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

鈍 化 護 層 蝕 刻氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

剝 除 光 阻氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

聚 醯 胺 膜 塗 佈聚 醯 胺 膜氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

運 送 至 測 試 及 封 裝聚 醯 胺 膜氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

剝 除 聚 醯 胺 膜氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

氬 離 子 濺 射 蝕 刻氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

鉻 、 銅 、 和 金 襯 裡 層 塗 佈氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

鉛 - 錫 合 金 塗 佈鉛 - 錫 合 金氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

光 阻 塗 佈 、 對 準 及 曝 光 、 曝 光 後 烘 烤 及光 阻顯 影鉛 - 錫 合 金氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

金 屬 蝕 刻光 阻鉛 - 錫 合 金氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

剝 除 光 阻鉛 - 錫 合 金氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

鉛 - 錫 合 金 再 流 動鉛 - 錫 合 金氮 化 矽PSG銅 5SODSOD

矽 覆 蓋 絕緣 技 術CMOS IC使 用 銅 與低 -k 連 線鉻 , 銅 , 及 金襯 裡碳 化 矽 蝕刻 停 止 層銅 5SOD鉛 - 錫 -合 金銅 4SODSODSOD氮 化 矽PSG銅 3 SOD 銅 3SOD氮 化 矽密 封 層Ta/TaN 阻擋 層鈷 矽化 物多 晶 矽 匣 極Cu 銅 1 Cu 銅 1 SOD Cu 銅 1 Cu 銅 1STI銅 2SODSODSOD鎢 鎢PSGn + n +P- 型 井 區 USG p + N- 型 井 區p + USG深 埋 SiO 2 層P- 型 晶 圓碳 化 矽 密 封 層PE-TEOS 覆 蓋層碳 化 矽 密 封 層氮 化 矽 阻擋 層