De impact van licht - Universiteit Twente

Onderstaand figuur geeft verschillende processen die in precisietechnologie
van belang zijn. In het micro gebied zien we o.a. draaien, frezen en slijpen,
maar ook excimeer- en YAG laserbewerking, ultrasoon bewerken en chemischmechanisch
polijsten [19]. In het nanogebied zien we o.a. lithografie, scanning
tunneling microscopie en atomic layer deposition (epitaxy). Daartussen
bevinden zich nog etsprocessen of bewerking met ionen- of electronenbundels.
De zogenaamde micro-nano manufacturing gap [20]is rood gemarkeerd.
Met laserprocessen kunnen beter dan met conventionele productie processen
details kleiner dan 10 µm worden gemaakt. Door een laserbundel met
een objectief lens een factor 10 te focuseren kunnen ook nu al details van
1 µm worden gemaakt. We zullen de komende jaren het gebied tussen 1 µm
en 100 nm bewerken en de ontwikkeling om details kleiner dan 100 nm met
een laserbundel direct te schrijven is internationaal inmiddels in volle gang.
In de zogenaamde micro nano manufacturing gap, in het gebied tussen
100 nm en 10 µm, kunnen met laserprocessen unieke resultaten bereikt
worden omdat laserlicht op vrijwel alle materialen impact heeft en het
verwijderen van materiaal bovendien veel sneller gebeurt dan bij andere
processen, bijvoorbeeld dan ionen processen. Bovendien kunnen lasers toegepast
worden onder atmosferische condities, waarbij een semi-clean-room
25
De impact van licht