De impact van licht - Universiteit Twente

26
De impact van licht
atmosfeer gewenst is voor constante temperatuur en ook om stofdeeltjes te
vermijden.
Wat betreft de kleinste hoeveelheden te verwijderen materiaal is er voor de
laserprocessen geen beperkende ondergrens. Het verwijderen van afzonderlijke
atomen met een lage laserenergie behoort tot de mogelijkheden.
Laser materiaal interactie is een multidisciplinair onderwerp met verbindingen
naar veel andere onderwerpen en onderzoekgroepen. Die samenwerking
zal ik daar waar mogelijk opzoeken en stimuleren. Hierbij kijk ik met voldoening
terug op het afgelopen jaar waarin met een aantal groepen, binnen en
buiten de faculteit kiemen voor samenwerking zijn ontstaan en projectvoorstellen
zijn geschreven of in de maak zijn.
De lasertechnologie en de ontwikkeling van laserprocessen zorgt voor onderzoeklijnen
naar veel andere disciplines, in het bijzonder:
• Fundamentele en toegepaste fysica waaronder optica
• Organische en anorganische chemie
• Halfgeleiderfysica en elektronica
• Biologie en medische wetenschap.
Van de processen die door laser geactiveerd of ondersteund worden zijn in
de loop van de jaren veel varianten ontstaan. Veel onderzoek is verricht aan
laser CVD processen, maar deze zijn relatief traag en daardoor voor massafabricage
minder aantrekkelijk[21]. Een basis voor veel depositieprocessen is
het LIFT proces: Laser Induced Forward Transfer dat hieronder schematisch
is weergegeven [22].
x-y
translatie
stage
materiaal
depositie
laser pulsen
transparante drager
dunne film
substraat