Activity Report IMT-Bucharest 2009

2.2 Domeniul de specialitate al INCD pentru Microtehnologie
a. conform clasificării UNESCO: 3307
b. conform clasificării CAEN : 7219; 6209; 7211; 7220; 8532; 8559
2.3 Direcţii de cercetare dezvoltare
a. domenii principale de cercetare-dezvoltare
INCD pentru Microtehnologie are ca principale domenii de cercetare si dezvoltare noi procese,
structuri, sisteme avansate in domeniul micro si nanotehnologiilor si microingineriei.
Cercetarea are un caracter interdisciplinar. Principalele direcţii de cercetare ale IMT sunt:
microsenzori si microsisteme electro-mecanice de radio frecventa (RF-MEMS), micronanosisteme
opto-electro mecanice (MOEMS), nanoelectronica (inclusiv dispozitive bazate pe
CNT), micro-nanosisteme pentru aplicaţii biomedicale (BIO-MEMS), incluzând laborator pe un
chip si “microarrays”, microtraductori (inclusiv reţele de microsenzori si senzori inteligenţi) cu
aplicaţii in tehnologia informaţiei şi comunicaţiilor, ştiinţele vieţii, mediu, agricultura.
b. domenii secundare de cercetare:
INCD pentru Microtehnologie are ca domenii de cercetare secundare: nanomateriale,
microrobotica, structuri si dispozitive pentru stocarea si conversia energiei (celule solare),
senzori magnetici.
c. servicii/microproductie
INCD pentru Microtehnologie oferă servicii de structurare si caracterizare la scara micro si
nanometrica (procese specifice microelectronice- desfăşurate in camera Curata), fiind sigurul
institut naţional care deţine o astfel de dotare. Majoritatea acestor echipamente sunt instalate in
“camera alba” (camera curata). Camera curata (clasa 1000) este singura facilitate de acest tip
care funcţionează in prezent in tara si ea permite realizarea de micro si nanostructuri
experimentale si fabricaţie de serie mica. La acestea se adaugă servicii de fabricare de
masti (inclusiv EBL: Electron Beam Litography: litografie la scara nanometrica). INCD pentru
Microtehnologie oferă servicii de simulare si proiectare, testare, fiabilitate si încapsulare;
educaţie: organizare de cursuri de master in cooperare cu UPB, laboratoare pentru studenţi –
in special din UPB; organizarea de evenimente ştiinţifice (de exemplu Conferinţa
Internaţionala de Semiconductoare (IEEE) CAS- a 32- ediţie in 2009; Seminarului Naţional
de Nanostiinta si Nanotehnologie - ediţia a 8-a in 2009, s.a.), editare de publicaţii ştiinţifice:
Seria “Micro- Nanoengineering”, sub egida Editurii Academiei Romane, Romanian Journal
for Information Science and Technology (ROMJIST).
Institutul asigura servicii prin intermediul facilitaţii IMT-MINAFAB (MIcro and NAnoFABrication).
Informaţie detaliata apare la adresa www.imt.ro/minafab
Microproductie: serii mici la comanda in domeniul dispozitivelor/circuitelor electronice
si al senzorilor.
3.Structura de conducere a INCD pentru Microtehnologie
3.1. Consiliul de Administraţie:
(Raportul CA se prezintă ca document distinct si se anexează prezentului raport de activitate al INCD –
prezentarea masurilor adoptate de CA in anul pentru care se realizează raportarea, prezentarea planului
de desfăşurare a activităţilor CA pentru anul in curs, programul de activitate al CA pentru anul in curs.)-
Anexat in finalul raportului
2