環境保護 - TSMC

6.2 氣 候 變 遷 與 溫 室 效 應 氣 體 減 量
全 球 氣 候 變 遷 是 台 積 公 司 目 前 最 關 注 的 環 境 議 題 之 一 。 鑒
於 聯 合 國 跨 政 府 氣 候 變 遷 小 組 (Intergovernmental Panel
on Climate Change, IPCC ) 已 經 認 定 溫 室 氣 體 排 放 是 造 成
地 球 氣 候 變 遷 的 主 因 , 而 且 氣 候 變 遷 可 能 對 全 球 經 濟 與 人
類 生 活 造 成 劇 烈 影 響 , 台 積 公 司 除 了 全 力 減 少 自 身 碳 排
放 , 也 決 心 領 導 供 應 鏈 廠 商 進 行 相 關 活 動 , 成 為 綠 色 環 保
標 竿 企 業 。
台 積 公 司 溫 室 效 應 氣 體 排 放 統 計
0.00213
3,714,542
0.00183
0.00153
3,968,018 3,696,075
溫 室 效 應 氣 體 排 放 量
( 噸 二 氧 化 碳 當 量 )
噸 二 氧 化 碳 當 量 / 晶 圓
產 出 面 積 ( 平 方 公 分 )
台 積 公 司 體 認 到 身 為 地 球 村 一 員 , 需 致 力 於 工 廠 溫 室 氣 體
減 量 , 除 了 持 續 節 省 能 源 耗 用 以 減 少 間 接 性 二 氧 化 碳 排
放 , 對 於 製 程 所 使 用 之 溫 室 氣 體 亦 自 願 投 入 資 金 與 人 力 ,
進 行 各 項 減 量 方 案 。 同 時 , 對 員 工 進 行 環 保 教 育 宣 導 , 鼓
勵 全 體 員 工 於 日 常 生 活 中 做 好 節 能 與 環 保 。
台 積 公 司 對 於 氣 候 變 遷 的 因 應 策 略 , 在 過 去 乃 積 極 進 行 節
約 能 源 措 施 、 進 行 自 願 性 溫 室 效 應 氣 體 全 氟 化 物 排 放 減 量
計 劃 以 及 每 年 進 行 溫 室 效 應 氣 體 盤 查 與 驗 證 ; 在 未 來 則 將
氣 候 變 遷 納 入 企 業 風 險 管 理 的 一 項 , 進 行 風 險 分 析 與 降 低
風 險 管 控 , 且 將 由 高 階 主 管 及 董 事 會 定 期 審 查 。 對 外 方
面 , 台 積 公 司 自 民 國 九 十 四 年 即 參 與 非 營 利 組 織 (Carbon
Disclosure Project, CDP ) 的 評 比 , 每 年 揭 露 氣 候 變 遷 相 關
訊 息 。
6.2.1 溫 室 氣 體 盤 查
對 抗 氣 候 變 遷 與 全 球 暖 化 , 溫 室 氣 體 減 量 是 目 的 , 盤 查 則
是 必 要 步 驟 。 經 由 盤 查 可 以 訂 出 減 量 標 的 與 優 先 順 序 , 讓
後 續 的 減 量 過 程 更 有 效 率 , 並 且 可 以 藉 以 確 認 減 量 成 果 ,
所 以 越 早 進 行 越 好 。
台 積 公 司 於 民 國 九 十 四 年 率 先 完 成 溫 室 氣 體 盤 查 計 劃 , 並
通 過 驗 證 機 構 對 盤 查 程 序 及 結 果 之 查 證 , 作 為 台 積 公 司 溫
室 氣 體 減 量 策 略 的 參 考 , 亦 為 因 應 未 來 法 規 要 求 、 碳 交 易
及 企 業 碳 資 產 管 理 預 做 準 備 。 台 積 公 司 也 將 盤 查 結 果 及 因
應 措 施 傳 達 給 各 相 關 部 門 主 管 與 系 統 設 施 負 責 人 員 , 建 立
推 廣 環 保 活 動 的 共 識 。
民 國 九 十 五 年 起 , 台 灣 半 導 體 產 業 協 會 展 開 全 體 會 員 廠 商
溫 室 氣 體 排 放 量 盤 查 專 案 , 台 積 公 司 亦 參 與 此 項 專 案 。 該
專 案 依 循 ISO14064 的 標 準 程 序 , 盤 查 民 國 九 十 四 年 之 溫
室 氣 體 排 放 量 , 並 於 民 國 九 十 六 年 六 月 通 過 驗 證 機 構 對 盤
查 程 序 及 結 果 之 查 證 , 取 得 溫 室 氣 體 排 放 量 查 證 書 。 台 積
公 司 未 來 將 依 據 建 置 完 成 之 系 統 , 持 續 配 合 行 政 院 環 境 保
護 署 及 台 灣 半 導 體 協 會 更 新 溫 室 氣 體 盤 查 資 料 , 並 進 行 第
三 者 查 證 。
民 國 九 十 四 年 民 國 九 十 五 年 民 國 九 十 六 年
6.2.2 溫 室 氣 體 排 放 減 量
全 氟 化 物 排 放 減 量
因 應 京 都 議 定 書 對 於 溫 室 氣 體 的 排 放 減 量 要 求 , 全 球 許 多
先 進 國 家 均 已 訂 定 減 量 目 標 。 台 灣 不 是 聯 合 國 會 員 , 無 法
直 接 簽 署 京 都 議 定 書 , 然 而 身 為 地 球 公 民 的 一 員 , 由 企 業
自 願 減 少 溫 室 氣 體 排 放 已 成 為 國 內 及 全 球 的 共 同 趨 勢 。
台 積 公 司 秉 持 一 貫 環 保 理 念 , 積 極 投 入 國 際 性 環 保 活 動 ,
其 中 針 對 溫 室 效 應 氣 體 排 放 的 環 保 議 題 , 台 積 公 司 也 承
諾 進 行 相 關 排 放 減 量 措 施 。 一 般 半 導 體 製 程 所 使 用 的 全
氟 化 物 (Perfluorinated Compounds, PFCs
) 為 四 氟 化 碳
(CF 4 )、 六 氟 乙 烷 (C 2 F 6 )、 六 氟 化 硫 (SF 6 )、 三 氟 化 氮
(NF 3 )、 三 氟 甲 烷 (CHF 3 )、 全 氟 丙 烷 (C 3 F 8 ) 及 八 氟 環 丁
烷 (C 4 F 8 ) 等 。 台 積 公 司 與 台 灣 半 導 體 產 業 協 會 分 別 和 世 界
半 導 體 產 業 協 會 (World Semiconductor Council, WSC )
以 及 行 政 院 環 境 保 護 署 簽 署 備 忘 錄 , 制 訂 企 業 全 氟 化 物 減
量 政 策 及 執 行 計 劃 , 自 願 承 諾 於 民 國 九 十 九 年 時 , 將 全 氟
化 物 排 放 總 量 降 低 至 民 國 八 十 六 年 及 八 十 八 年 的 平 均 值 之
90% 以 下 。 因 為 台 積 公 司 不 斷
成 長 茁 壯 , 持 續 在 台 灣 擴 建 新
台 積 公 司 預 計 將 減 少
廠 , 該 減 量 淨 排 放 目 標 相 當 具
有 挑 戰 性 。 歷 年 來 台 積 公 司 已
70% 的 全 氟 化 物 排
有 顯 著 之 減 量 成 效 , 預 計 將 減 放 並 如 期 達 成 目 標
少 70% 的 全 氟 化 物 排 放 並 如 期
達 成 目 標 。
台 積 公 司 排 放 減 量 策 略 如 下 :
• 進 行 化 學 氣 相 沉 積 (Chemical Vapor Deposition, CVD )
製 程 機 台 之 全 氟 化 物 氣 體 使 用 率 量 測 及 處 理 設 備 之 處 理
效 率 量 測 , 量 得 實 際 之 排 放 係 數 以 計 算 全 氟 化 物 排 放
量 。
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