EÜTAM KATALOG

1
1
1
1
1
1
1
1
1
Teknik özellikleri:
Saçtırma Sistemi (MAGNETRON SPUTTERING)
Cihazda 2 adet rezistif termal buharlaştırma kaynağı ve 2 adet saçtırma magnetronu bulunmaktadır.
Basınç:< 5x10- 7 Torr
Alttaş çapı: 2 - 6 inç
Alttaş sıcaklığı: 50- 500 °C (1000 °C isteğe bağlı)
Alttaş döndürme hızı: 3- 30 rpm
Alttaş ile Magnetron Mesafe Ayarı: İki Yönlü Standart (vakum altında ayarlanabilir)
Saçtırma Yönü: Aşağıdan yukarıya
Büyütme Yöntemleri: Doğrudan (DC veya RF) Saçtırma ve Reaktif (DC) Saçtırma
Uygulama Alanları:
Saçtırma magnetronları ile metal, metal oksit, metal nitrür, yalıtkan (dielektrik) ve manyetik malzemeler saçtırılabilmekte ve bu sayede ince
film büyütme ve implant kaplama yapılabilmektedir.
28
1
1
1
1
1