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V - 复旦大学

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高 级 模 拟 集 成 电 路 设 计<br />

(Analog Design Essentials)<br />

2011 年 12 月 26 日<br />

唐 长 文 副 教 授<br />

zwtang@fudan.edu.cn<br />

http://rfic.fudan.edu.cn/Courses.htm<br />

复 旦 大 学 / 微 电 子 学 系 / 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组<br />

版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

失 调 和 CMRR: :<br />

随 机 因 素 和 系 统 因 素<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -132-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

目 录<br />

• 随 机 失 调 和 CMRR r<br />

• 系 统 失 调 和 CMRR s<br />

• CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

• 设 计 规 则<br />

• MOST 与 双 极 型 晶 体 管 的 比 较<br />

Ref.: W. Sansen : Analog Design Essentials, Springer 2006<br />

Pelgrom, JSSC Oct.1989, 1433-1439<br />

Croon, JSSC Aug.02, 1056-1064<br />

Croon, Springer, 2005<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -133-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

失 调 的 定 义<br />

失 调 电 压 v os<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -134-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

由 失 调 引 起 的 增 益 误 差<br />

v<br />

IN<br />

v<br />

R<br />

S<br />

os<br />

<br />

v<br />

os<br />

v<br />

R<br />

F<br />

OUT<br />

增 益 由 100 倍 变 为 59 倍 。<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -135-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

由 失 调 引 起 的 flash-ADC<br />

良 率 下 降<br />

V ref v IN<br />

v os1<br />

10 bit 9 bit 8 bit 7 bit<br />

v os2<br />

N-bit<br />

v os3<br />

v os4<br />

T<br />

Ref.: Pelgrom, IEDM 1998, pp.789.<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -136-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

随 机 失 调 : 失 配<br />

V<br />

T<br />

∆V T<br />

' W<br />

IDS K ( VGS VT<br />

)<br />

L<br />

AVT<br />

σ<br />

∆VT<br />

<br />

WL<br />

A ~ t 4 N<br />

V VT ox B<br />

T<br />

2<br />

Ref.: Keyes, JSSC Aug. 1975, 245-247<br />

247<br />

Shyu, JSSC Dec 1984, 948-955<br />

Lakshmikumar, JSSC Dec 1986, 1057-1066<br />

Pelgrom, JSSC Oct.1989, 1433-1439<br />

39<br />

对 于 025μm 0.25 的 nMOST<br />

A<br />

VT<br />

5 mVμm<br />

Croon, JSSC Aug. 2002, 1056-1064 pMOST 将 +50%<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -137-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

阈 值 电 压 的 标 准 方 差<br />

σ<br />

∆VT<br />

<br />

A VT<br />

WL<br />

0.7 μm 的 CMOS<br />

W/L=60/0.7 μm<br />

σ(∆ V ) 2 mV<br />

T<br />

1/ WL<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -138-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

阈 值 电 压 的 失 配 系 数 A VT<br />

A t N<br />

4<br />

VT ox B<br />

ox<br />

ox<br />

0.06 0.13 0.18 0.25 0.35 0.5 0.7 1.2 2.4<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -139-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

随 机 失 调 : 失 配<br />

∆<br />

K<br />

'<br />

K<br />

'<br />

A<br />

K<br />

'<br />

A<br />

'<br />

0.0056 μm pMOST 将 +50%<br />

K<br />

WL<br />

∆ WL<br />

/ 1 1<br />

AWL<br />

A<br />

2 2 WL<br />

0.02 μm pMOST 将 +50%<br />

WL / W L<br />

∆γ<br />

γ<br />

A<br />

γ<br />

A γ 0.016016 μm<br />

pMOST 将 -25%<br />

WL<br />

如 果 V B =V S , 忽 略<br />

Ref.: Pelgrom : JSSC Oct.1989, pp.1430-1440<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1310-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

nMOST 的 失 配 系 数<br />

工 艺 L (μm) 2.5 1.2 0.7 0.5 0.35 0.25<br />

t ox (nm) 50 25 15 11 8 6<br />

A VT (mVμm) 30 21 13 71 7.1 6<br />

0<br />

A WL (%μm) 25 2.5 18 1.8 25 2.5 13 1.3 2<br />

1.8<br />

S VT (mV/mm) 0.3 0.3 0.4 0.2<br />

S WL (%/mm) 0.3 0.2 0.2<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1311-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 随 机 失 调<br />

v<br />

od<br />

<br />

I ∆<br />

R<br />

B<br />

L<br />

2<br />

v<br />

os<br />

<br />

<br />

<br />

v<br />

od<br />

g R<br />

m<br />

∆R<br />

R<br />

L<br />

∆R<br />

L<br />

L<br />

L<br />

I<br />

B<br />

2g<br />

V<br />

m<br />

GS<br />

R L<br />

2<br />

V<br />

T<br />

Ref.: Laker, Sansen : Design of analog …, MacGrawHill 1994<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1312-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 随 机 失 调<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

v<br />

OS<br />

<br />

∆V<br />

T<br />

<br />

V GS<br />

V '<br />

T<br />

∆RL<br />

∆K ∆ WL /<br />

( )<br />

2 R<br />

/<br />

' WL<br />

L<br />

K<br />

小 V GS -VV T<br />

Ref.: Laker, Sansen : Design of analog …, MacGrawHill 1994<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1313-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 镜 的 随 机 失 调<br />

∆ K<br />

'<br />

∆ WL<br />

/<br />

∆I g ∆ V ( ) I<br />

' WL /<br />

K<br />

OUT m T OUT<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

∆I I<br />

OUT<br />

I<br />

OUT<br />

<br />

∆V '<br />

T<br />

∆K ∆ WL /<br />

<br />

( V GS<br />

V T<br />

)/2 ' W/<br />

L<br />

K<br />

大 V GS -VV T<br />

Ref.: Laker, Sansen : Design of analog …, MacGrawHill 1994<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1314-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 镜 的 其 他 失 调<br />

in out1 out2 in out1 out2<br />

S<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T R S<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1315-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 的 失 配<br />

β W K<br />

'<br />

W<br />

I 2<br />

DS<br />

( VGS VT<br />

) β KP <br />

2<br />

L n L<br />

∆ IDS<br />

∆ β<br />

2<br />

∆VT<br />

I β V V<br />

DS GS T<br />

2 ∆IDS<br />

2 ∆β<br />

2 4<br />

σ ( ) σ ( ) σ (∆ VT )<br />

2<br />

IDS β ( VGS VT<br />

)<br />

<br />

1<br />

2<br />

<br />

( n k T<br />

/q)<br />

gm<br />

2<br />

( )<br />

I<br />

工 作 于 弱 反 型 区<br />

常 规<br />

工 作 于 强 反 型 区<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1316-<br />

唐 长 文<br />

I DS


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

弱 反 型 和 强 反 型 漏 电 流 失 配<br />

∆I<br />

∆β<br />

4 1<br />

( ) ( ) (∆ )<br />

2 DS 2 2<br />

σ <br />

σ <br />

σ VT 2 或<br />

2<br />

IDS β ( VGS VT<br />

) ( nk T/q)<br />

∆I<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

∆β<br />

σ <br />

<br />

β<br />

<br />

<br />

<br />

2%<br />

强 反 型<br />

σ DS<br />

σ ∆V<br />

<br />

I GS<br />

DS<br />

σ<br />

<br />

∆V<br />

T<br />

<br />

5 mV<br />

弱 反 型<br />

∆β<br />

<br />

σ <br />

β IDS<br />

IDSt<br />

σ<br />

<br />

∆V<br />

β kT K W<br />

IDSt <br />

<br />

2 n <br />

β <br />

2<br />

q n L<br />

T<br />

<br />

2 '<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1317-<br />

唐 长 文<br />

I DS<br />

IDSt


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 随 机 CMRR -1<br />

v A v A v<br />

od dd id dc ic<br />

v A v A v<br />

oc cd id cc ic<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

A<br />

A<br />

<br />

v<br />

<br />

g R<br />

od<br />

dd m L<br />

vid v 0<br />

dc<br />

<br />

v<br />

v<br />

od<br />

ic<br />

ic v 0<br />

id<br />

0<br />

A dd<br />

CMRR <br />

Adc<br />

<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1318-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 随 机 CMRR -2<br />

v A<br />

od<br />

dc<br />

<br />

<br />

0<br />

v<br />

ic v 0<br />

v v i<br />

<br />

v<br />

id<br />

ic inc c<br />

od<br />

<br />

∆ R i /2<br />

L c<br />

v<br />

R<br />

inc<br />

B<br />

A<br />

dc<br />

<br />

∆R<br />

L<br />

2RR<br />

B<br />

CMRR <br />

2g R<br />

m<br />

L<br />

B<br />

∆ R / R<br />

L<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1319-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 随 机 CMRR -3<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

∆K ∆W/L ∆V T<br />

m B<br />

CMRR<br />

<br />

2<br />

gmRB<br />

2∆V ∆R ∆K '<br />

∆ WL /<br />

T<br />

L<br />

<br />

GS<br />

<br />

T L<br />

' /<br />

V V R<br />

K<br />

W L<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1320-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

随 机 失 调 和 CMRR 的 关 系<br />

v<br />

OSr<br />

CMRR<br />

r<br />

V '<br />

GS<br />

<br />

VT ∆ RL<br />

∆ K ∆ WL<br />

/<br />

∆ VT<br />

( )<br />

2 RL<br />

K<br />

' W/<br />

L<br />

2g R<br />

2∆V '<br />

T<br />

∆RL<br />

∆K ∆ WL /<br />

<br />

VGS VT RL<br />

K<br />

' W/<br />

L<br />

<br />

m B<br />

I B 由 单 晶 体 管 电 流 源 提 供<br />

VGS<br />

<br />

VT<br />

vOSrCMRR 2gmRB IBRB VELB<br />

5...15 V<br />

2<br />

vOSr CMRR <br />

<br />

10 V<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1321-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

随 机 失 调 和 CMRR 的 关 系<br />

v OSr CMRR r ≈V E L B ≈ 10 V (~L B )<br />

10 mV 60 dB ≈ 10 V MOSTs<br />

1 mV 80 dB ≈ 10 V<br />

双 极 型 晶 体 管<br />

10 μV V 120 dB ≈ 10 V 修 正 : 使 用 激 光 修 正<br />

使 用 熔 丝 修 正<br />

Low offset = High CMRR<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1322-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

目 录<br />

• 随 机 失 调 和 CMRR r<br />

• 系 统 失 调 和 CMRR s<br />

• CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

• 设 计 规 则<br />

• MOST 与 双 极 型 晶 体 管 的 比 较<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1323-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 镜 的 系 统 失 调<br />

DS<br />

out<br />

GS<br />

DS1<br />

DS2<br />

DS<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

∆i v v<br />

<br />

i<br />

V L<br />

out DS2 DS1<br />

out E 2<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1324-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 系 统 CMRR -1<br />

i<br />

c<br />

<br />

vinc<br />

iout<br />

1<br />

<br />

R i 2<br />

g r<br />

B c m3 DS1<br />

∆K’ ∆W/L ∆V T<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1325-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 系 统 CMRR -2<br />

R B<br />

I B<br />

i c<br />

i out<br />

1 1<br />

<br />

v R 2g r<br />

inc B m3 DS1<br />

iout<br />

gm1<br />

vosc<br />

i<br />

v ind<br />

out<br />

v osc<br />

vinc vosc Adc 1<br />

<br />

i v A CMRR<br />

v OUT<br />

v<br />

i c out inc dd s<br />

v inc C osc<br />

L<br />

i out<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1326-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 系 统 CMRR -3<br />

iout<br />

vinc vosc Adc 1<br />

<br />

i v A CMRR<br />

v<br />

out inc dd s<br />

osc<br />

CMRR 2g R g r<br />

CMRR v<br />

s m1 B m3 DS1<br />

<br />

v<br />

s osc inc<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1327-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

总 CMRR<br />

1 1 1<br />

<br />

CMRR CMRR CMRR<br />

r<br />

s<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1328-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

密 勒 CMOS OTA 的 失 调<br />

A g r // r<br />

v<br />

<br />

V1 m1 DS2 DS4<br />

OS<br />

<br />

∆v<br />

g<br />

A<br />

DS1<br />

V1<br />

<br />

m3 T3<br />

g<br />

m1<br />

∆V<br />

*<br />

∆V<br />

VGS1<br />

VT<br />

S<br />

2<br />

' ∆ '<br />

∆K<br />

K ∆ W/<br />

L ∆ WL<br />

S <br />

/<br />

' ' WL / 1 WL / 3<br />

K K<br />

T1<br />

n p 1<br />

3<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1329-<br />

唐 长 文<br />

n<br />

p


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

折 叠 共 源 共 栅 CMOS OTA 的 失 调<br />

V DS3<br />

v<br />

OS<br />

<br />

∆v<br />

A<br />

DS3<br />

V<br />

<br />

∆V<br />

gm5<br />

∆VT5<br />

<br />

v OUT<br />

g<br />

m1<br />

T1<br />

g<br />

g<br />

m10<br />

m1<br />

∆V<br />

*<br />

VGS1<br />

VT<br />

S<br />

2<br />

'<br />

∆K<br />

' ∆K ∆ WL /<br />

n<br />

S <br />

K<br />

'<br />

K<br />

' WL /<br />

T10<br />

C L p 1611 1,6,11<br />

n<br />

p<br />

1,6,11<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1330-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

目 录<br />

• 随 机 失 调 和 CMRR r<br />

• 系 统 失 调 和 CMRR s<br />

• CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

• 设 计 规 则<br />

• MOST 与 双 极 型 晶 体 管 的 比 较<br />

Ref.: Laker, Sansen : Design of analog …, MacGrawHill 1994<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1331-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

C B ≈C GS R B ≈100/g m >> f B ≈f T /100<br />

但 C B 中 包 含 C well,bulk !!!<br />

f<br />

B<br />

<br />

1<br />

2πRC<br />

B<br />

B<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1332-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

目 录<br />

• 随 机 失 调 和 CMRR r<br />

• 系 统 失 调 和 CMRR s<br />

• CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

• 设 计 规 则<br />

• MOST 与 双 极 型 晶 体 管 的 比 较<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1333-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

Ref.: Hastings,“The Art of Analog Layout”Prentice Hall 2001<br />

R. Soin, ..”A-D Asics, .. ”Peregrinus, 1991<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1334-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1335-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

放 置 在 相 同 的 等 温 线 上<br />

Ref.: Solomon, JSSC Dec 74, 314-332<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1336-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1337-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 阻 版 图<br />

R 1 R 2<br />

CMOS 工 艺 的<br />

源 / 漏 扩 散 电 阻<br />

W<br />

W<br />

Ref.: Laker, Sansen :<br />

Design of analog …,<br />

MacGrawHill 1994<br />

Table 2-6<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1338-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 阻<br />

Process Type ρ⃞ absolute<br />

temperature voltage<br />

Ω/⃞ accuracy coefficient coefficient<br />

percent percent/˚C percent/V<br />

breakdown<br />

voltage<br />

V<br />

Bipolar base diffusion 150 10 012 0.12 2 50<br />

emitter diffusion 10 20 0.02 0.5 7<br />

pinch resistance 5 k 40 0.33 5 7<br />

epi layer 1k 10 03 0.3 1 60<br />

aluminum 50 m 20 0.01 0.02 90<br />

ion-implantation 2 k 1 0.02 0.2 20<br />

ion-implantation 200 0.3 0.02 0.05 20<br />

CMOS S/D diffusion 20-50 20 0.2 0.5 20<br />

well 2.5 k 10 0.3 1 20<br />

poly gate 50 20 0.2 0.05 40<br />

poly resistance 1.5 k 1 0.05 0.02 20<br />

aluminum 50 m 20 0.01 0.02 90<br />

Thin film NiCr(Ta) 200 1 0.01 0.01 90<br />

aluminum 50 m 20 0.01 0.02 90<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1339-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 阻 的 失 配 与 尺 寸 的 关 系<br />

∆( R 2 / R 1<br />

)<br />

R / R<br />

2 1<br />

局 部 误 差 :<br />

边 缘 锯 齿 ,…<br />

误 差 ~1/ 尺 寸<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1340-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 容 版 图<br />

C 1 C 2<br />

多 晶 硅 到 源 / 漏<br />

的 电 容<br />

S<br />

C 1 C 2 多 晶 硅 到 多 晶 硅<br />

的 电 容<br />

1<br />

Cpar<br />

Cpp<br />

6...15<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1341-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 容<br />

Process Type C<br />

absolute<br />

temperature<br />

voltage<br />

breakdown<br />

nF/cm 2 accuracy coefficient coefficient voltage<br />

percent percent/˚C percent/V V<br />

Bipolar C CB 16 10 0.02 2 50<br />

C EB 50 10 0.02 1 7<br />

C CS 8 20 0.01 0.5 60<br />

CMOS C CS (50 nm) 70 5 0.002 0.005 40<br />

C m,poly 12 10 0.002 0.005 40<br />

C poly,poly<br />

56 2 0.002 0.005 40<br />

C poly,substrate 6.5 10 0.01 0.05 20<br />

C m,substrate 5.2 10 0.01 0.05 20<br />

C poly,substrate 6 .5 10 0.005 0.05 20<br />

Ref.: Laker, Sansen :Design of analog …,MacGrawHill 1994 Table 2-7<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1342-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 容 的 失 配 与 尺 寸 的 关 系<br />

∆( C 2 /C 1<br />

)<br />

C /C<br />

2 1<br />

局 部 误 差 :<br />

边 缘 锯 齿 ,…<br />

误 差 ~1/ 尺 寸<br />

全 局 误 差 :<br />

氧 化 层 厚 度 ,<br />

体 注 入 ,…<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1343-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1344-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1345-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

晶 体 管 对 的 失 配<br />

差 较 好 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1346-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1347-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 镜 的 匹 配<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1348-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1349-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1350-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

差 分 对 的 交 叉 耦 合<br />

2 1<br />

1<br />

2<br />

对 全 局 变 化 不 敏 感 :<br />

氧 化 层 厚 度<br />

衬 底 掺 杂 浓 度 ……<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1351-<br />

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版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 容 的 质 心 布 局<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1352-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1353-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

电 流 镜 的 失 配<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1354-<br />

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版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

整 数 比 例<br />

比 率 7/2=3.5<br />

C 2 C 1<br />

Ref.: Courtesy Vittoz<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1355-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

低 失 调 的 版 图 规 则<br />

1. 属 性 相 同<br />

2. 等 温<br />

3. 增 加 尺 寸<br />

4. 减 小 距 离<br />

5. 方 向 相 同<br />

6. 相 同 的 面 积 / 周 长 比<br />

7. 圆 形<br />

8. 中 心 对 称 布 局<br />

9. 末 端 加 哑 元<br />

10. 通 常 三 极 管 匹 配 性 更 好<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1356-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

目 录<br />

• 随 机 失 调 和 CMRR r<br />

• 系 统 失 调 和 CMRR s<br />

• CMRR 与 频 率 的 关 系<br />

• 设 计 规 则<br />

• MOST 与 双 极 型 晶 体 管 的 比 较<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1357-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

MOST 和 双 极 型 晶 体 管 的 失 调<br />

MOST:<br />

Bipolar:<br />

v<br />

v<br />

OS<br />

OS<br />

V '<br />

GS<br />

<br />

VT ∆ RL<br />

∆ K ∆ WL<br />

/<br />

∆ VT<br />

( )<br />

2 RL<br />

K<br />

' W/<br />

L<br />

k T ∆RL<br />

∆I<br />

(<br />

S )<br />

非 常 小<br />

q R<br />

I<br />

L<br />

S<br />

1) 没 有 V T<br />

2)kT/q


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

偏 置 电 流 、 基 极 电 流<br />

bias<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1359-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

基 极 电 流 补 偿<br />

OP07<br />

I B<br />

2β<br />

I<br />

B<br />

2β<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1360-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

器 件 失 配 的 性 能 极 限<br />

2<br />

1<br />

2 ∆ I<br />

DS 4<br />

A<br />

VT<br />

σ ( ) <br />

2<br />

(Accuracy) IDS WL( VGS VT<br />

)<br />

<br />

Speed f<br />

T<br />

<br />

2I<br />

DS<br />

2π WL (2/3) Cox ( VGS <br />

VT<br />

)<br />

<br />

VDD<br />

2<br />

2 IDS WLV (<br />

GS<br />

VT ) 2I<br />

WL<br />

DS 2<br />

2 2<br />

2π WL (2/3) Cox ( VGS <br />

VT ) 4 AVT 2π WL (2/3) Cox 4 AVT<br />

1<br />

<br />

<br />

I 3<br />

DSVDD IDSVDD<br />

π CoxA<br />

2<br />

16<br />

Speed (Accuracy) 1 1<br />

<br />

<br />

Power<br />

3<br />

2<br />

πC ox<br />

oxA<br />

t<br />

VT<br />

16<br />

Technological constant<br />

2<br />

VT<br />

2<br />

V<br />

DD<br />

2<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1361-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

器 件 噪 声 的 性 能 极 限<br />

2 2<br />

V<br />

pp<br />

/2 V<br />

pp<br />

/8<br />

SN / <br />

SN / <br />

4kTR BW<br />

k T/<br />

C<br />

2<br />

Vpp<br />

1<br />

Pmin<br />

<br />

BW <br />

R<br />

RC<br />

Pmin 8k T BW( S/ N)<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1362-<br />

唐 长 文


版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

高 动 态 范 围 的 噪 声 与 失 配<br />

Ref.: P.Kinget, ...“Analog VLSI ..”page 67,Kluwer 1997.<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1363-<br />

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版 权 ©2011, 版 权 所 有 , 侵 犯 必 究<br />

深 亚 微 米 CMOS 动 态 范 围 减 小<br />

复 旦 大 学 射 频 集 成 电 路 设 计 研 究 小 组 -1364-<br />

唐 长 文

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