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侧排气装置
a) 不带换热器
可为所有燃料加热式坩埚炉提供侧排气装置。侧排气法虽然功率的回收率比坩埚边缘排气法低,但
具有熔液质量更高的优点。若带熔池温控装置,尤其适用于保温运行。
+ 烧损低,熔液质量高;可减少熔液氢气吸收
+ 保温运行模式在旋转盖关闭后可降低达 50% 的能耗
+ 可减少对位于坩埚上方区域的操作者的热辐射
+ 采用熔池温控装置精确温控,可达到优质的熔液质量
- 熔化率低于通过坩埚边缘排气的窑炉
- 预熔化运行模式下的能耗比坩埚边缘排气大约高 25%
b) 带换热器
为了获得理想的能源利用率和最佳的熔液质量,最佳选择是带有燃烧器系统(包括通过换热器回收热
量)的燃料加热式熔化炉。它借助窑炉的热废气,通过换热器预热燃烧器用的燃烧空气。与普通侧排
气的燃料加热式熔化炉相比,该系统大约能节省高达 25% 的能源。
根据使用率的高低,相比之下较高的购置费用在短时间内可分摊完。
+ 带换热器系统的燃烧器系统的能耗比侧排气的窑炉低 25%
+ 烧损低,熔液质量高;可减少熔液氢气吸收
+ 保温运行模式在旋转盖关闭后可降低高达 50% 的能耗
+ 可减少对位于坩埚上方区域的操作者的热辐射
+ 采用熔池温控装置精确温控,可达到优质的熔液质量
- 熔化率低于通过坩埚边缘排气的窑炉
- 预熔化运行模式下的能耗比坩埚边缘排气的窑炉大约高 20-25 %
熔化炉决策参考因素一览表
TB/KB 型
通过坩埚边缘排气
TB/KB 型
侧面排气
TBR/KBR 型
侧面排气,带换热器
T/TF/K/KF 型
电加热式,带熔池温控装置
T/TF/K/KF 型
电加热式,不带熔池温控装置
T../10 型
电加热式,带熔池温控装置
TC/KC 型
电加热式,通过 SiC 棒进行
通往烟囱
用途 生产率 熔液质量 能耗 噪音
熔化 ++ - o -
熔化 + 保温 + + - -
熔化 + 保温 + + + -
熔化 + 保温 o +++ ++ +
熔化 + 保温 o ++ ++ +
保温 - +++ +++ +
熔化 + 保温 + + o +
废气
侧排气
带换热器技术的侧排气装置
坩埚
燃烧器
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