DISS 5 EBIC - Produktblatt - point electronic GmbH
DISS 5 EBIC - Produktblatt - point electronic GmbH
DISS 5 EBIC - Produktblatt - point electronic GmbH
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Spezifikation<br />
Softwaremäßige Einstellung der Parameter<br />
des <strong>EBIC</strong>-Messverstärkers<br />
• Gain Vorverstärker: 10 3 bis 10 10 V/A, Pegelanzeige um<br />
Übersteuerungen zu vermeiden<br />
• Tiefpass zur Rauschminderung in 8 Stufen<br />
• Polaritätsumschaltung bei negativen <strong>EBIC</strong>-Signalen<br />
• Nullpunktunterdrückung (Eingangs-Offset, 16 Bit )<br />
- das Eingangssignal kann vollständig kompensiert<br />
werden, um schwache Kontraste abzubilden<br />
• Kontrast (Verstärkung Hauptverstärker) 0,1 bis 100-fach<br />
kontinuierlich einstellbar<br />
• Helligkeit (Ausgangs-Offset) -1 bis 1 V, 16 Bit<br />
• Nullpunktabgleich Vorverstärker<br />
• Vorspannungseinstellung (BIAS) -10 V bis 10 V, 16 Bit<br />
• Kalibrierte Stromquelle -1 μA bis 1 μA, 16 Bit zum Test<br />
des Gesamtsystems und zur Gleichsignalunterdrückung<br />
• Speichern und Laden aller Parameter<br />
• <strong>EBIC</strong>-Messung ohne/mit Vorspannung<br />
• <strong>EBIC</strong>-Messung mit Gleichsignalunterdrückung<br />
• Aufnahme der Strom/Spannungs-Kennlinie der kontaktierten<br />
Probe<br />
Übersicht <strong>EBIC</strong>-Messverstärker mit kontaktierter Probe<br />
REM Probenkammer<br />
<strong>EBIC</strong> Formel<br />
Probe<br />
Probenhalter<br />
Probenbühne<br />
Strahlstrom<br />
Betriebsarten<br />
<strong>EBIC</strong> [A] = ((Signal Out [V] - Brightness [V]) / Contrast -I-Offset [V]) / Gain [V/A]<br />
<strong>EBIC</strong><br />
<strong>EBIC</strong> + Compensation<br />
<strong>EBIC</strong> + BIAS<br />
Strahstrommessung<br />
Kennlinienaufnahme<br />
Kalibrierung<br />
Konfigurierte Betriebsartenumschaltung des<br />
<strong>EBIC</strong>-Messverstärkers<br />
• Strahlstrommessung intern oder über externes Messgerät<br />
• Nullpunktabgleich mit Probe, Elektronenstrahl abgeschaltet<br />
• <strong>EBIC</strong>-Messung mit externem Lock-In-Verstärker<br />
• Ansteuerung Beam Blanker<br />
Vorverstärker<br />
10 3 … 10 10 V/A 0,1 … 100<br />
Zero<br />
Gain<br />
Calib/Comp<br />
BIAS<br />
±10V<br />
Hauptverstärker<br />
I-Offset<br />
Contrast<br />
Brightness<br />
Inverse<br />
Time-Constant<br />
Signal Out<br />
0 … 1V
Change language