Belichten von Fotolack - MicroChemicals GmbH
Belichten von Fotolack - MicroChemicals GmbH
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<strong>MicroChemicals</strong> <strong>GmbH</strong> - <strong>Belichten</strong> <strong>von</strong> <strong>Fotolack</strong>en<br />
Belichtet wurde mit einem Maskaligner mit 350 W Hg Lampe, mit einer i-line Intensität <strong>von</strong><br />
8.5 mW/cm 2 , und einer über g-, h- und i-line integrierten Intensität <strong>von</strong> ca. 22 mW/cm 2 .<br />
Entwicklungsrate (µm/min)<br />
Entwicklungsrate (µm/min)<br />
16<br />
14<br />
12<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
16<br />
14<br />
12<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
AZ ® 1512 HS (1.2 µm)<br />
in AZ ® 826 MIF<br />
0 5 10 15 20 25 30 35 40<br />
Belichtungszeit in Sekunden<br />
AZ ® 1518 (1.8 µm) in<br />
AZ ® 826 MIF<br />
0 5 10 15 20 25 30 35 40<br />
Belichtungszeit in Sekunden<br />
Die Fotoreaktion<br />
DNQ-basierte Positivlacke<br />
Alle g-, h- und i-line AZ ® und TI Positiv- und Umkehrlacke besitzen als Fotoinitiator<br />
DiazoNaphtoQuinon-Sulfonat (kurz: DNQ), welches sich beim <strong>Belichten</strong> unter N -Abspaltung<br />
2<br />
und Wasseraufnahme in eine Indenkarbonsäure umwandelt.<br />
Das umseitige Schema zeigt die wesentlichen Schritte der Fotoreaktion, d. h. die bei der Belichtung<br />
gewünschte chemische Reaktion des Fotoinitiators im <strong>Fotolack</strong>.<br />
Um die Löslichkeit im Lack und die thermische Stabilität zu erhöhen, als auch die Eigenschaften<br />
als „Inhibitor“ (verringerter Dunkelabtrag) zu verstärken, sind jeweils mehrere<br />
DNQ-Sulfonat-Moleküle an ein sog. backbone-Molekül gebunden.<br />
Die Quanteneffizienz der Fotoreaktion definiert die Anzahl „erfolgreicher“ Fotoreaktionen pro<br />
in der Lackschicht absorbierter Photonen und erreicht Werte <strong>von</strong> ca. 20-30 %.<br />
Die DNQ-Konzentration eines <strong>Fotolack</strong>s bestimmt nicht nur die <strong>von</strong> der Belichtungsdosis ab-<br />
<strong>Fotolack</strong>e, Entwickler, Remover, Haftvermittler, Ätzchemikalien und Lösemittel ...<br />
Fon: +49 (0)731 36080-409 www.microchemicals.de e-Mail: sales@microchemicals.de<br />
-4-<br />
Entwicklungsrate (µm/min)<br />
Entwicklungsrate (µm/min)<br />
Entwicklungsrate (µm/min)<br />
20<br />
18<br />
16<br />
14<br />
12<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
AZ<br />
0 5 10 15 20 25 30 35 40<br />
Belichtungszeit in Sekunden<br />
® 6612 (1.2 µm) in<br />
AZ ® 826 MIF<br />
3,0<br />
2,5<br />
2,0<br />
1,5<br />
1,0<br />
0,5<br />
0,0<br />
0 5 10 15 20 25 30 35 40<br />
Belichtungszeit in Sekunden<br />
3,5<br />
3,0<br />
2,5<br />
2,0<br />
1,5<br />
1,0<br />
0,5<br />
0,0<br />
AZ ® 4533 (3.3 µm) in<br />
AZ ® 826 MIF<br />
AZ ® 4562 (6.2 µm) in<br />
AZ ® 826 MIF<br />
0 5 10 15 20 25 30 35 40<br />
Belichtungszeit in Sekunden
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