Mikrosystemtechnik - Master of Science - Technische Fakultät

www.imtek.de/bmt 

Einführung in das MSc MST-Studium 

der Mikrosystemtechnik 

Institut für Mikrosystemtechnik 

Thomas Stieglitz 

Studiendekan 

Freiburg, 23. Oktober 2012 

Thomas Stieglitz / 2010-10-12 / 1


Das Studium – 

wo geht‘s hier lang? 

Thomas Stieglitz / 23.10.2012 / Folie 2

MSTlerinnen & MSTler : Technisch 

Was müssen Sie als MSTlerin & 

MSTler können? 

• Ihre Technik von der Idee zum 

Produkt betreuen 

Ihre Fähigkeiten: 

• Problemdefinition 

• Lösungen & Evaluation 

• Design & Entwicklung 

• Fabrikation 

• Charakterisierung & Optimierung 

• Aufbautechnik 

• Systemtest & Qualifikation 

• Transfer zur Produktion 

• Marketing 



MSTlerinnen& MSTler: Nicht-technisch 

Nicht nur technische Exzellenz ... 

... aber auch soziale: 

• Teamfähigkeit 

• Soziale Kompetenz 

• Kreativität 

• Offenheit für neue Ideen 

• Sicheres Auftreten 

• Kommunikationsfreude 

• Unternehmungsgeist 

• Leistungsfähigkeit & 

Selbstmotivation 

• Führungsstärke 



MSc-Programm in MST 

Umfang des MSc in MST 

• 4 Semester 

• 120 ECTS 

• Sprachen: Englisch & Deutsch 

Struktur 

• Pflichtmodule: Fortgeschrittene MST 

• 3 aus 7 Wahlmodulen (Concentrations) 

• 2 Semester Masterarbeit (Teilzeit) 

Ausbildungsziele 

• Forschungsqualifikation 

• Labortechniken 

• Fähigkeit zu Präsentation, Publikation 

Berichtswesen 





Grundlegende Regelungen für alle Studiengänge der Fakultät 

• Aufwand etwa 30 ECTS pro Semester 

• 30 Stunden Arbeitsaufwand pro Kreditpunkt 

• Alle Studiengänge sind in Module eingeteilt 

• Studienbegleitende Leistungsnachweise 


Die Module 

Modulbestandteile 

• Vorlesungen und/oder Übungen und/oder Praktika 

Studienleistungen 

• Berichte, Übungen, Protokolle, ... 

• ggf. Zulassungsvoraussetzung 

• Benotung ist nicht endnotenrelevant 

Prüfungsleistungen 

• V: Klausuren oder mündliche Prüfung 

• V+Ü: Klausuren/mündl. Prüfung (2/3), 

Übungen, Protokolle (1/3) 

• P: Benotete Protokolle 

Benotung 

• Endnote berechnet aus einer oder mehreren Prüfungsleistungen 



Das MSc-Programm in Mikrosystemtechnik 

Module Semester Typ ECTS 

Fortgeschrittene Mikrosystemtechnik: Alle Module zu absolvieren! 36 

Aufbau- und Verbindungstechnik 1 V+Ü 5 

Mikromechanik 1 V+Ü 5 

Mikroelektronik 1 V+Ü 5 

MST design laboratory I 1 P 3 

Mikrooptik 1 V+Ü 5 

Sensorik/Aktorik 1 V+Ü 5 

Mikrofluidik 1 V+Ü 5 

MST design laboratory II 2 P 3 

Module Semester Type ECTS 

3 Wahlmodule: Microsystem Concentrations, identisch zu MSE 54 

>=15 ECTS müssen in jeder Vertiefungsrichtung absolviert werde 

Masterarbeit: Dieses Modul muss absolviert werden,




MSc MSE and MST Joint Concentrations 

Module ECTS Module ECTS 

Circuits and systems Materials 

Analog CMOS circuit design 6 3 Atomic force microscopy 3 

Autonomous microsystems 3 Biomaterials 3 

Circuit design for sensors and actuators 3 Ceramics for MST 3 

Innovative energy systems 3 Materials testing and analysis 3 

Integrated microsystems 3 Nanostructured optical surfaces 3 

Optical microsystems 3 Nanotechnology 3 

VLSI system design 36 Polymers for MST 3 

Wireless technologies 3 

Dynamics of MEMS 3 

Design and simulation MEMS processing 

CAD 3 Advanced silicon technology 3 

Control of embedded systems 3 Applications of LIGA 3 

Design of large-scale MST systems 3 Ceramics laboratory 3 

FEM simulation 3 Lithography 3 

Multi-scale simulation 3 Low-cost micromachining 3 

Quantum mechanics for MEMS 3 Microstructured polymer components 3 

Reliability 3 Thermal microsystems 3 

Systems theory II 3 

Life sciences: Biomedical engineering Sensors and actuators 

Biomedical engineering I (electrical signals) 3 Applications of micro-actuators 3 

Biomedical engineering II (non-electrical signals) 3 Bionic sensors 3 

Biomedical www.imtek.de/bmt measurements and instrumentation lab Thomas 3 Stieglitz / 23.10.2012 Lasers / Folie 10 

3

CAD 3 Advanced silicon technology 3 

Control of embedded systems 3 Applications of LIGA 

Design of large-scale MST systems 3 Ceramics laboratory MSc MSE and MST Joint Concentrations 

FEM simulation 3 Lithography 

3 

3 

3 

Multi-scale simulation 3 Low-cost micromachining 3 

Quantum mechanics for MEMS 3 Microstructured polymer components 3 

Reliability 3 Thermal microsystems 3 

Systems theory II 3 

Life sciences: Biomedical engineering Sensors and actuators 

Biomedical engineering I (electrical signals) 3 Applications of micro-actuators 3 

Biomedical engineering II (non-electrical signals) 3 Bionic sensors 3 

Biomedical measurements and instrumentation lab 3 Lasers 3 

Biomedical microtechnology 3 Micro-acoustics 3 

Biotelemetry and health telematics 3 Micro-mechanical sensors 3 

Fundamentals of electrical stimulation 3 Optical micro-sensors 3 

Implant fabrication technology 3 Position sensors 3 

MST in medicine 3 Sensors laboratory 3 

Life sciences: Lab-on-a-chip 

Analytics with microsystems 3 

Bio-MEMS 3 

Computational fluid dynamics 3 

DNA analytics 3 

Micro process engineering 3 

Microfluidic platforms 3 

Molecular simulation 3 


Thomas Stieglitz / 23.10.2012 / Folie 11 

Concentration „Personal profile“ 

Individual composition of modules with at least 15 

ECTS taken from all of the concentration modules

Auslandssemester 

Wozu doch? 

• Breitere Horizonte 

• Sprachen und Kulturen 

• Arbeitgeber legen Wert darauf 

Wann? 

• 3. Jahr BSc 

• Im MSc 

• Dazwischen 

Wie? 

• ERASMUS 

• MicRO Alliance 

• International Office 

Lange Vorlaufzeiten 

• Früh planen 



Masterarbeit 

• Zulassung zur Master-Arbeit, … wer mindestens 56 ECTS-Punkte 

erworben hat. 

• Master-Arbeit ist innerhalb eines Zeitraums von maximal 12 Monaten 

zu erstellen. 

• Masterarbeit und die Präsentation ihrer Ergebnisse haben einen 

Gesamtumfang von 30 ECTS-Punkten. 

• Eine Verlängerung der Bearbeitungszeit ist ausgeschlossen. 

• Master-Arbeit muss in Englisch oder Deutsch verfasst werden. 

• Die Master-Arbeit ist in dreifacher Ausfertigung einzureichen. 

• Präsentation vor zwei Prüfern und einem Beisitzer, hochschulöffentlich 

• Für die Master-Arbeit und die Präsentation wird eine Gesamtnote 

gebildet. 

Die Master-Arbeit wird mit 4/5, die Präsentation mit 1/5 gewichtet. 



IMTEK-Lehrstühle 

Aufbau- 

und Verbindungstechnik 

J. Wilde 

Elektrische 

Mess- und 

Prüfverf. 

L. Reindl 

Mikro- 

optik 

H. Zappe 

System- 

theorie 

N.N. 


Biomedizinische 

Technik 

T. Stieglitz 

Material- 

Prozess- 

technik 

J. Hausselt 

Bio- 

und Nano- 

Photonik 

A. Rohrbach 

Gas- 

sensoren 

(FhG-IPM) 

J. Wöllenstein 

Biomikrotechnik 

U. Egert 

Anwendungs- 

entwicklung 

R. Zengerle 

Nano- 

technologie 

M. Zacharias 

Organische 

Solarzellen 

N.N. 

Chemie 

und Physik 

von Grenz- 

flächen 

J. Rühe 

Mikro- 

Aktoren 

U. Wallrabe 

Prozess- 

technologie 

H. Reinecke 

Optoelektronik 

(FhG-IAF) 

U. Schwarz 


Verbindungs- 

halbleiter 

(FhG-IAF) 

O. Ambacher 

Materialien 

der Mikrosystemtechnik 

O. Paul 

Sensoren 

G. Urban 

Optische 

Systeme 

(FhG-IPM) 

K. Buse 

Konstruktion 

von 

Mikro- 

systemen 

P. Woias 

Mikro- 

elektronik 

Y. Manoli 

Simulation 

J. Korvink

IMTEK-Lehrstühle 

System- 

theorie 

N.N. 


Organische 

Solarzellen 

N.N. 


Optische 

Technologien 

(FhG-IPM) 

K. Buse

Plagiarismus 

Ist auch ein Problem in den Ingenieurwissenschaften 

Plagiarismus ist: 

• Die Benutzung von Texten, Bildern, Berichten, Daten, Lösungen 

usw. anderer…. 

• ... ohne die Quelle anzugeben 

Quellen sind: 

• Bücher, das Internet, Kollegen, … 

Um es klar zu stellen: 

• Plagiarismus ist illegal, d.h. eine Straftat 

Einfache „if...then“ Schleifen: 

• IF: Wenn Sie plagiieren...(einmal) 

• …THEN: Fallen Sie durch die Prüfung 

• IF: Wenn Sie mehrmals plagiieren ( >=2) 

• … THEN: Ist Ihre akademische Karriere beendet. 



Einige Gedanken… 

Unser Masterprogramm für Sie: 

• Sie müssen Ihre Kurse und Ihr Leben selbständig organisieren, 

• Sie müssen sich selbst und rechtzeitig zu den Veranstaltungen anmelden, 

• Wir werden Sie vom ersten Tag an herausfordern Ihr erworbenes Wissen 

anzuwenden und zu bewerten… 

• …und es auch in einer Veranstaltung zu gebrauchen. 

• Wir zeigen Ihnen viele, viele Aspekte der Mikrosystemtechnik und verwandter 

Disziplinen, um Ihr Wissen zu verbreitern und Ihre Karrieremöglichkeiten zu 

verbessern. 

Das heißt für Sie: 

• SIE müssen die Initiative ergreifen und FRAGEN, FRAGEN bis Sie verstanden 

haben 

• WIR geben Ihnen den Überblick, SIE müssen die Details selbst lernen 



Die Kunst zu leben 

Genießen Sie es zu studieren ! 

Es hilft, 

• Den Tag zu strukturieren 

• Unstrukturierte Freizeit zu haben 

• Arbeit gleich zu erledigen 

• KommillitonInnen zu treffen 

• Gelegentlich abzuschalten 

Vergessen Sie nicht 

• Familie 

• Freunde 

• Sport 

• Kultur 

• Den Herbst 

• Schöne Musik 

• Und leckeren Kuchen… 



Außerdem... 

Kaufen Sie Lehrbücher 

Gehen Sie zu Ihrem Mentor 

Bilden Sie Lerngruppen 

Streunen Sie durch die Labore 

Suchen Sie sich frühzeitig einen 

Betreuer für die Masterarbeit 

Bleiben Sie eingeschrieben 

Schlafen sie ausreichend 

� Aber bitte nicht in den 

Vorlesungen 



Mentoring 

Jede(r) Studierende bekommt einen Mentor 

• Professor/-in als Kontaktperson 

• Zugeordnet vom Studiendekan 

Kontaktstelle für: 

• Probleme, Fragen, Klarstellungen, Berufsberatung, Stellensuche, 

Gutachten und Empfehlungen oder generelle persönliche Hilfestellung 




Nach der Graduierung 


Doktorarbeit als wiss. Assistent 

Führen Sie Ihr eigenes Forschungsprojekt durch 

Suchen Sie sich eine offene Stelle 

Bewerben Sie sich 

Sie werden für Ihre Arbeit bezahlt 

Übernehmen Sie als Projektmitarbeiter Verantwortung 

Unterstützen Sie Ihren Professor bei der Lehre 

Dauer: 3-5 Jahre 



…ab in die Industrie ! 

MSTler & MSTlerinnen werden: 

• Unternehmer, technische Mitarbeiter, Projektleiter, 

Gruppenleiter, Abteilungsleiter, CEO, Astronauten... 

Potentielle Arbeitgeber 

• Großfirmen, KMUs, Kleinfirmen 

• Als selbständige Unternehmer 

Gesucht werden: 

• Entwicklungsfähigkeiten 

• Auslandserfahrung 

• Arbeitserfahrung 

• Praktika 

• Weniger: besondere Kenntnisse 



Fragen ??? 

Fragen Sie uns !!! 

• Sofort 

• Freundlich 

• Während unserer Büro- oder Sprechstunden 

• Bitte bedenken Sie, dass wir außer Ihrer E-Mail noch 

weitere erhalten 



Kontaktpersonen I 

Ihr Studiendekan 

• Prof. Thomas Stieglitz 

� stieglitz@imtek.de 

� 203 7471 

• Sprechstunde: n. V. 

Programmkoordinatorin 

• Ursula Epe 

� epe@tf.uni-freiburg.de 

� 203 8340 

Die Studienberater 

• Dr. Andreas Greiner 

� 203 7384 

• Dr. Oswald Prucker 

� 203 7164 

• studienberatung@imtek.de 



Kontaktpersonen II 

Das Prüfungsamt 

• Friederike Schneider 

• Marlen Sattler 

� pruefungsamt@imtek.de 

� 203 8083 / 8087 

Der Prüfungsausschuss 

• Prof. Margit Zacharias 

� zacharias@imtek.de 

� 203 7421 




Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit !

Mikrosystemtechnik - Master of Science - Technische Fakultät

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