Introducción a la fabricación de Circuitos Integrados - Escuela de ...
Introducción a la fabricación de Circuitos Integrados - Escuela de ...
Introducción a la fabricación de Circuitos Integrados - Escuela de ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Escue<strong>la</strong> <strong>de</strong> Ingeniería Electrónica<br />
Instituto Tecnológico <strong>de</strong> Costa Rica<br />
Laboratorio <strong>de</strong> Elementos Activos<br />
Introducción a <strong>la</strong> fabricación <strong>de</strong><br />
<strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Dr. Pablo Alvarado<br />
Adaptado <strong>de</strong>:<br />
Moreira, Paulo “Introduction to VLSI digital <strong>de</strong>sign” CERN, Suiza, 2005<br />
Cartago, Costa Rica Octubre, 2006<br />
Pablo Alvarado<br />
1
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Contenido<br />
Historia<br />
Proceso <strong>de</strong> Fabricación<br />
Magic<br />
IETIX<br />
Resumen<br />
Pablo Alvarado<br />
2
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia<br />
Audion (Triodo)<br />
1906, Lee De Forest<br />
1883 Thomas Edison (“Efecto Edison”)<br />
Experimentando con bombillos, Edison encontró que en el<br />
vacío una corriente pue<strong>de</strong> fluir <strong>de</strong>l fi<strong>la</strong>mento luminoso a una<br />
p<strong>la</strong>ca <strong>de</strong> metal po<strong>la</strong>rizada positivamente pero no a una<br />
po<strong>la</strong>rizada negativamente<br />
1904 John Ambrose Fleming (“Diodo Fleming”)<br />
Reconoce impacto <strong>de</strong>l <strong>de</strong>scubrimiento <strong>de</strong> Edison, y<br />
<strong>de</strong>muestra <strong>la</strong> rectificación <strong>de</strong> señales CA.<br />
1906 Lee <strong>de</strong> Forest (“Triodo”)<br />
Aña<strong>de</strong> una rejil<strong>la</strong> al diodo <strong>de</strong> Fleming lo que permite<br />
“amplificar” señales.<br />
Los tubos al vacío continúan su evolución<br />
Dominan industria <strong>de</strong> radio y TV hasta los 60s, y representan<br />
<strong>la</strong> “génesis” <strong>de</strong> <strong>la</strong> industria electrónica actual. Son sin<br />
embargo frágiles, re<strong>la</strong>tivamente gran<strong>de</strong>s, consumen mucha<br />
potencia y tienen altos costos <strong>de</strong> producción.<br />
Pablo Alvarado<br />
3
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (2)<br />
1940 Russel Ohl (Union PN junction)<br />
La union PN es <strong>de</strong>sarrol<strong>la</strong>da en los Laboratorios Bell.<br />
1945 Labs. Bell establece grupo para <strong>de</strong>sarrol<strong>la</strong>r alternativa<br />
<strong>de</strong> tubos al vacío. El grupo lo li<strong>de</strong>ra William Shockley.<br />
Primer transistor <strong>de</strong> contacto<br />
puntual (germanio)<br />
1947, John Bar<strong>de</strong>en y Walter<br />
Brattain<br />
Laboratorios Bell<br />
1947 Bar<strong>de</strong>en and Brattain (Transistor)<br />
Se crea el primer circuito amplificador <strong>de</strong> estado sólido<br />
utilizando un transistor <strong>de</strong> contacto puntual (Ge)<br />
1950 William Shockley (Transistor <strong>de</strong> juntura)<br />
Más fácil <strong>de</strong> producir que el transistor <strong>de</strong> contacto puntual.<br />
1952 fabricación <strong>de</strong> silicio monocristalino<br />
1954 primer transistor comercial <strong>de</strong> silicio<br />
Texas Instruments<br />
1954 Primer radio <strong>de</strong> transistores (Regency TR-1)<br />
4 transistores <strong>de</strong> Texas Instruments<br />
1955 Primer transistor <strong>de</strong> efecto <strong>de</strong> campo<br />
Laboratorios Bell<br />
Pablo Alvarado<br />
4
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (3)<br />
1952 Geoffrey W. A. Dummer (concepto <strong>de</strong> CI)<br />
En 1952 se publicó el concepto y en 1956 se hizo un intento<br />
1954 Desarrollo <strong>de</strong> proceso <strong>de</strong> enmascaramiento <strong>de</strong>l óxido<br />
Proceso incluye oxidación, foto-enmascaramiento, corrosión<br />
y difusión<br />
Primer circuito integrado (Ge)<br />
1958 Jack S. Kilby,<br />
Texas Instruments<br />
5 componentes entre<br />
transistores, resistencias y<br />
con<strong>de</strong>nsadores<br />
1958 Jack Kilby (Circuito Integrado)<br />
Osci<strong>la</strong>dor con 5 componentes<br />
1959 Invento <strong>de</strong> tecnología p<strong>la</strong>nar<br />
Esta tecnología se usa aún en <strong>la</strong> actualidad<br />
1960 Primer MOSFET fabricado<br />
En los Labs. Bell, por Kahng<br />
1961 Primer Circuito Integrado comercial<br />
Fairchild and Texas Instruments<br />
1962 Invento <strong>de</strong> TTL<br />
1963 Primer Circuito Integrado PMOS producido por RCA<br />
1963 CMOS inventado<br />
Pablo Alvarado<br />
5
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (4)<br />
1971 Primer microprocesador<br />
Intel produce el 4004 (primer<br />
microprocesador <strong>de</strong> 4 bits)<br />
Conjunto <strong>de</strong> 3 chips encapsu<strong>la</strong>dos en DIP <strong>de</strong><br />
16 pines<br />
Circuito Integrado <strong>de</strong> 2 kbit ROM<br />
Circuito Integrado <strong>de</strong> 320 bit RAM<br />
Procesador:<br />
Proceso PMOS <strong>de</strong> compuertas en Si, 10 µm<br />
~2300 transistores<br />
Velocidad <strong>de</strong> reloj: 108 kHz<br />
Tamaño <strong>de</strong>l dado <strong>de</strong> silicio: 13,5 mm 2<br />
Pablo Alvarado<br />
6
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (5)<br />
1982 Intel 80286<br />
Proceso CMOS <strong>de</strong> compuertas en Si, 1,5 µm<br />
1 capa <strong>de</strong> polisilicio<br />
2 capas metalicas<br />
134 000 transistores<br />
Velocidad <strong>de</strong> reloj 6 a 12 MHz<br />
Tamaño <strong>de</strong>l dado 68,7 mm 2<br />
Pablo Alvarado<br />
7
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (6)<br />
2000 Pentium 4<br />
Proceso CMOS <strong>de</strong> compuertas en Si, 0,18µm<br />
1 capa <strong>de</strong> polisilicio<br />
6 capas metálicas<br />
Fabricación: 21 capas / máscaras<br />
42 millones <strong>de</strong> transistores<br />
Reloj: 1,400 to 1,500 MHz<br />
Tamaño <strong>de</strong>l dado: 224 mm 2<br />
Pablo Alvarado<br />
8
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Historia (7)<br />
Historia <strong>de</strong> los microprocesadores <strong>de</strong> Intel<br />
(Tomado <strong>de</strong> http://www.intel.com/pressroom/kits/quickreffam.htm)<br />
Año Chip L Transistores<br />
1971 4004 10µm 2,3k<br />
1974 8080 6µm 6k<br />
1976 8088 3µm 29k<br />
1982 80286 1,5µm 134k<br />
1985 80386 1,5µm 275k<br />
1989 80486 0,8µm 1,2M<br />
1993 Pentium 0,8µm 3,1M<br />
1995 Pentium Pro 0,6µm 15,5M<br />
1999 Mobile PII 0,25µm 27,4M<br />
2000 Pentium 4 0,18µm 42M<br />
2002 Pentium 4 (N) 0,13µm 55M<br />
2005 Pentium 4 (EE) 90nm 169M<br />
Pablo Alvarado<br />
9
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Ley <strong>de</strong> Moore<br />
En 1965 Gordon Moore<br />
(entonces en Fairchild Corp.)<br />
notó que:<br />
“La complejidad <strong>de</strong><br />
integración se duplica cada<br />
3 años”<br />
Esta afirmación se conoce<br />
comúnmente como <strong>la</strong> “Ley<br />
<strong>de</strong> Moore”<br />
Ha resultado “correcta”<br />
hasta este momento<br />
¿Qué motiva este ritmo <strong>de</strong><br />
<strong>de</strong>sarrollo en tecnologías <strong>de</strong><br />
integración?<br />
¿El <strong>de</strong>seo <strong>de</strong> superación y<br />
motivación <strong>de</strong> <strong>la</strong>s personas<br />
involucradas con tecnología?<br />
y / o ¿es una motivación<br />
económica <strong>la</strong> mayor<br />
directriz?<br />
Ventas <strong>de</strong> <strong>la</strong> industria <strong>de</strong><br />
semiconductores:<br />
1962, > $1000 Millones<br />
1978, > $10 000 Millones<br />
1994, > $100 000 Millones<br />
Pablo Alvarado<br />
10
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Motivador: Economía<br />
Tradicionalmente, el costo por función en un CI se<br />
reduce <strong>de</strong> un 25% a un 30% por año.<br />
– Esto le permite al mercado <strong>de</strong> <strong>la</strong> electrónica a crecer<br />
un 15% por año<br />
Para lograrlo, el número <strong>de</strong> funciones por CI <strong>de</strong>be<br />
crecer, lo que requiere:<br />
Incremento <strong>de</strong>l número <strong>de</strong> transistores<br />
incremento <strong>de</strong> <strong>la</strong> funcionalidad<br />
Incremento <strong>de</strong> <strong>la</strong> velocidad <strong>de</strong> reloj<br />
más operaciones por unidad <strong>de</strong> tiempo = incremento <strong>de</strong> <strong>la</strong><br />
funcionalidad<br />
Disminución <strong>de</strong>l tamaño <strong>de</strong> características<br />
si se mantiene el área se mantiene el precio<br />
mejora en el <strong>de</strong>sempeño<br />
Pablo Alvarado<br />
11
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Motivador: Economía (2)<br />
Incremento <strong>de</strong> <strong>la</strong> productividad<br />
Incremento <strong>de</strong>l <strong>de</strong>sempeño <strong>de</strong>l maquinaria <strong>de</strong> producción<br />
Incremento en <strong>la</strong> producción (yield)<br />
Incremento en el número <strong>de</strong> chips en una oblea <strong>de</strong> silicio (wafer):<br />
reducción <strong>de</strong>l área <strong>de</strong> un chip:<br />
−<br />
menor tamaño <strong>de</strong> características smaller y rediseño<br />
Uso <strong>de</strong>l mayor tamaño <strong>de</strong> oblea disponible<br />
Ejemplo <strong>de</strong> un producto efectivo en costo<br />
(tipicamente DRAM): el área en el CI se reduce en<br />
un 50% cada 3 años y en un 35% cada 6 años.<br />
Pablo Alvarado<br />
12
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
¿Hay un límite?<br />
Fábrica con gran volumen <strong>de</strong> producción<br />
Capacidad total: 40 000 obleas iniciadas por mes (Wafer Starts Per<br />
Month, WSPM) (180 nm)<br />
Inversión total capital: $2700 Millones<br />
Maquinaria y equipo <strong>de</strong> producción: 80%<br />
Servicios, Facilida<strong>de</strong>s: 15%<br />
Sistemas <strong>de</strong> manejo <strong>de</strong> materiales: 3%<br />
Información y control <strong>de</strong> fábrica: 2%<br />
Ingresos mundiales <strong>de</strong>l mercado mundial <strong>de</strong> semiconductores en<br />
el 2000: ~$180 000 Millones<br />
Tasa <strong>de</strong> crecimiento <strong>de</strong>l mercado <strong>de</strong> semiconductores ~15% / año<br />
Tasa <strong>de</strong> crecimiento <strong>de</strong> mercado <strong>de</strong> equipo: ~19.4% / año<br />
Al 2010 los costos para equipo exce<strong>de</strong>rán el 30% <strong>de</strong> los ingresos <strong>de</strong>l<br />
mercado <strong>de</strong> semiconductores!<br />
Limitaciones tecnológicas (tamaño <strong>de</strong> <strong>la</strong>s estructuras,<br />
velocida<strong>de</strong>s <strong>de</strong> transmisión, etc.)<br />
Pablo Alvarado<br />
13
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Fabricación <strong>de</strong> un<br />
Circuito Integrado<br />
Pablo Alvarado<br />
14
Inversor CMOS<br />
A<br />
0<br />
1<br />
Y<br />
V DD<br />
A<br />
Y<br />
A<br />
Y<br />
GND<br />
Paulo Moreira Introduction 15
Transistor n-MOS<br />
• 4 terminales: compuerta, surtidor, drenador<br />
y sustrato<br />
• Compuerta – oxido – sustrato conforman un<br />
con<strong>de</strong>nsador<br />
– Compuerta y sustrato son conductores<br />
– SiO 2<br />
(oxido) es un excelente ais<strong>la</strong>dor<br />
– Se <strong>de</strong>nomina con<strong>de</strong>nsador MOS, aún cuando <strong>la</strong> compuerta<br />
no es metálica<br />
Source<br />
Gate<br />
Drain<br />
Polysilicon<br />
SiO 2<br />
n+<br />
n+<br />
p<br />
bulk Si<br />
Paulo Moreira Introduction 16
Transistor p-MOS<br />
• Simi<strong>la</strong>r, pero dopado y tensiones invertidas<br />
– Sustrato conectado a V DD<br />
– Compuerta en bajo: transistor encendido<br />
– Compuerta en alto: transistor apagado<br />
– Círculo en <strong>la</strong> compuerta <strong>de</strong>nota comportamiento<br />
invertido<br />
Polysilicon<br />
Source<br />
Gate<br />
Drain<br />
SiO 2<br />
p+ p+<br />
n<br />
bulk Si<br />
Paulo Moreira Introduction 17
Sección transversal <strong>de</strong>l inversor<br />
• Usualmente se utiliza un sustrato <strong>de</strong> tipo p<br />
para los transistores n-MOS<br />
• Se requiere un „pozo“ n para los<br />
transistores tipo p-MOS<br />
GND<br />
A<br />
Y<br />
V DD<br />
SiO 2<br />
n+ diffusion<br />
n+ n+<br />
p+<br />
p substrate<br />
n well<br />
p+<br />
p+ diffusion<br />
polysilicon<br />
metal1<br />
nMOS transistor<br />
pMOS transistor<br />
Paulo Moreira Introduction 18
Conección a pozos y sustratos<br />
• Sustrato <strong>de</strong>be ser conectado a GND y pozo n a V DD<br />
• La conexión entre metal y un semiconductor<br />
levemente dopado forma una conexión eléctrica<br />
<strong>de</strong>ficiente (en realidad, un diodo Shottky).<br />
• Se utiliza entonces para <strong>la</strong> conexión contactos<br />
fuertemente dopados<br />
A<br />
GND V DD<br />
Y<br />
n+<br />
p+<br />
n+ n+<br />
p+<br />
p+<br />
p substrate<br />
n well<br />
substrate tap<br />
well tap<br />
Paulo Moreira Introduction 19
Máscaras <strong>de</strong>l inversor<br />
• Transistores y conecciones se <strong>de</strong>finen a través <strong>de</strong><br />
máscaras<br />
• La sección transversal se tomó en <strong>la</strong> línea punteada<br />
A<br />
Y<br />
GND<br />
V DD<br />
substrate tap<br />
nMOS transistor<br />
pMOS transistor<br />
well tap<br />
Paulo Moreira Introduction 20
Vistas <strong>de</strong>tal<strong>la</strong>das <strong>de</strong> <strong>la</strong>s máscaras<br />
• Seis máscaras<br />
– n-well<br />
– Polysilicon<br />
– n+ diffusion<br />
– p+ diffusion<br />
– Contact<br />
– Metal<br />
n well<br />
Polysilicon<br />
n+ Diffusion<br />
p+ Diffusion<br />
Contact<br />
Metal<br />
Paulo Moreira Introduction 21
Pasos <strong>de</strong> fabricación<br />
• Inicio con una oblea „en b<strong>la</strong>nco“<br />
• Construir inversor <strong>de</strong> abajo hacia arriba<br />
• Primer paso: formar el pozo n (n-well)<br />
– Cubrir <strong>la</strong> oblea con una capa protectora <strong>de</strong> óxido <strong>de</strong> silicio<br />
(SiO 2<br />
)<br />
– Eliminar capa en el sitio don<strong>de</strong> <strong>de</strong>be construirse el pozo n<br />
– Imp<strong>la</strong>ntar o difundir dopantes n en <strong>la</strong> oblea expuesta<br />
– Eliminar SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 22
Oxidación<br />
• Producir SiO 2<br />
en <strong>la</strong> parte superior <strong>de</strong> <strong>la</strong> oblea<br />
– 900°C – 1200°C con H 2<br />
O o O 2<br />
en horno <strong>de</strong> oxidación<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 23
Photoresist<br />
• El Photoresist es un polímero orgánico sensitivo a <strong>la</strong><br />
luz.<br />
• Se suaviza en los sitios expuestos a <strong>la</strong> luz<br />
Photoresist<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 24
Litografía<br />
• Exponer photoresist a través <strong>de</strong> <strong>la</strong> máscara <strong>de</strong>l pozo<br />
n<br />
• Eliminar photoresist expuesto<br />
Photoresist<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 25
Decapado (etch)<br />
• Decapar el óxido con ácido hidrofluórico (HF)<br />
• Solo solo se ataca al óxido don<strong>de</strong> el resist ha sido<br />
expuesto<br />
Photoresist<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 26
Eliminar Photoresist<br />
• Eliminar el fotoresist remanente<br />
– Se utiliza una mezc<strong>la</strong> <strong>de</strong> ácidos <strong>de</strong>nominado “<strong>de</strong>capado<br />
piraña”<br />
• Esto es necesiario para que el resist no se <strong>de</strong>shaga<br />
en los próximos pasos<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 27
Pozo n (n-well)<br />
• Pozo n se forma por difusión o por imp<strong>la</strong>ntación <strong>de</strong><br />
iones<br />
• Difusion<br />
– Colocar <strong>la</strong> oblea en horno con arsénico gaseoso<br />
– Calentar hasta que los átomos <strong>de</strong> As se difun<strong>de</strong>n<br />
en el Si expuesto<br />
• Imp<strong>la</strong>ntación <strong>de</strong> iones<br />
– Se dispara a <strong>la</strong> oblea con un rayo <strong>de</strong> iones <strong>de</strong> As<br />
– Los iones bloqueados por el SiO 2<br />
, solo entran al Si<br />
expuesto<br />
SiO 2<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 28
Eliminar óxido<br />
• Eliminar óxido remanente utilizando HF (ácido<br />
hidrofluórico)<br />
• Estamos <strong>de</strong> vue<strong>la</strong> con una oblea „en b<strong>la</strong>nco“ con un<br />
pozo n<br />
• Los pasos siguientes involucran pasos simi<strong>la</strong>res<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 29
Polisilicio<br />
• Depositar capa <strong>de</strong>lgada <strong>de</strong> óxido para compuertas<br />
– < 20 Å (6-7 capas atómicas)<br />
• Deposición química <strong>de</strong> vapor (Chemical Vapor<br />
Deposition, CVD) <strong>de</strong> una capa <strong>de</strong> silicio<br />
– Colocar oblea en horno con gas si<strong>la</strong>no (SiH 4<br />
)<br />
– Forma muchos cristales pequeños <strong>de</strong>nominados polisilicio<br />
– Fuertemente dopado para que sea buen conductor<br />
Polysilicon<br />
Thin gate oxi<strong>de</strong><br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 30
Conformación <strong>de</strong>l Polisilicio<br />
• Usa mismo proceso litográfico anterior para dar<br />
forma al polisilicio<br />
Polysilicon<br />
Polysilicon<br />
Thin gate oxi<strong>de</strong><br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 31
Proceso autoalineado<br />
• Utilizar óxido y máscaras para exponer los sitios<br />
don<strong>de</strong> los dopantes n+ <strong>de</strong>berán ser difundidos o<br />
imp<strong>la</strong>ntados<br />
• La difusión n forma <strong>la</strong> fuente y drenador <strong>de</strong>l<br />
transistor n-MOS y el contacto con el pozo n<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 32
Difusión n<br />
• Dar forma al óxido y conformar <strong>la</strong>s regiones n+<br />
• Proceso auto-alineado don<strong>de</strong> <strong>la</strong> compuerta bloquea<br />
<strong>la</strong> difusión<br />
• Polisilicion es mejor que el metal para <strong>la</strong>s<br />
compuertas autoalineadas porque no se <strong>de</strong>shace en<br />
procesos posteriores<br />
n+ Diffusion<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 33
Difusión n (2)<br />
• Históricamente los dopantes eran difundidos<br />
• En <strong>la</strong> actualidad se usa imp<strong>la</strong>ntación <strong>de</strong> iones<br />
• A pesar <strong>de</strong> eso a <strong>la</strong>s regiones se les <strong>de</strong>nomina<br />
„difusión“<br />
n+ n+<br />
n+<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 34
Difusión n (3)<br />
• Eliminar óxido para terminar <strong>la</strong> conformación.<br />
n+ n+<br />
n+<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 35
Difusión P<br />
• Serie simi<strong>la</strong>r <strong>de</strong> pasos se utiliza para conformar <strong>la</strong>s<br />
regiones <strong>de</strong> difusión p+, usadas en fuente y<br />
drenador <strong>de</strong>l transistor p-MOS y en el contacto <strong>de</strong>l<br />
sustrato<br />
p+ Diffusion<br />
p+<br />
n+ n+<br />
p+<br />
p+ n+<br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 36
Contactos<br />
• Ahora <strong>de</strong>ben interconectarse los dispositivos<br />
• Se cubre al chip con una capa gruesa <strong>de</strong> óxido<br />
• Se <strong>de</strong>capa el óxido don<strong>de</strong> los cortes para contactos<br />
se requieran<br />
Contact<br />
p+<br />
n+ n+<br />
p+<br />
p+ n+<br />
Thick field oxi<strong>de</strong><br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 37
Metalización<br />
• Depositar aluminio sobre toda <strong>la</strong> oblea<br />
• Conformar para remover exceso <strong>de</strong> metal, <strong>de</strong>jando<br />
solo <strong>la</strong>s conexiones<br />
Metal<br />
p+<br />
n+ n+<br />
p+<br />
p+ n+<br />
Metal<br />
Thick field oxi<strong>de</strong><br />
p substrate<br />
n well<br />
Paulo Moreira Introduction 38
Layout<br />
• Chips se especifican con un conjunto <strong>de</strong> máscaras<br />
• Las dimensiones mínimas <strong>de</strong> <strong>la</strong>s máscaras<br />
<strong>de</strong>terminan el tamaño <strong>de</strong>l transitor (e<br />
indirectamente velocidad, costo y potencia)<br />
• Tamaño característico f = distancia entre drenador<br />
y surtidor<br />
– Dado por el ancho mínimo <strong>de</strong>l polisilicio<br />
• Tamaño característico se mejora un 30% cada 3<br />
años aproximadamente<br />
Paulo Moreira Introduction 39
Reg<strong>la</strong>s <strong>de</strong> diseño simplificadas<br />
• Reg<strong>la</strong>s conservadoras para iniciar<br />
Paulo Moreira Introduction 40
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Niveles <strong>de</strong> abstracción<br />
en el Diseño VLSI<br />
Alto High<br />
Especificación System Specification <strong>de</strong>l sistema<br />
Sistema System<br />
Nivel Level <strong>de</strong> Abstracción<br />
of Abstraction<br />
Módulo Functional funcional Module<br />
Compuerta Gate<br />
Circuito<br />
+<br />
Dispositivo Device<br />
Bajo Low<br />
S<br />
G<br />
D<br />
Pablo Alvarado<br />
41
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Dominios <strong>de</strong> Descripción<br />
<strong>de</strong> Diseño VLSI<br />
Dominio Comportamental<br />
Dominio Estructural<br />
Aplicaciones<br />
Sistemas Operativos<br />
Programas<br />
Subrutinas<br />
Transistores<br />
Procesador RISC<br />
Sumadores, compuertas, registros<br />
Instrucciones<br />
Transistores<br />
circuital<br />
RTL, lógico<br />
Celdas<br />
arquitectural<br />
Módulos<br />
Chips<br />
Tarjetas<br />
Dominio Físico<br />
Niveles <strong>de</strong> abstracción<br />
Pablo Alvarado<br />
42
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
El flujo <strong>de</strong> diseño “analógico”<br />
Especificación<br />
Ingreso <strong>de</strong>l<br />
Diseño<br />
Simu<strong>la</strong>ción<br />
<strong>de</strong>l<br />
Pre-<strong>la</strong>yout<br />
Layout<br />
● Velocidad<br />
● Potencia<br />
● Ancho <strong>de</strong> Banda<br />
● Área ...<br />
● Crear esquemático<br />
● Dimensionamiento<br />
<strong>de</strong> dispositivos<br />
● Simu<strong>la</strong>ción <strong>de</strong>l<br />
circuito<br />
● Rediseño<br />
● Distribución<br />
● Ubicación<br />
● Enrutamiento<br />
Front end<br />
Back end<br />
Pablo Alvarado<br />
43
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Flujo <strong>de</strong> diseño (2)<br />
Verificación<br />
Extracción <strong>de</strong>l<br />
Diseño<br />
Extracción <strong>de</strong><br />
Elementos<br />
Parásitos<br />
Simu<strong>la</strong>ción <strong>de</strong>l<br />
Post-<strong>la</strong>yout<br />
● Comprobación<br />
<strong>de</strong> reg<strong>la</strong>s <strong>de</strong><br />
diseño<br />
● Comprobación<br />
<strong>de</strong> reg<strong>la</strong>s<br />
eléctricas<br />
● Extracción<br />
● Layout vs<br />
Esquemático<br />
● Extracción <strong>de</strong><br />
elementos<br />
parásitos<br />
● Simu<strong>la</strong>ción <strong>de</strong>l<br />
circuito<br />
● Rediseño<br />
Front end<br />
Back end<br />
Pablo Alvarado<br />
44
Introducción a <strong>la</strong> Fabricación <strong>de</strong> <strong>Circuitos</strong> <strong>Integrados</strong><br />
Referencias<br />
● Moreira, Paulo “Introduction to VLSI digital <strong>de</strong>sign” CERN, Suiza, 2005<br />
Pablo Alvarado<br />
45