MEMS en la Vida Diaria - Cinvestav
MEMS en la Vida Diaria - Cinvestav
MEMS en la Vida Diaria - Cinvestav
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
<strong>MEMS</strong> es una tecnología …No un producto !<br />
¿Que se necesita para fabricar<br />
<strong>MEMS</strong>?<br />
● Conocimi<strong>en</strong>to de <strong>la</strong>s propiedades físicas de los materiales<br />
(mecánicas, eléctricas, térmicas y magnéticas)<br />
● Procesos de Litografía - Etching - Deposition: técnicas de<br />
micromaquinado<br />
Solución: Procesos CMOS<br />
Muy estudiado y consolidado <strong>en</strong> <strong>la</strong> industria<br />
● ¡Permite integrar s<strong>en</strong>sores, transductores, procesami<strong>en</strong>to<br />
de señales, control y actuadores todo <strong>en</strong> el mismo<br />
Circuito Integrado!