Étude de la réalisation d'un thermocycleur assisté par onde ... - Cnfm

K² (%)
Figure 7. Micro-Système en cour de développement
6,5
6
5,5
5
4,5
4
3,5
Figure 8. Simulation du coefficient de couplage en
fonction de l'épaisseur normalisée de la couche de
nitrure d'aluminium avec un substrat de niobate de
lithium de coupe Y+128° et de direction de
propagation X, h est l’épaisseur d’AlN et k=2.π/λ.
conductrice thermiquement qui nous permet de placer
directement notre microgoutte sur les électrodes.
Nous avons choisi le nitrure d’aluminium (AlN) pour
ces propriétés thermique et isolante adéquates. La
microgoutte capte donc toute l’énergie de l’onde de
Rayleigh. Des simulations nous ont montré qu’une faible
épaisseur d’AlN ne dégrade pas notre onde mais améliore
le coefficient de couplage (Figure 8), ce qui correspond
aux simulations de Ro et al. [13]. Pour une epaisseur
d’AlN normalisée de 0,06, le coefficient de couplage
atteind 6,1%. En utilisant des IDT dont la periodicité λ est
23µm, il nous faut déposer une épaisseur d’AlN
0,06 0,06.
220
2.
qui recouvre les électrodes d’épaisseur 150nm et les
protège de la microgoutte et de tout court-circuit. Ainsi, il
devrait être possible de chauffer et de mélanger nos
microgouttes afin de réaliser des cycles de PCR.
Références
IDT
Substrat piézoélectrique
0 0,02 0,04 0,06 0,08 0,1 0,12 0,14
hk
Couche isolante d’AlN
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