Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
ู<br />
<strong>วิธีการใช้งาน</strong><br />
1. นําตัวอย่างที่แห้งที่ได้จากการเตรียมตัวอย่างจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ติดอยู ่บน<br />
แท่นวางตัวอย่าง (Stub)<br />
2. วางตัวอย่างจากข้อ 1 บนฐาน (Specimen Holder) ภายใน Chamber<br />
3. สวมครอบแก้ว (Glass Work Chamber) แล้วปิดฝา (Sputter Head)<br />
4. ปิด ปด valve ทกจดให้สนิท ทุกจุดใหสนท<br />
5. ใช้มือกดลงบนสักครู ่ขณะเปิดสวิตซ์ที่เครื่องควบคุมหลัก (Power Switch) และ ที่เครื่องฉาบผิว<br />
(Sputter Coater)<br />
6. เครื่องปั๊มสุญญากาศเริ่มทํางาน เข็มวัดสุญญากาศ (Pressure Gauge) แสดงสถานะสูญญากาศภายใน<br />
Chamber เมื่อมีค่าตํ ่ากว่า 0.2 มิลลิบาร์ ไฟ READY ที่เครื่องฉาบผิวจะติด<br />
7. รอให้เข็มแสดงสญญากาศของ ุญญ Chamber อย่ที่ประมาณ ู 0.04 มิลลิบาร์<br />
8. เปิด Pressure Control Valve (หมุนทวนเข็มนาฬิกา) ให้อากาศไหล เข้าสู ่ Chamber โดยปรับที่ตําแหน่ง<br />
เมื่อแรงดันภายในเริ่มขยับสูงขึ ้น<br />
9. กดปุ ่ม TEST พร้อมกับปรับแรงดันที่ Pressure Control Valve ให้อากาศเข้าสู ่ Chamber (กระแสไฟฟ้ า<br />
จะวิ่งผ่านแผ่นทองที่ Sputter Head มาที่ฐาน Specimen Holder เกิด Plasma Current เป็นแสงสีม่วง<br />
มองเห็นได้ ใน Glass Chamber) ปรับให้ได้ค่ากระแส ที่เครื่องวัดกระแสไฟฟ้ า (mA Meter)<br />
อยู ่ที่ 18 มิลลิแอมแปร์<br />
10. เมื่อปรับแรงดันได้เหมาะสมตามข้อ 9 ให้กดปุ ่ม START ทองจะแตกตัวเป็นไอตกลงบนชิ้นตัวอย่าง<br />
เมื่อครบกําหนดเวลาที่ตั ้งไว้บน Time Controller กระแสไฟจะตัด<br />
11. ปิดสวิทซ์ของเครื่องควบคุมหลัก (Power Switch) และ ที่เครื่องฉาบผิว (Sputter Coater) แล้วเปิด<br />
Valve ที่ฝาด้านบน Sputter Head ปล่อยอากาศเข้าสู ่ Chamber<br />
12. เปิดฝา Sputter Head นํา Glass Chamber ออก นําตัวอย่างออกเก็บใน Desiccators<br />
13. ในกรณีฉาบผิวตัวอย่างในบรรยากาศของอากาศ โดยใช้ Plasma Current ที่ 18 มิลลิแอมแปร์ จะได้<br />
ความหนาประมาณ 1.3 angstroms ต่อวินาที<br />
14. ความหนาของทองที่ฉาบบนผิวตัวอย่างที่เหมาะสมสําหรับ SEM อยู ่ระหว่าง 100 - 300 angstroms<br />
15. ทําความสะอาดผิวด้านในของครอบแก้วให้สะอาด ด้วยผ้าก๊อซชุบ Acetone รอจนแห้งสนิทสวม<br />
Glass Chamber ปิดฝา Sputter Head และปิด valve ทุกจุดให้สนิท<br />
16. เปิดสวิทซ์เครื่องควบคุมหลัก (Power Switch) จนแรงดันภายใน Chamber มีค่าประมาณ 1 มิลลิบาร์<br />
18. ปิดสวิทซ์เครื่องควบคุมหลัก<br />
19. ลงบันทึกการใช้เครื่อง (QL-DTRC-P20-02)<br />
Dental Material
Change language